KR940022056A - 거리측정방법 및 장치 - Google Patents

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KR940022056A
KR940022056A KR1019940004368A KR19940004368A KR940022056A KR 940022056 A KR940022056 A KR 940022056A KR 1019940004368 A KR1019940004368 A KR 1019940004368A KR 19940004368 A KR19940004368 A KR 19940004368A KR 940022056 A KR940022056 A KR 940022056A
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reference plane
slit light
scanning mirror
light reflected
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KR1019940004368A
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아쓰시 요코야마
다카유키 요시가하라
Original Assignee
오오가 노리오
소니 가부시끼가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
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    • G—PHYSICS
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Abstract

본 발명의 목적은 측정대상물체의 표면의 위치를 고정밀도 또한 고속으로 측정하는 것이다.
본 발명의 구성은 기준평면을 위치(S0,S1 및 S2)에 배치한때에 기준 평면에서 반사한 슬릿광이 촬상면(7)의 셀(pij)에 입사하기위한 주사미러(3)의 각도차(Θ1및 Θ2)를 나타내는 카운트값(C1및 C2)을 구하고, 기준면을 위치(S2)에 배치한때에 기준평면에서 반사한 슬릿광이 촬상면(7)의 셀(pij)에 입사하기위한 주사미러(3)의 각도(ΘS2)와 측정대상물체를 배치한때에 측정대상물체의 면에서 반사된 슬릿광이 촬상면(7)의 셀(pij)에 입사하기위한 주사미러(3)의 각도(ΘSX)와의 각도차를 나타내는 카운트값(Cx)을 구하고, 소정의 연산을 행해서 측정대상물체와 위치와 S0와의 거리를 구한다.

Description

거리측정방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명의 거리측정방법 및 장치에 사용되는 원리를 설명하기위한 도면이다.
제 3 도는 본 발영의 거리측정장치의 일실시예의 구성을 나타내는 블록도이다.

Claims (4)

  1. 주사미러를 회전시킴으로써 슬릿광을 측정대상물체의 표면에 따라 주사하고, 상기 측정대상물체로부터의 반전슬릿광이 촬상면을 구성하는 셀을 통과하는 시점을 검출하여 상기 측정대상물체의 표면의 위치를 측정하는 거리측정방법에 있어서, 기준평면을 제 1 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 1 각도와 상기 기준평면을 상기 제 1 위치에서 소정거리만큼 떨어진 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 2 각도와의 차인 제 1 각도차를 나타내는 값을 구하고, 상기 기준평면을 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 2 각도와 상기 기준평면을 상기 제 2 위치에서 상기 소정거리와 같은 거리만큼 떨어진 제 3 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도와의 차인 제 2 각도차를 나타내는 값을 구하고, 상기 기준평면을 제 3 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도와 상기 측정대상물체를 배치한때에 상기 측정대상물체의 면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 4 각도와의 차인 제 3 각도차를 나타내는 값을 구하고, 상기 제 1 각도차를 나타내는 값과 상기 제 2 각도차를 나타내는 값 및 상기 제 3 각도차를 나타내는 값을 사용하여 상기 측정대상물체와 상기 제 1 위치와의 거리를 구하도록 구성된 것을 특징으로 하는 거리측정방법.
  2. 주사미러를 회전시킴으로써 슬릿광을 측정대상물체의 표면에 따라 주사하고, 상기 측정대상물체로부터 반전슬릿광이 촬상면을 구성하는 셀을 통과하는 시점을 검출하여 상기 측정대상물체의 표면의 위치를 측정하는 거리측정방법에 있어서, 기준평면을 제 1 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 1 각도와 상기 기준평면을 상기 제 1 위치에서 소정거리(d) 만큼 떨어진 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 2 각도와의 차인 제 1 각도차를 나타내는 카운트 값(C1)을 구하고, 상기 기준평면을 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사 미러의 제 2 각도와 상기 기준평면을 상기 제 2 위치에서 상기 소정거리와 같은 거리(d)만큼 떨어진 제 3 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도와의 차인 제 2 각도차를 나타내는 카운트값(C2)을 구하고, 상기 기준평면을 제 3 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도와 상기 측정대상물체를 배치한때에 상기 측정대상물체의 면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 4 각도와의 차인 제 3 각도차를 나타내는 카운트값(CX)을 구하고, 상기 주사미러의 회전각도와 카운트값와의 관계를 나타내는 파라메타 k를 구하고, 상기 측정대상물체와 상기 제 1 위치와의 거리(x)를 다음의 (식1)에 따라서
    [수1]
    구하도록 구성된 것을 특징으로 하는 거리측정방법.
  3. 주사미러를 회전시킴으로써 슬릿광을 측정대상물체의 표면에 따라 주사하고, 상기 측정대상물체로부터의 반사슬릿광이 촬상면을 구성하는 셀을 통과하는 시점을 검출하여 상기 측정대상물체의 표면의 위치를 측정하는 거리측정장치에 있어서, 상기 주사미러의 회전각도를 나타내는 카운트값을 출력하는 계수수단과, 기준평면을 제 1 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기 위한 상기 주사미러의 제 1 각도를 나타내는 상기 계수수단으로 부터의 카운트값과 상기 기준평면을 상기 제 1 위치에서 소정거리만큼 떨어진 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 2 각도를 나타내는 상기 계수수단으로 부터의 카운트값과의 차를 구하는 제 1 감산수단과, 상기 기준평면을 제 2 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 2 각도를 나타내는 상기 계수수단으로부터의 카운트값과 상기 기준평면을 상기 제 2 위치에서 상기 소정거리와 같은 거리만큼 떨어진 제 3 위치에 배치한 때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도를 나타내는 상기 계수수단으로 부터의 카운트값과의 차를 구하는 제 2 감산수단과, 상기 기준평면을 제 3 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 3 각도를 나타내는 상기 계수수단으로부터의 카운트값과 상기 측정대상물체를 배치한때에 상기 측정대상물체의 면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 제 4 각도를 나타내는 상기 계수수단으로 부터의 카운트값과의 차를 구하는 제 3 감산수단과, 상기 제1, 제2 및 제3 감산수단의 출력 및 상기 주사미러의 회전각도와 상기 계수수단의 출력카운트값과의 관계를 나타내는 파라메타를 사용하여 상기 측정대상물체와 상기 제 1 위치와의 거리를 연산에 의해 구하는 연산수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 거리측정장치.
  4. 주사미러를 회전시킴으로써 슬릿광을 측정대상물체의 표면에 따라 주사하고 상기 측정대상물체로 부터의 반사슬릿광이 촬상면을 구성하는 셀을 통과하는 시점을 검출하여 상기 측정대상물체의 표면의 위치를 측정하는 거리측정장치에 있어서, 상기 주사미러의 회전각도를 나타내는 카운트값을 출력하는 계수수단과, 상기 기준평면을 제 1 위치에서 소정거리떨어진 위치에 배치한때에 상기 기준평면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 각도를 나타내는 상기 계수수단으로부터의 카운트값과 상기 측정대상물체를 배치한때에 상기 측정대상물체의 면에서 반사한 슬릿광이 상기 촬상면의 소정의 셀에 입사하기위한 상기 주사미러의 각도를 나타내는 상기 계수수단으로부터의 카운트값와의 차를 구하는 감산수단과, 적어도 상기 감산수단의 출력에 따라 상기 측정대상물체와 상기 제 1 위치와의 거리를 출력하는 룩업테이블을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 거리측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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