KR940012487A - 종형 열처리장치 - Google Patents

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KR940012487A
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데쓰 오사와
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이노우에 아키라
도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤
이노우에 다케시
도오교오 에레구토론 도오호쿠 가부시끼가이샤
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Abstract

처리종료 보트를 대기시키는 제1대기위치와 다음의 처리를 위한 웨이퍼 보트를 대기시키는 제2대기위치가 설치되어 있는 2보트 시스템의 종형 열처리장치로서, 상기 제1과, 제2대기위치와 종형 반응로와의 사이에서 웨이퍼보트를 교환하는 보트 이재장치를 구비하고, 이 보트 이재장치는 적어도 회전 방향 및 이 회전중심으로부터 반경방향에서의 변위를 포함한 2차원면에서의 변위가 될 수 있도록 되어 있다. 또 제1과 제2의 대기위치 사이를 아주 근접시키어 점유 스페이서를 적게 하기 위하여 양 위치사이에서의 열의 방향을 방지하는 차열부재가 그 사이에 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하여 보트 이재장치의 점유 스페이서를 적게하여 소형화가 가능한 구성을 구비한 종형 열처리장치가 얻어진다.

Description

종형 열처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 종형 열처리장치의 전체구성을 나타내는 일부 파단 측면도.
제2도는 제1도에 나타낸 Ⅱ-Ⅱ화설표 단면도.
제3도는 제1도에 나타낸 종형 열처리장치에 사용되어진 보트 이재수단의 개략 사시도.
제4도는 제1도에 나타낸 종형 열처리장치에 사용되어진 보트 이재수단과 피처리물 이재수단의 승강 구동수단의 측면도.
제5도는 제4도에 나타낸 구동기구의 종단 단면도.

Claims (5)

  1. 종형 반응로 아래쪽에 처리종료의 보트를 대기 시켜두고 제1대기위치와, 다음의 처리를 위한 보트를 대기시켜두고 제2대기위치가 설치되어 있는 2보트 시스템을 채용한 종형 열처리장치로서, 상기 제1, 제2대기위치 및 상기 반응로에 대한 보트 삽탈위치에 각각 변위 가능한 보트 이재수단을 설치하고, 상기 보트 이재수단은 적어도 회전 및 회전 중심으로부터 반경방향에서 변위로 되는 2차원면에서의 변위가 가능한 구성을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다. 또한 본 발명에서는 상기 보트 이재수단은 2차원면에서의 변위에 더하여 그면과 직각인 방향(Z축 방향)에서의 변위가 가능한 구성을 구비하고 있는 종형 열처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보트이재수단이 2차원면에서 변위에 더하여 이 2차원면과 직각인 방향에서의 변위가 가능한 구성을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리장치.
  3. 반응로 아래 방향에 처리종료 보트를 대기시켜 두고 제1대기위치와, 다음의 처리를 위한 보트를 대기시켜두고 제2대기위치가 설치되어 있는 2보트 시스템을 채용한 종형 열처리장치로서, 상기 제1, 제2 대기위치 및 상기 반응로에 대한 보트 삽탈위치에 각각 변위 가능한 1대의 보트 이재수단을 설치하고, 상기 제1, 제2대기위치가 크린에어 또는 퍼지가스의 유동방향 상류쪽에 설치되고, 상기 보트 이재수단이 상기 제1, 제2대기위치로부터 하류쪽에 각각 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리장치.
  4. 상기 제1대기위치가 제2대기위치보다도 상기 보트 삽탈위치쪽에 설치되고, 이들 각 대기위치의 사이에는 차열체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리장치.
  5. 반응로 아래쪽에 처리종료의 보트를 대기시켜 두고, 제1대기위치와, 다음의 처리를 위하여 보트를 대기시켜 두고 제2대기위치가 설치되어 있는 2보트 시스템을 채용한 종형 열처리장치로서, 상기 제1, 제2대기위치 및 상기 반응로에 대한 보트의 삽탈위치에 변위 가능한 보트 이재수단과, 상기 보트로부터 피처리물의 삽탈을 하는 피처리물 이재수단을 구비하고, 상기 보트의 이재수단 및 상기 피처리물 이재수단의 각 승강구동부는 동일 축상에 설치되고 독립하여 구동 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 종형 열처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930025448A 1992-11-26 1993-11-26 종형 열처리장치 KR100250011B1 (ko)

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