Claims (3)
광원인 반도체 레이저(1)와, 상기 반도체 레이저의 빔을 참조광과 물체광으로 분할하는 빔 스플리터(3)와, 참조광과 물체광의 길이를 맞추기 위한 빔 스플리터(7), 빔의 방향을 유도하는 복수개의 거울(4)(6)(8)과, 빔의 확산시키는 복수개의 빔 익스팬더(5)(9)와, 참조광의 위상을 이동시키는 유리판(19)과, 광영상을 전기적 신호로 바꾸어 주는 CCD 카메라(13)와, 상기 CCD 카메라의 영상을 획득하고 연산하는 영상처리부(14)와, 처리결과를 시각적으로 표현하는 모니터(15)와, 상기 유리판의 각도를 조절하는 위상이동수단과, 상기 위상이동수단에 의한 위상이동값과 실제 위상이동값을 비교하는 위상이동 감지수단을 구비하여서 된 표면 측정 장치.The semiconductor laser 1 as a light source, a beam splitter 3 for dividing the beam of the semiconductor laser into reference light and object light, a beam splitter 7 for matching the length of the reference light and object light, and a plurality of guides for guiding the beam direction. Mirrors (4) (6) (8), a plurality of beam expanders (5) (9) for diffusing the beam, a glass plate (19) for shifting the phase of the reference light, and a CCD for converting an optical image into an electrical signal A camera 13, an image processor 14 for acquiring and calculating an image of the CCD camera, a monitor 15 for visually expressing the processing result, phase shifting means for adjusting the angle of the glass plate, and the phase And a phase shift detecting means for comparing the phase shift value by the shift means and the actual phase shift value.
제1항에 있어서, 위상이동수단은 유리판을 고정하는 회전막대(20)와, 상기 회전막대의 외측에 설치된 하우징(21)과, 상기 회전막대의 회전축이 되는 베어링(22)과, 상기 하우징에 나사끼우기로 결합되어 그 선단부가 회전막대에 접속하고 있는 스크류(24)와, 상기 스크류에 회전력을 부여하는 스태핑 모터(26) 및 기어박스(25)와, 상기 스태핑 모터를 구동시키는 회전각 조절 콘트롤러(27)로 구성되고 회전각 조절 콘트롤러가 영상처리부에 연결된 표면 측정장치.2. The phase shifting means according to claim 1, wherein the phase shifting means includes a rotating rod (20) for fixing the glass plate, a housing (21) provided outside the rotating rod, a bearing (22) serving as a rotating shaft of the rotating rod, and the housing. A screw 24 coupled to the threaded end thereof and connected to a rotating rod, a stepping motor 26 and a gear box 25 for applying rotational force to the screw, and a rotation angle controller for driving the stepping motor. Surface measuring device consisting of (27) and the rotation angle adjustment controller is connected to the image processing unit.
제1항에 있어서, 위상이동 감지수단은 감지광원이 되는 헬륨-네온 레이저(28)와, 간섭무늬 형성을 위해 감지광을 둘로 나누어 주는 빔 스플리터(29)와, 유리판을 통과한 빔을 간섭패턴이 형성되는 산란스크린으로 유도하고 참조광을 통과시키는 빔 스플리터(30)와, 감지광에서 나온 나머지 빔을 산란스크린으로 유도하는 거울(31)과, 간섭무늬를 확산시키는 빔 익스펜더(32)와, 간섭무늬를 쉽게 볼수 있고 무늬의 이동정도를 알기쉽게 눈금을 새겨 넣은 산란 스크린(33)으로 구성되고 이들이 하나의 모듈(34)로 이루어진 표면 측정장치.The method of claim 1, wherein the phase shift detecting means comprises: a helium-neon laser 28 serving as a sensing light source, a beam splitter 29 for dividing the sensing light into two to form an interference fringe, and an interference pattern for the beam passing through the glass plate. A beam splitter 30 for guiding the scattering screen to be formed and passing the reference light, a mirror 31 for guiding the remaining beam from the detection light to the scattering screen, a beam expander 32 for diffusing an interference pattern, and interference Surface measurement device consisting of a scattering screen (33) is engraved on the scale easy to see the pattern and easy to see the movement of the pattern and they are composed of one module (34).
※ 참고사항 : 최초 출원된 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: It is to be disclosed according to the original application.