KR930004754A - 간섭계식 볼 베어링 검사 장치 및 방법 - Google Patents
간섭계식 볼 베어링 검사 장치 및 방법 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 단일 파장 간섭계를 사용하는 본 발명의 제1실시예에 따라 구성되고 동작되는 볼 베어링 검사 장치의 개략도,
제2도는 제1도의 광학 장치를 장치의 초점을 퉁과하는 볼베어링의 경로에 대해 수직으로 절취하여 접히지 않은 구성으로 도시한 도면,
제3도는 제1도의 광학 장치를 장치의 초점을 통과하는 볼 베어링 경로와 동일 방향으로 절취하여 접히지 않은 구성으로 도시한 도면.
Claims (10)
- 물체의 표면이 선정된 공차 범위 내의 만곡 반경을 갖는지를 결정하기 위한 장치에 있어서, 기준 비임 및 물체가 롤링 운동을 하는 동안 실질적으로 선형 방사 패턴으로 물체의 표면의 일부를 조명하기 위해 배치되고, 물체의 표면으로부터 반사되는 측정 비임을 포함하는 간섭계 수단, 상기 물체의 롤링 운동에 기인하는, 상기 기준 비임의 광 경로의 길이에 대한 상기 측정 비임의 광경로의 길이 변화로 인해 발생하는 최소한 1개의 인터페로그램을 기록하기 위해 간섭계 수단의 출력에 광학적으로 결합되는 수단 및 상기 기록 수단에 의해 기록된 상기 인터페로그램을 선정된 공차 범위 내의 만곡 반경을 갖는 것으로 공지된 물체의 표면으로부터 이미 기록된 기준 인터페로그램과 비교하기 위해 상기 기록 수단의 출력에 결합된 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 간섭계 수단이, 광원 수단 및 상기 기준 타임과 상기 측정 비임을 발생시키기 위해 상기 광원 수단의 출력을 수신하기 위해 배치된 비임 분할기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 광원 수단이 단일 유효 파장 출력을 갖는 광원을 포항하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 광원 수단이 다수의 유효파장 출력을 갖는 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 간섭계 수단이 물체의 표면을 조명하기 위해 상기 측정 비임을 선형 방사 패턴으로 형성하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 간섭계 수단이 반사된 측정 비임이 상기 기록 수단의 방사선 감지 표면을 횡단하여 주사하도록 하기 위해 상기 간섭계 수단의 출력과 기록 수단 사이에 배치되는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 구형 물체의 원마도가 선정된 공차 범위 내에 있는지를 결정하기 위한 장치에 있어서, 기준 비임 및 구형 물체가 간섭계 수단에 대해 롤링 운동을 하는 동안 구형 물체의 표면을 조명하기 위해 배치되는 측정 비임을 포함하고, 상기 구형 물체의 표면을 조명하기 위한 선형 방사 패턴으로 상기 표면으로부터 반사하는 측정 비임을 형성하기 위한 수단을 포함하는 간섭계 수단, 상기 구형 물체 표면의 운동에 기인하는, 상기 기준 비임의 광 경로의 길이에 대한 상기 측정 비임의 광경로의 길이 변화로 인해 발생하는 최소한 1개의 인터페로그램을 기록하기 위해 간섭계 수단을 출력에 광학적으로 결합되는 수단 및 상기 기록 수단에 의해 기록된 인터페로그램을 선정된 공차 범위 내의 만곡 반경을 갖는 기준 구형 물체의 표면으로부터 이미 기록된 기준 인터페로그램과 비교하기 위해 상기 기록수단의 출력에 결합된 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 제7항에 있어서, 상기 간섭계 수단이, 상기 반사된 측정 비임이 상기 기록 수단의 방사선 감지 표면을 횡단하여 주사하도록 하기 위해 상기 간섭계 수단의 출력과 기록 수단 사이에 배치되는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
- 표면이 선정된 공차 범위 내의 만곡 반경을 갖는지를 결정하기 위해 물체의 표면을 검사하는 방법에 있어서, 표면이 회전하는 동안, 회전 표면 상에 선형 방사 패턴을 형성하기 위해 회전 표면을 광학적으로 방사되는 측정 비임으로 조명하는 단계, 광학적으로 방사되는 기준 비임을 상기 표면으로부터 반사되는 측정 비임의 일부와 결합시키는 단계, 상기 측정 비임내의 표면의 존재에 기인하는, 상기 기준 비임과 상기 측정 비임 사이의 광 경로의 길이 차이로 인해 발행하는 최소한 1개의 인터페로그램을 기록하기 위한 수단상에 결합된 측정 비임과 기준 비임을 투사하는 단계 및 최소한 1개의 기록된 인터페로그램을 선정된 공차 범위의 만곡 반경을 갖는 물체의 표면으로부터 얻은 인터페로그램과 비교하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 조명 단계가 상기 측정 비임을 볼 베어링의 기하학적 중심과 교차하는 초점을 갖는 선형 패턴으로 형성하는 것을 특징으로 하는 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/739,628 US5210591A (en) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | Interferometric ball bearing test station |
| US739,628 | 1991-08-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930004754A true KR930004754A (ko) | 1993-03-23 |
Family
ID=24973146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920013893A KR930004754A (ko) | 1991-08-02 | 1992-08-01 | 간섭계식 볼 베어링 검사 장치 및 방법 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5210591A (ko) |
| EP (1) | EP0526075A3 (ko) |
| JP (1) | JPH0772683B2 (ko) |
| KR (1) | KR930004754A (ko) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4124223C2 (de) * | 1991-07-22 | 2001-07-26 | Zeiss Carl | Verfahren zur Auswertung von Interferogrammen und Interferometer |
| US5402234A (en) * | 1992-08-31 | 1995-03-28 | Zygo Corporation | Method and apparatus for the rapid acquisition of data in coherence scanning interferometry |
| JP3517903B2 (ja) * | 1993-06-21 | 2004-04-12 | 株式会社ニコン | 干渉計 |
| US5563706A (en) * | 1993-08-24 | 1996-10-08 | Nikon Corporation | Interferometric surface profiler with an alignment optical member |
| US5654798A (en) * | 1995-01-19 | 1997-08-05 | Tropel Corporation | Interferometric measurement of surfaces with diffractive optics at grazing incidence |
| US5793488A (en) * | 1995-07-31 | 1998-08-11 | Tropel Corporation | Interferometer with compound optics for measuring cylindrical objects at oblique incidence |
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| JPH10145567A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Canon Inc | 画像読取装置 |
| US5777738A (en) * | 1997-03-17 | 1998-07-07 | Tropel Corporation | Interferometric measurement of absolute dimensions of cylindrical surfaces at grazing incidence |
| DE19714202A1 (de) * | 1997-04-07 | 1998-10-15 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zum optischen Prüfen von Oberflächen |
| US6393141B1 (en) * | 1998-09-10 | 2002-05-21 | Warner-Lambert Company | Apparatus for surface image sensing and surface inspection of three-dimensional structures |
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| US6580514B1 (en) * | 1999-04-28 | 2003-06-17 | Nec Corporation | Non-contact silicon melt surface evaluation method and system |
| JP3605010B2 (ja) * | 2000-08-08 | 2004-12-22 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定器 |
| US20030169235A1 (en) * | 2002-03-07 | 2003-09-11 | Gron Mikkel Hartmann | Three dimensional track ball systems |
| JP2005140673A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Olympus Corp | 非球面偏心測定装置及び非球面偏心測定方法 |
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| JP5188377B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2013-04-24 | 株式会社ミツトヨ | 球体の真球度の測定方法および球体の曲率半径の測定方法 |
| GB0903404D0 (en) | 2009-03-02 | 2009-04-08 | Rolls Royce Plc | Surface profile evaluation |
| DE102014223747B4 (de) * | 2014-11-20 | 2016-09-08 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche unter Verwendung einer länglichen Blende |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3749500A (en) * | 1970-12-23 | 1973-07-31 | Gen Electric | Optical caliper and edge detector-follower for automatic gaging |
| FR2163862A5 (ko) * | 1971-12-03 | 1973-07-27 | Anvar | |
| US3812376A (en) * | 1972-02-18 | 1974-05-21 | Agency Ind Science Techn | Device for controlling dimensional accuracy during machining of a cylindrical workpiece |
| US4131365A (en) * | 1974-09-13 | 1978-12-26 | Pryor Timothy R | Method and apparatus for determining object position and dimension using a diffraction wave |
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| US4917498A (en) * | 1987-06-15 | 1990-04-17 | Geary Joseph M | Arrangement for testing grazing hyperboloids and similar reflective solid bodies for shape deviations |
-
1991
- 1991-08-02 US US07/739,628 patent/US5210591A/en not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-07-21 EP EP19920306662 patent/EP0526075A3/en not_active Withdrawn
- 1992-08-01 KR KR1019920013893A patent/KR930004754A/ko not_active Application Discontinuation
- 1992-08-03 JP JP4206664A patent/JPH0772683B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0526075A3 (en) | 1993-05-19 |
| JPH05196440A (ja) | 1993-08-06 |
| JPH0772683B2 (ja) | 1995-08-02 |
| US5210591A (en) | 1993-05-11 |
| EP0526075A2 (en) | 1993-02-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |