KR920010471A - 화상데이타 검사방법 및 장치 - Google Patents
화상데이타 검사방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 동작원리를 나타내는 시스템 개통도,
제3도는 본 발명에 의한 화상데이타 검사방법의 일실시예를 설명하는 후로우챠트.
Claims (14)
- 제1화상 데이타(D1)에 의해 표현된 패턴과 제2화상 데이타(D2)에 의해 표현된 패턴이 일치하는지를 검출하는 화상 데이타 검사방법에 있어서, (a) 제1 및 제2 화상 데이타에 의해 표현된 패턴들을 등량씩 확대 또는 축소하도록 제1 및 제2 화상 데이타에 대해 사이징 처리를 행하는 단계와, (b) 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)가 일치하는지를 판정하도록 상기 단계(a)에서 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 비교하는 단계를 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1항에 있어서, 상기 단계(b)는 상기 단계(a)가 확대처리를 행할때 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 일단 비교하고, 또한 상기 단계(a)가 국소처리를 행할때 일단 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 일단 비교하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 화상 데이타(D1)는 실제의 패턴에 관계된 것이고, 상기 제2 화상 데이타(D2)는 검사 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제3항에 있어서, 상기 제1 화상 데이타(D1)는 레티클, 마스크, 웨이퍼 및 반도체 칩으로 구성된 그룹으로부터 선택된 소자의 실제 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 패턴을 광학적으로 주사함으로써 상기 제1 화상 데이타(D1)를 얻는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 상기 단계(b)에서 비교할때, 제1 및 제2화상 데이타가 동일한 신호 형식을 갖도록 제1 및 제2 화상 데이타(D1, D2)중 하나의 신호형식을 변환하는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 상기 단계(b)에서의 비교결과를 표시하는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
- 제1 화상 데이타(D1)에 의해 표현된 패턴과 제2 화상 데이타(D2)에 의해 표현된 패턴이 일치하는지를 검출하는 화상 데이타 검사장치에 있어서, 상기 제1 및 제2 화상 데이타에 의해 표현된 패턴들이 등량으로 확대 또는 축소되도록 상기 제1 및 제2화상 데이타에 대해 사이징 처리틀 행하는 수단과, 상기 처리수단에서 처리된 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 기억하는 상기 처리수단에 연결된 메모리 수단(53, 56)과, 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타가 일치하는지를 판정하기 위해 상기 메모리 수단으로 부터 독취된 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 비교하는 상기 메모리 수단에 연결된 비교수단(58)과, 상기 비교수단에서의 비교결과를 출력하는 상기 비교수단에 연결된 출력수단(59)을 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제8항에 있어서, 상기 비교수단(58)은 상기 처리수단(57)이 확대 처리를 행할 때 일단 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 비교하고 또한 상기 처리수단(57)이 축소처리를 행할때 일단 상기 처리를 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 비교하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제8 또는 9항에 있어서, 상기 제1 화상 테이타(D1)는 실제 패턴에 관계되고 상기 제1 및 제2 화상 데이타는 상기 메모리수단(53, 56)에 최초로 기억되는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제10항에 있어서, 상기 제1화상 테이타(D1)는 레티클, 마스크, 웨이퍼 및 반도체칩으로 구성된 그룹으로 부터 선택된 소자의 실제 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제8,9 또는 11항중 임의의 항에 있어서 패턴을 광학적으로 주사함으로써 제1화상 데이타(D1)를 얻는 독취수단(52, 153-157)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제8,9 또는 10항중 임의의 항에 있어서 상기 제1 및 제2 화상 데이타(D1, D2)가 상기 비교수단(58)에서 비교될때 동일신호 형식을 갖도록 상기 제1 및 제2 화상 데이타중 하나(D2)의 신호형식을 변환하는 상기 메모리수단(56)에 연결되는 변환수단(55)을 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
- 제8, 9 또는 10항중 임의의 항에 있어서 상기 출력수단(59)은 상기 비교수단(58)에서 행한 비교결과를 표시하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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