KR920010471A - 화상데이타 검사방법 및 장치 - Google Patents

화상데이타 검사방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

화상데이타 검사방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 동작원리를 나타내는 시스템 개통도,
제3도는 본 발명에 의한 화상데이타 검사방법의 일실시예를 설명하는 후로우챠트.

Claims (14)

  1. 제1화상 데이타(D1)에 의해 표현된 패턴과 제2화상 데이타(D2)에 의해 표현된 패턴이 일치하는지를 검출하는 화상 데이타 검사방법에 있어서, (a) 제1 및 제2 화상 데이타에 의해 표현된 패턴들을 등량씩 확대 또는 축소하도록 제1 및 제2 화상 데이타에 대해 사이징 처리를 행하는 단계와, (b) 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)가 일치하는지를 판정하도록 상기 단계(a)에서 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 비교하는 단계를 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 단계(b)는 상기 단계(a)가 확대처리를 행할때 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 일단 비교하고, 또한 상기 단계(a)가 국소처리를 행할때 일단 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 일단 비교하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  3. 제1 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 화상 데이타(D1)는 실제의 패턴에 관계된 것이고, 상기 제2 화상 데이타(D2)는 검사 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 화상 데이타(D1)는 레티클, 마스크, 웨이퍼 및 반도체 칩으로 구성된 그룹으로부터 선택된 소자의 실제 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  5. 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 패턴을 광학적으로 주사함으로써 상기 제1 화상 데이타(D1)를 얻는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  6. 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 상기 단계(b)에서 비교할때, 제1 및 제2화상 데이타가 동일한 신호 형식을 갖도록 제1 및 제2 화상 데이타(D1, D2)중 하나의 신호형식을 변환하는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  7. 제1, 2 또는 4항중 임의의 항에 있어서, 상기 단계(b)에서의 비교결과를 표시하는 단계(C)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사방법.
  8. 제1 화상 데이타(D1)에 의해 표현된 패턴과 제2 화상 데이타(D2)에 의해 표현된 패턴이 일치하는지를 검출하는 화상 데이타 검사장치에 있어서, 상기 제1 및 제2 화상 데이타에 의해 표현된 패턴들이 등량으로 확대 또는 축소되도록 상기 제1 및 제2화상 데이타에 대해 사이징 처리틀 행하는 수단과, 상기 처리수단에서 처리된 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 기억하는 상기 처리수단에 연결된 메모리 수단(53, 56)과, 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타가 일치하는지를 판정하기 위해 상기 메모리 수단으로 부터 독취된 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타를 비교하는 상기 메모리 수단에 연결된 비교수단(58)과, 상기 비교수단에서의 비교결과를 출력하는 상기 비교수단에 연결된 출력수단(59)을 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 비교수단(58)은 상기 처리수단(57)이 확대 처리를 행할 때 일단 상기 처리된 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 비교하고 또한 상기 처리수단(57)이 축소처리를 행할때 일단 상기 처리를 제1 및 제2 화상 데이타(D1A, D2A)를 비교하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  10. 제8 또는 9항에 있어서, 상기 제1 화상 테이타(D1)는 실제 패턴에 관계되고 상기 제1 및 제2 화상 데이타는 상기 메모리수단(53, 56)에 최초로 기억되는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제1화상 테이타(D1)는 레티클, 마스크, 웨이퍼 및 반도체칩으로 구성된 그룹으로 부터 선택된 소자의 실제 패턴에 관계된 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  12. 제8,9 또는 11항중 임의의 항에 있어서 패턴을 광학적으로 주사함으로써 제1화상 데이타(D1)를 얻는 독취수단(52, 153-157)를 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  13. 제8,9 또는 10항중 임의의 항에 있어서 상기 제1 및 제2 화상 데이타(D1, D2)가 상기 비교수단(58)에서 비교될때 동일신호 형식을 갖도록 상기 제1 및 제2 화상 데이타중 하나(D2)의 신호형식을 변환하는 상기 메모리수단(56)에 연결되는 변환수단(55)을 더 포함하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
  14. 제8, 9 또는 10항중 임의의 항에 있어서 상기 출력수단(59)은 상기 비교수단(58)에서 행한 비교결과를 표시하는 것이 특징인 화상 데이타 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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