KR920006777A - 전자기 방사에 의해 대상 물체상에 마크를 제공하는 방법 및 장치와, 그 대상 물체 - Google Patents

전자기 방사에 의해 대상 물체상에 마크를 제공하는 방법 및 장치와, 그 대상 물체 Download PDF

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리하르트 크리스토포르 엥겔프리트 아드리아누스
코느넬리스 베러카데 게르리트
바트만 스피케
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프레데릭 얀 스미트
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Abstract

내용 없음

Description

전자기 방사에 의해 대상 물체상에 마크를 제공하는 방법 및 장치와, 그 대상 물체
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 필드 마스크가 사용되고 방사원 유닛이 레이저와 광학 가이드를 구비하는 또 다른 실시예를 도시한 도면, 제4도는 서로 중복된 마스크의 부분들이 어떻게 투사되는 지를 도시한 도면, 제5도는 상당히 상이한 촛점길이를 가진 이미징 시스템 및 표면상에서 차례차례로 이미징되는 마스크를 갖춘 마킹 장치용 광학 시스템을 도시한 도면.

Claims (23)

  1. 전자기 방사를 통해 대상 물체의 표면상에 패턴을 제공하기 위한 마킹 시스템으로서, 상기 마킹 시스템은 방사 방출면을 가진 방사원 유닛을 구비하고, 방사 방출면으로부터의 방사빔을 이용하여 제공될 패턴이 존재하는 마스크를 투사하기 위한 광학시스템을 구비하는 마킹 시스템에 있어서, 광학 시스템은 마스크상에 방사 방출면을 이미징하기 위한 메인 이미징 시스템을 구비하며, 광학 시스템서는 방사빔의 단면의 크기 및/또는 위치가 패턴이 존재하는 마스크 영역의 모양 및/또는 위치에 적합하도록 하기 위한 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 메인 이미징 시스템은 그 원통형 축이 서로 사실상 직각인 두개의 원통형 렌즈를 구비하며 상기 두개의 원통형 렌즈는 두방향으로 상이한 배율로 마스크상에 방사 방출면을 이미징하기 위해 상이한 확대력을 갖는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 광학 시스템은 마스크의일부분을 투사하기에 적합한 것이며, 마스크의 겹쳐진 부분들을 연속적으로 투사하기 위한 수단이 방사 방출면과 마스크 사이의 방사 통로에 배치되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 마스크의부분들을 연속적으로 투사하기 위한 수단은 두 방향으로 서로에 대해 옵셋된 부분들을 투사하기에 적합한 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 광학 시스템은 방사 방출면과 상기 마스크 사이에 배치되는 필드 마스크와 대물 시스템을 구비하며, 필드 마스크 및 마스크는 대물 시스템의 공액 평면에 배치되며, 필드 마스크와 마스크 사이에는 필드 마스크가 이미징되는 마스크의 한 부분을 선택하기 위한 조절 가능한 편향 시스템이 배치되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 필드 마스크의적어도 한 엣지에서 투과율이 경사도를 갖는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 필드 렌즈가 필드 마스크 다음에 배치되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  8. 제5항, 6항 또는 7항에 있어서, 조정 가능한 평향 시스템은 대물 시스템과 마스크 사이에 배치되는 갈바노미터 미러인 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  9. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 방사 방출면과 메인 이미징 시스템 사이의 광학 시스템은 메인 이미징 시스템의 촛점 길이보다 크기가 적어도 1차수 작은 촛점 길이를 가진 또다른 렌즈 시스템을 구비하며, 상기 또다른 렌즈 시스템은 그 시스템의 촛점 길이와 같은 거리만큼 방사 방출면으로부터 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  10. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 방사원 유닛은 레이저를 구비하며, 레이저와 광학 시스템 사이의 방사 통로에는 레이저에 의해 발생된 방사를 균일하게 하기 위한 광학 가이드가 배치되고, 레이저로부터 먼쪽의 광학 가이드의 한 단부가 상기 방사 방출면을 형성하는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 레이저는 대략 1㎛의 파장으로 방사를 방생시키기에 적합한, 예를 들면 Nd : 유리 또는 Nd :YAG 레이저인 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  12. 제10항 또는 11항에 있어서, 광학 가이드는 구부러진 광 파이버인 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  13. 제10항, 11항 또는 12항에 있어서, 방사 가이드 또는 광 파이버는 교환이 가능하여서 방사 가이드 또는 광 파이버의 직경은 투사되는 마크 패턴의 부분의 크기 및 광학 시스템의 배율에 적합하게 되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  14. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 또다른 대물렌즈가 마스크와 표면사이의방사 통로에 배치되며, 상기 또다른 대물렌즈는 마스크를 하나하나 이미징 하기에 적합하거나 표면상에 확대되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 또다른 필드 렌즈가 마스크의 위치 다음에 배치되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  16. 선행항중 어느 한 항에 있어서, 마킹 시스템의 적어도 한 광학 소자상에는 비 ─반사 코팅이 제공되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  17. 전자기 방사를 통해 대상 물체의 표면상에 마크의 패턴을 제공하기 위한 마킹 시스템으로, 상기 마킹 시스템은 대략 1㎛의 파장으로 방사를 발생시키는 레이저와, 레이저에 의해 발생된 방사를 균일화 시키는 광 파이버와, 제공될 패턴이 존재하는 마스크상에 레이저로부터 먼쪽의 광 파이버의 한 단부를 이미징하는 광학 시스템을 구비하며, 상기 광학 시스템은 메인 이미징 시스템과 ,메인 이미징 시스템의 촛점길이를 가진 또 다른 렌즈 시스템을 구비하며, 상기 또 다른 렌즈 시스템은 자신의 촛점길이와 같은 거리만큼 방사 방출면에서 떨어져 있는 마킹 시스템.
  18. 제9항 또는 17항에 있어서, 또다른 렌즈 시스템에 비 ─반사 코팅이 제공되는 것을 특징으로 하는 마킹 시스템.
  19. 대상 물체의 표면상에 마크를 제공하는 방법으로서, 레이저를 이용하여 전자기 방사를 발생시키는 단계와;발생된 방사를 광학 가이드를 통행시켜 균일화하는 단계와, 마스크상에 레이저로부터 먼쪽의 광학 가이드의 한단부를 이미징함으로서 제공될 마크가 존재하는 마스크를 투사하는 단계를 구비하며, 여기서 마크의 투사된 부분의 크기는 마크가 차지하는 마스크 영역의 모양에 적합한 것이며;마크가 표시될 표면상에 마스크를 통해 방사를 투영시키는 단계를 구비하는 마크 제공방법.
  20. 제19항에 있어서, 마스크의 크게 중복된 부분들은 차례차례로 투사되는 마크 제공 방법.
  21. 제20항에 있어서, 크게 중복된 부분들은 두 방향으로 서로에 대해 옵셋되어 있을 것을 특징으로 하는 마크 제공 방법.
  22. 전자기 방사로 투사하여 제공된 마크 또는 마크의 패턴을 가진 대상 물체로서, 상기 마크는 적어도 대략 10㎜의 선형 크기를 가지며, 마크 또는 패턴의 전체 표면에 걸쳐 배경과는 균일한 콘트라스트를 갖는 마크를 제공된 대상 물체.
  23. 제22항에 있어서, 마크 또는 패턴은 적어도 부분적으로 투명한 층 위의 불투명층을 가진 대상 물체의 부분에 제공되며, 마크 또는 패턴을 불투명층의 물질을 배타적으로 국지적 제거를 하여 제공되는 마크가 제공된 대상 물체.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI92112C (fi) * 1992-11-09 1994-09-26 Partek Cargotec Oy Menetelmä taustastaan tummempina erottuvien alueiden muodostamiseksi kirkkaaseen metallipintaan ja tällä tavoin värjättyjä alueita käsittävä metallipinta
JPH07226559A (ja) * 1994-02-09 1995-08-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ照射装置
US5609780A (en) * 1994-11-14 1997-03-11 International Business Machines, Corporation Laser system
US5925562A (en) * 1995-04-25 1999-07-20 Irori Remotely programmable matrices with memories
US6329139B1 (en) 1995-04-25 2001-12-11 Discovery Partners International Automated sorting system for matrices with memory
US6017496A (en) 1995-06-07 2000-01-25 Irori Matrices with memories and uses thereof
DE69637994D1 (de) * 1995-04-26 2009-09-24 Minnesota Mining & Mfg Ablationsverfahren durch laser-darstellung
US6350326B1 (en) 1996-01-15 2002-02-26 The University Of Tennessee Research Corporation Method for practicing a feedback controlled laser induced surface modification
GB9601049D0 (en) * 1996-01-18 1996-03-20 Xaar Ltd Methods of and apparatus for forming nozzles
US6016227A (en) * 1998-07-31 2000-01-18 The University Of Tennessee Research Corporation Apparatus and method for producing an improved laser beam
US6294225B1 (en) 1999-05-10 2001-09-25 The University Of Tennessee Research Corporation Method for improving the wear and corrosion resistance of material transport trailer surfaces
US6299707B1 (en) 1999-05-24 2001-10-09 The University Of Tennessee Research Corporation Method for increasing the wear resistance in an aluminum cylinder bore
US6173886B1 (en) 1999-05-24 2001-01-16 The University Of Tennessee Research Corportion Method for joining dissimilar metals or alloys
US6497985B2 (en) 1999-06-09 2002-12-24 University Of Tennessee Research Corporation Method for marking steel and aluminum alloys
US6284067B1 (en) 1999-07-02 2001-09-04 The University Of Tennessee Research Corporation Method for producing alloyed bands or strips on pistons for internal combustion engines
US6423162B1 (en) 1999-07-02 2002-07-23 The University Of Tennesse Research Corporation Method for producing decorative appearing bumper surfaces
US6229111B1 (en) 1999-10-13 2001-05-08 The University Of Tennessee Research Corporation Method for laser/plasma surface alloying
US6328026B1 (en) 1999-10-13 2001-12-11 The University Of Tennessee Research Corporation Method for increasing wear resistance in an engine cylinder bore and improved automotive engine
US6799187B2 (en) * 2001-12-26 2004-09-28 The Boeing Company Opportunistic parts marking management system
RU2226183C2 (ru) * 2002-02-21 2004-03-27 Алексеев Андрей Михайлович Способ резки прозрачных неметаллических материалов
US7289272B2 (en) * 2005-09-16 2007-10-30 Raytheon Company Optical system including an anamorphic lens
DE102005060606A1 (de) * 2005-12-17 2007-06-21 Mtu Aero Engines Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Visualisierung von Positionen auf einer Oberfläche
US8183496B2 (en) * 2008-12-30 2012-05-22 Intel Corporation Method of forming a pattern on a work piece, method of shaping a beam of electromagnetic radiation for use in said method, and aperture for shaping a beam of electromagnetic radiation
DE102010032958A1 (de) * 2010-07-30 2012-02-02 Messer Cutting & Welding Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum thermischen Bearbeiten eines Werkstücks mittels Laserstrahl

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3286193A (en) * 1962-07-27 1966-11-15 American Optical Corp Laser structure including laser energy transparent energy-diverting masking elements
US3588439A (en) * 1967-05-12 1971-06-28 Rca Corp High resolution laser engraving apparatus
JPS5794482A (en) * 1980-12-05 1982-06-11 Hitachi Ltd Pattern forming device by laser
US4676586A (en) * 1982-12-20 1987-06-30 General Electric Company Apparatus and method for performing laser material processing through a fiber optic
US4822975A (en) * 1984-01-30 1989-04-18 Canon Kabushiki Kaisha Method and apparatus for scanning exposure
GB2154017B (en) * 1984-02-03 1987-09-30 Gen Electric Laser material processing through a fiber optic
IT1208674B (it) * 1984-03-16 1989-07-10 Vitali Gianfranco Perfezionamento nei dispositivi per la omogeneizzazione e diffusione di fasci laser
US4681396A (en) * 1984-10-09 1987-07-21 General Electric Company High power laser energy delivery system
EP0201306A3 (en) * 1985-05-08 1989-06-28 Lambda Photometrics Limited Apparatus for providing uniform exposure at an exposing station
IT1199897B (it) * 1985-07-22 1989-01-05 Cselt Centro Studi Lab Telecom Metodo e dispositivo per la misura delle perdite di accoppiamento tra fibre ottiche monomodo
JPS6245487A (ja) * 1985-08-21 1987-02-27 Nec Corp レ−ザ捺印装置
US4762514A (en) * 1985-11-01 1988-08-09 Fujimori Kogyo Co., Ltd. Method of making beverage packaging bag
JPS62110889A (ja) * 1985-11-11 1987-05-21 Mitsubishi Electric Corp レ−ザマ−キング装置
JPH0658466B2 (ja) * 1985-11-28 1994-08-03 日本電気株式会社 レ−ザマ−カ装置
JPS62193643A (ja) * 1986-02-19 1987-08-25 Toshiba Corp レ−ザマ−キング装置
JPS642790A (en) * 1986-11-14 1989-01-06 Mitsubishi Electric Corp Laser beam machine
JPS6444294A (en) * 1987-08-11 1989-02-16 Toshiba Corp Laser marking device
DK160357C (da) * 1987-12-08 1991-08-12 Flemming Olsen Optiksystem til lasermaerkning
US4844574A (en) * 1988-07-05 1989-07-04 General Electric Company Optical fiber output coupler for a power laser
NL8803076A (nl) * 1988-12-15 1990-07-02 Advanced Prod Automation Inrichting voor het meten van de inkoppelhoek van een bundel laserlicht.
JPH02284786A (ja) * 1989-04-27 1990-11-22 Toshiba Corp レーザマーキング方法及びその装置
JPH0390237A (ja) * 1989-08-31 1991-04-16 Matsutani Seisakusho Co Ltd アイレス縫合針の加工方法
US4997250A (en) * 1989-11-17 1991-03-05 General Electric Company Fiber output coupler with beam shaping optics for laser materials processing system
FR2654842B1 (fr) * 1989-11-23 1993-03-26 Commissariat Energie Atomique Dispositif de diminution de la divergence d'un faisceau lumineux.

Also Published As

Publication number Publication date
US5406042A (en) 1995-04-11
NL9002036A (nl) 1992-04-16
EP0479355A1 (en) 1992-04-08
JPH04270082A (ja) 1992-09-25

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