Claims (17)
a)마이크로파 발진기(17), b)마이크로파 발진기(17)에 접속되어 있는 모드 변압기(12), 및 c)플라즈마 챔버(1, 21, 64)를 포함하는 마이크로파의 원편파를 이용한 플라즈마(70) 발생장치에 있어서, d)모드 변압기(12)가 마이크로파의 선형의 편파를 마이크로파의 원형의 편파로 변형시키고, 이때 H11기본파가, 우선적으로 전파되어지며, e)원-원주형 혼-도파관(10,63) 이 그 입구는 전도 또는 부전도 되는 모드 변압기(12)와, 그 출구는 플라즈마 챔버(1, 2, 63)과 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로파를 이용한 플라즈마 발생장치.Plasma 70 using a microwave circular polarization including a) microwave oscillator 17, b) mode transformer 12 connected to microwave oscillator 17, and c) plasma chambers 1, 21, 64. In the generator, d) the mode transformer 12 transforms the linear linear polarization of the microwave into a circular polarization of the microwave, wherein the H 11 fundamental wave propagates preferentially, e) a circular-circular horn-waveguide (10,63) A plasma generating device using microwaves, the inlet of which is connected to a mode transformer (12) that is conductive or nonconductive, and the outlet of which is connected to a plasma chamber (1, 2, 63).
제1항에 있어서, 모드 변압기(12)와 혼 도파관(10, 63) 사이에 H11기본파 만이 전달될 수 있는 둥근 중공의 도파관(11)이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.2. The device according to claim 1, wherein a circular hollow waveguide (11) is provided between the mode transformer (12) and the horn waveguide (10, 63) to which only H 11 fundamental waves can be transmitted.
제1항에 있어서, 혼 도파관(10)이 원추형이면서 매끄러운 것을 특징으로 하는 장치.The device of claim 1, wherein the horn waveguide (10) is conical and smooth.
제1항에 있어서, 혼 도파관이 홈있는 혼(60)인 것을 특징으로 하는 장치.2. The device of claim 1, wherein the horn waveguide is a grooved horn (60).
제1항에 있어서, 플라즈마(70)가 적어도 소정의 세기를 갖는 정 자기장의 하나에 노출되는 것을 특징으로 하는 장치.2. An apparatus according to claim 1, wherein the plasma (70) is exposed to one of the static magnetic fields having at least a predetermined intensity.
제5항에 있어서, 정 자기장이 전자기파의 전기장에 수직으로 향해지는 것을 특징으로 하는 장치.6. An apparatus according to claim 5, wherein the static magnetic field is directed perpendicular to the electric field of the electromagnetic wave.
제5항에 있어서, 플라즈마실(70) 주위에 몇개의 자석(6, 7, 71, 73)이 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.6. Device according to claim 5, characterized in that several magnets (6, 7, 71, 73) are arranged around the plasma chamber (70).
제1항에 있어서, 둥근 중공의 도파관(11)이 그에 상응하는 2.456Hz 마이크로파 주파수에서 7.05cm와 9.16cm사이의 그 내부직경을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.The device according to claim 1, wherein the round hollow waveguide (11) has an inner diameter of between 7.05 cm and 9.16 cm at a corresponding 2.456 Hz microwave frequency.
제8항에 있어서, 둥근 중공의 도파관(11)이 내부직경 8.36cm인 C25-중공의 도파관인 것을 특징으로 하는 장치.9. The device according to claim 8, wherein the round hollow waveguide (11) is a C25-hollow waveguide with an inner diameter of 8.36 cm.
제1항에 있어서, 종형의 부도체의 장치(72)에 의해 플라즈마 챔버가 마이크로파 방사 유닛쪽으로 부터 차단되는 것을 특징으로 하는 장치.The device of claim 1, wherein the plasma non-conductive device (72) is isolated from the microwave radiation unit.
제10항에 있어서, 플라즈마 챔버의 하단에 전압원(3)이 연결되어 있는 기판 캐리어(74)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.11. An apparatus according to claim 10, characterized in that a substrate carrier (74) is provided at the bottom of the plasma chamber, to which a voltage source (3) is connected.
제10항에 있어서, 장치(72)가 플라즈마로 솟는 첨단형 장을 발생시키는 고리형의 영구자석(73)으로 둘러싸여 있는 것을 특징으로 하는 장치.11. Device according to claim 10, characterized in that the device (72) is surrounded by an annular permanent magnet (73) which generates a peak field that rises into the plasma.
제1항에 있어서, 극초단파 발진기(17)와 모드변압기(12) 사이에 조절장치(14, 15)가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.2. Device according to claim 1, characterized in that an adjusting device (14, 15) is provided between the microwave oscillator (17) and the mode transformer (12).
제13항에 있어서, 조절장치(14, 15)와 모드 변압기(12) 사이에 직사각형의 중공의 도파관(13)이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.14. Device according to claim 13, characterized in that a rectangular hollow waveguide (13) is provided between the regulator (14, 15) and the mode transformer (12).
제1항에 있어서, 회전자(16)가 마이크로파 발진기(17)의 뒤에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.2. Device according to claim 1, characterized in that the rotor (16) is connected behind the microwave oscillator (17).
제10항에 있어서, 장치(72)위에 고리형 전자석(71)이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.Device according to claim 10, characterized in that an annular electromagnet (71) is provided on the device (72).
제1항에 있어서, 모드 변압기(12)가 직사각형의 중공의 도파관(13)에서 나오는 선형의 편파의 직각 부분을 원편파의 원형부분으로 변형시키는 것을 특징으로 하는 장치.2. Device according to claim 1, characterized in that the mode transformer (12) deforms the rectangular portion of the linear polarization exiting the rectangular hollow waveguide (13) into a circular portion of circular polarization.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.