KR910010179A - 가는선의 미세결함 검출장치 - Google Patents

가는선의 미세결함 검출장치 Download PDF

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KR910010179A
KR910010179A KR1019900018174A KR900018174A KR910010179A KR 910010179 A KR910010179 A KR 910010179A KR 1019900018174 A KR1019900018174 A KR 1019900018174A KR 900018174 A KR900018174 A KR 900018174A KR 910010179 A KR910010179 A KR 910010179A
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코오헤이 카도
마사히로 나카죠
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다니이 아끼오
마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light

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Abstract

내용 없음.

Description

가는선의 미세결함 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 실시예에 있어서의 가는선의 미세결함 검출장치의 모식도,
제2도는 본 발명의 제2의 실시예에 있어서의 가는선의 미세결함 검출장치의 모식도,

Claims (2)

  1. 피측정물에 단파장의 레이저광을 조사하므로서 형성되는 화상의 푸우리에 변화된 패턴을 텔레비젼카메라로 관측하는 장치에 있어서, 피측정물은 가는선이고, 상기 피측정물에 대하여 피측정물의 긴쪽방향으로 평면형상으로 퍼지고 두께가 피측정물의 두께보다 큰광속을 형성하는 원기둥렌즈군과, 상기 피측정물을 통과한 산란광 이외의 레이저광을 차광하는 차광판과, 산란광에 의한 화상의 푸우리에 변화된 패턴의 흐트러짐을 축소검출하는 광학계 및 화상인식장치를 구비한 것을 특징으로하는 가는선의 미세결함 검출장치.
  2. 제1항에 있어서, 피측정물에 대하여 2방향으로부터 피측정물의 긴쪽방향으로 평면형상으로 퍼지고 두께가 피측정레이저광을 조사하는 수단과, 각각의 산란광에 의한 화상의 푸우리에 변화된 패턴을 검출하는 수단을 가진 것을 특징으로하는 가는선의 미세결함 검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900018174A 1989-11-10 1990-11-10 가는선의 미세결함 검출장치 KR940002504B1 (ko)

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CA2084819A1 (en) * 1992-01-27 1993-07-28 Ralph Edourd Frazee Jr. In-pattern on-line coating defect detection system
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JPH0781963B2 (ja) 1995-09-06
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