KR910008789A - 금속층위의 감광제 제거방법 - Google Patents
금속층위의 감광제 제거방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR910008789A KR910008789A KR1019890015373A KR890015373A KR910008789A KR 910008789 A KR910008789 A KR 910008789A KR 1019890015373 A KR1019890015373 A KR 1019890015373A KR 890015373 A KR890015373 A KR 890015373A KR 910008789 A KR910008789 A KR 910008789A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- metal layer
- remove photoresist
- photoresist
- metal
- remove
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는 본 발명의 P/R제거공정을 나타낸 도면.
Claims (1)
- 메탈 필름에서 원하는 패턴을 P/R을 이용하여 만든 후 불필요하게 된 P/R을 제거시키는 방법에 있어서, 베이크 공정과 자외선 커팅 및 메탈 에치후 P/R을 산소 플라즈마로 제거하기 전에 탈이온화된 물을 이용하여 P/R을 세척하고 스핀 드라이 공정을 거쳐 P/R 표면에 수분을 흡수시키므로 P/R을 제거시킬 수 있도록 함을 특징으로 하는 금속층 위의 감광제 제거방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019890015373A KR920007337B1 (ko) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 금속층위의 감광제 제거방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019890015373A KR920007337B1 (ko) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 금속층위의 감광제 제거방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR910008789A true KR910008789A (ko) | 1991-05-31 |
KR920007337B1 KR920007337B1 (ko) | 1992-08-31 |
Family
ID=19291016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019890015373A KR920007337B1 (ko) | 1989-10-25 | 1989-10-25 | 금속층위의 감광제 제거방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR920007337B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100839147B1 (ko) * | 2002-04-15 | 2008-06-19 | 삼성전자주식회사 | 감광막 제거 방법 및 이를 위한 감광막 제거 시스템 |
KR101646961B1 (ko) | 2015-10-28 | 2016-08-09 | (주)동일기계 | 식품 이송기 |
-
1989
- 1989-10-25 KR KR1019890015373A patent/KR920007337B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100839147B1 (ko) * | 2002-04-15 | 2008-06-19 | 삼성전자주식회사 | 감광막 제거 방법 및 이를 위한 감광막 제거 시스템 |
KR101646961B1 (ko) | 2015-10-28 | 2016-08-09 | (주)동일기계 | 식품 이송기 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR920007337B1 (ko) | 1992-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE8301065D0 (sv) | Metod att framstella en poleranordning | |
TW257875B (en) | Method of forming miniature pattern | |
KR910008789A (ko) | 금속층위의 감광제 제거방법 | |
KR940001269A (ko) | 반도체 디바이스의 금속배선형성방법 | |
KR910020833A (ko) | 옥사이드 마스크에 의한 드라이 에칭 방법 | |
JPS5234547A (en) | Treating waste water containing polyvinyl alochol | |
KR940008148A (ko) | 포토다이오드의 제조방법 | |
KR940015683A (ko) | 금속패턴 형성방법 | |
KR980005493A (ko) | 반도체 소자의 콘택 형성방법 | |
KR980005899A (ko) | 포토레지스트의 스트리핑방법 | |
KR940015674A (ko) | 폴리실리콘 패턴시 발생되는 폴리머 제거방법 | |
KR920001619A (ko) | 산화층의 에치 데미지 제거방법 | |
JPS57118641A (en) | Lifting-off method | |
KR980005631A (ko) | 콘택홀 형성방법 | |
KR960002479A (ko) | 반도체 소자의 감광 패턴 형성방법 | |
KR960002550A (ko) | 반도체 소자의 스페이서 형성방법 | |
KR970049094A (ko) | 반도체장치의 포토레지스트 제거방법 | |
KR970018166A (ko) | 웨이퍼 식각물질을 이용한 웨이퍼 절단 방법 | |
KR970052225A (ko) | 메탈층 패턴 형성 방법 | |
KR960015076A (ko) | 실리콘 습식식각방법 | |
JPS5266379A (en) | Photo etching | |
KR910013589A (ko) | 가드링 형성방법 | |
KR950021047A (ko) | 포토레지스트의 미세패턴 형성방법 | |
KR960002551A (ko) | 금속배선 부식 방지 방법 | |
JPS57155381A (en) | Wet etching method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20020716 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |