KR880002240A - 석영유리제 노심관 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도의 (a), (b), (c)와 제 2 도의 (a), (b), (c) 및 제 3 도는 본 발명을 예시하는 끝부분에 반투명 석영유리부분을 형성한 노심관(爐芯管)의 정면도.
Claims (1)
- 석영유리제 노심관에 있어서, 상기 노심관본체의 끝부분 근방에, 더욱이는 그 본체에 부속하는 석영유리제 부품을 미세기포가 넣어진 반투명 석영유리로 구성시켜서 된 것을 특징으로 하는 석영유리제 노심관.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-160608 | 1986-07-08 | ||
| JP61160608A JPS6317300A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 石英ガラス製炉芯管 |
| JP160608 | 1986-07-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR880002240A true KR880002240A (ko) | 1988-04-29 |
| KR900003251B1 KR900003251B1 (ko) | 1990-05-12 |
Family
ID=15718619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019870001654A KR900003251B1 (ko) | 1986-07-08 | 1987-02-26 | 석영유리제 노심관 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6317300A (ko) |
| KR (1) | KR900003251B1 (ko) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0614480Y2 (ja) * | 1988-04-26 | 1994-04-13 | 信越石英株式会社 | 半導体熱処理装置 |
| JP3412735B2 (ja) * | 1996-08-07 | 2003-06-03 | 株式会社山形信越石英 | ウエーハ熱処理装置 |
| JPH10163122A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Fukui Shinetsu Sekiei:Kk | 半導体ウエハの熱処理装置及び炉心管 |
| FR2824663B1 (fr) * | 2001-05-14 | 2004-10-01 | Semco Sa | Procede et dispositif de dopage, diffusion et oxydation pyrolithique de plaquettes de silicium a pression reduite |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP61160608A patent/JPS6317300A/ja active Granted
-
1987
- 1987-02-26 KR KR1019870001654A patent/KR900003251B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0468279B2 (ko) | 1992-10-30 |
| JPS6317300A (ja) | 1988-01-25 |
| KR900003251B1 (ko) | 1990-05-12 |
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