KR840000310B1 - Harmful gas treating method by burning - Google Patents

Abstract

A burning process to treat harmful gases is conducted by (a) preparing a burning system of several stationary packed beds of magnetic or metallic heat-exchanging packings, (b) preheating the harmful gas by heat exchanging the heated packed beds using hot combustion gas from the combustion zones, (c) burning the harmful gas in the combustion zones, (d) cooling the hot combustion gas by heat exchanging with additional packed beds, and (e) discharging the gas into the atmosphere, where the outgas temp. is higher than that of the original harmful gas by 50≰C.

Description

유해물질을 함유하는 가스의 소각처리 방법Incineration method for gases containing hazardous substances

제1도 내지 제3도는 2개의 충전층(packed)을 포함하는 유해물질 처리로에 있어서 밸브의 개폐 상태 및 가스 유통 방향을 도시한 설명도.1 to 3 are explanatory views showing the opening and closing states of the valves and the direction of gas flow in a hazardous substance treatment furnace including two packed beds.

제4도는 충전층의 온도 분포 및 충전층 중에서의 피처리 가스와 연소가스의 온도 분포를 도시한 도표.4 is a diagram showing the temperature distribution of the packed bed and the temperature distribution of the gas to be treated and the combustion gas in the packed bed.

제5도는 흡착성이 적은 유해물질을 포함한 피처리 가스를 소각 처리한 후 청정 가스(purge gas)를 사용하여 청정 처리할 때 청정 가스 유통 시간과 유해물질 처리효율과의 관계를 도시로 도표.FIG. 5 is a graph showing the relationship between the clean gas distribution time and the treatment efficiency of hazardous substances when incineration of a target gas containing harmful substances with less adsorption and then purifying with a purge gas.

제6도는 제7도의 3개의 충전층을 포함한 처리로의 1-1 단면의 횡단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view of section 1-1 of a treatment furnace including three packed beds of FIG.

제7도는 제6도의 2-2단면의 종단면도.7 is a longitudinal cross-sectional view taken along section 2-2 of FIG.

제8도는 밸브의 절환을 지시하는 시간 도표.8 is a time chart indicating the switching of the valve.

본 발명은 축열형 유해물질 처리로에 있어서 유해물질을 함유하는 가스의 소각처리 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an incineration treatment method for a gas containing a hazardous substance in a heat storage type hazardous substance treatment furnace.

축열형 유해물질 처리로는 축열용 충전물로부터 형성된 복수개의 정지 충전층을 그것들의 중간에 연소대역을 개재시켜 연결하여 형성된 유해물질 소각계를 구비하고 있다. 이 처리로에 있어서는 유해 물질을 포함하는 피처리 가스와 연소 대역에서 생성된 고온 연소가스는 밸브 조작에 의해 충전층을 교차되게 유동함으로써 고온 연소 가스의 보유열은 충전층에 전달회수 된다.The regenerative hazardous material treatment system includes a hazardous material incineration system formed by connecting a plurality of stationary packed layers formed from a heat storage filler with a combustion zone interposed therebetween. In this treatment furnace, the target gas containing the hazardous substance and the hot combustion gas generated in the combustion zone flow through the packed bed by a valve operation so that the heat of retention of the hot combustion gas is transferred to the packed bed.

종래, 이와 같은 유해물질 처리로에 있어서, 그 충전층을 형성하는 축열용 충전물로서는 이형 벽돌이 사용되지만, 이 이형 벽돌로 형성된 충전층은 단위 체적당의 전열 면적이 10-25㎡/㎥으로 적고, 또 충전물 공간율(Voidage)이 0.3으로 낮은 것이므로, 처리로 전체가 대형이 되고 고가가 되는 결점이 있다. 여기서 공간율이라 함은 어느 용기 또는 탑 등의 가운데에 분체, 입체 또는 충전물을 채운 경우에 겉보기상의 전체적에 대한 공간의 체적의 비율을 밝힌다.Conventionally, in such a hazardous material treatment furnace, a release brick is used as a heat storage filling material for forming the filling layer, but the filling layer formed of the release brick has a small heat transfer area per unit volume of 10-25 m 2 / m 3, In addition, since the voidage is as low as 0.3, there is a drawback that the entire process becomes large and expensive. Here, the space ratio refers to the ratio of the volume of the space to the apparent whole when powder, solid, or filler is filled in the center of a vessel or tower.

한편, 이런 결점을 개선하기 위해 축열용 충전기액 접촉용의 충전탑에 사용되고 있는 비표면적이 높은 자기제 또는 금속제의 충전물, 예를 들어 락싱 링(Racshing Ring)또는 새들(Saddle)을 사용하여, 전열면적 100-400㎡/㎥, 공간율 0.7-0.74의 충전층을 얻는 것이 제안되어 있지만, 이 경우에는 충전물의 비표면적 및 공간율이 큰 것이 역으로 유해물질 처리효율을 저하하게 하는 문제가 생긴다.On the other hand, in order to alleviate this drawback, heat is transferred by using a magnetic or metal filler, such as a lacing ring or saddle, having a high specific surface area, which is used in a charging tower for contacting the charging liquid for heat storage. Although it is proposed to obtain a packed bed with an area of 100-400 m 2 / m 3 and a space ratio of 0.7-0.74, in this case, a large specific surface area and a large space ratio of the fillers adversely affects the treatment of harmful substances.

본 발명의 제1 목적은 축열형 유해 물질 처리로의 유해물질을 함유하는 가스의 소각 처리 방법을 제공하는 것이다.It is a first object of the present invention to provide an incineration treatment method for a gas containing a hazardous substance in a heat storage type hazardous substance treatment.

본 발명의 다른 목적은 간단한 조작에 의해 축열형 유해 처리로의 유해물질 처리 효율을 개성하는 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for improving the efficiency of treating hazardous substances in heat storage type hazardous treatment by simple operation.

본 발명의 또 다른 목적은 간단한 밸브 조작만으로 축열형 유해물질 처리로의 유해물질 처리 효율을 개선하는 방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a method of improving the treatment efficiency of harmful substances by regenerative hazardous substance treatment by simple valve operation.

본 발명에 의하면, 자기제 또는 금속제의 축열형 충전물로서 형성된 복수개의 정지 충전층을 그것들의 중간에 고온 연소대역을 개재시켜 연결하여 형성한 유해 물질 소각계를 구비하며, 밸브 조작에 의해 유해 물질을 포함한 피처리 가스와 고온 연소가스를 교차시켜 충전층을 유통시켜, 그것에 의해 고온 연소 가스로부터 그 보유열을 회수하도록 한 축열형 유해물질 처리로의 유해물질 처리 효율을 개선하는 방법에 있어서, 유해물질을 포함하는 피처리 가스를 소각계의 충전층(이 충전층은 연소대역으로 부터의 고온 연소가스의 유통에 의해 사전에 축열된 것이다) 중간을 그 충전층에 의해 가열시키면서 소각계로 부터의 가스가 피처리 가스보다도 적어도 20℃높은 소정 범위의 온도에 도달하기 까지 유통시켜 그 피처리 가스 대신에 청정가스(purge gas)로서 소각계로 부터의 배가스의 일부를 순환시켜 그 충전층 중을 연소대역의 방향으로 유통시켜 그것에 의해 충전층중에 포함된 유해가스를 연소 대역에 압출하여 소각하며, 그후 연소 대역으로 부터의 고온 연소가스를 그 청정된 충전층 중을 유통시켜 그것에 의해충전층에 축열시키며, 소각계의 각 충전층에 관해 상기 피처리가스, 청정가스 및 고온 연소가스의 유통을 순차적이며 주기적으로 행하게 함으호써 전체적으로 높은 유해물질의 처리 효율을 얻는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다.According to the present invention, there is provided a hazardous substance incineration system formed by connecting a plurality of stationary packed layers formed as magnetic or metal regenerative fillers through a high-temperature combustion zone therebetween, and a hazardous substance is removed by a valve operation. A method of improving the efficiency of processing hazardous substances in a heat storage type hazardous substance treatment in which a packed bed is passed through the gas to be treated and the hot combustion gas, thereby recovering the retained heat from the high temperature combustion gas. The gas from the incineration system is heated while the intermediate gas is heated in the incineration packed bed, which is preheated by the distribution of the hot combustion gas from the combustion zone. Purge gas is circulated until the temperature reaches a predetermined range at least 20 ° C higher than the target gas. s) circulates a part of the exhaust gas from the incineration system and distributes the inside of the packed bed in the direction of the combustion zone, thereby extruding the harmful gas contained in the packed bed into the combustion zone for incineration, and then high temperature from the combustion zone. The combustion gas is circulated in the clean packed bed and thereby regenerated in the packed bed, and the circulation of the treated gas, the clean gas and the hot combustion gas is sequentially and periodically performed for each packed bed of the incineration system. There is provided a method characterized by obtaining a high efficiency of treatment of hazardous substances.

본 발명에 있어서, 충전층의 형성에 사용되는 충전물을 자기제 또는 금속제의 요소이며, 그 공칭 직경(Nominal diameter)은 약3/4인치 내지 3인치이다. 이 충전물을 사용하여 충전층을 형성한 경우, 일반적으로, 그 단위 체적당의 전열 면적은 요소의 종류에 따라 다르지만, 대략 350-60㎡/㎥이고 공간율을 0.6-0.95이다.In the present invention, the filler used for forming the filling layer is a magnetic or metal element, and its nominal diameter is about 3/4 inch to 3 inch. When the packed layer is formed using this packing material, the heat transfer area per unit volume is generally about 350-60 m < 2 > / m < 3 >, and the space ratio is 0.6-0.95.

이하, 본 발명을 첨부 도면을 참고로 상세히 설명한다. 제1도 내지 제3도에서 축열형 유해 물질 처리로 10은 격벽 12에 의해 2개의 챔버가 나누어지며, 각 챔버는 각각 충전층 21a 및 21b를 가지고, 이 충전층 21a및 21b의 상부에는 공통 연소실 20이 형성되어 있다. 연소실 20에는 조연 버어너 11이 배설되며, 조연용의 연료 및 공기가 각각 라인 1및 2로부터 도입된다. 각 충전층 21a및 21b의 하부에는 충전층에 대한 가스의 도입 또는 배출을 균일하게 행하기 위한 하부 챔버 5a및 5b가 설계되며, 각 5a챔버 5b및 3a에는 각각 피치리 가스도입 라인 3b 및 7a의 일단이 연결되고, 그 타단은 각각 피처리 가스 입구 밸브 8a 및 8b를 개재하여 피처리 가스 공급 라인 3에 연결되고 있다. 또 이들 각 챔버 5a및 5b에는 각각 연소가스 도출관4a 및 4b의 일단이 연결되며, 그 타단은 연소 배가스 출구 밸브 8a및 8b및 배기 송풍기 6을 통해 연소 배가스의 배출라인 4에 연결된다. 또한, 각 챔버5a및 5b에는 순환가스 도입라인 13a및 13b의 일단이 연결되며 그 타단은 순환 배가스 입구 밸브 9a및 9b를 통해 배가스 순환 라인 13에 연결되고, 이 배가스 순환라인13은 연소가스 배출라인 4에 연결된다. 제1도 내지 제3도에 있어서 밸브를 나타낸 부호중 흑색은 폐쇄된 상태를 표시하고 백색은 개방 상태를 표시한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In FIG. 1 to FIG. 3, the heat storage type hazardous substance treatment 10 is divided into two chambers by partition walls 12, each chamber having filling layers 21a and 21b, respectively, and a common combustion chamber above the filling layers 21a and 21b. 20 is formed. A combustion burner 11 is disposed in the combustion chamber 20, and fuel and air for the support are introduced from lines 1 and 2, respectively. Lower chambers 5a and 5b are designed at the bottom of each packed bed 21a and 21b to uniformly introduce or discharge gas to the packed bed, and each of the 5a chambers 5b and 3a has a One end is connected, and the other end is connected to the to-be-processed gas supply line 3 via the to-be-processed gas inlet valve 8a and 8b, respectively. Each of these chambers 5a and 5b is connected to one end of the combustion gas discharge pipes 4a and 4b, respectively, and the other end thereof is connected to the discharge line 4 of the combustion exhaust gas through the combustion exhaust gas outlet valves 8a and 8b and the exhaust blower 6. In addition, one end of the circulating gas introduction lines 13a and 13b is connected to each chamber 5a and 5b, and the other end thereof is connected to the exhaust gas circulation line 13 through the circulating exhaust gas inlet valves 9a and 9b, and the exhaust gas circulation line 13 is a combustion gas discharge line. Is connected to 4. In Figs. 1 to 3, black indicates the closed state and white indicates the open state.

상기와 같이 구성된 2개의 충전층을 포함한 처리로를 조작하는데는 제1도와 같이 우선 밸브 9a, 8a, 7b 및 9b를 폐쇄하고, 밸브 7a및 8b를 개방하며 흡입 송풍기 6에 의해 유해물질을 포함한 피처리 가스를 라인 3으로부터 밸브 7a를 통해 처리로 10내에 도입한다. 처리로 내에 도입된 피처리 가스는 챔버 5a로 부터 충전층 21a를 통하며, 충전층 21a에 의해 에열된 상태로 연소실에 송출된다. 이 연소실 20은 고온 연소대역을 형성하며, 여기에는 조연 버어너 11이 배설되며, 석유 등의 조연제가 연소되어 고온(약 900℃)이 되므로, 피처리 가스중의 유해물질은 여기서 연소 또는 열분해 되어 무해물질로 변환된다. 이 연소실에서 생긴 고온 연소가스는 충전층 21b및 챔버 5b를 통해 밸브 8b로부터 연소가스 배출라인 4에 송출되어 그대로 또는 다른 처리가 되어 대기중에 방출된다.To operate the treatment furnace including the two packed beds configured as described above, the valves 9a, 8a, 7b, and 9b are first closed, the valves 7a and 8b are opened, and the inlet blower 6 contains no harmful substances. Process gas is introduced into the process 10 from line 3 via valve 7a. The to-be-processed gas introduced into the processing furnace passes through the packed bed 21a from the chamber 5a and is sent to the combustion chamber in a state of being heated by the packed bed 21a. The combustion chamber 20 forms a high temperature combustion zone, in which a supporting burner 11 is disposed, and a supporting agent such as petroleum is combusted to a high temperature (about 900 ° C), so that harmful substances in the gas to be treated are burned or pyrolyzed here. Converted into harmless substances. The hot combustion gas generated in this combustion chamber is sent from the valve 8b to the combustion gas discharge line 4 through the packed bed 21b and the chamber 5b, and is discharged to the atmosphere as it is or in another process.

이와같이, 일정시간 조작을 계속하면, 충전층 21a는 피처리 가스에 그 보유열을 주고 온도가 강하하며, 한편 충전층는 연소가스로부터 그 보유열을 받아 온도가 상승한다.In this manner, if the operation is continued for a predetermined time, the packed bed 21a gives the heat to be treated to the gas to be treated and the temperature drops, while the packed bed receives the heat from the combustion gas and rises in temperature.

그리고, 배출가스 온도도 충전층 21b의 온도 상승과 함께 상승한다. 이 배가스 온도가 어느 범위의 온도(배출가스 최고 온도)로 상승하면, 제어반(도시하지 않음)으로부터 자동적으로 밸브의 절환신호가 발생되어, 그것에 의해 제2도와 같이 밸브7a는 폐쇄되고, 밸브9a가 개방되며, 피처리가스 대신에, 라인 4 를 흐르는 최고 온도의 연소 배가스의 일부기 소각계의 청정가스로서 라인13, 밸브9a를 통하며 라인13a로 부터로내에 도입되고, 이 로내에 도입된 배가스는 챔버5a, 충전층 21a, 연소실 20및 충전층 21b을 순환한다. 이 배가스의 순환의 의해 챔버 5a및 충전 21a의 공간에 잔류하고 있던 피처리 가스는 연소실20에 압축되어 소각 처리된다. 또, 이 고온의 연소 배가스의 순환에 의해 챔버5a와 충전층 21a의 하부는 피처리 가스가 유통하는 경우 보다도 높은 온도로 가열되며, 그것에 의해 이 충전층 21a의 하부와 챔버 5a에 흡착하고 있던 흡착성의 유해 물질은 이탈하여 순환기스와 함께 연소실에 운반되어 소각된다.The exhaust gas temperature also rises with the temperature rise of the packed bed 21b. When the exhaust gas temperature rises to a certain range of temperature (highest exhaust gas temperature), a switching signal of the valve is automatically generated from a control panel (not shown), whereby valve 7a is closed as shown in FIG. 2 and valve 9a is closed. Part of the highest temperature combustion flue gas flowing in line 4, which is opened and introduced into the furnace from line 13a through line 13a and valve 9a as a clean gas of incineration system Circulates through the chamber 5a, packed bed 21a, combustion chamber 20 and packed bed 21b. By the circulation of this exhaust gas, the to-be-processed gas which remained in the space of chamber 5a and the filling 21a is compressed in the combustion chamber 20, and is incinerated. In addition, due to the circulation of the high temperature combustion exhaust gas, the lower part of the chamber 5a and the packed bed 21a is heated to a higher temperature than when the gas to be processed flows, thereby adsorbing the adsorption of the lower part of the packed bed 21a and the chamber 5a. Hazardous substances are released and transported together with the circulation gas to the combustion chamber for incineration.

이와 같이 정화처리를 일정시간 계속한 후 다시 밸브를 제3도와 같이 절환한다. 즉, 밸브9a 및 8b를 폐쇄하고, 밸브 8a및 7b를 개방한다. 그것에 의해 피처리 가스는 전의 경우와 반대로 챔버 5b에 되입되어 충전층 21b, 연소실 20, 충전층21a를 통하여 라인로 4부터 배출된다. 충층한 21b를 통할때, 피처리 가스는 이 충전층 21b가 앞의 처리에서 가열되어 축열되어 있으므로 이 충전층 21b에 의해 에열된다. 이렇게 해서 일정시간 처리되어 배가스 온도가 일정 범위의 온도에 도달하면, 밸브의 절환이 행해지며(즉, 제3도에 있어서, 밸브7b는 폐, 밸브 9b는 개) 그것에 의해 라인 4를 흐르는 배가스의 일부가 로내에 반환되어 제2도의 경우와 역방향으로 충전층 21a및21b와 연소실 20으로 형성된 소각계를 순환한다. 이와 같이 해서 로내의 정화 처리를 일정시간 행한 후, 다시 밸브의 절환이 행하여져 제1도에 도시된 최초의 처리로 돌아와 이하 전기한 바와 같이 하여 각 조작이 순차적으로 또한 동기적으로 반복되어 전체적으로 높은 유해물질의 처리 효율이 얻어진다.In this manner, after the purification process is continued for a predetermined time, the valve is switched again as shown in FIG. That is, the valves 9a and 8b are closed and the valves 8a and 7b are opened. As a result, the gas to be processed is returned to the chamber 5b as opposed to the previous case and discharged from the line 4 through the packed bed 21b, the combustion chamber 20, and the packed bed 21a. When passing through the filled layer 21b, the gas to be treated is heated by the packed layer 21b because the packed layer 21b is heated and regenerated in the previous process. In this way, when the exhaust gas temperature reaches a certain range of temperature after processing for a certain time, the switching of the valve is performed (that is, in FIG. 3, the valve 7b is closed and the valve 9b is open). A part is returned to the furnace to circulate the incineration system formed of the packed beds 21a and 21b and the combustion chamber 20 in the reverse direction to the case of FIG. In this manner, after the in-furnace purification process is performed for a predetermined time, the valve is switched again to return to the first process shown in FIG. 1 and the following operations are repeated sequentially and synchronously, as described below. The treatment efficiency of the material is obtained.

제4도는 제1도에 도시한 운전 상태에 있어서의, 충전층21a및 21b중의 각 온도 분포 T-a및 T-b를 도시하며, 또 충전층 21a및 21b를 통하는 가스 G1및 Gb의 각 충전층 중의 각 온도 분포 T-G및 TGb를 도시한 것이다. 이 도면에서, 종축은 충전층 21a및 21b의 챔버로 부터의 높이를 표시하며, X점은 그 높이가 영인 점(챔버와 접촉하는 위치)을, Y점은 그 최고 점(연소실에 접하는 위치)을 표시한다. 횡축은 상기한 가스 Ga및 Gb및 충전층 21a및 21b에 관한 온도를 표시하며, 우측 방향으로 감에 따라 온도가 높아지는 것을 나타낸다. 지금, 제4도의 가스Ga 및 Gb의 온도 분포 및 충전층 21a 및 21b의 온도 분포를 밸브의 절환을 행하기 직전의 시점에 대한 것으로 하면 T-Ga는 피처리 가스Ga가 표시하는 최저 온도 분포를 표시하며, T-Gb는 연소가스가 표시하는 최고온도 분포를 표시하고, 또 T-a는 충전층 21a의 최저 온도 분포를 표시하며, T-b는 충전층 21b의 최고 온도 분포를 표시한다. 또, 이 제4도는 도면중에 표시된 부호 a및 b를 역으로 하면, 제3도에 있어서 충전층의 온도 분포 및 충전증 층의 피처리 가스 및 연소 가스의 각 온도 분포를 그대로 표시하게끔 된다.4 shows the respective temperature distributions Ta and Tb in the packed beds 21a and 21b in the operating state shown in FIG. 1, and shows the respective temperatures in the packed beds of the gases G1 and Gb through the packed beds 21a and 21b. The distributions TG and TGb are shown. In this figure, the vertical axis represents the height from the chambers of the packed beds 21a and 21b, where X is the point whose height is zero (position in contact with the chamber) and Y is its highest point (position in contact with the combustion chamber). Is displayed. The horizontal axis indicates the temperatures related to the above-described gases Ga and Gb and the packed layers 21a and 21b, and indicates that the temperature increases as it goes to the right direction. Now, if the temperature distribution of the gas Ga and Gb of FIG. 4 and the temperature distribution of the packed layers 21a and 21b are about the time just before switching of a valve, T-Ga will represent the lowest temperature distribution which the to-be-processed gas Ga displays. T-Gb indicates the highest temperature distribution indicated by the combustion gas, Ta indicates the lowest temperature distribution of the packed bed 21a, and Tb indicates the highest temperature distribution of the packed bed 21b. In FIG. 4, if the signs a and b shown in the figure are reversed, the temperature distribution of the packed bed and the respective temperature distributions of the to-be-processed gas and the combustion gas of the packed bed layer in FIG. 3 are displayed as it is.

축열형 처리로에서는, 각 충전층 21a및 21b는 피처리 가스와 연소 가스가 교차하여 유통하며, 연소 가스의 보유열은 충전층을 통하여 피처리 가스에 전달된다. 이 피처리가스와 연소가스의 교차 유통마다 충전층 21a및 21b는 온도가 변화하지만, 그 온도 변화의 최대 시점은 유통 가스의 절환직후이며, 예를들어, 제4도에서 충전층21a의 온도 분포는 T-a로 부터 T-Gb부근으로 변화한다. 그 이유는 유통 가스의 절환 직후에는 최소 온도 분포T-Gb를 보이는 충전층 21a는 최고 온도 분포 T-Gb를 주는 고온 가스와 접촉하기 때문이다.In the heat storage type treatment furnace, each of the packed beds 21a and 21b flows alternately between the target gas and the combustion gas, and the heat of retention of the combustion gas is transferred to the target gas through the packed bed. The temperature of the packed beds 21a and 21b changes at each cross flow between the target gas and the combustion gas, but the maximum time point of the temperature change is just after the switching of the flow gas, for example, the temperature distribution of the packed bed 21a in FIG. Changes from Ta to near T-Gb. The reason for this is that the packed bed 21a showing the minimum temperature distribution T-Gb immediately comes into contact with the hot gas giving the highest temperature distribution T-Gb immediately after the switching of the flow gas.

제5도에, 피처리 가스로서 흡착성이 적은 저급 탄화수소(프로판 가스)를 0.1-0.2% 함유하는 상온의 공기를 사용하며, 청정가스로서 상온의 공기를 사용하여 처리를 행한 경우의 처리효울(탄화수소 제거울)과 청정 가스 유통 시간과의 관계를 도시한다. 제5도에서, 곡선 -1은 피처리 가스에 대한 청정가스의 유속비(ratio of flow velocity) r이 0.1인 경우의 결과를 도시하며, 곡선 -2는 r이 0.5, 곡선 -3은 r이 0.8, 곡선 -4는 r이 1.0인 경우의 결과를 도시한다. 이 도면에서 유해물질이 저급 탄화수소와 같이 흡착성이 적은 것일 경우는 일반적으로 처리 효율이 99.9% 이상인 결과를 얻는 대는 청정 가스 유속이 피처리 가스의 유속의 적어도 0.8배(r

0.8)이고, 청정가스 유통 시간이 7초 이상인 조건을 채용하면 충분한 것을 알 수 있다. 그러나, 유해물질이 메르캅탄류, 아민류 및 기타 유기염기류, 알데히드류, 유기산류, 페놀류, 알코올류 등의 헤테로 원자류(예를 들어 O, N 또는 S등)를 포함한 것인 경우 등 비교적 비점이 높은 방향족 탄화수소(예를 들어 나프탈렌)등의 유취 물질을 포함한 경우는 유해물질이 저급 탄화수소인 경우와는 달리 높은 처리효율을 얻는 것이 곤란하므로 상기한 저급 탄화수소를 포함한 피처리 가스에 관해 채용된 조건으로는 약 96-98%의 처리 효율 밖에 얻을 수 없는 것이 판명됐다. 본 발명에서는 이런 결점을 극복하기 위해 청정가스로서는 피처리 가스보다 고온의 가스, 보통 피처리가스 보다 적어도 20℃, 바직하게는 50℃이상 높은 온도의 소각게로 부터의 연소 배가스를 순환시켜 사용한다. 이 연소 배가스는 항상 피처리 가스 온도보다 높은 온도를 나타내지만, 동일 처계에서 생성하므로 용이하게 입수할 수 있는 이점을 가진다. 이 순환 배가스의 온도는 피처리 가스의 온도가 통상 130℃정도인 것을 고려하면, 일반적으로는 약 50-250℃, 바람직하게는 70-200℃의 온도이며, 피처리 가스 온도와 관련하여 적당히 정해진다.FIG. 5 shows the treatment effect when using normal temperature air containing 0.1-0.2% of lower hydrocarbon (propane gas) with less adsorptivity as the gas to be treated, and treating with normal temperature air as the clean gas (hydrocarbon And the clean gas distribution time. In FIG. 5, curve -1 shows the result when the ratio of flow rate r of clean gas to the target gas is 0.1, and curve -2 is r is 0.5 and curve -3 is r. 0.8, curve -4 shows the result when r is 1.0. In this figure, when the harmful substances are less adsorptive, such as lower hydrocarbons, the clean gas flow rate is generally at least 0.8 times the flow rate of the gas to be treated (r at a rate of 99.9% or more).

0.8) and a clean gas distribution time of 7 seconds or more is sufficient. However, comparatively, such as when the harmful substance contains heteroatoms such as mercaptans, amines and other organic bases, aldehydes, organic acids, phenols and alcohols (for example, O, N or S). When odorous substances such as high aromatic hydrocarbons (for example naphthalene) are contained, it is difficult to obtain high treatment efficiency unlike when harmful substances are lower hydrocarbons. Was found to yield only about 96-98% throughput. In the present invention, in order to overcome this drawback, the clean gas is used by circulating a combustion flue gas from an incinerator at a temperature higher than the gas to be treated, usually at least 20 ° C, and more preferably 50 ° C or higher. . This combustion flue gas always exhibits a temperature higher than the temperature of the gas to be treated, but has an advantage that it can be easily obtained since it is produced at the same level. The temperature of this circulating flue gas is generally about 50-250 ° C., preferably 70-200 ° C., considering that the temperature of the gas to be treated is usually about 130 ° C., and is appropriately determined in relation to the temperature of the gas to be processed. All.

처리로의 최적 청정 조건은 장치의 형상과 대소, 피처리 가스중의 유해 물질의 종류와 그 조성, 순화 배가스의 온도, 필요한 처리 효율 및 장치 건설비 등의 관점으로부터 정해진다. 예를들면, 2개의 충전층을 사용하는 경우는 청정 가스 유통시간중에는 피처리 가스의 소각에의 유통을 일시 정지할 필요가 있으므로, 그 청정 시간은 가능한 한 단축하여 충분한 청정 효과를 얻을 것이 요구되게 한다. 이 요구를 만족시키는 조건으로서는, 단위 시간당에 처리로 내에 공급하는 가스량으로 표시한 청정 가스 유속(ℓ/초)은 피처리 가스의 유속(ℓ/초)에 대하여 0.5-1.0배, 통상0.7-0.9배이며, 유통 시간은 소각 처리 시간이 60초 정도의 경우에 2-15초, 통상 7-12초이며, 이 조건을 만족시킴에 의해 극이 현저한 청정 효과가 얻어진다. 청정가스의 전 공급량은 그 입구측의 충전층중의 공간용적과 그 충전층에 연결되는 챔버의 공간 용적의 합계량(즉, 로내에 잔류하는 미처리 가스의 전용적)에 대하여 약 1.5-4.5배 정도다.The optimum clean conditions for the treatment furnace are determined in view of the shape and size of the apparatus, the type and composition of the harmful substances in the gas to be treated, the temperature of the purified flue gas, the required treatment efficiency and the cost of constructing the apparatus. For example, when two packed beds are used, it is necessary to temporarily stop the flow of the gas to be incinerated during the clean gas distribution time, so that the clean time is shortened as much as possible to obtain a sufficient clean effect. do. As a condition that satisfies this requirement, the clean gas flow rate (l / sec) expressed by the amount of gas supplied into the treatment furnace per unit time is 0.5-1.0 times the flow rate of the gas to be treated (l / sec), usually 0.7-0.9 The circulation time is 2-15 seconds and usually 7-12 seconds when the incineration treatment time is about 60 seconds. By satisfying this condition, a remarkable clean effect is obtained. The total amount of clean gas supplied is about 1.5 to 4.5 times the total amount of space in the packed bed at the inlet side and the space volume of the chamber connected to the packed bed (i.e., exclusive use of untreated gas remaining in the furnace). All.

상기한 것과 같은 조건하에서 청정 처리를 행하면, 소각계 내, 즉 챔버 공간 5a와 충전층 21a의 공간내에 잔류하고 있던 피처리 가스는 청정 가스로서의 순환 배가스에 의해 연소실 20로 압출됨과 동시에, 충전층 21a에 흡착하고 있던 흡착성의 유해물질은 충전층으로부터 이탈되어 연소실 20으로 압출된다.If the clean treatment is performed under the conditions as described above, the to-be-processed gas remaining in the incineration system, that is, in the space of the chamber space 5a and the packed bed 21a is extruded into the combustion chamber 20 by the circulating exhaust gas as the clean gas and at the same time, the packed bed 21a. Adsorbent harmful substances adsorbed on the ions are released from the packed bed and extruded into the combustion chamber 20.

이 충전층 21a로 부터 유해 물질이 이탈되는 이유는 제4도를 참고로 이해되는 것과 같이, 청정 가스의 온도가 피처리 가스 T-Ga온도 보다 높기 때문에 이 순환가스에 의해 가열되는 충전층 21a의 온도는 그 청정 가스에 의해 가열하기 직전의 충전층 21a의 온도 보다도 높아져, 충전층 21a의 온도가 유해물질의 이탈 온도 범위가 되기 때문이다.The reason why the harmful substances are separated from the packed bed 21a is as explained with reference to FIG. 4. As the temperature of the clean gas is higher than the T-Ga temperature of the target gas, the packed bed 21a heated by the circulating gas This is because the temperature is higher than the temperature of the packed bed 21a immediately before heating by the clean gas, and the temperature of the packed bed 21a is within the temperature range of the release of harmful substances.

본 발명에 있어서는 설명을 간단히 하기 위해서 제1도내지 제3도에는 2개의 충전층을 1개의 연소실과 조합하여 형성한 소각계의 경우의 예를 도시하지만, 필요에 따라서 3개의 충전층과 1개의 연소실을 조합한 각 계를 채용할 수도 있다. 제6도는 충전층을 3개 포함하는 처리로에 관한 설명도다.In the present invention, for the sake of simplicity, an example of an incineration system in which two packed beds are combined with one combustion chamber is shown in FIGS. 1 to 3, but three packed beds and one Each system which combined the combustion chamber can also be employ | adopted. 6 is an explanatory diagram of a processing furnace including three filling layers.

제6도에서, 축열형 유해 물질 처리로 10은 격벽 12로 나누어진 충전층 21a, 및 21b를 가지며, 이 충전층 21a, 21b 및 21c는 그 상부에 설치된 연소실 20을 통하여 유체적으로 연결되어 유해 물질 소각계를 형성한다. 연소실 20에는 조연 버어너 11이 배치되고 조연용의 연료 및 공기가 각각 라인 1및 2로 부터 도입된다. 각 충전층 21a, 21b, 21c의 하부에는 충전층에 대한 가스의 도입 또는 배출을 균일하게 행하기 위하여 하부 챔버 5a, 5b 및 5c(도시하지 않음)가 설치되며 각 챔버 51, 5b 및 5c에는 각각 T형 덕트 15a, 15b 및 15c(도시하지 않음)의 일단이 연결되며 그 타단의 1개는 각각 피처리 가스 입구 밸브 7a, 7b 및 7c(도시하지 않음)를 통하여 매니포울드 3m이 연결되며, 이 매니 포울드 3m은 피처리 가스 공급 라인 3에 연결되고 있다. 한편, 각 T형 덕트의 잔이 단부에는 연소배가스 출구 밸브 8a, 8b및 8c(도시하지 않음)을 통하여 매니 포울드 4m에 연결되고 이 매니 포울드 4m은 연소배가스의 배출라인 4에 연결된다.In FIG. 6, the regenerative hazardous material treatment 10 has a packed bed 21a, and 21b divided into partitions 12, which are fluidly connected through a combustion chamber 20 installed thereon to be hazardous. Form a material incineration system. In the combustion chamber 20, an assistant burner 11 is arranged and fuel and air for the assistant are introduced from lines 1 and 2, respectively. Lower chambers 5a, 5b, and 5c (not shown) are provided at the lower portions of each of the packed beds 21a, 21b, and 21c to uniformly introduce or discharge gas into the packed bed. One end of the T-shaped ducts 15a, 15b and 15c (not shown) is connected and one end of the other end is connected to the manifold 3m through the gas inlet valves 7a, 7b and 7c (not shown), respectively. This manifold 3m is connected to the gas supply line 3 to be processed. On the other hand, the remainder of each T-shaped duct is connected to the manifold 4m through the combustion exhaust gas outlet valves 8a, 8b and 8c (not shown), and the manifold 4m is connected to the exhaust line 4 of the combustion exhaust gas.

또한, 각 T형 덕트 15a, 15b및 15c의 중간부근에는 순환 배가스 입구 밸브 9a, 9b및 9c가 연결되며, 이 각 밸브는 순환 배가스 도입 매니 포울드13m에 연결되고 이 매니 포울드 13m은 송풍기 6을 통해 배가스 순환라인 13에 연결되며 이 배가스 순환라인 13은 연소 가스 배출 라인 4에 연결된다.In addition, circulating flue gas inlet valves 9a, 9b, and 9c are connected near the middle of each T-shaped duct 15a, 15b, and 15c, each of which is connected to a circulating flue gas introduction manifold 13 m, which is connected to a blower 6 m. Through the flue gas circulation line 13 which is connected to the flue gas discharge line 4.

제6도 및 제7도의 밸브를 표시하는 부호에서, 흑색은 폐쇄상태, 백색은 계방 상태를 표시한다.In the signs indicating the valves of Figs. 6 and 7, black denotes a closed state and white denotes an instrumental state.

상기한 바와 같이 구성된 처리로 10을 조작하는 데는 제8도에 도시한 절환 밸브 시간 도표에 따라 밸브를 개폐하면 좋다.In order to operate 10 by the process comprised as mentioned above, you may open and close a valve according to the switching valve time chart shown in FIG.

제8도에 있어서, 사다리꼴의 부분(trapezoidal block)은 해당 계소의 밸브가 개방된 상태를 도시하며, 이 사다리꼴의 가운데 표시된 I, E 및 P는 해당 개소의 충전층에 각각 피처리가스, 연소가스 및 퍼어즈용의 청정가스(순환 배가스)가 유통하고 있는 것을 나타낸다.In FIG. 8, the trapezoidal block shows a state in which the valve of the corresponding opening is opened, and I, E, and P indicated in the center of the trapezoid are respectively treated gas and combustion gas in the packed bed of the corresponding place. And circulating clean gas (circulating exhaust gas).

제6도 및 제7도에서 밸브의 개폐 상태는 제8도에서 시간대(time period)에 대응하는 것이며, 즉 밸브 7a, 8b및 9c가 개방되고, 밸브 7b, 7c, 8a, 8c, 9a 및 9b가 폐쇄된 상태다. 일반적으로는 입구 밸브 및 출구 밸브가 개방되어 있는 시간은 약 60초이며, 밸브의 개폐에 요하는 시간은 1-2초다. 퍼어즈(purge)시간은 약 55초 정도이다. 밸브의 개폐는 각 충전층이 열 회수 상태에 있는 경우(즉, 연소가스 E가 유통하고 있는)의 충전층 출구 부근의 배가스 온도를 검출하여 일련의 프로그램된 순서에 따라 행해진다. 예를 들면, 제8도에서 충전층 21b의 출구로 부터의 배가스 온도를 검출하여 발생된 신호는 쇄신화살표 방향으로 송출되어 충전층 21c의 퍼어즈 밸브 9c를 폐쇄함과 동시에 출구 밸브 8c를 개방하여 순차적으로 밸브 8b를 폐쇄하고 밸브 7b를 개방하며 밸브7a를 폐쇄하고 밸브9a를 개방한다.The opening and closing states of the valves in Figs. 6 and 7 correspond to the time period in Fig. 8, i.e. valves 7a, 8b and 9c are opened and valves 7b, 7c, 8a, 8c, 9a and 9b Is closed. In general, the opening time of the inlet valve and the outlet valve is about 60 seconds, and the time required for opening and closing the valve is 1-2 seconds. The purge time is about 55 seconds. Opening and closing of the valve is performed according to a series of programmed procedures by detecting the exhaust gas temperature near the outlet of the packed bed when each packed bed is in the heat recovery state (i.e., the combustion gas E is circulated). For example, in FIG. 8, the signal generated by detecting the exhaust gas temperature from the outlet of the packed bed 21b is sent in the direction of the arrow to be closed to close the fuse valve 9c of the packed bed 21c and simultaneously open the outlet valve 8c. In turn, valve 8b is closed, valve 7b is opened, valve 7a is closed, and valve 9a is opened.

이후, 3개의 충전층을 사용하는 경우에 대하여 구체적으로 설명한다. 제6도 및 제7도에서, 80℃의 악취유해가스가 매니 포울드 3m으로부터 입구 밸브 7a를 경유하여 챔버 공간 5a를 통하여 충전층 21a를 통과 상승하며 예열되어 약 730℃로 연소실 20에 들어간다. 여기서 보조 버어너 11의 연소 가스에 의해 800℃로 승온되며 충분한 체류시간을 경과하여 유해물질의 소각을 완료한다. 소각실 20에서 생긴 연소가스는 충전층 21b를 흘러내리며 그 사이에 충전물에 열을 주며 그 자신은 승온한 후 챔버공간 5b를 통해 T형 덕트의 출구 밸브8b를 통해 배기 매니 포울드 4m으로 이동하며 배기 덕트 4로부터 방산된다. 이 배가스의 일부는 청정 가스로서 순환 송풍기 6에 의해 순환가스 매니포울드 13m에 송출되며 여기서부터 순환가스 밸브9c를 통해 챔버 공간 5c에 송출되며, 충전층 21c를 유통한다.Hereinafter, the case where three filling layers are used is demonstrated concretely. In FIG. 6 and FIG. 7, the odor harmful gas of 80 degreeC rises through the filling space 21a through the chamber space 5a from the manifold 3m via the inlet valve 7a, and preheats and enters the combustion chamber 20 at about 730 degreeC. In this case, the combustion gas of the auxiliary burner 11 is raised to 800 ° C. and the incineration of the toxic substances is completed after sufficient residence time. The combustion gas from the incineration chamber 20 flows down the packed bed 21b and heats the filling between them.Then, after heating up, it moves to the exhaust manifold 4m through the outlet valve 8b of the T-type duct through the chamber space 5b. It is released from the exhaust duct 4. A part of this exhaust gas is sent to the circulating gas manifold 13m by the circulating blower 6 as clean gas, and it is sent out to the chamber space 5c through the circulating gas valve 9c from this, and distributes the packed bed 21c.

이 경우의 순화 배가스 유량은 피처리 가스량의 약 10-15%이다. 따라서 이 순환 배가스를 위한 배관. 밸브 등은 당연히 소형이 된다.In this case, the flow rate of the purified exhaust gas is about 10-15% of the amount of the gas to be processed. Thus piping for this circulating flue gas. The valve and the like are of course small.

충전층 21b로 부터의 배가스 온도가 150℃가 되면, 그 신호에 의해 밸브의 전환이 행해진다. 우선, 챔버공간 5c의 출구 밸브 8c가 개방됨과 동시에 순환가스 밸브 9c가 폐쇄되며, 챔버공간 5b에 연결하는 T형 덕트의 출구밸브8b가 폐쇄된다. 계속해서, 동일 덕트의 입구 밸브7b가 개방된다. 이 입구 밸브7b가 개방되면, 챔버공간5a에 연결하는 T형덕트의 입구 밸브7a가 폐쇄되며, 동시에 순환 배가스 입구 밸브 9a가 개방된다. 이와같은 일련의 밸브 절환 조작에 의해 이번에는 유해물질 함유 피처리 가스는 챔버 공간 5b및 충전층 21b를 통해 연소실20에 송출되며, 여기서 상기와 같은 소각 처리를 받는다. 생성 연소가스는 충전층21C를 통하여, 그 사이에서 열이 회수된 후 챔버 공간 5c에 연결하는 T형 덕트의 출구밸브 8c로부터 계외로 배출된다. 그리고, 이 배가스의 일부는 청정 가스로서 밸브 9a및 T형 덕트 15a를 통해 챔버공간5a에 순환되며 그 통로인 T형 덕트 15a, 챔버공간 5a및 충전층 21a를 퍼어즈 하면서 연소실 20에 송입된다.When the exhaust gas temperature from the packed bed 21b reaches 150 ° C, the valve is switched by the signal. First, the outlet valve 8c of the chamber space 5c is opened and the circulating gas valve 9c is closed, and the outlet valve 8b of the T-type duct connected to the chamber space 5b is closed. Subsequently, the inlet valve 7b of the same duct is opened. When the inlet valve 7b is opened, the inlet valve 7a of the T-shaped duct connected to the chamber space 5a is closed, and at the same time, the circulating exhaust gas inlet valve 9a is opened. By this series of valve switching operations, the to-be-processed gas containing toxic substances is sent to the combustion chamber 20 through the chamber space 5b and the packed bed 21b at this time, and is subjected to the incineration treatment as described above. The generated combustion gas is discharged out of the system through the packed bed 21C from the outlet valve 8c of the T-type duct connected to the chamber space 5c after heat is recovered therebetween. A part of this exhaust gas is circulated to the chamber space 5a through the valve 9a and the T-shaped duct 15a as clean gas, and is fed into the combustion chamber 20 while purging the passages of the T-shaped duct 15a, the chamber space 5a and the packed bed 21a.

이상과 같은 밸브의 절환 조작을 3개의 충전층에 대하여 순차적 및 주기적으로 행함으로써, 피처리 가스의 로내에의 공급을 정지함이 없이 연속적 및 전체적으로 높은 처리효율로 피처리 가스중의 유해 물질을 소각할 수 있다.By performing the above-mentioned valve switching operation sequentially and periodically for the three packed beds, incineration of harmful substances in the gas to be treated with continuous and high processing efficiency without stopping supply of the gas to be processed into the furnace. can do.

본 발명에서, 3개 이상의 충전층을 포함하는 처리로의 경우는 그 충전층 가운데의 적어도 1개를 순화 배가스에 의한 피어즈용으로 적용함으로써 밸브의 절환 조작시에 로내에의 피처리 가스의 공급을 정지할 필요가 없어지므로, 개의 충전층을 포함하는 처리로의 경우보다도 현저하게 유리하지만, 그 청정 처리는 피처리 가스 유량의 5-25%, 바람직하계는 10-15%의 적은 유량의 청정 가스를 처리 조작중 퍼어즈하여야할 T형 덕트, 챔버 공간 및 충전층에 연속적으로 흐르게 함으로써 실시할 수 있다. 물론, 이 청정 처리는 2개의 충전층을 사용하는 경우와 같이, 대량의 순환 배가스를 단시간 흐르게 함으로써 행할 수 있지만 이 경우는 밸브, 송풍기, 덕트 등은 대형을 채용할 필요가 있어 건설비의 면에서는 불리하계 된다.In the present invention, in the case of a treatment furnace including three or more packed beds, at least one of the packed beds is applied for piercing by purified flue gas so that the supply of the gas to be processed into the furnace during the valve switching operation is prevented. Since there is no need to stop, it is more advantageous than in the case of a treatment furnace containing two packed beds, but the clean treatment is 5-25% of the flow rate of the gas to be treated, preferably 10-15% of the clean gas at a lower flow rate. Can be carried out continuously through the T-shaped ducts, chamber spaces and packed beds to be purged during processing operations. Of course, this clean treatment can be performed by allowing a large amount of circulating exhaust gas to flow for a short time, as in the case of using two packed beds, but in this case, a valve, a blower, a duct, etc. need to be large in size, which is disadvantageous in terms of construction cost. It is summer.

본 발명에 따르면, 비교적 간단한 조작에 의해 축열형 유해물질 처리로의 처리효율을 비약적으로 개선할 수 있으며, 본 발명은 공해 방지상 기여함이 극히 크며, 본 발명이 처리 가능한 유해물질로서는 유취성분, 대기오염 성분등을 전부 포함하므로 그 적용 범위가 넓다.According to the present invention, it is possible to dramatically improve the treatment efficiency of the heat storage type hazardous substance treatment by a relatively simple operation, the present invention contributes to the pollution prevention extremely, the hazardous substance which can be treated as the present invention is a odorous component, Its application range is wide because it includes all air pollution components.

이하, 본 발명을 실시예에 의해 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an Example demonstrates this invention concretely.

[실시예]EXAMPLE

처리 가스량 100N㎥/H의 축열형 유해물질 처리로에 의해 1회의 처리시간 약60호, 연소실 온도 1100℃, 배출 연소가스 최고 온도 140℃의 조건으로서, 프린트 배선기판 제조 공정으로부터 배출된 50℃의 유취가스(페놀, 포름알데히드 등을 포함한다)를 처리한다. 이 경우 청정 처리는 청정 가스로서 통상의 공기, 가열공기 및 처리로로 부터의 배기가스를 사용하고 있다. 그 결과는 하기표와 같다.50 ° C discharged from the printed wiring board manufacturing process under conditions of a processing time of about 60, a combustion chamber temperature of 1100 ° C, and a maximum discharge gas temperature of 140 ° C by a regenerative hazardous material treatment furnace having a processing gas amount of 100 Nm 3 / H. Treats odorous gases (including phenol and formaldehyde). In this case, the clean treatment uses normal air, heated air, and exhaust gas from the treatment furnace as the clean gas. The results are shown in the table below.

[표 I]TABLE I

Claims (1)

자기제 또는 금속제의 열교환용 충전물로 형성된 복수개의 정지충전층을 그 사이에 고온 연소 대역을 개재시켜 연결하여 형성한 유해물질 소각계를 구비하며, 유해물질을 함유하는 피처리 가스를 연소 대역으로 부터의 고온 연소 가스의 유통에 의해 사전에 축열된 충전층에 유통시켜 열교환에 의해 피처리 가스를 예비 가열한 후, 연소 대역으로 보내 유해물질을 연소 처리하고 얻어진 고온 연소 가스를 별도의 충전층에 유통시켜 열교환에 의해 연소가스를 냉각시킨 후 계외로 배출시키며, 밸브 조작에 의해 각 충전층에 대해 순차적 및 조기적으로 피처리 가스 및 고온 연소가스를 유통시킴으로써, 열회수를 행하며 유해물질을 소각처리 하도록 하는 축열형 유해물질 처리로에 의해 유해물질을 처리하는 방법에 있어서, 상기 유통로의 절환을 계외로 배출되는 냉각된 연소가스가 피처리 가스보다 50℃이상 높은 소정의 온도가 되도록 행함과 동시에 절환시에 잔류한 피처리 가스를 포함하는 충전층에 상기 50℃ 이상 높은 배출가스의 일부를 도입하여 잔존하는 피처리 가스를 고온 연소대에 압출하게 하는 것을 특징으로 하는 유해물질을 함유하는 가스의 소각처리 방법.Hazardous substances incineration system formed by connecting a plurality of stationary charging layers formed of magnetic or metal heat exchange fillers through a high temperature combustion zone therebetween, and the target gas containing hazardous substances from the combustion zone. The preheated gas to be treated by heat exchange is pre-heated by the heat exchanged by the distribution of hot combustion gas, and then sent to the combustion zone to combust the hazardous substances, and the high temperature combustion gas obtained is distributed to the separate packed bed. By cooling the combustion gas by heat exchange and then discharging it out of the system, and by circulating the treated gas and the hot combustion gas sequentially and early in each packed bed by the valve operation, it recovers the heat and incinerates harmful substances. A method of treating a hazardous substance by a heat storage type hazardous substance treatment furnace, wherein the switching of the distribution channel is performed out of the system. The cooled combustion gas discharged is discharged to a predetermined temperature higher than the target gas by 50 ° C. or more, and a part of the discharge gas higher than 50 ° C. or higher is introduced into the packed bed containing the target gas remaining at the time of switching. An incineration treatment method for a gas containing a toxic substance, characterized by extruding a gas to be treated to a high temperature combustion zone.

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