KR830001893B1

KR830001893B1 - Non-Dispersive Infrared Analyzer

Info

Publication number: KR830001893B1
Application number: KR1019800002611A
Authority: KR
Inventors: 다까오 이마기; 하지메 미가사; 니로오 사까이
Original assignee: 가부시기가이샤 호리바세이사구쇼; 오오우라 마사히로
Priority date: 1980-07-02
Filing date: 1980-07-02
Publication date: 1983-09-17
Also published as: KR830003738A

Abstract

내용 없음.No content.

Description

비분산형 적외선 분석계Non-Dispersive Infrared Analyzer

제1도는 종래의 비분산형 적외선 분석계의 구성을 표시한 도면.1 is a diagram showing the configuration of a conventional non-dispersion infrared analyzer.

제2도, 제3도는 본 발명의 제1, 제2실시예를 표시한 구성도.2 and 3 are diagrams showing the first and second embodiments of the present invention.

제4도는 간섭부분의 영향을 제거하는 연산을 행하는 전기회로를 검출기에 접속한 본 발명의 실시예를 표시한 회로도.4 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention in which an electrical circuit for performing an operation for removing the influence of an interference portion is connected to a detector.

본 발명은, 비분산형 적외선 분석계에 관한 것으로, 상세히는 시료우체중에 함유되는 복수종류의 측정대상 성분을 한대의 분석계로 동시에 측정할 수 있는 상기 분석계에 관한 것이따.The present invention relates to a non-dispersive infrared spectrometer, and more particularly, to the analytical system capable of simultaneously measuring a plurality of types of measurement target components contained in a sample body with one analyzer.

다성분을 한대의 분석계로 동시에 측정할 경우는 한 성분만을 한대의 분석계로 측정하는 경우에 비해서 문제가 많다. 예를들면 각 성분을 측정하기 위한 복수의 검출기 상호간의 위상조정, 광학조정을 행하지 않으면 안되고, 또 광량의 변화, 셀의 오염등의 드리프트 요인이 각 측정 성분마다 상이한 크기로 영향을 미치게 되기 때문에, 각 검출기마다 제로드리프트에 대한 조정을 행하지 않으면 안된다. 예를들면 제1도에 표시한 종래의 다성분 측정용의 비분산형 적외선 분석계에 있어서 광학조정에 대해서는 각 검출기(1)……사이에 차광판(2)……을 개재시켜서 대처하고 있으나, 이를 위한 공간이 필요하며 공간적 손실이 많다. 또, 드리프트 요인에 의한 폐해에 대해서는, 각 검출기(1)……의 전기적 조정을 세밀하게 행하므로서 대처하고 있으나, 그래도 완전하다고는 할 수 없으며, 또 그 조정이 번잡하여 시간을 요한다는 결점이 있다. 또한, 이 분석계는, 쵸퍼(3)의 회전에 다라서 광로를 단속하고 있기 때문에, 쵸퍼의 받침 위치가 조금이라도 벗어라면 쵸퍼날개가 2개의 광로(4),(5)를 차단하는 각도에 변이가 생겨, 이것에 의해서 SN비가 나빠진다는 결점이 있다. 그 결과, 예를들면 시료유체중에 측정성분의 하나가 고농도이고 다른 하나가 저농도인 경우, 한쪽의 측정성분은 측정할 수 있어도 다른 성분은 셀 길이를 바꾸지 않는 한 측정할 수 없게 된다. 일반적으로 시료유체는 각측정 성분 농도가 상기한 바와 같이 상이한 것이 보통이며, 따라서 상기 분석계는 각 측정성분농도에 대차없는 시료유체에 대해서 밖에 적용할 수 없다는 커다란 문제점이 있다. 반대로 말한다면, 상기 분석계로 통상의 시료유체를 측정하면, 각 검출기(1)……의 감도는 현저하게 다르며, 또 정밀도도 마찬가지로 다르게 된다는 측정상의 치명적인 지장을 초래하게 된다. 또, 다성분 측정의 경우, 각 측정성분의 특성흡수 파장영역이 때때로 겹쳐지게 되므로 서로 간섭영향을 미치게 하기 때문에, 미국 특허 제3,898,462호에 표시되어 있는 바와 같이, 각 검출기로 부터의 출력을 서로 연산 처리할 필요가 있으나, 제로드리프트, 위상변이가 생겼을 경우, 제로조정, 위상조정을 행함과 동시에 상기 연산처리의 조정도 다시 해야 될 필요가 있어, 매우 번잡한 작업이 된다.When measuring multiple components simultaneously with one analyzer, there are many problems compared to measuring only one component with one analyzer. For example, the phase and optical adjustments between a plurality of detectors for measuring each component must be performed, and drift factors such as changes in the amount of light and contamination of the cells have different magnitudes for each measurement component. Each detector must be adjusted for zero drift. For example, in the conventional non-dispersion type infrared spectrometer for multi-component measurement shown in FIG. … Between light blocking plates 2... … We cope with this, but we need space for this and there is a lot of space loss. Moreover, about the damage by a drift factor, each detector (1) ... … Although the electrical coordination of the electrical coordination is carried out in detail, there is a drawback that it is not perfect, and that the coordination is complicated and requires time. In addition, since this analyzer is intermittently controlling the optical path according to the rotation of the chopper 3, if the chopper support position is slightly off, the chopper wing is displaced at an angle of blocking the two optical paths 4 and 5. There is a drawback that SN ratio worsens by this. As a result, for example, when one of the measurement components is high concentration and the other is low concentration in the sample fluid, one measurement component can be measured, but the other component cannot be measured unless the cell length is changed. In general, the sample fluid generally has different concentrations of the respective measured components as described above, and therefore, there is a big problem that the analytical system can be applied only to the sample fluid having no balance for each measured component concentration. Conversely, if the normal sample fluid is measured with the analyzer, the detectors 1... … The sensitivity of is significantly different, and the precision is similarly different, which causes the fatal measurement problem. Also, in the case of multi-component measurements, the characteristic absorption wavelength ranges of the respective measurement components sometimes overlap each other, which causes interference with each other. As shown in US Patent No. 3,898,462, the output from each detector is calculated from each other. Although it is necessary to perform the processing, when zero drift and phase shift occur, it is necessary to perform the zero adjustment and phase adjustment as well as the adjustment of the calculation process again, which is very complicated work.

본 발명은, 위상조정이 필요없고 또한 제로드리프트에 대한 조정도 필요없게 할 수 있고, 또한 SN비를 향상시킬 수 있어서 동일한 셀 길이로 다성분을, 고감도, 고정밀도로 측정할 수 있다는 극히 현저한 이점을 갖는 복수성분 동시측정용의 비분산형 적외선 분석계를 제공하려는 것이다. 즉 본 발명에 관한 비분산형 적외선 분석계는, 셀에 기준유체(제로유체 또는 인정농도의 유체)와 시료유체를 교호로 절환해서 공급하는 소위 유체변조방식을 채용함과 동시에, 각 측정대상 성분에 대응하는 복수개의 콘덴서 마이크로폰형 검출기 혹은 마이크로 프로우감지기 등의 뉴우매틱형 검출기를 광원에 대해서 광학적 직렬 관계로 배치한 것을 요지로 하는 것이다.The present invention eliminates the need for phase adjustment, eliminates the need for zero drift, and improves the SN ratio, thus making it possible to measure multiple components with the same cell length with high sensitivity and high accuracy. It is an object of the present invention to provide a non-dispersive infrared spectrometer for measuring plural components simultaneously. In other words, the non-dispersive infrared spectrometer according to the present invention adopts a so-called fluid modulation method of alternately supplying a reference fluid (zero fluid or a fluid of a recognized concentration) and a sample fluid to a cell, and correspond to each component to be measured. It is a summary that a pneumatic type detector such as a plurality of condenser microphone type detectors or micro-probe detectors is arranged in optical series with respect to a light source.

이하 본 발명에 관한 비분산형 적외선 분석계의 실시예를 제2도,제3도,제4도에 따라서 설명한다. 제2도는 단식셀형의 비분산형 적외선 분석계를 표시한 것이며, 동 도면에 있어서, (21)온 적외선을 조사하는 광원, (22)는 유체입구(22a)와 출구(22b)를 가진 서로 시료 셀(23a)는 시료유체, 예를 들면 시료 가스의 공급유료, (23b)는 기준유체, 예를 들면 제로가스 또는 일정농도의 가스(이하, 제로가스이 경우로 설명한다)의 공급유로, (24)는 유로 절환밸브이고, 이것을 적당한 주기로 절환하므로서 시료 셀(22)내에 일정량의 시료가스와 제로가스를 교호로 공급한다. (25),(29),(27)은 각 측정대상성분에 대응하는 뉴우매틱형 검출기, 예를들면 콘덴서 마이크로폰형 검출기이고, 이것들을 광원(21)에 대해서 광학적 직렬관계로 배치하고 있다. 예를 들면 검출기(25)는 CO,(26)은 CO₂, (27)은 HC의 측정용이며, 이 때문에 각 검출기의 수광실(25a),(26a),(27a)에는 당해 검출기의 각 측정대상성분과 제로가스를 일정분압으로 구성한 혼성가스가 봉입되어 있다. 또한 콘덴서 마이크로폰형 검출기 대신에, 검출기내의 2개 실사이에 백금 등의 열선을 설치하여, 양 실내가스의 적외선 흡수에 의해서 생기는 압력차에 의한 바람의 흐름이 상기 열선에 작용해서 저항치를 변화시킨다는 원리를 이용한 소위 마이크로 프로우 감지기를 사용해도 되는 것은 물론이다. 도면중 (28),(29),(30)은 증폭기이며, 각 증폭기로 부터의 출력은 필요에 따라서(측정성분이 서로 간섭영향을 미치게 하는 경우), 간섭영향을 제거하기 위해서 연산 처리된다.An embodiment of a non-dispersion infrared spectrometer according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2, 3, and 4. 2 shows a single cell non-dispersive infrared spectrometer, in which the light source (21) irradiates on infrared rays, and (22) are sample cells having a fluid inlet (22a) and an outlet (22b). 23a) is a supply fluid of a sample fluid, for example, a sample gas, 23b is a supply fluid of a reference fluid, for example zero gas or a certain concentration of gas (hereinafter referred to as zero gas). It is a flow path switching valve, and a predetermined amount of sample gas and zero gas are alternately supplied into the sample cell 22 by switching at an appropriate period. (25), (29) and (27) are pneumatic detectors corresponding to the respective measurement target components, for example, condenser microphone detectors, which are arranged in optical series with respect to the light source 21. For example, the detector 25 is CO, 26 is CO ₂ , and 27 is for measuring HC. Therefore, the detectors 25a, 26a, and 27a of the detectors are used to measure the angle of the detector. A mixed gas containing a component to be measured and zero gas at a constant partial pressure is enclosed. In addition, instead of the condenser microphone type detector, a heating wire such as platinum is provided between two chambers in the detector so that the flow of wind caused by the pressure difference caused by infrared absorption of both indoor gases acts on the heating wire to change the resistance value. It is of course possible to use the so-called micro probe detector. (28), (29), (30) in the figure are amplifiers, and the outputs from the respective amplifiers are computed to remove the interference effects as necessary (when the measurement components cause interference with each other).

이 구성에 의하면, 유로절환밸브(24)의 절환동작에 의해 시료셀(22)내에 시료가스왔 제로가스가 교호로 공급된다는 소위 유체변조가 행하여지기 때문에, 광원(21)에서 나온 적외광에 대하여 시료셀(22)내에서 측정대상성분에 의한 흡수가 행하여저 변조된 빛으로서(시료가스 공급시) 혹은 흡수되지 않고 그대로 통과하여(제로가스 공급시), 각 검출기의 수광실(25a),(26a),(27a)에 들어가 각 검출기 마다에 시료 가스중의 대응한 각 측정대상성분의 농도를 표시한 신호를 얻는 것이다. 다음에 제3도는 복식 셀형의 비분산형 적외선 분석계를 표시한다. 복식 셀형의 유체변조방식에 의한 비분산형 적외선 분석계에 대해서는, 앞서 본원출원인에 의해서 출원되어 있으며, 제3도는 그 복식 셀형의 유체변조방식에 의한 비분산형 적외선 분석계에 본 발명을 적용한 실시예를 표시한 것이다. 동 도면에 있어서(23a)는 시료유체, 예를들면 시료 가스의 공급유로, (23b)는 제로유체, 예를들면 제로가스의 공급유로, (28).(29),(30)은 증폭기, (31),(31')는 한쌍의 광원, (32),(32')는 한쌍의 셀, (35),(36),(37)는 각 측정대상성분(본 실시예에서는 CO,HC 및 NO가스)에 대응하는 뉴우매틱형 검출기, 예를 들면 콘덴서 마이크로폰형 검출기이고, 각 검출기(35),(36(,(37)는 각기 2개의 수광실(35a,b)(36a,b),(37a,b)을 가지며, 각 조의 양실이 함께 대응하는 각 측정대상성분과 제로가스와의 혼성가스가 봉입되어 있다(예를 들면 수광실(35a,b)에는 CO가스와 제로가스와의 혼성가스가 봉입되어 있다). 또한, 제3도에 표시함과 같이, 수광실(35a),(36a),(37a)은 광원(31)에 대해서 광학적 직력관계로 수광실(35b),(36b),(37b)은 광원(31)에 대해서 광학적 직렬관계로, 각기 배치되어 있다. (34)는 유로절환밸브이며, 한쪽의 셀(32)(또는 (32')에 시료가스를 공급하고 있는 동안 다른쪽 셀(32')(또는 32)에 제로가스를 공급해서, 정기적으로 또한 교호로 각기 일정량의 시료가스 및 제로가스를 각 셀(32),(32')에 공급하는 작용을 담당한다.According to this structure, since the so-called fluid modulation that the sample gas and zero gas are alternately supplied into the sample cell 22 by the switching operation of the flow path switching valve 24 is performed, the infrared light emitted from the light source 21 is applied. Absorption by the component to be measured in the sample cell 22 is performed as low-modulated light (when supplying the sample gas) or as it is without being absorbed (when supplying zero gas). Entering 26a) and 27a, a signal indicating the concentration of each corresponding measurement target component in the sample gas is obtained for each detector. 3 shows a double cell non-dispersion infrared analyzer. A non-distributed infrared analyzer based on a double cell type fluid modulation method has been previously filed by the present applicant, and FIG. 3 shows an embodiment in which the present invention is applied to a non-distributed infrared analyzer based on a double cell type fluid modulation method. will be. In the figure, reference numeral 23a denotes a supply flow of a sample fluid, for example, a sample gas, and 23b denotes a supply flow of a zero fluid, for example, zero gas, (28). (29), (30) denote an amplifier, (31) and (31 ') are a pair of light sources, (32) and (32') are a pair of cells, and (35), (36) and (37) are the components to be measured (CO, HC in this embodiment). And a pneumatic detector corresponding to NO gas), for example, a condenser microphone type detector, and each of the detectors 35 and 36 (, 37 is two light receiving chambers 35a and b, respectively, 36a and b). And (37a, b), and a mixed gas of zero gas and each component to be measured in which both chambers of the tank correspond together (for example, in the light receiving chambers 35a, b), In addition, as shown in FIG. 3, the light receiving chambers 35a, 36a, and 37a are formed in the optical light receiving chamber 35b, (in an optical linear relationship with respect to the light source 31). 36b and 37b are arrange | positioned in optical series with respect to the light source 31, respectively. It is a round-valve valve, while supplying zero gas to the other cell 32 '(or 32) while supplying sample gas to one of the cells 32 (or 32'). It is responsible for supplying sample gas and zero gas to each of the cells 32 and 32 '.

다음에, 제4도는 각 측정대상성분이 서로 간섭영향을 미치게 하는 경우에, 각 증폭기(상기 제2도 또는 제3도에 표시한 (28),(29),(30)로 부터의 출력을 상기 간섭영향을 제거하기 위한 연산처리를 행하도록 구성한 공지의 회로를 표시한다. 동 도면에 있어서, (49),(54),(59)는 간섭보상용 출력의 레벨설정기(전위차게), (70),(71),(73),(74),(76),(77)은 간섭신호 입력라인, (79),(80),(81)은 도체, (52),(57),(62)는 가산기, (53),(58),(63)은 기록계이다.Next, FIG. 4 shows the outputs from the respective amplifiers (28, 29, 30 shown in FIG. 2 or FIG. 3) in the case where the components to be measured have an interference effect on each other. A well-known circuit configured to perform arithmetic processing to remove the interference influence is shown in Fig. 4. In the same figure, reference numerals 49, 54, and 59 denote level setters (potential differences) of the output for interference compensation; (70), (71), (73), (74), (76), (77) are interference signal input lines, (79), (80), (81) are conductors, (52), (57) And (62) are adders, and (53), (58) and (63) are recorders.

그리고 앰프(28)로 부터이 출력신호는 조정용 탭(50),(51)을 가진 분압기(49), 및 가산기(52)에 인가되고, 앰프(29)로 부터의 출력신호는 조정용 탭(55),(56)을 가진 분압기(54) 및 가산기(57)에 인가되며, 앰프(30)로 부터의 출력신호는 조정용 탭(60),(61)을 가진 분압기(59) 및 가신기(62)에 인가된다.The output signal from the amplifier 28 is applied to the voltage divider 49 having the adjusting taps 50 and 51, and the adder 52, and the output signal from the amplifier 29 is supplied to the adjusting tap 55. Is applied to voltage divider 54 and adder 57 with, 56, and output signal from amplifier 30 receives voltage divider 59 and trailing device 62 with adjustment tabs 60 and 61; Is applied to.

그리고, 상기 각 검출기는, 시료가스 속에 함유되는 각 측정대상성분 농도에 대응한 출력을 검출하기 위하여 조정된다. 조정방법은 예를들면 CO,HC,NO가스를 동량 혼합하고, N₂가스로 희석한 규정농도의 검정가스를 제조하며, 이 검정가스를 전술한 시료가스로서 셀에 흘러, 각 검출기가 각 성분의 규정농도에 대응하는 출력을 검출하도록 탭(50),(51),(56),(60),(61)의 위치를 조정한다.And each said detector is adjusted in order to detect the output corresponding to the density | concentration of each measurement object component contained in a sample gas. The adjustment method is, for example, a mixture of CO, HC, and NO gas in the same amount, to prepare a calibration gas of the specified concentration diluted with N ₂ gas, and flows this assay gas into the cell as the above-described sample gas, each detector is a component The positions of the tabs 50, 51, 56, 60, and 61 are adjusted to detect an output corresponding to the prescribed concentration of.

이와 같이 CO가스, HC가스, NO가스의 동량으로 생성된 혼합가스를 희석해서 검정가스로서 사용하고, CO가스, HC가스, NO가스의 각 농도에 대응되는 출력을 각 검출기가 검지하도록 사전에 수회 조정할 필요가 있다. CO,HC 및 NO의 주 흡수대는 각각 4.3미크론, 3.5미크론 및 5.3미크론이지만, 상기 성분의 각각은, 시료 속에 존재하는 다른 가스상 물질의 정확한 측정에 간섭하는 흡수부대의(소위 백그라운드)을 갖는다. 이들 흡수부 대역은 필요이상 높은 실호출력을 감검출기에서 생기게 한다. 그래서, 그 간섭치를 보상하고 위해서 각 성분의 간섭치는 각 성분용으로 조정되고, 각 성분의 제 1차 출력에 합산되어 지워진다. 예를들면 CO농도 측정에 있어서 NO흡수부대역을 대표하는 교류신호는 가변탭(60)에서 꺼내저 앰프(28)로 부터의 CO 검출기 출력신호와 합산하기 위해서 가산기(52)로 감산적으로 합산된다. 마찬가지로 해서 HC농도측정에 있어서 NO흡수부대역을 대표하는 신호는 가변탭(61)에서 꺼내저 증폭기(29)로 부터의 HC검출기 출력신호와 합산하기 위해 가산기(57)로 감산적으로 합산된다. 그리고 합산된 신호는 지시계(53),(58),(63)로 지시된다.In this way, the mixed gas generated by the same amount of CO gas, HC gas, and NO gas is diluted and used as a calibration gas, and the detector detects the output corresponding to each concentration of CO gas, HC gas, and NO gas in advance several times. Need to be adjusted. The main absorption bands of CO, HC and NO are 4.3 microns, 3.5 microns and 5.3 microns, respectively, but each of these components has an absorption band (so-called background) that interferes with the accurate measurement of other gaseous substances present in the sample. These absorber bands give the detector a higher than necessary radiation output. Thus, in order to compensate for the interference value, the interference value of each component is adjusted for each component and added to the primary output of each component to be erased. For example, in the CO concentration measurement, the AC signal representing the NO absorption band is subtracted by the adder 52 in order to take out from the variable tap 60 and add the CO detector output signal from the amplifier 28. do. Similarly, in the HC concentration measurement, the signal representing the NO absorbing subband is subtracted by the adder 57 so as to be taken out of the variable tap 61 and summed with the HC detector output signal from the amplifier 29. The summed signal is then indicated by the indicators 53, 58, 63.

본 발명은 상술함 바와같이, 셀에 기준유체와 시료유체를 교호로 절환해서 공급하는, 소위 유체변조방식과 광원에 대해서 광학적 직렬관계로 배치한 복수개의 뉴우매틱형 검출기를 사용한 다성분계를 결합사였으므로 다음과 같은 각별한 효과를 올리게 된다.The present invention, as described above, combines a multicomponent system using a so-called fluid modulation method and a plurality of pneumatic detectors arranged in optical series with respect to a light source to alternately supply a reference fluid and a sample fluid to a cell. As a result, the following special effects will be raised.

① 상기한 바와 같은 다성분계에 있어서는 제로드리프트, 스팬드리프트, 위상변이에 의한 정밀도 저하는 커다란 문제이며, 종래 장치에서는 이들의 조정이 극히 번잡한 작업이었다고 하는 것은, 제로 드리프트, 위상변이 등이 생겼을 경우에는 복수개의 검출기의 각기에 대하여 제로조정, 위상조정 등을 행하지 않으면 안되기 때문이다. 그러나, 유체변조방식에 있어서는, 광량의 변화, 셀의 오염등의 드리프트 요인에 의해서 영향을 받는 일이 없으므로 원리적으로 제로드리프트는 생기지 않는다. 즉, 유체변조방식의 경우, 제로유체와, 어떤 농도의 시료 유체를 셀에 교호로 흐르게 하기 때문에, 검출기에 들어오는 광원으로 부터의 에너지량이 시료유체로 흡수되는 분만큼 변화되어 출력이 나온다. 그래서 시료유체로서 제로유체를 흘린경우(즉, 제로교정시)를 고려하면, 이것은 즉 항상 제로유체를 흘리게 하는 것이다. 이렇게 되면, 검출기에 입력되는 에너지는, 전혀 변화하지 않으므로 제로 드리프트는 일어나지 않는, 즉 제로드리프트는 원리적으로 있을수 없는 것이다. 또한, 유체변조방식에서는, 위상의 변이도 생기지 않는다. 그것은, 전술한 종래의 쵸핑방식에 의한 것에서는 쵸퍼의 축 흔들림, 쵸퍼 날개형상의 제작 오작 등에 의해 어떻게 해보아도 위상의 변이가 생기는 것이나, 유체변조 방식의 것에는, 이와 같은 쵸핑기구를 사용하지 않는 등의 이유에 의한다. 이와 같이 유체변조방식으로는, 제로드리프트와 위상변이가 전혀 없으며, 따라서, 본 발명에서는 종래의 다성분계에 있어서 각 검출기에 대해서 필요하게 되었던 복잡한 제로조정, 위상조정이 전혀 필요없게 되고, 스판조정만으로 된다는 커다란 이점이 있다.(1) In the above-described multicomponent system, the accuracy deterioration due to zero drift, span drift, and phase shift is a big problem. In the conventional apparatus, the adjustment of these components is extremely troublesome when zero drift and phase shift occur. This is because zero adjustment, phase adjustment, and the like must be performed for each of the plurality of detectors. However, in the fluid modulation system, zero drift does not occur in principle because it is not affected by drift factors such as changes in light quantity and contamination of cells. That is, in the case of the fluid modulation system, since the zero fluid and the sample fluid of a certain concentration flow alternately through the cell, the amount of energy from the light source entering the detector is changed by the amount absorbed by the sample fluid, and the output is output. Thus, considering the case where zero fluid is spilled (i.e., zero calibration) as the sample fluid, it is always flowing zero fluid. In this case, since the energy input to the detector does not change at all, zero drift does not occur, that is, zero drift cannot be in principle. In addition, in the fluid modulation system, phase shift does not occur. In the conventional chopping method described above, phase shift occurs even if the chopper shaft shaking, chopper blade shape production malfunction, etc., is used. However, such a chopping mechanism is not used for the fluid modulation method. For reasons such as: In this way, the fluid modulation method has no zero drift and no phase shift. Therefore, in the present invention, the complicated zero and phase adjustments required for the respective detectors in the conventional multicomponent system are not necessary at all. There is a big advantage.

② 또한, 제4도에 표시함과 같은 간섭성분의 영향을 제거하기 위한 연산회로를 두었을 경우, 종래와 같은 제로드리프트, 위상변이가 있으면 번잡한 제로조정, 위상조정과 함께, 연산처리의 조정도 다시 해야될 필요가 있어, 이 조정작업은 극히 번잡하였으나, 본 발명에서는 전술한 바와같이, 제로드리프트와, 위상변이기 생기지 않으므로, 상기와 같은 간섭성분의 영향을 제거하기 위한 연산회로를 두었을 경우에도, 종래 장치에서와 같이 극히 번잡한 연산처리의 조정이 전혀 불필요하게 된다는 커다란 효과가 있다.(2) In addition, in the case where an arithmetic circuit is provided to remove the influence of interference components as shown in FIG. This adjustment is extremely complicated. However, in the present invention, as described above, zero drift and phase shift do not occur. Therefore, an operation circuit for removing the influence of the interference component may be provided. Even in this case, as in the conventional apparatus, there is a great effect that the adjustment of extremely complicated calculation processing becomes unnecessary at all.

③ 본 발명에서는 농도가 다르며, 그 때문에 출력이 다른 복수성분을 동일한 셀 길이의 셀로 측정하는 것이지만, 제3도에 표시한 복수 셀형의 유체변조방식의 경우에는, 앞서 출원된 명세서에 상술한 바와 같이 신호량이 2배가 되므로 동일한 셀 길이임에도 불구하고 각 측정성분에 대해서, 정밀도가 높은 측정을 할 수 있고, 복수 셀형의 경우, 본 발명은 특히 커다란 효과를 발휘한다.(3) In the present invention, the plural components having different concentrations and therefore different outputs are measured by cells having the same cell length. However, in the case of the plural cell type fluid modulation method shown in FIG. Since the signal amount is doubled, the measurement can be performed with high accuracy for each measurement component despite the same cell length. In the case of a multi-cell type, the present invention exhibits a particularly great effect.

④ 또, 본 발명에서는, 전술한 종래장치에서의 차광판이나 쵸퍼가 필요하지 않기 때문에, 공간적 손실이 없고 소형으로 간편하게 구성할 수 있음과 동시에, 쵸퍼의 받침 위치의 변위에 기인하는 SN비의 악화라는 문제는 생기지 않는다.(4) In addition, in the present invention, since the light shielding plate and the chopper in the above-described conventional apparatus are not necessary, there is no space loss and it can be easily and compactly configured, and the SN ratio is deteriorated due to the displacement of the chopper support position. No problem occurs.

Claims

셀에 기준유체와 시료유체를 교호로 절환공급하도록 구성함과 동시에, 각 측정대상 성분에 대응하는 복수개의 뉴우매틱형 검출기를 광원에 대해서 광학적 직렬관계로 배치한 것을 특징으로 하는 비분산형 적외선 분석계.And a plurality of pneumatic detectors corresponding to each component to be measured are arranged in optical series with respect to the light source, and configured to alternately supply and supply the reference fluid and the sample fluid to the cell.