KR800001297B1 - Cutting tool with alloy coated sharpened edge - Google Patents

Abstract

This invention relates to the cutting toll useful for providing articles with protective metal layers which have excellent corrosion and wear resistant characteristics. Particularly advantageous are those cutting tool rod surface configurations that form an intermetallic compound of the M3N type with the ordered A 15 cubic structure that is within about +5 % of these compounds. The tool is in the form of an elongated rod and its exposed surface consists of two metals. A first metal is selected from the class consisting of Ir,Os,Pt,Re, Rh and Ru. A second metal is selected from the class consisting of Cr, Mn, Nb, Mo, Ta, Ti, W and v.

Description

면도칼날Razor blade

제1도는 본 발명은 실시에 채용되는 장치의 단면도.1 is a cross-sectional view of a device employed in the present invention.

제2도는 제1도에 도시되어 있는 장치의 선 2-2에 따른 단면도.FIG. 2 is a sectional view along line 2-2 of the apparatus shown in FIG.

제3도는 본 발명에 의한 합금의 특성을 나타낸 도표다.3 is a diagram showing the characteristics of the alloy according to the present invention.

본 발명은 방호재료(防護材料)에 또한 뛰어난 내식성 및 내마모성을 가진 방호금속층을 가진 면도칼날에 관한 것이다.The present invention relates to a razor blade having a protective metal layer having excellent corrosion resistance and abrasion resistance as well as a protective material.

제품의 표면에는 기계적 마모 및 부식 양자에 대한 방호가 흔히 필요하다. 이러한 표면으로서는, 예컨대 내연기관의 피스톤실(室)의 내측 및 인체에 삽입하는 펌프 또는 변(辯)과 같이 장치의 표면이 있다. 후자의 경우에 이 장치는 다년에 걸쳐 현저한 기계적 마모없이 확실하게 작동하지 않으면 아니되며, 한편 부식하든지 또는 내부로 이 장치가 배치되는 기관을 손상해서는 아니될 것이다.Protection of both mechanical wear and corrosion is often required on the surface of the product. As such a surface, there exist the surface of an apparatus like a pump or a valve which inserts in the inside of the piston chamber of an internal combustion engine, and a human body, for example. In the latter case the device must operate reliably without significant mechanical wear over many years, while it will not corrode or damage the engine in which it is placed.

여타의 이러한 표면은 면도칼날이 정밀히 연마(Sharpened)되고 또한 수염을 깎는 중에 부식성 분위기에 노출되기도 하여 상당한 기계적 힘을 받게도 되는 날끝이다.Other such surfaces are blade tips where the razor blades are sharpened and exposed to corrosive atmospheres while shaving the beard and thus subject to significant mechanical forces.

면도칼날의 날끝면 즉 측면은 최선단연에서 후퇴하여 뻗어있고, 또 순차연마 또는 호오닝 마무리에 의해 형성되어 최선단연에 대략 평행한 대역에 따라서 서로 교차하는 2개 이상의 소면(小面)을 가질 수도 있다. 최후의 소면 즉 최선단연(最先端緣)에 직접 인접한 소면은 폭이 최소 0.0076밀리미터(0.00003인치)이든지 또는 그 이하로서도 상관이 없으나 최선단연의 두께는 일반적으로 6000Å, 바람직하기로는 2500Å인 것이다. 그 두께 때문에 최선단연은 기계적으로는 대단히 파손되기가 쉬웁고 또한 특히 탄소강의 경우에는 부식으로 파손하기 쉽다. 면도칼날의 연마된 날끝에 금, 로듬 또는 크롬과 같이 내식금속의 피복을 증발 또는 스퍼터링에 의해서 시행하는 것이 제창되고 있다. 그러나 귀금속은 수염을 깎을 때에 마모력을 받아서 아래에 있는 면도날 끝에서 파단 탈락하는 경향을 가지며, 이러한 경향은 날을 상업적으로 불만족한 것이 되게 하므로 아직 만족한 것으로 되어 있지 않다. 또한 불화탄소 중합체의 절미(切味) 촉진 피복은 면도칼날을 높은 온도, 예를들면 288℃(550°F) 내지 427℃(800°F)에 노출시켜서 날끝 표면에서 자주 경화되어진다. 이러한 온도는 피복의 아래에 있는 면도칼날 금속으로 연화(軟化) 작용의 미치고, 그 연화는 면도칼날의 절미(切味)에 불리하게 영향한다. 면도칼날의 경우에는, 따라서, 금속피복은 경도 및 내식성외에 예를들면 하지강(下地鋼)이 연화하여도 불화탄소소성 온도에 있어서 현저한 경도를 유지하여야할 것이며, 전체층(層)이 면도칼날의 실용수명중 서로 강하게 접착이 계속되도록 하지강 및 중합체 피복의 쌍방과 접착 친화성을 가져야할 것이며, 또한 기타 절미특성에 악영향을 미쳐서는 아니된다.The blade edge, or side, of the razor blade has two or more facets extending back and forth from the leading edge and formed by sequential polishing or honing finish and intersecting with each other along a band approximately parallel to the leading edge. have. The last cardinal face, or facet directly adjacent to the marginal edge, may be at least 0.0076 millimeters (0.00003 inches) in width or less, but the thickness of the marginal edge is generally 6000 Å, preferably 2500 Å. Because of its thickness, the top edge is mechanically very prone to breakage, and particularly in the case of carbon steel, it is susceptible to corrosion. It is advocated to apply, by evaporation or sputtering, coatings of corrosion resistant metals such as gold, rhythm or chromium on the polished blade ends of the razor blades. However, the precious metal tends to fall off at the tip of the razor blade under the wear force when shaving the beard, which is not yet satisfactory as it makes the blade commercially unsatisfactory. In addition, the facilitation coating of fluorocarbon polymers is frequently cured at the blade edges by exposing the razor blade to high temperatures, such as 288 ° C. (550 ° F.) to 427 ° C. (800 ° F.). This temperature has a softening effect on the razor blade metal under the coating, and the softening adversely affects the cutting edge of the razor blade. In the case of razor blades, therefore, metal coatings must maintain a significant hardness at the fluorocarbon firing temperature in addition to hardness and corrosion resistance, for example, even if the underlying steel softens. It should have adhesive affinity with both the base steel and the polymer coating so as to continue the strong adhesion to each other during the service life of, and should not adversely affect other cutting properties.

향상된 기계적성질 및 특히 향상된 부식 및 마모저항을 가지는 신식개량제품 및 이렇게한 제품을 제조하기 위한 개량방법 및 장치를 제공하는 것이 본 발명의 일반적 목적이다.It is a general object of the present invention to provide new and improved products having improved mechanical properties and in particular improved corrosion and abrasion resistance and improved methods and apparatus for producing such products.

본 발명의 제일 특수한 목적은 고온에서 형성한 중합체 피복에 대한 튼튼한 대(臺)가 되도록 기질(基質)표면에 강하게 접착해 향상된 내식성을 갖는 견고한 금속 방호피복을 해당기질에 시행하는 것이다.The most special object of the present invention is to apply a strong metal protective coating to the substrate, which is strongly adhered to the substrate surface so as to be a strong stand against the polymer coating formed at a high temperature.

본 발명의 별개의 목적은 우수한 내마모성 및 내식성을 갖는 제품을 제공하기 위한 신식개량방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a new method for improving a product having a good wear resistance and corrosion resistance.

본 발명의 기타의 목적은 기질의 내마모성 및 내식성을 대량 생산방법으로 또한 히지기질의 성질을 손상 않는 방식으로 개선하기 위해 신식개량방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a new method for improving the wear resistance and corrosion resistance of the substrate in a mass production method and in a manner that does not impair the properties of the hijiji.

본 발명의 또 다른 목적은 우수한 절미를 갖는 신식개량 면도칼날을 제공함에 있다.Still another object of the present invention is to provide a novel and improved razor blade having excellent cutting.

본 발명의 타목적은 고온에서 형성된 중합체 피복에 대한 튼튼한 친화성대로 되도록 향상된 내식성을 가지며 더우기 날끝의 표면에 강하게 접착하는 금속피복을 면도칼날의 표면에 행하는 것이다.Another object of the present invention is to perform a metal coating on the surface of the razor blade that has improved corrosion resistance to achieve a strong affinity for the polymer coating formed at high temperatures and furthermore strongly adheres to the surface of the blade tip.

본 발명에 의하면(이하 N 금속이라 칭함) 이리듐, 오스뮴, 팔라듐, 백금, 레늄, 로듐 및 루테늄을 포함한 종류에서 선택된 제1금속 및(이하 강화금속이라고 칭함)크롬, 망간, 니오브, 몰리브덴, 탄탈, 티탄, 텅스텐 및 바나듐을 포함한 종류에서 선택된 제2금속에서 구성되는 주로 금속간화합물의 합금의 강하게 접착한 피복을 갖는 기질이 제공된다. 특히 유리한 것은 규정된 A 15등 축정조직(

) 또는 정방정계(正房晶系)(시그마상) 조직의 어느 것과 금속간화합물을 형성하는 합금성분 및 이들 성분의 약 ±5중량 백분율의 범위내에 있어 뛰어난 열안정성을 갖는 합금성분이다.According to the present invention (hereinafter referred to as N metal) a first metal selected from the group including iridium, osmium, palladium, platinum, rhenium, rhodium and ruthenium and (hereinafter referred to as reinforced metal) chromium, manganese, niobium, molybdenum, tantalum, A substrate is provided having a strongly adherent coating of an alloy of mainly intermetallic compounds composed of a second metal selected from a variety including titanium, tungsten and vanadium. Particularly advantageous is the defined A 15 class organization (

Or an tetragonal (sigma) structure and an alloy component which forms an intermetallic compound, and an alloy component having excellent thermal stability in the range of about ± 5% by weight of these components.

백금 크롬합금의 경우에는 백금함량의 호적(好適) 범위는 15 내지 65% 원자농도이며, 또 사용환경이 특히 부식성인 경우에는 백금함량이 적어도 21% 원자농도인 것이 바람직한 것이다.In the case of platinum chromium alloys, the preferred range of platinum content is 15 to 65% atomic concentration, and when the use environment is particularly corrosive, the platinum content is preferably at least 21% atomic concentration.

본 발명의 합금은 750PHN보다도 큰 마이크로 경도 및 미세입자 조직을 갖고, 미결정입도(微結晶粒度)는 전자현미경 또는 전자회절법(回折法)에 의해서 결정된 때 1000Å 미만이다. 예컨대 본 발명에 의한 스퍼터링 처리상태에 있는 박막백금크롬 합금의 미결정입도는 50Å 미만이다. 본 발명에 의해서 합금비복을 표면에 가지는 기질은 농염산에 1분간 침지 후에 부식의 징후를 나타내지 않았다.The alloy of the present invention has a microhardness and a fine grain structure larger than 750 PHN, and the crystal grain size is less than 1000 GPa when determined by an electron microscope or an electron diffraction method. For example, the crystallite size of the thin film platinum chromium alloy in the sputtering process according to the present invention is less than 50 GPa. According to the present invention, the substrate having the alloy non-woven on the surface showed no signs of corrosion after immersion in concentrated hydrochloric acid for 1 minute.

본 발명에 의해서 21% 원자농도의 백금을 함유한 백금크롬 합금은 비등 염산 중에서 매분 0.0002밀리미터(0.008밀)의 용해율을 가지고, 순수 크롬의 비등염산 중에 있어서의 매분 25.4밀리미터(1000밀)의 용해율과 대조적인 것이다.According to the present invention, the platinum chromium alloy containing 21% atomic concentration of platinum has a dissolution rate of 0.0002 millimeters (0.008 mil) per minute in boiling hydrochloric acid, and a dissolution rate of 25.4 millimeters (1000 mils) per minute in boiling hydrochloric acid of pure chromium. It is a contrast.

전형적 용도로는 본 발명에 의한 합금피복은 두께가 적어도 50Å로서 연속적이고 균등하다.In typical applications, the alloy coatings according to the invention are continuous and even with a thickness of at least 50 mm 3.

기질이 강제면도칼날의 연마된 날끝인 경우에는 M₃N 화합물, 즉 금속간화합물이 하지의 강보다도 큰열안전성을 가지므로 특히 유리하다. 예컨대 본 발명에 의한 면도칼날 표면의 Cr₃Pt합금의 경도는 1200℃까지는 열처리 온도에 좌우되지 아니한다. 이러한 백금크롬 합금피복에서는 그 백금함량의 호적범위는 15-30% 원자농도이며, 특히 유리한 결과는 21-27% 원자농도의 백금을 함유하는 피복을 사용해서 얻어진다. 본 발명에 의한 합금피복은 적어도 하지면도칼날 금속과 같이 견고하고 더욱이 두께가 600Å를 넘지 아니하고 바람직하게는 50-500Å의 범위내이고, 더욱 최량의 결과는 100-400Å의 범위의 두께로 얻어진다. 또 불화탄소의 절미 촉진피복이 이용되는 경우에는 강화금속으로서 크롬 또는 N급 금속의 어느 것을 채용하는 합금 피복이 가장 만족한 피복접착을 주는 것이다. 합금에 대한 불화탄소피복의 접착이 부적당하게 보이는 경우(즉 W-pt)에서 경합금피복의 이점은 계면 결합제로서 Cr₃pt 합금의 대단히 엷은(약 75Å 이하의) 상층을 사용하는 것에 의해서 얻어진다.It is especially advantageous when the substrate is the polished blade tip of the steel shaving blade, because the M ₃ N compound, i. For example, the hardness of the Cr ₃ Pt alloy on the surface of the razor blade according to the present invention does not depend on the heat treatment temperature up to 1200 ° C. In such platinum chromium alloy coatings, the suitable range of platinum content is 15-30% atomic concentration, and particularly advantageous results are obtained by using a coating containing 21-27% atomic concentration platinum. The alloy coating according to the present invention is at least as hard as the ground surface blade metal and moreover does not exceed 600 kPa, preferably in the range of 50-500 kPa, and the best results are obtained with a thickness in the range of 100-400 kPa. In the case where the fluorocarbon accelerated coating is used, an alloy coating employing either chromium or N-class metal as the reinforcing metal gives the most satisfactory coating adhesion. In the case where the adhesion of fluorocarbon coatings to alloys seems inappropriate (ie W-pt), the advantage of light alloy coatings is obtained by using a very thin (up to about 75 kPa) top layer of Cr ₃ pt alloy as interfacial binder.

면도칼날의 제조에는 합금피복은 최소한의 보조처리 공정에 의해서 면도칼날의 대량 생산을 가능하게 하는 방법 및 장치에 의해서 행해지고, 따라서 본 발명의 또 다른 목적으로 한 것은 면도칼날의 연마된 날끝 표면에 뛰어난 내식성을 갖는 금속합금피복을 균등하게 제어해서 행하기 위한 개량방법 및 장치를 제공하는 것이다.In the manufacture of razor blades, the alloy coating is carried out by a method and apparatus which enables mass production of razor blades with a minimum of auxiliary processing. Therefore, another object of the present invention is to provide excellent razor blade surface finish. It is an object of the present invention to provide an improved method and apparatus for uniformly controlling metal alloy coating having corrosion resistance.

본 발명의 다른 목적은 면도칼날의 연마된 날끝의 표면에 대량 생산방법으로, 더욱이 연마된 날끝의 품질을 손상않는 방식으로 개량 내합금의 피복을 행하기 위한 신식개량장치를 제공함에 있는 것이다.It is another object of the present invention to provide a new type of improvement apparatus for coating an improved internal alloy in a mass production method on a surface of a polished blade tip of a razor blade, and moreover in a manner that does not impair the quality of the polished blade tip.

본 발명의 또 다른 목적은 면도칼날의 연마된 날끝이 청정(淸淨)해지고, 더욱이 면도칼날 하지금속과 적어도 동등하게 견고한 내식성 금속합금의 엷은 피복이 연마되어 청정하게된 낱끝에 행해진 신식의 개방된 공업생산용 날끝처리 장치를 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a new type of blade which has been polished and cleaned on the polished blade edge of the razor blade, and furthermore, a thin coating of a corrosion resistant metal alloy that is at least equal to the razor blade base metal is polished and cleaned. The present invention provides a blade processing apparatus for industrial production.

본 발명의 이 특징에 의한 날끝처리 장치는 면도칼날의 하나 이상의 퇴적(堆積)을 받기 위해 구조체가 내부로 배치되어 있어 진공으로 되는 것인 가능한 실(室)을 가지며, 각 전기한 퇴적의 면도칼날은 각각의 날끝이 정합하여 대면관계에 배치되어 있다. 역시 이 실내에 배치되어 각 면도칼날 최적의 노출축선(또는 평면)에 따라서 뻗어 있는 금속급원이 있다. 이 급원은 N금속 및 N금속에서 금속학적으로 분리된 형을 한 강화금속을 함유하고 있다. 이 급원(給源)은 여러가지의 형(形)을 취할 수가 있고 예컨대 그것은 합금이 만들어져야할 금속의 소결성형체든가, 또는 합금의 N금속 성분의 적당하게 상거(相距)된 세그멘트의 조립치도 상관이 없다. 면도칼날을 처리할 때에는 날끝이 진공 실내에서 청정하게 되므로 상기 금속 급원은 이 급원에서 금속을 전달하여 날끝의 표면에 이 급원의 엷은 합금피복을 형성하도록 감압가스 분위기중에서 부세(缶勢)된다.The blade tip processing apparatus according to this aspect of the present invention has a possible seal in which a structure is disposed therein and is vacuumed in order to receive one or more depositions of the razor blade, and the razor blade of each electric deposition The blade edges are arranged in a face to face relationship. There are also metal sources arranged in this room and extending along the optimum exposure axis (or plane) of each razor blade. This source contains N metals and reinforced metals in the form of metallurgical separation from N metals. This source can take a variety of forms, for example, whether it is a sintered compact of the metal from which the alloy is to be made, or the assembled value of a properly phased segment of the N metal component of the alloy. . When the razor blade is treated, the blade tip is cleaned in a vacuum room, so the metal source is urged in a reduced pressure gas atmosphere to transfer metal from the source to form a thin alloy coating of the source on the surface of the blade tip.

날끝 표면에 합금피복을 형성한 알맞는 방법은 복합금속 급원에 이온 충격법(스퍼터링)을 받게 해서 금속인자를 연마된 날끝에 전달하는 것이다.A suitable method of forming alloy coating on the blade tip surface is to pass the metal factor to the polished blade tip by subjecting the composite metal source to ion bombardment (sputtering).

전자 총급원 또는 유도가열을 이용하는 증발과 같이 기타의 석출법도 적당한 경우에는 사용해도 상관없다. 불화탄소 중합체가 후속해서 합금피복 표면에 소결되는 경우에는 알곤 또는 질소와 같이 불활성가스나 소결분위기로서 채용되는 것이 바람직하여도, 분해 암모니아 또는 수소같이 기타의 소결분위기가 특히 비교적 소량의 N금속을 가지는 합금과 병용(倂用)되어도 상관없다.Other precipitation methods, such as evaporation using electron source or induction heating, may also be used where appropriate. In the case where the fluorocarbon polymer is subsequently sintered on the alloy coating surface, it is preferable to be employed as an inert gas or sintering atmosphere such as argon or nitrogen, but other sintering atmospheres such as decomposed ammonia or hydrogen have a particularly small amount of N metal. You may use together with an alloy.

본 발명은 절미에 악영향을 미치지 않고 더우기 만족한 1급 면도 특성을 주는 것에 날끝 부분의 후의 기계가공을 필요로 하지 않는 개량된 엷은 방호금속합금 피복을 면도칼날의 연마된 날끝에 형성하는 것에 특히 유용하다. 넓은 범위의 면도칼날 재료를 사용해도 지장이 없고, 본 발명이 병용되뵉어도 좋은 특수한 면도칼날을 강(鋼) 조성은 다음 표에 표시된다.The present invention is particularly useful for forming improved thin protective metal alloy coatings on the razor blade's razor blades that do not require post-machining of the blade edges without impairing the cutting edges and further providing satisfactory first-class shaving properties. Do. The steel composition of the special razor blade which does not interfere even if it uses a wide range of razor blade materials, and which this invention may be used together is shown in the following table.

본 발명의 면도칼날 끝표면의 적합한 금속합금 피복은(약 1700DPHN까지의 마이크로 경도를 간짐) 면도칼날 체부보다 현저히 견고하고 날이 288-427℃(550-800°F)의 범위내의 중합체 경화온도에 노출해도 재래시판 면도칼날보다도 견고한 상태를 유지하고, 더우기 뛰어난 부식저항을 갖고 있다.Suitable metal alloy coatings of the razor blade end surface of the present invention (with a microhardness of up to about 1700 DPHN) are significantly harder than the razor blade body and the blades have a polymer curing temperature in the range of 288-427 ° C (550-800 ° F). Even when exposed, it maintains a stronger state than conventional razor blades and has excellent corrosion resistance.

본 발명의 기타 목적, 특징 및 이점은 첨부도면과 함께 본 발명의 처리방법의 특정 실시예의 이하의 설명진행에 따라서 명백하게 된다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following description of specific embodiments of the treatment method of the present invention in conjunction with the accompanying drawings.

제1도에 나타낸 스퍼터링(이온충격) 장치는 베이스(12)의 위에 장가(裝架)된 직경 457.2밀리미터(18인치, 높이 812.8밀리미터(32인치)의 스텐레스 강제 원통형실(10)을 갖고 있다. 베이스(12)는 통로(14)를 지나서 적당한 진공장치(도시하지 않음)에 연결되어 있다. 직경 25.4밀리미터(1인치)의 구멍을 가진 장형변이 통로(14)의 하류에 배치되고 또한 스퍼터링중 닫힌 위치로 움직여서 확산 펌프의 후방 흐름을 감하도록 되어 있다. 실(10)의 중간에 수직축선을 중심으로 회전가능한 링 조립대(16)에 장가되어 18개의 면도칼날 퇴적지지 구조체(19)이 있다. 조립체(16)은 6개 주(柱) 구조체(20)에 의해서 베이스(12)에서 전기적으로 절연되어 있다. 각 면도칼날 지지구조체(18)은 비교적 강고(剛固)한 세장(細長) 면도칼날 정합판 즉 나이프(24)의 하단을 받기 위한 도랑(

)을 갖고 위에 면도칼날의 퇴적(26)을 두게되는 베이스 구조체(22)를 갖고 있다. 나이프(24)의 상단에 있어서 체착(締着) 구조체(28)은 면도칼날의 퇴적(26)을 이 나이프의 적소에 장착하고 다음에 상부 정합 링(30)에 장착한다. 면도칼날 퇴적(26)에 대한 전기 접촉은 도체(32)를 경유하여 만들어지고 또한 베이스(12)의 계수(繼手)(34)를 통하여 급전(給電)된다. 구동축(36)이 링 조립체(16)에 연결되어 쇄(鎖)(38)를 경유하여 면도칼날 퇴적(26)을 회전하도록 되어 있다. 이 장치에서 양날 면도칼날을 처리하는 전형적 운전에서는 각 퇴적은 길이가 304.8밀리미터(12인치)로 3000매의 날을 갖고 있으나, 편인(片刃) 면도칼날을 처리하는 전형적 운전에서는 각 퇴적은 1,200매의 날을 갖고 있다. 면도칼날의 연마된 날끝은 실(10)의 축선에서 171.5밀리미터(

인치)에 있다. 또한 상기 실내에 축선과 함께 축에 장가되어, 이 특정실시예에는 백금 및 크롬을 함유하는 타게트 로드(40)이 있다. 로드(40)은 절열구조체(44)에 의해서 실정상판(室頂上板)(42)에서 현가되어 있다. 또한 정상판(頂上板)(42)에서 현가된 수냉암소(水冷暗所) 덮개(46)이 절연구조체(44)를 방호하는 것에 설치되어 있다. 타게트 로드(40)이 덮개(46)의 아래에 노출되어 있는 길이는 736.6밀리미터(29인치)이고 더우기 이 노출 길이는 면도칼날의 퇴적에 대하여 대칭관계에 놓이고 있다. 이들의 실시예 있어 로드(40)은 두께 6.3밀리미터(

인치)의 벽을 갖고 직경이 31.8밀리미터(

인치)이다. 냉각액이 적당한 급원(48)에서 냉각의 목적으로 로드(40)을 통하여 순환된다. 고정 콘덴서(52)(0-5마이크로 헨리의 범위에 걸쳐 조절가능한) 유도자(54) 및 (0-1000피코파라드의 범위에 걸쳐 조절가능한) 콘덴사(56)을 포함하는 정합회로망(50)리 타게트로드(40)에 접속되어 있고, 이 정합 회로망은 고주파(13.56mHz) 전압급원(60)에 피복도체(62)를 경유하여 접속되어 있다.The sputtering (ion shock) device shown in FIG. 1 has a stainless steel cylindrical chamber 10 having a diameter of 457.2 millimeters (18 inches) and a 812.8 millimeter (32 inches) height on the base 12. The base 12 is connected to a suitable vacuum device (not shown) past the passage 14. A long transition having a hole of 25.4 millimeters (1 inch) in diameter is disposed downstream of the passage 14 and also closed during sputtering. Moving to a position to subtract the backward flow of the diffusion pump, in the middle of the seal 10 there are 18 razor blade deposition support structures 19 loaded on a rotatable ring assembly 16 about a vertical axis. The assembly 16 is electrically insulated from the base 12 by six main structures 20. Each razor blade support structure 18 is a relatively rigid, long razor blade. Ditch for receiving the bottom of the matching plate, ie knife 24 (

) And a base structure 22 to place the razor blade deposition 26 thereon. At the upper end of the knife 24, the fitting structure 28 mounts the deposition 26 of the razor blade in place on the knife and then attaches it to the upper registration ring 30. Electrical contact to the razor blade deposition 26 is made via the conductor 32 and is fed through the counting 34 of the base 12. The drive shaft 36 is connected to the ring assembly 16 so as to rotate the razor blade deposition 26 via the chain 38. In a typical operation with two-blade razors in this device, each deposit has 304.8 millimeters (12 inches) in length and has 3000 blades, while in a typical operation with one-sided razor blades, each deposit has 1,200 sheets. I have a day. The polished blade tip of the razor blade is 171.5 mm (

Inches). There is also a target rod 40 containing platinum and chromium in this particular embodiment, which is mounted on the shaft together with the axis in the room. The rod 40 is suspended from the real top plate 42 by the heat insulation structure 44. In addition, a water-cooled dark cover 46 suspended from the top plate 42 is provided to protect the insulating structure 44. The length of the target rod 40 exposed under the cover 46 is 736.6 millimeters (29 inches) and moreover this length is symmetrical with respect to the deposition of the razor blade. In these embodiments, the rod 40 has a thickness of 6.3 millimeters (

31.8 millimeters in diameter

Inches). Coolant is circulated through the rod 40 for cooling purposes at a suitable source 48. Matching network 50 comprising inductor 54 (adjustable over a range of 0-5 micro henrys) and condensate 56 (adjustable over a range of 0-1000 picoparads) It is connected to the retarget rod 40, and this matching network is connected to the high frequency (13.56 mHz) voltage supply source 60 via the cover conductor 62.

3.2밀리미터(

인치)의 구멍이 있는 직경 82.6밀리미터(

인치)의 스텐레스강 금망)실린더(66)이 암소덮개(46)에 강고하게 볼트로 조여진 플랜지(68)에 의해서 덮개(46)에 현가되어 있다. 스텐레스강판(70)이 금망실리너(66)의 하단에 장착해 있다. (72)에 약도로 나타나 있는 2개의 헬름홈쯔식 코일이 실(10)을 둘러싸고, 1개의 면도칼날 퇴적보다도 위로, 1개는 이 퇴적보다도 아래에 있다. 이들 코일은 부세된 때에 실(10)의 중에 약 100가우스의 수직자장을 만든다.3.2 mm (

82.6 mm in diameter (with holes)

Inch) stainless steel gold mesh cylinder 66 is suspended in the lid 46 by a flange 68 that is firmly bolted to the cowl lid 46. The stainless steel plate 70 is attached to the lower end of the gold mesh cylinder 66. Two Helmhomtz-type coils shown in outline at 72 enclose the seal 10, one above the razor blade deposition and one below the deposition. These coils create a vertical magnetic field of about 100 gauss in the seal 10 when biased.

금망실린더(66)의 사용 및 이 자장은 금속석출율을 증가시키고 더우기 면도칼날의 2차 전자충격을 감한다.The use of the gold mesh cylinder 66 and this magnetic field increase the metal deposition rate and further reduce the secondary electron impact of the razor blade.

타게트로드(40)은 여러가지외 형태를 취할 수 있다. 한 형태에서는 타게트로드는 백금 및 크롬의 소결성형체도 좋다. 제1도에 나타내고 있는 제2형태에는 타게트로드(40)은 크롬(74) 및 백금(76)의 교호노출 부분으로 형성되어 있다. 한 실시예로는 각각 두께가 0.05밀리미터(0.002인치), 폭 12.7밀리미터(1/2인치), 길이 101.6밀리미터(4인치)인 백금리본이 크롬로드의 환상 도랑 중에 배치되어 이 로드에 점용접한 링(76)을 형성하고 있다. 링(76)은 상호 등간격으로 배치해 있고, 더우기 도시실시예에서 이 타게트로드 조립체의 노출표면부가 19% 백금 및 81% 크롬이다.The target rod 40 may take various forms. In one embodiment, the target rod may be a sintered compact of platinum and chromium. In the second embodiment shown in FIG. 1, the target rod 40 is formed of alternating exposed portions of chromium 74 and platinum 76. As shown in FIG. In one embodiment, a platinum ribbon, each 0.05 millimeter (0.002 inches) thick, 12.7 millimeters (1/2 inch) wide and 101.6 millimeters (4 inches) long, is placed in the annular groove of the chrome rod and spot welded to the rod. The ring 76 is formed. The rings 76 are arranged at equal intervals, and furthermore, in the illustrated embodiment, the exposed surface of the target rod assembly is 19% platinum and 81% chromium.

이 장치가 작동할 때는, 퇴적(26)의 연마된 날이 실(10)중에서 나이프(24)에 오게 된다. 이 실은 진공이되고 또한 알곤이 수은주 10미크론의 범위내의 압력에서 이 실내에 놓이게 된다. 면도칼날은 다음에 계수(34)를 통하여 공급하는 직류전위에 의해서 부세되고(실은 접지되어 있음) 또한 5분간 글로우 방전에 의해서 청정하게 된다. 청정이 되고서부터 실은 진공으로 되며 알곤이 5-8미크론의 압력으로 이 실내에 놓인다. 면도칼날 퇴적 및 실이 접지되어 있으면 전위가 전압급원(60)에서 타게트로드(40)에 공급된다. 알곤이온이 만들어지고, 타게트로드(40)을 충격하여 2개의 금속원자를 석방한다. 석방된 원자는 연마된 면도칼날을 포함해서 노출표면에 석출한다.When the device is in operation, the polished blade of the deposit 26 comes to the knife 24 in the yarn 10. The chamber is vacuumed and argon is placed in this room at a pressure within the range of 10 microns of mercury. The razor blade is then boosted by the DC potential supplied through the coefficient 34 (in fact, grounded) and cleaned by the glow discharge for 5 minutes. Once clean, the thread is vacuumed and argon is placed in this room at a pressure of 5-8 microns. If the razor blade deposition and seal are grounded, the potential is supplied to the target rod 40 from the voltage source 60. Argon ions are made, and the target rod 40 is shocked to release two metal atoms. The released atoms deposit on the exposed surface, including the polished razor blade.

세장 타게트로드 및 복수의 면도칼날 퇴적에 대한 이 조작은 용이하게 제어되는 백금크롬 합금피복을 날끝의 표면에 600Å보다도 적은 두께로 균등하게 형성한다. 이 합금조성은 타게트로드의 금속의 노출표면와 직접 함수인 것이다. 따라서 제1도에 나타내고 있는 특정 타게트로드 형상이라면, 백금크롬 화합물 Cr₃pt에 가까운 조성을 갖는 합금조성이 석출되고, 이 합금은 약 55중량 퍼센트(24% 원자농도)의 백금을 함유하고 있다. 석출율은 공급되는 전력의 함수이다. 예컨대 2kw의 입력은 50Å 매분의 석출율을 주고, 또 5kw의 입력은 150Å 매분의 석출율을 준다.This manipulation of the elongated target rod and the plurality of razor blade deposits forms an easily controlled platinum chromium alloy coating evenly on the surface of the blade edge with a thickness of less than 600 mm 3. This alloy composition is a direct function of the exposed surface of the target rod metal. Therefore, in the specific target rod shape shown in FIG. 1, an alloy composition having a composition close to the platinum chromium compound Cr ₃ pt is precipitated, and this alloy contains about 55 weight percent (24% atomic concentration) of platinum. The precipitation rate is a function of the power supplied. For example, an input of 2 kw gives a precipitation rate of 50 kW per minute, and an input of 5 kw gives a precipitation rate of 150 kW per minute.

제3도의 선도는, 본 발명에 의해 평면기질의 표면에 스퍼터링에 의해 0.13밀리미터(0.15인치)의 두께로 석출된 여러가지 조성의 백금크롬 합금의 마이크로 경도를(200g 부하의 V-컷(cut) 다이아몬드침을 사용하여 DPHN-다이아몬드 피라믿 경도수로 환산하여) 표시하고 있고, 이 선도는 스퍼터링 된 합금의 백금함량의 함수로서 경도를 나타낸 곡선인 것이다. A15등 축정조직을 갖는 금속간화합물 Cr₃pt(25% 원자농도 백금)의 부근에 있는 합금의 경도는 안정상태를 유지하고 또한 1200℃까지의 가열온도에 실질적으로 무관계하다. 50% 원자농도 크롬백금 합금은 엷은 필름내에 스퍼터링 되면 난잡하게 되더라도 가열되면 강도가 현저하게 증가함에 따라서 정연히 되고, 약 50% 원자농도 백금에 있어서 경도 피크는 층을 0.13밀리미터(0.0015인치)의 두께로 스퍼터링하는 사이에 재료가 받은 가열에 기인하고 있다.The diagram of FIG. 3 shows the microhardness of platinum chromium alloys of various compositions (200-g load V-cut diamond) deposited in a thickness of 0.13 millimeters (0.15 inch) by sputtering on a surface of a planar substrate according to the present invention. The needle is used to express DPHN-diamond pyramid hardness, which is a curve showing hardness as a function of the platinum content of the sputtered alloy. The hardness of the alloy in the vicinity of the intermetallic compound Cr ₃ pt (25% atomic concentration platinum) having a crystalline structure such as A15 remains stable and is substantially independent of the heating temperature up to 1200 ° C. The 50% atomic chromium platinum alloy is ordered as the strength increases markedly when heated and sputtered in a thin film, and at about 50% atomic platinum, the hardness peaks form a layer of 0.13 millimeter (0.0015 inch) thick. It is attributable to the heating the material received during sputtering.

로 되는 조성을 갖는 60000매의 스텐레스동(銅)면도칼날이 24.8°의 개선입체각(開先立體角)으로 연마되어 18본의 정합나이프(24) 위에 위치되었다. 실(10) 중의 압력은 0.1미크론으로 감소하고, 다음에 알곤의 방전지속 분위기가 해당실내에 통해져 압력을 10미크론으로 상승시켰다. 직류 글로우 방전이 1600볼트의 전압 및 1000밀리암페어의 전류로 이 알곤분위기 중에 개시되어 5분간 유지시켰다. 면도칼날 퇴적(26)은 다음에 대지에 접속되고 4킬로와트의 고주파 전력이 피크-피크치 약 1000볼트의 중첩고주파 신호가 13.56메가 싸이클의 주파수 및 약 900볼트의 직류 부(負) 바이어스로 제로 반사전력으르 정합회로망이 조절된 상태에서 로드(40)에 4분간 공급되었다. 직류전력이 전부 정지되기 전의 10초간 고주파 전력이 공급되고 직류전력이 감해짐에 따라서 4킬로와트까지 점차적으로 증가하였다. 헬름홀쯔식 코일(72)는 고주파전력이 최초로 공급됨과 동시에 부세되었다. 4분간의 스퍼터링이 끝나서부터 면도칼날 퇴적은 돌려서 상술한 청정하게 하는 것과 스퍼터링의 공정을 되풀이 하였다. 그 결과 얻어진 백금크롬 합금피복은 약 960DPHN외 경도와 약 350Å의 두께를 갖고 또한 면도칼날 날끝 전체에 따라 더우기 적어도 0.025밀리미터(0.001인치)의 길이에 걸쳐서 최종 소면에 따라서 후퇴하여 뻗쳤다. 다음에 폴리테트라플로로에틸렌테로머 피복이 날끝에 행해졌다. 이 처리는 면도칼날을 알곤 분위기 중에서 바람직하게는 310-430℃(590-806°F)의 범위내에 있는 온도로 가열하는 공정을 포함하고 또한 면도칼날의 날끝 표면에 고체 불화탄소 중합체의 접착피복을 준다. 가열 후, 날끝금속(열은 합금필름과 그 아래에 있는 면도칼날 금속과의 복합)의 마이크로 경도는 7000DPHN에 상당하였다. 이들 날은 뛰어난 절미와 긴실용 수명을 보였다.A 60000 stainless steel shaving blade having a composition of? Was polished with an improved stereoscopic angle of 24.8 ° and placed on 18 matching knives 24. The pressure in the chamber 10 was reduced to 0.1 micron, and then the discharge atmosphere of argon was passed through the chamber to raise the pressure to 10 microns. DC glow discharge was initiated in this argon atmosphere at a voltage of 1600 volts and a current of 1000 milliamps and held for 5 minutes. The razor blade deposition 26 is then connected to the ground and the high-frequency power of 4 kilowatts is zero reflected power at an overlapping high frequency signal of peak-peak value of about 1000 volts with a frequency of 13.56 mega cycles and a direct current negative bias of about 900 volts. The feeding network was supplied to the rod 40 for 4 minutes while the matching network was adjusted. As the high frequency power was supplied and the DC power was reduced for 10 seconds before the DC power was completely shut down, it gradually increased to 4 kilowatts. The Helmholtz coil 72 was energized at the same time as the high frequency power was first supplied. After 4 minutes of sputtering, the razor blade deposition was rotated to repeat the above-described cleaning and sputtering processes. The resulting platinum chromium alloy coating had a hardness of about 960 DPHN and a thickness of about 350 mm 3, and was retracted and stretched along the final facet over a length of at least 0.025 millimeters (0.001 inch) along the entire razor blade tip. Next, polytetrafluoroethylene teromer coating was performed at the end of the blade. This treatment involves heating the razor blade in an argon atmosphere, preferably at a temperature in the range of 310-430 ° C. (590-806 ° F), and also applying an adhesive coating of the solid fluorocarbon polymer to the blade tip surface of the razor blade. give. After heating, the microhardness of the blade tip metal (composite with the hot silver alloy film and the razor blade metal underneath) was 7000 DPHN. These days showed excellent cutting and long-life.

제2실시예로서 직경 152.4밀리미터(6인치), 두께 6.4밀리미터(1/4인치)의 순수 크롬원판이 일변 1센티미터, 두께 0.5밀리미터(0.002인치)의 정방형의 순수 백금박을 표면에 점용접하였다. 상기 정방형박은 크롬 표면의 27%가 백금으로 덮이도록 상거해서 포면으로 터치하였다. 114.3밀리미터의 면도칼날 퇴적이 고주파 스퍼터링장치의 127밀리미터(5인치) 직경의 알루미늄 원판상에 두어졌다(이 장치는 감겨진 띠모양면도칼날의 퇴적을, 이 띠 모양 면도기 칼날의 연마된 날끝이 상호 정합하고 더우기 노출축선 또는 평면을 확정하도록 이 띠 모양 면도칼날이 알루미늄 원판 위에 둔 상태로 처리하는 것에도 사용할 수가 있다)백금 크롬원판 표면은 63.5밀리미터(

인치)의 거리에 날끝과 평형으로 배치되었다. 고주파 전력은 면도칼날을 지지하고 있는 판에, 또는 면도칼날 퇴적보다도 위의 백금크롬판에 공급시키는 것이 가능했다. 진공실내의 압력은 수은주 0.1미크론으로 감해져 다음에 순 알곤가스가 수은주 10미크론이 압력으로 될 때까지 당해 실내에 통해졌다. 알루미늄 원판 및 면도칼날은 다음에 0.2킬로와트의 고주파 전력에 의해(약 2500볼트의 직류부 바이아스 및 겹쳐진 피크-피크치 약 3300볼트의 고주파 신호에 따라 13.56메가 사이클로) 2분간 청정하게 하였다.As a second example, a pure chromium disc having a diameter of 152.4 mm (6 inches) and a thickness of 6.4 mm (1/4 inch) was spot welded to a surface of a pure pure platinum foil having a square of 1 cm on one side and 0.5 mm (0.002 inches) in thickness. . The square foil was touched to the surface by staggering so that 27% of the chromium surface was covered with platinum. 114.3 millimeters of razor blade deposits were placed on a 127 millimeter (5 inch) diameter aluminum disk of the high frequency sputtering device (the device was placed on a rolled banded razor blade and the polished blade ends of the band razor blades It can also be used to treat this banded razor blade placed on an aluminum disc to match and further define the exposure axis or plane.The surface of the platinum chrome disc is 63.5 millimeters (

In parallel with the blade tip). The high frequency electric power could be supplied to the plate supporting the razor blade or to the platinum chromium plate above the razor blade deposition. The pressure in the vacuum chamber was reduced to 0.1 micron of mercury and the net argon gas was then passed through the room until the pressure of 10 microns of mercury became pressure. The aluminum discs and razor blades were then cleaned for 2 minutes with a high frequency power of 0.2 kilowatts (approximately 2500 volts DC portion vias and 13.56 mega cycles depending on the high frequency signal of overlapping peak-peak value of about 3300 volts).

백금크롬 타게트는 이 청정 공정중 금속 덮개로 덮였다. 그리고 이 덮개는 면도칼날이 덮여지고 또한 백금 크롬 타게트판이 0.4킬로와트의 공급전력으로(13.56메가사이클과 직류부 바이아스 약 3400볼트와 피크-피크치 약 4500볼트의 중첩된 고주파신호에서) 알곤가스의 10미크론 수은 압력을 유지하면서 청정되도록 놓여졌다. 타게트의 스퍼터링(이온충격)은 1분 40초간 0.4kw에서 진행되었다. 타게트에 면하는 칼낱은 58중량퍼센트의 백금과 42중량퍼센트의 크롬으로 구성되는 백금크롬합금피복을 받고 두께가 약 250Å이고 경도가 약 800DPHN으로 되었다. 이들 날들은 전술한 실시예에서와 같은 방법으로 폴리테트라플로로에틸렌 테르머의 박막으로 피복되었을 때 탁월한 면도특성을 보여주었다. 제3실예로서 0.3센티미터(

인치) 두께가 7.6센티미터(3인치) 직경의 티타늄원판(직경 5-1.5센티미터의 원판을 생성하는 암소덮개)이 일변 0.5센티미터, 두께 0.025센티미터(0.01인치)의 순수 백금박의 정발형 표면에 점용접되었다. 이들 정방형박은 티탄 표면의 8%가 백금으로 덮어지도록 상기 원판의 표면에 두었다. 100매의 스텐레스강 면도칼날의 퇴적이 고주파 스퍼터링 장치의 수냉된 직경 127밀리미터(5인치)의 알루미늄 원판의 위에 위치되었다. 백금 티탄 원판 표면은 63.5밀리미터(

인치)의 거리에 면도칼날과 평행하게 배치되었다. 면도칼날과 백금티탄원판과의 사이의 중간에 셔터가 삽치되었다.The platinum chrome target was covered with a metal cover during this clean process. The cover is covered with a razor blade and the platinum chrome target plate is supplied with 0.4 kilowatts of power (at an overlapping high-frequency signal of 13.56 megacycles and direct current vias at approximately 3400 volts and peak-peak approximately 4500 volts). It was placed to be clean while maintaining the micron mercury pressure. The sputtering of the target (ion shock) was performed at 0.4 kw for 1 minute 40 seconds. The cutlery facing the target was coated with a platinum chromium alloy consisting of 58 weight percent platinum and 42 weight percent chromium. The thickness was about 250 mm2 and the hardness was about 800 DPHN. These blades showed excellent shaving properties when coated with a thin film of polytetrafluoroethylene termer in the same manner as in the above embodiment. As a third example, 0.3 centimeters (

Inch) Titanium disc (3 inches) in diameter (cow cover that produces a disc of 5-1.5 centimeters in diameter) has a spot on the square surface of a pure platinum foil of 0.5 centimeters per side and 0.025 centimeters (0.01 inches) thick. Welded These square foils were placed on the surface of the disc so that 8% of the titanium surface was covered with platinum. Deposition of 100 stainless steel razor blades was placed on top of a water cooled aluminum disc of 127 millimeters (5 inches) in the high frequency sputtering apparatus. The platinum titanium disc surface is 63.5 millimeters (

In parallel to the razor blade). The shutter was inserted between the razor blade and the platinum titanium disc.

타게트는 다음에 전기한 실내에 알곤가스의 압력을 수은주 10미크론으로 유지하면서 0.8킬로와트의 공급전력에 의해서(약 4200볼트의 직류부 바이아스 및 겹치게 된 피크-피크치 약 5000볼트의 고주파 신호를 따라서 13.56메가사이클로) 10분간 예비 스퍼터링 되었다. 다음에 셔터는 면도칼날과 백금티탄 원판과의 사이에서 제거되고 또한 백금티탄 합금이 0.8킬로와트 공급전력으로 2분간의 스퍼터링에 의해서 날끝의 표면에 석출되었다. 그 피복은 24% 원자농도 백금 및 76% 원자농도 티탄을 함유한 백금 티탄 합금으로서 약 350Å의 두께를 갖고, 하지면도칼날 금속보다도 견고하였다. 이들 면도칼날은 적당한 계면결합층 및 폴라테트라플로로에틸렌테로머의 엷은 필름으로 피복된 때에 뛰어난 면도성 및 긴실용 수명을 보였다.The target is then operated with a 0.8 kilowatt supply (approximately 4200 volts DC bias and superimposed peak-peak approximately 5000 volts high frequency signal) while maintaining the pressure of argon gas at 10 microns of mercury. Megacyclo) for 10 minutes. The shutter was then removed between the razor blade and the platinum titanium disc and the platinum titanium alloy was deposited on the surface of the blade tip by sputtering for 2 minutes at 0.8 kilowatt power. The coating was a platinum titanium alloy containing 24% atomic concentration platinum and 76% atomic concentration titanium, having a thickness of about 350 mm 3, and more rigid than the bottom surface blade metal. These razor blades showed excellent shaving properties and long yarn life when coated with a suitable interfacial bond layer and a thin film of polytetrafluoroethylene teromer.

제4예로서 동양의 군의 면도칼날을 채용하여 6개의 텅스텐 코일이 팔라둠과 함께 실내에 장가되었다. 알곤이 10미크론의 알력으로 전기 실내에 있는 상태로 글로우 방전이 1600볼트의 전압 및 975밀리암페어의 전류로 7분간 행하였다. 알곤의 흐름은 다음에 정지되고 상기 실내의 압력은 0.1미크론으로 감해졌다. 텅스텐 팔라듐 코일은 다음에 12볼트의 전위 및 200암페어의 전류로 15분간 부세되며 팔라듐 및 텅스텐의 쌍방을 증방시키고 또한 중량으로 약 50%의 팔라듐 및 50%의 텅스텐을 함유하는 팔라듐 텅스텐 합금을 면도칼날의 표면에 석출시켰다. 피복한 날끝은 690DPHN에 상당하는 경도를 갖고 또한 기타의 실예에 있어서와 각이 불화탄소 테로머를 행하여서부터 날끝 금속의 경도는 650DPHN에 상당하는 경도였다. 이 면도칼날은 뛰어난 면도성을 나타내었다.As a fourth example, six tungsten coils were buried indoors together with palladium using an oriental razor blade. The glow discharge was performed for 7 minutes at a voltage of 1600 volts and a current of 975 milliamps while argon was in the electrical room with a 10 micron force. The flow of argon was then stopped and the pressure in the room was reduced to 0.1 micron. The tungsten palladium coil is then razor bladed with a palladium tungsten alloy containing 15% of palladium and 50% of tungsten, which is then boosted for 15 minutes at a potential of 12 volts and a current of 200 amperes and augments both palladium and tungsten. It precipitated on the surface of. The coated blade tip had a hardness equivalent to 690 DPHN, and in other examples, the hardness of the blade tip metal was equivalent to 650 DPHN since the angle was subjected to carbon fluoride teromers. This razor blade showed excellent shaving properties.

제6실예에서는, 152.4밀리미터(6인치)직경의 황동 타게트가 오스뮴 도금되었다. 다음에 크롬이 마스크를 통해서 타게트의 표면에 스퍼터링되어 오스뮴의 균등석출을 주도록 적당하게 상거되어 있는 64.5평방센치미터(10평방인치)의 오스뮴이 노출하여 남도록 하였다. 이 오스뮴 크롬 타게트는 제2실예에 사용된 것과 동일한 장치에 사용되었다. 알루미늄 원판 및 면도칼날은 0.2킬로와트의 고주파 전력으로 2분간 청정하게 하고 오스뮴 크롬 타게트는 다음에 0.4킬로와트의 공급 고주파 전력으로 1분간 예비 스퍼터링시켜, 다음에 0.4킬로와트의 고주파 전력으로 2분간에 걸쳐서 스퍼터링시켜서 석출이 진행하였다. 타게트에 면하는 날끝은 32% 원자농도 오스뮴 및 68% 원자농도 크롬을 포함하는 오스뮴 크롬 합금피복을 250Å의 두께로 받았다. 면도칼날은 다음에 폴리테트라플로로에틸렌테로머의 엷은 필름으로 피복시켜서 뛰어난 면도성을 나타냈다.In a sixth example, a brass target of 152.4 millimeter (6 inch) diameter was osmium plated. Chromium was then sputtered through the mask onto the surface of the target, leaving 64.5 square centimeters (10 square inches) of osmium, which was adequately seized to give an even deposition of osmium. This osmium chromium target was used in the same apparatus as used in the second example. The aluminum discs and razor blades are cleaned for 2 minutes with high frequency power of 0.2 kilowatts, and the osmium chromium target is then sputtered for 1 minute with 0.4 kilowatts of high frequency power, followed by sputtering for 2 minutes with high frequency power of 0.4 kilowatts. Precipitation proceeded. The blade tip facing the target was subjected to an osmium chromium alloy coating containing 32% atomic concentration osmium and 68% atomic concentration chromium at a thickness of 250 mm 3. The razor blade was then coated with a thin film of polytetrafluoroethylene teromer to show excellent shaving properties.

제2실예에 있어서와 같은 장치를 사용하는 기타의 실예는 다음 표에 일괄되어 있다.Other examples using the same apparatus as in the second example are summarized in the following table.

표 중^*인을 붙여 나타낸 합금은 폴리테트라플로로에틸린테로머에 대하여 뒤떨어진 접착친화성을 나타낸 것이다. 만족한 접착은 이들의 합금의 표면에 Cr₃pt의 계면층을 두는 것에 의해서 달성되였다. 합금의 스퍼터링 석출 후에, 정방형 백금박의 점용접된 크롬 원판이 석출실내의 타게트의 대신으로 되었다. 합금필름을 갖는 면도칼날은 0.2킬로와트 고주파 전력에서 30초간 청정케 되고 환치된 타게트는 0.4킬로와트 고주파 전력에서 10초간 예비 스퍼터링되고 다음에 Cr₃pt가 0.4킬로와트 고주파 전력에서 30초간 스퍼터링 석출되어 폴리테트라플로로에틸렌테로머에 대한 75Å 계면층을 형성하고, 이와같이 처리한 면도칼날은 뛰어난 면도 특성과 긴 실용 수명을 나타냈다. 표 중^**인을 붙여서 표시하고 있는 합금은 91.44밀리미터(3.6인치)의 타게트가 사용되었다.The alloys indicated by ^* in the table show inferior adhesion affinity to the polytetrafluoroethylinteromer. Satisfactory adhesion was achieved by placing an interface layer of Cr ₃ pt on the surface of these alloys. After sputtering precipitation of the alloy, the spot welded chromium disc of square platinum foil became a target in the precipitation chamber. The razor blade with alloy film was cleaned for 30 seconds at 0.2 kHz high frequency power, and the substituted target was sputtered for 10 seconds at 0.4 kilowatt high frequency power, and then Cr ₃ pt was sputtered for 30 seconds at 0.4 kilowatt high frequency power to polytetraflow. A 75 kPa interfacial layer for low ethylene teromers was formed and the razor blades thus treated showed excellent shaving properties and a long service life. The alloy marked with ^** in the table used a target of 91.44 millimeters (3.6 inches).

이상, 본 발명의 특정 실시예가 도시 설명되었지만 여러가지 개변이 이 발명에 숙달한 사람에게는 명확할 것으로 생각되며 따라서 본 발명은 상술실시예 또는 그 세부에 한정되어야 할 것은 아니고 여러 가지의 개변이 본 발명의 정신 및 범위내에서 가능할 것이다.While specific embodiments of the present invention have been illustrated and described, various modifications will be apparent to those skilled in the present invention, and therefore, the present invention should not be limited to the above-described embodiments or the details thereof, and various modifications of the present invention may be made. It will be possible within the spirit and scope.

Claims (1)

예리한 날끝에 금속피막을 갖는 면도칼날에 있어서 전기한 금속피막은, 규정된 A15 등축정계 구조 또는 정방정계(시그마상) 구조의 어느 것을 갖는 안정한 규정된 이원계(二元系)의 금속간화합물로 되고, 이러한 금속간화합물의 화학량적 성분의 ±5%의 범위내에서 전기한 구조의 차가 생기며 전기 금속간화합물은 이리듐, 오스뮴, 팔라듐, 백금, 레늄, 로듐 및 루테늄의 군으로부터 선택된 제1금속과, 크롬, 망간, 몰리브덴, 니오브, 탄탈, 티탄, 텅스텐 및 바나듐의 군으로부터 선택된 제2금속에서 되는 것을 특징으로 하는 면도칼날.The metal coating described above in the razor blade having a metal coating at the sharp blade end is a stable intermetallic compound having a stable binary system having either a defined A15 equiaxed or tetragonal (sigma) structure. The difference between the structures described above occurs within the range of ± 5% of the stoichiometric components of the intermetallic compound, and the intermetallic compound includes a first metal selected from the group of iridium, osmium, palladium, platinum, rhenium, rhodium and ruthenium; A razor blade comprising a second metal selected from the group of chromium, manganese, molybdenum, niobium, tantalum, titanium, tungsten and vanadium.

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