KR20240087722A - 액봉식 펌프의 운전 방법, 막 탈기 장치, 순수 제조 시스템 및 순수 제조 방법 - Google Patents
액봉식 펌프의 운전 방법, 막 탈기 장치, 순수 제조 시스템 및 순수 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20240087722A KR20240087722A KR1020247009627A KR20247009627A KR20240087722A KR 20240087722 A KR20240087722 A KR 20240087722A KR 1020247009627 A KR1020247009627 A KR 1020247009627A KR 20247009627 A KR20247009627 A KR 20247009627A KR 20240087722 A KR20240087722 A KR 20240087722A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- liquid
- vacuum pump
- pure water
- ring type
- liquid ring
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 329
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 146
- 238000007872 degassing Methods 0.000 title claims description 75
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims description 74
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 47
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 115
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 21
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 43
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 11
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 5
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 description 5
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 4
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 3
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 2
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 2
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000003673 groundwater Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0042—Degasification of liquids modifying the liquid flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/20—Treatment of water, waste water, or sewage by degassing, i.e. liberation of dissolved gases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/02—Stopping, starting, unloading or idling control
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
- B01D2311/26—Further operations combined with membrane separation processes
- B01D2311/2653—Degassing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
액봉식 진공 펌프의 운전 방법은, 액봉식 진공 펌프(28)에 접속된 진공 배관(30)으로부터 액체를 배출하고, 밀봉액을 가압 공급하여 액봉식 진공 펌프(28)에 소정량을 채움과 동시에 진공 배관(30)의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 액봉식 진공 펌프(28)를 구동시키고, 진공 배관(30)의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 가압한 밀봉액의 액봉식 진공 펌프(28)에의 공급을 정지시키고, 액봉식 진공 펌프(28)로부터 순환 유로(40)로 밀봉액을 순환시켜 밀봉액이 액봉식 진공 펌프(28)에 소정량 존재하는 상태를 유지한다.
Description
본 발명은 액봉식 펌프의 운전 방법, 막 탈기 장치, 순수 제조 시스템 및 순수 제조 방법에 관한 것이다.
순수 제조 장치 등의 일부를 구성하는 막 탈기 장치에는 막 탈기 장치의 기상 측에 응축수가 발생한다. 이 응축수는 막 탈기 장치의 결함을 일으키는 요인이 될 수 있다. 이 응축수에 의해, 예를 들면, 진공 펌프의 운전이 불량해지거나, 탈기 시에 기체가 투과하는 막 면적이 감소하여, 성능 저하를 일으키거나 하는 경우가 있다.
이와 같은 결함을 해소하기 위해, 일본 특허 공개 제2000-185203호 공보에는, 통수 탈기 공정을 정지한 후에, 중공사막 내부에 불활성 가스를 공급하여 진공을 해소함으로써, 중공사막이 정상적인 상태를 유지하는 막 탈기 장치의 운전 방법이 기재되어 있다.
그런데, 막 탈기 장치 등을 흡인하는 액봉식 진공 펌프에는, 순환 유로에 의해 밀봉액을 순환시키도록 구성한 것이 있다.
여기서, 예를 들면, 막 탈기 장치를 정지시킨 후에 다시 구동(기동)시키는 경우 등에 있어서, 막 탈기 장치로부터 액봉식 진공 펌프에 이르는 진공 배관에 액체가 잔류하여 진공도가 낮아짐과 동시에, 액봉식 진공 펌프의 내부에서도 진공도가 낮아지는 경우가 있다. 또는, 막 탈기 장치의 정지 후에 진공 배관 내부가 상압으로 복귀하는 경우도 있을 수 있다.
액봉식 진공 펌프는 내부가 소정의 진공 상태로 운전되고, 밀봉액을 토출하기 위해서는 일정 이상의 진공도가 필요하다. 따라서, 이와 같이 진공도가 낮으면, 순환 유로에 밀봉액을 순환시킬 수 없어, 액봉식 진공 펌프를 구동시킬 수 없다.
그러나, 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태에서도, 액봉식 진공 펌프를 구동할 수 있도록 하는 기술은 없다. 예를 들면, 상기의 일본 특허 공개 제2000-185203호 공보에는, 막 탈기 장치의 기상 측에 응축수가 발생함으로써 진공 배관의 진공도가 저하하여 액봉식 진공 펌프를 구동할 수 없게 될 우려가 있다는 점은 고려되지 않는다.
또한, 액봉식 진공 펌프를 적정하게 구동시키기 위해서는, 액봉식 진공 펌프 내부의 밀봉액량이 적정하게 되어 있을 필요가 있다. 예를 들면, 액봉식 진공 펌프의 내부가 밀봉액으로 채워지거나, 밀봉액이 부족해지게 되면, 액봉식 진공 펌프는 구동할 수 없게 되어 정지해 버린다.
본 발명의 목적은 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 구동할 수 있는 액봉식 진공 펌프의 운전 방법과, 이러한 액봉식 진공 펌프를 구비함으로써, 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태에서도, 피처리액으로부터 확실하게 탈기할 수 있는 막 탈기 장치, 이 막 탈기 장치를 구비한 순수 제조 시스템, 및 이 순수 제조 시스템에 의한 순수 제조 방법을 얻는 것이다.
제 1 양태의 액봉식 진공 펌프의 운전 방법에서는, 액봉식 진공 펌프에 접속된 진공 배관으로부터 액체를 배출하고, 밀봉액을 가압 공급하여 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 채움과 동시에 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 상기 액봉식 진공 펌프를 구동시키고, 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 가압한 상기 밀봉액의 상기 액봉식 진공 펌프에의 공급을 정지시키고, 상기 액봉식 진공 펌프로부터 순환 유로로 상기 밀봉액을 순환시켜 상기 밀봉액이 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하고 있는 상태를 유지한다.
즉, 제 1 양태의 액봉식 진공 펌프의 운전 방법에서는, 액봉식 진공 펌프의 기동 시 등에 진공 배관에 액체가 존재하고 있더라도, 이 액체를 배출한다. 이 때문에, 진공 배관 내의 액체에 의해 진공 펌프 내부가 채워져, 액봉식 진공 펌프를 구동시킬 수 없는 상태로 된다는 사태의 발생을 피할 수 있다.
그리고, 밀봉액을 가압 공급하여 액봉식 진공 펌프에 소정량을 채운다. 이것에 의해, 액봉식 진공 펌프의 밀봉액량을 액봉식 진공 펌프의 구동에 적합한 양으로 할 수 있다. 또한, 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 밀봉액을 가압 공급하는 상태에서 액봉식 진공 펌프를 구동하므로, 액봉식 진공 펌프가 정지되지 않고 운전을 계속할 수 있어, 진공 배관의 진공도를 소정 범위에 도달시킬 수 있다.
진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 액봉식 진공 펌프로의 밀봉액 공급을 정지시킨다. 그리고, 액봉식 진공 펌프로부터 순환 유로로 밀봉액을 순환시켜, 밀봉액이 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하고 있는 상태를 유지한다. 이것에 의해, 순환 유로를 순환하는 밀봉액을 이용하여 액봉식 진공 펌프의 운전 상태를 유지할 수 있다.
이와 같이, 제 1 양태의 액봉식 진공 펌프의 운전 방법에서는, 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 구동시킬 수 있다.
제 2 양태에서는, 상기 진공 배관으로부터의 상기 액체의 배출을 상기 진공 배관으로의 가압 기체의 공급에 의해 행한다.
진공 배관에 가압 기체를 공급하기 때문에, 진공 배관으로부터의 액체의 배출이 용이하다.
제 3 양태에서는, 상기 진공 배관에의 가압 기체의 공급에 의해 상기 진공 배관 내부의 상기 액체를 상기 액봉식 진공 펌프로 보낸다.
진공 배관의 액체를 액봉식 진공 펌프 이외의 부재로 배출하는 공정이 불필요하고, 진공 배관으로부터의 액체의 배출이 용이하다.
제 4 양태에서는, 가압한 상기 밀봉액을 상기 순환 유로의 도중으로부터 상기 액봉식 진공 펌프에 공급한다.
가압한 밀봉액을 액봉식 진공 펌프에 공급하는 유로의 일부로서 순환 유로를 사용하기 때문에, 밀봉액의 공급이 용이하다.
제 5 양태에서는, 가압한 상기 밀봉액을 상기 순환 유로 도중의 기액 분리 탱크와 상기 액봉식 진공 펌프 사이의 상기 순환 유로로부터 도입한다.
따라서, 가압한 밀봉액을 기액 분리 탱크로 보내지 않고, 액봉식 진공 펌프에 공급할 수 있다.
제 6 양태에서는, 상기 순환 유로를 통해 상기 액봉식 진공 펌프의 과잉 밀봉액을 배출한다.
액봉식 진공 펌프의 과잉 밀봉액을 순환 유로에 의해 순환시킬 수 있으므로, 액봉식 진공 펌프의 배액을 액봉식 진공 펌프로부터 직접적으로 폐기하는 구성과 비교하여, 밀봉액이 낭비되지 않는다.
제 7 양태의 막 탈기 장치는 액봉식 진공 펌프와, 상기 액봉식 진공 펌프에 접속된 진공 배관에 의해 내부가 흡인되는 막 탈기 부재와, 상기 진공 배관으로부터 액체를 배출하는 배출 수단과, 상기 액봉식 진공 펌프에 접속되어 밀봉액을 순환시키는 순환 유로와, 상기 액봉식 진공 펌프에 가압한 상기 밀봉액을 공급하는 공급 부재를 갖는다.
이 막 탈기 장치에서는, 배출 수단을 갖기 때문에, 액봉식 진공 펌프의 기동 시 등에 진공 배관에 액체가 존재하고 있어도, 배출 수단에 의해 이 액체를 배출함으로써, 진공 배관의 진공도를 높은 상태로 할 수 있고, 액봉식 진공 펌프의 진공도도 높은 상태로 할 수 있다.
그리고, 공급 부재에 의해, 가압한 밀봉액을 액봉식 진공 펌프에 공급함으로써, 액봉식 진공 펌프의 밀봉액량을 구동에 적합한 양으로 할 수 있다. 진공 배관의 압력이 소정 압력에 도달할 때까지 액봉식 진공 펌프를 구동함으로써, 진공 배관의 진공도를 소정 범위로 할 수 있다.
진공 배관의 압력이 소정 압력에 도달하면, 공급 부재에 의한 액봉식 진공 펌프로의 밀봉액 공급을 정지시키고, 순환 유로에 밀봉액을 순환시킨다. 즉, 순환 유로를 순환하는 밀봉액을 이용하여 액봉식 진공 펌프의 운전 상태를 유지할 수 있고, 막 탈기 부재에 의한 탈기를 행할 수 있다. 막 탈기 장치의 정지에 의해 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 확실하게 구동하고, 막 탈기 부재에 의한 탈기를 행할 수 있다.
제 8 양태의 순수 제조 시스템은 원수로부터, 불순물이 제거된 순수를 제조하는 순수 제조 장치와, 상기 순수 제조 장치의 일부를 이루고 상기 순수의 제조 도중의 처리수나 제조된 상기 순수로부터 기체를 제거하는 제 7 양태의 막 탈기 장치를 갖는다.
이 순수 제조 시스템에서는, 제 7 양태의 막 탈기 장치를 갖기 때문에, 막 탈기 장치의 정지에 의해 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 확실하게 구동시키고, 막 탈기 부재에 의한 탈기를 행할 수 있다. 그리고, 순수의 제조 도중의 처리수나 제조된 순수로부터, 막 탈기 부재에 의해, 기체를 제거할 수 있다.
제 9 양태의 순수 제조 방법에서는, 원수로부터, 불순물이 제거된 순수를 제조하는 순수 제조 장치와, 상기 순수 제조 장치의 일부를 이루고 상기 순수의 제조 도중의 처리수나 제조된 상기 순수로부터 기체를 제거하는 막 탈기 장치를 구비한 순수 제조 시스템에 의해 순수를 제조하는 순수 제조 방법으로서, 상기 막 탈기 장치와 액봉식 진공 펌프를 접속하는 진공 배관으로부터 액체를 배출하고, 밀봉액을 가압 공급하여 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 채우는 것과 동시에, 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 상기 액봉식 진공 펌프를 구동시키고, 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 가압한 상기 밀봉액의 상기 액봉식 진공 펌프로의 공급을 정지시키고, 상기 액봉식 진공 펌프로부터 순환 유로로 상기 밀봉액을 순환시켜 상기 밀봉액이 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하고 있는 상태를 유지한다.
이 순수 제조 방법에서는, 순수 제조 시스템에서 순수를 제조함에 있어서, 순수의 제조 도중의 처리수 또는 제조된 순수로부터, 막 탈기 장치에 의해 기체를 제거할 수 있다. 막 탈기 장치의 내부는 액봉식 진공 펌프를 이용하여 진공 배관을 통해 흡인된다.
액봉식 진공 펌프의 기동 시 등에 진공 배관에 액체가 존재하고 있어도, 이 액체를 배출하므로, 진공 배관 내의 액체에 의해 진공 펌프 내부가 채워져 버려, 액봉식 진공 펌프를 구동시킬 수 없는 상태로 된다는 사태의 발생을 피할 수 있다.
그리고, 밀봉액을 가압 공급하여 액봉식 진공 펌프에 소정량을 채운다. 이것에 의해, 액봉식 진공 펌프의 밀봉액량을 구동에 적합한 양으로 할 수 있다. 또한, 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 밀봉액을 가압하는 상태에서 액봉식 진공 펌프를 구동하므로, 액봉식 진공 펌프가 정지되는 일없이 운전을 계속할 수 있어, 진공 배관의 진공도가 소정 범위에 도달할 수 있다.
진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 액봉식 진공 펌프로의 밀봉액 공급을 정지시킨다. 그리고, 순환 유로에 밀봉액을 순환시켜, 밀봉액이 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하고 있는 상태를 유지한다. 이것에 의해, 순환 유로를 순환하는 밀봉액을 이용하여 액봉식 진공 펌프의 운전 상태를 유지할 수 있다.
이와 같이, 제 9 양태의 순수 제조 방법에서는, 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 구동시키는 것이 가능하다. 그리고, 액봉식 진공 펌프의 운전에 의해 막 탈기 장치의 내부를 흡인할 수 있다.
본 발명에서는, 진공 배관의 진공도가 낮아져 있는 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프를 구동시키는 것이 가능하다.
도 1은 제 1 실시형태의 막 탈기 장치를 구비한 초순수 제조 시스템의 구성도이다.
도 2는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치를 나타내는 구성도이다.
도 3은 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 4는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 5는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 6은 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 2는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치를 나타내는 구성도이다.
도 3은 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 4는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 5는 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
도 6은 제 1 실시형태의 막 탈기 장치의 구동 도중의 상태를 나타내는 구성도이다.
이하, 도면을 참조하여 제 1 실시형태에 관한 액봉식 진공 펌프에 의해 내부가 흡인되는 막 탈기 장치와, 이 막 탈기 장치를 구비한 순수 제조 시스템에 대하여 설명한다.
제 1 실시형태의 순수 제조 시스템(12)은 원수로부터 불순물이 제거된 순수를 제조하는 순수 제조 장치(62)를 구비하고 있다. 순수 제조 장치(62)는 전처리 장치(14), 1차 순수 장치(16), 순수 탱크(18), 2차 순수 장치(20) 및 유스 포인트(22)를 구비하고 있다. 또한, 후술하는 막 탈기 장치(24)는 순수 제조 장치(62)의 일부를 구성하고 있다.
전처리 장치(14)에는 원수가 공급된다. 원수로는 공업용수, 수돗물, 지하수, 하천수 등을 들 수 있다.
전처리 장치(14)에서는 제탁(除濁) 등의 처리를 행하여, 원수 중의 현탁 물질 및 유기물의 일부가 제거된 전처리수를 획득한다. 또, 원수의 수질에 따라서는 전처리 장치(14)는 생략하여도 좋다.
1차 순수 장치(16)에서는, 활성탄 등의 흡착제를 사용하여, 전처리수에 잔존하는 입자를 흡착함과 동시에, 역삼투막 장치 등의 막 여과 장치를 이용하여 무기 이온, 유기물, 미립자 등을 제거한다. 또한, 1차 순수 장치(16)는 이온 교환 장치나 자외선 조사 장치를 구비하고 있어도 좋다. 이온 교환 장치는 전처리 수로부터 잔존하는 이온 등을 제거한다.
제 1 실시형태에서, 1차 순수 장치(16)는 또한 막 탈기 장치(24)(도 2 참조)를 사용하여, 전처리수로부터 용존 산소 등의 용존 가스를 제거한다.
1차 순수 장치(16)에서의 상기한 각종 장치의 위치, 즉, 전처리수의 흐름 방향에 있어서의 순서는 각 처리에 적절한 순서로 되고, 특정 순서로 한정되는 것은 아니다.
1차 순수 장치(16)에서는, 이와 같이 하여, 전처리 장치(14)에서 처리하여 얻어진 전처리수에 대하여, 필요에 따라 추가의 청정화 처리를 행하여 불순물을 제거하고, 1차 순수를 얻는다.
1차 순수 장치(16)에서 얻어진 1차 순수는 순수 탱크(18)로 보내진다. 순수 탱크(18)는 1차 순수 장치(16)에서 얻어진 1차 순수를 일시적으로 저장하는 용기이다.
순수 탱크(18)에 저장된 1차 순수는 2차 순수 장치(20)로 보내진다.
2차 순수 장치(20)는, 예를 들면, 자외선 조사 장치를 갖고 있다. 자외선 조사 장치는, 1차 순수에 대하여 자외선을 조사함으로써, 1차 순수 내의 유기물의 분해나 생균의 사멸 처리(살균) 등을 행한다. 2차 순수 장치(20)는 자외선 조사 장치에서 발생된 유기산 등의 불순물 이온을 이온 교환 장치에 의해 제거하는 구성을 더 갖고 있어도 좋다. 또한, 2차 순수 장치(20)에서도 1차 순수 장치(16)와 마찬가지로, 막 탈기 장치에 의해 1차 순수 중의 기체, 특히, 용존 산소를 제거하는 구성으로 하여도 좋다.
또한, 본 실시형태의 2차 순수 장치(20)는 막 여과 장치(UF)를 갖고 있다. 막 여과 장치(UF)는 1차 순수로부터 미립자를 제거하여 초순수를 얻는다.
2차 순수 장치(20)에 의해 얻어진 초순수는 사용 장소인 유스 포인트(22)로 송출된다. 송출된 초순수 중, 사용되지 않은 초순수는 그대로 1차 순수 장치(16) 또는 순수 탱크(18)로 순환된다.
도 2에는 1차 순수 장치(16)에서 사용되는 막 탈기 장치(24)가 도시되어 있다. 막 탈기 장치(24)는 피처리액인 1차 순수가 흐르는 1차 순수 유로에 설치되어 있고, 막 탈기 부재(26)를 갖고 있다. 막 탈기 부재(26)의 내부에는, 일례로서, 중공사막이 배치되어 있고, 이 중공사막에 의해 기상부와 액상부로 구획되어 있다.
막 탈기 부재(26)의 액상부에는, 탈기의 대상인 액체, 본 발명의 기술에서는 1차 순수가 공급된다. 그리고, 기상부가 후술하는 액봉식 진공 펌프(28)에 의해 감압됨으로써, 1차 순수 중의 기체가 중공사막을 투과하여 기상부로 이동한다. 이것에 의해, 1차 순수로부터 용존 가스가 제거된다.
막 탈기 부재(26)와 액봉식 진공 펌프(28)는 진공 배관(30)을 통해 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 막 탈기 부재(26)의 기상부에는 기체 공급 배관(32)이 접속되어 있다. 기체 공급 배관(32)에는 기체 공급 밸브(34)가 마련되어 있다. 도시하지 않은 기체 공급 펌프를 구동시키고, 기체 공급 밸브(34)를 개방 상태로 함으로써, 막 탈기 부재(26)의 기상부에 소정의 가스(예를 들면, N2 가스)를 공급하는 것이 가능하다.
진공 배관(30)에는, 내부의 압력을 검지하는 기체 압력 센서(36)와 이 진공 배관(30)을 개폐하는 진공 개폐 밸브(38)가 마련되어 있다.
액봉식 진공 펌프(28)에는 순환 유로(40)가 접속되어 있다. 순환 유로(40)는 기액 분리 탱크(42) 및 열교환기(44)를 갖고 있다. 순환 유로(40)는 복수의 순환 배관(46A, 46B, 46C)에 의해, 액봉식 진공 펌프(28)로부터 밀봉액이 기액 분리 탱크(42) 및 열교환기(44)를 거쳐 액봉식 진공 펌프(28)로 순환하도록 구성되어 있다. 이와 같이 밀봉액을 순환시킴으로써, 액봉식 진공 펌프(28)로부터 배출된 밀봉액을 액봉식 진공 펌프(28)로 복귀시켜 재사용하는 것이 가능하다.
액봉식 진공 펌프(28)로부터 배출된 밀봉액에는 기체가 포함되어 있는 경우가 있다. 기액 분리 탱크(42)에서는, 이 밀봉액에 대하여 기액 분리를 행한다. 그리고, 기액 분리 탱크(42)에 의해 기체가 제거된 밀봉액이 순환 배관(46B)으로 흘러 열교환기(44)에 이른다.
열교환기(44)에서는, 기액 분리 탱크(42)로부터 액봉식 진공 펌프(28)로 보내지는 밀봉액과, 도시하지 않은 열 매체와의 사이에서 열교환을 행하여, 밀봉액의 온도를 소정 범위 내로 한다. 열교환기(44)에 의해 온도 조절된 밀봉액은 순환 배관(46C)으로 흐른다.
순환 배관(46C)에는 순환 개폐 밸브(48) 및 유량계(50)가 마련되어 있다. 순환 개폐 밸브(48)를 개방 상태로 함으로써, 순환 유로(40)에서 밀봉액을 순환시키는 것이 가능해진다.
유량계(50)는 순환 유로(40)에서의 밀봉액의 순환량(단위 시간당 흐르는 밀봉액의 양)을 검출한다. 검출된 순환량의 데이터는 도시하지 않은 제어 장치로 전송된다. 제어 장치에서는, 밀봉액의 순환량이 소정 범위 내에 있는 경우는 액봉식 진공 펌프(28)를 구동 상태로 하고, 밀봉액의 순환량이 소정 범위에 없는 경우에는 액봉식 진공 펌프(28)를 정지 상태로 제어한다.
기액 분리 탱크(42)에는, 밀봉액 공급 배관(52)과 밀봉액 배출 배관(54)이 접속되어 있다. 밀봉액 공급 배관(52)에는 밀봉액 공급 밸브(56)가 마련되어 있다. 또한, 밀봉액 공급 배관(52)에는 도시하지 않은 가압 펌프가 마련되어 있다. 가압 펌프를 구동시키고, 밀봉액 공급 밸브(56)를 개방함으로써, 밀봉액을 기액 분리 탱크(42)에 공급할 수 있다. 기액 분리 탱크(42)로부터 오버플로우된 밀봉액은 밀봉액 배출 배관(54)으로부터 배출된다.
봉액 공급 배관(52)으로부터는, 밀봉액 공급 밸브(56)보다도 밀봉액의 유동 방향의 상류 측(도 2의 우측)으로부터 분기 배관(58)이 분기되어 있다. 이 분기 배관(58)은 순환 개폐 밸브(48)와 유량계(50) 사이에서 순환 배관(46C)에 합류하고 있다.
분기 배관(58)에는 분기 개폐 밸브(60)가 마련되어 있다. 밀봉액 공급 밸브(56)를 폐쇄 상태로 함과 동시에 분기 개폐 밸브(60)를 개방 상태로 함으로써, 가압된 밀봉액을 기액 분리 탱크(42)를 경유하지 않고, 액봉식 진공 펌프(28)로 보낼 수 있다.
다음에, 본 실시형태의 작용, 액봉식 진공 펌프의 운전 방법에 대하여 설명한다. 또, 도 3 내지 도 6의 각 밸브에서, 폐쇄 상태인 경우를 흰색으로, 개방 상태에 있는 경우를 검은색으로 표시하고 있다. 또한, 각 배관에서, 유체가 흐르고 있는 상태를 굵은 선으로, 유체가 흐르고 있지 않은 상태를 얇은 선으로 표시하고 있다.
여기서는, 막 탈기 장치(24)가 정지된 상태에서 운전을 재개하는 경우를 예로 든다. 이 경우, 진공 배관(30)에는, 예를 들면, 막 탈기 장치(24)의 기상 측에 발생된 응축수(진공 배관(30) 내의 액체의 일례)가 존재하는 경우가 있다. 그리고, 이 응축수에 의해 진공 배관(30)의 진공도가 낮은 상태가 되어 버려, 액봉식 진공 펌프(28) 내부의 진공도도 낮은 상태로 되는 경우가 있다. 또, 이와 같이 진공 배관(30)의 진공도가 낮고 액봉식 진공 펌프(28) 내부의 진공도도 낮은 상태는, 예를 들면, 신규의 막 탈기 장치(24)를 운전 개시하는 경우나, 앞서 설명한 막 탈기 장치(24)에 있어서, 일부 요소, 일례로 액봉식 진공 펌프(28)의 교환을 행한 경우, 또는 어떤 이유로 막 탈기 장치(24)가 비상 정지했을 때에도 발생될 수 있다.
그런데, 액봉식 진공 펌프(28)는 내부가 소정의 진공도로 되어 있는 상태에서 구동되는 펌프이다. 그리고, 액봉식 진공 펌프(28)의 진공도가 낮은 경우에는, 밀봉액을 순환 유로(40)에서 순환시킬 수 없다.
이 경우에는, 순환 유로(40)에서의 밀봉액 순환량이 소정 범위에 없는 것을 유량계(50)가 검지하므로, 도시하지 않은 제어 장치는 액봉식 진공 펌프(28)가 비록 구동되고 있어도, 이 액봉식 진공 펌프(28)의 구동을 정지시키는 것으로 되어 버린다.
이에 비해, 본원의 개시 기술의 액봉식 진공 펌프의 운전 방법에서는, 우선, 도 3에 나타내는 바와 같이, 액봉식 진공 펌프(28)를 구동시키지 않고, 진공 배관(30)으로부터 응축수를 배출한다. 본 실시형태의 막 탈기 장치(24)에서는, 막 탈기 부재(26)에 기체 공급 배관(32)이 접속되어 있으므로, 예를 들어, 기체 공급 밸브(34) 및 진공 개폐 밸브(38)를 모두 개방 상태로 하고, 기체 공급 배관(32)으로부터, 막 탈기 장치(24)를 거쳐 진공 배관(30)으로 기체를 흘린다. 이것에 의해, 진공 배관(30)의 액체를, 공급된 기체와 함께 액봉식 진공 펌프(28)로 보내어 진공 배관(30)으로부터 응축수를 배출할 수 있다. 이 경우에 기체 공급 압력은 진공 배관(30) 내의 응축수를 배출할 수 있을 정도면 좋으므로, 높은 압력은 필요하지 않다. 예를 들어, 공급압은 0.01 ~ 0.4 MPa가 바람직하고, 0.04 ~ 1.5 MPa가 보다 바람직하다. 기체로는, 예를 들면, 질소 가스, 아르곤 가스 등의 불활성 가스나 공기 등을 사용할 수 있다.
여기서, 액봉식 진공 펌프(28)로부터 배출된 밀봉액은 순환 배관(46A)을 거쳐 기액 분리 탱크(42)로 흐른다. 또한, 기액 분리 탱크(42)로부터 오버플로우한 밀봉액은 밀봉액 배출 배관(54)으로부터 외부로 배출된다.
또, 이 단계에서, 순환 개폐 밸브(48) 및 분기 개폐 밸브(60)는 폐쇄 상태로 되어, 순환 유로(40)로부터 밀봉액이 액봉식 진공 펌프(28)로 유입되지 않도록 한다. 또한, 밀봉액 공급 밸브(56)를 개방 상태로 함으로써, 가압된 밀봉액이 기액 분리 탱크(42)로 공급되도록 하면 좋다.
다음으로, 도 4에 나타내는 바와 같이, 밀봉액 공급 밸브(56)를 폐쇄 상태로 함과 동시에 분기 개폐 밸브(60)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 가압된 밀봉액이 분기 배관(58) 및 순환 배관(46C)의 일부(분기 배관(58)의 합류부보다 하류 측의 부분)를 거쳐 액봉식 진공 펌프(28)로 보내진다. 이 상태에서도, 액봉식 진공 펌프(28)로부터 배출된 밀봉액은 순환 배관(46A)을 거쳐 기액 분리 탱크(42)로 흐른다. 다만, 순환 개폐 밸브(48)는 폐쇄 상태를 유지하고 있고, 밀봉액이 기액 분리 탱크(42)로부터 액봉식 진공 펌프(28)로 흐르는 것은 아니다. 가압 공급하는 밀봉액은 물이 바람직하다. 수돗물, 공수 등의 원수, 순수, 초순수, 정제수 등 및 이들을 제조할 때의 중간 처리수를 사용할 수 있다. 막 탈기 장치(24) 내, 특히, 막 탈기 부재(26) 내를 청정하게 유지하는 관점에서, 봉수는 순수, 초순수, 정제수 등 및 이들을 제조할 때의 중간 처리수가 보다 바람직하고, 순수, 초순수가 더욱 바람직하다. 밀봉액의 공급압은 0.05 ~ 0.4 MPa가 바람직하고, 0.1 ~ 0.2 MPa가 보다 바람직하다.
그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 도시하지 않은 제어 장치에 의해 액봉식 진공 펌프(28)를 구동시키고, 진공 배관(30)으로부터 기체를 흡인한다. 이것에 의해, 진공 배관(30)의 진공도가 상승한다. 또한, 액봉식 진공 펌프(28)의 진공도도 상승한다. 기체 압력 센서(36)에서 진공 배관(30)의 압력을 검지하고 있으므로, 진공 배관(30)의 진공도가 소정 범위에 도달할 때까지(소정 압력으로 감압될 때까지), 액봉식 진공 펌프(28)를 계속해서 구동시킨다.
진공 배관(30)의 진공도가 소정 범위에 도달하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 분기 개폐 밸브(60)를 폐쇄 상태로 함과 동시에, 순환 개폐 밸브(48)를 개방 상태로 한다. 이것에 의해, 순환 유로(40)를 순환하는 밀봉액에 의해, 액봉식 진공 펌프(28)로 밀봉액이 보내진다. 즉, 액봉식 진공 펌프(28)에는 소정량의 밀봉액이 존재하는 상태가 유지되고, 액봉식 진공 펌프(28)가 계속적으로 운전된다.
이상의 설명으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 진공 배관(30)에 액체가 존재하고 진공 배관(30)의 진공도가 낮게 된 상태이더라도, 액봉식 진공 펌프(28)를 구동시키는 것이 가능하다.
액봉식 진공 펌프(28)를 구비한 막 탈기 장치(24)는, 본 실시형태에서는 1차 순수 장치(16)에 내장되어 있다. 즉, 1차 순수 장치(16)에 의해 1차 순수를 제조하는 과정에서, 막 탈기 장치(24)를 정지 상태로부터 확실하게 구동하여, 피처리수(전처리수)로부터 탈기하는 것이 가능하다.
이와 같이, 상기에서는 막 탈기 장치(24)가 1차 순수 장치(16)에 내장된 예를 들었지만, 1차 순수 장치(16)를 대신하거나 병용하여 2차 순수 장치(20)에 막 탈기 장치(24)가 내장되어 있어도 좋다. 요컨대, 막 탈기 장치(24)는 순수 제조 장치(62)의 일부를 이루고, 순수 제조 시스템(12)의 일부로 내장되어 있으면 좋다.
또한, 본 발명의 기술에 관한 순수 제조 시스템으로서는, 2차 순수 장치(20)를 구비한 구성으로 한정되지 않고, 1차 순수 장치(16)에서 제조된 순수가 유스 포인트(22)로 보내지는 구성이더라도 좋다. 2차 순수 장치(20)를 구비한 구성에서, 2차 순수 장치(20)에 의해 얻어진 순수는 1차 순수 장치(16)에서 얻어진 1차 순수보다도 불순물이 더 제거되어 있어, 초순수라고 지칭되는 경우가 있다. 즉, 본 발명의 기술에 관한 순수 제조 시스템에는 실질적으로 초순수를 제조할 수 있는 초순수 제조 시스템도 포함된다.
또한, 본 발명의 기술에 관한 순수 제조 시스템에서는, 원수의 종류에 따라 전처리 장치(14)를 생략하여도 좋은 경우가 있다. 즉, 전처리 장치(14)를 갖지 않는 구성이어도, 본원의 개시 기술의 순수 제조 시스템에 포함된다.
상기의 예에서는, 진공 배관(30)으로부터 액체를 배출하는 배출 수단의 일례로서, 기체 공급 배관(32)으로부터 공급되는 기체의 압력에 의해 액봉식 진공 펌프(28)로 액체를 보내는 구성을 들었지만, 진공 배관(30)으로부터 액체를 배출하는 배출 수단의 구성은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 진공 배관(30)에서의 수직 방향의 최하부에 액봉식 진공 펌프(28)를 위치시킴으로써, 진공 배관(30) 내의 액체가 중력에 의해 액봉식 진공 펌프(28)로 배출되는 구성이어도 좋다. 상기의 실시형태와 같이 진공 배관(30)에 가압된 기체를 공급하는 구성으로 함으로써, 진공 배관(30) 내부의 액체를 보다 확실하고 또한 단시간에 배출하는 것이 가능하다.
또한, 진공 배관(30) 내의 액체의 배출처는 액봉식 진공 펌프(28)로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 진공 배관(30)에서의 연직 방향의 최하부로부터 선단이 개방된 배출 배관을 분기함과 동시에 이 배출 배관을 개폐하는 개폐 밸브를 마련한 구성으로 하여도 좋다. 이 구성에서는, 진공 배관(30)으로부터 액체를 배출하는 경우에는, 이 개폐 밸브를 개방 상태로 하면 좋다. 본 발명의 제 1 실시형태에서는, 진공 배관(30) 내의 액체가 액봉식 진공 펌프(28)로 이동하도록 하고 있으므로, 상기한 진공 배관(30)으로부터의 분기 배관이나 개폐 밸브가 불필요하다. 또한, 개폐 밸브의 개폐 조작도 불필요하여, 간단하게 진공 배관(30)으로부터 액체를 배출할 수 있다.
또한, 상기의 예에서는, 액봉식 진공 펌프(28)에 가압한 밀봉액을 공급하는 공급 부재의 일례로서, 분기 배관(58)을 밀봉액 공급 배관(52)으로부터 분기시킴과 동시에, 순환 유로(40)(순환 배관(46C))에 합류시키는 구성을 들었다. 이 분기 배관(58)은 밀봉액 공급 배관(52)이나 순환 유로(40)와는 독립적으로 마련되어 있어도 좋다. 상기의 분기 배관(58)과 같이, 밀봉액 공급 배관(52)으로부터 분기시키고, 순환 유로(40)에 합류시키는 배관을 마련한 구성에서는, 밀봉액 공급 배관(52) 및 순환 유로(40)가 액봉식 진공 펌프(28)로 가압된 밀봉액을 보내는 유로의 일부를 겸하므로, 구조를 간소화할 수 있다.
분기 배관(58)은 순환 유로(40)에서 기액 분리 탱크(42)보다 하류 측에서 합류하고 있다. 따라서, 가압된 밀봉액을 기액 분리 탱크(42)로 보내지 않고, 액봉식 진공 펌프(28)에 공급할 수 있다.
상기에서는, 액봉식 진공 펌프(28)에 가압한 밀봉액을 공급하는 과정에서 배출된 밀봉액을 순환 유로(40)를 통해 기액 분리 탱크(42)로 배출하고 있다. 액봉식 진공 펌프(28)로부터 배출된 밀봉액이 순환 유로(40)를 흘러, 다시 액봉식 진공 펌프(28)로 복귀하도록 되어, 밀봉액의 낭비가 생기지 않는다.
2021년 10월 5일에 출원된 일본 특허 출원 제2021-164278호의 개시는 그 전체가 참조로서 본 명세서에 포함된다.
본 명세서에 기재된 모든 문헌, 특허 출원 및 기술 규격은 개개의 문헌, 특허 출원 및 기술 규격이 참조에 의해 도입되는 것이 구체적이고 또한 개별적으로 기재된 경우와 같은 정도로본 명세서에 참고로 포함된다.
Claims (9)
- 액봉식 진공 펌프에 접속된 진공 배관으로부터 액체를 배출하고,
밀봉액을 가압 공급하여 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 채움과 동시에 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 상기 액봉식 진공 펌프를 구동시키고,
상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 가압한 상기 밀봉액의 상기 액봉식 진공 펌프로의 공급을 정지시키고, 상기 액봉식 진공 펌프로부터 순환 유로로 상기 밀봉액을 순환시켜 상기 밀봉액이 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하고 있는 상태를 유지하는,
액봉식 진공 펌프의 운전 방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 진공 배관으로부터의 상기 액체의 배출은, 상기 진공 배관에 가압 기체를 공급함으로써 행해지는, 액봉식 진공 펌프의 운전 방법. - 제 2 항에 있어서,
상기 진공 배관에 가압 기체를 공급함으로써 상기 진공 배관 내의 상기 액체를 상기 액봉식 진공 펌프로 보내는, 액봉식 진공 펌프의 운전 방법. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
가압한 상기 밀봉액을 상기 순환 유로 도중에서 상기 액봉식 진공 펌프로 공급하는, 액체 밀봉 식 진공 펌프의 운전 방법. - 제 4 항에 있어서,
가압한 상기 밀봉액을 상기 순환 유로 도중의 기액 분리 탱크와 상기 액봉식 진공 펌프 사이의 상기 순환 유로로 보내는, 액봉식 진공 펌프의 운전 방법. - 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 순환 유로를 거쳐 상기 액봉식 진공 펌프의 과잉 밀봉액을 배출하는, 액봉식 진공 펌프의 운전 방법. - 액봉식 진공 펌프와,
상기 액봉식 진공 펌프에 접속된 진공 배관에 의해 내부가 흡인되는 막 탈기 부재와,
상기 진공 배관으로부터 액체를 배출하는 배출 수단과,
상기 액봉식 진공 펌프에 접속되어 밀봉액을 순환시키는 순환 유로와,
상기 액봉식 진공 펌프에 가압한 상기 밀봉액을 공급하는 공급 부재
를 구비하는 막 탈기 장치. - 원수로부터 불순물이 제거된 순수를 제조하는 순수 제조 장치와,
상기 순수 제조 장치의 일부를 이루고, 상기 순수의 제조 도중의 처리수나 제조된 상기 순수로부터 기체를 제거하는 제 7 항에 기재된 막 탈기 장치
를 구비하는 순수 제조 시스템. - 원수로부터 불순물이 제거된 순수를 제조하는 순수 제조 장치와, 상기 순수 제조 장치의 일부를 이루고, 상기 순수의 제조 도중의 처리수나 제조된 상기 순수로부터 기체를 제거하는 막 탈기 장치를 구비한 순수 제조 시스템에 의해 순수를 제조하는 순수 제조 방법으로서,
상기 막 탈기 장치와 액봉식 진공 펌프를 접속하는 진공 배관으로부터 액체를 배출하고,
밀봉액을 가압 공급하여 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량을 채움과 동시에, 상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압될 때까지 상기 액봉식 진공 펌프를 구동시키고,
상기 진공 배관의 압력이 소정 압력으로 감압되면, 가압한 상기 밀봉액의 상기 액봉식 진공 펌프로의 공급을 정지시키고, 상기 액봉식 진공 펌프로부터 순환 유로로 상기 밀봉액을 순환시켜 상기 밀봉액이 상기 액봉식 진공 펌프에 소정량 존재하는 상태를 유지하는,
순수 제조 방법.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2021-164278 | 2021-10-05 | ||
| JP2021164278A JP7155373B1 (ja) | 2021-10-05 | 2021-10-05 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
| PCT/JP2022/028237 WO2023058298A1 (ja) | 2021-10-05 | 2022-07-20 | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20240087722A true KR20240087722A (ko) | 2024-06-19 |
Family
ID=83658093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020247009627A KR20240087722A (ko) | 2021-10-05 | 2022-07-20 | 액봉식 펌프의 운전 방법, 막 탈기 장치, 순수 제조 시스템 및 순수 제조 방법 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7155373B1 (ko) |
| KR (1) | KR20240087722A (ko) |
| CN (1) | CN118043122A (ko) |
| TW (1) | TW202330076A (ko) |
| WO (1) | WO2023058298A1 (ko) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3322798B2 (ja) * | 1996-07-12 | 2002-09-09 | 株式会社サムソン | 封水を循環使用する膜脱気装置 |
| JP3521778B2 (ja) | 1998-12-22 | 2004-04-19 | 栗田工業株式会社 | 膜脱気装置の運転方法 |
| JP4128062B2 (ja) | 2002-10-15 | 2008-07-30 | 株式会社鶴見製作所 | 真空排気装置 |
| JP2017166413A (ja) | 2016-03-16 | 2017-09-21 | 三浦工業株式会社 | 水封式真空ポンプの運転方法及び利用装置 |
| JP6617071B2 (ja) | 2016-04-20 | 2019-12-04 | オルガノ株式会社 | 純水製造方法及び装置 |
-
2021
- 2021-10-05 JP JP2021164278A patent/JP7155373B1/ja active Active
-
2022
- 2022-07-20 KR KR1020247009627A patent/KR20240087722A/ko unknown
- 2022-07-20 CN CN202280066341.1A patent/CN118043122A/zh active Pending
- 2022-07-20 WO PCT/JP2022/028237 patent/WO2023058298A1/ja unknown
- 2022-08-01 TW TW111128747A patent/TW202330076A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2023058298A1 (ja) | 2023-04-13 |
| JP2023055128A (ja) | 2023-04-17 |
| TW202330076A (zh) | 2023-08-01 |
| JP7155373B1 (ja) | 2022-10-18 |
| CN118043122A (zh) | 2024-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20040168978A1 (en) | Method and apparatus for recirculating tangential separation system | |
| US20120305459A1 (en) | Water producing system | |
| CN109476509B (zh) | 超纯水制造装置 | |
| US20040182764A1 (en) | System for producing ultrapure water | |
| US20170043305A1 (en) | Method and device for producing hydrogen-containing drinking water | |
| CN109562959B (zh) | 超纯水制造装置 | |
| CN100379687C (zh) | 水净化*** | |
| US20070039883A1 (en) | Water separation system | |
| KR20240087722A (ko) | 액봉식 펌프의 운전 방법, 막 탈기 장치, 순수 제조 시스템 및 순수 제조 방법 | |
| JP2015208744A (ja) | 飲料用水素含有水の製造方法、及びその製造装置 | |
| CN103370280B (zh) | 复合淡水化*** | |
| JPH09103770A (ja) | 精製水製造装置 | |
| JP2006305498A (ja) | 膜濾過システムの運転方法 | |
| JP2005193091A (ja) | 浄水装置及びその制御方法 | |
| CN115461133B (zh) | 液体处理装置、纯水制造***以及液体处理方法 | |
| JP2020037088A (ja) | 超純水製造装置の運転方法 | |
| JP2021094519A (ja) | 濃縮システム | |
| JP7359198B2 (ja) | 温超純水製造装置 | |
| KR102457869B1 (ko) | 세정수에 마이크로버블을 발생시켜 멤브레인에서 이물질을 부상시켜 세정할 수 있는 멤브레인 세정장치 및 방법 | |
| WO2024024158A1 (ja) | 水処理システムおよび水処理システムの運転方法 | |
| JP6981331B2 (ja) | 超純水供給装置 | |
| CN110185676A (zh) | 一种纯水液压*** | |
| TWI738493B (zh) | 水處理系統及水處理方法 | |
| JP2017100084A (ja) | 濾過殺菌処理システム | |
| JP2016117017A (ja) | 回収ろ過ユニット |