KR20240078364A - 슈트 및 진동 반송 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 진폭에 기인하는 반송면의 부위 단위의 기복 변화가 생기는 사태를 방지·억제함과 함께, 다음 공정 설비로의 환승 부분에 도달하고 있는 워크가 당해 부분에서 정체하거나, 자세가 흐트러지는 사태의 발생을 방지·억제함과 함께, 다음 공정 설비의 워크 전달면으로의 환승 시에 워크의 자세 변환을 방지·억제한 상황 하에서 워크의 정량 공급을 실현 가능한 슈트를 제공한다.
[해결 수단] 반송면(21)을 갖는 반송로(2)와, 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면(21)에 전달하는 반송부(3)를 구비하고, 구동부(4)에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 진동 모드가 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 반송면(21) 전체가 수평 진동 모드의 복 부분에 위치하도록 구성하여 반송면(21) 전체에 균일한 타원 진동이 생성되도록 하였다.

Description

슈트 및 진동 반송 장치{CHUTE AND VIBRATION CONVEYANCE DEVICE}

본 발명은 진동에 의해 워크를 반송하는 장치(파트 피더)에 적용 가능한 슈트 및 진동 반송 장치에 관한 것이다.

전자 칩 부품 등의 소형의 워크를 진동에 의해 반송하면서 정렬시켜 다음 공정에 공급하는 진동 반송 장치(파트 피더)로서, 직선상으로 연신하는 반송로를 따라 워크를 반송하는 리니어 피더와, 리니어 피더의 상류측에 접속되는 볼 피더를 구비한 장치가 알려져 있다.　이러한 파트 피더에서는, 리니어 피더의 진동하는 반송로(슈트)의 선단으로부터 워크를 배출하여, 예를 들어 정속 회전하는 원판 테이블 상에 공급하는 구성이 채용되며, 원판 테이블 상에 공급된 워크에 대하여 외관 검사 등의 검사·처리를 실시하는 외관 검사 장치와 조합하여 사용되고 있는 경우가 많다.　외관 검사 등의 검사·처리를 적절하게 행할 수 있도록 하기 위해서는, 슈트의 선단으로부터 배출되는 워크가 원판 테이블 상에 등피치로 배열되는 것이 바람직하다.

그러나, 통상의 리니어 피더에서는, 진동에 의해 시시각각 슈트 선단의 위치가 변동하고 있기 때문에, 워크가 배출되는 타이밍에 따라 원판 테이블로의 환승 위치가 변동하여, 워크끼리의 간격에 변동이 생기기 쉬워진다.　따라서, 배출되는 워크를 원판 테이블 상에 등피치로 배열하는 것이 곤란하다.

이러한 문제를 해소하기 위해, 하기 특허문헌 1에는, 리니어 피더와 회전 가능한 원형 반송 테이블 사이에, 워크를 무진동 상태로 이송하는 무진동부를 배치한 워크 외관 검사 장치가 개시되어 있다.　구체적으로는, 반송 테이블을 향하여 약간의 경사를 가지고 하강하는 리니어 피더의 하류단에, 리니어 피더와 동등한 경사를 갖고 또한 진동하지 않는 무진동부가 접속된 구성이 개시되어 있다.　이러한 리니어 피더의 하류단과 반송 테이블 사이에 진동하지 않는 무진동부를 설치한 구성이면, 무진동부 상의 워크는 후속의 워크에 눌려서 전진하고, 반송 테이블을 향하여 조금씩 하강하고, 무진동부의 하류단에 도달하면, 바로 뒤에 위치하는 후속의 워크에 눌려, 반송 테이블 상에 전달된다.

또한, 본 출원인에 의한 특허 출원의 공개 공보(하기 특허문헌 2)에는, 초음파 진동을 이용하여 워크를 반송하는 슈트가 개시되어 있다.　초음파 진동을 이용함으로써, 워크와 슈트의 반송면의 마찰을 저감시키면서 반송면의 부위 단위로 진폭차가 생기는 사태를 방지·억제함과 함께, 반송면과 다음 공정 설비의 워크 전달면의 낙차를 저감시켜, 다음 공정 설비의 워크 전달면으로의 환승 시에 워크의 자세 변환이 발생하지 않거나 발생하기 어려운 상황에서 워크의 정량 공급을 실현할 수 있다.

일본 특허 공개 제2011-133458호 공보 일본 특허 공개 제2021-195202호 공보

그러나, 무진동의 반송면 상에 있어서 워크를 미끄러지게 하는 구성이면, 워크가 반송면과의 마찰력에 의해 워크 반송로 상에서 정체하거나, 후속의 워크에 의한 가압력을 받을 수 없는 워크가 워크 반송로의 하류단에서 정지하여, 워크 막힘이나 워크의 자세의 흐트러짐이 일어날 수 있다.　이러한 문제는, 무진동으로 워크를 미끄러지게 하는 양태와 비교하여 마찰을 저감시키는 것이 가능한 초음파 진동에서도 마찬가지로 생길 가능성이 생각되며, 워크의 반송에 필요한 추진력이 불충분해지면, 예를 들어 워크 반송 속도를 빠르게 설정하여 워크 공급량이 많아지는 경우에, 환승 슈트에서 워크가 감속하여 워크 막힘이나 가압에 의한 자세의 흐트러짐이 발생하기 쉬워진다.

또한, 초음파 진동을 이용하여 워크 반송을 행하는 수단으로서, 진행파를 이용하는 부품 반송 장치도 제안되어 있다.　그러나, 진행파를 생성하기 위해서는 반송부에 진행파가 순환하는 경로를 마련할 필요가 있고, 반송면의 부위 단위로 진행파 발생 시 특유의 기복(요철)의 변화가 다르고, 이러한 제약을 받기 때문에 그대로 다음 공정에 워크를 공급하는 것이 곤란하다.

본 발명은 이러한 점에 착안하여 이루어진 것으로서, 주된 목적은, 진폭에 기인하는 반송면의 부위 단위의 기복 변화가 생기는 사태를 방지·억제함과 함께, 워크 반송 속도가 빠르게 설정된 경우에도 다음 공정 설비로의 환승 부분에 도달하고 있는 워크가 당해 부분에서 정체하거나, 자세가 흐트러지는 사태의 발생을 방지·억제하여 워크의 정량 공급을 실현 가능한 슈트 및 슈트를 구비한 진동 반송 장치를 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명자는, 무진동으로 워크를 미끄러지게 하는 양태와 비교하여 마찰을 저감시키는 것이 가능한 진동 모드를 실현하기 위해 예의 연구를 거듭한 결과, 워크 반송 방향과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드를 갖는 진동 모드에 의해 반송면 상의 워크를 반송하는 구성이 유리하다는 것을 알아냈다.

그러나, 수평 진동 모드를 갖는 진동 모드로 워크 반송 처리를 실시하면, 반송면을 갖는 반송로가 워크 반송 방향과 평행한 방향으로 휠 뿐만 아니라, 반송로가 비스듬하게 기울어지는 방향으로의 변위(수직 방향으로 휘는 진동)가 발생하고, 이러한 수직 방향으로의 휨 현상은, 원활한 워크 반송 처리에 지장을 초래하는 경우가 있다.

본 발명의 주된 목적은, 이러한 워크 반송에 관한 개발 과정에 있어서 나타난 신규한 문제를 해결하여, 다음 공정 설비로의 환승 부분에 도달하고 있는 워크의 정량 공급을 실현 가능한 슈트 및 슈트를 구비한 진동 반송 장치를 제공하는 데 있다.

즉 본 발명은 반송면을 따라 반송 대상물인 워크를 반송 방향 하류단(종단)을 향하여 이동시키면서 소정의 다음 공정 설비의 워크 전달면에 반송 가능한 슈트에 관한 것이다.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 슈트는, 상향면에 반송면을 갖는 반송로와, 반송로에 인접하는 위치에 배치되고 또한 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면에 전달하는 반송부와, 반송부를 탄성 변형시키는 구동부를 구비하고, 구동부에 의해 반송부를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 반송로에 있어서의 워크의 반송 방향(이하, 「워크 반송 방향」이라고 함)과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드와, 반송면에 대해 수직인 직교 방향의 진동인 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 이 진동 모드에 있어서 반송면 전체가 적어도 수평 진동 모드의 복(腹)에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써, 반송면 전체에 균일한 타원 진동이 생성되는 것을 특징으로 하고 있다.　여기서, 진동의 복이란, 진폭이 최대가 되어 변위가 가장 요동치는 점이다.　또한, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수평 진동 모드는, 진동 방향(휘는 방향)이 워크 반송 방향과 평행한 방향이라는 조건을 적어도 충족시키는 진동 모드이면 되고, 한편, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 수직 진동 모드는, 진동 방향(휘는 방향)이 연직 방향의 성분을 갖는 방향(반송면에 대해 수직인 직교 방향)이라는 조건을 적어도 충족시키는 진동 모드이면 된다.　또한, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 워크로서는, 예를 들어 전자 부품 등의 미소 부품을 들 수 있지만, 전자 부품 이외의 물품이어도 된다.

이러한 본 발명의 일 실시 형태에 관한 슈트이면, 진동 모터가 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 구동부에 의해 반송부를 탄성 변형시킨 진동 모드에 있어서 반송면 전체가 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치(진동의 복 부분) 또는 그 근방 부분에 위치하도록 구성함으로써, 반송면 전체에 균일한 타원 진동이 생성되기 때문에, 반송면 전체에 진동 모드의 절(節)(진폭이 최소가 되는 점)이 없는 균일한 타원 진동 상태를 얻을 수 있다.　그리고, 반송면이 타원 진동함으로써, 반송면과 워크 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크를 반송할 수 있어, 반송면 전체가 절 없이 동일한 방향으로 타원 진동함으로써, 반송면 전역에서 추진력이 얻어져, 당해 슈트의 반송면 상에 있어서 워크끼리가 막히거나, 반송 방향에 있어서 상대적으로 상류측의 워크에 가압되는 것에 기인하는 자세의 흐트러짐(가압에 의한 자세의 흐트러짐)이 발생하는 사태를 회피할 수 있다.　게다가, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 슈트이면, 반송면의 종단(워크 반송 방향 하류단)으로부터 소정의 다음 공정 설비의 워크 전달면에 워크를 배출하는 위치(워크 배출 위치)의 변동이 거의 없기 때문에, 등피치로 워크를 다음 공정 설비의 워크 전달면에 공급할 수 있다.　또한, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 슈트에 의하면, 진동 진폭이 매우 작고, 다음 공정 설비와의 사이의 간극을 극히 작게 할 수 있기 때문에, 환승 시의 워크의 자세가 안정됨과 함께, 다음 공정 설비에의 접속, 위치 조정에 있어서, 진동 진폭을 거의 고려할 필요가 없이, 조정이 용이해진다.　이들 이점은, 워크 반송 속도를 고속으로 설정해도 얻어지는 것이며, 본 발명의 일 실시 형태의 슈트를 적용함으로써 단위 시간당 워크 반송량의 향상에도 이바지하게 된다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 진동 반송 장치는, 반송 대상물인 워크를 진동에 의해 메인 반송로의 종단을 향하여 이동시키면서 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것으로서, 메인 반송로의 종단에 인접하는 위치에 상술한 구성을 갖는 슈트를 배치한 것을 특징으로 하고 있다.　이러한 본 발명의 일 실시 형태에 관한 진동 반송 장치에 의하면, 상술한 슈트가 발휘하는 작용 효과를 얻어, 전체가 균일하게 타원 진동하는 반송면과 워크 사이에 발생하는 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크를 반송할 수 있어, 워크 막힘이나 가압에 의한 자세의 흐트러짐이 발생하지 않는 상태에서 슈트의 반송면의 종단으로부터 다음 공정 설비의 워크 전달면을 향하여 워크를 일정 공급하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 다른 실시 형태에 관한 슈트는, 반송면을 갖는 반송로와, 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면에 전달하는 반송부와, 반송부를 탄성 변형시키는 구동부를 구비하고, 반송부로서, 반송로에 인접하는 위치에 배치되는 제1 진동부(주진동부)와, 제1 진동부 중 워크의 반송 방향(이하, 「워크 반송 방향」이라고 함)에 직교하는 방향의 2면에 대하여 법선 방향 각각으로 돌출되는 자세로 배치되는 탄성 변형 가능한 제2 진동부(부진동부)를 갖는 것을 적용하고, 구동부에 의해 반송부를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 적어도 워크 반송 방향과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드를 갖는 것이며, 이 진동 모드에 있어서 제1 진동부와 제2 진동부가 서로 역상으로 진동하는 것을 특징으로 하고 있다.　여기서, 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 진동 모드는, 진동 방향(휘는 방향)이 워크 반송 방향과 평행한 방향이라는 조건을 적어도 충족시키는 수평 진동 모드를 포함하는 진동 모드이면 된다.　또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 워크로서는, 예를 들어 전자 부품 등의 미소 부품을 들 수 있지만, 전자 부품 이외의 물품이어도 된다.

이러한 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 슈트이면, 진동 모터가 수평 진동 모드만의 진동 또는 수평 진동 모드와 다른 진동 모드를 합성한 진동, 이들 어느 진동이어도, 진동 모드에 있어서 워크 반송 방향과 평행한 방향으로 휘는 진동에 의해 반송면과 워크 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크를 반송할 수 있어, 당해 슈트의 반송면 상에 있어서 워크끼리가 막히거나, 반송 방향에 있어서 상대적으로 상류측의 워크에 가압되는 것에 기인하는 자세의 흐트러짐(가압에 의한 자세의 흐트러짐)이 발생하는 사태를 방지·억제할 수 있다.　게다가, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 슈트이면, 반송부가 제1 진동부(주진동부)와 제2 진동부(부진동부)를 적어도 갖는 것이며, 진동 모드에 있어서 이들 제1 진동부와 제2 진동부가 서로 역상으로 진동하기 때문에, 제2 진동부(부진동부)의 진동을 이용함으로써, 제1 진동부(주진동부)에서의 수직 방향으로의 휨 변형은 억제되어, 제1 진동부 전체가 동상으로 진동한다.　이에 의해, 제1 진동부에 인접하는 반송로에 있어서도 수평 방향으로의 균일한 진동이 발생하여, 반송로가 비스듬하게 기울어지는 방향으로의 변위를 방지·억제할 수 있다.　그 결과, 반송면의 종단(워크 반송 방향 하류단)으로부터 소정의 다음 공정 설비의 워크 전달면으로 워크를 배출하는 위치(워크 배출 위치)의 변동이 제로 또는 대략 전무가 되어, 워크를 다음 공정 설비의 워크 전달면에 등피치로 안정적으로 공급하는 것이 가능하게 된다.

특히, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 슈트에 있어서 반송부의 무게 중심 또는 무게 중심 근방에 제2 진동부를 배치한 구성을 채용한 경우에는, 제1 진동부 및 제2 진동부를 포함하는 반송부 전체에 있어서 밸런스 좋게 제1 진동부의 수직 방향으로의 휨 변형의 영향을 상쇄할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 진동 반송 장치는, 반송 대상물인 워크를 진동에 의해 메인 반송로의 종단을 향하여 이동시키면서 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것으로서, 메인 반송로의 종단에 인접하는 위치에 상술한 구성을 갖는 슈트를 배치한 것을 특징으로 하고 있다.　이러한 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 진동 반송 장치에 의하면, 상술한 슈트가 발휘하는 작용 효과를 얻어, 수직 방향으로의 휨 진동을 억제하여 전체가 균일하게 진동하는 반송면과 워크 사이에 발생하는 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크를 반송할 수 있어, 워크 막힘이나 가압에 의한 자세의 흐트러짐이 발생하지 않는 상태에서 슈트의 반송면의 종단으로부터 다음 공정 설비의 워크 전달면을 향하여 워크를 일정 공급하는 것이 가능하게 된다.

본 발명에 따르면, 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이 반송면 전체에 균일하게 생성되도록 구성한다는 참신한 기술적 사상에 기초하여, 진폭에 기인하는 반송면의 부위 단위의 기복 변화가 생기는 사태를 방지·억제함과 함께, 다음 공정 설비로의 환승 부분에 도달하고 있는 워크에 대하여 반송면과의 사이에 발생하는 마찰력에 기초한 추진력을 부여함으로써, 워크 반송 속도를 빠르게 설정한 경우에도 워크가 당해 환승 부분에서 정체하거나, 자세가 흐트러지는 사태의 발생을 방지·억제하여, 다음 공정 설비에 대한 워크의 정량 공급이나 고속 공급을 실현 가능한 슈트 및 슈트를 구비한 진동 반송 장치를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 진동 모드로서 수평 진동 모드를 포함하는 진동을 적용하고, 이 진동 모드에 있어서 제1 진동부와 제2 진동부를 서로 역상으로 진동시키는 구성으로 한다는 참신한 기술적 사상에 기초하여, 제1 진동부의 수직 방향으로의 휨 변형을 효과적으로 캔슬하면서, 다음 공정 설비로의 환승 부분에 도달하고 있는 워크에 대하여 반송면과의 사이에 발생하는 마찰력에 기초한 추진력을 부여함으로써, 환승 부분에서 워크가 정체하거나, 자세가 흐트러지는 사태의 발생을 방지·억제하여, 다음 공정 설비에 대한 워크의 정량 공급을 실현 가능한 슈트 및 슈트를 구비한 진동 반송 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 슈트를 구비한 진동 반송 장치의 전체도.
도 2는 도 1의 주요부 확대도.
도 3은 제1 실시 형태에 관한 슈트의 전체 외관도.
도 4는 제1 실시 형태에 관한 슈트를 나타내는 도면.
도 5는 제1 실시 형태에 있어서의 수평 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 6은 제1 실시 형태에 있어서의 수평 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 7은 제1 실시 형태에 있어서의 수직 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 8은 제1 실시 형태에 있어서의 수직 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 9는 제1 실시 형태에 있어서의 진동 모드의 경시 변화를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 10은 제1 실시 형태의 진동 모드에 의한 워크 반송 처리를 모식적으로 나타내는 도.
도 11은 본 발명의 제2 실시 형태에 관한 슈트를 구비한 진동 반송 장치의 전체도.
도 12는 도 11의 주요부 확대도.
도 13은 제2 실시 형태에 관한 슈트의 전체 외관도.
도 14는 제2 실시 형태에 관한 슈트를 나타내는 도면.
도 15는 제2 실시 형태에 있어서의 수평 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 16은 제2 실시 형태에 있어서의 수직 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 17은 제2 실시 형태에 있어서의 수직 진동 모드를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 18은 제2 실시 형태에 있어서의 진동 모드의 경시 변화를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.
도 19는 제2 실시 형태의 진동 모드에 의한 워크 반송 처리를 모식적으로 나타내는 도.
도 20은 제2 진동부를 구비하고 있지 않은 반송부의 진동 상태를 해석 애니메이션으로 나타내는 도면.

[제1 실시 형태]

이하, 본 발명의 제1 실시 형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

본 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송 대상물인 워크 W를 진동에 의해 메인 반송로(리니어 메인 반송로 L1)의 종단 L11을 향하여 이동시키면서 반송 방향 D1 하류측으로 반송 가능한 진동 반송 장치 X에 적용되며, 메인 반송로 L1의 종단 L11에 접속 가능한 것이다.　도 1 및 도 2에서는, 메인 반송로 L1의 일례로서 리니어 피더 L의 리니어 반송로 L1을 나타냄과 함께, 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11에 인접하는 위치에 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)를 배치한 양태를 나타내고 있다.

리니어 피더 L은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 직선상의 반송로인 리니어 메인 반송로 L1을 갖는 리니어 반송부 L2에 진동을 부여함으로써, 리니어 메인 반송로 L1을 따라 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것이다.　제1 실시 형태에 있어서의 리니어 피더 L에 있어서, 리니어 반송부 L2를 진동시켜 리니어 메인 반송로 L1 상의 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송하는 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 가진원으로부터 부여되는 가진력에 의해, 리니어 반송부 L2가 접속된 가동부와 소정의 고정부를 서로 연결하는 판 스프링(구동용 스프링)을 직접 또는 간접적으로 기진(起振)시킴으로써, 가동부 및 고정부가 서로 역방향으로 진동하고, 이에 의해 가동부에 접속되어 있는 리니어 반송부 L2가 길이 방향으로 진동하여, 워크 W를 반송 방향을 따라 하류측으로 반송하는 구성을 들 수 있다.　또한, 다른 예로서, 리니어 반송부 L2에 발생시킨 진행파에 의해 워크 W를 리니어 메인 반송로 L1을 따라 반송하는 리니어 피더 L이어도 된다.

리니어 메인 반송로 L1의 시단 및 종단 L11은, 리니어 반송부 L2의 외연에 도달하고, 적당한 단면 형상으로 설정되어 있다.　리니어 메인 반송로 L1은, 워크 W를 반송하는 반송면(리니어 반송면)으로서 기능한다.　또한, 리니어 메인 반송면의 단면 형상은, 상향 역 ㄷ자상, U자상, V자상 등, 적당한 형상을 선택할 수 있다.　리니어 피더 L은, 리니어 메인 반송로 L1의 시단으로부터 반송된 워크 W를 반송 중에 일렬로 정렬시켜 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11로부터 다음 공정 장치에 공급할 수 있다.

도 1에서는, 리니어 반송부 L2의 상류측에 볼 피더 B를 구비한 진동 반송 장치 X를 예시하고 있다.　볼 피더 B는, 내주면에 나선상의 반송로 B1(나선 반송로)을 갖는 볼상의 반송부 B2(볼 반송부)에 진동을 부여함으로써, 나선 반송로 B1을 따라 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것이다.　볼 피더 B에 있어서, 볼 반송부 B2를 진동시켜 나선 반송로 B1 상의 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송하는 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않고, 상술한 리니어 피더 L에 준한 구성(판 스프링을 사용한 구성, 진행파를 발생시키는 구성 등)을 적절히 채용할 수 있다.　볼 반송부 B2에 진동을 부여하면, 워크 W는 나선 반송로 B1을 등판하고, 그대로 나선 반송로 B1의 종단(출구 부분)으로부터 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1의 시단으로 반송된다.

리니어 메인 반송로 L1의 시단(상류단)에 도달한 워크 W는, 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11(하류단)을 향하여 반송되고, 그대로 슈트(1)로 환승하여, 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1에 공급된다.　도 1 및 도 2에서는, 다음 공정 설비 Y가 회전 테이블 T인 양태를 나타내고 있다.　회전 테이블 T의 상향면 중 외주연 근방을 따라 규정되는 소정의 주회 에어리어가 워크 전달면 Y1이다.　또한, 회전 테이블 T는, 예를 들어 워크의 외관을 검사하는 외관 검사 장치의 일부를 구성하는 것이며, 이러한 외관 검사 장치에서는, 원판상의 회전 테이블 T 상에 워크 W가 일정 자세로 등피치로 배열되어 있음으로써 검사 효율이 향상된다.

슈트(1)는, 리니어 피더 L로부터 환승한 워크 W를 일정 구간 반송한 후에 다음 공정 설비 Y에 워크 W를 공급하는 것이다.　슈트(1)는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 상향면에 반송면(반송면(21))을 갖고 또한 하방 공간이 개방되어 있는 반송로(워크 반송로(2))와, 워크 반송로(2)에 인접하는 위치에 배치되고 또한 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면(21)에 전달하는 반송부(3)와, 반송부(3)를 가진하여 탄성 변형시키는 구동부(4)를 구비하고 있다.　여기서, 도 3은 슈트(1)의 전체 외관 사시도이며, 동 도면의 (a), (b)에서 보는 방향을 다르게 하고 있다.　또한, 도 4의 (a)는 슈트(1)의 평면도이며, 동 도면의 (b), (c), (d)는 각각 동 도면의 (a)의 F1 방향 화살표 도, F2 방향 화살표 도, F3 화살표 도이다.

제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 기립 자세로 마련한 탄성 변형 가능한 플레이트체로 반송부(3)를 구성하고 있다.　제1 실시 형태의 슈트(1)는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부로부터 슈트(1)에 있어서의 반송로(2)를 형성한 면(34)과는 반대 측의 면(33)으로부터 반송부(3)의 두께 방향 E로 연신하는 자세로 배치한 지지부(5)에 지지되어 있다(도 3 참조).　제1 실시 형태에서는, 반송부(3) 중 워크 W의 반송 방향 D1을 따라 소정 거리 떨어진 2개소를 지지부(5)로 지지하도록 구성하고 있다.　각 지지부(5)는, 강성이 낮은 소재로 구성된 봉 형상을 이루는 것이며, 일단을 반송부(3)에 설치하고, 타단을 공통의 고정부(6)에 설치하고 있다.　반송부(3)와 고정부(6) 사이에, 저강성의 지지부(5)를 마련함으로써 반송부(3)의 진동 상태에 악영향이 미치지 않도록 구성하고 있다.　또한, 도 4에서는 지지부(5) 및 고정부(6)를 생략하고 있다.

여기서, 슈트(1)에 있어서의 워크 W의 반송 방향 D1은, 반송부(3)의 배면(31)으로부터 전방면(32)을 향하는 방향으로서 특정할 수 있다.　또한, 평면에 있어서 슈트 또는 반송부(3)의 전후 방향 Z와 직교하는 방향을 「슈트(1) 또는 반송부(3)의 두께 방향 E」로서 특정할 수 있고, 슈트(1)의 전후 방향 Z에 대해 수직인 직교 방향을 「슈트(1) 또는 반송부(3)의 높이 방향 H」로서 특정할 수 있다.

제1 실시 형태의 슈트(1)는, 반송부(3)의 2개의 측면(33, 34)(반송부(3)에 있어서의 워크 W의 반송 방향 D1에 대하여 평면으로 보아 직교하는 2개의 면) 중 한쪽 측면(33)에 구동부(4)를 마련하고 있다.　제1 실시 형태에서는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 구동부(4)로서 압전 소자(4a, 4b)를 적용하고, 합계 4개의 압전 소자(4a, 4b)를 반송부(3)의 한쪽 측면(33)에 있어서의 높이 방향 H 중앙부 주변에 첩부 처리 등의 적절한 처리 또는 고정 수단에 의해 고정하고 있다.　구체적으로는, 도 3의 (b) 및 도 4의 (d)에 나타내는 바와 같이, 지지부(5)를 설치하는 영역(지지부 설치 영역)을 전후 방향 Z에 있어서 끼우는 위치에 후술하는 수평 진동 모드 구동용의 압전 소자(4a)를 마련하고, 지지부 설치 영역을 높이 방향 H에 있어서 끼우는 위치에 후술하는 수직 진동 모드 구동용의 압전 소자(4b)를 마련하고 있다.　압전 소자(4a, 4b)는 직사각 형상을 이루는 박판상의 것이고, 수평 진동 모드 구동용의 압전 소자(4a)를 세로로 긴 자세로 마련하고, 수직 진동 모드용의 압전 소자(4b)를 가로로 긴 자세로 마련하고 있다.

워크 반송로(2)는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부에 있어서 당해 반송부(3)의 두께 방향 E(폭 방향 E)로 돌출되는 자세로 마련된 것이다.　제1 실시 형태에서는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부에 있어서, 반송부(3)의 한쪽 측면(34)으로부터 측방으로 돌출되는 자세로 워크 반송로(2)를 마련하고 있다.　워크 반송로(2)의 상향면에는, 홈 형상의 반송면(21)을 형성하고 있다.　반송면(21)의 홈 형상은 특별히 한정되지 않고, 도 5 등에서는 일례로서 단면 상향 역 ㄷ자상의 반송면(21)을 나타내고 있다.　워크 반송로(2)의 시단(22) 및 종단(23)은, 각각 워크 반송로(2) 중 워크 반송 방향 D1 상류측의 외연 및 워크 반송 방향 D1 하류측의 외연에 도달하고 있다.　워크 반송로(2)의 전후 방향 Z를 따른 치수는, 반송부(3)의 전후 방향 Z를 따른 치수와 동일하다.　즉, 제1 실시 형태의 슈트(1)는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부로부터 측방으로 장출된 워크 반송로(2)를 구비한 것이다.　제1 실시 형태에서는, 반송부(3) 및 워크 반송로(2)를 일체로 형성하고 있다.

제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 워크 반송로(2)의 하향면에 다른 부품을 마련하고 있지 않기 때문에, 워크 반송로(2)의 하방 공간이 프리 스페이스로 되어 있다(도 3의 (a), 도 4의 (b), (c) 참조).　제1 실시 형태에서는, 워크 반송로(2)의 하향면 중 워크 반송 방향 D1 하류측 부분을, 워크 반송로(2)의 종단(23)을 향하여 점차 높이 치수가 작아지는 테이퍼면(24)으로 설정하고 있다(도 4의 (b) 참조).

이상의 구성을 갖는 슈트(1)를 리니어 피더 L의 종단 L11에 인접하는 위치에 배치한 진동 반송 장치 X는, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T의 워크 전달면 Y1에 워크 반송로(2) 중 하류단측의 하향면(테이퍼면(24))을 근접시킨 상태에서, 슈트(1)와는 별체의 부재(도시 생략)에 고정부(5)를 적당한 수단으로 고정한 상태로 설치할 수 있다.　이 설치 상태에서는, 워크 반송로(2) 중 테이퍼면(24)에 설정한 하류단측의 하향면을 회전 테이블 T의 워크 전달면 Y1에 근접시키고 있기 때문에, 반송면(21)은, 워크 반송 방향 D1의 상류로부터 하류를 향하여 점차 비스듬하게 하방으로 경사지는 내리막 구배가 된다.　내리막 구배의 경사 각도는 워크 W가 중력으로 미끄러져 떨어지는 정도이고, 또한 워크 W의 자세를 무너뜨리지 않는 각도인 것이 긴요하며, 제1 실시 형태에서는, 반송면(21)을 5° 내지 15° 정도의 내리막 구배로 설정하고 있다.

그리고, 제1 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X는, 리니어 피더 L과 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T 사이에 마련한 슈트(1)에 의해, 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1로부터 반송면(21)으로 환승한 워크 W를 일정 구간(반송면(21)에 의한 워크 W의 반송 구간) 반송한 후, 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T에 워크 W를 공급할 수 있다.　제1 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X에서는, 구동부(4)에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 도 5 및 도 6에 나타내는 수평 진동 모드와, 도 7 및 도 8에 나타내는 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이 되도록 구성하고 있다.

수평 진동 모드는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향을 따라 복과 절이 나타나고, 또한 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향 Z로 휘는 진동이다.　제1 실시 형태에서는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부 부근에 마련한 압전 소자(4a, 4b) 중, 전후 방향 Z에 소정 거리 이격하여 배치한 2개의 압전 소자(4a)에만 교류 전압을 인가함으로써 반송부(3)를 가진하면, 도 6에 나타내는 바와 같이, 반송부(3) 전체가 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향으로 휘는 진동(수평 진동)이 발생하도록 구성하고 있다.　도 6에, 수평 진동 모드의 진동 방향(변위 방향)을 화살표로 나타내고 있다.　제1 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X는, 수평 진동 모드에 나타나는 복수의 복 중 높이 방향 H 중앙부에 나타나는 복의 위치 또는 그 근방 위치에 워크 반송로(2)를 마련하고 있다.

수직 진동 모드는, 도 7 및 도 8에 나타내는 바와 같이, 워크 반송 방향 D1에 대해 수직인 직교 방향 H의 진동이다.　제1 실시 형태에서는, 반송부(3)의 높이 방향 H 중앙부 부근에 마련한 압전 소자(4a, 4b) 중, 높이 방향 H에 소정 거리 이격하여 배치한 2개의 구동부(4b)에만 교류 전압을 인가함으로써 반송부(3)를 가진하면, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향 H(연직 방향 성분을 포함하는 방향)을 따라 복과 절이 나타나고, 또한 반송부(3) 전체가 평면으로 보아 워크 반송 방향 D1에 대하여 직교하는 방향 E(복과 절의 분포 방향에 직교하는 방향 E)로 휘는 진동(수직 진동)이 발생하도록 구성하고 있다.　도 7에, 수직 진동 모드의 진동 방향(변위 방향)을 화살표로 나타내고 있다.　또한, 도 8의 (a)는 도 6과 마찬가지로, 반송로(2)를 형성한 면(34)을 정면으로 대향하는 방향(도 4의 (a)의 F1 방향)으로부터 본 수직 진동 모드를 나타내는 도면이며, 도 8의 (b)는 도 4의 (a)의 F2 방향으로부터 본 수직 진동 모드를 나타내는 도면이다.　도 5 내지 도 8, 및 다음에 설명하는 도 9는, 진동 모드를 해석 애니메이션에 의해 표시한 것이며, 진동 모드의 진동 상황을 파악하기 쉽게 하기 위해, 무진동 상태의 슈트를 비교 대상으로서 일부 생략하여 나타내고 있다.

제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 이러한 수평 진동 모드와 수직 진동 모드의 2개의 상이한 진동 모드를 동일한 주파수로 소정의 위상차를 부여하여 여기함으로써, 반송면(21)에 도 9에 나타내는 타원 진동을 생성한다.　도 9는 (i)→(ii)→(iii)→(iv)→(i) ...의 순으로 반복하는 타원 진동의 경시적인 변천을 나타내는 도면이다.　또한, 압전 소자(4a)는 반송부(3) 중 수평 진동 모드의 복 위치에 마련되어 있고, 압전 소자(4b)는 반송부(3) 중 수직 진동 모드의 복 위치에 마련되어 있고, 교류 전압을 인가함으로써 가진한다.　또한, 압전 소자(4a, 4b)에 의한 가진 시의 주파수는 수평 진동 모드 및 수직 진동 모드의 고유 주파수 부근의 주파수로 설정하고 있다.　제1 실시 형태의 슈트(1)는, 진동 모드에 있어서 반송면(21)을 주파수 20kHz 이상의 초음파 영역에서 진동시킬 수 있다(정재파).

제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에서는, 구동부(4)(압전 소자(4a, 4b))에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 진동 모드에 있어서 반송면(21) 전체가 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 반송로(2) 전체에 균일한 타원 진동이 생성된다.　그 결과, 반송로(2)의 반송면(21) 전체에도 균일한 타원 진동이 생성되고, 반송면(21) 상의 워크 W는, 도 10에 나타내는 바와 같이, 반송면(2)에 접촉하는 상태(동 도면의 (ii))와, 반송면(2)에 대하여 이격하는 상태(동 도면의 (iii), (iv), (i))를 소정의 사이클로 반복하며, 워크 반송 방향 D1을 따라 반송된다.　즉, 워크 W가 반송면(21)에 접촉한 시점에서 워크 W와 반송면(21) 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크 W를 워크 반송 방향 D1로 반송할 수 있고, 반송면(21) 전역에서 추진력을 얻을 수 있다.　또한, 반송로(2)의 반송면(21) 전체에 균일한 타원 진동이 생성된다는 것은, 진동 모드에 있어서의 어느 시점을 잘라냈다고 해도 각 시점에 있어서의 반송면(21) 상의 임의의 점(일례로서 도 10 중의 점 P, Q)의 상대 위치 관계가 일정하며, 예를 들어 반송면(21) 상에 진동에 기인하는 기복이 부분적으로 나타나지 않는다는 것이다.　도 10의 (i), (ii), (iii), (iv)는 각각 도 9의 (i), (ii), (iii), (iv)에 대응하는 것이다.　또한, 도 9 및 도 10의 (i), (ii), (iii), (iv)에 나타내는 타원과 타원 상의 검은 원은, 각 도면이 타원 진동에 있어서의 어느 시점의 진동 상태인지를 모식적으로 나타내는 것이다.　또한 도 10에서는 무진동 상태의 반송면(21A)을 점선으로 나타내고 있다.

이상과 같이, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 구동부(4)(압전 소자(4a, 4b))에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향 H를 따라 복과 절이 나타나고 또한 반송로(2)에 있어서의 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드와, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향 H의 진동인 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 진동 모드에 있어서 반송면(21) 전체가 적어도 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써, 반송면(21) 전체에 균일한 타원 진동이 생성되는 구성이기 때문에, 반송면(21) 상에 절이 없는 진동 상태를 얻을 수 있다.　그리고, 진동 모드에 있어서 반송면(21)이 균일한 타원 진동함으로써, 반송면(21)과 워크 W 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크 W를 반송할 수 있고, 반송면(21) 전역에서 추진력이 얻어져, 워크 반송 속도를 빠르게 설정한 경우에도 반송면(21) 상에 있어서 워크 W끼리 막히거나, 워크 반송 방향 D1에 있어서 상대적으로 상류측의 워크 W에 가압되는 것에 기인하는 자세의 흐트러짐(가압에 의한 자세의 흐트러짐)이 발생하는 사태를 회피할 수 있다.　상세하게 설명하면, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 수평 진동 모드에 합성하여 타원 진동을 생성하는 수직 진동 모드의 진동 방향이, 워크 반송 방향 D1에 직교하고 또한 연직 성분의 성분을 갖는 방향이기 때문에, 연직 하향으로 중력을 받는 워크 W가, 연직 방향으로 진동하는 반송면(21)에 대하여 연직 방향에 접촉하는 상태와 이격하는 상태를 반복하고, 워크 W가 반송면(21)에 접촉할 때는 중력에 의해 워크가 반송면(21)에 가압되어, 추진력인 마찰력이 발생한다는 작용을 얻을 수 있다.

즉, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 타원 진동에 의해 반송면(21)과 워크 W 사이에 발생하는 마찰력을 추진력으로서 작용시키는 구성이기 때문에, 매우 작은 진동 진폭이어도 반송로(2) 전체에서 워크 W를 원활하게 반송할 수 있고, 다음 공정 설비 Y에의 접속이나 위치 조정을 행할 때, 반송로(2)의 진동 진폭을 거의 고려할 필요가 없이 용이하게 행할 수 있다.　또한, 반송로(2)의 하방 공간이 프리 스페이스인 것과 더불어, 반송로(2)와 다음 공정 설비 Y 사이의 간극을 제로에 근접시키는 것이 가능하고, 반송면(21)의 하류단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로의 환승 시의 워크 W의 자세 안정화를 도모할 수 있다.

또한, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 초음파 진동을 이용하고 있기 때문에, 진동 모드에 있어서의 진폭이 극히 작고, 반송면(21)의 종단(23)(워크 반송 방향 D1 하류단)으로부터 소정의 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로 워크 W를 배출하는 위치(워크 배출 위치)의 변동이 거의 없기 때문에, 등피치로 워크 W를 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1에 공급할 수 있다는 장점이나, 진동음이 들리지 않아, 작업 환경에 악영향을 미치지 않는다는 장점도 얻을 수 있다.

특히, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 수평 진동 모드의 진동 진폭과 수직 진동 모드의 진동 진폭을 개별적으로 독립적으로 설정할 수 있고, 또한 양쪽 진동 모드 간의 위상차도 자유롭게 설정할 수 있기 때문에, 워크 W의 반송 속도의 조정을 용이하게 행할 수 있다.　또한, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 타원 진동의 회전 방향을 역전시키면 반송면(21) 상의 워크 W를 역방향으로 반송하는 것이 가능하다.

게다가, 제1 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 반송면(21)을 워크 반송 방향 D1 하류단을 향하여 점차 내리막 구배가 되는 경사면으로 설정하고 있기 때문에, 리니어 피더 L로부터 워크 반송로(2)의 반송면(21)으로 환승한 워크 W가 미끄러져 떨어지도록 반송되게 되어, 한층 더 원활한 반송 처리를 실시할 수 있다.　또한, 반송면(21)에 있어서의 워크 W의 반송 속도를 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1에 있어서의 워크 W의 반송 속도보다 느려지도록 설정한 경우에는, 반송면(21) 상에서 워크 W를 반송 방향 D1로 간극이 없는 상태 또는 거의 없는 상태로 반송할 수 있어, 반송 방향 D1에 있어서의 워크 W끼리의 거리가 커지는(워크 W의 이격) 사상의 발생을 방지하면서, 단위 시간당 워크 반송량 증대화가 가능하여, 한층 더 안정된 워크 W의 일정 공급 처리를 실현할 수 있다.

또한, 이러한 슈트(1)를 구비한 제1 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X에 의하면, 상술한 슈트(1)가 발휘하는 작용 효과를 발휘하고, 반송면(21)의 종단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1을 향하여 워크 W를 등피치로 또한 동일한 자세로 일정 공급하는 것이 가능하게 됨과 함께, 반송면(21)의 종단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로의 환승 시에 워크 W가 자세 변경되는 문제를 방지·억제할 수 있다.

제1 실시 형태에 있어서의 구동부(4), 반송부(3) 및 반송로(2)의 관계에 주목한 경우, 반송부(3)는, 구동부(4)(압전 소자(4a, 4b))가 접합되고, 또한 압전 소자(4a, 4b)의 신축 변위에 따라 탄성 변형되어 진동하는 진동부로서 파악할 수 있고, 반송로(2)는, 진동부에 인접하는 위치에 배치되고, 또한 진동부로부터 전해지는 진동에 의해 시단으로부터 종단에 걸친 전체면이 진동하는 작용면(상술한 반송면(21)에 상당하는 면이며, 후술하는 2차측 부재가 접촉하는 면)을 갖는 작용부로서 파악할 수 있다.　그리고, 압전 소자에 의해 진동부를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드는, 상술한 바와 같이, 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 진동 모드에 있어서 작용면 전체가 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써 작용면 전체에 균일한 타원 진동이 생성되게 된다.　이러한 작용면을 일체 또는 일체적으로 구비한 진동부를 리니어 액추에이터의 1차측 부재로서 파악하면, 1차측 부재의 작용 영역(작용면)과 접촉하고, 또한 1차측 부재의 작용면의 길이 방향으로 상대 이동할 수 있도록 배치된 2차측 부재(도시 생략)를 구비한 리니어 액추에이터를 구성할 수 있다.　이러한 리니어 액추에이터에 의하면, 작용면 전체가 균일하게 타원 진동함으로써, 작용면과 2차측 부재 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 상대 이동이 발생하고, 게다가, 작용면 전체가 절 없이 동일한 방향으로 타원 진동함으로써, 작용면 전역에서 추진력이 얻어진다.　또한, 작용면이 직선상으로 뻗어 있기 때문에, 2차측 부재와의 사이의 마찰에 의한 부하가 분산되어, 마모되기 어렵다는 장점도 있다.　제1 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 이러한 리니어 액추에이터의 하나의 활용 예라고 할 수 있다.

또한, 본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.　예를 들어, 상술한 실시 형태에서는, 슈트의 반송면을 워크 반송 방향을 따라 내리막 구배로 설정한 양태를 예시했지만, 경사져 있지 않은 편평한 반송면을 채용할 수도 있다.　또한, 반송면 상의 워크에 대하여 충분한 추진력을 부여하는 것이 가능한 본 발명에 따르면, 반송면을 워크 반송 방향을 따라 오르막 구배로 설정할 수도 있다.

워크 반송로에 인접하는 위치에 배치되는 반송부는, 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면에 전달한다는 조건을 충족시키는 것이면, 워크 반송로와 별체의 것이어도 된다.　즉, 본 발명의 슈트는, 반송로와 반송부를 별체로서 구비한 구성, 및 반송로와 반송부를 일체로 구비한 구성의 양쪽을 포함하는 것이다.　또한, 반송로와 반송부가 일체인 구성(반송부의 일부를 반송로로서 형성·가공한 구성)도 본 발명에 포함된다.

또한, 본 발명에서는, 반송면의 단면 홈 형상이나 워크 반송 방향을 따른 워크 반송로의 길이는, 적절히 선택·변경할 수 있다.　반송면의 단면 형상으로서는, 상향 역 ㄷ자상, U자상, V자상 등의 형상을 들 수 있다.　반송면과 소정 방향으로 대면하는 규제벽을 갖는 규제부를 구비하고, 반송면 상을 반송하는 워크가 반송면으로부터 벗어나는 방향으로 이동하는 거동을 규제하도록 구성해도 된다.

본 발명에서는, 구동부로서, 압전 소자 대신에 또는 그에 추가로, 자기 변형 소자나 다른 소자를 적용하는 것이 가능하다.　또한, 반송부를 두께 방향으로 끼우는 위치에 각각 구동부를 배치한 구성을 채용할 수도 있다.　각 구동부는, 진동의 절 또는 절 근방에 배치되는 것에 한정되지 않고, 진동 모드에 따라서는 배치 개소가 진동의 복 또는 복 근방에 배치되는 경우도 있다.　즉, 진동 모드에 있어서 보다 효율적으로 진동시키기 위해서는, 탄성 변형에 의한 변형이 큰 위치에 구동부를 배치(압전 소자를 첩부)하는 것이 바람직하다.

또한, 반송로를 반송부의 하단 부근에 있어서의 수평 진동 모드의 복에 마련해도 된다.　이 경우, 반송로보다 하방의 공간에 반송부가 배치되지 않는 구성이 되어, 다음 공정 설비에 대한 반송로의 상대 위치의 설계 자유도가 높아져, 다음 공정 설비의 워크 전달면 상에 워크를 용이하게 공급 가능한 레이아웃을 선택할 수 있다.　또한, 반송로를 반송부의 상단 부근에 있어서의 수평 진동 모드의 복에 마련하는 구성도 본 발명에 포함된다.

수직 진동 모드로서, 반송부 전체가 높이 방향(연직 방향)으로 신축 운동하는 탄성 변형에 의해 발생하는 세로 진동을 채용하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명에 관한 진동 반송 장치는, 볼 피더와 리니어 피더와 슈트를 모두 구비한 것에 한정되지 않고, 볼 피더의 메인 반송로(나선 반송로)의 종단에 인접하는 위치에 슈트를 배치한 구성이나, 볼 피더를 구비하지 않고, 리니어 피더의 메인 반송로(리니어 메인 반송로)의 종단에 인접하는 위치에 슈트를 배치한 구성이어도 된다.　또한, 리니어 피더가, 리니어 반송부의 상향면에, 리니어 메인 반송로와, 리니어 메인 반송로로부터 배제된 워크를 상류측(예를 들어 볼 피더의 저류부)으로 되돌리는 리턴 트랙을 형성한 것이어도 된다.

나아가 또한, 볼 피더와 리니어 피더 사이에 본 발명에 관한 슈트를 마련하고, 나선 반송로의 종단으로부터 워크 반송로의 시단에 도달한 워크를, 워크 반송로의 종단까지 반송하여 리니어 피더의 리니어 메인 반송로의 시단으로 환승하는 구성을 실현할 수도 있다.　이 경우, 진동 반송 장치는, 볼 피더와 슈트를 구비한 것이며, 본 발명에 있어서의 「다음 공정 설비의 워크 전달면」이 리니어 메인 반송로의 시단이라고 파악할 수 있다.　호퍼로부터 슈트로 직접 워크를 공급하는 구성이어도 된다.

메인 반송로의 종단에 인접하는 위치이며 또한 메인 반송로의 종단 근방 영역의 하방에 슈트의 반송로의 시단 근방 영역이 위치 부여되도록 메인 반송로 및 슈트의 반송로의 일부끼리를 높이 방향으로 겹친 배치를 채용하고, 내리막 구배로 설정한 메인 반송로의 종단으로부터 워크를 자중에 의해 슈트의 반송로의 시단 근방에 낙하시키도록 해도 상관없다.　이 경우, 반송로의 진폭의 제한이 없어져, 고진폭으로 진동시키는 것이 가능하게 되어, 워크 공급량을 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 다음 공정 설비는, 외관 검사 장치의 회전 테이블에 한정되지 않고, 적당한 검사 장치 혹은 처리 장치의 일부를 구성하고, 또한 워크 전달면을 갖는 것이면 된다.

반송 대상물인 워크의 일례로서 전자 부품 등의 미소 부품을 들 수 있지만, 워크는 전자 부품 이외의 물품이어도 된다.

[제2 실시 형태]

이하, 본 발명의 제2 실시 형태를, 도면을 참조하면서 설명한다.　또한, 당해 제2 실시 형태에 관한 명세서 및 도면에서, 상술한 제1 실시 형태와 실질적으로 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여함으로써 중복된 설명을 생략한다.

제2 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 반송 대상물인 워크 W를 진동에 의해 메인 반송로(리니어 메인 반송로 L1)의 종단 L11을 향하여 이동시키면서 반송 방향 D1 하류측으로 반송 가능한 진동 반송 장치 X에 적용되며, 메인 반송로 L1의 종단 L11에 접속 가능한 것이다.　도 11 및 도 12에서는, 메인 반송로 L1의 일례로서 리니어 피더 L의 리니어 반송로 L1을 나타냄과 함께, 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11에 인접하는 위치에 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)를 배치한 양태를 나타내고 있다.

리니어 피더 L은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 직선상의 반송로인 리니어 메인 반송로 L1을 갖는 리니어 반송부 L2에 진동을 부여함으로써, 리니어 메인 반송로 L1을 따라 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것이다.　제2 실시 형태에 있어서의 리니어 피더 L에 있어서, 리니어 반송부 L2를 진동시켜 리니어 메인 반송로 L1 상의 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송하는 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 가진원으로부터 부여되는 가진력에 의해, 리니어 반송부 L2가 접속된 가동부와 소정의 고정부를 서로 연결하는 판 스프링(구동용 스프링)을 직접 또는 간접적으로 기진시킴으로써, 가동부 및 고정부가 서로 역방향으로 진동하고, 이에 의해 가동부에 접속되어 있는 리니어 반송부 L2가 길이 방향으로 진동하여, 워크 W를 반송 방향을 따라 하류측으로 반송하는 구성을 들 수 있다.　또한, 다른 예로서, 리니어 반송부 L2에 발생시킨 진행파에 의해 워크 W를 리니어 메인 반송로 L1을 따라 반송하는 리니어 피더 L이어도 된다.

리니어 메인 반송로 L1의 시단 및 종단 L11은, 리니어 반송부 L2의 외연에 도달하고, 적당한 단면 형상으로 설정되어 있다.　리니어 메인 반송로 L1은, 워크 W를 반송하는 반송면(리니어 반송면)으로서 기능한다.　또한, 리니어 메인 반송면의 단면 형상은, 상향 역 ㄷ자상, U자상, V자상 등, 적당한 형상을 선택할 수 있다.　리니어 피더 L은, 리니어 메인 반송로 L1의 시단으로부터 반송된 워크 W를 반송 중에 일렬로 정렬시켜 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11로부터 다음 공정 장치에 공급할 수 있다.

도 11에서는, 리니어 반송부 L2의 상류측에 볼 피더 B를 구비한 진동 반송 장치 X를 예시하고 있다.　볼 피더 B는, 내주면에 나선상의 반송로 B1(나선 반송로)을 갖는 볼상의 반송부 B2(볼 반송부)에 진동을 부여함으로써, 나선 반송로 B1을 따라 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 것이다.　볼 피더 B에 있어서, 볼 반송부 B2를 진동시켜 나선 반송로 B1 상의 워크 W를 반송 방향 하류측으로 반송하는 구체적인 구성은 특별히 한정되지 않고, 상술한 리니어 피더 L에 준한 구성(판 스프링을 사용한 구성, 진행파를 발생시키는 구성 등)을 적절히 채용할 수 있다.　볼 반송부 B2에 진동을 부여하면, 워크 W는 나선 반송로 B1을 등판하고, 그대로 나선 반송로 B1의 종단(출구 부분)으로부터 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1의 시단으로 반송된다.

리니어 메인 반송로 L1의 시단(상류단)에 도달한 워크 W는, 리니어 메인 반송로 L1의 종단 L11(하류단)을 향하여 반송되고, 그대로 슈트(1)로 환승하여, 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1에 공급된다.　도 11 및 도 12에서는, 다음 공정 설비 Y가 회전 테이블 T인 양태를 나타내고 있다.　회전 테이블 T의 상향면 중 외주연 근방을 따라 규정되는 소정의 주회 에어리어가 워크 전달면 Y1이다.　또한, 회전 테이블 T는, 예를 들어 워크의 외관을 검사하는 외관 검사 장치의 일부를 구성하는 것이며, 이러한 외관 검사 장치에서는, 원판상의 회전 테이블 T 상에 워크 W가 일정 자세로 등피치로 배열되어 있음으로써 검사 효율이 향상된다.

슈트(1)는, 리니어 피더 L로부터 환승한 워크 W를 일정 구간 반송한 후에 다음 공정 설비 Y에 워크 W를 공급하는 것이다.　슈트(1)는, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 반송면(21)을 갖고 또한 하방 공간이 개방되어 있는 반송로(워크 반송로(2))와, 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면(21)에 전달하는 반송부(3)와, 반송부(3)를 가진하여 탄성 변형시키는 구동부(4)를 구비하고 있다.　여기서, 도 13은 슈트(1)의 전체 외관도이며, 동 도면의 (a), (b)에서 보는 방향을 다르게 하고 있다.　또한, 도 14의 (a)는 도 13의 (a)의 F1 방향 화살표 도이며, 도 14의 (b)는 동 도면의 (a)의 F2 방향 화살표 도이다.

제2 실시 형태에 있어서의 반송부(3)는, 워크 반송로(2)에 인접하는 위치에 배치되는 제1 진동부(31)(주진동부)와, 제1 진동부(31) 중 워크 반송 방향 D1에 직교하는 방향의 2면에 대하여 법선 방향으로 돌출되는 자세로 배치되는 제2 진동부(32)(부진동부)를 갖는 것이다.

제1 진동부(31)는, 탄성 변형 가능한 플레이트체로 구성되고, 하단부에 워크 반송로(2)를 마련한 것이다.　여기서, 워크 반송로(2)에 있어서의 워크 W의 반송 방향 D1은, 제1 진동부(31)의 배면(311)으로부터 전방면(312)을 향하는 방향으로서 특정할 수 있다.　또한, 평면에 있어서 슈트(1) 또는 제1 진동부(31)의 전후 방향 Z와 직교하는 방향을 「슈트(1) 또는 제1 진동부(31)의 두께 방향 E」로서 특정할 수 있고, 슈트(1)의 전후 방향 Z에 대해 수직인 직교 방향을 「슈트(1) 또는 제1 진동부(31)의 높이 방향 H」로서 특정할 수 있다.　제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(1)의 두께 방향 E에 있어서 대향하는 2개의 면(2개의 측면) 중 한쪽 면(313)의 하단부에 반송로(2)를 마련하고 있다.　이하에서는, 이 면(313)을 반송로 설정면(313)이라 하고, 반대 측의 면(측면)을 반송로 비설정면(314)이라 한다.

제2 진동부(32)는, 탄성 변형 가능한 플레이트체로 구성되고, 제1 진동부(31)의 반송로 설정면(313) 및 반송로 비설정면(314)의 중앙 부근으로부터 이들 각 면(반송로 설정면(313), 반송로 비설정면(314))에 대하여 법선 방향으로 각각 돌출 자세로 배치된 것이다.　제2 진동부(32) 중 제1 진동부(31)의 반송로 설정면(313)으로부터 돌출되어 있는 부분(32A)과, 반송로 비설정면(314)으로부터 돌출되어 있는 부분(32B)은 서로 동일 형상이며, 이러한 제2 진동부(32)를 제1 진동부(31)의 무게 중심 또는 무게 중심 근방에 배치하고 있다.　반송로 설정면(313) 및 반송로 비설정면(314)의 법선 방향(제2 진동부(32)의 돌출 방향)은 제1 진동부(31)의 두께 방향 E와 대략 일치한다.　제2 진동부(32)는, 제1 진동부(31)의 반송로 설정면(313) 및 반송로 비설정면(314)의 각 표면에 평행한 단면 형상을 워크 반송 방향 D1으로 연신하는 가로로 긴 단면 형상으로 설정한 것이다.　또한, 제2 실시 형태에서는, 제2 진동부(32) 중 워크 반송 방향 D1의 치수를 제1 진동부(31)의 동일한 방향 D1의 치수보다 작게 설정하고 있다.　이러한 제2 진동부(32)를, 제1 진동부(31)의 두께 방향 E 중심을 지나고 또한 반송로 설정면(313)의 표면에 평행한 가상 평면(대상면)에 관하여 대칭이 되도록 배치하고 있다.

제2 실시 형태의 슈트(1)는, 제1 진동부(31)의 높이 방향 H 중앙부에 있어서 반송로 비설정면(314)으로부터 반송부(3)의 두께 방향 E로 연신하는 자세로 배치한 지지부(5)를 구비하고 있다(도 13 참조).　제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(31) 중 워크 W의 반송 방향 D1을 따라 소정 거리 떨어진 2개소(제2 진동부(32) 중 반송로 비설정면(314)으로부터 돌출되어 있는 부분(32B)을 워크 반송 방향 D1에 있어서 끼우는 개소)에 지지부(5)를 배치하고 있다.　각 지지부(5)는, 강성이 낮은 소재로 구성된 봉 형상을 이루는 것이며, 일단을 제1 진동부(31)에 설치하고, 타단을 공통의 고정부(6)에 설치하고 있다.　제1 진동부(31)와 고정부(6) 사이에, 저강성의 지지부(5)를 마련함으로써 제1 진동부(31)의 진동 상태에 악영향이 미치지 않도록 구성하고 있다.　지지부(5)는, 제1 진동부(31) 및 제2 진동부(32)와 함께 반송부(3)를 구성하는 파트로서 파악할 수도 있다.　제2 진동부(32)는, 이러한 반송부(3)의 무게 중심 또는 무게 중심 근방에 배치된 것이다.　제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(31) 및 제2 진동부(32)를 일체로 형성하고 있다.　또한, 도 14에서는 지지부(5) 및 고정부(6)를 생략하고 있다.

제2 실시 형태의 슈트(1)는, 제1 진동부(31)의 소정 개소에 구동부(4)를 마련하고 있다.　제2 실시 형태에서는, 도 13 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 구동부(4)로서 압전 소자(4a, 4b)를 적용하고, 2개의 압전 소자(4a)를 제1 진동부(31)의 배면(311) 및 전방면(312)의 높이 방향 H 중앙부에 각각 첩부 처리 등의 적절한 처리 또는 고정 수단에 의해 고정하고, 1개의 압전 소자(4b)를 제1 진동부(31)의 반송로 설정면(313)에 있어서의 높이 방향 H 중앙부 주변에 첩부 처리 등의 적절한 처리 또는 고정 수단에 의해 고정하고 있다.　압전 소자(4a, 4b)는 직사각 형상을 이루는 박판상의 것이고, 수평 진동 모드 구동용의 압전 소자(4a)를 세로로 긴 자세로 마련하고, 수직 진동 모드용의 압전 소자(4b)를 가로로 긴 자세로 마련하고 있다.　압전 소자(4a, 4b)는 각 진동 모드에 있어서 큰 변형이 발생하는 위치(진동의 복 위치)에 마련되어 있다.　그리고, 제2 실시 형태의 슈트(1)에서는, 도 12 및 도 14에 나타내는 바와 같이, 제1 진동부(31) 및 제2 진동부가 수평면에 대하여 대략 45도의 경사 각도로 교차하는 자세로 반송부(3)를 배치하고, 제1 진동부(31)의 하단부에 마련한 반송로(2)가 리니어 반송로 L의 종단 L11에 연속되도록 구성하고 있다.

워크 반송로(2)는, 제1 진동부(31)의 하단부에 있어서 당해 제1 진동부(31)의 두께 방향 E(폭 방향 E)로 돌출되는 자세로 마련된 것이다.　제2 실시 형태에서는, 반송로 형성면(313)으로부터 측방으로 돌출되는 자세로 워크 반송로(2)를 마련하고 있다.　워크 반송로(2)의 상향면에는, 홈 형상의 반송면(21)을 형성하고 있다.　반송면(21)의 홈 형상은 특별히 한정되지 않고, 도 13 등에서는 일례로서 단면 상향 역 ㄷ자상의 반송면(21)을 나타내고 있다.　워크 반송로(2)의 시단(22) 및 종단(23)은, 각각 워크 반송로(2) 중 워크 반송 방향 D1 상류측의 외연 및 워크 반송 방향 D1 하류측의 외연에 도달하고 있다.　워크 반송로(2)의 전후 방향 Z를 따른 치수는, 제1 진동부(31)의 전후 방향 Z를 따른 치수와 동일하다.　즉, 제2 실시 형태의 슈트(1)는, 제1 진동부(31)의 하단부로부터 측방으로 장출된 워크 반송로(2)를 구비한 것이다.　제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(31) 및 워크 반송로(2)를 일체로 형성하고 있다.

제2 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 워크 반송로(2)의 하향면에 다른 부품을 마련하고 있지 않기 때문에, 워크 반송로(2)의 하방 공간이 프리 스페이스로 되어 있다.　제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(31)를 상술한 바와 같이 소정 각도 경사지게 한 자세로 배치하도록 구성하고, 이 배치 자세에 있어서 워크 반송로(2)의 하면이 수평면이 되도록 설정하고 있다(도 14의 (b) 참조).

이상의 구성을 갖는 슈트(1)를 리니어 피더 L의 종단 L11에 인접하는 위치에 배치한 진동 반송 장치 X는, 도 11 및 도 12에 나타내는 바와 같이, 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T의 워크 전달면 Y1에 워크 반송로(2) 중 하류단측의 하향면을 근접시킨 상태에서, 슈트(1)와는 별체의 부재(도시 생략)에 고정부(5)를 적당한 수단으로 고정한 상태로 설치할 수 있다.　제2 실시 형태에서는, 이 설치 상태에 있어서 반송면(21)이 워크 반송 방향 D1의 상류로부터 하류를 향하여 점차 비스듬하게 하방으로 경사지는 내리막 구배가 되도록 설정하고 있다.　내리막 구배의 경사 각도는 워크 W가 중력으로 미끄러져 떨어지는 정도이고, 또한 워크 W의 자세를 무너뜨리지 않는 각도인 것이 긴요하며, 제2 실시 형태에서는, 반송면(21)을 5° 내지 15° 정도의 내리막 구배로 설정하고 있다.

그리고, 제2 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X는, 리니어 피더 L과 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T 사이에 마련한 슈트(1)에 의해, 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1로부터 반송면(21)으로 환승한 워크 W를 일정 구간(반송면(21)에 의한 워크 W의 반송 구간) 반송한 후, 다음 공정 설비 Y인 회전 테이블 T에 워크 W를 공급할 수 있다.　제2 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X에서는, 구동부(4)에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 도 15에 나타내는 수평 진동 모드와, 도 16 및 도 17에 나타내는 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이 되도록 구성하고 있다.

수평 진동 모드는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 반송면(21)이 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향 Z로 휘는 진동이다.　제2 실시 형태에서는, 압전 소자(4a)에만 교류 전압을 인가함으로써 제1 진동부(31)를 가진하면, 제1 진동부(31) 전체가 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향으로 휘는 진동(수평 진동)이 발생하도록 구성하고 있다.　또한 이 수평 진동 모드는, 도 15에 명시되어 있는 바와 같이, 반송로(2)를 마련한 제1 진동부(31)와 제2 진동부(32)가, 반송로(2)의 연신 방향 D로 서로 역상으로 진동하는 진동 모드이다.　제2 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X는, 수평 진동 모드에 있어서 제1 진동부(31)에 나타나는 복수의 복 중 하단부에 나타나는 복의 위치 또는 그 근방 위치에 워크 반송로(2)를 마련하고 있다.

수직 진동 모드는, 도 16 및 도 17에 나타내는 바와 같이, 반송면(21)이 워크 반송 방향 D1에 대해 수직인 직교 방향 H로 휘는 진동이다.　제2 실시 형태에서는, 압전 소자(4b)에만 교류 전압을 인가함으로써 제1 진동부(31)를 가진하면, 제1 진동부(31) 전체가 워크 반송 방향 D1에 대해 수직인 직교 방향 E로 휘는 진동(수직 진동)이 발생하도록 구성하고 있다.　또한 이 수직 진동 모드는, 반송로(2) 전체가 워크 반송 방향 D1에 수직인 직교 방향으로 휘는 것에 수반하여 제2 진동부(32)에도 휨이 발생하는 진동 모드이다.　또한, 도 16은 도 15와 마찬가지로 반송로 설정면(313) 측으로부터 본 수직 진동 모드를 나타내는 도면이며, 도 17은 도 14의 (a)의 F2 방향으로부터 본 수직 진동 모드를 나타내는 도면이다.　도 15 내지 도 18은 진동 모드를 해석 애니메이션에 의해 표시한 것이며, 진동 모드의 진동 상황을 파악하기 쉽게 하기 위해, 무진동 상태의 슈트를 비교 대상으로서 일부 생략하여 검은 선으로 나타내고 있다.

본 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 이러한 수평 진동 모드와 수직 진동 모드의 2개의 상이한 진동 모드를 동일한 주파수로 소정의 위상차를 부여하여 여기함으로써, 반송면(21)에 도 18에 나타내는 타원 진동을 생성한다.　도 18은 (i)→(ii)→(iii)→(iv)→(i) ...의 순으로 반복하는 타원 진동의 경시적인 변천을 나타내는 도면이다.　또한, 압전 소자(4a, 4b)는 제1 진동부(31) 중 각 진동 모드(수평 진동 모드, 수직 진동 모드)에 있어서 큰 변형이 발생하는 위치에 마련되어 있고, 교류 전압을 인가함으로써 가진한다.　또한, 압전 소자(4a, 4b)에 의한 가진 시의 주파수는 수평 진동 모드 및 수직 진동 모드의 고유 주파수 부근의 주파수로 설정하고 있다.　제2 실시 형태의 슈트(1)는, 진동 모드에 있어서 반송면(21)을 주파수 20kHz 이상의 초음파 영역에서 진동시킬 수 있다(정재파).

본 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에서는, 구동부(4)(압전 소자(4a, 4b))에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 수평 진동 모드와 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 진동 모드에 있어서 반송면(21) 전체가 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써, 도 18 및 도 19에 나타내는 바와 같이, 반송로(2) 전체에 균일한 타원 진동이 생성된다.　그 결과, 반송로(2)의 반송면(21) 전체에도 균일한 타원 진동이 생성되고, 반송면(21) 상의 워크 W는, 도 19에 나타내는 바와 같이, 반송면(2)에 접촉하는 상태(동 도면의 (ii))와, 반송면(2)에 대하여 이격하는 상태(동 도면의 (iii), (iv), (i))를 소정의 사이클로 반복하며, 워크 반송 방향 D1을 따라 반송된다.　즉, 워크 W가 반송면(21)에 접촉한 시점에서 워크 W와 반송면(21) 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크 W를 워크 반송 방향 D1로 반송할 수 있고, 반송면(21) 전역에서 추진력을 얻을 수 있다.　또한, 반송로(2)의 반송면(21) 전체에 균일한 타원 진동이 생성된다는 것은, 진동 모드에 있어서의 어느 시점을 잘라냈다고 해도 각 시점에 있어서의 반송면(21) 상의 임의의 점(일례로서 도 19 중의 점 P, Q)의 상대 위치 관계가 일정하며, 예를 들어 반송면(21) 상에 진동에 기인하는 기복이 부분적으로 나타나지 않는다는 것이다.　도 19의 (i), (ii), (iii), (iv)는 각각 도 18의 (i), (ii), (iii), (iv)에 대응하는 것이다.　또한, 도 19의 (i), (ii), (iii), (iv)에 나타내는 타원과 타원 상의 검은 원은, 각 도면이 타원 진동에 있어서의 어느 시점의 진동 상태인지를 모식적으로 나타내는 것이다.　또한 도 19에서는 무진동 상태의 반송면(21A)을 점선으로 나타내고 있다.

이상과 같이, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)는, 구동부(4)(압전 소자(4a, 4b))에 의해 반송부(3)를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향 H를 따라 복과 절이 나타나고 또한 반송로(2)에 있어서의 워크 반송 방향 D1과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드와, 반송면(21)에 대해 수직인 직교 방향 H의 진동인 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며, 진동 모드에 있어서 반송면(21) 전체가 적어도 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써, 반송면(21) 전체에 균일한 타원 진동이 생성되는 구성이기 때문에, 반송면(21) 상에 절이 없는 진동 상태를 얻을 수 있다.　그리고, 진동 모드에 있어서 반송면(21)이 균일한 타원 진동함으로써, 반송면(21)과 워크 W 사이에 마찰력이 발생하고, 이 마찰력이 추진력으로서 작용하여 워크 W를 반송할 수 있고, 반송면(21) 전역에서 추진력이 얻어져, 워크 반송 속도를 빠르게 설정한 경우에도 반송면(21) 상에 있어서 워크 W끼리 막히거나, 워크 반송 방향 D1에 있어서 상대적으로 상류측의 워크 W에 가압되는 것에 기인하는 자세의 흐트러짐(가압에 의한 자세의 흐트러짐)이 발생하는 사태를 회피할 수 있다.　상세하게 설명하면, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 수평 진동 모드에 합성하여 타원 진동을 생성하는 수직 진동 모드의 진동 방향이, 워크 반송 방향 D1에 직교하고 또한 연직 성분의 성분을 갖는 방향이기 때문에, 연직 하향으로 중력을 받는 워크 W가, 연직 방향으로 진동하는 반송면(21)에 대하여 연직 방향에 접촉하는 상태와 이격하는 상태를 반복하고, 워크 W가 반송면(21)에 접촉할 때는 중력에 의해 워크가 반송면(21)에 가압되어, 추진력인 마찰력이 발생한다는 작용을 얻을 수 있다.

즉, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 타원 진동에 의해 반송면(21)과 워크 W 사이에 발생하는 마찰력을 추진력으로서 작용시키는 구성이기 때문에, 매우 작은 진동 진폭이어도 반송로(2) 전체에서 워크 W를 원활하게 반송할 수 있고, 다음 공정 설비 Y에의 접속이나 위치 조정을 행할 때, 반송로(2)의 진동 진폭을 거의 고려할 필요가 없이 용이하게 행할 수 있다.　또한, 반송로(2)의 하방 공간이 프리 스페이스인 것과 더불어, 반송로(2)와 다음 공정 설비 Y 사이의 간극을 제로에 근접시키는 것이 가능하고, 반송면(21)의 하류단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로의 환승 시의 워크 W의 자세 안정화를 도모할 수 있다.

특히, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 수평 진동 모드에 있어서, 제2 진동부(32)(부진동부)가 제1 진동부(31)(주진동부)와는 역상으로 진동하고, 제1 진동부(31)로부터의 반력을 제2 진동부(32)가 받게 되어, 제1 진동부(31) 내에서의 휨 변형량이 저감된다.　이에 의해, 제1 진동부(31)에 마련된 반송로(2)가 전체에서 균일하게 진동하기 쉬워지고(위치에 따른 진폭의 변동이 작아지고), 게다가, 반송로(3)에 있어서의 워크 반송 방향 D1에 평행한 방향 이외의 방향으로의 변위가 작아지기 때문에, 반송로(2) 전역에서 안정된 워크 W의 반송이 가능하게 된다.　특히 제2 실시 형태에서는, 수평 진동 모드와 수직 진동 모드의 합성에 의해 생성한 타원 진동을 이용하여 워크 W를 반송하고 있지만, 이 경우, 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동의 진폭의 비나 위상차가, 반송 속도 및 안정성에 크게 영향을 미친다.　그 때문에, 수평 진동 모드에 있어서 부분적으로 큰 수직 방향의 진동 성분이 발생하면, 수평 방향의 진동과 수직 방향의 진동의 진폭의 비나 위상차가 부분적으로 붕괴되어, 반송이 불안정하게 되는 것과 같은 문제가 발생한다.　이 점에서 제2 실시 형태이면, 수평 진동 모드에 있어서의 수직 방향으로의 진동을 억제할 수 있어, 타원 진동을 이용하는 경우에도 안정된 반송이 가능하게 된다.

부진동부(32)를 구비하고 있지 않은 경우에는, 도 20에 나타내는 바와 같이, 수평 진동 모드에 의해 제1 진동부(31)의 높이 방향 H의 단부(상단부, 하단부) 주변에 있어서 경사 방향으로의 변위가 생기기 쉬워지고, 이러한 부분에 반송로(2)를 설정하면, 진동 모드 중에 반송로(2)도 경사 방향으로 변위하게 되어, 반송면(21) 상에서의 워크 W를 반송 방향 D1 하류단까지 원활하게 반송할 수 없다.　이러한 문제를, 제1 진동부(31)와는 역상으로 진동하는 제2 진동부(32)를 구비한 반송부(3)로 함으로써 해소할 수 있다.　그리고, 반송로(2)를 반송부(3)의 하단 부근에 마련함으로써, 반송로(2)보다 하방의 공간에 반송부(3)가 배치되지 않는 구성이 되어, 다음 공정 설비 Y에 대한 반송로(2)의 상대 위치의 설계 자유도가 높아져, 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1 상에 워크 W를 용이하게 공급 가능한 레이아웃을 선택할 수 있다.

또한, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 초음파 진동을 이용하고 있기 때문에, 진동 모드에 있어서의 진폭이 극히 작고, 반송면(21)의 종단(23)(워크 반송 방향 D1 하류단)으로부터 소정의 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로 워크 W를 배출하는 위치(워크 배출 위치)의 변동이 거의 없기 때문에, 등피치로 워크 W를 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1에 공급할 수 있다는 장점이나, 진동음이 들리지 않아, 작업 환경에 악영향을 미치지 않는다는 장점도 얻을 수 있다.

게다가, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 반송부(3)의 무게 중심 또는 무게 중심 근방에 제2 진동부(32)를 배치한 구성이기 때문에, 제1 진동부(31) 및 제2 진동부(32)를 포함하는 반송부(3) 전체에 있어서 밸런스 좋게 제1 진동부(31)의 수직 방향으로의 휨 변형의 영향을 제2 진동부(32)의 진동에 의해 상쇄할 수 있다.　보다 구체적으로는, 제2 진동부(32)가 제1 진동부(31)의 진동 반력을 받을 때, 제1 진동부(31)의 자세를 안정시키기(밸런스를 잡기) 위해서는 제1 진동부(31)의 무게 중심 부근에서 반력을 받는 것이 바람직하고, 그 위치는 제1 진동부(31)의 중앙 부근이기 때문에, 제1 진동부(31)의 중앙 부근에 제2 진동부(32)를 마련하는 것이 적합하다.

또한, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 제1 진동부(31)를 두께 방향 E로 끼우는 양측에 제2 진동부(32)를 돌출시킨 자세로 배치하고 있기 때문에, 제2 진동부(32)의 진동에 의해 발생하는 제2 진동부(32) 자체의 회전 모멘트를 제2 진동부(31)의 한 쌍의 돌출단에서 동일한 크기의 회전 모멘트를 발생시킴으로써 상쇄할 수 있어, 제1 진동부(31)의 자세가 안정된다.　이러한 관점에 있어서, 회전 모멘트를 상쇄하기 위해서는, 양측에서 동일한 크기의 회전 모멘트를 발생시킬 필요가 있고, 제2 실시 형태에서는, 제1 진동부(31)를 두께 방향 E로 끼우는 양쪽 스페이스에 상호 균형적인 관계를 유지하는 제2 진동부(32)를 배치하는 구성을 채용하고 있다.　구체적으로는, 제1 진동부(31)의 두께 방향 E 중심을 지나고, 또한 제1 진동부(31)의 두께 방향 E에 대하여 수직인 직교 방향으로 연신하는 가상 중심면을 대칭면으로 하여, 제2 진동부(32)를 대칭 형상으로 설정하고 있다.

특히, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 수평 진동 모드의 진동 진폭과 수직 진동 모드의 진동 진폭을 개별적으로 독립적으로 설정할 수 있고, 또한 양쪽 진동 모드 간의 위상차도 자유롭게 설정할 수 있기 때문에, 워크 W의 반송 속도의 조정을 용이하게 행할 수 있다.　또한, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 타원 진동의 회전 방향을 역전시키면 반송면(21) 상의 워크 W를 역방향으로 반송하는 것이 가능하다.

게다가, 제2 실시 형태에 관한 슈트(1)에 의하면, 반송면(21)을 워크 반송 방향 D1 하류단을 향하여 점차 내리막 구배가 되는 경사면으로 설정하고 있기 때문에, 리니어 피더 L로부터 워크 반송로(2)의 반송면(21)으로 환승한 워크 W가 미끄러져 떨어지도록 반송되게 되어, 한층 더 원활한 반송 처리를 실시할 수 있다.　또한, 반송면(21)에 있어서의 워크 W의 반송 속도를 리니어 피더 L의 리니어 메인 반송로 L1에 있어서의 워크 W의 반송 속도보다 느려지도록 설정한 경우에는, 반송면(21) 상에서 워크 W를 반송 방향 D1로 간극이 없는 상태 또는 거의 없는 상태로 반송할 수 있어, 반송 방향 D1에 있어서의 워크 W끼리의 거리가 커지는(워크 W의 이격) 사상의 발생을 방지하면서, 단위 시간당 워크 반송량 증대화가 가능하여, 한층 더 안정된 워크 W의 일정 공급 처리를 실현할 수 있다.

또한, 이러한 슈트(1)를 구비한 제2 실시 형태에 관한 진동 반송 장치 X에 의하면, 상술한 슈트(1)가 발휘하는 작용 효과를 발휘하고, 반송면(21)의 종단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1을 향하여 워크 W를 등피치로 또한 동일한 자세로 일정 공급하는 것이 가능하게 됨과 함께, 반송면(21)의 종단(23)으로부터 다음 공정 설비 Y의 워크 전달면 Y1로의 환승 시에 워크 W가 자세 변경되는 문제를 방지·억제할 수 있다.

또한, 본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.　예를 들어, 상술한 실시 형태에서는, 반송로의 제1 진동부의 하단부에 배치한 구성을 예시했지만, 제1 진동부의 상단부에 반송로를 배치한 구성 등, 반송로의 배치 개소는 적절히 선택·변경할 수 있다.　또한, 반송로의 배치 개소에 따라 제2 진동부의 배치 개소도 반송로에 간섭하지 않은 적절한 개소로 변경하면 된다.

제2 진동부의 돌출 치수나 중량 등도 제1 진동부의 형상 등에 따라 적절히 변경하는 것이 가능하다.

상술한 실시 형태에서는, 슈트의 반송면을 워크 반송 방향을 따라 내리막 구배로 설정한 양태를 예시했지만, 경사져 있지 않은 편평한 반송면을 채용할 수도 있다.　또한, 반송면 상의 워크에 대하여 충분한 추진력을 부여하는 것이 가능한 본 발명에 따르면, 반송면을 워크 반송 방향을 따라 오르막 구배로 설정할 수도 있다.

제1 진동부와 제2 진동부를 별개로 한 구성이나, 반송로와 제1 진동부를 별개로 한 구성도 본 발명에 포함된다.

또한, 본 발명에서는, 반송면의 단면 홈 형상이나 워크 반송 방향을 따른 워크 반송로의 길이는, 적절히 선택·변경할 수 있다.　반송면의 단면 형상으로서는, 상향 역 ㄷ자상, U자상, V자상 등의 형상을 들 수 있다.　반송면과 소정 방향으로 대면하는 규제벽을 갖는 규제부를 구비하고, 반송면 상을 반송하는 워크가 반송면으로부터 벗어나는 방향으로 이동하는 거동을 규제하도록 구성해도 된다.

본 발명에서는, 구동부로서, 압전 소자 대신에 또는 그에 추가로, 자기 변형 소자나 다른 소자를 적용하는 것이 가능하다.　또한, 제1 반송부에 있어서의 구동부의 배치 개소도 적절히 선택·변경할 수 있고, 진동 모드에 따라서는 구동부의 배치 개소가 진동의 복 또는 복 근방에 배치되는 경우도 있다.　즉, 진동 모드에 있어서 보다 효율적으로 진동시키기 위해서는, 탄성 변형에 의한 변형이 큰 위치에 구동부를 배치(압전 소자를 첩부)하는 것이 바람직하다.

수직 진동 모드로서, 반송부 전체가 높이 방향(연직 방향)으로 신축 운동하는 탄성 변형에 의해 발생하는 세로 진동을 채용하는 것도 가능하다.

나아가, 수평 진동 모드만으로 이루어지는 진동 모드로 반송면 상의 워크를 반송 가능하게 구성한 양태도 본 발명에 포함된다.

또한, 본 발명에 관한 진동 반송 장치는, 볼 피더와 리니어 피더와 슈트를 모두 구비한 것에 한정되지 않고, 볼 피더의 메인 반송로(나선 반송로)의 종단에 인접하는 위치에 슈트를 배치한 구성이나, 볼 피더를 구비하지 않고, 리니어 피더의 메인 반송로(리니어 메인 반송로)의 종단에 인접하는 위치에 슈트를 배치한 구성이어도 된다.　또한, 리니어 피더가, 리니어 반송부의 상향면에, 리니어 메인 반송로와, 리니어 메인 반송로로부터 배제된 워크를 상류측(예를 들어 볼 피더의 저류부)으로 되돌리는 리턴 트랙을 형성한 것이어도 된다.

나아가 또한, 볼 피더와 리니어 피더 사이에 본 발명에 관한 슈트를 마련하고, 나선 반송로의 종단으로부터 워크 반송로의 시단에 도달한 워크를, 워크 반송로의 종단까지 반송하여 리니어 피더의 리니어 메인 반송로의 시단으로 환승하는 구성을 실현할 수도 있다.　이 경우, 진동 반송 장치는, 볼 피더와 슈트를 구비한 것이며, 본 발명에 있어서의 「다음 공정 설비의 워크 전달면」이 리니어 메인 반송로의 시단이라고 파악할 수 있다.　호퍼로부터 슈트로 직접 워크를 공급하는 구성이어도 된다.

메인 반송로의 종단에 인접하는 위치이며 또한 메인 반송로의 종단 근방 영역의 하방에 슈트의 반송로의 시단 근방 영역이 위치 부여되도록 메인 반송로 및 슈트의 반송로의 일부끼리를 높이 방향으로 겹친 배치를 채용하고, 내리막 구배로 설정한 메인 반송로의 종단으로부터 워크를 자중에 의해 슈트의 반송로의 시단 근방에 낙하시키도록 해도 상관없다.　이 경우, 반송로의 진폭의 제한이 없어져, 고진폭으로 진동시키는 것이 가능하게 되어, 워크 공급량을 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 다음 공정 설비는, 외관 검사 장치의 회전 테이블에 한정되지 않고, 적당한 검사 장치 혹은 처리 장치의 일부를 구성하고, 또한 워크 전달면을 갖는 것이면 된다.

반송 대상물인 워크의 일례로서 전자 부품 등의 미소 부품을 들 수 있지만, 워크는 전자 부품 이외의 물품이어도 된다.

본 발명의 제2 실시 형태에 관한 슈트에 의하면, 반송면을 따라 반송 대상물인 워크를 반송 방향 하류단을 향하여 이동시키면서 소정의 다음 공정 설비의 워크 전달면에 반송 가능한 슈트이며, 반송면을 갖는 반송로와, 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 반송면에 전달하는 반송부와, 반송부를 탄성 변형시키는 구동부를 구비하고, 반송부는, 반송로에 인접하는 위치에 배치되는 제1 진동부와, 당해 제1 진동부 중 워크의 반송 방향에 직교하는 방향의 2면의 법선 방향 각각으로 돌출되는 자세로 배치되는 탄성 변형 가능한 제2 진동부를 갖는 것이며, 구동부에 의해 반송부를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 적어도 워크의 반송 방향과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드를 갖고, 진동 모드에 있어서, 제1 진동부와 제2 진동부가 서로 역상으로 진동한다.

본 발명의 제2 실시 형태에 관한 제2 진동부는, 반송부의 무게 중심 또는 무게 중심 근방에 배치된다.

본 발명의 제2 실시 형태에 관한 진동 반송 장치는, 반송 대상물인 워크를 진동에 의해 메인 반송로의 종단을 향하여 이동시키면서 반송 방향 하류측으로 반송 가능하고, 메인 반송로의 종단에 인접하여 위치하는 제2 실시 형태에 관한 슈트를 배치한다.

그 외, 각 부의 구체적 구성에 대해서도 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.

1: 슈트
21: 반송면
2: 반송로(워크 반송로)
3: 반송부
4, 4a, 4b: 구동부(압전 소자)
L1: 메인 반송로(리니어 메인 반송로)
W: 워크
X: 진동 반송 장치
Y: 다음 공정 설비(회전 테이블)
Y1: 워크 전달면

Claims (2)

1. 반송면을 따라 반송 대상물인 워크를 반송 방향 하류단을 향하여 이동시키면서 소정의 다음 공정 설비의 워크 전달면에 반송 가능한 슈트이며,
   상향면에 상기 반송면을 갖는 반송로와,
   상기 반송로에 인접하는 위치에 배치되고 또한 탄성 변형에 의해 발생한 진동을 상기 반송면에 전달하는 반송부와,
   상기 반송부를 탄성 변형시키는 구동부를 구비하고,
   상기 구동부에 의해 상기 반송부를 탄성 변형시킨 상태인 진동 모드가, 상기 워크의 반송 방향과 평행한 방향으로 휘는 진동인 수평 진동 모드와, 상기 워크의 반송 방향에 대해 수직인 직교 방향의 진동인 수직 진동 모드를 합성한 타원 진동이며,
   상기 진동 모드에 있어서 상기 반송면 전체가 적어도 상기 수평 진동 모드의 복에 상당하는 위치 또는 그 근방 위치가 되도록 구성함으로써 상기 반송면 전체에 균일한 타원 진동이 생성되는 것을 특징으로 하는 슈트.
2. 반송 대상물인 워크를 진동에 의해 메인 반송로의 종단을 향하여 이동시키면서 반송 방향 하류측으로 반송 가능한 진동 반송 장치이며,
   상기 메인 반송로의 종단에 인접하는 위치에 제1항에 기재된 슈트를 배치하고 있는 것을 특징으로 하는 진동 반송 장치.