KR20240059849A - Particle density sensor - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전기로를 통해 발생된 나노입자의 직경에 따른 중량 농도 및 개수농도를 측정하고, 그 측정결과에 기초하여 상기 나노입자의 밀도를 연산함으로써, 입자의 정확한 밀도를 측정할 수 있는 입자 밀도 센서에 관한 것으로, 캐리어가스와 원료물질이 공급되어 초음파에 의해 미세액적이 분무되고, 상기 미세액적에 열을 공급하여 나노입자가 발생되는 입자발생부와, 상기 발생된 나노입자를 직경에 따라 분급하여, 해당 직경에 대한 중량농도 및 개수농도를 측정하는 입자측정부 및 상기 나노입자의 중량농도 및 개수농도의 측정결과에 기초하여, 상기 나노입자의 밀도를 연산하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a particle density sensor that can measure the exact density of particles by measuring the weight concentration and number concentration according to the diameter of nanoparticles generated through an electric furnace and calculating the density of the nanoparticles based on the measurement results. Regarding this, carrier gas and raw materials are supplied, micro droplets are sprayed by ultrasonic waves, heat is supplied to the micro droplets to generate nanoparticles, a particle generating unit, and the generated nanoparticles are classified according to diameter. , a particle measuring unit that measures the weight concentration and number concentration for the corresponding diameter, and a control unit that calculates the density of the nanoparticles based on the measurement results of the weight concentration and number concentration of the nanoparticles.
Description
본 발명은 입자 밀도 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 전기로를 통해 발생된 나노입자의 직경에 따른 중량 농도 및 개수농도를 측정하고, 그 측정결과에 기초하여 상기 나노입자의 밀도를 연산함으로써, 입자의 정확한 밀도를 측정할 수 있는 입자 밀도 센서에 관한 것이다.The present invention relates to a particle density sensor, and more specifically, by measuring the weight concentration and number concentration according to the diameter of nanoparticles generated through an electric furnace and calculating the density of the nanoparticles based on the measurement results, This relates to a particle density sensor that can measure the exact density of particles.
일반적으로, 나노기술(Nano Technology)은 정보기술(IT), 생명기술(BT)과 더불어 21세기의 새로운 산업을 이끌어 갈 핵심 기술의 하나로 각광받고 있다. 이러한 나노기술은 나노미터 크기의 물질들이 갖는 독특한 성질과 현상을 찾아내고, 이러한 성질을 갖는 나노물질을 조합하여 매우 유용한 성질의 소재와 장치 및 시스템을 생산하는 과학과 기술이다.In general, nanotechnology is in the spotlight as one of the core technologies that will lead new industries in the 21st century, along with information technology (IT) and life technology (BT). Nanotechnology is the science and technology of discovering the unique properties and phenomena of nanometer-sized materials and combining nanomaterials with these properties to produce materials, devices, and systems with very useful properties.
이와 더불어, 나노기술은 나노입자의 화학적 조성을 이용하여 물질을 제조하거나 생산하는 기술뿐만 아니라 나노입자를 제어하고 측정하는 기술도 포함한다.In addition, nanotechnology includes not only technologies for manufacturing or producing materials using the chemical composition of nanoparticles, but also technologies for controlling and measuring nanoparticles.
최근 들어, 반도체 산업, 식품 산업, 제약 산업 등의 첨단 산업 분야에서는 나노입자에 의한 제품의 표면오염이 제품 비율이나 품질의 저하에 직접 관련되는 문제가 발생했다. 특히 반도체 산업의 작업 공간에서는 서브 마이크론 크기의 입자뿐만 아니라 분자상의 입자 이온까지 제거 대상이 되어 나노입자 측정방법이 중요시 되고 있다.Recently, in high-tech industries such as the semiconductor industry, food industry, and pharmaceutical industry, a problem has arisen in which surface contamination of products by nanoparticles is directly related to a decrease in product ratio or quality. In particular, in the workspace of the semiconductor industry, nanoparticle measurement methods are becoming important as not only submicron-sized particles but also molecular particle ions are subject to removal.
특히, 대기 중의 입자는 크기에 따라, 대기확산 및 이동, 침강속도, 방지시설 효율 등이 결정된다는 점에서 입자의 입경별 분포특성과 이에 대한 밀도를 정확히 파악하는 것은 매우 중요하다.In particular, it is very important to accurately understand the distribution characteristics and density of particles by particle size, given that the size of particles in the air determines their atmospheric diffusion and movement, sedimentation speed, and prevention facility efficiency.
하지만, 현재 나노기술에 대한 연구는 입자를 합성하는 데 주로 국한되어 있을 뿐, 나노입자의 밀도에 대한 정확한 측정이 어려운 문제점이 발생했다.However, current research on nanotechnology is mainly limited to synthesizing particles, and it is difficult to accurately measure the density of nanoparticles.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 The present invention was devised to solve the above problems, and the purpose of the present invention is to
입자 밀도 센서를 제공하는 것이다.To provide a particle density sensor.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 지닌 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해서, 캐리어가스와 원료물질이 공급되어 초음파에 의해 미세액적이 분무되고, 상기 미세액적에 열을 공급하여 나노입자가 발생되는 입자발생부와, 상기 발생된 나노입자를 직경에 따라 분급하여, 해당 직경에 대한 중량농도 및 개수농도를 측정하는 입자측정부와, 상기 나노입자의 중량농도 및 개수농도의 측정결과에 기초하여, 상기 나노입자의 밀도를 연산하는 제어부 및 상기 입자발생부가 공급하는 열의 에너지를 측정하는 에너지 측정부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a particle generator in which carrier gas and raw materials are supplied, fine droplets are sprayed by ultrasonic waves, heat is supplied to the fine droplets to generate nanoparticles, and the generated nano particles are generated. A particle measuring unit that classifies particles according to their diameter and measures the weight concentration and number concentration for the diameter, and a control unit that calculates the density of the nanoparticles based on the measurement results of the weight concentration and number concentration of the nanoparticles. and an energy measuring unit that measures the energy of heat supplied by the particle generating unit.
또한, 상기 입자발생부는 상기 캐리어가스가 원료물질을 전달하고, 상기 원료물질을 초음파에 의해 미세액적으로 분무하는 분무장치와, 상기 분무장치를 통해 분무된 미세액적에 열을 공급하여 나노입자를 발생하는 전기로 및 상기 나노입자에 열풍을 공급하는 드라이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the particle generating unit includes a spray device through which the carrier gas transfers the raw material and sprays the raw material into fine droplets by ultrasonic waves, and heat is supplied to the micro droplets sprayed through the spray device to produce nanoparticles. It is characterized by comprising an electric furnace that generates electricity and a dryer that supplies hot air to the nanoparticles.
또한, 상기 전기로를 통해 발생된 나노입자 중 기설정된 유량비에 따른 일정량이 상기 드라이어로 공급되고, 잔량의 나노입자가 제거하는 것을 특징으로 한다.In addition, a certain amount of nanoparticles generated through the electric furnace according to a preset flow rate ratio is supplied to the dryer, and the remaining amount of nanoparticles is removed.
본 발명은 밀도센서는 입자를 이용한 공정의 정확도를 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.The present invention provides a density sensor that can improve the accuracy of processes using particles.
또한, 전기로를 통해 발생된 나노입자 중 기설정된 유량비에 따라 나노입자를 제거하는 효과를 제공한다.In addition, it provides the effect of removing nanoparticles among nanoparticles generated through the electric furnace according to a preset flow rate ratio.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 입자 밀도 센서를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 입자 밀도 센서를 나타낸 구성도이다.Figure 1 is a perspective view showing a particle density sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 2 is a configuration diagram showing a particle density sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and will be implemented in various different forms. The present embodiments only serve to ensure that the disclosure of the present invention is complete and that common knowledge in the technical field to which the present invention pertains is not limited. It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
아래 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 상세히 설명한다. 도면에 관계없이 동일한 부재번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.Specific details for implementing the present invention will be described in detail with reference to the drawings attached below. Regardless of the drawings, the same reference numerals refer to the same elements, and “and/or” includes each and all combinations of one or more of the mentioned items.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도있음은 물론이다. Although first, second, etc. are used to describe various components, these components are of course not limited by these terms. These terms are merely used to distinguish one component from another. Therefore, of course, the first component mentioned below may also be the second component within the technical spirit of the present invention.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.The terminology used herein is for describing embodiments and is not intended to limit the invention. As used herein, singular forms also include plural forms, unless specifically stated otherwise in the context. As used in the specification, “comprises” and/or “comprising” does not exclude the presence or addition of one or more other elements in addition to the mentioned elements.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 입자 밀도 센서를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 입자 밀도 센서를 나타낸 구성도이다.Figure 1 is a perspective view showing a particle density sensor according to a preferred embodiment of the present invention, and Figure 2 is a configuration diagram showing a particle density sensor according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 입자 밀도 센서(100)는 입자발생부(110)와, 입자측정부(120) 및 제어부(130)를 포함하여 구성된다.As shown in Figures 1 and 2, the particle density sensor 100 of the present invention includes a particle generating unit 110, a particle measuring unit 120, and a control unit 130.
먼저, 상기 입자 발생부(110)는 캐리어가스와 원료물질이 공급되어 초음파에 의해 미세액적이 분무되고, 상기 미세액적에 열을 공급하여 나노입자가 발생된다.First, the particle generator 110 is supplied with carrier gas and raw materials to spray microdroplets by ultrasonic waves, and heat is supplied to the microdroplets to generate nanoparticles.
여기서, 상기 입자 발생부(110)는 캐리어가스를 공급하는 가스공급장치(111)와 나노입자의 합성을 위한 원료를 일정하게 제공하는 원료공급장치(112)와 상기 캐리어가스와 원료물질을 공급받아 미세액적을 분무하는 분무장치(113)와 상기 미세액적을 이용하여 나노입자를 발생하는 전기로(114) 및 상기 나노입자의 수분을 제거하는 드라이어(115)를 포함한다.Here, the particle generator 110 includes a gas supply device 111 that supplies carrier gas, a raw material supply device 112 that constantly provides raw materials for synthesizing nanoparticles, and the carrier gas and raw materials that are supplied. It includes a spray device 113 for spraying fine droplets, an electric furnace 114 for generating nanoparticles using the fine droplets, and a dryer 115 for removing moisture from the nanoparticles.
상기 가스공급기(111)는 순도 9999%의 에어(Air)를 상기 캐리어가스(Carrier Gas)로 사용하여, 상기 분무장치(113)에 공급한다. 이러한 가스 공급기(111)는 에어로졸이 사용됨이 바람직하다.The gas supplier 111 uses air with a purity of 9999% as the carrier gas and supplies it to the spray device 113. It is preferable that aerosol is used as this gas supplier 111.
원료공급기(112)는 나노입자의 합성을 위한 원료물질을 시린지 펌프(Syringe Pump)를 통해 상기 분무장치(130)로 공급한다. 여기서, 원료물질은 콜로이드 실리카(Colloid Silica) 용액을 희석하여 사용하는 것이 바람직하다. 이러한 시린지 펌프는 상기 콜로이드 실리카 용액과 같은 원료물질을 주사형태의 피스톤을 통해 주입하는 공급장치를 말한다.The raw material supplier 112 supplies raw materials for synthesizing nanoparticles to the spray device 130 through a syringe pump. Here, it is preferable to use a diluted colloidal silica solution as the raw material. This syringe pump refers to a supply device that injects raw materials such as the colloidal silica solution through an injection-type piston.
분무장치(113)는 상기 가스공급장치(111)와 원료공급장치(112)로부터 에어와 콜로이드 실리카 용액을 공급받아 초음파에 의해 미세액적을 분무한다.The spray device 113 receives air and colloidal silica solution from the gas supply device 111 and the raw material supply device 112 and sprays fine droplets by ultrasonic waves.
전기로(114)는 상기 분무장치(113)로부터 분무된 상기 미세액적을 전달받아, 상기 미세액적에 열을 공급하여 나노입자를 발생한다.The electric furnace 114 receives the microdroplets sprayed from the spray device 113 and supplies heat to the microdroplets to generate nanoparticles.
상기 드라이어(115)는 상기 발생된 나노입자를 공급받아 열풍을 공급하여, 상기 나노입자에 포함된 수분을 제거한다.The dryer 115 receives the generated nanoparticles and supplies hot air to remove moisture contained in the nanoparticles.
입자측정부(120)는 중화기(121)와 전원공급기(122)와 분급기(123)와 중량농도측정기(124)와 개수농도측정기(125)와 질량유량계(126) 및 펌프(127)를 포함한다.The particle measurement unit 120 includes a neutralizer 121, a power supply 122, a classifier 123, a gravimetric concentration meter 124, a number concentration meter 125, a mass flow meter 126, and a pump 127. do.
중화기(121)는 상기 입자발생부(110)에서 발생된 나노입자를 공급받고, 공급받은 나노입자를 대전시킨다.The neutralizer 121 receives nanoparticles generated from the particle generation unit 110 and charges the supplied nanoparticles.
기준전압발생기(122)는 상기 분급기(123)로 전원전압을 인가한다. 이러한 기준전압은 기설정된 테이블에 따라, 밀도를 측정하고자 하는 나노입자의 직경크기에 대응하는 전압을 말한다.The reference voltage generator 122 applies the power supply voltage to the classifier 123. This reference voltage refers to the voltage corresponding to the diameter size of the nanoparticle whose density is to be measured, according to a preset table.
분급기(123, DMA: Differential Mobility Analyzer)는 상기 중화기(121)로부터 대전된 나노입자를 공급받고, 상기 전원공급기(122)로부터 기준전압을 공급받는다. 이러한 분급기(123)는 상기 대전된 나노입자의 전기 이동도를 이용하여, 설정된 기준전압에 대응하는 직경을 갖는 나노입자를 방출한다. The classifier 123 (DMA: Differential Mobility Analyzer) receives charged nanoparticles from the neutralizer 121 and receives a reference voltage from the power supply 122. This classifier 123 uses the electrical mobility of the charged nanoparticles to emit nanoparticles with a diameter corresponding to a set reference voltage.
또한, 상기 분급기(123)는 상기 설정된 기준전압에 대응하는 직경을 갖지 않는 나노입자를 내부 필터로 포집한다. 이처럼, 방출된 나노입자는 배관을 통해 중량농도측정기(124)와 개수농도측정기(125)로 전달된다.Additionally, the classifier 123 collects nanoparticles that do not have a diameter corresponding to the set reference voltage through an internal filter. In this way, the released nanoparticles are delivered to the gravimetric concentration meter 124 and the number concentration meter 125 through the pipe.
중량농도측정기(124, Piezo Balance)는 상기 분급기(123)를 통해 분급된 나노입자를 수정 발진자 방식에 따라 고유의 주파수에서 진동시킨다. 이 때, 상기 나노입자의 진동주파수가 상기 나노입자의 질량에 비례하여 감소하는 것을 통해, 상기 나노입자의 질량농도를 측정할 수 있다.The weight concentration meter (124, Piezo Balance) vibrates the nanoparticles classified through the classifier 123 at a unique frequency according to a crystal oscillator method. At this time, the mass concentration of the nanoparticles can be measured as the vibration frequency of the nanoparticles decreases in proportion to the mass of the nanoparticles.
개수농도측정기(125, CPC: Condensation Particle Counter)는 공급된 나노입자를 응축시켜 크기를 증대시킨 후, 상기 나노입자에 산란되는 빛을 조사하여, 상기 나노입자의 개수농도를 실시간으로 측정한다. 이러한 상기 개수농도측정기(125)는 최대 직경 4nm 크기에 대한 나노입자의 개수농도까지 측정할 수 있다.The number concentration meter (125, CPC: Condensation Particle Counter) condenses the supplied nanoparticles to increase their size, and then measures the number concentration of the nanoparticles in real time by irradiating scattered light to the nanoparticles. The number concentration meter 125 can measure the number concentration of nanoparticles with a maximum diameter of 4 nm.
이러한 상기 중량농도측정기(124)와 개수농도측정기(125)는 배관을 통해 상호 연결되어 있으며, 상기 배관 사이에는 밸브가 배치되어, 상기 분급기(123)로부터 방출된 나노입자가 상기 밸브에 의해 상기 중량농도측정기(124) 또는 개수농도측정기(125)로 각각 전달될 수 있다.The weight concentration meter 124 and the number concentration meter 125 are connected to each other through a pipe, and a valve is disposed between the pipes, so that the nanoparticles released from the classifier 123 are transferred to the above by the valve. It can be delivered to the weight concentration meter 124 or the number concentration meter 125, respectively.
질량유량계(126, MFC: Mass Flow Controller)는 상기 중량농도측정기(124) 또는 개수농도측정기(125)로 공급되는 나노입자의 공급량을 조절한다.A mass flow controller (MFC) 126 controls the supply amount of nanoparticles supplied to the gravimetric concentration meter 124 or the number concentration meter 125.
펌프(127)는 상기 질량유량계(126)가 나노입자의 공급량을 조절하도록 동력에너지원을 상기 질량유량계(126)로 제공한다.The pump 127 provides a power energy source to the mass flow meter 126 so that the mass flow meter 126 adjusts the supply amount of nanoparticles.
제어부(130)는 상기 입자측정부(120)에서 측정한 상기 나노입자의 중량농도 및 개수농도의 측정결과를 기초로 하여, 상기 나노입자의 밀도를 연산함으로써, 상기 나노입자의 밀도를 측정한다. 이러한 제어부(130)는 PC가 사용됨이 바람직하다.The control unit 130 measures the density of the nanoparticles by calculating the density of the nanoparticles based on the measurement results of the weight concentration and number concentration of the nanoparticles measured by the particle measurement unit 120. It is preferable that a PC is used as this control unit 130.
여기서, 상기 제어부(130)는 상기 입자측정부(120)에서 측정한 나노입자의 중량농도와 개수농도를 통해 나노입자의 밀도를 연산하게 되는데, 나노입자의 중량과 개수를 통해 밀도를 연산할 수 있게 된다.Here, the control unit 130 calculates the density of nanoparticles through the weight concentration and number concentration of nanoparticles measured by the particle measurement unit 120. The density can be calculated through the weight and number of nanoparticles. There will be.
또한, 상기 에너지 측정부(140)는 상기 입자발생부(110)가 공급하는 열의 에너지를 측정한다.Additionally, the energy measuring unit 140 measures the energy of heat supplied by the particle generating unit 110.
여기서, 상기 에너지 측정부(140)는 상기 입자발생부(110)가 미세액적에 공급하는 열의 에너지를 측정하여 상기 입자발생부(110)가 일정하게 열을 공급하는지 파악할 수 있도록 한다.Here, the energy measuring unit 140 measures the energy of heat supplied by the particle generating unit 110 to the microdroplets to determine whether the particle generating unit 110 supplies heat consistently.
상기 상기 에너지 측정부(140)는 상기 입자발생부(110)에서 공급되는 열의 에너지를 측정하여 상기 제어부(130)로 송신하고, 상기 제어부(130)는 상기 에너지 측정부(140)에서 측정되는 입자발생부(110)의 열의 에너지 정보를 토대로 입자발생부(110)에서 일정한 열이 공급하도록 제어할 수 있게 된다.The energy measuring unit 140 measures the energy of heat supplied from the particle generating unit 110 and transmits it to the control unit 130, and the control unit 130 measures the energy of the heat measured by the energy measuring unit 140. Based on the heat energy information of the generator 110, the particle generator 110 can be controlled to supply a certain amount of heat.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야 한다. Although embodiments of the present invention have been described with reference to the above and the attached drawings, those skilled in the art will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing its technical idea or essential features. You will understand that it exists. Therefore, the embodiments described above should be understood in all respects as illustrative and not restrictive.
100 : 입자 밀도 센서
110 : 입자발생부
120 : 입자측정부
130 : 제어부100: particle density sensor
110: particle generation unit
120: particle measurement unit
130: control unit
Claims (3)
상기 발생된 나노입자를 직경에 따라 분급하여, 해당 직경에 대한 중량농도 및 개수농도를 측정하는 입자측정부;
상기 나노입자의 중량농도 및 개수농도의 측정결과에 기초하여, 상기 나노입자의 밀도를 연산하는 제어부; 및
상기 입자발생부가 공급하는 열의 에너지를 측정하는 에너지 측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 밀도 센서.
A particle generator where carrier gas and raw materials are supplied to spray microdroplets by ultrasonic waves, and heat is supplied to the microdroplets to generate nanoparticles;
a particle measuring unit that classifies the generated nanoparticles according to their diameter and measures the weight concentration and number concentration for the corresponding diameter;
A control unit that calculates the density of the nanoparticles based on the measurement results of the weight concentration and number concentration of the nanoparticles; and
A particle density sensor comprising: an energy measuring unit that measures the energy of heat supplied by the particle generating unit.
상기 입자발생부는,
상기 캐리어가스가 원료물질을 전달하고, 상기 원료물질을 초음파에 의해 미세액적으로 분무하는 분무장치;
상기 분무장치를 통해 분무된 미세액적에 열을 공급하여 나노입자를 발생하는 전기로; 및
상기 나노입자에 열풍을 공급하는 드라이어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 밀도 센서.
According to claim 1,
The particle generator,
A spray device in which the carrier gas delivers the raw material and sprays the raw material into fine droplets by ultrasonic waves;
An electric furnace that generates nanoparticles by supplying heat to the fine droplets sprayed through the spray device; and
A particle density sensor comprising a dryer that supplies hot air to the nanoparticles.
상기 전기로를 통해 발생된 나노입자 중 기설정된 유량비에 따른 일정량이 상기 드라이어로 공급되고, 잔량의 나노입자가 제거하는 것을 특징으로 하는 입자 밀도 센서.According to claim 2,
A particle density sensor, wherein a certain amount of nanoparticles generated through the electric furnace according to a preset flow rate ratio is supplied to the dryer, and the remaining amount of nanoparticles is removed.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020220140836A KR20240059849A (en) | 2022-10-28 | 2022-10-28 | Particle density sensor |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| KR20240059849A true KR20240059849A (en) | 2024-05-08 |
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ID=91074707
Family Applications (1)
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|---|---|
| KR (1) | KR20240059849A (en) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200348842Y1 (en) | 2003-11-15 | 2004-05-03 | 이상진 | Aerobic exercise merchine with far-infrared-ray radiant apparatus |
| KR101051039B1 (en) | 2009-10-28 | 2011-07-21 | 용두조경개발(주) | Fitness bike exercise equipment with exercise and game functions |
| KR101233861B1 (en) | 2011-05-25 | 2013-02-15 | 임강준 | A running machine |
-
2022
- 2022-10-28 KR KR1020220140836A patent/KR20240059849A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
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