KR20230157595A - 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비 - Google Patents

다단식 용기보관장치 및 기판이송설비 Download PDF

Info

Publication number
KR20230157595A
KR20230157595A KR1020220056956A KR20220056956A KR20230157595A KR 20230157595 A KR20230157595 A KR 20230157595A KR 1020220056956 A KR1020220056956 A KR 1020220056956A KR 20220056956 A KR20220056956 A KR 20220056956A KR 20230157595 A KR20230157595 A KR 20230157595A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
upper plate
storage device
ceiling
driving member
container storage
Prior art date
Application number
KR1020220056956A
Other languages
English (en)
Inventor
이성호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020220056956A priority Critical patent/KR20230157595A/ko
Priority to US18/102,649 priority patent/US20230365331A1/en
Priority to CN202310364697.XA priority patent/CN117038540A/zh
Publication of KR20230157595A publication Critical patent/KR20230157595A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0435—Storage devices mechanical using stacker cranes with pulling or pushing means on either stacking crane or stacking area
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/12—Storage devices mechanical with separate article supports or holders movable in a closed circuit to facilitate insertion or removal of articles the articles being books, documents, forms or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 다단식 용기보관장치는 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및 복수 개의 상기 플레이트 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함한다.

Description

다단식 용기보관장치 및 기판이송설비{APPARATUS FOR STORING CONTAINER IN MULTIPLE STAGES AND FACILITY FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 수용하는 용기를 보관하는 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비에 관한 것이다.
반도체(또는 디스플레이) 제조공정은 기판(일례로서 웨이퍼) 상에 반도체 소자를 제조하기 위한 공정으로서, 예를 들어 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등을 포함한다. 추가적으로, 기판 상에 형성된 각 반도체 소자에 대한 검사 및 패키징이 수행될 수 있다. 반도체 소자를 제조하기 위한 제조공장의 하나 또는 그 이상의 층들은 클린룸들로 구성되며, 반도체 제조공정을 수행하기 위한 제조설비들이 각 층들에 배치된다.
반도체 제조공정의 효율을 극대화하기 위하여, 각 반도체 제조공정을 개선하는 방법뿐만 아니라 각 제조설비들 간에 물품(일례로서 기판)을 신속하면서 효율적으로 이송하기 위한 기법이 도입되고 있다. 대표적으로, 반도체 제조공장의 천정에 설치된 경로를 따라 물품을 이송하는 천장대차기기(Overhead Hoist Transport, OHT) 시스템이 적용되고 있다. 일반적으로 OHT 시스템은 주행 경로를 구성하는 레일, 레일을 따라 주행하며 물품을 이송하는 차량을 포함한다. 또한, 반도체 제조설비들 간의 이송 중 물품의 보관이 필요한 경우, 해당 물품을 저장하기 위한 저장시스템이 구비될 수 있다.
저장시스템의 예로서, 창고 형태를 가지면서 물품을 보관하는 스토커가 제공되며, 또한 레일의 측면 또는 하부에 설치되어 상대적으로 짧은 시간동안 용기를 보관하는 버퍼가 제공될 수 있다. 레일의 측면에 배치되는 버퍼는 STB(Side Track Buffer), 레일의 하부에 배치되는 버퍼는 UTB(Under Track Buffer)로 지칭될 수 있다. 반도체 제조공정의 효율을 극대화하기 위하여 많은 물품을 효율적으로 보관하기 위한 시스템이 요구되고 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2020-0128179호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 기판이 수용된 용기를 많이 보관할 수 있는 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 다단식 용기보관장치는 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및 복수 개의 상기 플레이트 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함한다.
여기에서 상기 구동유닛은, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 및 횡방향으로 이동된 상기 상측 플레이트의 위치를 원상복귀시키는 제2 구동부재;을 포함할 수 있다.
이때 상기 제1 구동부재는 푸쉬용 전동축일 수 있다.
또한 상기 제1 구동부재는 상기 용기를 이송시키는 천장대차기기에 설치될 수 있다.
그리고 상기 제2 구동부재는 인장스프링일 수 있다.
이때 상기 제2 구동부재는 상기 사이드트랙버퍼에 설치되고 상기 상측 플레이트와 연결될 수 있다.
다른 실시예로서 상기 구동유닛은, 상기 사이드트랙버퍼에 설치되고 상기 상측 플레이트와 연결되어, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 왕복구동 실린더;를 포함할 수 있다.
한편 상기 사이드트랙버퍼는, 상기 상측 플레이트가 안착되며, 횡방향으로 배치되어 상기 상측 플레이트의 횡방향 왕복이동을 가이드하는 지지부재;를 더 포함할 수 있다.
이때 상기 지지부재는 상기 상측 플레이트의 양측 테두리를 지지하는 두 개의 바를 포함하며, 두 개의 상기 바 사이에는 상기 용기가 종방향 통과되는 통과공간이 형성될 수 있다.
한편 본 발명은 싱기 사이드트랙버퍼에 설치되며 상기 용기를 이송시키는 천장대차기기가 근접된 것을 감지하는 대차감지센서;를 더 포함할 수 있다.
또한 본 발명은 싱기 사이드트랙버퍼에 설치되며 복수 개의 상기 플레이트 중에서 하측 플레이트에 상기 용기가 보관된 것을 감지하는 용기감지센서;를 더 포함할 수 있다.
아울러 본 발명은 상기 대차감지센서, 상기 용기감지센서, 및 상기 구동유닛과 전기적으로 연계되며, 상기 용기감지센서에 의해 상기 용기의 비보관을 감지하고 상기 대차감지센서에 의해 상기 천장대차기기의 근접 감지 시, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키도록 상기 구동유닛을 작동제어하는 제어부;를 더 포함할 수 있다.
한편 본 발명의 다른 측면에 따르면, 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및 복수 개의 상기 플레이트 중에서 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함하며, 상기 사이드트랙버퍼는, 천장에 설치되며 종방향으로 배치된 프레임; 상기 프레임에 종방향으로 이격되어 배치된 복수 개의 플레이트; 및 상기 상측 플레이트가 안착되며, 상기 프레임에 횡방향으로 설치되어 상기 상측 플레이트의 횡방향 왕복이동을 가이드하는 지지부재;를 포함하는 다단식 용기보관장치가 제공될 수 있다.
그리고 본 발명은 천장에 설치된 천장레일; 상기 천장레일에 설치되어 상기 천장레일을 따라 이동하는 천장대차기기; 상기 천장에 설치되고 상기 천장레일의 양측에 배치되며, 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및 복수 개의 상기 플레이트 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함하며, 상기 구동유닛은, 상기 천장대차기기에 설치되며, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 및 상기 사이드트랙버퍼에 설치되며, 횡방향으로 이동된 상기 상측 플레이트의 위치를 원상복귀시키는 제2 구동부재;를 포함하는 기판이송설비가 제공될 수 있다.
본 발명은 용기를 다단으로 보관하도록 사이드트랙버퍼가 복수 개의 층으로 구성됨으로써 많은 용기를 보관할 수 있는 효과를 가진다.
또한 본 발명은 사이드트랙버퍼의 상측 플레이트를 왕복이동키는 구동유닛이 구성됨으로써 용기의 다단 보관을 원활하면서도 용이하게 수행할 수 있는 장점을 지닌다.
도 1은 반도체 또는 디스플레이 제조공장에서 용기의 이송경로를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 용기이송경로에 배치된 종래기술에 따른 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3의 다단식 용기보관장치의 푸쉬용 전동축을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3의 다단식 용기보관장치의 인장스프링을 나타낸 도면이다.
도 6 내지 도 12는 도 3의 다단식 용기보관장치에서 좌측의 사이드트랙버퍼에 다단으로 용기를 보관하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 구성요소를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
반도체 또는 디스플레이 제조공장은 하나 또는 그 이상의 클린룸들로 구성되며, 각 클린룸에 반도체 제조공정을 수행하기 위한 제조설비들이 설치될 수 있다. 일반적으로, 기판(예: 웨이퍼)에 복수의 제조공정들이 반복 수행됨으로써 최종적으로 처리된 기판이 완성될 수 있는데, 특정 반도체 제조설비에서 제조공정이 완료되면, 다음 제조공정을 위한 설비로 기판이 이송된다. 여기서 기판은 복수 개의 기판들을 수용할 수 있는 용기(일례로서 풉, Front Opening Unified Pod, FOUP)에 보관된 상태로 이송될 수 있다. 기판들을 수용한 용기는 이송차량(일례로서 천장대차기기, Overhead Hoist Transport, OHT)에 의해 이송될 수 있다.
도 1은 반도체 또는 디스플레이 제조공장에서 용기의 이송경로를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 반도체 또는 디스플레이 제조공장은 내부에 공정을 수행하기 위한 복수 개의 제조설비(10)가 설치된다. 또한 제조공장에는 복수 개의 제조설비(10) 간에 용기의 이송경로를 형성하는 천장레일(21)과, 이러한 천장레일(21)을 주행하면서 제조설비(10)로 용기를 이송하는 천장대차기기(22)가 제공될 수 있다. 여기에서, 천장대차기기(22)가 복수 개의 제조설비(10) 사이에서 용기를 이송할 때, 용기가 곧바로 특정 제조설비에서 다른 제조설비로 이송될 수도 있고, 용기가 보관장치(30)에 보관된 이후 다른 제조설비로 이송될 수 있다. 보관장치(30)는 이송경로인 천장레일(21)과 인접한 위치에 설치될 수 있다. 보관장치(30)는 용기 내 청정 환경을 유지하기 위하여 비활성가스를 주입할 수 있는 랙 형태의 창고(스토커, Stocker)일 수 있다. 또한 보관장치(30)는 천장레일(21)의 양측에 배치되어 용기를 보관하는 사이드트랙버퍼(Side Track Buffer, STB) 또는 천장레일(21)의 하측에 배치되어 용기를 보관하는 언더트랩버퍼(Under Track Buffer, UTB)일 수 있다.
도 2는 도 1의 용기이송경로에 배치된 종래기술에 따른 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 천장대차기기(22)가 주행하는 천장레일(21)의 양측에는 보관장치(30)인 사이드트랙버퍼가 배치될 수 있다. 그런데 이러한 사이드트랙버퍼는 용기(F)가 보관되는 보관층이 한 개의 단층으로 되어 있다. 이에 양측에 각각 한 개씩만 용기(F)를 보관할 수 있어서, 용기(F)의 보관용량 측면에 있어서 비효율적인 한계점이 있다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3의 다단식 용기보관장치의 푸쉬용 전동축을 나타낸 도면이고, 도 5는 도 3의 다단식 용기보관장치의 인장스프링을 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 기판이송설비는 천장레일(100), 천장대차기기(200), 사이드트랙버퍼(300), 구동유닛(400)을 포함한다.
상기 천장레일(100)은 천장에 설치되며 복수 개의 제조설비 간에 용기(F)를 이송하기 위한 이송경로를 형성한다.
상기 천장대차기기(200)는 천장레일(100)을 주행하면서 풉(FOUP)과 같은 용기(F)를 운반하여 제조설비로 이송한다. 이러한 천장대차기기(200)는 OHT(Overhead Hoist Transport), 혹은 OHV(Overhead Hoist Vehicle) 등으로 불린다.
구체적으로 천장대차기기(200)는 주행대차(210)와, 용기수용본체(220)를 포함한다.
상기 주행대차(210)는 천장레일(100)에 바퀴가 지지되어 천장레일(100)을 따라 주행한다. 상기 용기수용본체(220)는 도 8 내지 도 10을 참조하여 후술하기로 한다.
상기 사이드트랙버퍼(Side Track Buffer, STB)(300)는 프레임(310), 플레이트(320), 및 지지부재(330)를 포함한다.
상기 프레임(310)은 천장에 설치되며 종방향으로 배치된다.
상기 플레이트(320)는 프레임(310)에 설치된다. 이러한 플레이트(320)는 복수 개의 층을 형성시키도록 복수 개가 종방향으로 이격되어 배치된다. 이와 같이 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트(320)는 복수 개의 용기(F)를 보관시킬 수 있다. 이때 복수 개의 층은 두 층 이상의 층을 의미하며, 구체적으로 플레이트(320)가 종방향으로 두 개 이상 서로 이격되어 배치됨으로써 구현될 수 있다. 복수 개의 플레이트(320) 중에서 상측 플레이트(321)는 상대적인 개념으로서 다른 플레이트(320)보다 상측에 배치된 플레이트를 의미한다, 물론 복수 개의 플레이트(320) 중에서 하측 플레이트(322)도 상대적인 개념으로서 다른 플레이트(320)보다 하측에 배치된 플레이트를 의미한다,
상기 지지부재(330)는 상측 플레이트(321)가 안착되며, 프레임(310)에 횡방향으로 설치되어 상측 플레이트(321)의 횡방향 왕복이동을 가이드한다. 구체적으로 지지부재(330)는 도 7에 도시된 바와 같이 상측 플레이트(321)의 양측 테두리를 지지하는 두 개의 바(331)를 포함할 수 있다. 두 개의 바(331) 사이에는 용기(F)가 종방향으로 통과되는 통과공간(331a)이 형성될 수 있다. 그리고 지지부재(330)는 이동브라켓(332)을 더 포함할 수 있다. 이동브라켓(332)은 바(331)에 설치되며 상측 플레이트(321)가 안착고정된다. 이동브라켓(332)은 제1 구동부재(410)가 작동 시 제1 구동부재(410)에 의해 접촉되어 밀림을 당하는 부분이다. 이동브라켓(332)은 바(331)에 슬라이드되게 설치되어, 제1 구동부재(410)에 의해 푸쉬력을 받으면 횡방향으로 슬라이드 이동한다. 또한 이동브라켓(332)은 제2 구동부재(420)와 연결된다. 이동브라켓(332)은 제1 구동부재(410)에 의한 푸쉬력이 해제 시 제2 구동부재(420)의 인장력에 의해 당겨져서 원위치로 슬라이드 이동한다.
상기 구동유닛(400)은 복수 개의 플레이트(320) 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트(321)를 횡방향으로 왕복이동시킨다. 도면에서는 복수 개의 플레이트(320)가 두 개의 층으로 배치된 구조를 이루지만, 이에 한정되지 않고 세 개 이상의 층으로도 배치될 수 있다. 이때 가장 아래의 하측 플레이트보다 위에 배치된 복수 개의 상측 플레이트가 구동유닛에 의해 횡방향으로 왕복이동될 수 있다.
구체적으로 구동유닛(400)은 제1 구동부재(410)와 제2 구동부재(420)를 포함할 수 있다.
상기 제1 구동부재(410)는 상측 플레이트(321)를 횡방향으로 이동시킨다. 제1 구동부재(410)는 일례로서 푸쉬용 전동축일 수 있다. 푸쉬용 전동축은 용기(F)를 푸쉬하도록 구성된 부재로서 전기에 의해 작동된다. 푸쉬용 전동축은 전동실린더가 활용될 수 있다. 푸쉬용 전동축은 작동 시 푸쉬로드가 외부로 길게 빠져나옴으로써 상측 플레이트(321)를 횡방향으로 밀 수 있다. 이때 횡방향은 천장대차기기(200)로부터 멀어지는 방향으로서, 용기(F)가 하측 플레이트(322) 측으로 이동하는 수직방향 루트에서 이탈하는 방향을 의미한다. 제1 구동부재(410)는 용기(F)를 이송시키는 천장대차기기(200)에 설치될 수 있다. 제1 구동부재(410)는 상측 플레이트(321)와 높이 상으로 대응되는 천장대차기기(200)의 하단에 설치될 수 있다.
상기 제2 구동부재(420)는 횡방향으로 이동된 상측 플레이트(321)의 위치를 원상복귀시킨다. 제2 구동부재(420)는 사이드트랙버퍼(300)에 설치되고 상측 플레이트(321)와 연결된 구조를 취할 수 있다. 이러한 제2 구동부재(420)는 일례로서 인장스프링일 수 있다. 인장스프링은 상측 플레이트(321)를 원래 위치로 이동시키는 부재로서 자체의 탄성력에 의해 용기(F)에 대한 인장력을 발생시킨다. 제1 구동부재(410)가 작동에 의해 연장되면서 상측 플레이트(321)를 밀어 상측 플레이트(321)가 횡방향으로 이동 시, 상측 플레이트(321)에 연결된 인장스프링은 늘어나게 된다. 이후 제1 구동부재(410)가 작동에 의해 축소되면서 상측 플레이트(321)에 대한 푸쉬력이 해제 시, 인장스프링은 탄성에 의한 인장력으로 상측 플레이트(321)를 당기게 된다. 이에 따라 상측 플레이트(321)는 제2 구동부재(420)에 의해 위치가 원상복귀된다.
도 6 내지 도 12는 도 3의 다단식 용기보관장치에서 좌측의 사이드트랙버퍼에 다단으로 용기를 보관하는 과정을 나타낸 도면이다.
용기보관 과정을 설명하기 전에 천장대차기기(200)의 용기수용본체(220)를, 도 8 내지 도 10을 참조하여 설명하기로 한다.
상기 용기수용본체(220)는 주행대차(210)의 하부에 연결되고 양측부 및 하부가 개방된 구조로서 내부에 용기(F)가 수용되게 구성된다. 이러한 용기수용본체(220)는 하우징(221), 슬라이드부(222), 승강부(223), 및 그립부(224)를 포함한다. 하우징(221)은 양측부 및 하부가 개방되고 내측에는 용기(F)가 수용되는 수용공간이 형성된다. 슬라이드부(222)는 하우징(221) 내부의 상부에 설치되며 하우징(221)의 개방된 양측부를 통해 횡방향으로 왕복 슬라이드되는 구조를 취한다. 승강부(223)는 슬라이드부(222)에 설치되며 종방향으로 권출 및 권취되는 승강벨트(223a)를 가진다. 그립부(224)는 승강벨트(223a)의 하단에 연결되고 용기(F)의 상부플랜지(Fa)를 그립하는 부분이다.
그러면 여기에서 좌측에 배치된 사이드트랙버퍼(300)에 용기(F)를 다단으로 보관하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 천장대차기기(200)에 설치된 푸쉬용 전동축인 제1 구동부재(410)가 작동하여 연장됨으로써 상측 플레이트(321)를 밀어서 횡방향으로 이동시킨다. 구체적으로 제1 구동부재(410)는 상측 플레이트(321)가 안착된 이동브라켓(332)을 밀어서, 이동브라켓(332)이 바(331)를 따라 슬라이드 되도록 함으로써 상측 플레이트(321)를 이동시킨다.
이후 도 8에 도시된 바와 같이 용기수용본체(220)의 슬라이드부(222)가 좌측으로 슬라이드하여 용기(F)를 용기수용본체(220)의 하우징(221)으로부터 빼낸다. 다음으로 도 9에 도시된 바와 같이 승강부(223)의 승강벨트(223a)가 권출되면서 용기(F)를 하강시켜서 하측 플레이트(322)에 안착시킨다. 이때 그립부(224)는 용기(F)의 상부플랜지(Fa)를 그립해제함으로써 용기(F)가 하측 플레이트(322)에 안착된 상태로 유지되도록 한다.
이후 상술된 과정이 역으로 진행된다. 즉 도 10에 도시된 바와 같이 승강부(223)의 승강벨트(223a)가 권취되어 상승하고, 슬라이드부(222)가 하우징(221) 내부로 슬라이드하여 들어간다. 마지막으로 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 제1 구동부재(410)가 수축함으로써 상측 플레이트(321)에 대한 푸쉬력이 해제되면 인장스프링인 제2 구동부재(420)가 상측 플레이트(321)를 당겨서 원위치에 복귀시킨다.
나아가 비록 도면에 도시되지는 않았지만, 다른 천장대차기기에 의해 이송되는 용기도 상술된 과정을 통하여 우측에 배치된 사이드트랙버퍼(도 3의 300)에 다단으로 용기를 보관할 수 있다.
도 13은 본 발명의 제2 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 상기 구동유닛(400)은 왕복구동 실린더일 수 있다. 왕복구동 실린더는 사이드트랙버퍼(300)에 설치되고 상측 플레이트(321)와 연결되어, 상측 플레이트(321)를 횡방향으로 왕복이동시킨다. 왕복구동 실린더는 공기압에 의해 작동되는 공압 왕복실린더, 또는 유압에 의해 작동되는 유압 왕복실린더가 활용될 수 있다. 이러한 왕복구동 실린더는 실린더로드가 수축 시 상측 플레이트(321)를 당겨서 상측 플레이트(321)를 하측 플레이트(322) 상측으로부터 횡방향 이동시킬 수 있다. 또한 왕복구동 실린더는 실린더로드가 연장 시 상측 플레이트(321)를 밀어서 상측 플레이트(321)를 하측 플레이트(322) 상측인 원위치로 원상복귀시킬 수 있다. 이와 같은 왕복구동 실린더는 제1 실시예의 제1 구동부재(도 3의 410)와 제2 구동부재(도 3의 420)의 역할을 모두 수행할 수 있다.
도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 다단식 용기보관장치를 나타낸 도면이다.
도면을 참조하면, 본 발명은 대차감지센서(S1), 용기감지센서(S2), 및 제어부(C)를 더 포함할 수 있다.
상기 대차감지센서(S1)는 사이드트랙버퍼(300)에 설치되며 용기(F)를 이송시키는 천장대차기기(200)가 근접된 것을 감지한다.
또한 용기감지센서(S2)는 사이드트랙버퍼(300)에 설치되며 복수 개의 플레이트(320) 중에서 하측 플레이트(322)에 용기(F)가 보관된 것을 감지한다.
그리고 제어부(C)는 대차감지센서(S1), 용기감지센서(S2), 및 구동유닛(400)과 전기적으로 연계된다. 이러한 제어부(C)는 대차감지센서(S1)와 용기감지센서(S2)에 의한 감지상태를 바탕으로 구동유닛(400)을 작동제어한다. 구체적으로 제어부(C)는 용기감지센서(S2)에 의해 용기(F)의 비보관(보관하지 않은 상태)을 감지하고 대차감지센서(S1)에 의해 천장대차기기(200)의 근접 감지 시, 상측 플레이트(321)를 횡방향으로 이동시키도록 구동유닛(400)을 작동제어한다. 즉 제어부(C)는 하측 플레이트(322)에 용기(F)가 없는 상태에서 천장대차기기(200)가 근접하면, 구동유닛(400)을 작동제어하여 상측 플레이트(321)를 횡방향 이동시킴으로써 하측 플레이트(322)에 용기(F)를 보관시킨다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100 : 천장레일 200 : 천장대차기기
210 : 주행대차 220 : 용기수용본체
221 : 하우징 222 : 슬라이드부
223 : 승강부 223a : 승강벨트
300 : 사이드트랙버퍼 310 : 프레임
320 : 플레이트 321 : 상측 플레이트
322 : 하측 플레이트 330 : 지지부재
331 : 바 331a : 통과공간
332 : 이동브라켓 400 : 구동유닛
410 : 제1 구동부재 420 : 제2 구동부재
F : 용기 Fa : 상부플랜지
S1 : 대차감지센서 S2 : 용기감지센서
C : 제어부

Claims (20)

  1. 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및
    복수 개의 상기 플레이트 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;
    을 포함하는 다단식 용기보관장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 및
    횡방향으로 이동된 상기 상측 플레이트의 위치를 원상복귀시키는 제2 구동부재;
    을 포함하는 다단식 용기보관장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 구동부재는 푸쉬용 전동축인 다단식 용기보관장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 구동부재는 상기 용기를 이송시키는 천장대차기기에 설치된 다단식 용기보관장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제2 구동부재는 인장스프링인 다단식 용기보관장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제2 구동부재는 상기 사이드트랙버퍼에 설치되고 상기 상측 플레이트와 연결된 다단식 용기보관장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 사이드트랙버퍼에 설치되고 상기 상측 플레이트와 연결되어, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 왕복구동 실린더;
    를 포함하는 다단식 용기보관장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 사이드트랙버퍼는,
    상기 상측 플레이트가 안착되며, 횡방향으로 배치되어 상기 상측 플레이트의 횡방향 왕복이동을 가이드하는 지지부재;
    를 더 포함하는 다단식 용기보관장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 상측 플레이트의 양측 테두리를 지지하는 두 개의 바를 포함하며, 두 개의 상기 바 사이에는 상기 용기가 종방향 통과되는 통과공간이 형성된 다단식 용기보관장치.
  10. 제1항에 있어서,
    싱기 사이드트랙버퍼에 설치되며 상기 용기를 이송시키는 천장대차기기가 근접된 것을 감지하는 대차감지센서;
    를 더 포함하는 다단식 용기보관장치.
  11. 제10항에 있어서,
    싱기 사이드트랙버퍼에 설치되며 복수 개의 상기 플레이트 중에서 하측 플레이트에 상기 용기가 보관된 것을 감지하는 용기감지센서;
    를 더 포함하는 다단식 용기보관장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 대차감지센서, 상기 용기감지센서, 및 상기 구동유닛과 전기적으로 연계되며, 상기 용기감지센서에 의해 상기 용기의 비보관을 감지하고 상기 대차감지센서에 의해 상기 천장대차기기의 근접 감지 시, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키도록 상기 구동유닛을 작동제어하는 제어부;
    를 더 포함하는 다단식 용기보관장치.
  13. 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및
    복수 개의 상기 플레이트 중에서 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함하며,
    상기 사이드트랙버퍼는,
    천장에 설치되며 종방향으로 배치된 프레임;
    상기 프레임에 종방향으로 이격되어 배치된 복수 개의 플레이트; 및
    상기 상측 플레이트가 안착되며, 상기 프레임에 횡방향으로 설치되어 상기 상측 플레이트의 횡방향 왕복이동을 가이드하는 지지부재;
    을 포함하는 다단식 용기보관장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 및
    횡방향으로 이동된 상기 상측 플레이트의 위치를 원상복귀시키는 제2 구동부재;
    을 포함하는 다단식 용기보관장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1 구동부재는 푸쉬용 전동축인 다단식 용기보관장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 제1 구동부재는 상기 용기를 이송시키는 천장대차기기에 설치된 다단식 용기보관장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 제2 구동부재는 인장스프링인 다단식 용기보관장치.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 제2 구동부재는 상기 사이드트랙버퍼에 설치된 다단식 용기보관장치.
  19. 제13항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 사이드트랙버퍼에 설치되며 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 왕복구동 실린더;
    를 포함하는 다단식 용기보관장치.
  20. 천장에 설치된 천장레일;
    상기 천장레일에 설치되어 상기 천장레일을 따라 이동하는 천장대차기기;
    상기 천장에 설치되고 상기 천장레일의 양측에 배치되며, 복수 개의 용기가 안착되도록 복수 개의 층을 형성시키는 복수 개의 플레이트를 포함하는 사이드트랙버퍼; 및
    복수 개의 상기 플레이트 중에서 적어도 하나 이상의 상측 플레이트를 횡방향으로 왕복이동시키는 구동유닛;을 포함하며,
    상기 구동유닛은,
    상기 천장대차기기에 설치되며, 상기 상측 플레이트를 횡방향으로 이동시키는 제1 구동부재; 및
    상기 사이드트랙버퍼에 설치되며, 횡방향으로 이동된 상기 상측 플레이트의 위치를 원상복귀시키는 제2 구동부재;
    를 포함하는 기판이송설비.
KR1020220056956A 2022-05-10 2022-05-10 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비 KR20230157595A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220056956A KR20230157595A (ko) 2022-05-10 2022-05-10 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비
US18/102,649 US20230365331A1 (en) 2022-05-10 2023-01-27 Apparatus for storing container in multiple stages and facility for transporting substrate
CN202310364697.XA CN117038540A (zh) 2022-05-10 2023-04-07 用于以多个台储存容器的装置及用于运送基板的设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220056956A KR20230157595A (ko) 2022-05-10 2022-05-10 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230157595A true KR20230157595A (ko) 2023-11-17

Family

ID=88639928

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220056956A KR20230157595A (ko) 2022-05-10 2022-05-10 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230365331A1 (ko)
KR (1) KR20230157595A (ko)
CN (1) CN117038540A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200128179A (ko) 2016-06-27 2020-11-11 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200128179A (ko) 2016-06-27 2020-11-11 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
US20230365331A1 (en) 2023-11-16
CN117038540A (zh) 2023-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102041391B1 (ko) 일시 보관 시스템
JP7342094B2 (ja) 保管システムからユニットを取り出すための方法及び装置
CN108698757B (zh) 输送***
KR101289365B1 (ko) 물품 수납 설비
JP5088468B2 (ja) 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
US7780392B2 (en) Horizontal array stocker
KR20200050973A (ko) 반송차, 및 반송 설비
US10325797B2 (en) Purging device and purging method
TWI722208B (zh) 搬送系統
WO2010084542A1 (ja) 自動倉庫
JP5463758B2 (ja) 保管庫
JP7099245B2 (ja) 物品搬送車
JP2008214073A (ja) 物品搬送設備
KR102596285B1 (ko) 타워 리프트, 타워 리프트 구동 방법 및 기계 판독 가능 매체
TW201022114A (en) Transporting carrier
EP1845552A1 (en) Transportation system and transportation method
KR102259283B1 (ko) 대상물 이송 장치
KR20110097598A (ko) 반송차 시스템
KR102294887B1 (ko) 물품 이송 장치
KR20230157595A (ko) 다단식 용기보관장치 및 기판이송설비
JP5402156B2 (ja) 走行車システム
JP7304389B2 (ja) 製造工場の物品搬送システム
JP5365303B2 (ja) 走行車システム
KR20220026360A (ko) 캐리어 보관 장치
KR102667327B1 (ko) 승강형 천장 버퍼

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right