KR20230157455A

KR20230157455A - 프로브

Info

Publication number: KR20230157455A
Application number: KR1020237035266A
Authority: KR
Inventors: 류이치 우메다; 코이치로 토쿠마루; 츠요시 무라모토
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2021-05-28
Filing date: 2022-05-18
Publication date: 2023-11-16
Also published as: WO2022249954A1; TWI815474B; JPWO2022249954A1; EP4350362A1; TW202311754A; CN117295956A

Abstract

프로브는, 제1 및 제2의 선단부와, 제1의 선단부와 제2의 선단부를 접속하는 동체부를 구비한다. 동체부는, 제1의 선단부에 접속하는 제1 단, 제2의 선단부에 접속하는 제2 단, 제1 단과 제2 단 사이에서 상호 이간하여 병렬로 배치된 기둥 형상의 제1 및 제2 아암, 제1 아암과 제2 아암 사이에 개재되는 이간 부품을 구비한다.

Description

프로브

본 발명은, 피검사체의 전기적 특성을 검사하는데 사용되는 프로브(PROBE)에 관한 것이다.

반도체 집적 회로 등의 피검사체의 전기적 특성을 웨이퍼로부터 분리하지 않은 상태에서 검사하기 위해, 피검사체에 접촉하는 프로브를 이용한다. 프로브를 이용한 검사에 있어서, 피검사체에 접촉한 프로브가 탄성 변형하도록 프로브에 하중을 인가하는 방법을 이용해도 된다. 프로브가 탄성 변형함으로써, 프로브의 탄력에 의해 피검사체와 프로브의 접촉을 확실하게 할 수 있다. 피검사체에 접촉하는 프로브의 누름(押壓)을 조정하기 위해서, 복수의 기둥 모양의 아암을 병렬로 배치한 구조의 프로브가 검토되고 있다(특허문헌 1 참조).

미국 특허 제10578646호 명세서

그러나, 복수의 아암을 병렬로 구성한 프로브를 피검사체에 접촉시켜서 프로브에 하중을 인가하면, 아암의 간격이 넓어지거나 좁아진다. 따라서, 근접하는 프로브 사이에서 쇼트가 생기거나, 아암이 절곡되어서 프로브의 소성 변형이 발생한다.

본 발명은, 근접하는 프로브간의 쇼트 및 소성 변형을 억제한 프로브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 양태에 따르면, 제1 및 제2의 선단부와, 제1의 선단부와 제2의 선단부를 접속하는 동체부(胴體部)를 구비한 프로브가 제공된다. 동체부는, 제1의 선단부에 접속하는 제1단(端), 제2의 선단부에 접속하는 제2단, 제1단과 제2단 사이에서 상호 이간하여 병렬로 배치된 기둥 형상의 제1 및 제2 아암, 제1 아암과 제2 아암 사이에 개재되는 이간(離間) 부품을 구비한다.

본 발명에 따르면, 근접하는 프로브간의 쇼트 및 소성 변형을 억제한 프로브를 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 2는, 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 프로브를 갖는 프로브 카드의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 3a는, 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 프로브의 다른 구성을 나타내는모식도이고,
도 3b는, 본 발명의 제1의 실시형태에 따른 프로브의 또 다른 구성을 나타내는 모식도이고,
도 4는, 본 발명의 제1의 실시형태의 변형 예에 따른 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 5는, 본 발명의 제1의 실시형태의 다른 변형 예에 따른 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 6은, 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 7은, 도 6에 나타내는 프로브에 하중이 인가된 상태를 나타내는 모식도이고,
도 8은, 본 발명의 제2의 실시형태에 따른 프로브의 이간 부품의 다른 예를 나타내는 모식도이고,
도 9는, 본 발명의 제2의 실시형태의 변형 예에 따른 프로브의 구성을 나타내는 모식도이고,
도 10은, 본 발명의 제2의 실시형태의 변형 예에 따른 프로브의 다른 구성을 나타내는 모식도이고,
도 11은, 본 발명의 제2의 실시형태의 변형 예에 따른 프로브의 또 다른 구성을 나타내는 모식도이고,
도 12는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브를 나타내는 모식도이고,
도 13a는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부(梁部) 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13b는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13c는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13d는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13e는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13f는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13g는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13h는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13i는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이고,
도 13j는, 본 발명의 그 밖의 실시형태에 따른 프로브의 빔부 쌍의 예를 나타내는 모식도이다.

이어서, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 이하의 도면의 기재에 있어서, 동일 또는 유사한 부분에는 동일 또는 유사의 부호를 붙인다. 단, 도면은 모식적인 것이며, 각 부의 두께의 비율 등은 현실의 것과는 다른 것에 유의해야 한다. 또한, 도면 상호간에 있어서 서로의 치수의 관계나 비율이 다른 부분이 포함되어 있는 것은 물론이다. 이하에 나타내는 실시 형태는, 본 발명의 기술적 사상을 구체화하기 위한 장치나 방법을 예시하는 것이며, 본 발명의 실시형태는, 구성 부품의 재질, 형상, 구조, 배치 및 제조 방법 등을 하기의 것에 특정하는 것이 아니다.

(제1의 실시형태)

도 1에 나타내는 실시형태에 관한 프로브(10)는, 피검사체의 전기적 특성의 검사에 사용한다. 프로브(10)는, 제1의 선단부(11) 및 제2의 선단부(12)와, 제1의 선단부(11)와 제2의 선단부(12)를 접속하는 동체부(20)를 구비한다. 동체부(20)는, 제1의 선단부(11)에 접속하는 제1단(201), 제2의 선단부(12)에 접속하는 제2단(202), 제1단(201)과 제2단(202) 사이에서 상호 이간하여 병렬로 배치된 기둥 형상의 제1 아암(21) 및 제2 아암(22)을 갖는다. 그리고 또한, 동체부(20)는, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 공간을 유지하도록 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 개재하는 적어도 하나의 이간 부품(30)을 구비한다. 도 1에 나타내는 프로브(10)의 이간 부품(30)은, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이를 가교한다.

도 1에서는 제1의 선단부(11) 및 제2의 선단부(12)와 동체부(20)의 경계를 명시하고 있는데, 제1의 선단부(11), 제2의 선단부(12) 및 동체부(20)를 일체적으로 형성해도 좋다. 예를 들면, 포토리소그래피 기술을 이용하여 프로브(10)를 제조해도 좋다. 즉, 하나의 재료의 표면에 마스크 패턴을 형성하고, 이 마스크 패턴을 에칭용 마스크에 이용한 에칭에 의해 제1의 선단부(11), 제2의 선단부(12) 및 동체부(20)가 일체화한 프로브(10)를 제조해도 좋다.

이하에 있어서, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)을 총칭하여 「아암」이라고도 칭한다. 또한, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이를 가교하는 이간 부품(30)을, 「가교부」라고도 칭한다. 가교부는, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에서 연속한다.

도 1에 나타내는 프로브(10)에서는, 복수의 이간 부품(30)이 동체부(20)의 축 방향을 따라 상호 이간하여 배치되어 있다. 이하에 있어서, 동체부(20)의 축 방향을 단순히 「축 방향」이라고 칭한다. 또한, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)이 배치되는 방향을, 「폭 방향」이라고 칭한다. 그리고 또한, 축 방향 및 폭방향에 수직인 방향을 「두께 방향」이라고 칭한다. 도 1에서는, 축 방향을 X축 방향, 폭 방향을 Y축 방향, 두께 방향을 Z축 방향으로 나타내고 있다(이하에 있어서, 동일).

도 1에 나타내는 프로브(10)의 이간 부품(30)은, 두께 방향에서 보아 V자 형상이다. 즉, 이간 부품(30)의 아암에 접속되는 부분은, 축 방향에 대해 비스듬하게 아암에 접속되어 있다.

이하에, 프로브(10)의 기능을 설명하기 위해, 프로브(10)를 유지하는 프로브 헤드를 포함하는 프로브 카드에 대하여 설명한다.

도 2에, 프로브(10)를 구비하는 프로브 카드(1)를 나타낸다. 프로브 카드 (1)는, 피검사체(2)의 특성을 검사하는데 사용된다. 피검사체(2)는, 예를 들면 반도체 기판 상에 형성된 반도체 집적 회로이다. 프로브 카드(1)는, 제1의 선단부(11)를 피검사체(2)를 향해 프로브(10)를 유지하는 프로브 헤드(200), 및 배선 기판(300)을 구비한다. 프로브 헤드(200)가 유지하는 프로브(10)의 개수는, 피검사체(2)의 단자 수나 동시에 검사할 피검사체(2)의 개수 등에 따라서 임의로 설정할 수 있다.

프로브(10)의 제2의 선단부(12)는, 배선 기판(300)에 배치된 랜드(310)와 접속한다. 랜드(310)는 금속 등의 도전성 재료로 이루어지고, 테스터 등의 검사 장치(미도시)와 랜드(310)가 전기적으로 접속한다. 프로브 카드(1)를 통해서 검사 장치와 피검사체(2) 사이에서 전기 신호가 전파한다. 배선 기판(300)은, 예를 들면 프린트 기판(PCB)이나 인터포저(IP) 기판이다. 전기 신호가 전파하는 프로브(10)에는, 금속 등의 도전성이 높은 재료가 사용된다.

프로브 헤드(200)는, 프로브(10)가 관통하는 관통홀(이하,「가이드홀」이라고도 함)을 각각 형성한 복수의 가이드 플레이트를 갖는다. 도 2에 나타내는 프로브 헤드(200)는, 피검사체(2)에 대향하는 바텀 가이드 플레이트(210), 배선 기판(300)에 대향하는 탑 가이드 플레이트(220), 및 바텀 가이드 플레이트(210)와 탑 가이드 플레이트(220) 사이에 배치된 MGC 가이드 플레이트(230)를 갖는다. MGC 가이드 플레이트(230)는, 바텀 가이드 플레이트(210)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 바텀 가이드 플레이트(210)의 외연 영역과 탑 가이드 플레이트(220)의 외연 영역 사이에 스페이서(240)를 배치함으로써, 프로브 헤드(200)의 내부에서 탑 가이드 플레이트(220)와 MGC 가이드 플레이트(230) 사이에 중공 영역(250)이 구성된다. 프로브 헤드(200)의 재료는, 예를 들면 세라믹 등이다.

가이드홀의 개구부가 형성된 가이드 플레이트의 주면의 면 법선 방향에서 보아, 동일의 프로브(10)가 관통하는 톱 가이드 플레이트(220)의 가이드홀의 위치와, 바텀 가이드 플레이트(210) 및 MGC 가이드 플레이트(230)의 가이드홀의 위치는, 주면과 평행한 방향으로 어긋나 있다. 이러한 가이드홀의 배치(오프셋 배치)에 의해, 중공 영역(250)에서 프로브(10)는 탄성 변형에 의해 만곡된다. 따라서, 피검사체(2)와 접촉했을 때에 프로브(10)가 좌굴(座屈)하고, 프로브(10)가 소정의 누름으로 피검사체(2)에 접촉한다.

도 2에 나타낸 프로브 카드(1)는 수직 동작식 프로브 카드이며, 프로브 카드(1)와 피검사체(2)가 X축 방향을 따라서 상대적으로 이동하고, 프로브(10)의 제1의 선단부(11)가 피검사체(2)와 접촉한다. 도 2는, 프로브(10)가 피검사체(2)에 접촉하지 않은 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 2에서는 동체부(20)가 만곡하는 방향이 폭 방향인 경우를 나타내었지만, 동체부(20)가 만곡하는 방향이 두께 방향이어도 된다.

제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 이간부품(30)이 개재하는 프로브(10)에 의하면, 프로브(10)가 만곡한 경우에도, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 간격이 지나치게 넓어지거나 지나치게 좁아지거나 하는 것을 억제할 수 있다.

예를 들면, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 간격이 넓어져 프로브(10)끼리가 프로브 헤드(200) 내에서 접촉하는 것이 방지된다. 또한, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 간격이 넓어지는 것에 기인하는 프로브(10)와 가이드 플레이트의 가이드홀의 내벽면과의 접촉을 방지할 수 있다. 따라서, 프로브(10)와 가이드 플레이트가 접촉하는 것에 의한 프로브(10)나 가이드 플레이트의 손상을 억제할 수 있다.

한편, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 간격이 지나치게 좁아지면, 동체부(20)가 소성 변형하여 프로브(10)의 탄성이 손실될 가능성이 있다. 그러나, 이간 부품(30)에 의해 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 공간을 유지하는 프로브(10)에서는, 동체부(20)의 소성 변형을 억제할 수 있다.

또한, 이간 부품(30)을 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 배치함으로써, 만곡된 프로브(10)에 걸리는 하중을 이간 부품(30)의 아암과의 접속 개소에 집중시켜서, 프로브(10)의 탄성을 더 높일 수 있다. 이간 부품(30)의 개수나 간격을 설정함으로써, 피검사체에 접촉하는 프로브(10)의 침압(針壓)을 조정할 수 있다.

이간 부품(30)의 개수나 간격은 임의로 설정할 수 있다. 이간 부품(30)의 개수가 많을수록, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이의 공간의 개수가 증대하여, 프로브(10)의 침압을 낮게 할 수 있다. 한편, 이간 부품(30)의 개수를 적게 함으로써, 프로브(10)의 침압을 높일 수 있다. 또한, 이간 부품(30)의 간격은 등간격이어도 되고, 이간 부품(30)의 간격이 좁은 영역과 넓은 영역이 혼재해도 된다.

예를 들면, 도 3a에 나타낸 프로브(10)에서는, 동체부(20)의 만곡 부분에서 이간 부품(30)의 간격을 넓게하여 침압을 낮춘다. 또한, 도 3b에 나타낸 프로브 (10)에서는, 동체부(20)의 만곡 부분에서 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 공간을 형성하지 않고 침압을 높게 한다. 이와 같이, 이간 부품(30)의 상호간의 공간의 설정에 의해, 프로브(10)의 침압 조정이 가능하다.

그리고 또한, 이간 부품(30)에 의해 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 간격이 넓어지지 않기 때문에, 프로브(10)를 프로브 헤드(200)에 장착할 때에, 프로브(10)를 가이드 플레이트의 관통홀에 삽입하는 것이 용이하다 .

＜변형 예＞

도 4에 나타내는 변형 예에 따른 프로브(10)에서는, 폭 방향에 대해 수직방향에서 보아, 축 방향과 수직으로, 직사각형상의 이간 부품(30)이 배치되어 있다. 이 때문에, 이간 부품(30)의 상호간에 있어서의 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이의 공간의 형상은 직사각형상이다. 이와 같이, 이간 부품(30)의 형상은 V자 형상에 한정되지 않는다.

도 5에 도시하는 변형 예에 따른 프로브(10)에서는, 이간 부품(30)은 V자 형상이며, 또한, 이간 부품(30)의 제1 아암(21) 및 제2 아암(22)과의 접속 개소가 R모따기되어 있다. 이간 부품(30)의 코너부(角部)가 예각이면, 이간 부품(30)의 코너부에 응력이 집중하여 프로브(10)가 파손되기 쉽다. 이간 부품(30)과 아암의 접속 개소를 R모따기하여 모서리를 둥글게 함으로써, 응력이 집중되기 쉬운 접속 개소의 응력을 분산시킬 수 있다. 따라서, 도 5에 나타내는 프로브(10)에 따르면, 프로브의 파손을 억제할 수 있다.

(제2의 실시의 형태)

도 6에 나타내는 제2의 실시형태에 따른 프로브(10)는, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에서 연속하고 있지 않은 빔부 쌍(30a)를, 이간 부품(30)으로서 갖는다. 빔부 쌍(30a)은 제1 빔부(301)와 제2 빔부(302)를 갖는다. 제1 빔부(301)는, 한쪽의 단부가 제1 아암(21)에 접속하고, 다른 쪽 단부가 자유단인 외팔보 구조이다. 제2 빔부(302)는, 한쪽 단부가 제2 아암(22)에 접속하고, 다른 쪽 단부가 자유단인 외팔보 구조이다. 프로브(10)에 축방향의 하중이 인가되지 않은 상태(이하에 있어서, 「무하중 상태」라고도 함)에서, 제1 빔부(301)의 자유단과 제2 빔부(302)의 자유단은 근접한다.

도 6에 나타내는 프로브(10)의 그 밖의 구성에 관해서는, 제1의 실시형태에 따른 프로브(10)와 동일하다. 도 6에서는 동체부(20)에 복수의 빔부 쌍(30a)을 배치한 경우를 나타내었지만, 빔부 쌍(30a)이 1개여도 된다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 피검사체의 검사시에, 프로브(10)는 지지 기판(400)의 관통홀의 내부에 배치된다. 이간 부품(30)으로서 빔부 쌍(30a)을 갖는 프로브(10)에서는, 후술하는 바와 같이, 제1의 선단부(11)와 제2의 선단부(12) 사이에 하중이 인가되어서 동체부(20)가 만곡된 상태에 있어서, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)이 이간 부품(30)을 통해서 접속한다.

도 6에 나타내는 프로브(10)에서는, 복수의 빔부 쌍(30a)이 축방향을 따라 서로 이간하여 배치되어 있다. 동체부(20)가 만곡된 상태에 있어서, 복수의 빔부 쌍(30a) 중 적어도 하나의 빔부 쌍(30a)이, 제1 빔부(301)의 자유단과 제2 빔부(302)의 자유단이 접촉한 이간 부품(30)으로서 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 개재된다. 따라서, 축 방향으로 만곡된 동체부(20)에 있어서, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에는 공간이 구성된다.

도 6은, 제1의 선단부(11)와 제2의 선단부(12) 사이에 하중이 인가되지 않은 무하중 상태를 나타내고, 동체부(20)가 만곡되어 있지 않다. 이 무하중 상태에서는, 빔부 쌍(30a)은, 제1 아암(21)과 제2 아암 사이에서 연속하지 않는다.

도 7은, 프로브(10)가 피검사체(도시하지 않음)에 접촉하여, 제1의 선단부(11)와 제2의 선단부(12) 사이에 축 방향을 따른 하중이 인가된 상태를 나타낸다. 축 방향을 따른 하중이 인가되면, 동체부(20)가 만곡된 상태(이하에 있어서,「만곡상태」라고도 함)가 된다.

만곡 상태에서는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 동체부(20)에, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)의 사이가 폭 방향으로 넓어지는 부분이 생긴다. 동체부(20)의 폭 방향으로 펼쳐진 부분은, 지지 기판(400)의 관통홀의 내벽면에 접촉하면, 그 이상은 폭 방향으로 퍼지지 않는다. 따라서, 동체부(20)의 관통홀의 내벽면과 접촉하지 않는 부분에 하중이 더해져, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이의 공간이 폭 방향으로 좁아지는 부분이 생긴다.

이때, 이간 부품(30)으로서 빔부 쌍(30a)을 갖는 프로브(10)에서는, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)은 이간 부품(30)을 통해서 접속한다. 즉, 제1 아암(21)과 제2 아암(22)이 접근하여 제1 빔부(301)의 자유단과 제2 빔부(302)의 자유단이 접속하여, 빔부 쌍(30a)이 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이를 가교한다. 제1 빔부(301)와 제2 빔부(302)가 접속했을 때에 이간 부품(30)에 하중이 집중되도록 빔부 쌍(30a)을 배치한다. 이와 같이, 빔부 쌍(30a)은, 만곡 상태에 있어서 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 사이에 공간을 구성하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 프로브(10)에 의하면, 동체부(20)가 소성 변형되는 것을 방지할 수 있다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 동체부(20)의 복수의 이간 부품(30)을 빔부 쌍(30a)만으로 구성해도 된다. 혹은, 도 8에 나타내는 바와 같이, 동체부(20)의 축 방향을 따라서 빔부 쌍(30a)과 가교부의 이간 부품(30)을 혼재시켜서 배치할 수 있다.

그 밖에, 제2의 실시형태에 따른 프로브(10)는, 제1의 실시형태와 실질적으로 동일하고, 중복 기재는 생략한다.

＜변형 예＞

도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 이간 부품(30)은, 제1 아암(21)과 제2 아암 중 한쪽에 고정단이 접속하고, 제1 아암(21)과 제2 아암(22) 중 다른 쪽에 자유단이 근접한 외팔보 구조일 수 있다. 도 9는, 이간 부품(30)이, 고정단이 제1 아암(21)에 접속하고, 자유단이 제2 아암(22)에 근접한 외팔보 구조이다. 도 10은, 이간 부품(30)이 고정단이 제2 아암(22)에 접속하고, 자유단이 제2 아암(22)에 근접한 외팔보 구조이다. 또한, 도 11에 나타내는 바와 같이, 동체부(20)의 축 방향을 따라서 고정단이 제1 아암(21)에 접속하는 이간 부품(30)과, 고정단이 제2 아암 (22)에 접속하는 이간 부품(30)을 혼재시켜서 배치해도 좋다. 이간 부품(30)의 자유단을, 면적이 넓은 아암에 접촉시키는 것은 용이하다.

(그 밖의 실시형태)

상기한 바와 같이 본 발명은 실시형태에 의해 기재되었지만, 본 개시의 일부를 이루는 논술 및 도면은 본 발명을 한정하는 것으로 이해되어서는 안 된다. 본 개시로부터 당업자에게는 다양한 대체 실시형태, 실시 예 및 운용 기술이 명백해질 것이다.

예를 들면, 상기에서는, 복수의 이간부품(30)을 갖는 동체부(20)를 나타내었지만, 동체부(20)의 이간 부품(30)이 1개여도 된다. 또한, 동체부(20)가 2개의 아암을 갖는 프로브(10)에 대해서 설명했지만, 프로브(10)의 아암이 3개 이상이어도 된다.

혹은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 상이한 형상의 이간 부품(30)을 축 방향을 따라서 배치할 수 있다.

또한, 프로브(10)가 이간 부품(30)으로서 빔부 쌍(30a)을 갖는 경우에, 예를 들면 도 13a~도 13j에 나타내는 바와 같이, 빔부 쌍(30a)에는 여러 가지의 형상을 채용 가능하다. 도 13a~도 13j는, Z축 방향에서 본 경우(이하, 「평면시(planar view)」라고 한다)의 빔부 쌍(30a)을 구성하는 제1 빔부(301)와 제2 빔부(302)의 형상(이하, 「빔부형상」이라고도 함)을 나타낸다.

도 13a에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이 직사각형 형상이어도 된다. 혹은, 도 13b에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이, 외형은 직사각형이고 내부가 공간인 프레임 형상일 수 있다.

도 13c~도 13f에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이, X축 방향의 폭이 다른 접속부분과 선단부분을 Y축 방향으로 연결한 형상이어도 된다. 「접속부분」은, 제1 빔부(301)와 제2 빔부(302)가 아암에 접속하는 부분이고, 「선단부분」은, 접속부분에 연결되어 아암으로부터 이간된 부분이다. 도 13c~도 13e에 나타내는 빔부 형상은, 선단부분보다도 접속부분의 X축 방향의 폭이 넓다. 도 13c에 나타내는 빔부 형상은, 평면시에서 접속부분의 X축 방향의 중앙부에 선단부분이 접속되어 있다. 도 13d과도 13e에 나타내는 빔부 형상은, 평면시에서 접속부분의 X축 방향의 단부에 선단부분이 접속되어 있다. 도 13f에 나타내는 빔부 형상은, 접속부분보다도 선단부분의 X축 방향의 폭이 넓다.

도 13g에 나타내는 바와 같이, 선단부분은 반원형일 수 있다. 혹은, 도 13h에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이, 외형이 반원형상이고 내부가 공간인 프레임 형상이어도 좋다. 또한, 도 13i에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이, 아암에 접속하는 부분에서 Y축 방향을 향해 점차 가늘어지는 삼각형 형상이어도 된다. 혹은, 도 13j에 나타내는 바와 같이, 빔부 형상이, 외형이 삼각형상이고 내부가 공간인 프레임 형상이어도 좋다.

이와 같이, 본 발명은 여기에서는 기재되지 않은 다양한 실시형태 등을 포함하는 것은 물론이다.

10; 프로브
11; 제1의 선단부
12; 제2의 선단부
20; 동체부(胴體部)
21; 제1 아암
22; 제2 아암
30; 이간(離間) 부품
30a; 빔부(梁部) 쌍
201; 제1 단(端)
202; 제2 단
301; 제1 빔부
302; 제2 빔부

Claims

피검사체의 전기적 특성의 검사에 사용하는 프로브이며,
제1 및 제2의 선단부와,
상기 제1의 선단부와 상기 제2의 선단부를 접속하는 동체부를 구비하고,
상기 동체부가,
상기 제1의 선단부에 접속하는 제1 단(端)과,
상기 제2의 선단부에 접속하는 제2 단과,
상기 제1 단과 상기 제2 단 사이에서 상호 이간하여 병렬로 배치된 기둥 형상의 제1 및 제2 아암과,
상기 제1 아암과 상기 제2 아암 사이에 개재되는 적어도 하나의 이간(離間) 부품을, 구비하는,
프로브.
제1항에 있어서,
상기 이간 부품이 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 사이를 가교하는, 프로브.
제2항에 있어서,
복수의 상기 이간 부품이 상기 동체부의 축방향을 따라서 상호 이간하여 배치되어 있는, 프로브.
제1항에 있어서,
상기 이간 부품이, 상기 제1의 선단부와 상기 제2의 선단부 사이에 하중이 인가되지 않은 무하중 상태에 있어서 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 사이에서 연속하고 있지 않으며,
상기 제1의 선단부와 상기 제2의 선단부 사이에 하중이 인가되어 상기 동체부가 만곡한 상태에 있어서, 상기 제1 아암과 상기 제2 아암이 상기 이간 부품을 통해서 접속하는, 프로브.
제4항에 있어서,
상기 이간 부품이,
한쪽의 단부가 상기 제1 아암에 접속하고, 다른 쪽의 단부가 자유단인 제1 빔부(梁部)와,
한쪽의 단부가 상기 제2 아암에 접속하고, 다른 쪽의 단부가 자유단인 제2 빔부를 가지고,
상기 무하중 상태에 있어서, 상기 제1 빔부의 상기 자유단과 상기 제2 빔부의 상기 자유단이 근접하는, 프로브.
제4항에 있어서,
상기 이간 부품은, 고정단이 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 중 한쪽에 접속하고, 자유단이 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 중 다른 쪽에 근접하는 외팔보 구조인, 프로브.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 상기 이간 부품이 상기 동체부의 축 방향을 따라서 상호 이간하여 배치되고, 상기 동체부가 만곡한 상태에 있어서, 복수의 상기 이간 부품 중 적어도 하나가, 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 사이에 공간을 구성하도록 상기 제1 아암과 상기 제2 아암 사이에 개재되는, 프로브.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이간 부품은, 상기 제1 아암과 상기 제2 아암이 병렬하는 방향에 대해 수직 방향에서 볼 때 V자 형상인, 프로브.
제8항에 있어서,
상기 이간 부품의 상기 제1 아암 및 상기 제2 아암과의 접속 개소가 R모따기 되어 있는, 프로브.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 이간 부품은, 상기 제1 아암과 상기 제2 아암이 병렬하는 방향에 대해 수직 방향에서 보아 직사각 형상인, 프로브.