KR20230137708A - 이송 시스템의 그 제어 방법 - Google Patents

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KR20230137708A
KR20230137708A KR1020220035495A KR20220035495A KR20230137708A KR 20230137708 A KR20230137708 A KR 20230137708A KR 1020220035495 A KR1020220035495 A KR 1020220035495A KR 20220035495 A KR20220035495 A KR 20220035495A KR 20230137708 A KR20230137708 A KR 20230137708A
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이준범
최영재
홍성봉
양동훈
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세메스 주식회사
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Abstract

이송 대차의 주행 방향 전환 오류를 최소화할 수 있는 이송 시스템이 제공된다. 상기 이송 시스테은, 하우징; 상기 하우징의 상부에 배치되고, 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼와 제2 댐퍼; 상기 하우징의 상부에 배치되고, 상기 제1 댐퍼와 상기 제2 댐퍼 사이를 이동하면서, 조향레일을 따라 회전하는 제1 조향휠; 상기 제1 조향휠을 이동시키는 제1 모터; 및 상기 제1 모터를 제어하기 위한 제1 전류를 제공하는 전류 제어기를 포함하되, 상기 전류 제어기는 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 접촉하는 제1 시점에서, 제1 크기의 제1 전류를 제공하고, 상기 제1 시점 이후의 제2 시점에서 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 여전히 접촉하고 있으면, 상기 제1 전류의 크기를 증가시킨다.

Description

이송 시스템의 그 제어 방법{Transfer system and controlling method thereof}
본 발명은 이송 시스템의 그 제어 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 제조 공정에서, 기판은 무인 운반 시스템을 통해 이송될 수 있다. 특히, 무인 운반 시스템은 제조 라인의 천장 또는 바닥에 설치된 조향레일을 따라 이동 가능하게 구성된 이송 대차(예를 들어, OHT(Overhead Hoist Transport), RGV(Rail Guided Vehicle) 등)를 포함할 수 있다. 이송 대차의 운행 제어는 OCS(OHT Control Server) 장치와 같은 상위 제어 장치에 의해 제어될 수 있다.
이송 대차는 조향휠(steering wheel)의 움직임에 따라 주행 방향을 전환할 수 있다. 조향휠은, 상기 조향휠에 연결된 모터에 인가되는 전류에 따라 일측으로 이동하거나 타측으로 이동될 수 있다.
또한, 이송 대차에는 조향휠의 이동범위의 양단을 결정하는 댐퍼가 설치된다. 그런데, 조향휠이 댐퍼에 흡착된 경우, 조향휠이 상기 전류 제어에 따라 용이하게 움직이지 않아서 이송 대차의 주행 방향 전환이 이루어지지 않거나 늦게 이루어질 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 이송 대차의 주행 방향 전환 오류를 최소화할 수 있는 이송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 이송 대차의 주행 방향 전환 오류를 최소화할 수 있는 이송 시스템의 제어 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이송 시스템의 일 면(aspect)은, 하우징; 상기 하우징의 상부에 배치되고, 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼와 제2 댐퍼; 상기 하우징의 상부에 배치되고, 상기 제1 댐퍼와 상기 제2 댐퍼 사이를 이동하면서, 조향레일을 따라 회전하는 제1 조향휠; 상기 제1 조향휠을 이동시키는 제1 모터; 및 상기 제1 모터를 제어하기 위한 제1 전류를 제공하는 전류 제어기를 포함하되, 상기 전류 제어기는 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 접촉하는 제1 시점에서, 제1 크기의 제1 전류를 제공하고, 상기 제1 시점 이후의 제2 시점에서 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 여전히 접촉하고 있으면, 상기 제1 전류의 크기를 증가시킨다.
상기 전류 제어기는 상기 제2 시점 이후에 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 이격되면, 상기 제1 전류의 크기를 더 이상 증가시키지 않는다.
또는, 상기 전류 제어기는 상기 제2 시점 이후에 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 떨어지면, 상기 제1 전류의 크기를 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기로 변경한다. 상기 제1 조향휠이 제2 댐퍼에 접촉하더라도, 상기 전류 제어기는 상기 제2 크기의 제1 전류를 계속 제공할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 상부에 배치되고, 서로 이격되도록 배치된 제3 댐퍼와 제4 댐퍼와, 상기 하우징의 상부에 배치되고, 상기 제3 댐퍼와 상기 제4 댐퍼 사이를 이동하면서, 상기 조향레일을 따라 회전하는 제2 조향휠과, 상기 제2 조향휠을 이동시키는 제2 모터를 더 포함하고, 상기 전류 제어기는 상기 제2 모터를 제어하기 위한 제2 전류를 제공하되, 상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에 접촉하는 제3 시점에서, 제3 크기의 제2 전류를 제공하고, 상기 제3 시점 이후의 제4 시점에서 상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에 접촉하고 있으면, 상기 제2 전류의 크기를 증가시킨다.
상기 전류 제어기는 상기 제4 시점 이후에 상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에서 떨어지면, 상기 제2 전류의 크기를 상기 제3 크기보다 작은 제4 크기로 변경한다.
상기 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 이송 시스템의 제어 방법의 일 면은, 하우징과, 상기 하우징의 상부에 배치되고 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼와 제2 댐퍼와, 상기 하우징의 상부에 배치되고 상기 제1 댐퍼와 상기 제2 댐퍼 사이를 이동하면서 조향레일을 따라 회전하는 제1 조향휠과, 상기 제1 조향휠을 이동시키는 제1 모터를 포함하는, 이송 대차가 제공되고, 제1 시점에서, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 접촉한 상태에서, 상기 제1 모터에 제1 크기의 제1 전류를 제공하고, 상기 제1 시점 이후의 제2 시점에서, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼와 여전히 접촉한 상태이면, 상기 제1 전류의 크기를 증가시키고, 상기 제2 시점 이후에, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 이격되면, 상기 제1 전류의 크기를 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기로 변경하는 것을 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 이송 시스템을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 대차를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 이송 대차의 주행 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 또 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 이송 시스템을 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 대차를 설명하기 위한 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 이송 대차의 주행 유닛을 설명하기 위한 정면도이다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 이송 대차(400)는 이송 유닛(300) 및 주행 유닛(200)을 포함한다.
이송 유닛(300)은 주행 유닛(200)과 연결되며, 내부에 카세트(30)를 파지하여 이송한다.
이러한 이송 유닛(300)은 하우징(310), 이동부(320), 승강부(330) 및 파지부(340)를 포함한다.
하우징(310)은 주행 유닛(200)의 하부에 매달리듯 고정된다. 하우징(310)은 카세트(30)의 상하 이동 및 수평 이동을 위해 하방과 일측 측면인 정면이 개방될 수 있다. 이동부(320)는 하우징(310)의 내부 상면에 구비되며, 하우징(310)의 개방된 정면을 통해 수평 이동할 수 있다. 승강부(330)는 이동부(320)의 하부면에 고정된다. 승강부(330)는 벨트(332)를 권취하거나 권출하여 벨트(332)를 승강시킬 수 있다. 파지부(340)는 벨트(332)의 단부에 고정되며, 카세트(30)를 파지한다. 승강부(330)가 벨트(332)를 승강시킴에 따라 파지부(340)에 파지된 카세트(30)가 하우징(310)에 대해 승강할 수 있다. 이동부(320)의 수평 이동에 따라 카세트가(30)가 하우징(310)에 대해 수평 이동할 수 있다.
또한, 이송 대차(400)의 주행 유닛(200)은 별도 구동부에 의해 제조 라인의 천장을 따라 설치된 주행레일(10)을 따라 주행할 수 있다.
주행레일(10)은 예를 들어, 직진 레일(12)과 분기 레일(14)을 포함할 수 있고, 주행레일(10)에서 직진 레일(12)과 분기 레일(14)이 분기되는 영역을 분기 영역이라 한다.
주행 유닛(200)은 몸체(210), 주행휠(220), 조향휠(100), 전방 댐퍼들(230), 후방 댐퍼들(미도시) 및 버퍼들(240)을 포함할 수 있다. 도면부호 100은, 100a, 100b를 한번에 지칭할 때 사용되고, 도면부호 230은, 230a, 230b를 한번에 지칭할 때 사용된다.
주행휠(220)은 몸체(210)의 양측면 전후에 각각 구비된다. 주행휠(220)이 주행레일(20)과 접촉한 상태에서 회전하므로 몸체(210)가 주행레일(20)을 따라 주행할 수 있다.
조향휠(100)은 몸체(210)의 상면 전후에 몸체(210)의 주행 방향과 수직하는 수평 방향(또는 좌우 방향)을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 예를 들면, 조향휠(100)은 몸체(210)의 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
조향휠(100)은 몸체(210)의 전방에 위치하는 제1 조향휠(100a)과, 몸체(210)의 후방에 위치하는 제2 조향휠(100b)를 포함한다.
조향휠(100)은 조향레일(20)과 접촉할 수 있다.
조향레일(20)은 상기 분기 영역에서 직진 조향레일(22)과 분기 조향레일(24)을 따라 분기되도록 구비되며, 이송 대차(400)의 주행 경로를 조절하는데 이용된다. 이러한 조향레일(20)은 직진 조향레일(22)과 분기 조향레일(24)을 포함한다.
직진 조향레일(22)은 직진 레일(12)을 따라 연장하면서 직진 주행을 안내하고, 분기 조향레일(24)은 분기 레일(14)을 따라 연장하면서 분기 주행을 안내한다.
조향휠(100)은 직진 조향레일(22)과 분기 조향레일(24)과 선택적으로 접촉할 수 있다.
예를 들면, 이송 대차(400)이 직진 주행하는 경우, 조향휠(100)은 직진 조향레일(22)과 접촉하도록 좌우 방향으로 이동하고, 이송 대차(400)이 분기 주행하는 경우, 조향휠(100)은 분기 조향레일(24)과 접촉하도록 좌우 방향으로 이동할 수 있다.
한편, 조향휠(100)은 별도의 구동부에 의해 수평 방향(또는 좌우 방향)으로 이동할 수 있다. 상기 구동부는 조향휠(100)을 직선 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다.
조향휠(100)이 좌우 방향으로 이동할 때 가이드 레일(도 3의 232)에 의해 가이드될 수 있다. 가이드 레일(232)은 몸체(210)의 좌우 방향을 따라 연장하도록 구비될 수 있다. 조향휠(100)이 가이드 레일(232)을 따라 좌우 방향으로 이동하므로, 조향휠(100)이 안정적으로 이동할 수 있을 뿐만 아니라 조향휠(100)의 좌우 방향으로 이동시 발생하는 진동을 줄일 수 있다.
또한, 전방 댐퍼들(230)은 몸체(210)에서 조향휠(100)이 상기 수평 방향으로 이동할 수 있는 이동 범위의 양단에 각각 구비된다. 전방 댐퍼들(230)의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 전방 댐퍼들(230)은 조향휠(100)이 정지할 때 발생하는 충격을 감소시킨다. 전방 댐퍼들(230)은 조향휠(100)과 직접 접촉하여 상기 충격을 감소시킨다.
버퍼들(240)은 조향휠(100)에서 전방 댐퍼들(230)과 각각 마주보는 위치에 구비된다. 버퍼들(240)의 재질로는 우레탄을 들 수 있다. 따라서, 조향휠(100)의 좌우 방향 이동에 따라 제2 댐퍼들(240)은 전방 댐퍼들(230)과 접촉할 수 있다. 그러므로, 버퍼들(240)은 조향휠(100)이 정지할 때 발생하는 충격을 추가로 감소시킨다.
전방 댐퍼들(230)은 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼(230a)와 제2 댐퍼(도 4의 230b)를 포함한다. 제1 조향휠(100a)은 제1 댐퍼(230a)와 제2 댐퍼(230b) 사이를 이동하면서 조향레일(20)을 따라 회전할 수 있다.
후방 댐퍼들은 서로 이격되도록 배치된 제3 댐퍼(231a)와 제4 댐퍼(도 4의 231b)를 포함한다. 제2 조향휠(100b)은 제3 댐퍼(231a)와 제4 댐퍼(231b) 사이를 이동하면서 조향레일(20)을 따라 회전할 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 개념도이다.
도 4를 참고하면, 제1 조향휠(100a)은 하우징(310)의 상부에서, 제1 댐퍼(230a)와 제2 댐퍼(230b) 사이를 이동하되, 제1 조향휠(100a)은 제1 모터(105a)에 의해 이동된다. 전류 제어기(108)는 제1 모터(105a)를 제어하기 위한 제1 전류(I1)을 제1 모터(105a)에 제공한다.
제2 조향휠(100b)은 하우징(310)의 상부에서, 제3 댐퍼(231a)와 제4 댐퍼(231b) 사이를 이동하되, 제2 조향휠(100b)은 제2 모터(105b)에 의해 이동된다. 전류 제어기(108)는 제2 모터(105b)를 제어하기 위한 제2 전류(I2)을 제2 모터(105b)에 제공한다.
이하, 도 5 내지 도 8을 이용하여, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 이송 시스템의 제어 방법을 설명한다.
도 5는 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 일 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참고하면, 제1 시점(t1)에서, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)이 접촉해 있다고 가정한다. 전류 제어기(108)는 제1 크기(S1)의 제1 전류(I1)를 제1 모터(105a)에 제공한다.
제1 시점(t1)에서 소정시간이 지난 제2 시점(t2)에서는, 제1 모터(105a)가 제공하는 힘에 의해서, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에서 이격된다.
제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에서 이격되면, 전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 더 이상 증가시키지 않는다. 오히려, 전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 줄일 수 있다. 도시된 것과 같이, 전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 제2 크기(S2)로 할 수 있다.
이어서, 도 6 내지 도 8을 참고하여, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에 흡착되어서, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에서 쉽게 이격되지 않는 경우를 설명한다.
도 6은 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 다른 예를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 6을 참고하면, 제1 시점(t1)에서, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)이 접촉해 있다고 가정한다. 전류 제어기(108)는 제1 크기(S1)의 제1 전류(I1)를 제1 모터(105a)에 제공한다.
제2 시점(t2)에서, 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에 흡착되어서, 제1 조향휠(100a)과 제1 댐퍼(230a)가 이격되지 않고, 여전히 제1 조향휠(100a)과 제1 댐퍼(230a)가 접촉한다.
전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 증가시킨다. 제1 전류(I1)의 크기가 커지기 때문에, 제1 모터(105a)는 보다 강한 힘으로 제1 조향휠(100a)을 움직이게 할 수 있다.
제3 시점(t3)에서, 비로소 제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에서 이격된다.
제1 조향휠(100a)이 제1 댐퍼(230a)에서 이격되면, 전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 줄인다. 도시된 것과 같이, 전류 제어기(108)는 제1 전류(I1)의 크기를 제2 크기(S2)로 할 수 있다.
한편, 제1 조향휠(100a)이 제2 댐퍼(230b)까지 이동하고, 제2 댐퍼(230b)에 접촉하게 된다. 제1 조향휠(100a)이 제2 댐퍼(230b)에 접촉한 상태를 유지할 수 있도록, 전류 제어기(108)는 제2 크기(S2)의 제1 전류(I1)를 계속해서 제공한다.
도 6에서는, 제2 시점(t2) 이후에 제1 전류(I1)는 연속 함수에 따라 증가한다. 예를 들어, 제1 전류(I1)는 리니어 함수, 로그 함수 또는 지수 함수에 따라 증가할 수 있다.
한편, 제2 조향휠(100b)의 제어 방법도, 제1 조향휠(100a)의 제어 방법과 유사하다.
구체적으로, 제2 조향휠(100b)이 제3 댐퍼(231a)에 접촉하고 있는 제3 시점에서, 제3 크기의 제2 전류(I2)를 제공한다. 이어서, 제3 시점 이후의 제4 시점에서 제2 조향휠(100b)이 여전히 제2 댐퍼(230b)에 접촉하고 있으면, 제2 전류(I2)의 크기를 증가시킨다. 제2 전류(I2)는 리니어 함수, 로그 함수 또는 지수 함수 등과 같은 연속 함수에 따라 증가할 수 있다.
또한, 제4 시점 이후에 제2 조향휠(100b)이 제3 댐퍼(231a)에서 떨어지면, 제2 전류(I2)의 크기를 제3 크기보다 작은 제4 크기로 변경할 수 있다.
도 7은 도 4에 도시된 전류 제어기가 제1 전류를 제어하는 또 다른 예를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의상, 도 6을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 6에서, 제2 시점(t2) 이후에 제1 전류(I1)는 연속 함수에 따라 증가하지만, 도 7에서는 제2 시점(t2) 이후에 제1 전류(I1)는 계단 함수에 따라 증가한다. 이와 같이, 제1 전류(I1)의 증가 방식은, 설계에 따라 달라질 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 조향휠 210: 몸체
220: 주행휠 230: 전방 댐퍼들
300: 이송 유닛 310: 하우징
320: 이동부 330: 승강부
340: 파지부 I1: 제1 전류
I2: 제2 전류 S1: 제1 크기
S2: 제2 크기

Claims (7)

  1. 하우징;
    상기 하우징의 상부에 배치되고, 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼와 제2 댐퍼;
    상기 하우징의 상부에 배치되고, 상기 제1 댐퍼와 상기 제2 댐퍼 사이를 이동하면서, 조향레일을 따라 회전하는 제1 조향휠;
    상기 제1 조향휠을 이동시키는 제1 모터; 및
    상기 제1 모터를 제어하기 위한 제1 전류를 제공하는 전류 제어기를 포함하되, 상기 전류 제어기는
    상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 접촉하는 제1 시점에서, 제1 크기의 제1 전류를 제공하고,
    상기 제1 시점 이후의 제2 시점에서 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 여전히 접촉하고 있으면, 상기 제1 전류의 크기를 증가시키는, 이송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 전류 제어기는
    상기 제2 시점 이후에 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 이격되면, 상기 제1 전류의 크기를 더 이상 증가시키지 않는, 이송 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 전류 제어기는
    상기 제2 시점 이후에 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 떨어지면, 상기 제1 전류의 크기를 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기로 변경하는, 이송 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1 조향휠이 제2 댐퍼에 접촉하더라도, 상기 전류 제어기는 상기 제2 크기의 제1 전류를 계속 제공하는, 이송 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 하우징의 상부에 배치되고, 서로 이격되도록 배치된 제3 댐퍼와 제4 댐퍼와,
    상기 하우징의 상부에 배치되고, 상기 제3 댐퍼와 상기 제4 댐퍼 사이를 이동하면서, 상기 조향레일을 따라 회전하는 제2 조향휠과,
    상기 제2 조향휠을 이동시키는 제2 모터를 더 포함하고,
    상기 전류 제어기는 상기 제2 모터를 제어하기 위한 제2 전류를 제공하되,
    상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에 접촉하는 제3 시점에서, 제3 크기의 제2 전류를 제공하고,
    상기 제3 시점 이후의 제4 시점에서 상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에 접촉하고 있으면, 상기 제2 전류의 크기를 증가시키는, 이송 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 전류 제어기는
    상기 제4 시점 이후에 상기 제2 조향휠이 상기 제3 댐퍼에서 떨어지면, 상기 제2 전류의 크기를 상기 제3 크기보다 작은 제4 크기로 변경하는, 이송 시스템.
  7. 하우징과, 상기 하우징의 상부에 배치되고 서로 이격되도록 배치된 제1 댐퍼와 제2 댐퍼와, 상기 하우징의 상부에 배치되고 상기 제1 댐퍼와 상기 제2 댐퍼 사이를 이동하면서 조향레일을 따라 회전하는 제1 조향휠과, 상기 제1 조향휠을 이동시키는 제1 모터를 포함하는, 이송 대차가 제공되고,
    제1 시점에서, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에 접촉한 상태에서, 상기 제1 모터에 제1 크기의 제1 전류를 제공하고,
    상기 제1 시점 이후의 제2 시점에서, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼와 여전히 접촉한 상태이면, 상기 제1 전류의 크기를 증가시키고,
    상기 제2 시점 이후에, 상기 제1 조향휠이 상기 제1 댐퍼에서 이격되면, 상기 제1 전류의 크기를 상기 제1 크기보다 작은 제2 크기로 변경하는 것을 포함하는, 이송 시스템의 제어 방법.
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