KR20230133857A - 방전 가공기 - Google Patents
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Abstract
일 실시형태의 방전 가공기 (10) 는, 액체를 공급하는 펌프 (52) 와, 펌프 (52) 에 의해 공급되는 액체를 가공조 (46) 에 도입하는 도입 배관 (54) 을 구비한다. 도입 배관 (54) 은, 가공조 (46) 에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높은 배관 부위 (54PT) 를 갖는다. 배관 부위 (54PT) 에는, 도입 배관 (54) 의 관벽을 관통하는 관통공 (54H) 이 형성된다.
Description
본 발명은, 가공조에 모이는 액체 중에서 가공 대상물을 방전 가공하는 방전 가공기에 관한 것이다.
방전 가공기에서는, 가공조에 모으는 액체를 공급하는 장치가 구비된다. 일본 공개특허공보 2017-019046호에는, 펌프 (순환 펌프) 와, 제 1 액 회로를 갖는 가공액 공급 장치가 개시되어 있다. 펌프는, 청수조로부터 액체 (청수) 를 퍼 올린다. 제 1 액 회로는, 펌프로 퍼 올려진 액체를 가공조에 공급한다. 일본 공개특허공보 2017-019046호에는 제 1 액 회로의 구체적인 기재는 없지만, 일반적으로는, 배관이 제 1 액 회로로서 적용된다. 이 배관에는, 일반적으로, 가공조로부터의 역류를 방지하는 역지 밸브가 형성된다.
그런데, 메인터넌스 등의 목적에서 역지 밸브를 배관으로부터 분리하는 작업이 복잡하였다.
그래서, 본 발명은, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있는 방전 가공기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 양태는,
가공조에 모이는 액체 중에서 가공 대상물을 방전 가공하는 방전 가공기로서,
상기 액체를 공급하는 펌프와,
상기 펌프에 의해 공급되는 상기 액체를 상기 가공조에 도입하는 도입 배관과,
상기 도입 배관의 관벽을 관통하는 관통공을 구비하고,
상기 도입 배관은, 상기 가공조에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높은 배관 부위를 갖고,
상기 관통공은, 상기 배관 부위에 형성된다.
본 발명의 양태에 의하면, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있다. 즉, 도입 배관의 배관 부위는, 가공조에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높다. 이로써, 펌프가 정지되면, 배관 부위의 유로를 채우는 액체는, 관통공으로부터 자중으로 낙하하도록 도출되고, 배관 부위의 유로에는 공기가 모인다. 따라서, 배관 부위의 유로에 모이는 공기로 가공조로부터의 역류를 억제할 수 있다. 이렇게 하여, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있다.
도 1 은, 실시형태의 방전 가공기의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2 는, 가공액 처리 장치의 일부의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 3 은, 가공조에 액체가 공급되는 모습을 나타내는 도면이다.
도 2 는, 가공액 처리 장치의 일부의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 3 은, 가공조에 액체가 공급되는 모습을 나타내는 도면이다.
[실시형태]
도 1 은, 실시형태의 방전 가공기 (10) 의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 1 에는, X 방향, Y 방향 및 Z 방향이 나타내어진다. 또한, X 방향 및 Y 방향은 면 내에서 서로 직교하고, Z 방향은 X 방향 및 Y 방향의 각각에 대해 직교한다.
방전 가공기 (10) 는, 액체 중에서 가공 대상물을 방전 가공하는 기계이다. 방전 가공기 (10) 는, 가공 대상물과 와이어 전극 (12) 의 극 사이에 전압을 인가함으로써 극 사이에 발생하는 방전에 의해 가공 대상물을 가공한다. 방전 가공기 (10) 는, 가공기 본체 (14) 와, 가공액 처리 장치 (16) 와, 가공기 본체 (14) 및 가공액 처리 장치 (16) 를 제어하는 제어 장치 (18) 를 구비한다.
와이어 전극 (12) 의 재질은, 예를 들어, 텅스텐계, 구리 합금계, 황동계 등의 금속 재료이다. 한편, 가공 대상물의 재질은, 예를 들어, 철계 재료, 초경 재료 등의 금속 재료이다.
가공기 본체 (14) 는, 가공 대상물 (워크, 피가공물) 을 향하여 와이어 전극 (12) 을 공급하는 공급 계통 (20) 과, 가공 대상물을 통과한 와이어 전극 (12) 을 회수하는 회수 계통 (22) 을 구비한다.
공급 계통 (20) 은, 와이어 보빈 (24) 과, 토크 모터 (26) 와, 브레이크 슈 (28) 와, 브레이크 모터 (30) 와, 장력 검출부 (32) 와, 상측 다이스 가이드 (34) 를 구비한다. 와이어 보빈 (24) 에는, 미사용의 와이어 전극 (12) 이 감겨진다. 토크 모터 (26) 는, 와이어 보빈 (24) 에 대해 토크를 부여한다. 브레이크 슈 (28) 는, 와이어 전극 (12) 에 대해 마찰에 의한 제동력을 부여한다. 브레이크 모터 (30) 는, 브레이크 슈 (28) 에 대해 브레이크 토크를 부여한다. 장력 검출부 (32) 는, 와이어 전극 (12) 의 장력의 크기를 검출한다. 상측 다이스 가이드 (34) 는, 가공 대상물의 상방에서 와이어 전극 (12) 을 가이드한다.
회수 계통 (22) 은, 하측 다이스 가이드 (36) 와, 핀치 롤러 (38), 피드 롤러 (40) 와, 토크 모터 (42) 와, 회수 상자 (44) 를 구비한다. 하측 다이스 가이드 (36) 는, 가공 대상물의 하방에서 와이어 전극 (12) 을 가이드한다. 핀치 롤러 (38) 및 피드 롤러 (40) 는, 와이어 전극 (12) 을 협지할 수 있다. 토크 모터 (42) 는, 피드 롤러 (40) 에 대해 토크를 부여한다. 회수 상자 (44) 는, 핀치 롤러 (38) 및 피드 롤러 (40) 에 의해 반송된 와이어 전극 (12) 을 회수한다.
가공기 본체 (14) 는, 가공액을 저류 가능한 가공조 (46) 를 구비한다. 가공액은, 가공시에 사용되는 액체이다. 가공액으로서, 예를 들어, 탈이온수 등을 들 수 있다. 가공조 (46) 는, 베이스부 (48) 상에 재치되어 있다. 가공조 (46) 내에는 상측 다이스 가이드 (34) 및 하측 다이스 가이드 (36) 가 배치되고, 상측 다이스 가이드 (34) 와 하측 다이스 가이드 (36) 사이에 가공 대상물이 형성된다. 상측 다이스 가이드 (34), 하측 다이스 가이드 (36), 및, 가공 대상물은, 가공조 (46) 에 모인 가공액에 침지되어 있다.
상측 다이스 가이드 (34) 는, 와이어 전극 (12) 을 지지하는 지지부 (34a) 를 갖고, 하측 다이스 가이드 (36) 는, 와이어 전극 (12) 을 지지하는 지지부 (36a) 를 갖는다. 또, 하측 다이스 가이드 (36) 는, 가이드 롤러 (36b) 를 구비한다. 가이드 롤러 (36b) 는, 와이어 전극 (12) 의 방향을 바꾸어 핀치 롤러 (38) 및 피드 롤러 (40) 에 와이어 전극 (12) 을 안내한다.
또한, 상측 다이스 가이드 (34) 는, 슬러지 (가공 부스러기) 를 포함하지 않는 청결한 가공액을, 와이어 전극 (12) 과 가공 대상물의 극 사이를 향하여 분출한다. 이로써, 가공에 적합한 청결한 액체로 극 사이를 채울 수 있어, 가공에 따라 발생한 슬러지에 의해 가공 정밀도가 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또, 하측 다이스 가이드 (36) 도, 슬러지 (가공 부스러기) 를 포함하지 않는 청결한 가공액을 극 사이를 향하여 분출해도 된다.
가공액 처리 장치 (16) 는, 가공조 (46) 에 발생한 슬러지를 제거함과 함께, 전기 저항률, 온도 등을 조정함으로써 가공액의 액질을 관리하는 장치이다. 이 가공액 처리 장치 (16) 에 의해 액질이 관리된 가공액은, 가공조 (46) 에 다시 되돌려짐과 함께, 적어도 상측 다이스 가이드 (34) 로부터 분출된다.
도 2 는, 가공액 처리 장치 (16) 의 일부의 구성을 나타내는 개략도이다. 가공액 처리 장치 (16) 는, 저류조 (50) 와, 펌프 (52) 와, 도입 배관 (54) 과, 도출액 저류조 (56) 와, 도출 배관 (58) 을 갖는다.
저류조 (50) 는, 펌프 (52) 가 공급하는 액체를 저류한다. 저류조 (50) 는, 슬러지가 포함되는 가공액 (오수) 을 저류하는 오수조여도 된다. 또, 저류조 (50) 는, 오수조로부터, 슬러지를 제거하는 필터를 경유한 가공액 (청수) 을 저류하는 청수조여도 된다.
펌프 (52) 는, 저류조 (50) 에 저류되는 액체를 퍼내고, 퍼낸 액체를 하류측에 공급한다. 펌프 (52) 는, 제어 장치 (18) 의 제어에 따라 구동된다. 제어 장치 (18) 는, 예를 들어, 가공의 개시 지령을 받고 나서, 가공조 (46) 에 저류되는 액체의 수면의 높이가 미리 설정되는 설정값이 된 것이 센서로 검지될 때까지 펌프 (52) 를 구동시킨다.
도입 배관 (54) 은, 펌프 (52) 에 의해 공급되는 액체를 가공조 (46) 에 도입한다. 도입 배관 (54) 의 일단은, 펌프 (52) 의 출력단에 접속된다. 도입 배관 (54) 의 타단은, 연결 기구 (60) 에 접속된다. 연결 기구 (60) 는, 가공조 (46) 의 측벽 (46W) 을 관통하는 구멍 (46H) 과 도입 배관 (54) 을 연통한다. 이 연결 기구 (60) 는, 도입 배관 (54) 을 흐르는 액체를 저류 가능하다.
도입 배관 (54) 은, 가공조 (46) 에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높은 배관 부위 (54PT) 를 갖는다. 배관 부위 (54PT) 는, 가공조 (46) 의 상단보다 높아도 된다 (도 2 참조). 또, 배관 부위 (54PT) 는, 수평으로 배치되어도 되고 (도 2 참조), 배관 부위 (54PT) 의 적어도 일부가 경사져도 된다. 또한, 가공조 (46) 에 허용되는 수면의 높이의 최대값은, 가공조 (46) 의 용량 등에 따라 미리 정해지는 고정된 값이고, 가공조 (46) 의 상단의 높이보다 낮다. 이 최대값보다 낮은 위치에 연결 기구 (60) 가 형성된다. 또, 가공 대상물을 가공하는 경우, 가공조 (46) 에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 낮은 위치에, 상측 다이스 가이드 (34) (도 1) 가 배치된다. 상측 다이스 가이드 (34) 는, 상측 다이스 가이드 (34) 를 구동시키는 모터를 제어 장치 (18) 가 제어함으로써 이동한다.
배관 부위 (54PT) 에는, 도입 배관 (54) 의 관벽을 관통하는 관통공 (54H) 이 형성된다. 관통공 (54H) 은, 도입 배관 (54) 의 단면 중심을 지나는 가상 중심선 (LN) 보다 중력 방향 (하방향) 에 형성된다. 또한, 관통공 (54H) 의 일부가 가상 중심선 (LN) 보다 중력 방향과는 역방향 (상방향) 에 위치해도 된다. 또, 관통공 (54H) 은, 도입 배관 (54) 의 중간 위치에 형성되어도 되고, 중간 위치 이외의 위치에 형성되어도 된다 (도 2 참조).
관통공 (54H) 의 단면적은, 배관 부위 (54PT) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적과 동일해도 되고, 상이해도 된다. 관통공 (54H) 의 단면적이 배관 부위 (54PT) 의 유로의 단면적과 상이한 경우, 관통공 (54H) 의 단면적은, 배관 부위 (54PT) 의 유로의 단면적보다 작은 것이 바람직하다.
도출액 저류조 (56) 는, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체를 저류한다. 도출액 저류조 (56) 는, 가공조 (46) 보다 중력 방향 (하방향) 에 형성되어도 되고 (도 2 참조), 가공조 (46) 가 설치되는 설치면과 동일한 면 상에 형성되어도 된다. 또, 도출액 저류조 (56) 는, 저류조 (50) 가 설치되는 설치면과 동일한 면 상에 형성되어도 되고 (도 2 참조), 당해 설치면과는 상이한 면 상에 형성되어도 된다.
도출액 저류조 (56) 는, 연결관 (62) 을 통하여 저류조 (50) 와 연통된다. 연결관 (62) 은, 도출액 저류조 (56) 와 저류조 (50) 를 연결하는 관이고, 연결관 (62) 에는, 밸브 (64) 가 형성된다. 밸브 (64) 는, 제어 장치 (18) 의 제어에 따라 개폐된다. 제어 장치 (18) 는, 예를 들어, 저류조 (50) 의 액체의 저류량이 기정량 (旣定量) 이하가 된 것이 센서로 검지됐을 때부터 소정의 시간을 경과할 때까지 밸브 (64) 를 연다.
도출 배관 (58) 은, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체를 도출액 저류조 (56) 에 유도한다. 도출 배관 (58) 은, 중력 방향 (하방향) 을 따라 연장되어 있다. 도출 배관 (58) 의 일단은, 도입 배관 (54) 에 접속된다. 도출 배관 (58) 의 타단은, 도출액 저류조 (56) 의 조 내를 향하여 개구된다.
도출 배관 (58) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적은, 도입 배관 (54) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적과 동일해도 되고, 상이해도 된다. 도출 배관 (58) 의 유로의 단면적이 도입 배관 (54) 의 유로의 단면적과 상이한 경우, 도출 배관 (58) 의 유로의 단면적은, 도입 배관 (54) 의 유로의 단면적보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 도입 배관 (54) 에 형성되는 관통공 (54H) 의 단면적이 배관 부위 (54PT) 의 유로의 단면적보다 작은 경우, 도출 배관 (58) 의 유로의 단면적은, 도입 배관 (54) 의 유로의 단면적보다 커도 된다.
도 3 은, 가공조 (46) 에 액체가 공급되는 모습을 나타내는 도면이다. 저류조 (50) 에 저류되는 액체는, 펌프 (52) 에 의해 도입 배관 (54) 에 공급되면, 펌프 (52) 의 하류측을 향하여 흐른다.
도입 배관 (54) 을 흐르는 액체의 일부는, 배관 부위 (54PT) 에 형성된 관통공 (54H) 으로부터 도출 배관 (58) 에 흐른다. 도출 배관 (58) 에 흐르지 않는 액체는, 연결 기구 (60) 를 통하여 가공조 (46) 의 측벽 (46W) 에 형성되는 구멍 (46H) 으로부터 조 내에 유입된다. 한편, 도출 배관 (58) 에 흐른 액체는, 도출액 저류조 (56) 의 조 내에 유입된다. 또한, 도출액 저류조 (56) 의 조 내에 유입된 액체는, 제어 장치 (18) 에 의해 밸브 (64) 가 열렸을 때에, 연결관 (62) 을 통하여 저류조 (50) 에 되돌려진다.
본 실시형태에서는, 도입 배관 (54) 의 배관 부위 (54PT) 는, 가공조 (46) 에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높다. 이 때문에, 펌프 (52) 가 정지하면, 배관 부위 (54PT) 의 유로 (공동 부분) 를 채우는 액체는, 관통공 (54H) 으로부터 자중으로 낙하한다. 그 결과, 배관 부위 (54PT) 의 유로에는 공기가 모인다 (도 2 참조). 따라서, 배관 부위 (54PT) 의 유로에 모이는 공기로 가공조 (46) 로부터의 역류를 억제할 수 있다. 이렇게 하여, 본 실시형태에 의하면, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조 (46) 로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있다.
또한, 배관 부위 (54PT) 가 가공조 (46) 의 상단보다 높은 경우에는, 배관 부위 (54PT) 가 가공조 (46) 의 상단보다 낮은 경우에 비해, 배관 부위 (54PT) 의 유로에 공기가 모일 때까지의 속도를 올릴 수 있다.
또, 관통공 (54H) 은, 가상 중심선 (LN) 보다 중력 방향에 형성되는 경우에는, 펌프 (52) 의 정지시에 배관 부위 (54PT) 의 유로 (공동 부분) 를 채우는 액체를, 그 액체의 자중으로 효율적으로 관통공 (54H) 으로부터 유출시킬 수 있다.
또, 관통공 (54H) 의 단면적이 배관 부위 (54PT) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적보다 작은 경우에는, 배관 부위 (54PT) 를 통하여 가공조 (46) 를 향하여 흐르는 액체가, 관통공 (54H) 으로부터 유출되기 어렵다. 요컨대, 저류조 (50) 로부터 가공조 (46) 에 액체를 공급하고 있는 경우에, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체량을 저감시킬 수 있다.
본 실시형태에서는, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체를 저류하는 도출액 저류조 (56) 가 구비된다. 이로써, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체가 외부로 비산되는 것이 도출액 저류조 (56) 의 벽부에 의해 저감된다. 따라서, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체가 의도치 않은 주위로 흘러나오는 것을 억제할 수 있다. 또한, 도출액 저류조 (56) 는 구비되어 있지 않아도 된다.
또, 본 실시형태에서는, 도출액 저류조 (56) 와, 펌프 (52) 가 공급하는 액체를 저류하는 저류조 (50) 가 연결관 (62) 에 의해 연결된다. 이로써, 도출액 저류조 (56) 에 저류하는 액체를 저류조 (50) 에 되돌릴 수 있어, 가공조 (46) 에 공급하는 액체의 낭비를 삭감할 수 있다. 또한, 연결관 (62) 은 구비되어 있지 않아도 된다. 연결관 (62) 이 구비되어 있지 않은 경우에는, 연결관 (62) 에 형성되는 밸브 (64) 도 구비되지 않는다.
또, 본 실시형태에서는, 도입 배관 (54) 에 접속되고, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체를 도출액 저류조 (56) 에 유도하는 도출 배관 (58) 이 구비된다. 이로써, 도출 배관 (58) 이 구비되어 있지 않은 경우에 비해, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체가 비산되는 것을 저감시킬 수 있다. 도출 배관 (58) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적이, 도입 배관 (54) 의 유로 (공동 부분) 의 단면적보다 작은 경우에는, 배관 부위 (54PT) 를 통하여 가공조 (46) 를 향하여 흐르는 액체가, 관통공 (54H) 으로부터 유출되기 어렵다. 요컨대, 저류조 (50) 로부터 가공조 (46) 에 액체를 공급하고 있는 경우에, 관통공 (54H) 으로부터 유출되는 액체량을 저감시킬 수 있다. 또한, 도출 배관 (58) 은 구비되어 있지 않아도 된다.
[변형예]
상기의 실시형태는, 하기와 같이 변형해도 된다.
방전 가공기 (10) 는, 실시형태에서는, 와이어 전극 (12) 과 가공 대상물의 극 사이에 발생하는 방전에 의해 가공 대상물을 가공하는 와이어 방전 가공기였다. 그러나, 방전 가공기 (10) 는, 형 조각용의 전극과 가공 대상물의 극 사이에 발생하는 방전에 의해 가공 대상물을 가공하는 형 조각 방전 가공기여도 된다. 또한, 방전 가공기 (10) 가 형 조각 방전 가공기인 경우, 공급 계통 (20) 및 회수 계통 (22) 은 구비되지 않는다. 이 경우, 가공조 (46) 의 조 내에는, 가공 대상물을 고정시키는 테이블과, 형 조각용의 전극이 배치된다. 또, 테이블과 형 조각용의 전극을 상대 이동시키는 액추에이터가 형성되고, 그 액추에이터가 제어 장치 (18) 에 의해 제어된다.
[실시형태 및 변형예로부터 파악할 수 있는 발명]
이하는, 상기의 실시형태 및 변형예로부터 파악할 수 있는 발명에 대해 기재한다.
본 발명은, 가공조 (46) 에 모이는 액체 중에서 가공 대상물을 방전 가공하는 방전 가공기 (10) 로서, 액체를 공급하는 펌프 (52) 와, 펌프에 의해 공급되는 액체를 가공조에 도입하는 도입 배관 (54) 과, 도입 배관의 관벽을 관통하는 관통공 (54H) 을 구비하고, 도입 배관은, 가공조에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높은 배관 부위 (54PT) 를 갖고, 관통공은, 배관 부위에 형성된다.
이로써, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있다. 즉, 도입 배관의 배관 부위가 가공조에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높다. 이 때문에, 펌프의 정지시에 배관 부위의 유로를 채우는 액체는, 관통공으로부터 자중으로 낙하하고, 배관 부위의 유로에는 공기가 모인다. 따라서, 배관 부위의 유로에 모이는 공기로 가공조로부터의 역류를 억제할 수 있다. 이렇게 하여, 역지 밸브를 형성하지 않고 가공조로부터의 액체의 역류를 억제할 수 있다.
배관 부위는, 가공조의 상단보다 높아도 된다. 이로써, 배관 부위가 가공조의 상단보다 낮은 경우에 비해, 배관 부위의 유로에 공기가 모일 때까지의 속도를 올릴 수 있다.
관통공은, 도입 배관의 단면 중심을 지나는 가상 중심선 (LN) 보다 중력 방향에 형성되어도 된다. 이로써, 펌프의 정지시에 배관 부위의 유로를 채우는 액체를, 그 액체의 자중으로 효율적으로 관통공으로부터 도출시킬 수 있다.
관통공의 단면적은, 배관 부위의 유로의 단면적보다 작아도 된다. 이로써, 배관 부위를 통하여 가공조에 액체를 흐르게 하고 있을 때에, 관통공으로부터 분류 (分流) 되는 액체량을 저감시킬 수 있다.
방전 가공기는, 관통공으로부터 도출되는 액체를 저류하는 도출액 저류조 (56) 를 구비해도 된다. 이로써, 관통공으로부터 도출되는 액체가 주위로 비산되는 것을 저감시킬 수 있다.
방전 가공기는, 도입 배관에 접속되고, 관통공으로부터 도출되는 액체를 도출액 저류조에 유도하는 도출 배관 (58) 을 구비해도 된다. 이로써, 관통공으로부터 도출되는 액체가 주위로 비산되는 것을 저감시킬 수 있다.
도출 배관의 유로의 단면적은, 도입 배관의 유로의 단면적보다 작아도 된다. 이로써, 배관 부위를 통하여 가공조에 액체를 흐르게 하고 있을 때에, 관통공으로부터 분류되는 액체량을 저감시킬 수 있다.
방전 가공기는, 펌프가 공급하는 액체를 저류하는 저류조 (50) 와, 도출액 저류조와 저류조를 연결하는 연결관 (62) 을 구비해도 된다. 이로써, 도출액 저류조에 저류하는 액체를 저류조에 되돌릴 수 있어, 가공조에 공급하는 액체의 낭비를 삭감할 수 있다.
Claims (8)
- 가공조 (46) 에 모이는 액체 중에서 가공 대상물을 방전 가공하는 방전 가공기 (10) 로서,
상기 액체를 공급하는 펌프 (52) 와,
상기 펌프에 의해 공급되는 상기 액체를 상기 가공조에 도입하는 도입 배관 (54) 과,
상기 도입 배관의 관벽을 관통하는 관통공 (54H) 을 구비하고,
상기 도입 배관은, 상기 가공조에 허용되는 수면의 높이의 최대값보다 높은 배관 부위 (54PT) 를 갖고,
상기 관통공은, 상기 배관 부위에 형성되는, 방전 가공기. - 제 1 항에 있어서,
상기 배관 부위는, 상기 가공조의 상단보다 높은, 방전 가공기. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 관통공은, 상기 도입 배관의 단면 중심을 지나는 가상 중심선 (LN) 보다 중력 방향에 형성되는, 방전 가공기. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 관통공의 단면적은, 상기 배관 부위의 유로의 단면적보다 작은, 방전 가공기. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 관통공으로부터 도출되는 상기 액체를 저류하는 도출액 저류조 (56) 를 구비하는, 방전 가공기. - 제 5 항에 있어서,
상기 도입 배관에 접속되고, 상기 관통공으로부터 도출되는 상기 액체를 상기 도출액 저류조에 유도하는 도출 배관 (58) 을 구비하는, 방전 가공기. - 제 6 항에 있어서,
상기 도출 배관의 유로의 단면적은, 상기 도입 배관의 유로의 단면적보다 작은, 방전 가공기. - 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 펌프가 공급하는 상기 액체를 저류하는 저류조 (50) 와, 상기 도출액 저류조와 상기 저류조를 연결하는 연결관 (62) 을 구비하는, 방전 가공기.
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