KR20230068631A - Gate valve apparatus - Google Patents

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KR20230068631A
KR20230068631A KR1020210154621A KR20210154621A KR20230068631A KR 20230068631 A KR20230068631 A KR 20230068631A KR 1020210154621 A KR1020210154621 A KR 1020210154621A KR 20210154621 A KR20210154621 A KR 20210154621A KR 20230068631 A KR20230068631 A KR 20230068631A
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이희장
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씰링크 주식회사
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Abstract

A gate valve device is disclosed. According to an embodiment of the present invention, the gate valve device mounted on a process chamber to open and close the gate of the process chamber for processing a semiconductor substrate includes: a valve chamber having a side wall provided with an entrance corresponding to the gate; a valve movable to close or open the entrance; and a linear motion sealing device mounted on the valve chamber while moving the valve.

Description

게이트 밸브 장치{GATE VALVE APPARATUS}Gate valve device {GATE VALVE APPARATUS}

본 발명은 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 벨로우즈를 필요로 하지 않으면서도, 샤프트와 하우징 사이의 유체가 누설되는 것을 방지하는 직선운동 밀폐장치를 구비하는 게이트 밸브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve device, and relates to a gate valve device having a linear motion sealing device that prevents leakage of fluid between a shaft and a housing without requiring a bellows.

반도체 장치의 제조 공정에 있어서는, 진공도가 서로 다른 압력 상태의 공정 챔버 간에 반도체 기판을 반송한다. 이러한 기판의 반송 과정은, 각각의 공정 챔버의 압력차를 조절한 후에 각각의 공정 챔버에 마련된 게이트를 통해서 이루어진다. 이러한 기판의 반송 과정에 있어서, 상기 게이트를 개폐하기 위하여, 게이트 밸브 장치가 마련된다. 일반적으로 게이트 밸브 장치는, 기판을 처리하는 공정 챔버와, 기판의 반입 반출을 수행하는 트랜스퍼 챔버 사이에 마련된다. In a manufacturing process of a semiconductor device, a semiconductor substrate is transported between process chambers under pressures of different degrees of vacuum. Such a process of transporting the substrate is performed through gates provided in each process chamber after adjusting the pressure difference in each process chamber. In this process of transporting the substrate, a gate valve device is provided to open and close the gate. In general, a gate valve device is provided between a process chamber for processing substrates and a transfer chamber for loading and unloading of substrates.

종래의 게이트 밸브 장치에서는, 각각의 공정 챔버와 게이트 밸브 장치 사이에 하나의 시일 부재가 게이트를 둘러싸도록 마련된다. 또한, 게이트 밸브를 수직으로 승강 및 하강시키기 위하여 벨로우즈가 사용된다. In a conventional gate valve device, one sealing member is provided between each process chamber and the gate valve device to enclose the gate. Bellows are also used to vertically raise and lower the gate valve.

벨로우즈는 승하강의 직선 운동시 기밀을 유지시키기 위한 것으로서, 복수의 금속판을 용접하여 형성된 주름관이다. 그러나 벨로우즈는 용접에 의해 제작되기 때문에 장시간 사용시 크랙이 발생하여 기밀을 유지할 수 없게 된다. 벨로우즈에 크랙이 발생하게 되면, 파티클의 발생으로 챔버 내에 오염이 발생할 수 있는 문제가 있다.The bellows is a corrugated pipe formed by welding a plurality of metal plates to maintain airtightness during linear movement of elevation and descent. However, since the bellows are manufactured by welding, cracks occur when used for a long time, making it impossible to maintain airtightness. If a crack occurs in the bellows, there is a problem that contamination may occur in the chamber due to the generation of particles.

특허공개번호 제2011-0004049호(2011.01.13)Patent Publication No. 2011-0004049 (2011.01.13)

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 벨로우즈와 승하강 로드를 별도로 필요로 하지 않아 구조를 매우 간결하게 할 수 있으면서, 밀폐기능과 승하강 기능이 통합된 직선운동 밀폐장치와 이를 이용하는 게이트 밸브 장치를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above-described problems, and does not require a bellows and a lifting rod separately, so that the structure can be very simple, and a linear motion sealing device in which a sealing function and a lifting function are integrated and a gate valve using the same to provide the device.

또한, 별도의 윤활유의 공급이 필요치 않는 직선운동 밀폐장치와 이를 이용하는 게이트 밸브 장치를 제공하는 것이다.In addition, it is to provide a linear motion sealing device that does not require a separate supply of lubricating oil and a gate valve device using the same.

또한, 직선운동 밀폐장치의 진동을 최소화하고, 공정 챔버로부터의 파티클과 같은 이물질이 상기 직선운동 밀폐장치 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 상기 직선운동 밀폐장치로부터의 이물질이 상기 밸브 챔버로 유출되는 것을 방지하는 직선운동 밀폐장치와 이를 이용하는 게이트 밸브 장치를 제공하는 것이다.In addition, it is possible to minimize vibration of the linear motion sealing device, prevent foreign substances such as particles from the process chamber from entering the linear motion sealing device, and foreign substances from the linear motion sealing device to flow into the valve chamber. It is to provide a linear motion sealing device and a gate valve device using the linear motion sealing device to prevent this from happening.

실시예들에서 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The tasks to be solved in the embodiments are not limited to the tasks mentioned above, and other tasks not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 반도체 기판을 처리하는 공정 챔버의 게이트를 개폐하도록 상기 공정 챔버에 장착되는 게이트 밸브 장치로서, 상기 게이트에 대응하는 출입구가 마련된 측벽을 가지는 밸브 챔버; 상기 출입구를 밀폐 또는 개방하도록 이동가능한 밸브; 및 상기 밸브를 이동시키면서 상기 밸브 챔버에 장착되는 직선운동 밀폐장치;를 포함하고, 상기 직선운동 밀폐장치는, 상기 밸브 챔버에 연결되는 중공의 하우징; 상기 하우징 내에 수용되고, 일단이 상기 밸브 챔버의 벽체를 관통하여 상기 밸브에 연결되고 상기 하우징에 대하여 직선운동을 하는 샤프트; 및 상기 하우징과 상기 샤프트 사이의 간극을 밀봉하도록 상기 하우징 내에 배치되되 상기 샤프트가 상기 하우징 내에서 직선운동 시에도 밀봉을 수행하는 복수의 씰을 구비하는 씰링부;를 포함할 수 있다.A gate valve device according to an embodiment of the present invention is a gate valve device mounted in a process chamber to open and close a gate of a process chamber processing a semiconductor substrate, comprising: a valve chamber having a sidewall with an entrance corresponding to the gate; a valve movable to close or open the entrance; and a linear motion sealing device mounted on the valve chamber while moving the valve, wherein the linear motion sealing device includes: a hollow housing connected to the valve chamber; a shaft accommodated in the housing, having one end connected to the valve through a wall of the valve chamber, and linearly moving with respect to the housing; and a sealing unit disposed in the housing to seal a gap between the housing and the shaft and having a plurality of seals performing sealing even when the shaft moves linearly within the housing.

또한, 상기 샤프트의 타단에 장착되어 상기 샤프트를 이동시키는 엘리베이터부;를 더 포함할 수 있다.In addition, an elevator unit mounted on the other end of the shaft to move the shaft; may further include.

또한, 상기 씰링부는, 상기 챔버의 기밀을 유지하기 위한 하나 이상의 밀폐씰; 및 상기 샤프트를 지지하고 진동을 억제하는 하나 이상의 탄성씰;을 포함하고, 상기 밀폐씰과 상기 탄성씰은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 탄성씰은 상기 밀폐씰보다 탄성력이 클 수 있다.In addition, the sealing unit, at least one hermetic seal for maintaining the airtightness of the chamber; and one or more elastic seals supporting the shaft and suppressing vibration, wherein the airtight seal and the elastic seal are formed of a plastic material, and the elastic seal may have greater elasticity than the airtight seal.

또한, 상기 밀폐씰은 환형 씰링의 내주연에 만곡진 립이 형성된 립씰이고, 상기 탄성씰은 씰바디 내부에 탄성부재가 삽입될 수 있다.In addition, the airtight seal is a lip seal in which a curved lip is formed on an inner periphery of an annular seal, and an elastic member may be inserted into the seal body of the elastic seal.

또한, 상기 밀폐씰과 상기 탄성씰은 직렬로 서로 이웃하게 배치되되, 상기 밀폐씰은 상기 밸브 챔버와 결합되는 상기 하우징의 플랜지부에 상기 탄성씰보다 가깝게 배치될 수 있다.In addition, the airtight seal and the elastic seal may be disposed adjacent to each other in series, and the airtight seal may be disposed closer than the elastic seal to a flange portion of the housing coupled to the valve chamber.

또한, 상기 샤프트 또는 상기 하우징 중 하나 이상에는 상기 샤프트의 진동을 측정하기 위한 진동센서가 마련될 수 있다.In addition, at least one of the shaft and the housing may be provided with a vibration sensor for measuring vibration of the shaft.

또한, 상기 밸브에는 상기 밸브 챔버의 벽체와의 간극을 밀봉하기 위한 밸브씰이 마련될 수 있다.In addition, a valve seal for sealing a gap with a wall of the valve chamber may be provided in the valve.

또한, 상기 밸브씰은, 씰바디 내부에 탄성부재가 삽입될 수 있다.In addition, in the valve seal, an elastic member may be inserted into the seal body.

또한, 상기 밸브의 이동 시, 상기 게이트와 상기 밸브씰의 충돌에 의해 상기 밸브씰이 파손되는 것을 방지하도록, 상기 밸브 챔버의 벽체에는 경사부가 마련되고, 상기 밸브는 상기 경사부로부터 진입하여 상기 게이트를 밀폐하는 위치로 이동할 수 있다.In addition, in order to prevent the valve seal from being damaged due to collision between the gate and the valve seal when the valve moves, an inclined portion is provided on the wall of the valve chamber, and the valve enters from the inclined portion to prevent the valve seal from being damaged. can be moved to a position where the

또한, 상기 하우징은 상기 밸브 챔버의 하부에 경사지게 장착되고, 상기 샤프트는 상기 하우징 내에서 상기 밸브 챔버에 대해 경사지게 직선운동하여, 상기 밸브가 상기 게이트에 대해 소정의 각도로 비스듬하게 접근할 수 있다.In addition, the housing is mounted obliquely to the lower portion of the valve chamber, and the shaft linearly moves obliquely with respect to the valve chamber within the housing, so that the valve can obliquely approach the gate at a predetermined angle.

본 발명의 일 실시예에 따른, 게이트 밸브 장치는, 반도체 기판을 처리하는 공정 챔버의 게이트를 개폐하도록 상기 공정 챔버에 장착되는 게이트 밸브 장치로서, 상기 게이트에 대응하는 출입구가 마련된 측벽을 가지는 밸브 챔버; 상기 출입구를 밀폐 또는 개방하도록 이동가능한 밸브; 및 상기 밸브를 이동시키면서 상기 밸브 챔버에 장착되는 직선운동 밀폐장치;를 포함하고, 상기 직선운동 밀폐장치는, 상기 밸브 챔버의 하부 개구부에 연결되는 액추에이터 챔버; 상기 밸브 챔버의 하부 개구부를 덮으며 수평이동 가능하게 설치되는 커버: 상기 커버와 연결되는 중공의 하우징; 상기 하우징 내에 수용되고, 일단이 상기 커버를 관통하여 상기 밸브에 연결되고 상기 하우징에 대하여 직선운동을 하는 샤프트; 상기 커버가 수평이동시에도 상기 커버와 상기 밸브 챔버 사이를 밀봉하는 제1 씰링부; 및 상기 하우징과 상기 샤프트 사이의 간극을 밀봉하도록 상기 하우징 내에 배치되되 상기 샤프트가 상기 하우징 내에서 직선운동 시에도 밀봉을 수행하는 복수의 씰을 구비하는 제2 씰링부;를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a gate valve device is mounted in a process chamber to open and close a gate of a process chamber processing a semiconductor substrate, and has a sidewall provided with an entrance corresponding to the gate. ; a valve movable to close or open the entrance; and a linear motion sealing device mounted on the valve chamber while moving the valve, wherein the linear motion sealing device includes: an actuator chamber connected to a lower opening of the valve chamber; A cover that covers the lower opening of the valve chamber and is installed to be horizontally movable: a hollow housing connected to the cover; a shaft accommodated in the housing, having one end connected to the valve through the cover, and linearly moving with respect to the housing; a first sealing part for sealing between the cover and the valve chamber even when the cover moves horizontally; and a second sealing unit disposed in the housing to seal a gap between the housing and the shaft and including a plurality of seals that perform sealing even when the shaft moves linearly within the housing.

또한, 상기 액추에이터 챔버 상부와 상기 밸브 챔버의 하부에는 서로 대응하는 기다란 형상의 개구부가 마련되고, 상기 제1 씰링부는 상기 개구부의 대응하는 위치의 커버에 마련되는 플라스틱 재질의 씰일 수 있다.In addition, elongated openings corresponding to each other may be provided in the upper part of the actuator chamber and the lower part of the valve chamber, and the first sealing part may be a plastic seal provided on a cover at a position corresponding to the opening.

본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에 따르면, 벨로우즈와 승하강 로드를 별도로 필요로 하지 않아 구조를 매우 간결하고 단순하게 할 수 있으면서도, 밀폐기능과 승하강 기능을 제공할 수 있다. According to the gate valve device according to an embodiment of the present invention, the bellows and the elevating rod are not separately required, so the structure can be very simple and simple, and the sealing function and the elevating function can be provided.

또한, 씰링부가 선접촉을 함으로써 마찰력을 최소화할 수 있어 별도의 윤활유의 공급이 필요치 않아 구조를 매우 간결하고 단순하게 할 수 있다.In addition, since the sealing part makes linear contact, frictional force can be minimized, so that a separate supply of lubricating oil is not required, so the structure can be very concise and simple.

또한, 직선운동 밀폐장치의 진동을 최소화하고, 밸브 챔버로부터의 파티클과 같은 이물질이 상기 직선운동 밀폐장치 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 상기 직선운동 밀폐장치로부터의 이물질이 상기 밸브 챔버로 유출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to minimize vibration of the linear motion sealing device, prevent foreign substances such as particles from the valve chamber from flowing into the linear motion sealing device, and foreign substances from the linear motion sealing device to flow into the valve chamber. can prevent it from happening.

또한, 게이트에 경사부를 마련하여, 게이트와 게이트 밸브의 접촉시 밸브씰이 파손되는 것을 방지할 수 있다.In addition, by providing an inclined portion on the gate, it is possible to prevent damage to the valve seal upon contact between the gate and the gate valve.

본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에 따르면, 수직이동이 아닌 수평이동 방식으로도 게이트 밸브를 개방하거나 밀폐하는 동시에 밸브 챔버의 기밀을 유지할 수 있다.According to the gate valve device according to an embodiment of the present invention, it is possible to open or close the gate valve and simultaneously maintain airtightness of the valve chamber even in a horizontal movement method instead of a vertical movement method.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치가 게이트를 폐쇄한 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 게이트 밸브 장치가 게이트 밸브를 개방한 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 밸브씰을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 직선운동 밀폐장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 씰링부의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 씰링부의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치가 게이트를 개방한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 8의 게이트 밸브 장치가 게이트를 폐쇄한 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 8에서 커버와 제1 씰링부를 상세히 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state in which a gate valve device according to an embodiment of the present invention closes a gate.
2 is a view showing a state in which the gate valve device of FIG. 1 opens the gate valve.
3 is a view showing a valve seal used in the gate valve device according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a linear motion sealing device used in a gate valve device according to an embodiment of the present invention.
5 is a view schematically showing the structure of a sealing unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a view schematically showing the structure of a sealing unit according to another embodiment of the present invention.
7 is a view showing a gate valve device according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing a state in which the gate valve device according to another embodiment of the present invention opens the gate.
9 is a view showing a state in which the gate valve device of FIG. 8 closes the gate.
10 is a view showing the cover and the first sealing portion in FIG. 8 in detail.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예가 상세하게 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고, 도면에서 본 발명의 실시예를 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In addition, in order to clearly describe the embodiment of the present invention in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted.

본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것이 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.Terms used in this specification are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Singular expressions may include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 명세서에서, "포함하다", "가지다" 또는 "구비하다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것으로서, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해될 수 있다.In this specification, terms such as "include", "have" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, and one Or it may be understood that it does not exclude in advance the possibility of the existence or addition of other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

또한, 이하의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되는 것으로서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.In addition, the following embodiments are provided to more clearly explain to those with average knowledge in the art, and the shapes and sizes of elements in the drawings may be exaggerated for clearer explanation.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치가 게이트를 폐쇄한 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 게이트 밸브 장치가 게이트 밸브를 개방한 상태를 나타내는 도면이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 밸브씰을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 직선운동 밀폐장치를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state in which the gate valve device according to an embodiment of the present invention closes the gate, and FIG. 2 is a view showing a state in which the gate valve device of FIG. 1 opens the gate valve. 3 is a view showing a valve seal used in a gate valve device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a view showing a linear motion sealing device used in a gate valve device according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100)는 반도체 기판을 처리하는 공정 챔버(10)의 게이트(12)를 개폐하도록 공정 챔버(10)에 장착될 수 있다. 게이트 밸브 장치(100)는, 밸브 챔버(110), 밸브(120), 및 직선운동 밀폐장치(200)를 포함할 수 있다. 여기서, 공정 챔버(10)는 반도체 기판 등이 처리되는 챔버로서, 공정 챔버(10)의 게이트(12)와 밸브 챔버(110)의 출입구(112) 사이의 밀봉을 수행하기 위하여, 공정 챔버(10)의 게이트(12)와 밸브 챔버(110)의 출입구(112) 주변에는 밀봉부재(14)가 마련될 수 있다.1 to 4 , a gate valve device 100 according to an embodiment of the present invention is installed in a process chamber 10 to open and close a gate 12 of the process chamber 10 processing a semiconductor substrate. can The gate valve device 100 may include a valve chamber 110 , a valve 120 , and a linear motion sealing device 200 . Here, the process chamber 10 is a chamber in which a semiconductor substrate is processed, and to perform sealing between the gate 12 of the process chamber 10 and the entrance 112 of the valve chamber 110, the process chamber 10 A sealing member 14 may be provided around the gate 12 of and the entrance 112 of the valve chamber 110.

밸브 챔버(110)는 게이트(12)에 대응하는 출입구(112)가 마련된 측벽을 가질 수 있다. 밸브(120)는 측벽의 출입구(112)를 밀폐 또는 개방하도록 상하로 이동할 수 있다. 직선운동 밀폐장치(200)는 밸브 챔버(110)의 하부에 장착되어, 밸브(120)를 상하로 이동시킬 수 있도록 마련될 수 있다.The valve chamber 110 may have a side wall provided with an entrance 112 corresponding to the gate 12 . The valve 120 can move up and down to close or open the port 112 on the side wall. The linear motion sealing device 200 may be provided to be mounted on the lower part of the valve chamber 110 to move the valve 120 up and down.

도 4를 참조하면, 직선운동 밀폐장치(200)는, 밸브 챔버(110)에 연결되는 중공의 하우징(260)과, 하우징(260)에 대하여 직선운동을 하는 샤프트(220)와, 씰링부(240)를 구비할 수 있다.Referring to FIG. 4, the linear motion sealing device 200 includes a hollow housing 260 connected to the valve chamber 110, a shaft 220 linearly moving with respect to the housing 260, and a sealing part ( 240) may be provided.

샤프트(220)는, 하우징(260) 내에 수용되고, 일단이 밸브 챔버(110)의 벽체를 관통하여 밸브(120)에 연결되고 하우징(260)에 대하여 직선운동을 할 수 있다. The shaft 220 is accommodated in the housing 260, one end penetrates the wall of the valve chamber 110, is connected to the valve 120, and can perform linear motion with respect to the housing 260.

씰링부(240)는, 하우징(260)과 샤프트(220) 사이의 간극을 밀봉하기 위해 마련된 것으로, 하우징(260) 내에 배치되되 샤프트(220)가 하우징(260) 내에서 직선운동하는 동안에도 밀봉을 수행할 수 있는 복수의 씰(242, 246)을 구비한다.The sealing part 240 is provided to seal the gap between the housing 260 and the shaft 220, and is disposed in the housing 260, and the shaft 220 is sealed even while linearly moving within the housing 260. It is provided with a plurality of seals (242, 246) capable of performing.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100)는 엘리베이터부(300)를 더 포함할 수 있다. 엘리베이터부(300)는 샤프트(220)의 타단에 장착되어 샤프트(220)를 상하로 이동시킬 수 있다. 엘리베이터부(300)에 의해 샤프트(220)가 상하로 이동함에 따라, 샤프트(220)에 연결된 밸브(120)가 이동되어 공정 챔버(10)의 게이트(12)를 개폐할 수 있다. 엘리베이터부(300)는 베이스판(330), 로드(320) 및 승강모터(310)를 포함할 수 있다. 베이스판(330)은 로드(320)에 연결되고, 로드(320)는 승강모터(310)에 장착될 수 있다. 승강모터(310)가 동작하면, 로드(320)의 회전에 따라 베이스판(330)이 승하강할 수 있다. 샤프트(220)의 타단은 베이스판(330)과 연결되므로, 베이스판(330)의 승하강에 따라 샤프트(220)도 승하강할 수 있다Meanwhile, the gate valve device 100 according to an embodiment of the present invention may further include an elevator unit 300. The elevator unit 300 is mounted on the other end of the shaft 220 to move the shaft 220 up and down. As the shaft 220 moves up and down by the elevator unit 300 , the valve 120 connected to the shaft 220 moves to open and close the gate 12 of the process chamber 10 . The elevator unit 300 may include a base plate 330 , a rod 320 and a lifting motor 310 . The base plate 330 is connected to the rod 320, and the rod 320 may be mounted on the lifting motor 310. When the lifting motor 310 operates, the base plate 330 may move up and down according to the rotation of the rod 320 . Since the other end of the shaft 220 is connected to the base plate 330, the shaft 220 can also move up and down as the base plate 330 moves up and down.

도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100)의 밸브(120)에는 밸브 챔버(110)의 벽체와의 간극을 밀봉하도록 출입구(112)의 둘레 형상에 대응하는 밸브씰(130)이 마련될 수 있다. 일례로, 밸브씰(130)은, 씰바디(132) 내부에 탄성부재(134)가 삽입될 수 있다.3, the valve 120 of the gate valve device 100 according to an embodiment of the present invention has a valve corresponding to the circumferential shape of the entrance 112 to seal the gap with the wall of the valve chamber 110. A seal 130 may be provided. For example, in the valve seal 130, the elastic member 134 may be inserted into the seal body 132.

일 실시예에서, 밸브 챔버(110)의 벽체에는 소정의 각도(a)의 경사부(111)가 마련될 수 있다. 밸브(120)는 경사부(111)의 하단으로부터 소정의 거리(d)만큼 이격된 상태로 밸브 챔버(110)의 벽체에 대하여 상승할 수 있다. 밸브(120)는 경사부(111) 아래에서부터 진입하여 게이트(12) 및 출입구(112)를 밀폐하는 위치로 상승하며 이동할 수 있다. 이러한 구조 덕분에, 밸브(120)의 이동 시 밸브 챔버(110)의 벽체와 밸브씰(130)의 충돌에 의해 밸브씰(130)이 마모되거나 파손되는 것을 방지할 수 있다. In one embodiment, a wall of the valve chamber 110 may be provided with an inclined portion 111 having a predetermined angle (a). The valve 120 may rise with respect to the wall of the valve chamber 110 while being spaced apart from the lower end of the inclined portion 111 by a predetermined distance d. The valve 120 may enter from below the inclined portion 111 and move upward to a position where the gate 12 and the entrance 112 are closed. Thanks to this structure, it is possible to prevent the valve seal 130 from being worn or damaged due to collision between the wall of the valve chamber 110 and the valve seal 130 when the valve 120 moves.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 직선운동 밀폐장치를 나타내는 도면이다.4 is a view showing a linear motion sealing device used in a gate valve device according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에서 사용되는 직선운동 밀폐장치는(200), 하우징(260), 샤프트(220), 부싱(230), 및 씰링부(240)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the linear motion sealing device used in the gate valve device according to an embodiment of the present invention includes a 200, a housing 260, a shaft 220, a bushing 230, and a sealing part 240. can include

하우징(260)은 밸브 챔버(110)에 일단이 장착되는 중공의 형상으로 내부에 샤프트(220)와 씰링부(240)를 수용할 수 있다. 하우징(260) 상부에는 밸브 챔버(110)의 하부에 장착되는 플랜지부(264)가 마련될 수 있다. 플랜지부(264)에는 오-링(262)이 마련되어 밸브 챔버(110)의 하부와0 플랜지부(264) 사이의 밀봉을 수행할 수 있다. 본 실시예에서, 하우징(260)에는 씰링부(240)를 냉각시키도록 씰링부(240) 둘레에 해당하는 부분에 냉각수 자켓(281)이 마련될 수 있다. 냉각수 자켓(281)은 냉각수 순환관(280)과 연통되고, 냉각수 순환관(280)은 냉각수 순환기(미도시)와 연결될 수 있다. 이에 따라. 씰링부(240)의 온도를 낮추어서 씰링부(240)에 마련된 복수의 씰(242, 246)의 수명을 연장할 수 있다.The housing 260 has a hollow shape with one end mounted to the valve chamber 110 and may accommodate the shaft 220 and the sealing portion 240 therein. A flange portion 264 mounted on a lower portion of the valve chamber 110 may be provided on the upper portion of the housing 260 . An O-ring 262 may be provided on the flange portion 264 to seal between the lower portion of the valve chamber 110 and the flange portion 264 . In this embodiment, a cooling water jacket 281 may be provided in a portion corresponding to the circumference of the sealing portion 240 in the housing 260 to cool the sealing portion 240 . The cooling water jacket 281 communicates with the cooling water circulation pipe 280, and the cooling water circulation pipe 280 may be connected to a cooling water circulator (not shown). Accordingly. The lifespan of the plurality of seals 242 and 246 provided in the sealing unit 240 may be extended by lowering the temperature of the sealing unit 240 .

샤프트(220)는 일단이 밸브 챔버(110)의 벽체를 관통하여 밸브(120)에 연결되어 밸브(120)를 승하강 시킬 수 있다. 샤프트(220)의 상단은 밸브(120)의 하부와 연결되고, 하단은 엘리베이터부(300)의 베이스판(330)에 연결될 수 있다. One end of the shaft 220 penetrates the wall of the valve chamber 110 and is connected to the valve 120 to move the valve 120 up and down. The upper end of the shaft 220 may be connected to the lower part of the valve 120, and the lower end may be connected to the base plate 330 of the elevator unit 300.

한편, 본 실시예에서. 밸브 챔버(110) 내에 남겨진 파티클 등의 이물질이 직선운동 밀폐장치(200) 내부로 유입되는 것을 방지하도록, 샤프트(220) 내에는 불활성 가스 공급로(222)가 마련될 수 있다. 불활성 가스(G)가 불활성 가스 공급로(222)를 통하여 씰링부(240)와 연통되기 때문에, 씰링부(240) 사이에 파티클 등의 이물질이 남겨진 경우에도 불활성 가스(G)를 통하여 청소할 수 있다. Meanwhile, in this embodiment. An inert gas supply passage 222 may be provided in the shaft 220 to prevent foreign substances such as particles remaining in the valve chamber 110 from being introduced into the linear motion sealing device 200 . Since the inert gas (G) communicates with the sealing portion 240 through the inert gas supply path 222, even when foreign substances such as particles are left between the sealing portion 240, it can be cleaned through the inert gas (G) .

부싱(230)은 샤프트(220)가 관통하고, 하우징(260)의 내주면에 결합되어 샤프트(220)의 직선운동시 마찰력을 감소시키기 위해 마련된 것이다. 본 실시예에서, 부싱(230)은 하우징(260)의 내측에 상부와 하부에 각각 마련될 수 있다.The bushing 230 passes through the shaft 220 and is coupled to the inner circumferential surface of the housing 260 to reduce friction during linear motion of the shaft 220 . In this embodiment, the bushing 230 may be provided on the upper and lower sides of the housing 260, respectively.

씰링부(240)는, 하우징(260)과 샤프트(220) 사이의 간극을 밀봉하기 위해 마련된 것이다. 씰링부(240)는 직선운동 밀폐장치(200)에서 발생할 수도 있는 이물질(파티클 등)이 직선운동 밀폐장치(200)의 상측에 마련된 진공의 밸브 챔버(110)로 유입되는 것을 방지하고, 밸브 챔버(110)의 내부가 진공을 유지하도록 밀봉한다. 씰링부(240)는 복수의 씰들(242, 246)이 조합되어 하우징(260) 내에 배치되되, 샤프트(220)가 하우징(260) 내에서 직선운동시에도 밀봉을 수행하는 복수의 씰(242, 246)을 구비할 수 있다. 씰링부(240)에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.The sealing part 240 is provided to seal a gap between the housing 260 and the shaft 220 . The sealing part 240 prevents foreign substances (particles, etc.) that may occur in the linear motion sealing device 200 from entering the vacuum valve chamber 110 provided on the upper side of the linear motion sealing device 200, and the valve chamber The inside of 110 is sealed to maintain a vacuum. The sealing unit 240 is disposed in the housing 260 by combining a plurality of seals 242 and 246, and seals even when the shaft 220 moves linearly within the housing 260. A plurality of seals 242, 246) may be provided. A detailed description of the sealing unit 240 will be described later.

한편, 직선운동 밀폐장치(200)는 샤프트(220)의 승하강에 따라 축선(221)의 중심의 변경 등에 따른 진동이 발생하는 경우, 샤프트(220)의 진동을 측정하기 위한 진동센서(290)가 하우징(260)의 외측에 마련될 수 있다. On the other hand, the linear motion sealing device 200 is a vibration sensor 290 for measuring the vibration of the shaft 220 when vibration occurs due to a change in the center of the axis 221 according to the elevation of the shaft 220 may be provided on the outside of the housing 260.

또한, 씰링부(240)의 밀봉 기능이 잘 유지되고 있는지를 파악하기 위하여, 하우징(260)을 관통하여 씰링부(240)와 연통하는 보조 센서(292)가 마련될 수 있다. 보조 센서(292)는 씰링부(240) 내의 온도를 측정하기 위한 온도센서, 압력을 측정하기 위한 압력센서, 씰링부(240) 내의 변형을 측정할 수 있는 변형율 센서, 씰링부(240)의 파손 여부를 촬영할 수 있는 광학센서 등일 수 있다.In addition, in order to determine whether the sealing function of the sealing unit 240 is well maintained, an auxiliary sensor 292 that communicates with the sealing unit 240 through the housing 260 may be provided. The auxiliary sensor 292 includes a temperature sensor for measuring the temperature in the sealing part 240, a pressure sensor for measuring pressure, a strain sensor for measuring deformation in the sealing part 240, and damage to the sealing part 240. It may be an optical sensor or the like capable of photographing whether or not.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 씰링부의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 씰링부의 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.5 is a view schematically showing the structure of a sealing unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a view schematically showing the structure of a sealing unit according to another embodiment of the present invention.

이하, 도 5 및 도 6을 참조하여, 상술한 직선운동 밀폐장치에 사용되는 씰링부의 구조를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 5 and 6, the structure of the sealing unit used in the above-described linear motion sealing device will be described in detail.

먼저, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 씰링부(240)는 복수의 제1 밀폐씰(242)과 복수의 탄성씰(246)을 포함할 수 있다. 제1 밀폐씰(242)은 직선운동 밀폐장치(200)의 상부에 배치되는 밸브 챔버(110)의 진공을 유지하기 위해 진공씰로서 마련된 것이고, 탄성씰(246)은 샤프트(220)를 지지하고 진동을 억제하기 위해 마련된 것이다. 제1 밀폐씰(242)과 탄성씰(246)은 모두 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. 또한, 탄성씰(246)은 제1 밀폐씰(242)보다 탄성력이 클 수 있고, 일례로 2배 이상일 수 있다.First, referring to FIG. 5 , the sealing unit 240 according to an embodiment of the present invention may include a plurality of first hermetic seals 242 and a plurality of elastic seals 246 . The first hermetic seal 242 is provided as a vacuum seal to maintain a vacuum in the valve chamber 110 disposed above the linear motion seal device 200, and the elastic seal 246 supports the shaft 220 and It is designed to suppress vibration. Both the first hermetic seal 242 and the elastic seal 246 may be formed of a plastic material. In addition, the elastic seal 246 may have greater elasticity than the first hermetic seal 242, for example, may be twice or more.

제1 밀폐씰(242)은 환형 씰링의 내주연에 만곡진 립이 형성된 플라스틱 재질의 립씰로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 진공이 형성된 영역(A)의 진공을 유지하도록, 반대방향으로 만곡진 형상을 가진다. The first hermetic seal 242 is a lip seal made of plastic having a curved lip formed on the inner periphery of the annular seal, as shown in FIG. 5, curved in the opposite direction to maintain the vacuum in the area A where the vacuum is formed. have a gin shape

탄성씰(246)은 샤프트(220)가 회전함에 진동 등에 의해 축선(221)이 변경되지 않고 일정하게 유지하도록, 샤프트(220)를 지지해주는 역할을 수행한다. 한편, 축선(221)의 변동이 발생하게 되는 경우, 샤프트(220)와 제1 밀폐씰(242) 사이가 벌어질 수 있는데, 그 사이로 이물질이 유입될 수 있는 문제가 발생한다. 본 실 시예에서는, 축선(221)의 변동이 발생하더라도, 탄성씰(246)이 마련되기 때문에, 샤프트(120)와 제1 밀폐씰(242) 사이로 유입된 이물질이 영역(B)로 진입하는 것을 차단할 수 있다. 탄성씰(246)은 일방향으로 리세스가 형성된 플라스틱 재질의 씰바디(246a)와, 씰바디(246a) 내부에 수용되어 씰바디(246a)를 샤프트(220)를 향하여 가압할 수 있는 탄성부재(246b)를 포함한다. 탄성부재(246b)는 일례로, 오링이나 사각링, 금속 스프링일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The elastic seal 246 serves to support the shaft 220 so that the axis 221 does not change and is kept constant as the shaft 220 rotates. On the other hand, when the axis 221 is fluctuated, a gap between the shaft 220 and the first hermetic seal 242 may be widened, causing a problem in which foreign substances may be introduced therebetween. In this embodiment, even if the axis line 221 fluctuates, since the elastic seal 246 is provided, foreign substances introduced between the shaft 120 and the first hermetic seal 242 are prevented from entering the region B. can block The elastic seal 246 includes a plastic seal body 246a having a recess formed in one direction, and an elastic member that is accommodated inside the seal body 246a and can press the seal body 246a toward the shaft 220 ( 246b). The elastic member 246b may be, for example, an O-ring, a square ring, or a metal spring, but is not limited thereto.

제1 밀폐씰(242)과 탄성씰(246)은 축선(221) 방향으로 직렬로 서로 이웃하게 배치되되, 도 5에서와 같이, 제1 밀폐씰(242)은 하우징(260)의 플랜지부(264)에 탄성씰(246)보다 가깝게 배치될 수 있다. 또한, 제1 밀폐씰(242)과 탄성씰(246)은 각각 복수개로 마련되어, 어느 하나의 제1 밀폐씰(242) 또는 탄성씰(246)이 파손되더라도 그 기능을 유지할 수 있다.The first hermetic seal 242 and the elastic seal 246 are disposed adjacent to each other in series in the direction of the axis 221, as shown in FIG. 5, the first hermetic seal 242 is the flange portion of the housing 260 ( 264 may be disposed closer than the elastic seal 246. In addition, each of the first hermetic seal 242 and the elastic seal 246 is provided in plurality, and even if one of the first hermetic seal 242 or the elastic seal 246 is damaged, its function can be maintained.

도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 씰링부는 도 5에 도시된 실시예와 비교할 때, 다른 형태의 제2 밀폐씰(249)이 추가되는 점만 상이하고 동일하다. 제2 밀폐씰(249)은 제1 밀폐씰(246)과는 형상이 상이한 것으로, 밸브 챔버(110) 내부가 세정 등의 이유로 가압이 되는 경우, 밸브 챔버(110)로부터 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 마련된 것이다. 즉, 제2 밀폐씰(249)은 압력씰로서 마련된다. 본 실시예에서는, 제1 밀폐씰(242)보다 앞부분, 즉 제1 밀폐씰(242)보다 플랜지부(264)에 가깝게 제2 밀폐씰(249)이 배치된다. 제2 밀폐씰(249)은 제1 밀폐씰(242)과 동일하게 환형 씰링의 내주연에 만곡진 립이 형성된 플라스틱 재질의 립씰일 수 있다. 도시된 바와 같이 영역(A)가 가압이 된 경우, 영역(A)로부터 이물질이 유입되는 것을 방지하도록, 제2 밀폐씰(249)은 영역(A)의 방향으로 만곡진 형상을 가진다. Referring to FIG. 6 , the sealing part according to another embodiment of the present invention is different and the same only in that a second hermetic seal 249 of a different type is added compared to the embodiment shown in FIG. 5 . The second hermetic seal 249 has a different shape from the first hermetic seal 246, and prevents foreign matter from entering the valve chamber 110 when the inside of the valve chamber 110 is pressurized for reasons such as cleaning. it is designed to do That is, the second hermetic seal 249 is provided as a pressure seal. In this embodiment, the front part of the first hermetic seal 242, that is, the second hermetic seal 249 is disposed closer to the flange portion 264 than the first hermetic seal 242. Like the first hermetic seal 242, the second hermetic seal 249 may be a lip seal made of plastic having a curved lip formed on the inner periphery of the annular seal. As shown, when the region A is pressurized, the second hermetic seal 249 has a curved shape in the direction of the region A so as to prevent foreign substances from entering the region A.

상술한 실시예들에 따른, 직선운동 밀폐장치와 이를 이용하는 게이트 밸브 장치에 따르면, 벨로우즈와 승하강 로드를 별도로 필요로 하지 않아 구조를 매우 간결하고 단순하게 할 수 있으면서도, 밀폐기능과 승하강 기능을 제공할 수 있다. According to the linear motion sealing device and the gate valve device using the same according to the above-described embodiments, the bellows and the elevating rod are not separately required, so the structure can be very simple and simple, while the sealing function and the elevating function are maintained. can provide

또한, 씰링부가 선접촉을 함으로써 마찰력을 최소화할 수 있어 별도의 윤활유의 공급이 필요치 않아 구조를 매우 간결하고 단순하게 할 수 있다.In addition, since the sealing part makes linear contact, frictional force can be minimized, so that a separate supply of lubricating oil is not required, so the structure can be very concise and simple.

또한, 직선운동 밀폐장치의 진동을 최소화하고, 밸브 챔버 내에서 발생한 파티클과 같은 이물질이 상기 직선운동 밀폐장치 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 상기 직선운동 밀폐장치로부터의 이물질이 상기 밸브 챔버로 유출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to minimize vibration of the linear motion sealing device, prevent foreign substances such as particles generated in the valve chamber from entering the linear motion sealing device, and foreign substances from the linear motion sealing device into the valve chamber. leakage can be prevented.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 나타내는 도면이다.7 is a view showing a gate valve device according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100a)는, 도 1에 도시된 게이트 밸브 장치(100)와 달리, 직선운동 밀폐장치(200a)가 밸브 챔버의 벽체 하부에 비스듬하게 장착된다. 구체적으로, 직선운동 밀폐장치(200a)의 하우징은 밸브 챔버의 하부에 경사지게 장착된다. 또한, 샤프트(220)는 하우징 내에서 밸브 챔버(110)에 대해 경사지게 직선운동하여, 밸브(120)가 출입구(112)에 대해 소정의 각도로 비스듬하게 접근할 수 있다. 이에 따라, 출입구(112)가 마련된 밸브 챔버(110)의 벽체와 밸브(120)에 마련된 밸브씰(130)의 마찰을 감소시킬 수 있어 밸브씰(130)이 파손되는 것을 방지하여 수명을 연장할 수 있다.Referring to FIG. 7, in the gate valve device 100a according to another embodiment of the present invention, unlike the gate valve device 100 shown in FIG. It is installed obliquely. Specifically, the housing of the linear motion sealing device 200a is inclinedly mounted on the lower part of the valve chamber. In addition, the shaft 220 linearly moves obliquely with respect to the valve chamber 110 within the housing, so that the valve 120 can obliquely approach the inlet 112 at a predetermined angle. Accordingly, friction between the wall of the valve chamber 110 provided with the entrance 112 and the valve seal 130 provided on the valve 120 can be reduced, thereby preventing the valve seal 130 from being damaged and extending its lifespan. can

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치가 게이트를 개방한 상태를 나타내는 도면이고, 도 9는 도 8의 게이트 밸브 장치가 게이트를 폐쇄한 상태를 나타내는 도면이다. 도 10은 도 8에서 커버와 제1 씰링부를 상세히 나타내는 도면이다.8 is a view showing a state in which the gate valve device according to another embodiment of the present invention opens the gate, and FIG. 9 is a view showing a state in which the gate valve device of FIG. 8 closes the gate. 10 is a view showing the cover and the first sealing portion in FIG. 8 in detail.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100b)는, 전술한 실시예들과는 달리 밸브(120)가 게이트(112)를 향하여 수평 이동하는 구조를 가진다. 본 실시예에 따른 게이트 밸브 장치(100b)는, 밸브 챔버(110), 밸브(120), 직선운동 밀폐장치(200)를 포함할 수 있다. 밸브 챔버(110)는 게이트에 대응하는 출입구(112)가 마련된 측벽을 가지고, 밸브(120)는 출입구(112)를 밀폐 또는 개방하도록 밸브 챔버(110) 내에서 수평(h) 및 수직(v)으로 이동 가능하다.8 to 10 , the gate valve device 100b according to another embodiment of the present invention has a structure in which the valve 120 moves horizontally toward the gate 112, unlike the above-described embodiments. The gate valve device 100b according to the present embodiment may include a valve chamber 110, a valve 120, and a linear motion sealing device 200. The valve chamber 110 has a side wall provided with an entrance 112 corresponding to a gate, and the valve 120 is horizontal (h) and vertical (v) within the valve chamber 110 to close or open the entrance 112. can be moved to

본 실시예에 따른 직선운동 밀폐장치(200)는 액추에이터 챔버(140), 커버(152), 중공의 하우징(260), 샤프트(220), 제1 씰링부(154), 및 제2 씰링부(240; 도 4 참조)를 포함한다.The linear motion sealing device 200 according to the present embodiment includes an actuator chamber 140, a cover 152, a hollow housing 260, a shaft 220, a first sealing part 154, and a second sealing part ( 240; see FIG. 4).

액추에이터 챔버(140)는 밸브 (120)를 수직 및 수평 이동시키기 위한 액추에이터(미도시)가 배치되는 공간으로서, 밸브 챔버(110)의 하부 개구부(113)에 연결될 수 있고, 액추에이터 챔버(140)와 밸브 챔버(10) 연결 부위는 밀폐부재(142)에 의해 밀봉될 수 있다. 밸브 챔버(110)의 하부 개구부(113)는 커버(152)가 밀폐할 수 있다. 여기서, 커버(152)는 샤프트(220)의 수평(h)으로의 이동시 샤프트(220)와 함께 수평으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.The actuator chamber 140 is a space in which an actuator (not shown) for vertically and horizontally moving the valve 120 is disposed, and may be connected to the lower opening 113 of the valve chamber 110, and A connection portion of the valve chamber 10 may be sealed by a sealing member 142 . The lower opening 113 of the valve chamber 110 may be sealed by the cover 152 . Here, the cover 152 may be installed to be horizontally movable together with the shaft 220 when the shaft 220 moves horizontally (h).

샤프트(220)는 하우징(260) 내에 수용되고 일단이 개구부(113) 및 커버(152)를 관통하여 밸브(120)에 연결될 수 있으며, 모터 등의 액추에이터(미도시)에 의해 하우징(260)에 대하여 상하로 직선운동을 할 수 있다.The shaft 220 is accommodated in the housing 260 and one end may be connected to the valve 120 through the opening 113 and the cover 152, and is moved to the housing 260 by an actuator such as a motor (not shown). It can move up and down in a straight line.

제1 씰링부(154)는 커버(152)가 밸브 챔버(110) 내측 하면 상에서 수평이동시에도 커버(152)와 밸브 챔버(110) 사이를 밀봉하기 위해 마련된 것이고, 제2 씰링부(240)는 하우징(260)과 샤프트(220) 사이의 간극을 밀봉하도록 하우징(260) 내에 배치되되 샤프트(220)가 하우징(260) 내에서 직선운동 시에도 밀봉하도록 마련된 것이다. 제2 씰링부(240)의 구성은 도 3과 동일하므로 상세한 생략을 설명하기로 한다.The first sealing part 154 is provided to seal between the cover 152 and the valve chamber 110 even when the cover 152 moves horizontally on the inner lower surface of the valve chamber 110, and the second sealing part 240 is arranged in the housing 260 to seal the gap between the housing 260 and the shaft 220 and is provided to seal even when the shaft 220 moves linearly within the housing 260. Since the configuration of the second sealing part 240 is the same as that of FIG. 3, detailed descriptions will be omitted.

제1 씰링부(154)는 개구부(113)의 대응하는 위치의 커버(152) 상에 마련될 수 있다. 일례로, 제1 씰링부(154)는 기다란 형상의 환형을 가지고, 플라스틱 재질의 씰일 수 있다.The first sealing part 154 may be provided on the cover 152 at a position corresponding to the opening 113 . For example, the first sealing part 154 may have an elongated annular shape and may be a plastic seal.

상술한 실시예에 따른 게이트 밸브 장치에 따르면, 수직이동 및 수평이동 방식으로도 게이트 밸브를 개방하거나 밀폐하는 동시에 밸브 챔버의 기밀을 유지할 수 있다.According to the gate valve device according to the above-described embodiment, the gate valve can be opened or closed even in a vertical movement or a horizontal movement method, and at the same time, the airtightness of the valve chamber can be maintained.

이상에서 본 발명이 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시 예 및 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 더욱 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 상기 실시 예들에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.In the above, the present invention has been described with specific details such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are provided to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments, Those skilled in the art to which the present invention pertains may seek various modifications and variations from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the above-described embodiments and should not be determined, and not only the claims to be described later, but also all modifications equivalent or equivalent to these claims fall within the scope of the spirit of the present invention. will do it

10: 공정 챔버 12: 게이트
14: 밀봉부재 100, 100a, 100b: 게이트 밸브 장치
110: 밸브 챔버 111: 경사부
112: 출입구 120: 밸브
130: 밸브씰 140: 액추에이터 챔버
200: 직선운동 밀폐장치 220: 샤프트
222: 불활성 가스 공급로 230: 부싱
240: 씰링부 242: 제1 밀폐씰(진공씰)
249: 제2 밀폐씰(압력씰) 246: 탄성씰
260: 하우징 262: 오-링
264: 플랜지부 280: 냉각수 순환관
281: 냉각수 자켓 290: 진동센서
292: 보조센서
300: 엘리베이터부10: process chamber 12: gate
14: sealing member 100, 100a, 100b: gate valve device
110: valve chamber 111: inclined portion
112: entrance 120: valve
130: valve seal 140: actuator chamber
200: linear motion sealing device 220: shaft
222: inert gas supply path 230: bushing
240: sealing part 242: first hermetic seal (vacuum seal)
249: second airtight seal (pressure seal) 246: elastic seal
260: housing 262: O-ring
264: flange part 280: cooling water circulation pipe
281: cooling water jacket 290: vibration sensor
292: auxiliary sensor
300: elevator part

Claims (12)

반도체 기판을 처리하는 공정 챔버의 게이트를 개폐하도록 상기 공정 챔버에 장착되는 게이트 밸브 장치로서,
상기 게이트에 대응하는 출입구가 마련된 측벽을 가지는 밸브 챔버;
상기 출입구를 밀폐 또는 개방하도록 이동가능한 밸브; 및
상기 밸브를 이동시키면서 상기 밸브 챔버에 장착되는 직선운동 밀폐장치;를 포함하고,
상기 직선운동 밀폐장치는,
상기 밸브 챔버에 연결되는 중공의 하우징;
상기 하우징 내에 수용되고, 일단이 상기 밸브 챔버의 벽체를 관통하여 상기 밸브에 연결되고 상기 하우징에 대하여 직선운동을 하는 샤프트; 및
상기 하우징과 상기 샤프트 사이의 간극을 밀봉하도록 상기 하우징 내에 배치되되 상기 샤프트가 상기 하우징 내에서 직선운동 시에도 밀봉을 수행하는 복수의 씰을 구비하는 씰링부;를 포함하는 것인 게이트 밸브 장치.
A gate valve device installed in a process chamber to open and close a gate of a process chamber processing a semiconductor substrate, comprising:
a valve chamber having a side wall provided with an entrance corresponding to the gate;
a valve movable to close or open the entrance; and
A linear motion sealing device mounted on the valve chamber while moving the valve; includes;
The linear motion sealing device,
a hollow housing connected to the valve chamber;
a shaft accommodated in the housing, having one end connected to the valve through a wall of the valve chamber, and linearly moving with respect to the housing; and
and a sealing unit disposed in the housing to seal a gap between the housing and the shaft and including a plurality of seals that perform sealing even when the shaft is linearly moved within the housing.
 제1항에 있어서,
상기 샤프트의 타단에 장착되어 상기 샤프트를 이동시키는 엘리베이터부;를 더 포함하는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
The gate valve device further comprising: an elevator unit mounted on the other end of the shaft to move the shaft.
 제1항에 있어서,
상기 씰링부는,
상기 챔버의 기밀을 유지하기 위한 하나 이상의 밀폐씰; 및
상기 샤프트를 지지하고 진동을 억제하는 하나 이상의 탄성씰;을 포함하고,
상기 밀폐씰과 상기 탄성씰은 플라스틱 재질로 형성되고, 상기 탄성씰은 상기 밀폐씰보다 탄성력이 큰 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
The sealing part,
one or more airtight seals for maintaining airtightness of the chamber; and
Including; one or more elastic seals for supporting the shaft and suppressing vibration;
The sealing seal and the elastic seal are formed of a plastic material, and the elastic seal has a greater elastic force than the sealing seal.
 제3항에 있어서,
상기 밀폐씰은 환형 씰링의 내주연에 만곡진 립이 형성된 립씰이고,
상기 탄성씰은 씰바디 내부에 탄성부재가 삽입되는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 3,
The hermetic seal is a lip seal in which a curved lip is formed on the inner periphery of the annular seal,
The elastic seal is a gate valve device in which an elastic member is inserted into the seal body.
 제3항에 있어서,
상기 밀폐씰과 상기 탄성씰은 직렬로 서로 이웃하게 배치되되,
상기 밀폐씰은 상기 밸브 챔버와 결합되는 상기 하우징의 플랜지부에 상기 탄성씰보다 가깝게 배치되는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 3,
The hermetic seal and the elastic seal are disposed adjacent to each other in series,
The sealing seal is a gate valve device that is disposed closer than the elastic seal to the flange portion of the housing coupled to the valve chamber.
 제1항에 있어서,
상기 샤프트 또는 상기 하우징 중 하나 이상에는 상기 샤프트의 진동을 측정하기 위한 진동센서가 마련되는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
A gate valve device wherein at least one of the shaft or the housing is provided with a vibration sensor for measuring vibration of the shaft.
 제1항에 있어서,
상기 밸브에는 상기 밸브 챔버의 벽체와의 간극을 밀봉하기 위한 밸브씰이 마련되는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
The valve is provided with a valve seal for sealing a gap with the wall of the valve chamber.
 제7항에 있어서,
상기 밸브씰은, 씰바디 내부에 탄성부재가 삽입되는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 7,
The valve seal is a gate valve device in which an elastic member is inserted into the seal body.
 제7항에 있어서,
상기 밸브의 이동 시, 상기 게이트와 상기 밸브씰의 충돌에 의해 상기 밸브씰이 파손되는 것을 방지하도록, 상기 밸브 챔버의 벽체에는 경사부가 마련되고,
상기 밸브는 상기 경사부로부터 진입하여 상기 게이트를 밀폐하는 위치로 이동하는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 7,
An inclined portion is provided on a wall of the valve chamber to prevent damage to the valve seal due to collision between the gate and the valve seal when the valve moves,
The gate valve device of claim 1 , wherein the valve enters from the inclined portion and moves to a position to close the gate.
 제1항에 있어서,
상기 하우징은 상기 밸브 챔버의 하부에 경사지게 장착되고,
상기 샤프트는 상기 하우징 내에서 상기 밸브 챔버에 대해 경사지게 직선운동하여, 상기 밸브가 상기 게이트에 대해 소정의 각도로 비스듬하게 접근하는 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 1,
The housing is mounted obliquely to the lower portion of the valve chamber,
The gate valve device according to claim 1 , wherein the shaft linearly moves obliquely with respect to the valve chamber within the housing, so that the valve obliquely approaches the gate at a predetermined angle.
 반도체 기판을 처리하는 공정 챔버의 게이트를 개폐하도록 상기 공정 챔버에 장착되는 게이트 밸브 장치로서,
상기 게이트에 대응하는 출입구가 마련된 측벽을 가지는 밸브 챔버;
상기 출입구를 밀폐 또는 개방하도록 이동가능한 밸브; 및
상기 밸브를 이동시키면서 상기 밸브 챔버에 장착되는 직선운동 밀폐장치;를 포함하고,
상기 직선운동 밀폐장치는,
상기 밸브 챔버의 하부 개구부에 연결되는 액추에이터 챔버;
상기 밸브 챔버의 하부 개구부를 덮으며 수평이동 가능하게 설치되는 커버:
상기 커버에 연결되는 중공의 하우징;
상기 하우징 내에 수용되고, 일단이 상기 커버를 관통하여 상기 밸브에 연결되고 상기 하우징에 대하여 직선운동을 하는 샤프트;
상기 커버가 수평이동시에도 상기 커버와 상기 밸브 챔버 사이를 밀봉하는 제1 씰링부; 및
상기 하우징과 상기 샤프트 사이의 간극을 밀봉하도록 상기 하우징 내에 배치되되 상기 샤프트가 상기 하우징 내에서 직선운동 시에도 밀봉을 수행하는 복수의 씰을 구비하는 제2 씰링부;를 포함하는 것인 게이트 밸브 장치.
A gate valve device installed in a process chamber to open and close a gate of a process chamber processing a semiconductor substrate, comprising:
a valve chamber having a side wall provided with an entrance corresponding to the gate;
a valve movable to close or open the entrance; and
A linear motion sealing device mounted on the valve chamber while moving the valve; includes;
The linear motion sealing device,
an actuator chamber connected to the lower opening of the valve chamber;
A cover that covers the lower opening of the valve chamber and is installed to be horizontally movable:
a hollow housing connected to the cover;
a shaft accommodated in the housing, having one end connected to the valve through the cover, and linearly moving with respect to the housing;
a first sealing part for sealing between the cover and the valve chamber even when the cover moves horizontally; and
A second sealing unit disposed in the housing to seal a gap between the housing and the shaft and having a plurality of seals that perform sealing even when the shaft is linearly moved within the housing; a gate valve device comprising a .
 제11항에 있어서,
상기 액추에이터 챔버 상부와 상기 밸브 챔버의 하부에는 서로 대응하는 기다란 형상의 개구부가 마련되고,
상기 제1 씰링부는 상기 개구부의 대응하는 위치의 커버에 마련되는 플라스틱 재질의 씰인 것인 게이트 밸브 장치.
According to claim 11,
An elongated opening corresponding to each other is provided in an upper portion of the actuator chamber and a lower portion of the valve chamber,
The first sealing portion is a gate valve device that is a seal of a plastic material provided on a cover at a position corresponding to the opening.
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