KR20230035762A - Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces - Google Patents
Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230035762A KR20230035762A KR1020210118156A KR20210118156A KR20230035762A KR 20230035762 A KR20230035762 A KR 20230035762A KR 1020210118156 A KR1020210118156 A KR 1020210118156A KR 20210118156 A KR20210118156 A KR 20210118156A KR 20230035762 A KR20230035762 A KR 20230035762A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- workpiece
- ultrasonic
- polishing
- shape
- vibration
- Prior art date
Links
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 title description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 58
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 2
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims 1
- 239000005445 natural material Substances 0.000 claims 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 claims 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 4
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000010960 cold rolled steel Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- -1 ferrous metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009856 non-ferrous metallurgy Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B1/00—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes
- B24B1/04—Processes of grinding or polishing; Use of auxiliary equipment in connection with such processes subjecting the grinding or polishing tools, the abrading or polishing medium or work to vibration, e.g. grinding with ultrasonic frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B35/00—Machines or devices designed for superfinishing surfaces on work, i.e. by means of abrading blocks reciprocating with high frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 가공물 표면의 회전초음파 진동 연마방법에 관한 것으로, 특히 초음파 진동에 의하여 가공물(고형체)의 표면을 연마하는 방법에 있어서, 상단의 회전초음파발생부로부터의 회전초음파와 하단의 일반 초음파발생부로부터의 초음파에 의한 상하 서로 다른 다단초음파발생에 의해 표면처리할 가공물의 표면 형상과 부합하는 형상으로 가공물 표면을 연마하도록 한 것이다.The present invention relates to a method for polishing the surface of a workpiece by ultrasonic vibration, particularly in a method for polishing the surface of a workpiece (solid body) by ultrasonic vibration, generating rotational ultrasonic waves from a rotary ultrasonic generator at the top and general ultrasonic waves at the bottom The surface of the workpiece is polished in a shape that matches the surface shape of the workpiece to be surface-treated by generating multi-stage ultrasonic waves that are different up and down by ultrasonic waves from the part.
일반적으로 초음파 연마가공은 순환되는 슬러리에 함유된 연마사(GRIT)에 의하여 연마하는 방법으로, 진동은 주파수가 가청주파수 이상으로 15,000Hz~1GHz 싸이클 범위내에서 진동하며, 진폭은 0.1mm 미만이고 통상적인 범위에서 0.001~0.010mm이다.In general, ultrasonic polishing is a method of polishing by grinding sand (GRIT) contained in circulating slurry, and the vibration vibrates within a cycle range of 15,000 Hz to 1 GHz with a frequency higher than the audible frequency, and the amplitude is less than 0.1 mm and is typical It is 0.001 to 0.010 mm in the phosphorus range.
또한, 회전초음파발생부는 회전초음파발생부자체의 마멸을 최소화하도록 높은 충격저항을 갖기 위하여 고장력과 연성이 좋은 재질로 제조된다.In addition, the rotational ultrasonic wave generator is made of a material with high tensile strength and good ductility in order to have high impact resistance so as to minimize abrasion of the rotational ultrasonic wave generator itself.
상기 회전초음파발생부는 가공물과 접촉되지 않고, 실제적인 가공은 연마슬러리 속에 함유된 연마입자에 의해 행해지며 연마입자는 회전초음파발생부의 초음파 진동으로 가공물의 표면에 수직과 수평으로 충격을 주어 가공물의 표면을 가공하므로 연마회전초음파발생부의 표면도 가공물의 표면을 가공할 때 그 가공물의 표면과 부합되는 입체적인 형태로서 음각으로 연삭된다.The rotary ultrasonic generator does not come into contact with the workpiece, and the actual processing is performed by abrasive particles contained in the polishing slurry, and the abrasive particles impact the surface of the workpiece vertically and horizontally with ultrasonic vibration of the rotary ultrasonic generator to impact the surface of the workpiece. Since the surface of the polishing rotary ultrasonic generator is also ground in a negative shape in a three-dimensional shape that matches the surface of the workpiece when processing the surface of the workpiece.
종래 가공방법은 기계가공이거나 방전가공, 전해가공 등과 같은 특수가공으로도 가공하기 어려운 유리, 세라믹, 소성된 유리상의 내화물질, 고경도 및 분말야금, 또는 취성의 금속 등과 같은 소재를 가공시 유용하게 사용되고 있다.Conventional processing methods are useful for processing materials such as glass, ceramics, fired glassy refractories, high hardness and powder metallurgy, or brittle metals that are difficult to process even with special processing such as mechanical processing, electrical discharge processing, or electrolytic processing. It is being used.
특히, 초음파 가공은 가공물의 고유 특성 때문에 종래의 기계가공이나 방전가공, 전해가공 등과 같은 특수가공으로도 가공할 수 없는 복잡한 형상을 가공할 수 있다.In particular, ultrasonic processing can process complex shapes that cannot be processed by special processing such as conventional machining, electric discharge machining, electrolytic machining, etc. due to the inherent characteristics of the workpiece.
그러나 종래의 초음파 가공은 가공물뿐만 아니라 회전초음파발생부도 연마재에 의해 미세하게 마멸되기 때문에 가공시 정확성을 잃게 된다.However, conventional ultrasonic machining loses accuracy during machining because not only the workpiece but also the rotary ultrasonic generator is finely abraded by abrasives.
따라서, 회전초음파발생부의 소재가 중요하므로 회전초음파발생부 소재로 마멸도가 가공물의 마멸도 보다 훨씬 낮도록 경도가 높고 연성이 좋으며 초음파가공에 의해 쉽게 마멸되지 않는 냉간압연강, 오스테나이트 스텐레스강, 구리, 알루미나 등이 사용되고 있다.Therefore, since the material of the rotating ultrasonic generator is important, cold-rolled steel, austenitic stainless steel, Copper, alumina, etc. are used.
또한, 정상적인 초음파 가공은 회전초음파발생부표면과 가장 근접된 가공물의 표면만을 연마하므로 어떤 형상이 이미 형성되었거나 또는 부분적으로 형성되어 있는 가공물의 연마시 초음파 가공을 행한 가공물이 지나치게 마멸되거나 불균일하게 연마되는 등 가공물을 훼손하지 않도록 회전초음파발생부와 가능한 정확하게 위치 맞춤을 해야 한다.In addition, normal ultrasonic processing polishes only the surface of the workpiece closest to the surface of the rotary ultrasonic generator, so when polishing a workpiece in which a shape has already been formed or partially formed, the workpiece subjected to ultrasonic processing is excessively worn or unevenly polished. In order not to damage the workpiece, etc., it should be aligned with the rotational ultrasonic generator as accurately as possible.
그러나 회전초음파발생부와 가공물을 정확하게 위치맞춤을 하기 위해서는 많은 시간과 인력을 필요로 한다.However, a lot of time and manpower are required to precisely align the rotary ultrasonic generator and the workpiece.
종래에는 상기와 같은 문제로 인하여 가공물 소재의 특성이 허용하는 한, 다른 가공기술을 강구하게 되었으며 다른 연마기술의 사용을 필요로 하게 되었다.Conventionally, due to the above problems, as long as the characteristics of the material to be processed allow, other processing techniques have been sought and the use of other grinding techniques has been required.
종래에는 어떠한 연마기술도 노동집약적이고, 시간이 많이 소요되며, 작업하는 데에 숙련된 기술자가 필요함은 물론, 불균일한 가공이 발생하기도 한다. Conventionally, any polishing technique is labor-intensive, time-consuming, requires a skilled technician to work, and also causes non-uniform processing.
따라서, 연마는 어떠한 방법에 의하든 가공물의 아주 적은 양을 연삭하여 제거함과 동시에 균일하게 제거하여야 한다.Therefore, in the polishing method, a very small amount of the workpiece must be removed by grinding and uniformly removed at the same time.
그러나 종래의 수동식 연마, 진동 마무리 버프연마, 브러쉬 연마 및 호닝압출 연마는 가공물의 소재를 원하는대로 균일하게 제거할 수 없고, 특히 그 가공물의 표면형상이 복잡한 경우에는 더욱 그러하며, 버니싱(BURNISHING)은 가공물의 표면을 재형성하는 경향이 있어 치수의 변경을 야기하는 문제가 있다.However, conventional manual polishing, vibration finish buffing, brush polishing, and honing extrusion polishing cannot uniformly remove the material of the workpiece as desired, especially when the surface shape of the workpiece is complex, and burnishing is There is a problem in that it tends to reshape the surface of the workpiece, causing changes in dimensions.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 가공물의 표면 연마시, 상하단의 서로 다른 다단초음파 발생에 의해, 표면처리할 가공물의 표면 형상과 부합하는 형상으로 회전초음파를 발생시켜 회전초음파발생부(공구)와 가공물사이의 물과 연마재로 된 액상연마슬러리에 진동이 전달되어 가공물의 표면연마가 이루어지도록 하는 가공물 표면의 회전초음파 진동 연마 방법을 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above conventional problems, and an object of the present invention is to rotate the surface of the workpiece in a shape that matches the surface shape of the workpiece to be surface treated by generating different multi-stage ultrasonic waves at the upper and lower ends when polishing the surface of the workpiece. It is to provide a rotary ultrasonic vibration polishing method for a surface of a workpiece by generating ultrasonic waves to transmit vibrations to a liquid polishing slurry made of water and an abrasive between a rotary ultrasonic generator (tool) and a workpiece so that the surface of the workpiece is polished.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 가공물보다 초음파 연삭성이 좋은 소재의 회전초음파발생부를 회전초음파진동자와 일체형으로 상하 이동가능하도록 장착하여 가공물에 대하여 회전초음파진동이 발생되도록 하는 공정, 상기 회전초음파발생부와 가공물 사이에 연마재와 물로 된 액상 연마슬러리를 연속으로 공급하는 공정, 상기 회전초음파발생부를 가공물의 표면 형상의 음각이미지와 상대적으로 일치되도록 연마하고 성형하는 데에 충분한 초음파 주파수 및 진폭으로 상단의 회전초음파진동과 하단의 일반초음파진동으로 가공물에 다단의 진동이 발생되도록 하는 공정, 상기 회전초음파발생부와 가공물의 표면형상 이미지의 상대적 일치를 유지하고 재형성하도록 진동운동을 계속함과 동시에 가공물 표면을 연마하여 불필요한 소재층이나 버를 제거하는 공정, 상기 가공물의 표면이 소정치로 연마되었을 때 진동을 중지하여 가공물의 형상과 부합되는 형상을 미리 형성시킬 필요가 없는 회전초음파발생부를 사용하여 소정 형상이 형성된 가공물의 표면으로부터 얇고 균일한 층을 제거하도록 가공물의 표면을 초음파로 가공하는 공정을 차례로 수행함을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a process of generating rotational ultrasonic vibration with respect to the workpiece by mounting the rotational ultrasonic generator of a material having better ultrasonic grinding properties than the workpiece so as to be vertically movable integrally with the rotational ultrasonic vibrator, the rotation A process of continuously supplying a liquid abrasive slurry of abrasive and water between an ultrasonic generator and a workpiece, at an ultrasonic frequency and amplitude sufficient to polish and mold the rotary ultrasonic generator to relatively match the intaglio image of the surface shape of the workpiece. The process of generating multi-stage vibration in the workpiece with the rotational ultrasonic vibration at the top and the general ultrasonic vibration at the bottom, while continuing the vibration movement to maintain and reform the relative match between the rotational ultrasonic generator and the surface shape image of the workpiece. A process of polishing the surface of a workpiece to remove unnecessary material layers or burrs, using a rotary ultrasonic generator that does not need to form a shape that matches the shape of the workpiece in advance by stopping vibration when the surface of the workpiece is polished to a predetermined value It is characterized in that a process of processing the surface of the workpiece with ultrasonic waves is sequentially performed to remove a thin and uniform layer from the surface of the workpiece having a predetermined shape.
본 발명은 상기 가공물의 가공후에 초음파 세척부에 의해 가공물이 세척되도록 하는 공정을 더 수행함을 특징으로 한다.The present invention is characterized by further performing a process of cleaning the workpiece by an ultrasonic cleaning unit after processing the workpiece.
이상과 같은 본 발명은 회전초음파 진동으로 가공물 표면 연마시, 표면처리할 가공물의 표면 형상과 부합하는 형상으로 회전초음파발생부에 의해 초음파진동되어 회전초음파발생부(공구)와 가공물사이의 액상연마슬러리에 전달되도록 함으로써 미세부분이나 명료성을 손상치 않고 표면 거칠기를 줄일 필요가 있는 복합적인 표면과 복잡한 형상을 효율적으로 연마할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention, when polishing the surface of a workpiece with rotary ultrasonic vibration, is ultrasonically vibrated by the rotary ultrasonic generator in a shape that matches the surface shape of the workpiece to be surface treated, thereby forming a liquid polishing slurry between the rotary ultrasonic generator (tool) and the workpiece. There is an effect of efficiently polishing complex surfaces and complex shapes that need to reduce surface roughness without damaging fine parts or clarity.
본 발명은 가공물보다 초음파적으로 훨씬 더 연마성이 좋은 회전초음파를 사용하여 회전초음파발생부에 가공물의 표면형상과 부합되는 형상을 미리 형성할 필요가 없어 가공물을 회전초음파로 연마하고 표면에 어떠한 형상도 없는 도구를 사용하며 회전초음파발생부가 진동할 때, 그 진동이 회전초음파발생부와 가공물사이의 연마슬러리에 전달되어 회전초음파발생부가 가공물의 형상에 따라 고명료성과 미세함으로 빠르게 연삭하여 가공물의 표면도 회전초음파발생부의 연삭정도보다 훨씬 적은 정도로 연마되어 점차 마멸되어 없어지는 동안에 가공물의 표면이 연마되며 회전초음파발생부는 항상 가공물의 표면과 부합되는 명료성과 미세형상을 유지하는 효과가 있다.In the present invention, there is no need to pre-form a shape that matches the surface shape of the workpiece in the rotary ultrasonic generator by using rotary ultrasonic waves with much better abrasiveness than the workpiece, so that the workpiece is polished with rotary ultrasonic waves and any shape on the surface When the rotary ultrasonic generator vibrates, the vibration is transmitted to the abrasive slurry between the rotary ultrasonic generator and the workpiece, and the rotary ultrasonic generator quickly grinds the surface of the workpiece with high clarity and fineness according to the shape of the workpiece. Also, the surface of the workpiece is polished to a much less degree than the degree of grinding of the rotational ultrasonic generator, and while it is gradually worn away, the rotational ultrasonic generator has the effect of maintaining the clarity and fine shape that always matches the surface of the workpiece.
본 발명은 가공물보다 더욱 빠르게 연삭되어 회전초음파발생부가 가공물과 부합하는 형상으로 지속적으로 재드레스되며, 경도가 매우 높은 소재는 물론, 저경도의 철, 비철 금속 등 비교적 무르고 다루기 쉬운 가공물과 고분자재료 및 초음파가공으로 적절치 못한 소재에도 적용할 수 있는 효과가 있다.The present invention grinds faster than the workpiece, so that the rotary ultrasonic generator is continuously redressed into a shape that matches the workpiece, and relatively soft and easy-to-handle workpieces such as low-hardness ferrous and non-ferrous metals as well as materials with very high hardness, polymer materials, and There is an effect that can be applied to materials that are not suitable for ultrasonic processing.
도 1은 본 발명 가공물 표면의 회전초음파 진동 연마를 위한 기구적인 도면
도 2는 본 발명의 회전초음파 파동방향과 일반초음파 파동방향을 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 회전초음파와 초음파에 의해 가공물을 가공하는 동작을 설명하기 위한 도면이다.1 is a mechanical diagram for rotary ultrasonic vibration polishing of the surface of the workpiece of the present invention
Figure 2 is a view for explaining the direction of the rotational ultrasonic waves and the general ultrasonic wave direction of the present invention
Figure 3 is a view for explaining the operation of processing a workpiece by ultrasonic rotation and ultrasound of the present invention.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명 가공물 표면의 초음파 진동 연마를 위한 기구적인 도면이고, 도 2는 본 발명의 회전초음파방향과 파동방향을 설명하기 위한 도면이며, 도 3은 본 발명의 회전초음파에 의해 가공물을 가공하는 동작을 설명하기 위한 도면으로, 상단에 회전초음파진동자(1)가 구비되고, 상기 회전초음파진동자(1)의 하단에 회전초음파발생부(2)가 일체형으로 구비되어 이들이 상하이동가능하도록 구성된다.1 is a mechanical diagram for ultrasonic vibration polishing of the surface of a workpiece according to the present invention, FIG. 2 is a view for explaining the rotational ultrasonic wave direction and the wave direction of the present invention, and FIG. 3 is a workpiece processed by the rotational ultrasonic wave of the present invention It is a drawing for explaining the operation, the rotary ultrasonic vibrator (1) is provided at the top, and the rotary ultrasonic generator (2) is integrally provided at the bottom of the rotary ultrasonic vibrator (1) so that they can move up and down. .
또한, 상기 회전초음파발생부(2)의 하단 즉, 초음파연마가공부(4)내에 초음파진동자(7)를 가진 일반초음파발생부(2a)가 구비되고, 상기 초음파연마가공부(4)내로 연마재 및 물공급부(3)로부터 물(14)과 연마재(13)가 공급되며, 상기 초음파연마가공부(4)의 하단에는 연마재회수부(10)를 포함하는 폐슬러지회수부(9)가 구비된다. In addition, a general ultrasonic wave generator (2a) having an ultrasonic vibrator (7) is provided at the lower end of the rotary ultrasonic wave generator (2), that is, within the ultrasonic abrasive processing unit (4), and the abrasive material is inserted into the ultrasonic abrasive processing unit (4). And
그리고 초음파세척기(5)하단에는 일반초음파발생부(2b)가 구비되고, 상기 초음파세척기(5)내로 세척제공급부(6)로부터 세척제가 공급되며, 상기 초음파세척기(5)의 하단에는 폐수회수부(11)가 구비된다.In addition, a general
또한, 상기 초음파연마가공부(4)내에, 다수의 가공물(12)이 가로방향 또는 세로방향으로 배치되어 상단의 회전초음파발생부(2)로부터 발생되는 회전초음파에 의해 가공물(12)이 연마됨과 동시에 하단의 일반초음파발생부(2a)로부터 발생되는초음파에 의해 가공물(12)의 연마가 이루어지도록 구성된 것이다.In addition, in the
단, 회전초음파진동자에 의해 회전초음파가 회전하면서 진동을 일으켜 가공물을 연마함과 동시에 일반초음파발생부(2a)로부터 수평방향으로 발생되는 초음파에 의해 가공물의 표면연마가 이루어진다.However, the surface of the workpiece is polished by the ultrasonic waves generated in the horizontal direction from the general
단, 상기 가공물의 표면연마 후 상기 가공물을 초음파연마가공부(4)에서 꺼내어 초음파세척기(5)에 넣어 초음파에 의해 세척제로 가공물을 세척하는 공정을 더 수행할 수 있다.However, after surface polishing of the workpiece, the workpiece may be taken out of the ultrasonic
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 작용을 설명한다.The operation of the present invention having such a configuration will be described.
본 발명의 초음파 연마방법은 먼저, 일체형의 회전초음파진동자(1)와 회전초음파발생부(2)를 상단으로 이동시킨 상태에서 표면연마하고자 하는 가공물을 초음파 연마가공부(4)내에 집어넣어 위치시키고 다시 회전초음파발생부(2) 등을 하단으로 이동시켜 가공물의 연마작업을 준비한다.In the ultrasonic polishing method of the present invention, first, the workpiece to be polished is placed in the
즉, 초음파연마가공부(4)에 넣어진 가공물(12)은 상단의 회전초음파발생부(2)로부터 발생되는 회전초음파와 하단의 일반 초음파발생부(2a)로부터 발생되는 초음파에 의해 서로 다른 초음파 잔동에 의해 다단으로 표면 연마가 이루어진다.That is, the
이는 도 2와 같이, 회전초음파발생부(2)로부터의 회전초음파 진동과, 초음파발생부(2a)로부터의 수평적인 초음파 진동에 의한 초음파 파동에 의해 가공물(12)의 표면연마가 이루어진다.As shown in FIG. 2, the surface polishing of the
이때, 상기 초음파연마가공부(4)내에는 연마재 및 물 공급부(3)로부터 연마재와 물이 공급되어 도 3과 같이 가공물(12)주위에 연마슬러지가 위치하게 되며, 상기 가공물(12)은 가로방향 또는 세로방향으로 배치하여도 무관하다.At this time, the abrasive and water are supplied from the abrasive and
여기서, 진동주파수, 진폭 및 연마 입자 등과 같은 통상적인 변수를 이용하여 어느 초음파 가공기와도 함께 사용할 수 있다.Here, it can be used with any ultrasonic processor using conventional parameters such as vibration frequency, amplitude, and abrasive particles.
상기 회전초음파발생부(2)는 약 20Khz이상의 주파수로 진동시키거나 또는 10-50Khz, 15-25Khz의 주파수로 진동시킨다. The rotary
상기 초음파연마가공부(4)는 회전초음파발생부(2)와 가공물(12)사이에 슬러리를 공급하며, 이 슬러리는 새롭고 연마가 안된 연마재를 연속적으로 가공물(12)표면에 공급하고, 이미 연마되어 떨어져 나온 연마물질과 파편을 세척하도록 회전초음파발생부(2)와 가공물(12)사이에 공급된다.The ultrasonic
상기 연마슬러리는 액상매체인 물(14)에 경질의 연마재(비율 1:1, 1:2~100, 2~100:1, 2~100:2~100)를 함유시킨 것으로, 이러한 연마재로, 탄화텅스텐, 산화알루미늄, 탄화규소, 탄화붕소, 질화붕소, 천연다이아몬드, 합성다이아몬드, 알루미나, 코란덤, 천연재료 및 이들의 합성물을 사용한다.The abrasive slurry contains a hard abrasive (ratio 1:1, 1:2 to 100, 2 to 100:1, 2 to 100:2 to 100) in
상기 알루미나, 코란덤 등은 더 연질의 가공물을 연마할 때 연마재로 사용할 수 있다. The alumina, corandum, etc. can be used as an abrasive when polishing a softer workpiece.
상기 액상매체는 초음파 진동을 전달하고, 가공물(12) 및 전극재료와 화학반응을 일으키지 않아야 하고, 액상매체로 본 발명 실시예에서의 물(14)이 가장 적합하지만 절삭유, 연삭유 등의 액체도 사용할 수 있으며 물(14)을 사용할 때에는 방청제를 첨가시킨다. The liquid medium transmits ultrasonic vibrations and must not cause a chemical reaction with the
가공물(12)의 연마시 종래 기계적 가공과는 반대로 연마입자는 상대적으로 알맞게 이동되는 것이 바람직하고, 절삭유, 연삭유와 같은 물 이외의 액체는 연마입자의 진폭을 낮추는 데에 사용하며, 동력을 낮추면 물을 전달매체로서 사용할 수 있다.When polishing the
연마재 입자의 크기는 이 입자가 연마슬러리 내에서 부유할 수 있는 정도의 크기라면 임계성을 가진 것은 아니며, 입자의 크기는 0.075, 바람직한 것은 0.025에서 0.015mm이지만, 연마량에 따라 0.3에서 0.0001mm를 혼합하여 사용할 수 있다The size of the abrasive particles is not critical as long as the particles can float in the abrasive slurry, and the particle size is 0.075, preferably 0.025 to 0.015 mm, but mixed with 0.3 to 0.0001 mm depending on the amount of polishing. can be used by
또한, 입자의 농도는 연마슬러리에 대하여 1~100용적%이며, 이를 사용함으로써 최고 수준의 연마가 이루어진다In addition, the concentration of the particles is 1 to 100% by volume with respect to the polishing slurry, and the highest level of polishing is achieved by using this.
연마되는 가공물(12)은 회전초음파발생부(2)보다 초음파가공이 더 어려운 철과 비철금속, 분말야금 가공물을 사용할 수 있으며, 요구되는 연마의 정도는 가공물(12)의 초기 표면 거칠기와 연마후 필요로 하는 다듬기에 의해 결정되며 연마작업 중에 가공물(12)형상이 변경되지 않는다. The
본 발명은 가공물(12)의 미세 부분의 명료성을 개선하지 않으며, 표면 다듬기를 제외하고는 가공물(12)의 초기형태에 의하여 정해지는 것으로, 회전초음파발생부(2)는 가공물(12)보다 초음파 연삭성이 더 좋은 소재, 즉 취성(물체가 외력을 받았을 때 소성 변형을 거의 보이지 않고 파괴되는 성질)을 가진 소재를 사용한다. The present invention does not improve the clarity of the fine parts of the
가공물(12) 표면을 초음파로 가공할 때, 액체에 함유되어 부유하는 작은 연마입자가 초음속으로 가공물(12) 표면에 부딪히므로 극히 미세한 부분을 떼어내기 위해 가공물(12)은 어느 정도의 취성을 갖는다.When the surface of the
강하고 유연한 강재와 같은 연성 내지 탄성의 소재는 작은 연마입자가 이 소재로부터 튀어나올 뿐이어서 초음파 가공이 잘되지 않는다.A ductile or elastic material such as a strong and flexible steel is not well processed by ultrasonic waves because only small abrasive particles protrude from the material.
연질 강재로부터 경화 합금강 및 티타늄과 텅스텐과 같은 내열금속에 이르기까지 금속가공물과 세라믹 또는 세라믹화합물 등을 연마하기 위한 회전초음파발생부(2)의 소재는 흑연, 유리, 석영 등과 같은 상당히 높은 초음파 연마성을 갖는다.The material of the rotary
상기 회전초음파발생부(2)가 소정 장치에 설치될 때, 회전초음파발생부(2)에는 가공물(12)과 회전초음파발생부(2)사이의 틈새와 연통하는 통로가 구비되는데, 연마슬러리가 상기 틈새로부터 연마한 파편을 세척하도록 통로를 통해 펌핑된다. When the rotary
본 발명에서 상기 연마된 파편은 회전초음파발생부(2)로부터 연삭되어 나오는 회전초음파발생부(2) 소재의 입자가 대부분이고, 가공물(12)의 표면으로부터 연마되어 나온 가공물(12) 소재의 입자가 소량 포함된다. In the present invention, the polished fragments are mostly particles of the material of the rotary
상기 펌핑은 연마도중 절삭가장자리가 지나치게 닳지 않도록 회전초음파발생부(2)와 가공물(12)사이의 틈새로 새로운 연마슬러리를 공급한다.The pumping supplies new polishing slurry to the gap between the rotary
본 발명은 미리 가공물(12)과 부합되는 형상을 가진 회전초음파발생부(2)로 연마공정을 시작할 필요가 없어 회전초음파발생부(2)와 가공물(12)의 위치맞춤을 할 필요가 없다.In the present invention, there is no need to start the polishing process with the rotary
본 발명은 가공물(12)의 표면형상이 우선 회전초음파발생부(2)표면에 동일 형상을 형성시키는 역할을 하며, 연마가 진행되는 동안 회전초음파발생부(2)는 지속적으로 연마되며, 제자리에서 정확한 위치결정을 만들어내고 유지한다.In the present invention, the surface shape of the
회전초음파발생부(2)의 우선적인 연삭이 본 발명의 특징이며, 가공물(12)의 표면을 매우 얇고 균일하게 연마함으로써 고정도로 연마할 수 있다.The preferential grinding of the rotary
본 발명은 가공물이 연마하고자 하는 표면에 깊은 요홈을 갖는 경우는 회전초음파발생부(2)에 가공물형상의 일부분 또는 전체 형상과 부합되는 형상을 사전에 형성시켜서 사용하면, 회전초음파발생부(2)가 가공물(12)과 위치결정을 위하여 형상이 형성되는 시간을 단축하여 연마공정을 신속히 하고, 회전초음파발생부(2)가 충분하게 연삭하여 가공물(12)의 깊은 요홈이 형성된 부위의 가공을 시작하기 전에 가공물(12)의 볼록한 부위가 지나치게 연마되는 것도 방지할 수 있다.In the present invention, when the workpiece has a deep groove on the surface to be polished, the
이와 같은 초음파 가공에서 흔히 사용되는 소재로서, 흑연 또는 유리와 같은 비교적 질량이 낮은 소재를 회전초음파발생부(12)로 사용할 시 초음파 변환기에 의하여 충분하게 구동될 수 있는 크기보다 더 크게 해도 된다.As a material commonly used in such ultrasonic processing, when a relatively low-mass material such as graphite or glass is used as the rotary
본 발명은 가공물(12)의 표면으로부터 어떠한 불필요한 소재층을 제거하는 데에도 이상적으로 적용할 수 있다. The present invention is ideally applicable to removing any unnecessary material layer from the surface of the
예컨데, 방전가공기에 의해 통상적으로 생기는 0.003mm-0.006mm 두께의 층을 용이하게 제거할 수 있으며, 그 결과 방전가공으로 생긴 층을 가공표면으로부터 세부적인 형상의 파손없이 제거할 수 있다. For example, a layer with a thickness of 0.003 mm to 0.006 mm, which is usually formed by an electrical discharge machining machine, can be easily removed, and as a result, the layer formed by the electrical discharge machining can be removed from the machined surface without damaging the detailed shape.
또한, 동일한 방법으로 세라믹과 같은 재료가 코팅된 가공물, PVD, CVD 코팅된 가공물에 대하여 표면의 세부적인 형상의 파손 없이 세라믹, PVD, CVD 피복층의 전체 또는 일부를 선택적으로 제거할 수 있다.In addition, with respect to a workpiece coated with a material such as ceramic or a workpiece coated with a PVD or CVD coating in the same manner, all or part of the ceramic, PVD, or CVD coating layer can be selectively removed without damaging the detailed shape of the surface.
본 발명은 가공물(12)의 표면상에 돌출된 버(BURRS)를 제거하는 데에 사용할 수 있고, 가공물(12)의 가장자리에 예리한 모서리를 둥글게 가공할 수도 있는 것으로, 이러한 목적은 가공물(12)의 미세한 부분을 전혀 파손함이 없이 초음파적으로 연삭할 수 있는 회전초음파발생부(2)를 사용한다.The present invention can be used to remove burrs protruding on the surface of the
한편, 상술한 바와 같이 회전초음파에 의해 1차 표면연마된 가공물(12)을 꺼내어 초음파세척부(5)에 넣어 세척을 수행하게 되는 것으로, 가공물(12)에 묻어 있는 슬러지와 기타 더러운 부분은 세척제공급부(6)로부터의 세척제가 초음파세척기(5)로 공급됨과 동시에 초음파진동자(8)의 진동에 의해 초음파 발생부(2b)로부터 초음파가 발생되어 가공물(12)의 세척이 이루어지며, 이때 발생되는 폐수는 폐수회로탱크(11)로 보내지게 된다.On the other hand, as described above, the first surface-polished
상술한 바와 같은 본 발명은 상기 실시예에 국한되는 것은 아니고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 다양한 변형을 통해 유용하게 실시될 수 있음은 물론이다.The present invention as described above is not limited to the above embodiments, and can be usefully practiced through various modifications in the technical field to which the present invention belongs.
1:회전초음파진동자 2:회전초음파발생부
2a,2b:일반초음파발생부 3:연마재 및 물공급부
4:초음파연마가공부 5:초음파세척기
6:세척제공급부 7,8:초음파진동자
9:폐슬러지회수부 10:연마재회수부
11:폐수회수탱크 12:가공물
13:연마재 14:물1: Rotating ultrasonic vibrator 2: Rotating ultrasonic wave generator
2a, 2b: general ultrasonic wave generator 3: abrasive and water supply
4: Ultrasonic polishing unit 5: Ultrasonic washer
6: cleaning agent supply unit 7, 8: ultrasonic vibrator
9: waste sludge recovery unit 10: abrasive ash recovery unit
11: wastewater recovery tank 12: workpiece
13: abrasive 14: water
Claims (9)
상기 회전초음파발생부와 가공물 사이에 연마재와 물로 된 액상 연마슬러리를 연속으로 공급하는 공정;
상기 회전초음파발생부를 가공물의 표면 형상의 음각이미지와 상대적으로 일치되도록 연마하고 성형하는 데에 충분한 초음파 주파수 및 진폭으로 상단의 회전초음파진동과 하단의 일반초음파진동으로 가공물에 다단의 진동이 발생되도록 하는 공정;
상기 회전초음파발생부와 가공물의 표면형상 이미지의 상대적 일치를 유지하고 재형성하도록 진동운동을 계속함과 동시에 가공물 표면을 연마하여 불필요한 소재층이나 버를 제거하는 공정;
상기 가공물의 표면이 소정치로 연마되었을 때 진동을 중지하여 가공물의 형상과 부합되는 형상을 미리 형성시킬 필요가 없는 회전초음파발생부를 사용하여 소정 형상이 형성된 가공물의 표면으로부터 얇고 균일한 층을 제거하도록 가공물의 표면을 초음파로 가공하는 공정을 차례로 수행하는 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.A step of generating rotational ultrasonic vibration with respect to the workpiece by mounting a rotational ultrasonic generator of a material having better ultrasonic grinding properties than the workpiece so as to be vertically movable integrally with the rotational ultrasonic vibrator;
a step of continuously supplying a liquid polishing slurry made of an abrasive and water between the rotary ultrasonic wave generator and the workpiece;
Multi-stage vibration is generated in the workpiece by the rotational ultrasonic vibration at the top and the general ultrasonic vibration at the bottom with an ultrasonic frequency and amplitude sufficient to grind and mold the rotary ultrasonic generator to be relatively consistent with the intaglio image of the surface shape of the workpiece process;
removing unnecessary material layers or burrs by polishing the surface of the workpiece while continuing the vibratory motion so as to maintain and reform the relative correspondence between the rotary ultrasonic wave generator and the surface shape image of the workpiece;
When the surface of the workpiece is polished to a predetermined value, vibration is stopped to remove a thin and uniform layer from the surface of the workpiece having a predetermined shape using a rotary ultrasonic generator that does not need to be formed in advance to match the shape of the workpiece. A method of ultrasonic vibration polishing of a surface of a workpiece, characterized in that sequentially performing a process of processing the surface of the workpiece with ultrasonic waves.
슬러리내에 1에서 100 용적%의 농도로 함유된 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.The method of claim 3 or 4, wherein the abrasive,
A method for ultrasonic vibration polishing of a surface of a workpiece, characterized in that the slurry is contained in a concentration of 1 to 100% by volume.
흑연, 유리, 석영 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.The method of claim 1, wherein the material of the rotational ultrasonic wave generator,
A method of ultrasonic vibration polishing of a surface of a workpiece, characterized in that it is any one of graphite, glass, and quartz.
회전초음파발생부로부터 연삭되어 나오는 입자와 가공물로부터 연삭되어 나오는 입자를 세척하여 제거하는 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.The method of claim 1, wherein the liquid polishing slurry,
An ultrasonic vibration polishing method for a surface of a workpiece, characterized by washing and removing particles grinding out of the rotary ultrasonic generator and particles grinding out of the workpiece.
탄화텅스텐, 산화알루미늄, 탄화규소, 탄화붕소, 질화붕소, 알루미나, 코란덤, 합성다이아몬드, 천연다이아몬드, 천연재료 및 이들의 합성물로 된 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.The method of claim 1, wherein the abrasive contained in the polishing slurry,
A method of ultrasonic vibration polishing of a surface of a workpiece, characterized in that it is made of tungsten carbide, aluminum oxide, silicon carbide, boron carbide, boron nitride, alumina, corandum, synthetic diamond, natural diamond, natural material, and a compound thereof.
경질재료, 하이스, 공업용 합성다이아몬드, 천연다이아몬드 PCD, CVD, CBN, 써멧, 세라믹과 연질 재료인 것을 특징으로 하는 가공물 표면의 초음파 진동 연마 방법.The method of claim 1, wherein the workpiece,
Hard material, HSS, industrial synthetic diamond, natural diamond PCD, CVD, CBN, cermet, ceramic and soft material, characterized in that the ultrasonic vibration polishing method for the surface of the workpiece.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210118156A KR20230035762A (en) | 2021-09-06 | 2021-09-06 | Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210118156A KR20230035762A (en) | 2021-09-06 | 2021-09-06 | Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230035762A true KR20230035762A (en) | 2023-03-14 |
Family
ID=85502427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210118156A KR20230035762A (en) | 2021-09-06 | 2021-09-06 | Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20230035762A (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050047990A (en) | 2003-11-18 | 2005-05-24 | 한국전자통신연구원 | Apparatus and method of dynamic group key management in wireless local area network system |
| KR20070095008A (en) | 2006-03-20 | 2007-09-28 | 삼성전자주식회사 | Method of forming a contact hole of a semiconductor device |
-
2021
- 2021-09-06 KR KR1020210118156A patent/KR20230035762A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20050047990A (en) | 2003-11-18 | 2005-05-24 | 한국전자통신연구원 | Apparatus and method of dynamic group key management in wireless local area network system |
| KR20070095008A (en) | 2006-03-20 | 2007-09-28 | 삼성전자주식회사 | Method of forming a contact hole of a semiconductor device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5187899A (en) | High frequency vibrational polishing | |
| US5531861A (en) | Chemical-mechanical-polishing pad cleaning process for use during the fabrication of semiconductor devices | |
| Givi et al. | Polishing of the aluminum sheets with magnetic abrasive finishing method | |
| Lv et al. | A research on ultrasonic-assisted abrasive waterjet polishing of hard-brittle materials | |
| Tsai et al. | Combined ultrasonic vibration and chemical mechanical polishing of copper substrates | |
| US5655956A (en) | Rotary ultrasonic grinding apparatus and process | |
| CA2341737C (en) | Abrasive polishing method | |
| WO2002006007A1 (en) | Micro-burnishing apparatus using ultrasonic vibration | |
| EP1877216B1 (en) | Method of electrolytically microfinishing a metallic workpiece | |
| TW201024029A (en) | Pad conditioner dresser | |
| US20070238397A1 (en) | Finishing process | |
| KR930012261B1 (en) | High frequency vibrational polishing | |
| Rahman et al. | Nano finish grinding of brittle materials using electrolytic in-process dressing (ELID) technique | |
| KR20230035762A (en) | Ultrasonic vibration abrasions on workpiece surfaces | |
| Ramu et al. | Machining performance of toughened zirconia ceramic and cold compact alumina ceramic in ultrasonic drilling | |
| Tawakoli et al. | Dressing of grinding wheels | |
| CN110497257A (en) | A kind of compound high smooth grinding debarring process | |
| WO2009064254A1 (en) | High pressure liquid abrasive de-burring system and process for same | |
| Khoshaim et al. | ELID grinding with lapping kinematics | |
| JP5903689B2 (en) | High frequency vibration internal grinding machine | |
| CA1329988C (en) | Ultrasonic polishing | |
| Spur et al. | Ultrasonic machining of ceramics | |
| Tawakoli et al. | Advanced Grinding | |
| Kumar et al. | Advancement of Abrasive-Based Nano-Finishing: Processes Principle, Challenges, and Current Applications | |
| Spanu et al. | Effectiveness of ELID grinding and polishing |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E90F | Notification of reason for final refusal |