KR20230026826A - 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치 - Google Patents

라인 스캔 검사를 위한 조명 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230026826A
KR20230026826A KR1020210108918A KR20210108918A KR20230026826A KR 20230026826 A KR20230026826 A KR 20230026826A KR 1020210108918 A KR1020210108918 A KR 1020210108918A KR 20210108918 A KR20210108918 A KR 20210108918A KR 20230026826 A KR20230026826 A KR 20230026826A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light source
led light
light
angle
subject
Prior art date
Application number
KR1020210108918A
Other languages
English (en)
Inventor
이현율
Original Assignee
(주)다우시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)다우시스템 filed Critical (주)다우시스템
Priority to KR1020210108918A priority Critical patent/KR20230026826A/ko
Publication of KR20230026826A publication Critical patent/KR20230026826A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
    • G01N2021/8816—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using multiple sources, e.g. LEDs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/062—LED's
    • G01N2201/0626—Use of several LED's for spatial resolution
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/063—Illuminating optical parts
    • G01N2201/0638—Refractive parts
    • G01N2201/0639—Sphere lens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명의 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치가 개시된다. 라인 스캔 카메라를 이용해 피사체를 검사하는 라인 스캔 검사장치에 사용되는 라인 조명 장치는, 상기 피사체에 조명을 제공하는 적어도 하나의 LED 광원을 포함하는 광원부; 상기 적어도 하나의 LED 광원으로부터 조사된 광을 집광하는 적어도 하나의 집광렌즈를 포함하는 집광렌즈부; 상기 조사된 광이 진행하는 방향을 기준으로 상기 집광렌즈부의 후방에 위치하고, 상기 집광렌즈부를 통과한 광의 입사각 및 초점을 조절하는 조절렌즈부; 및 상기 라인 스캔 카메라와 상기 피사체의 사이에 위치하고, 상기 조절렌즈부를 통과한 광의 경로를 변경하는 광 경로변경부를 포함한다. 이에 의해 라인 스캔 검사장치의 설치 공간이 제한적이더라도 다양한 각도 및 방향으로 조명 구현이 가능하고, 동축조명과 측면조명을 동시에 구현할 수 있으므로, 높은 광량을 제공할 수 있다.

Description

라인 스캔 검사를 위한 조명 장치{ILLUMINATION DEVICE FOR LINE SCAN INSPECTION}
본 발명은 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 라인 스캔 카메라에 조명을 제공하기 위한 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치에 관한 것이다.
일반적으로 생산라인에서 불량제품의 검사를 위해 사용되는 라인 스캔 검사장치는 렌즈와 이미지 센서를 내장한 라인 스캔 카메라와 조명장치를 포함하고, 라인 스캔 카메라 직하방에 소정의 동작거리를 두고 검사대상인 피사체가 위치한다.
이러한 라인 스캔 검사장치에서 피사체 표면에 대한 이미지 촬상은 조명장치를 이용하여 피사체 표면의 관측시야(FOV, Field Of View) 영역으로 광을 조사한 상태에서 라인 스캔 카메라 또는 피사체를 상대적으로 이동시키면서 수행되며, 조명 장치로부터 피사체의 표면으로 조사된 광이 반사되어 라인 스캔 카메라에서 촬상되는 방식으로 동작한다.
한편, 라인 스캔 검사장치를 이용하여 고해상도의 선명한 이미지를 고속으로 촬상하기 위해서 카메라로 수집되는 수직 반사광의 광량이 커야 하며, 이러한 수직 반사광의 광량을 크게 하기 위해서는 조명장치로부터의 절대적인 조사 광량을 증가시키거나 조명 장치가 수직 조사 방향에 근접한 위치에 배치될 필요가 있다.
조명장치로부터 조사 광량을 증가시키는 경우에는 광원에 대한 방열 및 고에너지 소모의 또 다른 문제가 수반되며, 조명 장치가 수직 조사 방향에 근접한 위치에 배치되는 경우에는 고해상도 구현을 위해 동작거리를 짧게 한 상태에서 라인스캔 카메라와의 간섭으로 인해 조명 장치를 수직 조사방향에 근접하게 배치하기 어려운 한계가 있다. 특히 검사장치가 마련된 공간에서 다수개의 조명 장치가 수직 조사 방향에 근접한 위치에 배치될 수 있는 공간이 한정적일 수 밖에 없다는 문제가 있다.
특히 도 1에서와 같이 일반적인 라인 스캔 검사 장치에서의 조명을 보면, 라인 스캔 카메라의 주변에 측면 조명이 배치되는 경우에는 라인 스캔 검사장치를 설치할 수 있는 공간적 제약이 큰 것은 물론, 동축 조명이 설치되는 경우에는 충분한 수의 측면 조명 장치를 설치할 수 없다는 문제가 있다.
공개특허 제10-2008-0086734호
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 라인 스캔 카메라와 피사체 간 동작거리가 짧거나 라인스캔 검사장치의 설치 공간이 제한적이더라도, 다양한 각도 및 방향으로 조명 구현이 가능한 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치를 제공하는 것이다.
그리고 본 발명의 또 다른 목적은 동축조명과 측면조명을 동시에 구현할 수 있는 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 라인 스캔 카메라를 이용해 피사체를 검사하는 라인 스캔 검사장치에 사용되는 라인 조명 장치는, 상기 라인 스캔 카메라의 측면에 위치하고, 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 수직한 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나의 LED 광원을 포함하는 광원부; 상기 적어도 하나의 LED 광원으로부터 조사된 광을 집광하는 적어도 하나의 집광렌즈를 포함하는 집광렌즈부; 상기 조사된 광이 진행하는 방향을 기준으로 상기 집광렌즈부의 후방에 위치하여 상기 집광렌즈부를 통과한 광의 조사각 및 초점을 조절하는 조절렌즈부; 및 상기 라인 스캔 카메라와 상기 피사체의 사이에 위치하고, 상기 조절렌즈부를 통과한 광이 상기 피사체를 향하도록 상기 조절렌즈부를 통과한 광의 경로를 변경하는 광 경로변경부를 포함한다.
여기서 상기 광원부는, 상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 동축인 광을 조사하는 동축 LED 광원; 및 상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 다른 광을 조사하는 적어도 하나의 수직 LED 광원을 포함하고, 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원은, 상기 동축 LED 광원을 중심으로 상부 또는 하부에 위치하되, 상기 동축 LED 광원과 동일선상에 위치할 수 있다.
그리고, 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원은, 상기 동축 LED 광원의 상부 또는 하부에 위치하여 광을 조사하되, 상기 광 경로변경부에 의해 경로가 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 동축 LED 광원으로부터 조사된 광과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 작은 저각(low-angle)의 광을 조사하는 적어도 하나의 저각 LED 광원; 및 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원과 상기 동축 LED 광원의 사이에 위치하여 광을 조사하되, 상기 광 경로변경부에 의해 경로가 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원으로부터 조사된 광과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 큰 고각(high-angle)의 광을 조사하는 적어도 하나의 고각 LED 광원을 포함할 수 있다.
또한, 상기 라인 스캔 검사장치가 상기 피사체를 검사함에 있어서 상기 피사체 표면의 결함을 찾거나, 상기 피사체에 기재된 문자를 인식하는 경우에는 상기 동축 LED 광원으로부터 광이 조사될 수 있다.
그리고 상기 피사체가 요철면을 포함하는 피사체이거나, 상기 피사체의 외형의 결함을 검출하는 경우에는 상기 적어도 하나의 고각 LED 광원으로부터 광이 조사될 수 있다.
또한, 상기 피사체 표면의 먼지, 흠집 및 지문을 포함하는 오염자국을 검출하는 경우에는 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원으로부터 광이 조사될 수 있다.
그리고 상기 광 경로변경부는, 상기 동축 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 판형 빔 스플리터(plate type beam splitter); 및 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 적어도 하나의 광학거울을 포함할 수 있다.
또한 상기 적어도 하나의 광학 거울은, 상기 빔 스플리터의 길이 방향의 일단 또는 타단에 위치하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
상기 광 경로부는, 상기 동축 LED 광원 및 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 빔 스플리터(beam splitter)일 수 있다.
여기서 상기 광원부는, 상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 작은 저각의 광을 조사하는 적어도 하나의 저각 LED 광원; 및 상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 큰 고각의 광을 조사하는 적어도 하나의 고각 LED 광원을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 동축인 광을 조사하는 동축 LED 광원을 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원은, 상기 적어도 하나의 고각 LED 광원의 상부 또는 하부에 위치하되, 상기 고각 LED 광원과 동일선상에 위치하며, 상기 동축 LED 광원은, 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원 및 상기 적어도 하나의 고각 LED 광원과 대향하는 위치에 마련될 수 있다.
또한, 상기 광 경로변경부는, 상기 동축 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 육면체형 빔 스플리터(cube type beam splitter) 및 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 적어도 하나의 광학거울을 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치를 제공함으로써, 라인스캔 카메라와 피사체 간 동작거리가 짧은 상태에서도 피사체의 FOV 영역으로 근접한 수직 조사를 유도하기에 유리하고 이와 동시에 광량 손실을 최소화할 수 있기 때문에, 고해상도 이미지 구현이 가능하다.
또한 상기 라인 스캔 검사장치의 설치 공간이 제한적이더라도 다양한 각도 및 방향으로 조명 구현이 가능하고, 동축조명과 측면조명을 동시에 구현할 수 있으므로, 높은 광량을 제공할 수 있다.
도 1 (a) 및 도 1 (b)는 종래의 라인 스캔 검사장치에서 측면 조명 또는 동축 조명이 설치되는 모습을 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 3은 (a) 및 도 3 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치를 통해 조사된 광의 경로의 효과를 설명하기 위한 도면,
도 4 (a) 및 도 4 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치의 광 경로의 효과를 비교하기 위한 도면,
도 5 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 장치의 구성을 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 장치를 통해 조사된 광의 경로를 설명하기 위한 도면, 그리고
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명 장치의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하에서는 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
먼저 도 1 (a) 및 도 1 (b)는 종래의 라인 스캔 검사장치에서 측면 조명(120') 또는 동축 조명(110')이 설치되는 모습을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이 종래의 라인 스캔 검사장치에서는 라인 스캔 카메라와 복수의 라인 조명으로서 다수의 측면 조명(120′)을 포함하도록 마련하거나 측면 조명(120')과 동축 조명(110')을 함께 설치하여, 라인 스캔 카메라가 촬상하는 피사체를 향해 광이 조사되도록 한다.
이 때 조명은 라인 스캔 카메라의 주변에 설치되어 라인 스캔 카메라의 축 주변에서 조명하는 측면 조명(120')과 라인 스캔 카메라의 축과 동일 선상의 경로로 광을 조사하여 조명하는 동축 조명(110')을 선택적으로 포함하여 피사체를 조명하도록 한다.
하지만 이러한 종래의 조명은 복수의 조명을 배치하기 위한 공간적 제약이 큰 것은 물론, 도 1 (b)에서와 같이 동축 조명(110')과 측면 조명(120')을 동시에 포함하게 되는 경우에는 동축 조명(110')이 라인 스캔 카메라의 중심축의 연장선상에 위치해야 하므로 동축 조명(110')의 위치에 따라 필요한 측면 조명(120')을 설치할 수 없게 되는 문제가 있다. 이에 따라 충분한 광량을 제공하지 못하기에 고해상도의 선명한 이미지를 획득할 수 없기에 라인 스캔 검사장치의 효율성을 저해한다는 문제가 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치의 구성을 설명하기 위한 도면, 도 3 (a) 및 도 3 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치를 통해 조사된 광의 경로의 효과를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치(10)는 상술한 종래 조명 장치와는 달리 본 각 조명의 배치 공간적 제약없이 충분한 광량을 제공하기 위해 마련된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치(10)는 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)와 피사체(S) 사이에 위치하여 조사된 광이 피사체(S)로 입사되도록 할 수 있으며, 도 2에 도시된 일 실시예에 따른 조명 장치(10)는 측면 조명으로만 구성되는 경우이다. 그리고 도면상에서는 부호가 기재되어 있지 않지만, 라인 스캔 카메라(C)와 후술할 광 경로변경부(400) 사이에 위치한 구성은 라인스캔 카메라(C)용 렌즈를 도시한 것으로, 이하에서는 설명의 편의를 위해 카메라용 렌즈까지 포함하여 라인 스캔 카메라(C)로 설명하기로 한다.
이를 위해 일 실시예에 따른 조명 장치(10)는 광원부(100), 집광렌즈부(200), 조절렌즈부(300) 및 광 경로변경부(400)를 포함할 수 있다.
먼저 광원부(100)는 피사체(S)에 조명을 제공하기 위한 것으로 적어도 하나의 LED 광원(120)을 포함하며, 일 실시예에 따른 조명 장치(10)와 같이 측면 조명으로만 구성된 경우에는 광을 조사하는 적어도 하나의 LED 광원(120)의 방사각이 크면 서로 간섭이 생겨 문제가 발생할 수 있으므로, 협각 LED를 사용하는 것이 바람직하다.
그리고 광원부(100)를 구성하는 적어도 하나의 LED 광원(120)으로부터 광을 조사하는 것은, 도면에는 미도시되었으나, 조명 장치(10)를 포함하는 라인 스캔 검사장치에 마련되거나 조명 장치(10)에 개별적으로 마련되는 제어부를 통해 적어도 하나의 LED 광원(120)으로부터 선택적으로 광이 조사되도록 제어될 수 있으며, 적어도 하나의 LED 광원(120)은 칩(chip)형 LED로 마련될 수 있다.
그리고 적어도 하나의 LED 광원(120)은, 조사된 광이 피사체(S)에 입사되는 경로에 따라 고각 LED 광원(120-H)과 저각 LED 광원(120-L)으로 구분될 수 있다. 이러한 고각 LED 광원(120-H) 및 저각 LED 광원(120-L)은 후술할 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)에서 보다 더 자세히 설명하기로 한다.
특히 본 발명에서의 적어도 하나의 LED 광원(120)은 라인 스캔 카메라(C)의 측면 부분에 위치하여 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 수직한 방향으로 광이 조사되도록 한다.
집광렌즈부(200)는 적어도 하나의 LED 광원(120)으로부터 조사된 광을 집광하기 위한 것으로, 적어도 하나의 집광렌즈(220)를 포함하여 마련된다. 그리고 집광렌즈부(200)는 광원부(100)와 같이 라인 스캔 카메라(C)의 측면 부분에 위치하여 집광렌즈부(200)에서 집광된 광 역시도 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 수직한 방향으로 이동될 수 있다.
그리고 적어도 하나의 집광렌즈(220)는 적어도 하나의 LED 광원(120)에 대응되는 개수로 마련되어 적어도 하나의 집광렌즈(220)는 각각 적어도 하나의 LED 광원(120)과 대응되는 위치에 마련되어 한 쌍을 이루게 된다.
즉 도 2에 도시된 바와 같이 제1 고각 LED 광원(120-H1)은 제1 고각 집광렌즈(220-H1)와 쌍을 이루고 이를 통해 제1 고각 LED 광원(120-H1)으로부터 조사된 광은 제1 고각 집광렌즈(220-H1)에서 집광될 수 있다.
한편 조절렌즈부(300)는 집광렌즈부(200)에서 집광되어 집광렌즈부(200)를 통과한 광의 입사각 및 초점을 조절하기 위해 마련되는 것으로, 적어도 하나의 LED 광원(120)으로부터 조사된 광이 진행하는 방향을 기준으로 집광렌즈부(200)의 후방에 위치할 수 있다. 또한 조절렌즈부(300)는 적어도 하나의 LED 광원(120)에서 조사된 광을 피사체(S), 즉 검사영역의 중심으로 모아주는 역할을 한다.
그리고 조절렌즈부(300)는 광원부(100) 및 집광렌즈부(200)와 마찬가지로 라인 스캔 카메라(C)의 측면 부분에 위치하여 조절렌즈부(300)를 통과한 광 역시도 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 수직한 방향으로 이동되도록 한다.
그리고 조절렌즈부(300)는 광의 초점 및 입사각을 조절하기 위해 적어도 하나의 렌즈를 포함하여 마련될 수 있는데, 도면에 도시된 바와 같이 제1 조절렌즈(310) 및 제2 조절렌즈(320)를 포함하여 마련되는 것이 바람직하다.
조절렌즈부(300)는 검사영역인 피사체(S)와의 거리와 집광정도를 조절하기 위해 제1 조절렌즈(310) 및 제2 조절렌즈(320)에 더하여 조절렌즈가 더 추가되거나 제1 조절렌즈(310) 또는 제2 조절렌즈(320) 중 하나가 생략될 수도 있음은 물론이다.
광 경로변경부(400)는 조절렌즈부(300)를 통과한 광의 경로를 변경하기 위해 마련되며, 이러한 광 경로변경부(400)는 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)와 피사체(S) 사이에 위치할 수 있다.
그리고 광 경로변경부(400)는 빔 스플리터(beam splitter)로 마련되어 조절렌즈부(300)를 통과한 광이 피사체(S)를 향해 조사되도록 할 수 있다.그리고 이러한 광 경로변경부(400)로 마련되는 빔 스플리터의 형태는 도면에서와 같이 육면체형에 한정되지 않으며, 필요에 따라 판형의 빔 스플리터로 마련될 수도 있다.
따라서 일 실시예에 따른 조명 장치(10)는 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)의 주변에 위치하여 피사체(S)에 측면 조명을 제공할 수 있게 되고, 광을 조사하는 적어도 하나의 LED 광원(120-H1, 120-H2, 120-L1, 120-L2)들이 일렬로 배치됨에 따라 다층 공간을 확보할 수 있다.
도 4 (a) 및 도 4 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 조명 장치의 광 경로의 효과를 비교하기 위한 도면으로, 도 2 및 도 3의 일 실시예에 따른 조명 장치(10)와 달리 집광렌즈부(200) 및 조절렌즈부(300)를 포함하고 있지 않은 경우이다.
도시된 바와 같이 광원부(100)로부터 조사된 광이 피사체(S)로 입사되는 광의 경로를 보면, 본 실시예에 따른 조명 장치(10)와는 달리 광원부(100)로부터 조사된 광의 손실이 큰 것을 알 수 있고, 피사체(S)의 중심을 기준으로 하는 입사각이 작아 충분한 광량을 제공하지 못하게 된다.
이에 반해 본 실시예에 따른 조명 장치(10)는 도 3에 도시된 바와 같이 집광렌즈부(200) 및 조절렌즈부(300)를 포함하여 마련됨으로써, 광원부(100)로부터 조사된 광의 손실을 줄이는 것은 물론, 피사체(S)의 중심을 기준으로 하는 입사각을 키울 수 있게 되며, 이를 통해 광량 손실을 최소화할 수 있으므로 고해상도 이미지 구현이 가능하게 된다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)의 구성을 설명하기 위한 도면, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)를 통해 조사된 광의 경로를 설명하기 위한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)는 측면 조명으로만 구성된 상술한 일 실시예의 조명 장치(10)와 달리 동축 조명을 함께 포함하도록 구성된 경우이다.
도시된 바와 같이 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)는 조명의 효율을 일 실시예에서보다 더 높일 수 있는 구조로, 이러한 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)는 상술한 일 실시예에 따른 조명 장치(10)에서와 마찬가지로 광원부(100), 집광렌즈부(200), 조절렌즈부(300) 및 광 경로변경부(400)를 포함하여 마련될 수 있다.
다른 실시예의 조명 장치(10)에서 광원부(100)는 상술한 바와 같이 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)을 포함하며, 피사체(S)를 조명하는 광의 경로에 따라서 구분되는 동축 LED 광원(110) 및 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)을 포함하여 마련될 수 있다.
동축 LED 광원(110)은 광 경로변경부(400)에 의해 변경된 광의 경로가, 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 동축인 광을 조사하는 광원으로, 종래의 동축 조명으로서의 역할을 위해 마련된다.
따라서 동축 LED 광원(110)으로부터 조사된 광은 동축 LED 광원(110)과 대응되는 위치에 마련된 집광렌즈부(200)를 통해 집광되고, 조절렌즈부(300)를 통과하여 광 경로변경부(400)를 통해 광의 경로가 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 동축으로 변경되어 피사체(S)로 입사될 수 있다.
이러한 동축 LED 광원(110)은 라인 스캔 검사장치가 피사체(S)를 검사함에 있어서 피사체(S) 표면의 결함을 찾거나 피사체(S)에 기재된 문자를 인식하는 경우에 광을 조사할 수 있다.
한편 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)은 광 경로변경부(400)에 의해 변경된 광의 경로가 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 다른 경로로 조사되는 광을 조사하는 광원이다.
따라서 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)으로부터 조사된 광은 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)과 대응되는 위치에 마련된 집광렌즈부(200)의 적어도 하나의 집광렌즈(220)를 통해 집광되고, 조절렌즈부(300)를 통과하여 광 경로변경부(400)를 통해 광의 경로가 도시된 바와 같이 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과는 다른 경로로 피사체(S)로 입사될 수 있다.
그리고 이처럼 광원부(100)에 포함되는 동축 LED 광원(110)과 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)은 도시된 바와 같이 동일선상에서 일렬로 위치되는데, 동축 LED 광원(110)이 중심에 위치하고, 동축 LED 광원(110)의 상부 또는 하부에 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)이 위치될 수 있다.
적어도 하나의 수직 LED 광원(120)은 조사된 광과 피사체(S)의 평면이 이루는 각을 기준으로 고각 LED 광원(120-H) 및 저각 LED 광원(120-L)로 구분될 수 있다.
저각 LED 광원(120-L)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 고각 LED 광원(120-H)의 상부 또는 하부에 위치하여 마련된다. 이러한 저각 LED 광원(120-L)은 동축 LED 광원(110)으로부터 조사된 광과 피사체(S)의 평면이 이루는 직각보다 작은 저각(Low-angle)의 광을 조사하기 위해 마련된다.
이러한 저각 LED 광원(120-L)은 라인 스캔 검사장치를 통해 검사하는 피사체(S) 표면의 먼지, 흠집 및 지문을 포함하는 오염자국을 검사하는 경우에 광을 조사할 수 있다.
한편 고각 LED 광원(120-H)은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 동축 LED 광원(110)의 상부 또는 하부에 위치하여 마련된다. 이러한 고각 LED 광원(120-H)은 저각 LED 광원(120-L)으로부터 조사된 광의 경로와 피사체(S)의 평면이 이루는 각보다 큰 고각의 광을 조사하기 위해 마련된다. 즉, 고각 LED 광원(120-H)으로부터 조사되는 광의 경로와 피사체(S)의 평면이 이루는 각도는 동축 LED 광원(110)의 경로와 피사체(S)의 평면이 이루는 직각의 각도보다는 작지만, 저각 LED 광원(120-L)으로부터 조사되는 광의 경로와 피사체(S)의 평면이 이루는 각도보다는 큰 각도로 피사체(S)로 조사되게 된다.
이러한 고각 LED 광원(120-H)은 라인 스캔 검사장치를 통해 검사하는 피사체(S)가 요철면을 포함하는 피사체이거나 피사체의 외형의 결함을 검출하는 경우에 광을 조사할 수 있다.
집광렌즈부(200)는 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)으로부터 조사된 광을 집광하기 위한 것으로, 적어도 하나의 집광렌즈(210, 220)를 포함하여 마련된다.
그리고 적어도 하나의 집광렌즈(210, 220)는 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)에 대응되는 개수로 마련되어 적어도 하나의 집광렌즈(210, 220)는 각각 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)과 대응되는 위치에 마련되어 한 쌍을 이루게 된다.
구체적으로 도 5에 도시된 바와 같이 동축 LED 광원(110)에서 조사된 광을 집광하는 동축 집광렌즈(210)는 동축 LED 광원(110)과 대응되는 위치에 마련되어 동축 LED 광원(110)과 쌍을 이룰 수 있다. 그리고 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)에서 조사된 광을 집광하는 적어도 하나의 수직 집광렌즈(220)는 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)과 대응되는 위치에 각각 마련되어 각각의 수직 LED 광원(120)과 쌍을 이룰 수 있다.
예를 들면, 제1 고각 LED 광원(120-H1)은 제1 고각 집광렌즈(220-H1)와 쌍을 이루고 이를 통해 제1 고각 LED 광원(120-H1)으로부터 조사된 광은 제1 고각 집광렌즈(220-H1)에서 집광될 수 있다.
그리고 조절렌즈부(300)는 상술한 일 실시예에 따른 조절렌즈부(300)와 동일하거나 이로부터 충분히 유추가능한 바 자세한 설명은 생략하기로 한다.
한편, 광원부(100)로부터 조사된 광이 피사체(S)로 입사되도록 광의 경로를 변경하는 광 경로변경부(400)는 일 실시예에서의 광 경로변경부(400)와 동일하게 빔 스플리터(beam splitter)를 적용하여 동축 LED 광원(110) 및 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)을 통해 동축 조명 및 측면 조명을 동시에 구현할 수 있다.
반면 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 경로변경부(400)는, 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)의 광원부(100)에서와 같이 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)이 동축 LED 광원(110)과 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)으로 구성되는 경우, 광원부(100)로부터 조사되는 광의 밝기 효율을 보다 높이기 위해서 빔 스플리터(410) 및 적어도 하나의 광학거울(420)을 포함하여 마련될 수 있다.
빔 스플리터(410)는 동축 LED 광원(110)으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 것으로, 이러한 빔 스플리터(410)는 판형 빔 스플리터(plate type beam splitter)로 마련되고, 이러한 판형 빔 스플리터(410)는 동축 LED 광원(110)으로부터 조사되는 광이 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 동축으로 조사되어 피사체(S)로 입사되도록 할 수 있다. 여기서 빔 스플리터(410)는 필요에 따라 판형(plate)은 물론이거니와 육면체형으로 변경될 수도 있음은 물론이다.
한편, 적어도 하나의 광학거울(420)은 적어도 하나의 고각 LED 광원(120-H) 및 적어도 하나의 저각 LED 광원(120-L)을 포함하는 적어도 하나의 수직 광원(120)으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위해 마련된다.
이러한 광학거울(420)은 도시된 바와 같이 빔 스플리터(410)의 길이방향의 일단 및 타단에 각각 마련되고, 동축 LED 광원(110)을 중심으로 상하에 위치한 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하여 조명의 효율을 향상시킬 수 있게 된다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)는 수직 LED 광원(120)과 동축 LED 광원(110)이 동일선상에 위치하는 것이 아닌 도 7에 도시된 바와 같이 서로 대향하는 위치에 마련되는 경우이다.
본 발명의 일 실시예에서와 같이 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)들은 동일 선상에 위치하고, 동축 조명에 해당하는 동축 LED 광원(110)은 광 경로변경부(400)를 사이에 두고 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)들과 대향하는 위치에 마련될 수 있다.
이를 위해 도 7에 도시된 바와 같이 집광렌즈부(200)와 조절렌즈부(300, 500)는 복수개로 마련되어 각각 수직 LED 광원(120) 및 동축 LED 광원(110)와 한 쌍을 이루어 수직 LED 광원(120) 및 동축 LED 광원(110)에 대응되는 위치에 마련될 수 있다.
구체적으로 도 7에 도시된 바와 같이 집광렌즈부(200)는 동축 LED 광원(110)으로부터 조사되는 광을 집광하는 동축 집광렌즈(210)와 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)에 대응되는 수만큼 마련되는 적어도 하나의 수직 집광렌즈(220)가 한 쌍을 이루도록 마련된다. 그리고 적어도 하나의 수직 집광렌즈(220)와 대향되는 위치에 동축 LED 광원(100) 및 동축 LED 광원(110)과 쌍을 이루는 동축 집광렌즈(210)가 위치하도록 할 수 있다.
그리고 조절렌즈부(300, 500)는 본 발명의 일 실시예 또는 다른 실시예에서의 조절렌즈부(300)를 본 발명의 다른 실시예에서는 수직 조절렌즈부(300)로 하고, 동축 조절렌즈부(500)를 더 포함하여 마련될 수 있다.
그리고 적어도 하나의 LED 광원(110, 120)으로부터 조사된 광이 피사체(S)를 향해 이동하는 이동방향을 기준으로 하여, 수직 집광렌즈(220)의 후방에는 수직 조절렌즈부(300)가 위치되고, 동축 집광렌즈(210)의 후방에는 동축 조절렌즈부(500)가 위치될 수 있다.
즉, 도시된 바와 같이 광 경로변경부(400)를 기준으로 광 경로변경부(400)의 좌측에는 적어도 하나의 수직 LED 광원(120), 적어도 하나의 수직 집광렌즈부(220) 및 수직 조절렌즈부(300)가 한 쌍을 이루어 마련되고, 광 경로변경부(400)의 우측에는 동축 LED 광원(110), 동축 집광렌즈부(210) 및 동축 조절렌즈부(500)가 한 쌍을 이루어 마련되는 것이다.
따라서 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)에서 조사된 광은 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 수직한 방향으로 조사되고, 수직 LED 광원(120)에 대응되는 집광렌즈부(200) 및 조절렌즈부(300)를 통과하여 광 경로변경부(400)에 도달되고, 광 경로변경부(400)에서 광 경로가 피사체(S)를 향하는 방향으로 변경되어 최종적으로 피사체(S)로 입사될 수 있게 된다.
동축 LED 광원(110)에서 조사된 광 역시 마찬가지로 라인 스캔 카메라(C)의 중심축(CL)과 수직한 방향으로 조사되고, 동축 LED 광원(110)에 대응되는 집광렌즈부(200) 및 조절렌즈부(300)를 통과하여 광 경로변경부(400)에 도달되어 광 경로변경부(400)에서 광 경로가 피사체(S)를 향하는 방향으로 변경됨으로써 최종적으로 피사체(S)로 입사될 수 있게 된다.
한편, 또 다른 실시예에 따른 조명 장치(10)에서의 광 경로변경부(400)는 다른 실시예에 따른 광 경로변경부(400)와 마찬가지로 빔 스플리터(410) 및 적어도 하나의 광학거울(420)을 포함하여 마련될 수 있다.
이러한 다른 실시예에 따른 빔 스플리터(410)는 판형 빔 스플리터가 아닌 도 7에 도시된 바와 같이 육면체형 빔 스플리터로 마련되고, 적어도 하나의 광학거울(420)은 육면체형 빔 스플리터(410)를 사이에 두고 육면체형 빔 스플리터(410)의 일측 및 타측에 위치할 수 있다. 이를 통해 동축 LED 광원(110)으로부터 조사되는 광을 제외한 적어도 하나의 수직 LED 광원(120)으로부터 조사되는 광의 광경로를 광학거울(420)을 통해 변경함으로써 조명의 밝기 효율을 높일 수 있게 된다.
이상에서는 본 발명의 다양한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.
100 : 광원부 110 : 동축 LED 광원
120 : 수직 LED 광원 200 : 집광렌즈부
210 : 동축 집광렌즈 220 : 수직 집광렌즈
300 : 조절렌즈부 310 : 제1 조절렌즈
320 : 제2 조절렌즈 400 : 광 경로변경부
500 : 동축 조절렌즈부

Claims (12)

  1. 라인 스캔 카메라를 이용해 피사체를 검사하는 라인 스캔 검사장치에 사용되는 라인 조명 장치에 있어서,
    상기 라인 스캔 카메라의 측면에 위치하고, 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 수직한 방향으로 광을 조사하는 적어도 하나의 LED 광원을 포함하는 광원부;
    상기 적어도 하나의 LED 광원으로부터 조사된 광을 집광하는 적어도 하나의 집광렌즈를 포함하는 집광렌즈부;
    상기 조사된 광이 진행하는 방향을 기준으로 상기 집광렌즈부의 후방에 위치하여 상기 집광렌즈부를 통과한 광의 조사각 및 초점을 조절하는 조절렌즈부; 및
    상기 라인 스캔 카메라와 상기 피사체의 사이에 위치하고, 상기 조절렌즈부를 통과한 광이 상기 피사체를 향하도록 상기 조절렌즈부를 통과한 광의 경로를 변경하는 광 경로변경부를 포함하는 라인 조명 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 광원부는,
    상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 동축인 광을 조사하는 동축 LED 광원; 및
    상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 다른 광을 조사하는 적어도 하나의 수직 LED 광원을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 수직 LED 광원은,
    상기 동축 LED 광원을 중심으로 상부 또는 하부에 위치하되, 상기 동축 LED 광원과 동일선상에 위치하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 수직 LED 광원은,
    상기 동축 LED 광원의 상부 또는 하부에 위치하여 광을 조사하되, 상기 광 경로변경부에 의해 경로가 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 동축 LED 광원으로부터 조사된 광과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 작은 저각(low-angle)의 광을 조사하는 적어도 하나의 저각 LED 광원; 및
    상기 적어도 하나의 저각 LED 광원과 상기 동축 LED 광원의 사이에 위치하여 광을 조사하되, 상기 광 경로변경부에 의해 경로가 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원으로부터 조사된 광과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 큰 고각(high-angle)의 광을 조사하는 적어도 하나의 고각 LED 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 라인 스캔 검사장치가 상기 피사체를 검사함에 있어서 상기 피사체 표면의 결함을 찾거나, 상기 피사체에 기재된 문자를 인식하는 경우에는 상기 동축 LED 광원으로부터 광이 조사되는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 피사체가 요철면을 포함하는 피사체이거나, 상기 피사체의 외형의 결함을 검출하는 경우에는 상기 적어도 하나의 고각 LED 광원으로부터 광이 조사되는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 피사체 표면의 먼지, 흠집 및 지문을 포함하는 오염자국을 검출하는 경우에는 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원으로부터 광이 조사되는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  7. 제 2항에 있어서,
    상기 광 경로변경부는,
    상기 동축 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 판형 빔 스플리터(plate type beam splitter); 및
    상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 적어도 하나의 광학거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 광학 거울은,
    상기 빔 스플리터의 길이 방향의 일단 또는 타단에 위치하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  9. 제2항에 있어서,
    상기 광 경로부는,
    상기 동축 LED 광원 및 상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 빔 스플리터(beam splitter) 인 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 광원부는,
    상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 작은 저각의 광을 조사하는 적어도 하나의 저각 LED 광원; 및
    상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로와 상기 피사체의 평면이 이루는 각이 상기 적어도 하나의 저각 LED 광원과 상기 피사체의 평면이 이루는 각보다 큰 고각의 광을 조사하는 적어도 하나의 고각 LED 광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 광 경로변경부에 의해 변경된 광의 경로가 상기 라인 스캔 카메라의 중심축과 동축인 광을 조사하는 동축 LED 광원을 더 포함하고,
    상기 적어도 하나의 저각 LED 광원은,
    상기 적어도 하나의 고각 LED 광원의 상부 또는 하부에 위치하되, 상기 고각 LED 광원과 동일선상에 위치하며,
    상기 동축 LED 광원은,
    상기 적어도 하나의 저각 LED 광원 및 상기 적어도 하나의 고각 LED 광원과 대향하는 위치에 마련되는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 광 경로변경부는,
    상기 동축 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 육면체형 빔 스플리터(cube type beam splitter); 및
    상기 적어도 하나의 수직 LED 광원으로부터 조사되는 광의 경로를 변경하기 위한 적어도 하나의 광학거울을 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 조명 장치.

KR1020210108918A 2021-08-18 2021-08-18 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치 KR20230026826A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210108918A KR20230026826A (ko) 2021-08-18 2021-08-18 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210108918A KR20230026826A (ko) 2021-08-18 2021-08-18 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230026826A true KR20230026826A (ko) 2023-02-27

Family

ID=85329514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210108918A KR20230026826A (ko) 2021-08-18 2021-08-18 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230026826A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080086734A (ko) 2007-03-23 2008-09-26 신경택 조명장치를 구비한 감식용 카메라

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080086734A (ko) 2007-03-23 2008-09-26 신경택 조명장치를 구비한 감식용 카메라

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6086362B2 (ja) 検査システム及び検査用照明装置
JP5471477B2 (ja) ネジ山の検査装置
JP5911865B2 (ja) 照明システム
JP2012519265A (ja) 基板の欠陥を検出するシステム及び方法
KR101756614B1 (ko) 검사용 조명장치 및 검사 시스템
KR100561156B1 (ko) 관측장치
KR101650138B1 (ko) 다중 표면 검사 시스템 및 방법
JP5807772B2 (ja) 欠陥検出装置およびその方法
US7602483B2 (en) Device for dark field illumination and method for optically scanning of object
KR101248184B1 (ko) 비전 검사용 조명 장치
JP2016014632A (ja) 照明装置
JP7246938B2 (ja) 検査装置
JP2022049881A (ja) 光学装置
KR101124567B1 (ko) 하이브리드 조명부를 포함하는 웨이퍼 검사 장치
KR20230026826A (ko) 라인 스캔 검사를 위한 조명 장치
KR101920552B1 (ko) 조명 장치 및 검사 장치
KR20150119884A (ko) 검사 장치
JP2019120540A (ja) 欠陥検査装置、及び、欠陥検査装置の製造方法
WO2002016916A1 (fr) Projecteur pour controle d'aspect
KR102336094B1 (ko) 다이의 방향을 결정하기 위한 장치
KR101472357B1 (ko) 듀얼 렌즈를 이용한 반도체 패턴 검사 시스템
KR102620467B1 (ko) 용기형 물체의 다각도 촬영 장치
TWI656322B (zh) 螢光顯微鏡和具有螢光顯微鏡的基底檢驗裝置
TW202206804A (zh) 檢查裝置
JP2024018963A (ja) 欠陥を分析するための検査システム及び方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal