KR20230016097A - 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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KR20230016097A
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김용환
이상민
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명은, 개구부를 포함하는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱과, 상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱을 포함한다.

Description

마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display device}
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
표시 장치의 제조 시 일정한 패턴을 갖는 층을 형성하기 위하여 마스크 조립체를 사용한다. 이때, 마스크 조립체는 고온의 환경에 노출되거나 반복 사용으로 인하여 자체 하중으로 인하여 마스크 조립체의 구성 중 적어도 하나가 쳐지는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체를 통하요 표시 장치를 제조할 때 증착물질이 통과하는 영역이 가변하거나 마스크 시트를 지지하지 못함으로써 기판 상에 배치되는 층의 배열이 기 설계된 것과 상이해 질 수 있다. 본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴으로 증착이 가능한 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 개구부를 포함하는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱과, 상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱을 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱은, 제1지지스틱바디와, 상기 제1지지스틱바디에 연결되며, 개구영역을 포함하고, 상기 제2지지스틱을 지지하는 지지부와, 상기 제1지지스틱바디와 연결되며 상기 지지부와 이격되도록 배치된 브릿지부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부에는 관통홀이 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께와 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 중첩되는 상기 제2지지스틱 부분에 관통홀이 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱이 서로 중첩되는 부위는 용접으로 고정될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 시트를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱은 각각 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제1지지스틱은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 상기 복수개의 제2지지스틱은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 일부에 삽입되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 다른 일부 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 기판과 마주보도록 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체를 마주보도록 배치되는 소스부를 포함하고, 상기 마스크 조리체는, 개구부를 포함하는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱과, 상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱을 포함하는 표시 자치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱은, 제1지지스틱바디와, 상기 제1지지스틱바디에 연결되며, 개구영역을 포함하고, 상기 제2지지스틱을 지지하는 지지부와, 상기 제1지지스틱바디와 연결되며 상기 지지부와 이격되도록 배치된 브릿지부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부에는 관통홀이 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께와 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 중첩되는 상기 제2지지스틱 부분에 관통홀이 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱이 서로 중첩되는 부위는 용접으로 고정될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 시트를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱은 각각 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제1지지스틱은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 상기 복수개의 제2지지스틱은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 일부에 삽입되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 다른 일부 상에 배치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체를 기판과 대향하도록 배치하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 상기 기판을 정렬하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 마주보도록 배치된 소스부로 증착물질을 공급하여 상기 기판 상에 상기 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체는 장시간 사용하더라도 지지스틱이 쳐지는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 패턴을 기판 상에 형성하는 것이 가능하다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 품질의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 2c는 도 2b의 I부분을 확대하여 보여주는 사시도이다.
도 2d는 도 2c의 Ⅱ-Ⅱ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 3b는 도 3a의 Ⅲ-Ⅲ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 6b는 도 6a의 Ⅵ-Ⅵ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A´선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 1을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1지지부(120), 제2지지부(130), 마스크 조립체(150), 소스부(140), 자기력부(160), 비젼부(170) 및 압력조절부(180)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개구될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110-1)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(110-1)의 작동에 따라서 챔버(110)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
제1지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 안착하여 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(120)는 디스플레이 기판(D)이 안착되며, 챔버(110) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(120)는 챔버(110)에 고정되거나 챔버(110) 내부에서 승하강 가능하도록 챔버(110)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정되는 플레이트 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착될 수 있다. 이때, 제2지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
다른 실시예로서 제2지지부(130)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착되며, 마스크 조립체(150)를 이송 가능할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(130)는 챔버(110) 외부로 이동하여 마스크 조립체(150)가 안착된 후 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 진입할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1지지부(120)와 제2지지부(130)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150) 상에 디스플레이 기판(D)이 안착된 상태로 마스크 조립체(150)와 디스플레이 기판(D)을 고정시키는 구조를 포함하며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다.
다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
소스부(140)는 마스크 조립체(150)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 소스부(140)에는 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 소스부(140)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(110) 내부에 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 소스부(140)가 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지스틱(153,154)를 포함할 수 있다.
자기력부(160)는 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(D) 측으로 마스크 조립체(150)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(160)는 마스크 시트(152)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라 마스크 시트(152)를 디스플레이 기판(D)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)와 디스플레이 기판(D) 사이의 간격을 마스크 시트(152)의 길이 방향에 대해서 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(170)는 챔버(110)에 설치되며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(170)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 제1지지부(120)에서 디스플레이 기판(D)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(181)과 연결배관(181)에 설치되는 펌프(182)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(182)의 작동에 따라서 연결배관(181)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(110) 내부의 기체를 연결배관(181)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)는 후술할 표시 장치(미도시)를 제조하는데 사용될 수 있다. 구체적으로 압력조절부(180)가 챔버(110) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들면, 게이트밸브(110-1)가 작동하여 챔버(110)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 외부에서 디스플레이 기판(D)을 챔버(110) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 다양한 방식으로 챔버(110)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 기판(D)은 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(120)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(120)가 챔버(110) 내부에서 챔버(110) 외부로 반출된 후 챔버(110) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 제1지지부(120)에 안착시키고 제1지지부(120)가 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암을 통하여 디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(150)는 상기와 같이 챔버(110) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 디스플레이 기판(D)과 동일 또는 유사하게 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)는 챔버(110) 내부에 배치된 상태에서 디스플레이 기판(D)만 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 경우 다른 실시예로서 상기에서 설명한 것과 같이 제1지지부(120)와 제2지지부(130)가 셔틀 형태로써 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)를 고정시킨 후 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 내부로 장입되면, 디스플레이 기판(D)은 제1지지부(120)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)의 제1얼라인마크 및 마스크 조립체(150)의 제2얼라인마크를 촬영할 수 있다.
상기와 같이 촬영된 제1얼라인마크와 제2얼라인마크를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다.
디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 소스부(140)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(150) 측으로 공급하고, 마스크 시트(152)의 복수 개의 개구부를 통과한 증착 물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 펌프(182)는 챔버(110) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(110) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같은 경우 증착 물질은 상기에서 설명한 증착 영역(미도시) 상에 배치된 개구부를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 상기에서 설명한 바와 같이 설계된 증착 영역과 동일 또는 유사한 상기 증착 영역을 제공할 수 있다.
상기와 같은 작업은 복수개의 디스플레이 기판(D)에서 반복하여 수행될 수 있다. 이때, 복수개의 디스플레이 기판(D)에 대한 증착 횟수가 기 설정된 횟수와 동일해지는 경우 표시장치의 제조장치(100)의 작동은 중지되고, 마스크 조립체(150)를 챔버(110) 외부로 인출할 수 있다.
마스크 조립체(150)에는 증착 시 사용되는 증착물질이 증착된 상태일 수 있으므로 마스크 조립체(150)에 세정액을 분사형 마스크 조립체(150)를 세정할 수 있다. 특히 이러한 경우 마스크 시트(152)의 개구부에 증착물질이 증착되는 경우 디스플레이 기판(D) 상에 기 설계된 영역만큼 증착물질이 증착되지 못함으로써 정밀한 증착이 어려울 수 있다. 그러나 상기와 같이 마스크 조립체(150) 외면 및/또는 마스크 시트(152)의 개구부의 내면에 흡착된 증착물질을 세정함으로써 상기와 같은 문제를 해결할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(D)에 설계된 형태와 동일 또는 유사한 영역에 증착 물질을 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 정밀한 패턴으로 증착물질을 증착하는 것이 가능하므로 정밀한 이미지 구현이 가능한 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2b는 도 2a에 도시된 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다. 도 2c는 도 2b의 I부분을 확대하여 보여주는 사시도이다. 도 2d는 도 2c의 Ⅱ-Ⅱ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 2a 내지 도 2d를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지스틱(153,154)를 포함할 수 있다.
마스크 조립체(150)는 내부에 공간이 형성되도록 복수 개의 프레임이 서로 연결될 수 있다. 일 실시예로써 마스크 조립체(150)는 중앙에 하나의 개구부가 형성된 액자 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 복수 개의 개구부를 포함하는 창틀과 같은 격자 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)가 중앙에 하나의 개구부가 형성된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 시트(152)는 적어도 1개 이상 구비될 수 있으며, 마스크 시트(152)가 적어도 2개 이상 구비되는 경우 적어도 2개 이상의 마스크 시트(152)는 서로 이격되도록 마스크 프레임(151)에 배치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 제1방향(예를 들면, 도 1의 Y축 방향 또는 도 1의 X방향 중 하나)으로 배열될 수 있다.
마스크 시트(152)는 적어도 하나 이상의 개구부(152a)를 포함할 수 있다. 특히 마스크 시트(152)에는 길이 방향으로 복수 개의 개구부(152a)가 형성될 수 있다. 이때, 복수 개의 개구부(152a)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 마스크 시트(152)의 전면에 형성될 수 있다.
지지스틱(153,154)은 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 지지스틱(153,154)은 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질이 통과하는 증착 영역(미도시)를 정의할 수 있다. 이때, 지지스틱(153,154)은 복수 개 구비될 수 있으며, 마스크 프레임(151)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 또한, 각 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)와 일정 각도를 형성할 수 있다. 이러한 경우 각 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향과 수직한 방향(예를 들면, 도 1의 X방향 또는 도 1의 Y방향)으로 배열될 수 있다. 다른 실시예로써 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 지지스틱(153,154)은 복수개 구비되며, 복수개의 지지스틱(153,154) 중 일부는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되고, 복수개의 지지스틱(153,154) 중 다른 일부는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 일정 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 지지스틱(153,154) 중 적어도 2개는 서로 교차하도록 배열될 수 있다. 이때, 복수개의 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향과 일정 각도를 형성하도록 배치되며, 복수개의 마스크 시트(152)를 가로지르도록 배치되는 제2지지스틱(153)과, 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되며, 인접하는 마스크 시트(152) 사이에 배치되는 제1지지스틱(154)을 포함할 수 있다.
상기와 같은 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 각각 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1지지스틱(154)은 제1방향(예를 들면, 도 2a의 X축 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있고, 복수개의 제2지지스틱(153)은 제2방향(예를 들면, 도 2a의 Y축 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 마스크 프레임(151)의 개구영역(154c)을 복수개로 구분할 수 있다. 이러한 경우 복수개로 구분된 마스크 프레임(151)의 개구영역은 디스플레이 기판(D)의 표시 영역(DA)에 증착되는 증착물질이 통과하는 하나의 통과영역(S)을 형성할 수 있다.
상기와 같은 경우 제2지지스틱(153)은 제1지지스틱(154)을 통과하도록 배치될 수 있다. 이때, 제1지지스틱(154)에는 제2지지스틱(153)이 삽입되도록 홀이 형성될 수 있다. 구체적으로 제1지지스틱(154)은 일정한 두께를 갖는 제1지지스틱바디(154e)와, 제2지지스틱(153)이 삽입될 때 제2지지스틱(153)을 지지하는 지지부(154a), 제1지지스틱바디(154e)와 연결되는 브릿지부(154b)를 포함할 수 있다. 이때, 지지부(154a)는 서로 이격되도록 2개가 구비될 수 있으며, 2개의 지지부(154a) 사이에는 개구영역(154c)이 형성될 수 있다. 또한, 브릿지부(154b)는 개구영역(154c)과 평면 상에서 볼 때 중첩되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 2개의 지지부(154a) 사이에는 브릿지부(154b)가 배치될 수 있다.
제2지지스틱(153)의 두께는 제2지지스틱(153)의 길이 방향에 따라 가변할 수 있다. 예를 들면, 제2지지스틱(153)의 일 부분(153a)의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께와 상이할 수 있다. 구체적으로 브릿지부(154b)와 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분(153a)의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께보다 작을 수 있다. 특히 브릿지부(154b)와 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께의 1/2일수 있다. 이러한 경우 브릿지부(154b)와 중첩되도록 배치된 제2지지스틱(153) 부분(153a)은 홈이 형성된 상태일 수 있다. 이때, 상기와 같은 두께는 도 2a의 Z축 방향으로 측정될 수 있다.
상기와 같은 제2지지스틱(153)은 복수개의 제2지지스틱(153)을 모두 관통하도록 배치될 수 있다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)의 제조방법을 살펴보면, 마스크 프레임(151)에 지지스틱(153,154)을 배치한 후 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다. 이때, 지지스틱(153,154)은 인장된 상태에서 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있으며, 마스크 시트(152)와 간섭을 방지하도록 마스크 프레임(151)에 형성된 홈에 끝단이 삽입될 수 있다.
상기와 같은 경우 지지스틱(153,154)을 마스크 프레임(151)에 인장된 상태로 고정되므로 마스크 프레임(151)이 휘어지거나 변형될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 부착하는 경우 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151) 사이가 들뜨거나 마스크 시트(152)가 휘어진 상태가 될 수 있다.
상기와 같은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 제2지지스틱(153)이 제1지지스틱(154)에 삽입된 상태로 마스크 프레임(151)에 배치될 수 있다. 이때, 브릿지부(154b)의 상면과 제2지지스틱(153)의 상면은 동일한 평면을 형성함으로써 마스크 시트(152)가 배치되는 경우 마스크 시트(152)의 표면이 굴곡지지 않도록 할 수 있다.
상기와 같이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)을 배치한 후 마스크 시트(152)를 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 인장시켜 마스크 프레임(151)에 용접으로 고정시킬 수 있다.
한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)를 사용하는 경우 제2지지스틱(153)은 마스크 시트(152)의 하중 및/또는 제2지지스틱(153) 자체하중으로 인하여 중력 방향으로 쳐질 수 있다. 이때, 제1지지스틱(154)은 제2지지스틱(153)을 지지함으로써 마스크 시트(152)의 쳐짐 및/또는 제2지지스틱(153)의 쳐짐을 저감시킬 수 있다.
따라서 마스크 조립체(150)는 제조 후 마스크 조립체(150)의 변형을 최소화함으로써 기 설계된 증착 영역에 동일하거나 유사한 증착 영역을 구현하는 것이 가능하다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 3b는 도 3a의 Ⅲ-Ⅲ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 3a 및 도 3b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
제1지지스틱(154)은 제2지지스틱(153)이 삽입되는 부분에 배치되는 지지부(154a)와 브릿지부(154b)를 포함할 수 있다. 이때, 브릿지부(154b)는 제1관통홀(154d)을 구비할 수 있다. 이러한 제1관통홀(154d)은 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우 세정액이 통과하도록 브릿지부(154b)를 관통하여 형성될 수 있다.
상기와 같은 경우 세정액을 상기 마스크 조립체에 분사하는 경우 세정액은 제1관통홀(154d)을 통과하여 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 분사됨으로써 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하는 증착물질을 제거할 수 있다. 뿐만 아니라 세정이 완료된 후 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 잔존하는 세정액이 지지부(154a) 사이의 공간, 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 사이 및/또는 제1관통홀(154d)로 배출될 수 있다.
따라서 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우에도 세정액이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하지 않음으로써 세정액의 잔존으로 인한 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 중 적어도 하나의 변형을 최소화할 수 있다. 상기와 같은 제1관통홀(154d)은 도면에 도시되어 있지는 않지만 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제1관통홀(154d)은 브릿지부(154b)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트 및 제1지지스틱(154)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
제2지지스틱(153)은 제2관통홀(153b)을 구비할 수 있다. 이때, 제2관통홀(153b)은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 배치될 수 있다. 특히 제2관통홀(153b)은 브릿지부(154b)에 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2관통홀(153b)은 제2지지스틱(153)의 두께가 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께보다 작은 제2지지스틱(153) 부분에 배치될 수 있다.
상기 마스크 조립체를 세정하는 경우 세정액은 제2관통홀(153b)을 통과할 수 있다. 상기와 같은 경우 세정액을 상기 마스크 조립체에 분사하는 경우 세정액은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 잔존하는 세정액이 지지부(154a) 사이의 공간, 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 사이 및/또는 제2관통홀(153b)로 배출될 수 있다.
따라서 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우에도 세정액이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하지 않음으로써 세정액의 잔존으로 인한 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 중 적어도 하나의 변형을 최소화할 수 있다.
도면에 도시되어 있지 않지만 제2관통홀(153b)은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제2관통홀(153b)은 두께가 다른 부분과 상이한 제2지지스틱(153) 부분에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만 제1지지스틱(154)은 도 3a 및 도 3b에 도시된 것과 같이 제1관통홀(154d)을 구비하는 것도 가능하다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 5를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 각각 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 각 제2지지스틱(153)은 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)만을 관통하여 배치되고 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)의 상면에 배치될 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1지지스틱(154)의 중 다른 일부(154-1)의 상면은 제2지지스틱(153)이 관통하는 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)의 상면보다 낮게 배치될 수 있다.
즉, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)는 제2지지스틱(153)이 관통하는 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)보다 마스크 프레임(151)에 더 깊게 삽입될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)가 배치되는 평면은 제2지지스틱(153)의 상면과 평행할 수 있다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다. 도 6b는 도 6a의 Ⅵ-Ⅵ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 6a 및 도 6b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
상기와 같은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 서로 교차하는 지점에서 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1지지스틱(154)의 브릿지부(154b)는 제2지지스틱(153)의 두께가 제2지지스틱(153)의 다른 부분과 상이한 제2지지스틱(153)의 일부분과 용접으로 인하여 서로 연결될 수 있다. 이때, 용접으로 인해 발생한 용접점(SP)는 브릿지부(154b)와 제2지지스틱(153)의 오목한 부분(153a)에 일체로 형성되어 브릿지부(154b)와 제2지지스틱(153)의 오목한 부분(153a)를 연결할 수 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 7을 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다.
상기와 같은 경우 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)는 각 제2지지스틱(153)과 용접으로 연결되며, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)는 각 제2지지스틱(153)과 용접으로 연결될 수 있다. 이러한 경우 각 제1지지스틱(154)에 배치되는 용접점(SP)는 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 하나(154-2)에 배치되는 용접점(SP)는 도 7의 상측에 배치될 수 있으며, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 하나(154-2)에 배치되는 용접점(SP)는 도 7의 하측에 배치될 수 있다. 이러한 경우 하나의 제1지지스틱(154)은 하나의 제2지지스틱(153)과 용접점(SP)으로 연결될 수 있다. 즉, 서로 다른 제1지지스틱(154)은 서로 다른 제2지지스틱(153)과 용접을 통하여 연결될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8의 A-A´선을 따라 취한 단면도이다.
도8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 유기 발광 소자(28)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
상기와 같은 표시 영역(DA)에는 상기에서 설명한 증착 영역(미표시)을 통과한 복수 개의 증착물질 패턴이 배치될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)은 비정형 형태일 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 중간층(28-2)과, 중간층(28-2) 상에 배치된 대향 전극(28-3)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 대향 전극(28-3)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다.
디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로써 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다.
상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 부화소는 하나의 중간층(28-2)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 부화소를 형성하는 경우 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 통하여 중간층(28-2)을 형성할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층, 제2유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층, 상기 제2유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)와 제1무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제1유기층은 제2무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 설계된 표시 영역과 동일 또는 유사한 표시 영역이 구현될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
110: 챔버
120: 제1지지부
130: 제2지지부
140: 소스부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153: 제2지지스틱
154: 제1지지스틱
160: 자기력부
170: 비젼부
180: 압력조절부
20: 표시 장치

Claims (20)

  1. 개구부를 포함하는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱; 및
    상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱;을 포함하는 마스크 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱은,
    제1지지스틱바디;
    상기 제1지지스틱바디에 연결되며, 개구영역을 포함하고, 상기 제2지지스틱을 지지하는 지지부; 및
    상기 제1지지스틱바디와 연결되며 상기 지지부와 이격되도록 배치된 브릿지부;를 포함하는 마스크 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 브릿지부에는 관통홀이 형성된 마스크 조립체.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께와 상이한 마스크 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께보다 작은 마스크 조립체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 중첩되는 상기 제2지지스틱 부분에 관통홀이 배치된 마스크 조립체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱이 서로 중첩되는 부위는 용접으로 고정되는 마스크 조립체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 시트;를 더 포함하는 마스크 조립체.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱은 각각 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 제1지지스틱은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치되며,
    상기 복수개의 제2지지스틱은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치되고,
    상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 일부에 삽입되고,
    상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 다른 일부 상에 배치되는 마스크 조립체.
  10. 기판과 마주보도록 배치되는 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체를 마주보도록 배치되는 소스부;를 포함하고,
    상기 마스크 조리체는,
    개구부를 포함하는 마스크 프레임;
    상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱; 및
    상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱;을 포함하는 표시 자치의 제조장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱은,
    제1지지스틱바디;
    상기 제1지지스틱바디에 연결되며, 개구영역을 포함하고, 상기 제2지지스틱을 지지하는 지지부; 및
    상기 제1지지스틱바디와 연결되며 상기 지지부와 이격되도록 배치된 브릿지부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 브릿지부에는 관통홀이 형성된 표시 장치의 제조장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께와 상이한 표시 장치의 제조장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께보다 작은 표시 장치의 제조장치.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 중첩되는 상기 제2지지스틱 부분에 관통홀이 배치된 표시 장치의 제조장치.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱이 서로 중첩되는 부위는 용접으로 고정되는 표시 장치의 제조장치.
  17. 제 10 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 시트;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치.
  18. 제 10 항에 있어서,
    상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱은 각각 복수개 구비되며,
    상기 복수개의 제1지지스틱은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치되며,
    상기 복수개의 제2지지스틱은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치되고,
    상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 일부에 삽입되고,
    상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 다른 일부 상에 배치되는 표시 장치의 제조장치.
  19. 제1항 내지 제9항 중 어느 하나의 항의 마스크 조립체를 기판과 대향하도록 배치하는 단계;
    상기 마스크 조립체와 상기 기판을 정렬하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체와 마주보도록 배치된 소스부로 증착물질을 공급하여 상기 기판 상에 상기 증착물질을 증착시키는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 세정하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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