KR20230000465U - 정렬 기기 - Google Patents

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훙룽 첸
차이찬 리
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케이-제트 레이저 테크 인코포레이티드
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Abstract

정렬 기기는 제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합하다. 이 정렬 기기는 제1 플랫폼, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재를 포함한다. 제1 플랫폼은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임은 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 제1 단부가 제1 플랫폼에 연결된다. 제1 로딩 부재는 상기 제2 단부에 연결되고, 제1 플랫폼과 대향되며, 제1 로딩 부재는 제1 기판을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼은 제1 플랫폼 상에 배치되고 제1 플랫폼에 대해 이동 및 회전하기 적합하다. 제2 로딩 부재는 제2 플랫폼 상에 배치되고, 제1 로딩 부재와 대향되며, 제2 로딩 부재는 제2 기판을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼이 이동할 경우, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재가 함께 이동한다.

Description

정렬 기기{ALIGNMENT APPARATUS}
본 고안은 제조 공정 장비에 관한 것이고, 특히 정렬 기기에 관한 것이다.
최근 반도체 산업의 발달로 인해 많은 반도체 관련 장비들이 파생되고 있다. 반도체 제조 공정에서 후속 가공의 제조 공정을 용이하게 하기위해 두개의 기판을 정렬해야 하는 경우가 많다.
종래의 정렬 기기는 2개의 플랫폼을 포함하고, 각각의 플랫폼은 하나의 기판을 로딩한다. 정렬 과정에서, 2개의 플랫폼은 로딩된 기판을 각각 이동 및 회전시켜 2개의 기판을 정렬한다. 정렬이 완료된 후, 2개의 플랫폼은 각각에 로딩된 기판을 동기화 이동하여 후속적인 제조 공정을 수행한다. 그러나 이동 과정에서 2개의 플랫폼의 정밀도에 오차가 발생하기 쉬운 관계로, 2개의 기판의 이동할 경우 정확하게 정렬되지 않는 경우가 종종 있다.
본 고안은 정렬된 2개의 기판의 이동시 지속적으로 정확한 정렬을 보장하는 정렬 기기를 제공한다.
본 고안에서 제공되는 일 실시예는 제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합한 정렬 기기를 제공하고, 이 정렬 기기는 제1 플랫폼, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재를 포함한다. 제1 플랫폼은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임은 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 제1 단부가 제1 플랫폼에 연결된다. 제1 로딩 부재는 제2 단부에 연결되고, 제1 플랫폼과 대향되며, 제1 로딩 부재는 제1 기판을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼은 제1 플랫폼 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합하다. 제2 로딩 부재는 제2 플랫폼 상에 배치되고, 제1 로딩 부재와 대향되며, 제2 로딩 부재는 제2 기판을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼이 이동할 경우, 지지 프레임, 제1 로딩 부재, 제2 플랫폼 및 제2 로딩 부재가 함께 이동한다.
본 고안의 실시예에서, 상기 제1 플랫폼은 제1 수평 이동 메커니즘 및 제1 회전 메커니즘을 포함한다. 제1 회전 메커니즘은 제1 수평 이동 메커니즘 상에 배치되며, 제1 회전 메커니즘은 고정부 및 회전부를 포함하고, 회전부는 고정부를 둘러싼다. 지지 프레임의 제1 단부는 회전부에 연결된다. 제2 플랫폼은 제2 수평 이동 메커니즘 및 제2 회전 메커니즘을 포함하고, 제2 수평 이동 메커니즘은 고정부 상에 배치되며, 제2 회전 메커니즘은 제2 수평 이동 메커니즘 상에 배치되고, 제2 로딩 부재는 제2 회전 메커니즘 상에 배치된다.
본 고안의 실시예에서, 상기 제1 수평 이동 메커니즘 및 제2 수평 이동 메커니즘은 서로 수직되는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하기 적합하다.
본 고안의 실시예에서, 상기 제2 플랫폼은, 제2 수평 이동 메커니즘과 제2 회전 메커니즘 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘을 더 포함한다.
본 고안의 실시예에서, 상기 제1 로딩 부재는 환형 고정 소자 및 환형 클램핑 소자를 포함한다. 환형 고정 소자는 지지 프레임의 제2 단부에 연결되고, 환형 클램핑 소자는 환형 고정 소자에 고정되어 제1 기판을 클램핑하기 적합하다.
본 고안의 실시예에서, 상기 환형 고정 소자는 제1 환형부와 제2 환형부를 구비한다. 제1 환형부는 제2 환형부를 둘러싸며, 제1 환형부는 지지 프레임의 제2 단부에 고정되고, 제2 환형부는 제1 로딩면을 구비하며, 제1 로딩면은 제1 환형부에 대하여 함몰되고, 환형 클램핑 소자는 제1 로딩면에 고정된다.
본 고안의 실시예에서, 상기 환형 클램핑 소자는 복수 개의 잠금 나사, 복수 개의 걸림 나사, 클램핑 링 및 당접 부재를 포함한다. 클램핑 링은 제3 환형부와 제4 환형부를 구비하고, 제3 환형부는 제4 환형부를 둘러싼다. 제3 환형부는 복수 개의 제1 스크류 홀, 복수 개의 제2 스크류 홀 및 함몰 구조를 구비하고, 제1 로딩면은 제1 스크류 홀에 대응되는 복수 개의 잠금 홈을 구비하며, 잠금 나사는 제1 스크류 홀을 관통하여 잠금 홈에 체결되고, 걸림 나사는 제2 스크류 홀을 관통하여 제1 로딩면에 당접된다. 제4 환형부는 제1 기판을 로딩하기 위한 제2 로딩면을 구비하고, 제2 로딩면은 제3 환형부에 대하여 함몰된다. 제4 환형부는 함몰 구조에 대응되는 노치를 구비한다. 당접 부재는 함몰 구조에 배치되고 노치에 인입되어, 제3 환형부의 내측 벽과 함께 제1 기판을 클램핑한다.
본 고안의 실시예에서, 상기 환형 클램핑 소자는 고정 부재 및 복수 개의 탄성 부재를 더 포함하고, 함몰 구조의 저부에는 고정 홀 및 복수 개의 포지셔닝 홈이 설치되며, 당접 부재는 제1 플레이트부와 제2 플레이트부를 포함하고, 제1 플레이트부는 함몰 구조내에 설치되며, 제2 플레이트부는 제1 플레이트부에 연결되고 노치에 인입된다. 탄성 부재는 포지셔닝 홈 내에 설치되고 소정 방향을 따라 제2 플레이트부를 가압하고, 제1 플레이트부는 관통 홀을 구비하며, 고정 부재는 관통 홀을 관통하여 고정 홀에 고정된다.
본 고안의 실시예에서, 상기 제3 환형부의 내측 벽에는 복수 개의 돌기 구조가 설치되고, 이러한 돌기 구조와 당접 부재는 함께 제1 기판을 클램핑한다.
본 고안의 실시예에서, 상기 정렬 기기는 지지 프레임 상부에 배치된 촬영 장치를 더 포함한다.
본 고안의 실시예에서, 상기 정렬 기기는 촬영 장치에 연결되어 촬영 장치를 제1 로딩 부재에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재를 더 포함한다.
본 고안의 실시예의 정렬 기기는 제2 플랫폼이 제1 플랫폼에 배치되기에, 제1 플랫폼이 이동할 경우 제2 플랫폼도 함께 이동하게 된다. 이로써 제1 기판과 제2 기판이 이동하는 과정에서 지속적으로 정확한 정렬을 보장할 수 있다.
본 고안의 상기 및 기타 목적, 특징 및 이점을 보다 명확하고 이해하기 쉽도록 하기 위하여, 아래에서 구체적인 실시예를 제시하고, 첨부된 도면과 함께 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 사시도이다.
도 2는 도 1의 정렬 기기의 부분 분해도이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 제1 로딩 부재의 사시도이다.
도 4는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 고정 소자의 사시도이다.
도 5는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자의 사시도이다.
도 6은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조의 확대도이다.
도 7은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조와 당접 부재의 단면도이다.
도 8은 본 고안의 다른 실시예의 정렬 기기의 사시도이다
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 사시도이다. 도 1을 참조하면, 본 실시예의 정렬 기기(100)는 제1 플랫폼(110), 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140) 및 제2 로딩 부재(150)를 포함한다. 제1 플랫폼(110)은 이동 및 회전에 적합하다. 지지 프레임(120)은 제1 플랫폼(110) 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부(121)와 제2 단부(122)를 구비하며, 제1 단부(121)는 제1 플랫폼(110)에 연결된다. 제1 로딩 부재(130)는 제2 단부(122)에 연결되고, 제1 플랫폼(110)과 대향되며, 제1 로딩 부재(130)는 제1 기판(S1)을 로딩하기 적합하다. 제2 플랫폼(140)은 제1 플랫폼(110) 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합하다. 제2 로딩 부재(150)는 상기 제2 플랫폼(140) 상에 배치되고, 제1 로딩 부재(130)와 대향되며, 제2 로딩 부재(150)는 제2 기판(S2)을 로딩하기 적합하다. 제1 플랫폼(110)이 이동할 경우, 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140)과 제2 로딩 부재(150)가 함께 이동한다. 상기 제1 기판(S1) 및 제2 기판(S2)은 임의의 종류의 기판일 수 있고, 본 고안은 기판의 종류를 제한하지 않는다.
도 2는 도 1의 정렬 기기의 부분 분해도이다. 도 2를 참조하면, 제1 플랫폼(110)은 예를 들어 제1 수평 이동 메커니즘(111) 및 제1 회전 메커니즘(112)을 포함한다. 제1 회전 메커니즘(112)은 제1 수평 이동 메커니즘(111) 상에 배치되며, 제1 회전 메커니즘(112)은 고정부(113) 및 회전부(114)를 포함하고, 회전부(114)는 고정부(113)를 둘러싼다. 지지 프레임(120)의 제1 단부(121)는 회전부(114)에 연결된다. 회전부(114)의 회전축(미도시)은 수직방향 Z에 평행된다. 이밖에, 제1 수평 이동 메커니즘(111)은 예를 들어 서로 수직되는 제1 방향 X 및 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다. 구체적으로, 제1 수평 이동 메커니즘(111)은 예를 들어 이동부(115 및 116)를 포함하고, 이동부(115)는 제1 방향 X를 따라 이동하기 적합하며, 이동부(116)는 이동부(115) 상에 배치되고 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다.
본 실시예에서, 제2 플랫폼(140)은 예를 들어 제2 수평 이동 메커니즘(141) 및 제2 회전 메커니즘(142)을 포함하고, 제2 수평 이동 메커니즘(141)은 고정부(113) 상에 배치되며, 제2 회전 메커니즘(142)은 제2 수평 이동 메커니즘(141) 상에 배치된다. 제2 로딩 부재(150)는 제2 회전 메커니즘(142) 상에 배치된다. 구체적으로, 제2 회전 메커니즘(142)의 회전 축(미도시)은 수직방향 Z에 평행된다. 제2 수평 이동 메커니즘(141)은 예를 들어 이동부(144 및 145)를 포함하고, 이동부(144)는 제1 방향 X를 따라 이동하기 적합하며, 이동부(145)는 이동부(144)상에 배치되고 제2 방향 Y를 따라 이동하기 적합하다. 이밖에, 제2 플랫폼(140)은 제2 수평 이동 메커니즘(141)과 제2 회전 메커니즘(142) 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘(143)을 더 포함할 수 있다. 수직 이동 메커니즘(143)은 수직 방향 Z를 따라 이동하기 적합하다. 또한, 제2 플랫폼(140)은 진공 흡착 메커니즘(미도시)을 포함할 수 있고, 제2 로딩 부재(150) 상에는 흡착 홀(151)이 설치될 수 있으며, 진공 흡착 메커니즘은 흡착 홀(151)을 통해 진공 흡입 방식으로 제2 기판(S2)을 고정한다. 설명해야 할 것은, 상이한 설계 요구에 따라 제2 로딩 부재(150)는 제2 기판(S2)을 직접 로딩하거나, 또는 제2 로딩 부재(150) 상에 기판 고정 시트(미도시)를 설치한 후 제2 기판(S2)을 기판 고정 시트에 설치할 수 있다.
본 실시예의 정렬 기기(100)는 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 정렬 시, 제1 플랫폼(110)에 의해 지지 프레임(120)을 이동 및 회전시켜, 지지 프레임(120)에 고정된 제1 로딩 부재(130) 및 제1 로딩 부재(130)에 설치된 제1 기판(S1)을 이동 및 회전시키고, 제2 플랫폼(140)에 의해 제2 기판(S2)을 이동 및 회전하도록 구동함으로써, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 정확하게 정렬되도록 할 수 있다. 이밖에, 수직 이동 메커니즘(143)은 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 정렬이 완료된 후, 제1 플랫폼(110)이 지지 프레임(120), 제1 로딩 부재(130), 제2 플랫폼(140) 및 제2 로딩 부재(150)를 이동시킬 수 있기에, 제1 로딩 부재(130)에 설치된 제1 기판(S1)과 제2 로딩 부재(150)에 설치된 제2 기판(S2)은 동기화 이동이 가능하여, 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)이 이동 및 후속적인 가공 과정에서 지속적으로 정확하게 정렬되도록 보장할 수 있다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 정렬 기기의 제1 로딩 부재의 사시도이고, 도 4는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 고정 소자의 사시도이다. 먼저 도 3을 참조하면, 본 실시예의 제1 로딩 부재(130)는 예를 들어 환형 고정 소자(131) 및 환형 클램핑 소자(132)를 포함한다. 환형 고정 소자(131)는 지지 프레임(120)의 제2 단부(122)에 연결되고(도 1에 도시), 환형 클램핑 소자(132)는 환형 고정 소자(131)에 고정되어 제1 기판(S1)을 클램핑하기 적합하다.
도 3과 도 4를 참조하면, 환형 고정 소자(131)는 제1 환형부(131a)와 제2 환형부(131b)를 구비한다. 제1 환형부(131a)는 제2 환형부(131b)를 둘러싸며, 제1 환형부(131a)는 지지 프레임(120)의 제2 단부(122)에 고정된다(도 1에 도시). 제2 환형부(131b)는 제1 로딩면(131c)을 구비하며, 제1 로딩면(131c)은 제1 환형부(131a)에 대하여 함몰되고, 환형 클램핑 소자(132)는 제1 로딩면(131c)에 고정된다.
도 5는 도 3의 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자의 사시도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 실시예에서, 환형 클램핑 소자(132)는 복수 개의 잠금 나사(133), 복수 개의 걸림 나사(134), 클램핑 링(135) 및 당접 부재(136)를 포함한다. 클램핑 링(135)은 제3 환형부(135a)와 제4 환형부(135b)를 구비하고, 제3 환형부(135a)는 제4 환형부(135b)를 둘러싼다(도 5에 도시). 제3 환형부(135a)는 복수 개의 제1 스크류 홀(135c), 복수 개의 제2 스크류 홀(135d) 및 함몰 구조(135e)를 구비한다. 제1 로딩면(131c)은 제1 스크류 홀(135c)에 대응되는 복수 개의 잠금 홈(131d)(도 4에 도시)을 구비하고, 잠금 나사(133)는 제1 스크류 홀(135c)을 관통하여 잠금 홈(131d)에 체결되어, 클램핑 링(135)을 제1 로딩면(131c)에 고정한다. 걸림 나사(134)는 제2 스크류 홀(135d)을 관통하여 제1 로딩면(131c)에 당접된다. 본 실시예에서, 각각의 제1 스크류 홀(135c)의 양 옆에는 예를 들어 각각 2개의 제2 스크류 홀(135d)이 설치된다. 제4 환형부(135b)는 제1 기판(S1)을 로딩하기 위한 제2 로딩면(135g)을 구비하고, 제2 로딩면(135g)은 상기 제3 환형부(135a)에 대하여 함몰된다. 걸림 나사(134)에 의해 제2 로딩면(135g)의 수평을 조정함으로써, 제2 로딩면(135g)에 로딩된 제1 기판(S1)(도 3에 도시)이 수평을 유지할 수 있도록 하고, 나아가 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)(도면 참조) 사이가 일정한 간격을 유지할 수 있도록 한다. 이밖에, 제4 환형부(135b)는 함몰 구조(135e)에 대응되는 노치(135h)를 구비한다. 당접 부재(136)는 함몰 구조(135e)에 배치되고 노치(135h)에 인입되어, 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)과 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다.
도 6은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조의 확대도이고, 도 7은 도 5의 환형 클램핑 소자의 함몰 구조와 당접 부재의 단면도이다. 도 6 및 도 7을 참조하면, 환형 클램핑 소자(132)는 고정 부재(137) 및 복수 개의 탄성 부재(138)를 더 포함하고(도 5 및 도 6에 도시), 함몰 구조(135e)의 저부(135i)에는 고정 홀(135j) 및 복수 개의 포지셔닝 홈(135k)이 설치된다. 당접 부재(136)는 제1 플레이트부(136a)와 제2 플레이트부(136b)를 포함하고, 제1 플레이트부(136a)는 함몰 구조(135e) 내에 설치되며, 제2 플레이트부(136b)는 제1 플레이트부(136a)에 연결되고 노치(135h)에 인입된다. 제1 플레이트부(136a)와 제2 플레이트부(136b)는 예를 들어 L형으로 연결된다. 탄성 부재(138)는 포지셔닝 홈(135k) 내에 연결되고 소정 방향(D1)을 따라 제2 플레이트부(136b)를 가압한다. 이 소정 방향(D1)은 클램핑 링(135) 중심을 향하는 방향이다. 탄성 부재(138)는 압축 스프링일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
제1 기판(S1)을 제2 로딩면(135g)에 안착시키고자 할 경우, 먼저 당접 부재(136)를 소정 방향(D1)과 반대되는 방향을 향해 푸시한 후, 제1 기판(S1)을 제2 로딩면(135g) 상에 안착시킨다. 이어서, 당접 부재(136)를 해제한 후, 탄성 부재(138)의 탄성 복원력에 의해 소정 방향(D1)을 따라 제2 플레이트부(136b)를 가압하여, 제2 플레이트부(136b)를 제1 기판(S1)에 당접시킨다. 이로써 당접 부재(136)와 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)이 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다. 이밖에, 제1 플레이트부(136a)는 관통 홀(136c)을 구비하고, 제2 플레이트부(136b)가 제1 기판(S1)에 당접된 후, 고정 부재(137)가 관통 홀(136c)을 관통하여 고정 홀(135j)에 고정되고(도 5에 도시), 당접 부재(136)가 함몰 구조(135e) 내에 고정되어, 제1 기판(S1)은 환형 클램핑 소자(132)에 견고하게 클램핑된다. 본 실시예에서, 고정 부재(137)는 예를 들어 나사이고, 고정 홀(135j)은 예를 들어 스크류 홀이다. 이밖에, 관통 홀(136c)의 홀 직경은 당접 부재(136)의 고정 위치가 미세하게 조절될 수 있도록 고정 홀(135j)보다 약간 더 크게 형성될 수 있다.
클램핑 효과의 향상을 위해, 제3 환형부(135a)의 내측 벽(135f)에는 복수 개의 돌기 구조(135l)가 설치될 수 있고, 이러한 돌기 구조(135l)와 당접 부재(136)는 함께 제1 기판(S1)을 클램핑한다(도 3에도시).
도 8은 본 고안의 다른 실시예의 정렬 기기의 사시도이다. 도 8을 참조하면, 상기 정렬 기기(100)는 지지 프레임(120) 상부에 배치된 촬영 장치(160)를 더 포함한다. 예를 들면, 제1 기판(S1)은 예를 들어 투명 기판이고, 클램핑되는 방식으로 고정되며, 이로써 촬영 장치(160)에 의해 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 영상을 포착하여 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 정렬을 보조하기 용이하다. 상기 투명 기판은 예를 들어 투명 웨이퍼이지만 본 고안은 이에 제한되지 않는다.
본 실시예에서, 정렬 기기(100)는 촬영 장치(160)에 연결되어 촬영 장치(160)를 제1 로딩 부재(130)에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재(170)를 더 포함할 수 있고, 즉 도 8에 도시된 Z축 방향을 따라 이동하여 촬영 장치(160)가 제1 기판(S1)과 제2 기판(S2)의 영상을 명확하게 포착할 수 있도록 한다.
요약하면, 본 고안의 실시예의 정렬 기기는 제2 플랫폼이 제1 플랫폼에 배치되기에, 제1 플랫폼이 이동할 경우 제2 플랫폼도 함께 이동하게 된다. 이로써 제1 기판과 제2 기판이 이동하는 과정에서 지속적으로 정확한 정렬을 보장할 수 있다. 이밖에, 일 실시예에서, 제1 로딩 부재의 환형 클램핑 소자는 걸림 나사에 의해 제2 로딩면의 수평을 조정함으로써, 제1 기판의 수평을 조정하여, 제1 기판과 제2 기판 사이가 일정한 간격을 유지할 수 있도록 한다.
비록 본 고안은 실시예와 함께 개시되었지만 본 고안을 한정하려는 것이 아니면 본 고안이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 고안의 정신 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 변경을 가할 수 있다. 따라서 본 고안의 보호 범위는 첨부된 출원 범위에 따라 결정되어야 한다.
100: 정렬 기기
110: 제1 플랫폼
111: 제1 수평 이동 메커니즘
112: 제1 회전 메커니즘
113: 고정부
114: 회전부
115: 이동부
116: 이동부
120: 지지 프레임
121: 제1 단부
122: 제2 단부
130: 제1 로딩 부재
131: 환형 고정부
131a: 제1 환형부
131b: 제2 환형부
131c: 제1 로딩면
131d: 잠금 홈
132: 환형 클램핑 소자
133: 잠금 나사
134: 걸림 나사
135: 클램핑 링
135a: 제3 환형부
135b: 제4 환형부
135c: 제1 스크류 홀
135d: 제2 스크류 홀
135e: 함몰 구조
135f: 내측 벽
135g: 제2 로딩면
135h: 노치
135i: 저부
135j: 고정 홀
135k: 포지셔닝 홈
135l: 돌기 구조
136: 당접 부재
136a: 제1 플레이트부
136b: 제2 플레이트부
136c: 관통 홀
137: 고정 부재
138: 탄성 부재
140: 제2 플랫폼
141: 제2 수평 이동 메커니즘
142: 제2 회전 메커니즘
143: 수직 이동 메커니즘
144: 이동부
145: 이동부
150: 제2 로딩 부재
151: 흡착 홀
160: 촬영 장치
170: 구동 부재
S1: 제1 기판
S2: 제2 기판

Claims (11)

  1. 제1 기판과 제2 기판의 정렬에 적합한 정렬 기기에 있어서,
    상기 정렬 기기는,
    이동 및 회전에 적합한 제1 플랫폼;
    상기 제1 플랫폼 상에 배치되고, 대향되는 제1 단부와 제2 단부를 구비하며, 상기 제1 단부가 상기 제1 플랫폼에 연결되는 지지 프레임;
    상기 제2 단부에 연결되고, 상기 제1 플랫폼과 대향되며, 상기 제1 기판을 로딩하기 적합한 제1 로딩 부재;
    상기 제1 플랫폼 상에 배치되고 이동 및 회전에 적합한 제2 플랫폼; 및
    상기 제2 플랫폼 상에 배치되고, 상기 제1 로딩 부재와 대향되며, 상기 제2 기판을 로딩하기 적합한 제2 로딩 부재를 포함하고,
    상기 제1 플랫폼이 이동할 경우, 상기 지지 프레임, 상기 제1 로딩 부재, 상기 제2 플랫폼 및 상기 제2 로딩 부재가 함께 이동하는 정렬 기기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 플랫폼은 제1 수평 이동 메커니즘 및 제1 회전 메커니즘을 포함하고, 상기 제1 회전 메커니즘은 상기 제1 수평 이동 메커니즘 상에 배치되며, 상기 제1 회전 메커니즘은 고정부 및 회전부를 포함하고, 상기 회전부는 상기 고정부를 둘러싸며, 상기 지지 프레임의 상기 제1 단부는 상기 회전부에 연결되고;
    상기 제2 플랫폼은 제2 수평 이동 메커니즘 및 제2 회전 메커니즘을 포함하고, 상기 제2 수평 이동 메커니즘은 상기 고정부 상에 배치되며, 상기 제2 회전 메커니즘은 상기 제2 수평 이동 메커니즘 상에 배치되고, 상기 제2 로딩 부재는 상기 제2 회전 메커니즘 상에 배치되는 정렬 기기.
  3. 제2항에 있어서,
    각각의 상기 제1 수평 이동 메커니즘 및 상기 제2 수평 이동 메커니즘은 서로 수직되는 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하기 적합한 정렬 기기.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2 플랫폼은,
    상기 제2 수평 이동 메커니즘과 상기 제2 회전 메커니즘 사이에 배치된 수직 이동 메커니즘을 더 포함하는 정렬 기기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 로딩 부재는,
    상기 지지 프레임의 상기 제2 단부에 연결된 환형 고정 소자; 및
    상기 환형 고정 소자에 고정되어 상기 제1 기판을 클램핑하기 적합한 환형 클램핑 소자를 포함하는 정렬 기기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 환형 고정 소자는 제1 환형부와 제2 환형부를 구비하고, 상기 제1 환형부는 상기 제2 환형부를 둘러싸며, 상기 제1 환형부는 상기 지지 프레임의 상기 제2 단부에 고정되고, 상기 제2 환형부는 제1 로딩면을 구비하며, 상기 제1 로딩면은 상기 제1 환형부에 대하여 함몰되고, 상기 환형 클램핑 소자는 상기 제1 로딩면에 고정되는 정렬 기기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 환형 클램핑 소자는,
    복수 개의 잠금 나사 및 복수 개의 걸림 나사;
    제3 환형부와 제4 환형부를 구비하고, 상기 제3 환형부는 상기 제4 환형부를 둘러싸며, 상기 제3 환형부는 복수 개의 제1 스크류 홀, 복수 개의 제2 스크류 홀 및 함몰 구조를 구비하고, 상기 제1 로딩면은 상기 복수 개의 제1 스크류 홀에 대응되는 복수 개의 잠금 홈을 구비하며, 상기 복수 개의 잠금 나사는 상기 복수 개의 제1 스크류 홀을 관통하여 상기 복수 개의 잠금 홈에 체결되고,상기 복수 개의 걸림 나사는 상기 복수 개의 제2 스크류 홀을 관통하여 상기 제1 로딩면에 당접되며, 상기 제4 환형부는 상기 제1 기판을 로딩하기 위한 제2 로딩면을 구비하고, 상기 제2 로딩면은 상기 제3 환형부에 대하여 함몰되며, 상기 제4 환형부는 상기 함몰 구조에 대응되는 노치를 구비하는 클램핑 링; 및
    상기 함몰 구조에 배치되고 상기 노치에 인입되어, 상기 제3 환형부의 내측 벽과 함께 상기 제1 기판을 클램핑하는 당접 부재를 포함하는 정렬 기기.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 환형 클램핑 소자는 고정 부재 및 복수 개의 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 함몰 구조의 저부에는 고정 홀 및 복수 개의 포지셔닝 홈이 설치되며, 상기 당접 부재는 제1 플레이트부와 제2 플레이트부를 포함하고, 상기 제1 플레이트부는 상기 함몰 구조내에 설치되며, 상기 제2 플레이트부는 상기 제1 플레이트부에 연결되고 상기 노치에 인입되며, 상기 복수 개의 탄성 부재는 상기 복수 개의 포지셔닝 홈내에 설치되고 소정 방향을 따라 상기 제2 플레이트부를 가압하고, 상기 제1 플레이트부는 관통 홀을 구비하며, 상기 고정 부재는 상기 관통 홀을 관통하여 상기 고정 홀에 고정되는 정렬 기기.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제3 환형부의 상기 내측 벽에는 복수 개의 돌기 구조가 설치되고, 상기 복수 개의 돌기 구조와 상기 당접 부재는 함께 상기 제1 기판을 클램핑하는 정렬 기기.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 지지 프레임 상부에 배치된 촬영 장치를 더 포함하는 정렬 기기.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 촬영 장치에 연결되어 상기 촬영 장치를 상기 제1 로딩 부재에 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동하도록 구동하는 구동 부재를 더 포함하는 정렬 기기.
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