KR20220146728A - Liquid dispensing apparatus and display manufacturing equipment - Google Patents

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KR20220146728A
KR20220146728A KR1020210052858A KR20210052858A KR20220146728A KR 20220146728 A KR20220146728 A KR 20220146728A KR 1020210052858 A KR1020210052858 A KR 1020210052858A KR 20210052858 A KR20210052858 A KR 20210052858A KR 20220146728 A KR20220146728 A KR 20220146728A
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KR1020210052858A
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우장미
윤대건
이동화
최기훈
김명진
김대성
이상화
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세메스 주식회사
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Abstract

An embodiment of the present invention provides a liquid discharge device capable of supplying and circulating a chemical liquid to a plurality of inkjet heads with one circulation unit and a display manufacturing device including the same. The liquid discharge device according to an embodiment of the present invention includes a plurality of inkjet heads for separately discharging a chemical liquid to a substrate and a circulation unit for supplying the chemical liquid to the plurality of inkjet heads and collecting and circulating the chemical liquid. The circulation unit includes a chemical liquid storage module for storing the chemical liquid and supplying the chemical liquid to the inkjet head and a pressure control module for applying negative pressure to supply the chemical liquid stored in the chemical liquid storage module to the inkjet head. According to an embodiment of the present invention, the function of a circulation unit can be separated and strengthened to supply and circulate the chemical liquid to the plurality of inkjet heads, thereby uniformly controlling the liquid level and flow rate in the plurality of inkjet heads and improving the uniformity of the discharge of the chemical liquid.

Description

액 토출 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 제조 장치{LIQUID DISPENSING APPARATUS AND DISPLAY MANUFACTURING EQUIPMENT}Liquid discharge device and display manufacturing apparatus including the same

본 발명은 액 토출 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 제조 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 약액을 순환시키는 순환 유닛의 기능들을 분리 및 강화시킨 액 토출 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 제조 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid discharging apparatus and a display manufacturing apparatus including the same, and more particularly, to a liquid discharging apparatus in which functions of a circulating unit for circulating a chemical are separated and strengthened, and to a display manufacturing apparatus including the same.

사용자에게 시각적 정보를 전달하기 위한 수단인 디스플레이의 패널로서, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 패널(Plasma Display Panel, PDP), 그리고 유기 발광형 디스플레이(Organic Light Emitting Display, OLED)와 같은 디스플레이 패널이 사용되고 있다. As a panel of a display that is a means for delivering visual information to a user, such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting display (OLED) A display panel is being used.

이러한 디스플레이 패널의 제조를 위하여, 기판(예: 글라스) 상에 특정 패턴을 형성하기 위한 기법으로서 잉크젯 프린팅 기법이 디스플레이 제조 장치에서 도입되고 있다. 잉크젯 프린팅은 기판 상에 형성하고자 하는 패턴에 따라 액을 토출한 이후 열 처리를 통해 경화시키는 방법이다. 잉크젯 프린팅은 신속하고 간단한 방법으로 원하는 패턴을 형성할 수 있는 장점이 있다.In order to manufacture such a display panel, an inkjet printing technique has been introduced in a display manufacturing apparatus as a technique for forming a specific pattern on a substrate (eg, glass). Inkjet printing is a method of hardening through heat treatment after discharging a liquid according to a pattern to be formed on a substrate. Inkjet printing has the advantage of being able to form a desired pattern in a quick and simple way.

한편, 약액을 보관하는 레저버(reservoir)와 잉크젯 헤드 사이에서 약액을 순환시키기 위한 순환 키트가 디스플레이 제조 장치에 제공될 수 있다. 종래에는, 레저버를 포함하여 각종 센서, 밸브, 펌프 등 약액의 순환에 필요한 모든 부품이 하나의 순환 키트에 구비되었다. 또한, 하나의 순환 키트는 하나의 잉크젯 헤드로 약액을 순환시키도록 구성되었다. 다만, 이러한 종래의 순환 키트에서 수위와 유량 조절에 있어 어려움이 있었으며 약액의 분산도가 정밀하지 못하는 등의 문제가 있었다. Meanwhile, a circulation kit for circulating a chemical solution between a reservoir storing the chemical solution and the inkjet head may be provided in the display manufacturing apparatus. Conventionally, all parts necessary for the circulation of the chemical, such as various sensors, valves, pumps, including the reservoir, were provided in one circulation kit. In addition, one circulation kit was configured to circulate the chemical solution with one inkjet head. However, there are problems such as difficulty in controlling the water level and flow rate in such a conventional circulation kit, and the dispersion degree of the chemical is not precise.

따라서, 본 발명의 실시예는 하나의 순환 유닛으로 복수개의 잉크젯 헤드로 약액을 공급 및 순환시킬 수 있는 액 토출 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 제조 장치를 제공한다. Accordingly, an embodiment of the present invention provides a liquid discharging apparatus capable of supplying and circulating a chemical liquid to and circulating a plurality of inkjet heads as a single circulation unit, and a display manufacturing apparatus including the same.

또한, 본 발명의 실시예는 순환 유닛의 주요 기능을 분리하여 운용할 수 있는 액 토출 장치 및 이를 포함하는 디스플레이 제조 장치를 제공한다.In addition, an embodiment of the present invention provides a liquid discharging device capable of separately operating a main function of a circulation unit, and a display manufacturing device including the same.

본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다. The problems to be solved of the present invention are not limited to those mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따른 액 토출 장치는 기판으로 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드와, 상기 복수개의 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하고, 상기 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛을 포함한다. 여기서 상기 순환 유닛은 상기 약액을 보관하고 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하는 약액 보관 모듈과, 상기 약액 보관 모듈에 보관된 약액이 상기 잉크젯 헤드로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈을 포함한다. A liquid discharging apparatus according to an embodiment of the present invention includes a plurality of inkjet heads each discharging a chemical to a substrate, and a circulation unit that supplies the chemical to the plurality of inkjet heads and recovers and circulates the chemical. Here, the circulation unit includes a chemical solution storage module for storing the chemical solution and supplying the chemical solution to the inkjet head, and a pressure control module for applying negative pressure so that the chemical solution stored in the chemical solution storage module is provided to the inkjet head.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 약액 보관 모듈은 상기 약액을 일정한 수위로 조절하면서 보관하는 수위 제어 모듈과, 상기 복수개의 잉크젯 헤드와 상기 순환 유닛 사이에서 유동하는 약액의 유량을 제어하는 유량 제어 모듈을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the chemical storage module includes a water level control module for storing the chemical while adjusting the liquid level to a predetermined level, and a flow rate control module for controlling the flow rate of the chemical flowing between the plurality of inkjet heads and the circulation unit. may include

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 압력 제어 모듈, 상기 수위 제어 모듈, 및 상기 유량 제어 모듈은 각각 별도의 키트로 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each of the pressure control module, the water level control module, and the flow control module may be configured as a separate kit.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 수위 제어 모듈에는 타공벽이 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the water level control module may be provided with a perforated wall.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 수위 제어 모듈에는 상기 약액을 유동시키는 자기 교반기가 구비될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the water level control module may be provided with a magnetic stirrer for flowing the chemical.

본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조 장치는, 기판이 처리되는 공간을 형성하는 스테이지와, 상기 스테이지의 측부에 위치하여 상기 기판의 측부를 파지한 상태로 제1 방향으로 이동하도록 구성되는 그리퍼와, 상기 스테이지의 상부에 구비되는 갠트리와, 상기 갠트리에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이동 가능하며 상기 기판을 향하여 약액을 토출하는 액 토출 유닛을 포함한다. 상기 액 토출 유닛은 기판으로 상기 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드와, 상기 복수개의 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하고, 상기 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛을 포함한다. 상기 순환 유닛은 상기 약액을 보관하고 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하는 약액 보관 모듈과, 상기 약액 보관 모듈에 보관된 약액이 상기 잉크젯 헤드로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈을 포함한다.A display manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention comprises: a stage forming a space in which a substrate is processed; a gripper located on the side of the stage and configured to move in a first direction while gripping the side of the substrate; and a gantry provided on an upper portion of the stage, and a liquid discharging unit movable in a second direction perpendicular to the first direction in the gantry and discharging the chemical toward the substrate. The liquid discharging unit includes a plurality of inkjet heads each discharging the chemical to a substrate, and a circulation unit that supplies the chemical to the plurality of inkjet heads and recovers and circulates the chemical. The circulation unit includes a chemical storage module that stores the chemical and supplies the chemical to the inkjet head, and a pressure control module that applies negative pressure so that the chemical stored in the chemical storage module is provided to the inkjet head.

본 발명의 실시예에 따르면, 순환 유닛의 기능을 분리 및 강화하여 복수개의 잉크젯 헤드로 약액을 공급 및 순환시킬 수 있으며, 그리하여 복수개의 잉크젯 헤드에 균일하게 수위와 유량을 조절할 수 있고 약액 토출 균일도를 향상시킬 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the chemical solution can be supplied and circulated to a plurality of inkjet heads by separating and strengthening the function of the circulation unit, so that the water level and flow rate can be uniformly adjusted to the plurality of inkjet heads, and the chemical solution discharge uniformity can be improved. can be improved

본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. Effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 디스플레이 제조 장치의 개략적인 구조를 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 액 토출 장치의 개략적인 구조를 도시한다. 1 shows a schematic structure of a display manufacturing apparatus.
2 shows a schematic structure of a liquid discharging apparatus according to the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the description are omitted, and the same reference numerals are assigned to the same or similar elements throughout the specification.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration will be described using the same reference numerals only in the representative embodiment, and only configurations different from the representative embodiment will be described in other embodiments.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is "connected (or coupled)" with another part, it is not only "directly connected (or coupled)" but also "indirectly connected (or connected)" with another member therebetween. combined)" is also included. In addition, when a part "includes" a certain component, this means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

도 1은 디스플레이 제조 장치의 개략적인 구조를 도시한다. 디스플레이 제조 장치(1)는 기판(G) 상에 약액을 토출하여 기판(G) 상에 패턴을 형성하기 위한 장비를 지칭한다. 1 shows a schematic structure of a display manufacturing apparatus. The display manufacturing apparatus 1 refers to equipment for discharging a chemical onto the substrate G to form a pattern on the substrate G.

본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 제조 장치(1)는, 기판(G)이 처리되는 공간을 형성하는 스테이지(10)와, 스테이지(10)의 측부에 위치하여 기판(G)의 측부를 파지한 상태로 제1 방향(x)으로 이동하도록 구성되는 그리퍼(20)와, 스테이지(10)의 상부에 구비되는 갠트리(30)와, 갠트리(30)에서 제1 방향(x)에 수직한 제2 방향(y)으로 이동 가능하며 기판(G)을 향하여 약액을 토출하는 액 토출 유닛(40)을 포함한다. A display manufacturing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a stage 10 that forms a space in which a substrate G is processed, and is located on the side of the stage 10 and grips the side of the substrate G. The gripper 20 configured to move in the first direction (x) in the state, the gantry 30 provided on the upper portion of the stage 10, and the second perpendicular to the first direction (x) in the gantry 30 and a liquid discharge unit 40 that is movable in the direction y and discharges the chemical toward the substrate G.

디스플레이 제조 장치(1)로 반입된 기판(G)은 반송 로봇에 의해 스테이지(10)의 상부로 이송되고, 그리퍼(20)는 기판(G)의 측부를 파지한 상태로 제1 방향(x)을 따라 이동할 수 있다. 기판(G)은 그리퍼(20)에 의해 액 토출 유닛(40)의 하부로 이동하고 액 토출 유닛(40)은 기판(G) 상에 약액을 토출하여 기판(G) 상에 패턴이 형성되도록 할 수 있다. 액 토출 유닛(40)은 제2 방향(y)을 따라 이동하면서 기판(G) 상에 약액을 토출하고, 그리퍼(20)는 제1 방향(x)을 따라 이동하면서 기판(G)의 각 영역에 약액이 토출된다. The substrate G carried into the display manufacturing apparatus 1 is transferred to the upper portion of the stage 10 by the transfer robot, and the gripper 20 is held in the first direction x while holding the side of the substrate G. can move along. The substrate G is moved to the lower part of the liquid discharge unit 40 by the gripper 20 and the liquid discharge unit 40 discharges the chemical onto the substrate G to form a pattern on the substrate G. can The liquid discharge unit 40 discharges the chemical onto the substrate G while moving along the second direction y, and the gripper 20 moves along the first direction x to each region of the substrate G. The liquid is discharged into

액 토출 유닛(40)은 외부로부터 공급되는 약액을 보관하고, 잉크젯 헤드 (410)를 통해 약액을 토출할 수 있다. 액 토출 유닛(40)의 구성에 대하여 이하 도 2를 참조하여 설명한다. The liquid discharging unit 40 may store a chemical solution supplied from the outside, and may discharge the chemical solution through the inkjet head 410 . The configuration of the liquid discharge unit 40 will be described below with reference to FIG. 2 .

앞서 설명한 바와 같이, 기존의 순환 시스템은 레저버를 포함하여 약액의 순환에 필요한 모든 부품이 하나의 순환 키트에 구비되었으며, 하나의 순환 키트는 하나의 잉크젯 헤드(410)로 약액을 순환시키도록 구성되었다. 따라서, 복수개의 잉크젯 헤드(410)가 구비되는 경우 이에 대응하여 복수개의 순환 키트를 함께 구비하여야 했다. 복수개의 잉크젯 헤드(410)를 사용하여 액을 토출하는 경우 일정한 토출을 위하여 복수개의 잉크젯 헤드(410)에 균일하게 수위와 유량을 조절하여야 하나, 순환 키트가 복수개로 각각 구비되기 때문에 제어에 있어 어려움이 있었으며 약액의 분산도가 정밀하지 못하는 등의 문제가 있었다. As described above, in the conventional circulation system, all parts necessary for the circulation of the chemical, including the reservoir, are provided in one circulation kit, and one circulation kit is configured to circulate the chemical solution to one inkjet head 410 . became Accordingly, when a plurality of inkjet heads 410 are provided, a plurality of circulation kits must be provided together in response thereto. When discharging a liquid using a plurality of inkjet heads 410, it is necessary to uniformly control the water level and flow rate in the plurality of inkjet heads 410 for uniform discharge, but it is difficult to control because a plurality of circulation kits are provided, respectively. There was a problem such as the degree of dispersion of the chemical was not precise.

따라서, 본 발명은 하나의 순환 유닛(420)을 사용하여 복수개의 잉크젯 헤드(410)에 약액을 공급 및 순환시키며, 순환 유닛(420)의 기능별로 키트를 분리하여 구성하였다. 그리하여, 복수개의 잉크젯 헤드(410)에 균일하게 수위와 유량을 조절할 수 있으며 약액 토출 균일도를 향상시킬 수 있다. Therefore, in the present invention, a chemical solution is supplied and circulated to a plurality of inkjet heads 410 using a single circulation unit 420 , and kits are separated for each function of the circulation unit 420 . Thus, the water level and flow rate can be uniformly adjusted in the plurality of inkjet heads 410 , and the uniformity of discharging the chemical can be improved.

도 2는 본 발명에 따른 액 토출 장치(액 토출 유닛(40))의 개략적인 구조를 도시한다. 본 발명에 따른 액 토출 장치(액 토출 유닛(40))는, 기판(G)으로 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드(410)와, 복수개의 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급하고 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛(420)을 포함한다. 순환 유닛(420)은 약액을 보관하고 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급하는 약액 보관 모듈(422)과, 약액 보관 모듈(422)에 보관된 약액이 잉크젯 헤드(410)로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈(428)을 포함한다. Fig. 2 shows a schematic structure of a liquid discharge apparatus (liquid discharge unit 40) according to the present invention. A liquid ejection device (liquid ejection unit 40) according to the present invention includes a plurality of inkjet heads 410 for respectively ejecting a chemical to a substrate G, and a plurality of inkjet heads 410 for supplying a chemical and dispensing the chemical. It includes a circulation unit 420 that recovers and circulates. The circulation unit 420 stores a chemical solution and applies a negative pressure so that the chemical solution storage module 422 for supplying the chemical solution to the inkjet head 410, and the chemical solution stored in the chemical solution storage module 422 are provided to the inkjet head 410. and a pressure control module 428 .

잉크젯 헤드(410)는 순환 유닛(420)으로부터 약액을 공급받아 일부는 기판(G) 상으로 약액을 토출하며, 나머지는 다시 순환 유닛(420)으로 약액을 순환시킨다. 구체적으로 도시되지는 않았으나, 잉크젯 헤드(410)는 유입구, 내부 유로, 노즐, 및 유출구를 구비하며, 유입구를 통해 유입된 약액은 내부 유로를 통해 유동하며 하부에 구비된 노즐을 통해 기판(G) 상에 토출될 수 있다. 나머지 일부의 약액을 유출구를 통해 다시 순환 유닛(420)으로 제공된다. 잉크젯 헤드(410)의 약액은 펌프(430)에 의해 유출구를 통해 배출되어 순환 유닛(420)으로 공급될 수 있다. 한편, 잉크젯 헤드(410)는 복수개로 구비될 수 있으며, 제1 방향(x) 또는 제2 방향(y)을 따라 일렬로 배치되거나, M x N개의 어레이로 배치될 수 있다.The inkjet head 410 receives the chemical solution from the circulation unit 420 and discharges some of the chemical solution onto the substrate G, and the rest circulates the chemical solution back to the circulation unit 420 . Although not specifically shown, the inkjet head 410 has an inlet, an internal flow path, a nozzle, and an outlet, and the chemical liquid introduced through the inlet flows through the internal flow path, and the substrate G through the nozzle provided below. can be discharged onto the The remaining portion of the chemical solution is provided back to the circulation unit 420 through the outlet. The chemical liquid of the inkjet head 410 may be discharged through an outlet by the pump 430 and supplied to the circulation unit 420 . Meanwhile, a plurality of inkjet heads 410 may be provided, and may be arranged in a line along the first direction (x) or the second direction (y), or may be arranged in an M x N array.

순환 유닛(420)은 외부 포트(405)로부터 약액을 공급받고, 약액을 임시로 보관하면서 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급한다. 또한, 잉크젯 헤드(410)로부터 약액을 회수하여 보관하고, 다시 잉크젯 헤드(410)로 약액을 재공급한다. 즉, 약액은 지속적으로 순환 유닛(420)과 잉크젯 헤드(410) 사이를 순환하도록 구성된다. The circulation unit 420 receives the chemical solution from the external port 405 and supplies the chemical solution to the inkjet head 410 while temporarily storing the chemical solution. In addition, the chemical solution is recovered from the inkjet head 410 and stored, and the chemical solution is re-supplied to the inkjet head 410 again. That is, the chemical is configured to continuously circulate between the circulation unit 420 and the inkjet head 410 .

본 발명의 실시예에 따르면, 순환 유닛(420)은 약액을 보관하고 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급하는 약액 보관 모듈(422)과, 약액 보관 모듈(422)에 보관된 약액이 잉크젯 헤드(410)로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈(428)을 포함한다. 외부 포트(405)로부터 유입된 약액은 약액 보관 모듈(422)에 보관되며, 압력 제어 모듈(428)에 의해 설정된 음압에 의하여 잉크젯 헤드(410)로 공급된다. 약액 보관 모듈(422)은 보관된 약액의 수위를 조절하며, 잉크젯 헤드(410)로 공급되는 약액의 유량을 조절한다. According to an embodiment of the present invention, the circulation unit 420 stores the chemical solution and supplies the chemical solution to the inkjet head 410, the chemical solution storage module 422, and the chemical solution stored in the chemical solution storage module 422 is stored in the inkjet head ( and a pressure control module 428 that applies negative pressure to be provided to 410 . The chemical liquid introduced from the external port 405 is stored in the chemical storage module 422 , and is supplied to the inkjet head 410 by the negative pressure set by the pressure control module 428 . The chemical storage module 422 adjusts the level of the stored chemical, and adjusts the flow rate of the chemical supplied to the inkjet head 410 .

본 발명의 실시예에 따르면, 약액 보관 모듈(422)은 약액을 일정한 수위로 조절하면서 보관하는 수위 제어 모듈(424)과, 복수개의 잉크젯 헤드(410)와 순환 유닛(420) 사이에서 유동하는 약액의 유량을 제어하는 유량 제어 모듈(426)을 포함한다. 수위 제어 모듈(424)은 내부에 레저버를 구비하여, 레저버 내 약액의 수위를 측정하는 수위 센서로부터 제공된 데이터를 기반으로 약액의 수위를 의도한 레벨로 유지하기 위하여 각종 밸브 및 펌프를 제어한다. 유량 제어 모듈(426)은 복수개의 잉크젯 헤드(410)와 순환 유닛(420)에서 유동하는 약액의 유량을 원하는 수준으로 유지하도록 각종 밸브 및 펌프를 제어한다. According to an embodiment of the present invention, the chemical liquid storage module 422 includes a water level control module 424 for storing the chemical while adjusting the liquid level to a predetermined level, and the chemical liquid flowing between the plurality of inkjet heads 410 and the circulation unit 420 . and a flow control module 426 for controlling the flow rate of The water level control module 424 includes a reservoir therein, and controls various valves and pumps to maintain the level of the chemical at an intended level based on data provided from a water level sensor measuring the level of the chemical in the reservoir. . The flow rate control module 426 controls various valves and pumps to maintain the flow rate of the chemical liquid flowing in the plurality of inkjet heads 410 and the circulation unit 420 at a desired level.

본 발명의 실시예에 따르면, 압력 제어 모듈(428), 수위 제어 모듈(424), 및 유량 제어 모듈(426)은 각각 별도의 키트로 구성될 수 있다. 기존과 같이 순환 유닛(420)의 기능을 수행하기 위한 모든 부품이 하나의 순환 키트에 구비된 종래의 방식과 달리, 본 발명에 따른 순환 유닛(420)은 복수개의 잉크젯 헤드(410)에 약액을 공급 및 순환시키며, 순환 유닛(420)의 기능별로 키트를 분리하여 구성하였다. 그리하여, 복수개의 잉크젯 헤드(410)에 균일하게 수위와 유량을 조절할 수 있으며 약액 토출 균일도를 향상시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the pressure control module 428 , the water level control module 424 , and the flow control module 426 may be configured as separate kits, respectively. Unlike the conventional method in which all parts for performing the function of the circulation unit 420 are provided in one circulation kit as in the prior art, the circulation unit 420 according to the present invention provides a chemical solution to a plurality of inkjet heads 410 . Supply and circulation, and configured by separating the kit for each function of the circulation unit (420). Thus, the water level and flow rate can be uniformly adjusted in the plurality of inkjet heads 410 , and the uniformity of discharging the chemical can be improved.

한편, 본 발명에 따르면 수위 제어 모듈(424)에는 타공벽(4242)이 구비된다. 즉, 도 2에 도시되는 것과 같이 레저버에는 하나 또는 그 이상의 타공벽(4242)이 설치될 수 있다. 타공벽(4242)을 통해 약액이 유동하면서 버블이 발생하는 것을 방지할 수 있다. On the other hand, according to the present invention, the water level control module 424 is provided with a perforated wall (4242). That is, as shown in FIG. 2 , one or more perforated walls 4242 may be installed in the reservoir. It is possible to prevent bubbles from being generated while the chemical liquid flows through the perforated wall 4242 .

또한, 본 발명에 따르면 수위 제어 모듈(424)에는 약액을 유동시키는 자기 교반기(4244)가 구비된다. 도 2에 도시되는 것과 같이 레저버의 하부에 자기 교반기(4244)가 구비될 수 있다. 자기 교반기(4244)의 회전에 의해 약액이 상하 방향으로 유동할 수 있으며, 약액이 서로 섞여 일정한 농도로 유지되도록 할 수 있다.In addition, according to the present invention, the water level control module 424 is provided with a magnetic stirrer 4244 for flowing the chemical. As shown in FIG. 2 , a magnetic stirrer 4244 may be provided under the reservoir. By rotation of the magnetic stirrer 4244, the chemical may flow in the vertical direction, and the chemical may be mixed with each other to maintain a constant concentration.

또한, 수위 센서, 펌프, 유량 센서(Flow sensor), 탈기기(Degasser), 필터, 및 각종 밸브가 순환 유닛(240)에 구비될 수 있다. In addition, a water level sensor, a pump, a flow sensor, a degasser, a filter, and various valves may be provided in the circulation unit 240 .

한편, 상술한 액 토출 유닛(40)은 디스플레이 제조 장치(1)에 포함될 수 잇다. 본 발명에 따른 디스플레이 제조 장치(1)는, 기판(G)이 처리되는 공간을 형성하는 스테이지(10)와, 스테이지(10)의 측부에 위치하여 기판(G)의 측부를 파지한 상태로 제1 방향(x)으로 이동하도록 구성되는 그리퍼(20)와, 스테이지(10)의 상부에 구비되는 갠트리(30)와, 갠트리(30)에서 제1 방향(x)에 수직한 제2 방향(y)으로 이동 가능하며 기판(G)을 향하여 약액을 토출하는 액 토출 유닛(40)을 포함한다. 액 토출 유닛(40)은 기판(G)으로 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드(410)와, 복수개의 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급하고 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛(420)을 포함한다. 순환 유닛(420)은 약액을 보관하고 잉크젯 헤드(410)로 약액을 공급하는 약액 보관 모듈(422)과, 약액 보관 모듈(422)에 보관된 약액이 잉크젯 헤드(410)로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈(428)을 포함한다. Meanwhile, the above-described liquid discharging unit 40 may be included in the display manufacturing apparatus 1 . The display manufacturing apparatus 1 according to the present invention includes a stage 10 that forms a space in which a substrate G is processed, and is located on the side of the stage 10 and manufactured in a state in which the side of the substrate G is gripped. The gripper 20 configured to move in one direction (x), the gantry 30 provided on the upper portion of the stage 10, and the second direction (y) perpendicular to the first direction (x) in the gantry 30 ) and includes a liquid discharge unit 40 for discharging the chemical toward the substrate (G). The liquid discharging unit 40 includes a plurality of inkjet heads 410 each discharging a chemical to the substrate G, and a circulation unit 420 that supplies a chemical to the plurality of inkjet heads 410 and recovers and circulates the chemical. include The circulation unit 420 stores a chemical solution and applies a negative pressure so that the chemical solution storage module 422 for supplying the chemical solution to the inkjet head 410, and the chemical solution stored in the chemical solution storage module 422 are provided to the inkjet head 410. and a pressure control module 428 .

본 발명의 실시예에 따르면, 약액 보관 모듈(422)은 약액을 일정한 수위로 조절하면서 보관하는 수위 제어 모듈(424)과, 복수개의 잉크젯 헤드(410)와 순환 유닛(420) 사이에서 유동하는 약액의 유량을 제어하는 유량 제어 모듈(426)을 포함한다. According to an embodiment of the present invention, the chemical liquid storage module 422 includes a water level control module 424 for storing the chemical while adjusting the liquid level to a predetermined level, and the chemical liquid flowing between the plurality of inkjet heads 410 and the circulation unit 420 . and a flow control module 426 for controlling the flow rate of

본 발명의 실시예에 따르면, 압력 제어 모듈(428), 수위 제어 모듈(424), 및 유량 제어 모듈(426)은 각각 별도의 키트로 구성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the pressure control module 428 , the water level control module 424 , and the flow control module 426 may be configured as separate kits, respectively.

본 발명의 실시예에 따르면, 수위 제어 모듈(424)에는 타공벽(4242)이 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the water level control module 424 may be provided with a perforated wall 4242 .

본 발명의 실시예에 따르면, 수위 제어 모듈(424)에는 약액을 유동시키는 자기 교반기(4244)가 구비될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the water level control module 424 may be provided with a magnetic stirrer 4244 for flowing the chemical.

본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.This embodiment and the drawings attached to this specification merely clearly show some of the technical ideas included in the present invention, and those skilled in the art can easily infer within the scope of the technical ideas included in the specification and drawings of the present invention. It will be apparent that all possible modifications and specific embodiments are included in the scope of the present invention.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims to be described later, but also all those with equivalent or equivalent modifications to the claims will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention. .

1: 디스플레이 제조 장치
10: 스테이지 20: 그리퍼
30: 갠트리 40: 액 토출 유닛
410: 잉크젯 헤드 420: 순환 유닛
422: 보관 모듈 424: 수위 제어 모듈
426: 유량 제어 모듈 428: 압력 제어 모듈
G: 기판1: Display manufacturing device
10: Stage 20: Gripper
30: gantry 40: liquid discharge unit
410: inkjet head 420: circulation unit
422: storage module 424: water level control module
426: flow control module 428: pressure control module
G: substrate

Claims (10)

기판으로 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드; 및
상기 복수개의 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하고, 상기 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛을 포함하고,
상기 순환 유닛은,
상기 약액을 보관하고 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하는 약액 보관 모듈; 및
상기 약액 보관 모듈에 보관된 약액이 상기 잉크젯 헤드로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈을 포함하는 액 토출 장치.
a plurality of inkjet heads each discharging the chemical to the substrate; and
and a circulation unit for supplying the chemical solution to the plurality of inkjet heads and recovering and circulating the chemical solution,
The circulation unit is
a chemical storage module for storing the chemical and supplying the chemical to the inkjet head; and
and a pressure control module for applying negative pressure so that the chemical stored in the chemical storage module is provided to the inkjet head.
 제1항에 있어서,
상기 약액 보관 모듈은,
상기 약액을 일정한 수위로 조절하면서 보관하는 수위 제어 모듈; 및
상기 복수개의 잉크젯 헤드와 상기 순환 유닛 사이에서 유동하는 약액의 유량을 제어하는 유량 제어 모듈을 포함하는 액 토출 장치.
According to claim 1,
The chemical storage module,
a water level control module for storing the chemical while controlling the liquid at a constant level; and
and a flow rate control module for controlling a flow rate of the chemical liquid flowing between the plurality of inkjet heads and the circulation unit.
 제2항에 있어서,
상기 압력 제어 모듈, 상기 수위 제어 모듈, 및 상기 유량 제어 모듈은 각각 별도의 키트로 구성되는 액 토출 장치.
3. The method of claim 2,
The pressure control module, the water level control module, and the flow control module are each configured as a separate kit.
 제2항에 있어서,
상기 수위 제어 모듈에는 타공벽이 구비되는 액 토출 장치.
3. The method of claim 2,
A liquid discharging device provided with a perforated wall in the water level control module.
 제2항에 있어서,
상기 수위 제어 모듈에는 상기 약액을 유동시키는 자기 교반기가 구비되는 액 토출 장치.
3. The method of claim 2,
The liquid discharge device is provided with a magnetic stirrer for flowing the chemical liquid in the water level control module.
 디스플레이 제조 장치에 있어서,
기판이 처리되는 공간을 형성하는 스테이지;
상기 스테이지의 측부에 위치하여 상기 기판의 측부를 파지한 상태로 제1 방향으로 이동하도록 구성되는 그리퍼;
상기 스테이지의 상부에 구비되는 갠트리; 및
상기 갠트리에서 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 이동 가능하며 상기 기판을 향하여 약액을 토출하는 액 토출 유닛을 포함하고,
상기 액 토출 유닛은,
기판으로 상기 약액을 각각 토출하는 복수개의 잉크젯 헤드; 및
상기 복수개의 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하고, 상기 약액을 회수하여 순환시키는 순환 유닛을 포함하고,
상기 순환 유닛은,
상기 약액을 보관하고 상기 잉크젯 헤드로 상기 약액을 공급하는 약액 보관 모듈; 및
상기 약액 보관 모듈에 보관된 약액이 상기 잉크젯 헤드로 제공되도록 음압을 가하는 압력 제어 모듈을 포함하는 디스플레이 제조 장치.
A display manufacturing apparatus comprising:
a stage forming a space in which a substrate is processed;
a gripper positioned on the side of the stage and configured to move in a first direction while gripping the side of the substrate;
a gantry provided above the stage; and
and a liquid discharging unit movable in a second direction perpendicular to the first direction in the gantry and discharging the chemical toward the substrate;
The liquid discharging unit,
a plurality of inkjet heads each discharging the chemical to a substrate; and
and a circulation unit for supplying the chemical solution to the plurality of inkjet heads and recovering and circulating the chemical solution,
The circulation unit is
a chemical storage module for storing the chemical and supplying the chemical to the inkjet head; and
and a pressure control module for applying negative pressure so that the chemical stored in the chemical storage module is provided to the inkjet head.
 제6항에 있어서,
상기 약액 보관 모듈은,
상기 약액을 일정한 수위로 조절하면서 보관하는 수위 제어 모듈; 및
상기 복수개의 잉크젯 헤드와 상기 순환 유닛 사이에서 유동하는 약액의 유량을 제어하는 유량 제어 모듈을 포함하는 디스플레이 제조 장치.
7. The method of claim 6,
The chemical storage module,
a water level control module for storing the chemical while controlling the liquid at a constant level; and
and a flow control module configured to control a flow rate of a chemical solution flowing between the plurality of inkjet heads and the circulation unit.
 제7항에 있어서,
상기 압력 제어 모듈, 상기 수위 제어 모듈, 및 상기 유량 제어 모듈은 각각 별도의 키트로 구성되는 디스플레이 제조 장치.
8. The method of claim 7,
The pressure control module, the water level control module, and the flow control module are each configured as a separate kit display manufacturing apparatus.
 제7항에 있어서,
상기 수위 제어 모듈에는 타공벽이 구비되는 디스플레이 제조 장치.
8. The method of claim 7,
A display manufacturing apparatus provided with a perforated wall in the water level control module.
 제7항에 있어서,
상기 수위 제어 모듈에는 상기 약액을 유동시키는 자기 교반기가 구비되는 디스플레이 제조 장치.8. The method of claim 7,
A display manufacturing apparatus provided with a magnetic stirrer for flowing the chemical solution to the water level control module.
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