KR20220136682A - Manufacturing method of open mask assembly - Google Patents

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KR20220136682A KR1020210042628A KR20210042628A KR20220136682A KR 20220136682 A KR20220136682 A KR 20220136682A KR 1020210042628 A KR1020210042628 A KR 1020210042628A KR 20210042628 A KR20210042628 A KR 20210042628A KR 20220136682 A KR20220136682 A KR 20220136682A
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Abstract

The present invention provides a method of manufacturing an open mask assembly, which comprises: a mask sheet stretching step of stretching a mask sheet, which is a raw material of an open mask assembly, with a first predetermined pressure; a half groove processing step of processing a plurality of half grooves inserted into the mask sheet by using a mold on the stretched mask sheet; an opening processing step of processing an opening penetrating the mask sheet in a half groove of the stretched mask sheet; and a mask sheet bonding step of bonding a mask sheet having a plurality of openings processed through the opening processing step to a mask frame. Therefore, by processing the half groove using a mold in a state that the mask sheet is stretched, the shape of the half groove can be uniformly processed. The opening can be processed more precisely by machining the opening in the half groove that has been machined uniformly. If a correction error is formed by trimming the opening, a trimming area for machining the opening can be reduced so that the excessive stress can be prevented when trimming the opening.

Description

오픈 마스크 조립체의 제조 방법{Manufacturing method of open mask assembly}Manufacturing method of open mask assembly

본 발명은 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마스크 프레임에 박막 공정에서 적층된 입자가 통과하는 개구부가 형성된 박막의 마스크 시트가 접합된 오픈 마스크 조립체를 제조하는 오픈 마스크 조립체의 조제 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing an open mask assembly, and more particularly, to the preparation of an open mask assembly for manufacturing an open mask assembly in which a mask sheet of a thin film having an opening through which particles stacked in a thin film process pass through is bonded to a mask frame it's about how

한국 등록특허 제10-1869889호에 기재된 배경기술을 참조하면, 근래 널리 제조되고 있는 유기 발광 표시 장치(OLED, Organic Light-Emitting Diode)는, 텔레비젼, 퍼스털 컴퓨터(PC), 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치 및 차량 계기판 등에 구비되는 디스플레이 장치로서 널리 이용되고 있다. OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다. OLED 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 다수의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하다. 박막 공정은 각각 대응하는 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등이 포함된다.Referring to the background technology described in Korean Patent No. 10-1869889, organic light-emitting display devices (OLEDs), which have been widely manufactured in recent years, are TVs, personal computers (PCs), tablet PCs, and smart phones. , is widely used as a display device provided in smart watches and vehicle dashboards. OLED is a thin film light emitting diode in which the light-emitting layer is made of an organic compound. In OLED manufacturing, a thin film process of laminating and patterning a plurality of thin film layers such as an electrode layer, an organic light emitting layer, and an insulating film is required. The thin film process uses a mask assembly each having a corresponding pattern, and includes, for example, chemical vapor deposition (CVD), sputtering, ion plating, and vacuum deposition. do.

특히 OLED 제조 공정에서 사용되는 마스크 조립체 중 오픈 마스크 조립체는, 제조하고 있는 기판 상에서 개별 디스플레이 전체에 동일한 재질의 박막층을 적층하기 위해 사용되는 마스크이다. 이러한 오픈 마스크 조립체는 상대적으로 튼튼한 구조의 마스크 프레임 상에 상대적으로 얇은 박막의 금속시트를 인장한 상태로 접합한 구조를 가진다. 마스크 프레임의 경우 약 5 ~ 80 mm 정도의 두께를 가지는 창틀 또는 문틀 형태의 프레임 구조이며 마스크 조립체의 모양을 안정적으로 유지시키는 기능을 한다. 금속시트는 약 0.01 ~ 5.00 mm 정도의 두께를 가지는 박막 시트이며, 증착시 이용될 오픈 마스크 패턴이 형성된다.In particular, among the mask assemblies used in the OLED manufacturing process, the open mask assembly is a mask used to stack a thin film layer of the same material on the entire individual display on the substrate being manufactured. Such an open mask assembly has a structure in which a relatively thin metal sheet is bonded in a tensioned state on a mask frame having a relatively strong structure. In the case of the mask frame, it is a frame structure in the form of a window frame or a door frame having a thickness of about 5 to 80 mm, and functions to stably maintain the shape of the mask assembly. The metal sheet is a thin film sheet having a thickness of about 0.01 to 5.00 mm, and an open mask pattern to be used during deposition is formed.

실제 제조 과정에서, 하나의 오픈 마스크 패턴은 다수의 디스플레이를 한꺼번에 제조하는 공정에서 사용된다. 이 때문에, 하나의 오픈 마스크 패턴은 제조될 디스플레이 레이아웃 형상과 수에 대응하는 형상과 수의 단위 개구부들을 복수로 포함한다. 이들 단위 개구부들은 일반적으로 에칭 공정에 의해 형성된다. 금속시트 한 장에 형성되는 개구부의 개수는 예컨대 스마트폰 제품 제조 공정에 사용되는 오픈 마스크 조립체의 경우 약 100 ~ 200개일 수 있다. 일반적으로 금속시트 및 마스크 프레임은 예컨대 인바합금(Invar-36 Alloy)과 같이 온도 변화에 따른 열팽창계수가 매우 작은 금속을 이용하여 제조된다.In an actual manufacturing process, one open mask pattern is used in a process of manufacturing multiple displays at once. For this reason, one open mask pattern includes a plurality of unit openings with a shape and number corresponding to the display layout shape and number to be manufactured. These unit openings are generally formed by an etching process. The number of openings formed in one sheet of metal may be, for example, about 100 to 200 in the case of an open mask assembly used in a manufacturing process of a smartphone product. In general, a metal sheet and a mask frame are manufactured using a metal having a very small coefficient of thermal expansion according to temperature change, such as, for example, Invar-36 Alloy.

OLED 제조 공정에서, 일반적으로 하나의 오픈 마스크 조립체에 대해 적어도 수 천개 이상의 기판에 대한 박막 공정이 연속적으로 반복되기 때문에, 높은 정밀도의 오픈 마스크 조립체가 요구되고 있다. 나아가 근래에는 생산 효율을 높이기 위해서 그리고 보다 다양한 디자인을 가지는 디스플레이의 생산을 위해서, 오픈 마스크 조립체에 대해 요구되고 있는 정밀도의 수준이 점점 높아지고 있어, 예컨대 허용오차 40~50㎛ 수준까지의 정밀도를 요구한다.In an OLED manufacturing process, in general, since a thin film process for at least several thousand substrates is continuously repeated for one open mask assembly, a high-precision open mask assembly is required. Furthermore, in recent years, in order to increase production efficiency and to produce displays having more diverse designs, the level of precision required for an open mask assembly is increasing, for example, precision up to a tolerance level of 40-50 μm is required. .

종래에는 박판에 하프영역을 가공하고, 하프영역이 가공된 박판을 인장한 후 프레임에 용접하여 접합한 뒤 하프영역에 개구부를 성형하여 오픈 마스크 조립체를 제조하였다. Conventionally, an open mask assembly was manufactured by processing a half region on a thin plate, pulling the half region-processed thin plate, welding and bonding to a frame, and then forming an opening in the half region.

종래에는 박판에 하프영역을 가공 시 습식 에칭 또는 건식 에칭을 이용하여 박판에 하프영역을 가공하였으나, 에칭 방식을 이용하여 하프영역을 가공 시 하프영역의 형상이 일정하지 않게 가공되지 않는 문제점이 발생하였고, 하프영역에 개구를 성형 시 개구의 정밀도가 저하되는 문제점이 발생하였다.Conventionally, when processing the half region on the thin plate, the half region was processed on the thin plate using wet etching or dry etching, but when the half region was processed using the etching method, a problem occurred that the shape of the half region was not uniformly processed. , there was a problem in that the precision of the opening was lowered when forming the opening in the half region.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로서, 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 인장하고, 인장된 마스크 시트에 금형을 이용하여 하프홈을 가공함으로써 하프홈의 형상을 일정하게 가공할 수 있는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created to solve the above problems, and it is possible to uniformly process the shape of a half groove by tensioning a mask sheet, which is a raw material for an open mask assembly, and machining a half groove on the tensioned mask sheet using a mold. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an open mask assembly that can be used.

또한, 마스크 시트에 개구부를 보다 정밀하게 가공할 수 있어 개구부를 트리밍하여 보정 오차를 성형하는 경우 개구부를 가공하는 트리밍 면적을 줄일 수 있어 개구부를 트리밍 시 과도한 응력이 발생되는 것을 방지하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공하는데 또 다른 목적이 있다.In addition, since the opening in the mask sheet can be processed more precisely, when trimming the opening to form a correction error, the trimming area for processing the opening can be reduced, so that excessive stress is prevented when trimming the opening. Another object is to provide a manufacturing method.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 제1소정압력으로 인장시키는 마스크 시트 인장 단계; 인장된 마스크 시트에 금형을 이용하여 마스크 시트의 내측으로 삽입되는 복수개의 하프홈을 가공하는 하프홈 가공 단계; 인장된 마스크 시트의 하프홈에 상기 마스크 시트를 관통하는 개구부를 가공하는 개구부 가공 단계; 및 상기 개구부 가공 단계를 거쳐 복수개의 개구부가 가공된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 마스크 시트 접합 단계를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a mask sheet tensioning step of tensioning a mask sheet, which is a raw material of an open mask assembly, to a first predetermined pressure; A half groove processing step of machining a plurality of half grooves inserted into the mask sheet by using a mold in the tensioned mask sheet; an opening processing step of processing an opening penetrating through the mask sheet in a half groove of the stretched mask sheet; and a mask sheet bonding step of bonding a mask sheet having a plurality of openings processed through the opening processing step to a mask frame.

본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 복수개의 하프홈이 가공된 상기 마스크 시트를 제1소정압력 보다 큰 제2소정압력으로 인장시키는 마스크 시트 2차 인장 단계와, 상기 개구부 가공 단계를 거친 마스크 시트에 복수개의 개구부가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부 가공된 마스크 시트의 불량 여부를 검사하는 개구부 검사 단계를 더 포함할 수 있다.The method for manufacturing an open mask assembly according to the present invention includes a mask sheet secondary tensioning step of tensioning the mask sheet having a plurality of half grooves processed therein at a second predetermined pressure greater than a first predetermined pressure, and a mask that has undergone the opening processing step The method may further include an opening inspection step of inspecting whether a plurality of openings are accurately processed in the sheet to inspect whether the mask sheet having the opening processing is defective.

또한, 본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 상기 개구부 가공 단계를 거쳐 가공된 복수개의 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하는 1차 레이저 트리밍 단계와, 상기 마스크 시트 접합 단계를 거쳐 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에 가공된 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 재가공하는 2차 레이저 트리밍 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, in the method for manufacturing an open mask assembly according to the present invention, a first laser trimming step of processing a correction error using a laser in a plurality of openings processed through the opening processing step, and a mask frame through the mask sheet bonding step The method may further include a secondary laser trimming step of reprocessing a correction error using a laser in the opening processed in the mask sheet bonded to the .

본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 있어서, 상기 제1소정압력의 범위는 1 내지 10kg 일 수 있고, 상기 제2소정압력의 범위는 20kg 이상일 수 있으며, 상기 마스크 시트 1차 인장 단계와 상기 마스크 시트 2차 인장 단계에서는 클램프를 이용하여 사각형상을 가지는 마스크 시트의 모서리 부분을 외측으로 인장시킬 수 있다.In the method of manufacturing an open mask assembly according to the present invention, the range of the first predetermined pressure may be 1 to 10 kg, and the range of the second predetermined pressure may be 20 kg or more, and the mask sheet first tensioning step and the In the second tensioning step of the mask sheet, a corner portion of the mask sheet having a rectangular shape may be tensioned outwardly using a clamp.

상기 하프홈 가공 단계에서는 상기 제1소정압력과 상기 제2소정압력의 차이에 따른 상기 마스크 시트의 인장율을 감안하여 하프홈을 가공할 수 있고, 상기 마스크 시트 인장 단계를 거쳐 인장된 상기 마스크 시트는 0.03 ~ 0.5mm의 두께를 가질 수 있으며, 인장된 마스크 시트에 하프홈은 상기 마스크 시트에 0.015 ~ 0.020mm의 깊이로 가공될 수 있다.In the half-groove processing step, the half-groove may be machined in consideration of a tensile rate of the mask sheet according to the difference between the first predetermined pressure and the second predetermined pressure, and the mask sheet tensioned through the mask sheet tensioning step may have a thickness of 0.03 to 0.5 mm, and a half groove in the stretched mask sheet may be machined to a depth of 0.015 to 0.020 mm in the mask sheet.

상기 개구부 가공 단계에서 상기 개구부는 상기 하프홈의 중앙부에 가공될 수 있으며, 상기 하프홈과 상기 개구부는 상기 마스크 시트에 'ㅜ'자 형상을 가지도록 가공될 수 있다.In the opening processing step, the opening may be processed in a central portion of the half groove, and the half groove and the opening may be processed to have a 'T' shape on the mask sheet.

본 발명에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 마스크 시트를 인장시킨 상태에서 금형을 이용하여 하프홈을 가공함으로써 하프홈의 형상을 일정하게 가공할 수 있으며, 일정하게 가공된 하프홈에 개구부를 가공함으로써 개구부를 보다 정밀하게 가공할 수 있고, 개구부를 트리밍하여 보정 오차를 성형하는 경우 개구부를 가공하는 트리밍 면적을 줄일 수 있어 개구부를 트리밍 시 과도한 응력이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In the method for manufacturing an open mask assembly according to the present invention, the shape of the half groove can be uniformly processed by processing the half groove using a mold in a state in which the mask sheet is tensioned, and by processing the opening in the uniformly processed half groove The opening can be processed more precisely, and when the opening is trimmed to form a correction error, the trimming area for processing the opening can be reduced, thereby preventing excessive stress when trimming the opening.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법의 순서를 도시한 순서도이다.
도 2는 도 1의 마스크 시트 인장 단계에서 마스크 시트가 인장되는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 하프홈 가공 단계에서 인장된 마스크 시트에 하프홈을 가공하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 하프홈이 가공된 마스크 시트를 2차 인장시키는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 2차 인장된 마스크 시트에 하프홈과 개구부가 가공된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크 시트의 A-A선 단면도이다.
도 7은 마스크 시트에 가공된 개구부를 1차 레이저 트리밍하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 8은 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에 가공된 개구부를 2차 레이저 트리밍하는 과정을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 도 1에 도시된 오픈 마스크 조립체의 제조 방법에 의해 제조된 오픈 마스크 조립체를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a process in which the mask sheet is tensioned in the mask sheet tensioning step of FIG. 1 .
FIG. 3 is a diagram schematically illustrating a process of machining a half groove in the mask sheet tensioned in the half groove processing step of FIG. 1 .
4 is a diagram schematically illustrating a process of second tensioning a half-groove-processed mask sheet.
5 is a view schematically illustrating a state in which a half groove and an opening are processed in a second tensioned mask sheet.
6 is a cross-sectional view taken along line AA of the mask sheet shown in FIG. 5 .
7 is a diagram schematically illustrating a process of primary laser trimming of an opening processed in a mask sheet.
8 is a diagram schematically illustrating a process of secondary laser trimming of an opening processed in a mask sheet bonded to a mask frame.
FIG. 9 is a diagram schematically illustrating an open mask assembly manufactured by the method of manufacturing the open mask assembly illustrated in FIG. 1 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be construed as being limited to conventional or dictionary meanings, and the inventor should properly understand the concept of the term in order to best describe his invention. Based on the principle that it can be defined, it should be interpreted as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 오픈 마스크 조립체의 제조 방법은 마스크 시트 인장 단계(S10)와, 하프홈 가공 단계(S20)와, 개구부 가공 단계(S30)와, 마스크 시트 접합 단계(S40)를 포함하고, 마스크 시트 2차 인장 단계(S50)와, 개구부 검사 단계(S60)와, 1차 레이저 트리밍 단계(S70)와, 2차 레이저 트리밍 단계(S80)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the method of manufacturing an open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask sheet tensioning step ( S10 ), a half groove processing step ( S20 ), an opening processing step ( S30 ), and a mask sheet bonding step. (S40), and may further include a mask sheet secondary tensioning step (S50), an opening inspection step (S60), a primary laser trimming step (S70), and a secondary laser trimming step (S80). .

도 9를 참조하면, 마스크 프레임(120)에 오픈 마스크 패턴, 즉 복수개의 개구부(114)를 구비한 마스크 시트(110)를 접합하면 오픈 마스크 조립체(100)가 제조된다. 이러한 오픈 마스크 조립체(100)는 스마트폰 또는 스마트 워치 등에 구비되는 디스플레이를 제조하기 위한 웨이퍼 기판상에 절연층과 같이 개별 디스플레이 면적 전체에 동일한 재료의 박막을 적층하고 패턴화하기 위한 공정에서 사용된다. 박막 공정에서 적층될 입자는 오픈 마스크 조립체(100)의 오픈 마스크 패턴, 즉 개구부(142)들을 통과한 후 오픈 마스크 조립체(100)와 접해 있는 기판상에 적층될 수 있다.Referring to FIG. 9 , an open mask assembly 100 is manufactured by bonding an open mask pattern, that is, a mask sheet 110 having a plurality of openings 114 to the mask frame 120 . This open mask assembly 100 is used in a process for laminating and patterning a thin film of the same material over the entire individual display area, such as an insulating layer, on a wafer substrate for manufacturing a display provided in a smartphone or a smart watch. The particles to be stacked in the thin film process may be deposited on the substrate in contact with the open mask assembly 100 after passing through the open mask pattern of the open mask assembly 100 , that is, the openings 142 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 마스크 시트 인장 단계(S10)는 오픈 마스크 조립체(100)의 원자재인 마스크 시트(110)를 제1소정압력(F1)으로 인장시키는 단계이다.1 and 2 , the mask sheet tensioning step ( S10 ) is a step of tensioning the mask sheet 110 , which is a raw material of the open mask assembly 100 , by a first predetermined pressure F1 .

상기 마스크 시트(110)를 인장시키는 제1소정압력(F1)의 범위는 1 내지 10kg이고, 사각형상을 가지는 상기 마스크 시트(110)를 별도의 인장장치(미도시)를 이용하여 상기 마스크 시트(110)의 모서리 부분을 외측으로 당김으로써 상기 마스크 시트(110)를 인장시키며, 상기 마스크 시트(110)를 인장함으로 인해 상기 마스크 시트(110)에 굴곡진 부위가 생기지 않고 상기 마스크 시트(110)가 편평하게 펼쳐지게 된다.The range of the first predetermined pressure F1 for tensioning the mask sheet 110 is 1 to 10 kg, and the mask sheet 110 having a rectangular shape is applied to the mask sheet 110 using a separate tensioning device (not shown). The mask sheet 110 is tensioned by pulling the edge portion of 110 to the outside, and the mask sheet 110 is not curved in the mask sheet 110 due to tensioning the mask sheet 110 . unfolds flat.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 마스크 시트 인장 단계(S10)를 거친 후 하프홈 가공 단계(S20)를 수행하며, 상기 하프홈 가공 단계(S20)는 인장된 마스크 시트(110)에 금형(C)을 이용하여 마스크 시트(110)의 내측으로 삽입되는 복수개의 하프홈(112)을 가공하는 단계이다.1 and 3, after the mask sheet tensioning step (S10), a half groove processing step (S20) is performed, and the half groove processing step (S20) is a mold ( This is a step of machining a plurality of half grooves 112 inserted into the inside of the mask sheet 110 by using C).

상기 하프홈 가공 단계(S2)에서는 상기 마스크 시트를 인장시키는 제1소정압력(F1)과 후술되는 마스크 시트 2차 인장 단계(S50)에서 마스크 시트(110)를 2차 인장시키는 제2소정압력(F2)의 차이에 따른 마스크 시트(110)의 인장율을 감안해서 하프홈(112)을 가공하는 것이 바람직하다. 상기 하프홈 가공 단계(S20)에서는 상기 마스크 시트(110)의 일면, 바람직하게는 상면에서 금형(C)으로 마스크 시트(110)의 가압함으로서 상기 마스크 시트(110)에 복수개의 하프홈(112)이 가공되게 된다.In the half-groove processing step (S2), a first predetermined pressure (F1) for tensioning the mask sheet and a second predetermined pressure ( It is preferable to process the half groove 112 in consideration of the tensile rate of the mask sheet 110 according to the difference F2). In the half-groove processing step (S20), a plurality of half grooves 112 in the mask sheet 110 by pressing the mask sheet 110 with a mold C from one surface, preferably the upper surface, of the mask sheet 110 . this will be processed.

상기 마스크 시트 인장 단계(S10)를 거쳐 인장된 상기 마스크 시트(110)는 0.03 ~ 0.5mm의 두께를 가지는 것이 바람직하며, 상기 하프홈(112)는 인장된 마스크 시트(110)의 상면에서 내측으로 0.015 ~ 0.020mm의 깊이로 삽입되게 가공되는 것이 바람직하다. 상기 마스크 시트(110)의 두께가 0.03mm 이하에서는 금형가공 시 파손되기 쉬우며, 0.5mm 이상에서는 정밀가공이 어려운 문제점이 발생한다.Preferably, the mask sheet 110 tensioned through the mask sheet tensioning step S10 has a thickness of 0.03 to 0.5 mm, and the half groove 112 is inward from the top surface of the tensioned mask sheet 110 . It is preferable to be processed to be inserted to a depth of 0.015 ~ 0.020mm. If the thickness of the mask sheet 110 is 0.03 mm or less, it is easy to break during mold processing, and if it is 0.5 mm or more, precision processing is difficult.

도 1을 참조하면, 상기 하프홈 가공 단계(S20)를 거친 후 개구부 가공 단계(S30)를 수행하며, 상기 개구부 가공 단계(S30)는 인장된 마스크 시트(110)의 하프홈(112)에 상기 마스크 시트(110)를 관통하는 개구부(114)를 가공하는 단계이다.Referring to FIG. 1 , after the half groove processing step S20 , the opening processing step S30 is performed, and the opening processing step S30 is performed in the half groove 112 of the stretched mask sheet 110 . This is a step of processing the opening 114 penetrating the mask sheet 110 .

상기 개구부 가공 단계(S30)에서 인장된 상기 마스크 시트(110)의 하프홈(112)에 가공되는 개구부(112)는 에칭 공정에 의해 형성될 수 있다. 여기서, 인장된 상기 마스크 시트(110)의 하프홈(112)에 가공되는 상기 개구부(112)는 습식 식각을 이용하여 형성되는 것이 바람직이지만, 건식 식각 또는 레이저 가공 방식 등으로 형성될 수도 있다. 상기 마스크 시트(110)를 인장시킨 상태에서 금형(C)을 이용하여 하프홈(112)을 가공함으로써 상기 하프홈(112)의 형상을 일정하게 가공할 수 있으며, 일정하게 가공된 하프홈(112)에 개구부(114)를 가공함으로써 개구부(114)를 보다 정밀하게 가공할 수 있게 된다.The opening 112 processed in the half groove 112 of the mask sheet 110 tensioned in the opening processing step S30 may be formed by an etching process. Here, the opening 112 to be processed in the half groove 112 of the stretched mask sheet 110 is preferably formed using wet etching, but may also be formed by dry etching or laser processing. By machining the half-groove 112 using the mold C in a state in which the mask sheet 110 is tensioned, the shape of the half-groove 112 can be uniformly processed, and the uniformly processed half-groove 112 can be machined. ) by processing the opening 114 in the opening 114 can be more precisely processed.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 개구부 가공 단계(S30)에서 상기 개구부(114)는 상기 마스크 시트(110)에 가공된 상기 하프홈(112)의 중앙부에 가공되며, 상기 하프홈(112)과 상기 개구부(114)는 상기 마스크 시트에 'ㅜ'자 형상을 가지도록 가공되는 것이 바람직하며, 상기 하프홈(112)과 상기 개구부(114)가 상기 마스크 시트에 'ㅜ'자 형상을 가지도록 가공됨으로써 상기 마스크 시트(110)에 위치하는 기판(미도시)에 적층될 입자의 쉐도우 효과를 줄일 수 있게 된다.5 and 6 , in the opening processing step ( S30 ), the opening 114 is processed in the center of the half groove 112 processed in the mask sheet 110 , and the half groove 112 . and the opening 114 are preferably processed to have a 'TT' shape on the mask sheet, and the half groove 112 and the opening 114 to have a 'TT' shape on the mask sheet. By processing, it is possible to reduce a shadow effect of particles to be laminated on a substrate (not shown) positioned on the mask sheet 110 .

도 1 및 도 9를 참조하면, 상기 개구부 가공 단계(S30)를 거친 후 마스크 시트 접합 단계(S40)를 수행하며, 상기 마스크 시트 접합 단계(S40)는 상기 개구부 가공 단계(S30)를 거쳐 복수개의 개구부(114)가 가공된 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(120)에 접합시키는 단계이다.1 and 9, after the opening processing step (S30), the mask sheet bonding step (S40) is performed, and the mask sheet bonding step (S40) is performed through the opening processing step (S30) to form a plurality of This is a step of bonding the mask sheet 110 in which the opening 114 is processed to the mask frame 120 .

상기 마스크 시트 접합 단계(S40)에서 상기 마스크 프레임(120)에 상기 마스크 시트(110)의 가장자리가 접합됨으로써 상기 마스크 프레임(120)은 상기 마스크 시트(110)의 가장자리만 지지하며, 인장된 마스크 시트(110)가 상기 마스크 프레임(120)에 접합됨으로써 상기 마스크 시트(110)의 중심부가 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 방지되게 된다.In the mask sheet bonding step ( S40 ), the edge of the mask sheet 110 is bonded to the mask frame 120 , so that the mask frame 120 supports only the edge of the mask sheet 110 , and the stretched mask sheet Since 110 is bonded to the mask frame 120 , a phenomenon in which the central portion of the mask sheet 110 sags downward due to a load is prevented.

도 1 및 도 4를 참조하면, 상기 하프홈 가공 단계(S20)를 거친 후 상기 개구부 가공 단계(S30)를 수행하기 전에 마스크 시트 2차 인장 단계(S50)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 마스크 시트 2차 인장 단계(S50)는 복수개의 하프홈(112)이 가공된 마스크 시트(110)를 제1소정압력(F1) 보다 큰 제2소정압력(F2)으로 인장시키는 단계이며, 상기 마스크 시트 2차 인장 단계(S50)를 거침으로써 상기 마스크 시트(110) 및 상기 하프홈(112)에 굴곡진 부위가 생기지 않고 상기 마스크 시트(110)가 편평하게 펼쳐지게 되며, 하프홈(112)에 개구부(114)를 가공 시 개구부(114)를 보다 정밀하게 가공할 수 있게 된다.1 and 4 , after the half groove processing step ( S20 ), it is preferable to perform the mask sheet secondary tensioning step ( S50 ) before performing the opening processing step ( S30 ). The mask sheet secondary tensioning step (S50) is a step of tensioning the mask sheet 110 having the plurality of half grooves 112 processed with a second predetermined pressure F2 greater than the first predetermined pressure F1, By going through the mask sheet secondary tensioning step (S50), no curved portions are formed in the mask sheet 110 and the half groove 112, and the mask sheet 110 is spread flat, and the half groove 112 is When the opening 114 is processed, the opening 114 can be processed more precisely.

도 1을 참조하면, 상기 개구부 가공 단계(S30)를 거친 후 상기 마스크 시트 접합 단계(S40)를 수행하기 전에 개구부 검사 단계(S60)를 수행하는 것이 바람직하다. 상기 개구부 검사 단계(S60)는 상기 개구부 가공 단계(S30)를 거친 마스크 시트(110)에 복수개의 개구부(114)가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부(114)가 가공된 마스크 시트(110)의 불량 여부를 검사하는 단계이다.Referring to FIG. 1 , after the opening processing step S30 , it is preferable to perform the opening inspection step S60 before performing the mask sheet bonding step S40 . The opening inspection step (S60) is performed by inspecting whether the plurality of openings 114 are accurately processed in the mask sheet 110 that has undergone the opening processing step (S30). This is the step to check for defects.

상기 개구부 검사 단계(S60)에서는 비전부(미도시)를 이용하여 개구부(114)가 가공된 상기 마스크 시트(110)의 이미지를 수집한 후, 수집된 이미지와 개구부(114)가 정확하게 가공된 기저장된 이미지를 비교하여 개구부(112)가 정확하게 가공되었는지 여부를 판단하며, 상기 비전부(미도시)는 일반적인 것인 바, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.In the opening inspection step (S60), after collecting an image of the mask sheet 110 in which the opening 114 is processed using a vision unit (not shown), the collected image and the image in which the opening 114 is accurately processed It is determined whether the opening 112 has been accurately processed by comparing the stored images, and since the vision unit (not shown) is a general bar, a detailed description thereof will be omitted.

상기 개구부 검사 단계(S60)를 거쳐 개구부(112)가 정확하게 가공된 상기 마스크 시트(110)는 마스크 시트 접합 단계(S40)를 수행하며, 상기 개구부 검사 단계(S60)에서 개구부(114)가 정확하게 가공되지 않았다고 판별된 마스크 시트(110)는 폐기되게 된다.The mask sheet 110 in which the opening 112 has been precisely processed through the opening inspection step S60 is subjected to a mask sheet bonding step S40, and the opening 114 is precisely processed in the opening inspection step S60. The mask sheet 110 determined not to be discarded is discarded.

도 1 및 도 7를 참조하면, 상기 개구부 검사 단계(S60)를 거친 후 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(120)에 접합하는 마스크 시트 접합 단계(S40)를 수행하기 전에 1차 레이저 트리밍 단계(S70)를 수행할 수 있으며, 상기 1차 트리밍 단계(S70)는 상기 개구부 검사 단계(S60)를 거쳐 불량으로 판별되어 폐기되는 마스크 시트(110) 중 가공된 개구부(114)를 보정할 수 있는 일부의 마스크 시트(110)에 가공된 불량의 개구부(112)를 레이저를 이용하여 가공하거나 또는 정상으로 판별된 마스크 시트(110)에 가공된 개구부(114)의 내측면을 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하여 1차 트리밍된 개구부(116)를 형성하는 단계이다.1 and 7, after the opening inspection step (S60), the first laser trimming step ( S70) can be performed, and the first trimming step (S70) is a part of the mask sheet 110 that is determined to be defective and discarded through the opening inspection step (S60) to correct the processed opening 114. The defective opening 112 processed in the mask sheet 110 of It is a step of forming the first trimmed opening 116 by processing.

상기 1차 레이저 트리밍 단계(S70)를 거침으로써 불량으로 판별된 마스크 시트(110)에 가공된 개구부(114)를 가공하여 1차 트리밍된 개구부(116)를 형성함으로써 정상으로 판별되게 할 수 있어 불량율을 감소시키면서 비용을 절감시킬 수 있게 된다.By processing the processed opening 114 in the mask sheet 110 determined to be defective by going through the first laser trimming step (S70) to form the first trimmed opening 116, it can be determined as normal, so the defect rate by reducing the cost can be reduced.

도 1 및 도 8을 참조하면, 상기 마스크 시트(110)를 마스크 프레임(120)에 접합하는 마스크 시트 접합 단계(S40)를 거친 후 2차 레이저 트리밍 단계(S80)를 수행할 수 있다. 상기 2차 레이저 트리밍 단계(S80)는 상기 마스크 프레임(120)에 접합된 마스크 시트(110)에 가공된 개구부(114)의 내측면을 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하여 2차 트리밍된 개구부(118)를 형성하는 단계이며, 상기 2차 레이저 트리밍 단계(S80)를 수행함으로써 상기 마스크 시트(110)에 개구부(114)를 보다 정확하게 가공할 수 있게 되어 마스크 시트(110)에 오류가 발생되는 것을 방지하게 된다. 상기 1차 레이저 트리밍 단계(S70)와 상기 2차 레이저 트리밍 단계(S80)는 각각 별도로 수행되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니며 불량율을 감소시키면서 개구부(114)를 보다 정확하게 가공하기 위해 별도로 수행되지 않고 동시에 수행될 수도 있다. 1 and 8 , after the mask sheet bonding step ( S40 ) of bonding the mask sheet 110 to the mask frame 120 , the second laser trimming step ( S80 ) may be performed. The secondary laser trimming step (S80) is performed by processing a correction error using a laser on the inner surface of the opening 114 processed in the mask sheet 110 bonded to the mask frame 120 to perform the secondary trimming of the opening ( 118), and by performing the second laser trimming step (S80), it is possible to process the opening 114 in the mask sheet 110 more accurately, thereby preventing an error in the mask sheet 110 from occurring. will prevent The first laser trimming step (S70) and the second laser trimming step (S80) are preferably performed separately, but are not limited thereto, and are not separately performed to more accurately process the opening 114 while reducing the defect rate. and may be performed simultaneously.

상기 마스크 시트(110)를 인장시킨 상태에서 금형(C)을 이용하여 하프홈(112)을 가공함으로써 하프홈(112)의 형상을 일정하게 가공할 수 있으며, 일정하게 가공된 하프홈(112)에 개구부(114)를 가공함으로써 개구부(114)를 보다 정밀하게 가공할 수 있고, 개구부(114)를 트리밍하여 보정 오차를 성형하는 경우 개구부(114)를 가공하는 트리밍 면적을 줄일 수 있어 개구부를 트리밍 시 과도한 응력이 발생되는 것을 방지할 수 있다.By machining the half-groove 112 using the mold C in a state in which the mask sheet 110 is tensioned, the shape of the half-groove 112 can be uniformly processed, and the uniformly processed half-groove 112 can be machined. The opening 114 can be processed more precisely by processing the opening 114 in the It is possible to prevent excessive stress from occurring.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, which is only exemplary, those of ordinary skill in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100 : 오픈 마스크 조립체 110 : 마스크 시트
112 : 하프홈 114 : 개구부
120 : 마스크 프레임100: open mask assembly 110: mask sheet
112: half groove 114: opening
120: mask frame

Claims (9)

오픈 마스크 조립체의 원자재인 마스크 시트를 제1소정압력으로 인장시키는 마스크 시트 인장 단계;
인장된 마스크 시트에 금형을 이용하여 마스크 시트의 내측으로 삽입되는 복수개의 하프홈을 가공하는 하프홈 가공 단계;
인장된 마스크 시트의 하프홈에 상기 마스크 시트를 관통하는 개구부를 가공하는 개구부 가공 단계; 및
상기 개구부 가공 단계를 거쳐 복수개의 개구부가 가공된 마스크 시트를 마스크 프레임에 접합시키는 마스크 시트 접합 단계를 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
a mask sheet tensioning step of stretching the mask sheet, which is a raw material of the open mask assembly, to a first predetermined pressure;
A half groove processing step of machining a plurality of half grooves inserted into the mask sheet by using a mold in the tensioned mask sheet;
an opening processing step of processing an opening penetrating through the mask sheet in a half groove of the stretched mask sheet; and
and a mask sheet bonding step of bonding a mask sheet having a plurality of openings processed through the opening processing step to a mask frame.
 청구항 1에 있어서,
복수개의 하프홈이 가공된 상기 마스크 시트를 제1소정압력 보다 큰 제2소정압력으로 인장시키는 마스크 시트 2차 인장 단계를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an open mask assembly further comprising a mask sheet secondary tension step of tensioning the mask sheet having a plurality of half grooves processed at a second predetermined pressure greater than a first predetermined pressure.
 청구항 1에 있어서,
상기 개구부 가공 단계를 거친 마스크 시트에 복수개의 개구부가 정확하게 가공되었는지 여부를 검사하여 개구부 가공된 마스크 시트의 불량 여부를 검사하는 개구부 검사 단계를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an open mask assembly further comprising an opening inspection step of inspecting whether a plurality of openings are accurately processed in the mask sheet that has undergone the opening processing step to check whether the opening-processed mask sheet is defective.
 청구항 1에 있어서,
상기 개구부 가공 단계를 거쳐 가공된 복수개의 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 가공하는 1차 레이저 트리밍 단계를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The method of manufacturing an open mask assembly further comprising a primary laser trimming step of processing a correction error using a laser in the plurality of openings processed through the opening processing step.
 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 시트 접합 단계를 거쳐 마스크 프레임에 접합된 마스크 시트에 가공된 개구부를 레이저를 이용하여 보정 오차를 재가공하는 2차 레이저 트리밍 단계를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
and a secondary laser trimming step of reprocessing a correction error using a laser in the opening processed in the mask sheet bonded to the mask frame through the mask sheet bonding step.
 청구항 2에 있어서,
상기 제1소정압력의 범위는 1 내지 10kg 이고, 상기 제2소정압력의 범위는 20kg 이상이며, 상기 마스크 시트 1차 인장 단계와 상기 마스크 시트 2차 인장 단계에서는 클램프를 이용하여 사각형상을 가지는 마스크 시트의 모서리 부분을 외측으로 인장시키는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
3. The method according to claim 2,
The range of the first predetermined pressure is 1 to 10 kg, the range of the second predetermined pressure is 20 kg or more, and in the mask sheet first tensioning step and the mask sheet second tensioning step, a mask having a rectangular shape using a clamp A method of manufacturing an open mask assembly, characterized in that the edge portion of the sheet is stretched outward.
 청구항 2에 있어서,
상기 하프홈 가공 단계에서는 상기 제1소정압력과 상기 제2소정압력의 차이에 따른 상기 마스크 시트의 인장율을 감안하여 하프홈을 가공하는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
3. The method according to claim 2,
In the half-groove machining step, the half-groove is machined in consideration of a tensile rate of the mask sheet according to a difference between the first predetermined pressure and the second predetermined pressure.
 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 시트 인장 단계를 거쳐 인장된 상기 마스크 시트는 0.03 ~ 0.5mm의 두께를 가지며,
인장된 마스크 시트에 하프홈은 상기 마스크 시트에 0.015 ~ 0.020mm의 깊이로 가공되는 것을 특징으로 하는 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.
The method according to claim 1,
The mask sheet stretched through the mask sheet tensioning step has a thickness of 0.03 to 0.5 mm,
A method of manufacturing an open mask assembly, characterized in that a half groove in the stretched mask sheet is machined to a depth of 0.015 to 0.020 mm in the mask sheet.
 청구항 1에 있어서,
상기 개구부 가공 단계에서 상기 개구부는 상기 하프홈의 중앙부에 가공되며, 상기 하프홈과 상기 개구부는 상기 마스크 시트에 'ㅜ'자 형상을 가지도록 가공되는 것을 특징으로 오픈 마스크 조립체의 제조 방법.The method according to claim 1,
In the opening processing step, the opening is machined at the center of the half groove, and the half groove and the opening are machined to have a 'T' shape in the mask sheet.
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