KR20220128552A - 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템 - Google Patents

Abstract

내부 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징에 결합되고 상기 내부 공간에 연결되는 유입 통로를 제공하는 유입관; 상기 하우징에 결합되고 유출 통로를 제공하는 유출관; 상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 및 플러싱 통로를 제공하되 상기 하우징의 벽 일부를 관통하는 플러싱 관; 을 포함하고, 상기 카트리지는: 카트리지 유출구; 및 복수 개의 필터구; 를 제공하며, 상기 유출관은 상기 카트리지 유출구를 통해 상기 필터링 공간과 상기 유출 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 연결되되, 상기 복수 개의 필터구의 각각을 통해 상기 내부 공간과 상기 필터링 공간이 연결되고, 상기 플러싱 관은 상기 필터링 공간과 상기 플러싱 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 결합되는 필터링 장치가 제공된다.

Description

필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템{Filtering device and filtering system including the same}

본 발명은 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플러싱(flushing)이 용이한 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 관한 것이다.

반도체 소자의 제조는 여러 공정을 거쳐 수행될 수 있다. 예를 들어, 반도체 소자의 제조는 반도체 웨이퍼에 대한 노광 공정, 증착 공정 및 식각 공정 등을 거쳐 수행될 수 있다. 이러한 다양한 공정에서 기체 및/또는 액체 등의 유체가 공급되어 사용될 수 있다. 그러나 공급되는 유체 내 불순물에 의해 웨이퍼가 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 공급되는 유체 내 불순물 등을 걸러내는 필터링 작업이 선행되어야 할 수 있다. 유체 내 불순물 등을 걸러내기 위한 필터링 장치 내 필터는, 일정 주기마다 교체되어야 할 수 있다. 교체된 필터는 실제 공급되는 유체를 필터링하기 전에, 먼저 플러싱(flushing)되어야 할 수 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 필터를 효율적으로 플러싱할 수 있는 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 버블 및/또는 파티클을 제거하여 필터링되는 유체의 품질을 일정 수준 이상으로 확보할 수 있는 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 간단한 구조로 플러싱 효율을 향상시킬 수 있는 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 설비의 가동 중에 플러싱이 가능한 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 제공하는데 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 필터링 장치는 내부 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징에 결합되고 상기 내부 공간에 연결되는 유입 통로를 제공하는 유입관; 상기 하우징에 결합되고 유출 통로를 제공하는 유출관; 상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 및 플러싱 통로를 제공하되 상기 하우징의 벽 일부를 관통하는 플러싱 관; 을 포함하고, 상기 카트리지는: 카트리지 유출구; 및 복수 개의 필터구; 를 제공하며, 상기 유출관은 상기 카트리지 유출구를 통해 상기 필터링 공간과 상기 유출 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 연결되되, 상기 복수 개의 필터구의 각각을 통해 상기 내부 공간과 상기 필터링 공간이 연결되고, 상기 플러싱 관은 상기 필터링 공간과 상기 플러싱 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 결합될 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 필터링 시스템은 유체 공급기; 상기 유체 공급기에 연결되는 필터링 장치; 및 상기 필터링 장치를 통해 상기 유체 공급기에 연결되는 버퍼 탱크; 를 포함하되, 상기 필터링 장치는: 내부 공간을 제공하는 하우징; 상기 하우징에 결합되고 상기 내부 공간에 연결되는 유입 통로를 제공하는 유입관; 상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 상기 하우징에 결합되고 상기 필터링 공간에 연결되는 유출 통로를 제공하는 유출관; 상기 카트리지에 연결되는 플러싱 관; 상기 유출관 상에 결합되는 유출 밸브; 및 상기 플러싱 관 상에 결합되는 플러싱 밸브; 를 포함할 수 있다.

상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 필터링 장치는 하우징; 상기 하우징의 하부에 결합되며 유입 통로를 제공하는 유입관; 상기 하우징의 상부에 결합되며 유출 통로를 제공하는 유출관; 상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 및 상기 하우징에 결합되며 플러싱 통로를 제공하는 플러싱 관; 을 포함하되, 상기 하우징은: 내부 공간을 제공하는 하우징 측벽; 및 상기 하우징 측벽으로부터 상기 카트리지를 향해 연장되는 공간 분할부; 를 포함하고, 상기 내부 공간은 상기 카트리지가 상기 하우징 내에 삽입된 상태에서 상기 공간 분할부에 의해 상부 공간 및 하부 공간으로 나뉘며, 상기 플러싱 통로는 상기 상부 공간에 직접 연결되고, 상기 유입 통로는 상기 하부 공간에 연결되며, 상기 카트리지는 복수 개의 필터구를 제공하여, 상기 복수 개의 필터구의 적어도 일부를 통해 상기 필터링 공간과 상기 하부 공간이 연결될 수 있다.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 따르면, 필터를 효율적으로 플러싱할 수 있다.

본 발명의 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 따르면, 버블 및/또는 파티클을 제거하여 필터링되는 유체의 품질을 일정 수준 이상으로 확보할 수 있다.

본 발명의 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 따르면, 간단한 구조로 플러싱 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 따르면, 설비의 가동 중에 플러싱이 가능할 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 나타낸 개략도이다.
도 2는 도 1의 X 영역을 확대하여 도시한 개략도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 4의 Y 영역을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 대한 플러싱 방법을 나타낸 순서도이다.
도 7은 도 6의 필터링 시스템 플러싱 방법에 의해 필터링 장치를 플러싱하는 과정을 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들에 대하여 설명한다. 명세서 전문에 걸쳐 동일한 참조 부호는 동일한 구성 요소를 지칭할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템을 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 X 영역을 확대하여 도시한 개략도이다.

도 1을 참고하면, 필터링 시스템(F)이 제공될 수 있다. 필터링 시스템(F)은 유체 내 불순물 등을 필터링하는 장치일 수 있다. 보다 구체적으로, 필터링 시스템(F)은 반도체 공정에서 사용되는 액체 내 불순물을 필터링하는 장치를 의미할 수 있다. 예를 들어, 필터링 시스템(F)은 황산, 불산 및/또는 암모니아 등의 액체 내 불술문을 제거하여, 이들 액체를 반도체 공정 챔버(C)에 공급할 수 있다. 이를 위해 필터링 시스템(F)은 반도체 공정 챔버(C)에 연결될 수 있다. 반도체 공정 챔버(C)는 반도체 웨이퍼 및/또는 반도체 소자에 대한 노광 공정, 증착 공정 및 식각 공정 등을 수행하는 챔버를 의미할 수 있다. 필터링 시스템(F)은 유체 공급기(P), 제1 배관(E1), 필터링 장치(A1 내지 A8), 제2 배관(E2), 버퍼 탱크(R), 제3 배관(E3), 제4 배관(E4) 및 드레인 탱크(B) 등을 포함할 수 있다.

유체 공급기(P)는 필터링 장치(A1 내지 A8)에 유체를 공급할 수 있다. 보다 구체적으로, 유체 공급기(P)는 제1 배관(E1)을 통해 필터링 장치(A1 내지 A8)에 반도체 공정을 진행하기 위한 액체를 공급할 수 있다. 유체 공급기(P)가 공급하는 액체는 황산, 불산 및/또는 암모니아 등을 포함할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.

제1 배관(E1)은 유체 공급기(P)와 필터링 장치(A1 내지 A8)를 연결할 수 있다. 도 2 등을 참고하여 후술하겠지만, 제1 배관(E1)은 복수 개의 유입관(3, 도 2 참고)의 각각을 통해 필터링 장치(A1 내지 A8)의 각각에 유체를 전달할 수 있다.

필터링 장치(A1 내지 A8)는 유체 내 불순물을 필터링할 수 있다. 유체 공급기(P)에서 공급된 유체는 필터링 장치(A1 내지 A8)를 지나며 불순물이 걸러져, 깨끗한 상태로 반도체 공정 챔버(C)에 공급될 수 있다. 필터링 장치는 복수 개가 제공될 수 있다. 예를 들어, 하나의 유체 공급기(P) 및 하나의 버퍼 탱크(R)에 8개의 필터링 장치가 병렬로 연결될 수 있다. 8개의 필터링 장치의 각각은 제1 내지 제8 필터링 장치(A1 내지 A8)라 칭할 수 있다. 그러나 이들 숫자에 한하는 것은 아니다.

제2 배관(E2)은 필터링 장치(A1 내지 A8)와 버퍼 탱크(R)를 연결할 수 있다. 제2 배관(E2)은 복수 개의 필터링 장치의 각각에서 나오는 유체를 버퍼 탱크(R)에 보낼 수 있다.

버퍼 탱크(R)는 필터링 장치(A1 내지 A8)로부터 나오는 유체를 일시적으로 저장할 수 있다. 유체는 버퍼 탱크(R)에서 일정 시간 보관된 후, 반도체 공정 챔버(C)로 공급될 수 있다.

제3 배관(E3)은 버퍼 탱크(R)와 반도체 공정 챔버(C)를 연결할 수 있다. 유체는 제3 배관(E3)을 따라 이동하여 반도체 공정 챔버(C) 내에 공급될 수 있다.

제4 배관(E4)은 필터링 장치(A1 내지 A8)와 드레인 탱크(B)를 연결할 수 있다. 필터링 장치(A1 내지 A8) 내 필터를 플러싱한 유체는, 제4 배관(E4)을 통해 드레인 탱크(B)로 보내질 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 7을 참고하여 후술하도록 한다.

드레인 탱크(B)는 제4 배관(E4)에 연결될 수 있다. 드레인 탱크(B)에 제4 배관(E4)을 통해 배출된 유체가 모일 수 있다.

도 2를 참고하면, 제1 필터링 장치(A1)는 하우징(1), 유입관(3), 유출관(5), 유출 밸브(5a), 플러싱 관(9) 및 플러싱 밸브(9a) 등을 포함할 수 있다. 하우징(1)은 유체에 대한 필터링 과정이 수행되는 공간을 제공할 수 있다. 유입관(3)은 하우징(1)과 제1 배관(E1, 도 1 참고)을 연결할 수 있다. 유입관(3)을 통해 유체 공급기(P, 도 1 참고)의 유체가 하우징(1)으로 들어갈 수 있다. 유출관(5)은 하우징(1)과 제2 배관(E2, 도 1 참고)를 연결할 수 있다. 유출관(5)을 통해 하우징(1) 내 유체가 버퍼 탱크(R)로 보내질 수 있다. 유출관(5) 상에 유출 밸브(5a)가 결합될 수 있다. 유출 밸브(5a)는 유출관(5) 내부를 개폐하여, 유출관(5) 내 유체의 이동을 차단하거나 허용할 수 있다. 플러싱 관(9)은 하우징(1)과 제4 배관(E4)을 연결할 수 있다. 플러싱 관(9)을 통해 하우징(1) 내 유체가 드레인 탱크(B)로 보내질 수 있다. 플러싱 관(9) 상에 플러싱 밸브(9a)가 결합될 수 있다. 플러싱 밸브(9a)는 플러싱 관(9) 내부를 개폐하여, 플러싱 관(9) 내 유체의 이동을 차단하거나 허용할 수 있다.

언급되지는 아니하였지만, 제2 내지 제8 필터링 장치(A2 내지 A8)도 제1 필터링 장치(A1)와 실질적으로 동일 또는 유사한 구성들을 포함할 수 있다. 이하에서, 도 3 내지 도 4를 참고하여 필터링 장치에 대해 보다 상세히 설명하도록 한다.

도 3은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4의 Y 영역을 확대하여 도시한 단면도이다.

이하에서, 도 3의 D1을 제1 방향, 제1 방향(D1)에 교차되는 D2를 제2 방향, 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2)에 교차되는 D3를 제3 방향이라 칭할 수 있다.

도 4 및 도 3을 참고하면, 복수 개의 필터링 장치 중 예시적으로 한 개의 필터링 장치(A)만이 도시될 수 있다. 필터링 장치(A)는 하우징(1), 유입관(3), 카트리지(7), 필터(8), 유출관(5), 유출 밸브(5a), 플러싱 관(9), 플러싱 밸브(9a) 및 배출관(4) 등을 포함할 수 있다.

하우징(1)은 내부 공간(1h)을 제공할 수 있다. 내부 공간(1h)은 연속된 하나의 공간일 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 두 개의 공간으로 나뉘어 있을 수도 있다. 이에 대해서는 도 8 내지 도 10을 참고하여 후술하도록 한다. 하우징(1)은 전체적으로 원통 형상을 포함할 수 있으나, 이에 한정하지 않는다. 하우징(1)은 하우징 측벽(11), 뚜껑(13) 및 바닥부(15)를 포함할 수 있다. 하우징 측벽(11)은 원통의 옆면을 형성할 수 있다. 하우징 측벽(11)은 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 뚜껑(13)은 하우징 측벽(11)의 상부를 덮을 수 있다. 즉, 뚜껑(13)은 하우징(1)의 상부를 형성할 수 있다. 뚜껑(13)에 유출관(5)이 결합될 수 있다. 이를 위해 뚜껑(13)은 상부 유출공(131)을 제공할 수 있다. 뚜껑(13)에 플러싱 관(9)이 결합될 수 있다. 이를 위해 뚜껑(13)은 플러싱 공(13h, 도 5 참고)을 제공할 수 있다. 바닥부(15)는 하우징 측벽(11)의 하부를 막을 수 있다. 즉, 바닥부(15)는 하우징(1)의 하부를 형성할 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니며, 바닥부(15)가 위쪽에 있고, 뚜껑(13)이 아래쪽에 있을 수도 있다. 바닥부(15)에 유입관(3)이 결합될 수 있다. 이를 위해 바닥부(15)는 하부 유입공(151h)을 제공할 수 있다. 바닥부(15)에 배출관(4)이 결합될 수 있다.

유입관(3)은 하우징(1)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 유입관(3)은 하우징(1)의 바닥부(15)에 결합될 수 있다. 유입관(3)은 유입 통로(3h)를 제공할 수 있다. 유입 통로(3h)는 내부 공간(1h)에 연결될 수 있다. 유체 공급기(P, 도 1 참고)로부터 공급된 유체는 유입 통로(3h)를 통해 내부 공간(1h)으로 들어올 수 있다.

카트리지(7)는 하우징(1) 내에 위치할 수 있다. 즉, 카트리지(7)는 내부 공간(1h)에 배치될 수 있다. 카트리지(7)는 필터링 공간(7h)을 제공할 수 있다. 카트리지(7)가 하우징(1) 내에 배치된 상태에서, 필터링 공간(7h)과 내부 공간(1h)과 구분되어 명명될 수 있다. 카트리지(7)는 카트리지 몸체(71) 및 결합부(73)를 포함할 수 있다. 카트리지 몸체(71)는 제1 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 카트리지 몸체(71)는 원통형 형상을 포함할 수 있다. 카트리지 몸체(71)는 측벽(711) 및 바닥부(713)를 포함할 수 있다. 측벽(711)은 필터구(711h)를 제공할 수 있다. 필터구(711h)는 도 2에 도시된 것과 같이, 수평 방향으로 연장될 수 있다. 필터구(711h)는 내부 공간(1h)과 필터링 공간(7h)을 연결할 수 있다. 내부 공간(1h)과 필터링 공간(7h)은 필터구(711h)를 통해서만 연결될 수 있다. 필터구(711h)는 복수 개가 제공될 수 있다. 복수 개의 필터구(711h)는 서로 제1 방향(D1) 및 수평 방향으로 이격될 수 있다. 그러나 이하에서 편의 상 필터구(711h)는 단수로 기술하도록 한다. 바닥부(713)는 측벽(711)의 하부를 닫을 수 있다. 결합부(73)는 카트리지 몸체(71)로부터 위로 연장될 수 있다. 결합부(73)에 유출관(5)이 결합될 수 있다. 결합부(73)는 결합 몸체(731) 및 결합 뚜껑(733)을 포함할 수 있다. 결합 몸체(731)는 원통형 형상을 포함할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 결합 뚜껑(733)은 결합 몸체(731)의 상측을 닫을 수 있다. 결합 뚜껑(733)은 카트리지 유출구(733h)를 제공할 수 있다. 카트리지 유출구(733h)에서 유출 통로(5h)와 필터링 공간(7h)이 연결될 수 있다.

필터(8)는 카트리지(7) 내에 위치할 수 있다. 필터(8)는 카트리지(7)에 의해 일정 위치에 고정될 수 있다. 필터(8)는 카트리지 몸체(71)의 내측면에 결합될 수 있다. 필터(8)는 유체 내 불순물을 거를 수 있다. 보다 구체적으로, 유체는 필터(8)를 통과하면서 불순물이 걸러지고, 순수한 유체만 지나갈 수 있다. 이를 위해 필터(8)에는 미세한 구멍들(미도시)이 형성되어 있을 수 있다. 필터(8)에 의해 필터구(711h)가 막힐 수 있다. 필터구(711h) 및 필터(8) 내 미세 공간을 통해 필터링 공간(7h)과 내부 공간(1h)이 연결될 수 있다.

유출관(5)은 하우징(1)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 유출관(5)은 하우징(1)의 뚜껑(13)에 결합될 수 있다. 유출관(5)은 유출 통로(5h)를 제공할 수 있다. 유출관(5)은 카트리지(7)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 유출관(5)은 유출 통로(5h)가 카트리지(7)의 필터링 공간(7h)에 연결되도록 카트리지(7)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 유출관(5)은 결합부(73)에 결합되어, 카트리지 유출구(733h)를 통해 필터링 공간(7h)과 유출 통로(5h)가 연결될 수 있다. 필터링 공간(7h)의 유체는 유출 통로(5h)를 통해 외부로 빠져나갈 수 있다.

유출 밸브(5a)는 유출관(5) 상에 결합될 수 있다. 유출 밸브(5a)를 조절하여, 유출 통로(5h)를 개방하거나 폐쇄할 수 있다. 유출 밸브(5a)의 기능에 대한 상세한 내용은 도 6 등을 참고하여 후술하도록 한다.

플러싱 관(9)은 플러싱 통로(9h)를 제공할 수 있다. 플러싱 관(9)은 카트리지(7)에 연결될 수 있다. 보다 구체적으로, 플러싱 관(9)은 플러싱 통로(9h)가 필터링 공간(7h)에 연결되도록 카트리지(7)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 플러싱 관(9)은 결합부(73)에 결합될 수 있다. 이를 위해 플러싱 관(9)은 하우징(1)의 일부를 관통할 수 있다. 예를 들어, 플러싱 관(9)은 하우징(1)의 뚜껑(13)을 관통하여 결합부(73)에 결합될 수 있다. 혹은, 플러싱 관(9)은 하우징 측벽(11)을 관통하여 결합부(73)에 결합될 수 있다. 이에 대한 상세한 내용은 도 4를 참고하여 후술하도록 한다.

플러싱 밸브(9a)는 플러싱 관(9) 상에 결합될 수 있다. 플러싱 밸브(9a)를 조절하여, 플러싱 통로(9h)를 개방하거나 폐쇄할 수 있다. 플러싱 밸브(9a)의 기능에 대한 상세한 내용은 도 6 등을 참고하여 후술하도록 한다.

배출관(4)은 하우징(1)의 하부에 결합될 수 있다. 예를 들어, 배출관(4)은 하우징(1)의 바닥부(15)에 결합될 수 있다. 배출관(4)이 제공하는 배출 통로(4h)는 내부 공간(1h)에 연결될 수 있다. 배출관(4)을 통해 유체의 일부는 아래로 배출될 수 있다.

도 5를 참고하면, 플러싱 관(9)이 플러싱 공(13h)을 지나 결합 몸체(731)에 연결될 수 있다. 이를 위해 결합 몸체(731)는 결합공(731h)을 제공할 수 있다. 플러싱 통로(9h)는 플러싱 공(13h) 및 결합공(731h)을 지나 필터링 공간(7h)에 연결될 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치 및 이를 포함하는 필터링 시스템에 대한 플러싱 방법을 나타낸 순서도이다.

도 6을 참고하면, 필터링 시스템 플러싱 방법(S)이 제공될 수 있다. 필터링 시스템 플러싱 방법(S)에 의하면, 도 1을 참고하여 설명한 필터링 시스템(F, 도 1 참고)의 필터링 장치(A1 내지 A8)를 플러싱할 수 있다. 보다 구체적으로, 필터링 장치(A1 내지 A8)의 필터(8, 도 3 참고)를 새로 교체하여 플러싱(flushing)이 필요한 경우, 필터(8)를 플러싱시킬 수 있다. 필터(8)는 플러싱 과정에서 깨끗해질 수 있다. 예를 들어, 필터(8)에 묻어 있는 각종 파티클 등의 오염 물질이 제거될 수 있다. 필터링 시스템 플러싱 방법(S)은 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1), 제2 필터링 장치를 플러싱하는 것(S2) 및 제n 필터링 장치를 플러싱하는 것(Sn) 등을 포함할 수 있다. n은 2 이상의 자연수일 수 있다. 예를 들어, 필터링 장치가 8개가 제공되는 경우, n은 8일 수 있다.

제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)은 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S11), 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S12), 유체를 필터를 통과시켜 플러싱 관으로 보내는 것(S13), 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S15), 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S15) 등을 포함할 수 있다.

이하에서, 도 1, 도 2 및 도 7을 참고하여, 도 6의 필터링 시스템 플러싱 방법(S)의 각 단계를 상세히 서술하도록 한다.

도 1, 도 2 및 도 6을 참고하면, 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)은 다른 필터링 장치(A2 내지 A8 등)를 이용해 유체에 대한 필터링 작업이 진행되는 도중에 수행될 수 있다. 따라서 제1 필터링 장치를 플러싱하는 도중에도 유체에 대한 필터링 작업이 진행될 수 있다.

제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S11)은 플러싱 밸브(9a)를 개방하여 하우징(1) 내 유체가 플러싱 관(9)으로 흘러 가게 하는 것을 포함할 수 있다. 유체는 하우징(1)으로부터 플러싱 관(9)을 거쳐 제4 배관(E4)으로 이동할 수 있다.

제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S12)은 유출 밸브(5a)를 폐쇄하여 하우징(1) 내 유체가 유출관(5)으로 이동하지 못하게 하는 것을 포함할 수 있다. 따라서 유체는 유출관(5)이 아닌 플러싱 관(9)으로 이동하게 될 수 있다.

이상에서는 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S11) 이후 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S12)으로 서술하였지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 즉, 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S12)이 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S11)보다 먼저 수행될 수도 있고, 혹은 양자가 동시에 수행될 수도 있다.

도 7은 도 6의 필터링 시스템 플러싱 방법에 의해 필터링 장치를 플러싱하는 과정을 나타낸 단면도이다.

도 6 및 도 7을 참고하면, 유체를 필터를 통과시켜 플러싱 관으로 보내는 것(S13)은 유체 공급기(P, 도 1 참고)에서 공급되는 유체가 유입관(3)을 통해 하우징(1)의 내부 공간(1h)으로 유입되는 것을 포함할 수 있다. 내부 공간(1h)의 유체는 필터구(711h)를 지나 필터(8)를 관통할 수 있다. 유체는 필터(8)를 지나면서 필터(8)에 묻은 각종 파티클 등을 필터(8)로부터 제거할 수 있다. 이에 따라 필터(8)는 깨끗해질 수 있다. 필터(8)로부터 떨어져 나온 파티클을 포함한 유체는 플러싱 관(9)으로 들어갈 수 있다. 보다 구체적으로, 유출 밸브(5a)가 잠겨 있어 유체가 유출관(5)으로는 갈 수 없으므로, 파티클을 포함한 유체는 필터링 공간(7h)으로부터 플러싱 통로(9h)로 이동할 수 있다.

다시 도 1 및 도 6을 참고하면, 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S15)은 플러싱 밸브(9a)를 폐쇄하여 하우징(1) 내 유체가 플러싱 관(9)으로 흘러 가지 못하게 하는 것을 포함할 수 있다.

제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S15)은 유출 밸브(5a)를 개방하여 하우징(1) 내 유체가 유출관(5)으로 흘러 가게 하는 것을 포함할 수 있다. 따라서 유체는 플러싱 관(9)이 아닌 유출관(5)으로 이동하게 될 수 있다. 이에 따라 하우징(1) 내 유체는 플러싱이 끝난 깨끗한 필터(8, 도 4 참고)를 거치면서 정제되어 유출관(5)을 통해 빠져나갈 수 있다. 따라서 불순물이 없는 유체만이 유출관(5)을 통해 반도체 공정 챔버(C, 도 1 참고)로 공급될 수 있다. 즉, 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)이 완료된 후, 제1 필터링 장치(A1)를 이용한 유체의 필터링 작업이 속행될 수 있다.

이상에서는 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S15) 이후 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S15)으로 서술하였지만, 이에 한정하는 것은 아니다. 즉, 제1 필터링 장치의 유출 밸브를 폐쇄하는 것(S15)이 제1 필터링 장치의 플러싱 밸브를 개방하는 것(S15)보다 먼저 수행될 수도 있고, 혹은 양자가 동시에 수행될 수도 있다.

도 2 및 도 6을 참고하면, 제2 필터링 장치를 플러싱하는 것(S2)은 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)이 완료된 뒤에 수행될 수 있다. 제2 필터링 장치를 플러싱하는 것(S2)은 제1 필터링 장치(A1)를 이용한 필터링 작업에 진행되는 도중에 수행될 수 있다. 제2 필터링 장치를 플러싱하는 것(S2)은 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)과 실질적으로 동일 또는 유사한 단계를 포함할 수 있다.

제n 필터링 장치를 플러싱하는 것(Sn)은 다른 필터링 장치를 이용해 유체에 대한 필터링 작업이 진행되는 도중에 수행될 수 있다. 제n 필터링 장치를 플러싱하는 것(Sn)은 제1 필터링 장치를 플러싱하는 것(S1)과 실질적으로 동일 또는 유사한 단계를 포함할 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 필터링 장치, 이를 포함하는 필터링 시스템 및 필터링 시스템 플러싱 방법에 의하면, 필터를 새로 교체한 후에 필터를 플러싱함으로써, 새 필터 내 파티클 등을 제거할 수 있다. 따라서 깨끗한 필터를 사용해 유체를 필터링할 수 있으므로, 유체의 품질을 일정 수준 이상으로 유지할 수 있다. 또한 복수 개의 필터링 장치 중 나머지는 필터링 작업을 진행하며 일부 필터링 장치만에 대해서 플러싱 작업을 수행하므로, 플러싱 작업 중에도 유체의 필터링 작업이 가능할 수 있다. 즉, 설비의 가동 중에 일부 필터에 대한 플러싱 작업이 가능할 수 있다. 이에 따라 작업 효율이 향상될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 필터링 장치, 이를 포함하는 필터링 시스템 및 필터링 시스템 플러싱 방법에 의하면, 플러싱 관이 카트리지의 필터링 공간에 직접 연결될 수 있다. 이에 따라 하우징의 내부 공간 내 유체가 필터를 거치지 아니하고 바로 플러싱 관으로 배출되는 것이 방지될 수 있다. 또한 카트리지 내 공기가 차 있더라도, 공기는 플러싱 관을 통해 배출될 수 있으므로, 유체가 공기의 압력에 의해 필터를 뚫고 들어가지 못하는 것이 방지도리 수 있다. 따라서 유체에 의해 버블 및/또는 파티클이 제거되고, 필터에 대한 플러싱 효율이 향상될 수 있다.

도 8은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.

이하에서, 도 1 내지 도 7을 참고하여 서술한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 설명을 생략할 수 있다.

도 8을 참고하면, 도 4를 참고하여 설명한 것과는 달리 하우징(1')의 내부 공간이 둘로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 하우징(1')은 하우징 측벽(111', 113')으로부터 카트리지(7)를 향해 연장되는 공간 분할부(16')를 더 포함할 수 있다. 공간 분할부(16')는 수평 방향으로 연장되는 판 형상일 수 있다. 공간 분할부(16')에 의해 내부 공간은 상부 공간(14h') 및 하부 공간(12h')으로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 카트리지(7)가 하우징(1')에 삽입된 상태에서, 공간 분할부(16')에 의해 내부 공간이 상부 공간(14h') 및 하부 공간(12h')으로 나뉠 수 있다. 플러싱 관(9')은 카트리지(7)에 직접 연결되지 아니할 수 있다. 예를 들어, 플러싱 관(9')은 하우징(1')의 뚜껑(13')을 관통한 후 멈추거나, 뚜껑(13')에 결합될 수 있다. 플러싱 통로(9h')는 상부 공간(14h')에 직접 연결될 수 있다. 필터링 공간(7h)도 상부 공간(14h')에 연결될 수 있다. 예를 들어, 결합부(73)의 결합 몸체(731)에 형성된 결합공(731h')을 통해, 필터링 공간(7h)과 상부 공간(14h')이 연결될 수 있다. 상부 공간(14h')과 하부 공간(12h')은 필터구(711h), 필터링 공간(7h) 및 결합공(731h')을 통해서만 서로 간접적으로 연결될 수 있다.

도 9는 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.

이하에서, 도 1 내지 도 8을 참고하여 서술한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 설명을 생략할 수 있다.

도 9를 참고하면, 도 4를 참고하여 설명한 것과는 달리 하우징(1'')의 내부 공간이 둘로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 하우징(1'')은 하우징 측벽(111'', 113'')으로부터 카트리지(7'')를 향해 연장되는 공간 분할부(16'')를 더 포함할 수 있다. 공간 분할부(16'')는 수평 방향으로 연장되는 판 형상일 수 있다. 공간 분할부(16'')에 의해 내부 공간은 상부 공간(14h'') 및 하부 공간(12h'')으로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 카트리지(7'')가 하우징(1'')에 삽입된 상태에서, 공간 분할부(16'')에 의해 내부 공간이 상부 공간(14h'') 및 하부 공간(12h'')으로 나뉠 수 있다. 플러싱 관(9'')은 카트리지(7'')에 직접 연결되지 아니할 수 있다. 예를 들어, 플러싱 관(9'')은 하우징(1'')의 뚜껑(13'')을 관통한 후 멈추거나, 뚜껑(13'')에 결합될 수 있다. 플러싱 통로(9h'')는 상부 공간(14h'')에 직접 연결될 수 있다. 필터링 공간(7h'')도 상부 공간(14h'')에 연결될 수 있다. 그러나 도 8에 도시된 것과는 달리, 결합부(73'')는 결합공을 제공하지 아니할 수 있다. 대신 필터구(711h)의 일부를 통해 필터링 공간(7h')과 상부 공간(14h'')이 연결될 수 있다. 즉, 공간 분할부(16'')가 도 8을 참고하여 설명한 것보다 더 낮게 위치하여, 일부 필터구(711h)는 공간 분할부(16'')보다 위에 위치할 수 있다. 상부 공간(14h'')과 하부 공간(12h'')은 필터구(711h'') 및 필터링 공간(7h'')을 통해서만 서로 간접적으로 연결될 수 있다.

도 10은 본 발명의 실시 예들에 따른 필터링 장치를 나타낸 단면도이다.

이하에서, 도 1 내지 도 9를 참고하여 서술한 것과 실질적으로 동일 또는 유사한 내용에 대한 것은 편의 상 설명을 생략할 수 있다.

도 10을 참고하면, 도 4를 참고하여 설명한 것과는 달리 하우징(1''')의 내부 공간이 둘로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 하우징(1''')은 하우징 측벽(111''', 113''')으로부터 카트리지(7''')를 향해 연장되는 공간 분할부(16''')를 더 포함할 수 있다. 공간 분할부(16''')는 수평 방향으로 연장되는 판 형상일 수 있다. 공간 분할부(16''')에 의해 내부 공간은 상부 공간(14h''') 및 하부 공간(12h''')으로 나뉠 수 있다. 보다 구체적으로, 카트리지(7''')가 하우징(1''')에 삽입된 상태에서, 공간 분할부(16''')에 의해 내부 공간이 상부 공간(14h''') 및 하부 공간(12h''')으로 나뉠 수 있다. 플러싱 관(9''')은 카트리지(7''')에 직접 연결되지 아니할 수 있다. 예를 들어, 플러싱 관(9''')은 하우징(1''')의 뚜껑(13''')을 관통한 후 멈추거나, 뚜껑(13''')에 결합될 수 있다. 플러싱 통로(9h''')는 상부 공간(14h''')에 직접 연결될 수 있다. 필터링 공간(7h''')도 상부 공간(14h''')에 연결될 수 있다. 그러나 도 8에 도시된 것과는 달리, 카트리지(7''')는 결합부를 포함하지 아니할 수 있다. 대신 카트리지 몸체(71''')의 상부가 개방되어, 필터링 공간(7h')과 상부 공간(14h'')이 직접 연결될 수 있다. 상부 공간(14h''')과 하부 공간(12h''')은 필터구(711h''') 및 필터링 공간(7h''')을 통해서만 서로 간접적으로 연결될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 필터링 장치, 이를 포함하는 필터링 시스템 및 필터링 시스템 플러싱 방법에 의하면, 하우징의 내부 공간이 상부 공간과 하부 공간으로 나뉠 수 있다. 유입관의 유입 통로는 하부 공간에 직접 연결될 수 있다. 플러싱 관의 플러싱 통로는 상부 공간에 직접 연결될 수 있다. 그리고 상부 공간과 하부 공간은 직접적으로 연결되지 아니할 수 있다. 즉, 상부 공간과 하부 공간은 필터 등을 통해서만 간접적으로 연결될 수 있다. 따라서 하부 공간에 유입된 유체가 플러싱 관으로 빠져 나가기 위해서는, 반드시 필터를 통과해야만 할 수 있다. 이에 따라 유체를 플러싱 관으로 보내는 과정에서 필터에 잔존하는 파티클 및 버블 등이 유체에 의해 씻겨져 나갈 수 있다. 따라서 필터가 플러싱될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시 예들에 따른 필터링 장치, 이를 포함하는 필터링 시스템 및 필터링 시스템 플러싱 방법에 의하면, 간단한 구조만으로 필터에 대한 플러싱 작업의 효율을 개선할 수 있다.

이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

F: 필터링 시스템
A: 필터링 장치
P: 유체 공급기
B: 드레인 탱크
R: 버퍼 탱크
C: 반도체 공정 챔버
1: 하우징
1h: 내부 공간
3: 유입관
3h: 유입 통로
5: 유출관
5h: 유출 통로
5a: 유출 밸브
7: 카트리지
7h: 필터링 공간
71: 카트리지 몸체
73: 결합부
9: 플러싱 관
9h: 플러싱 통로
9a: 플러싱 밸브
4: 배출관
8: 필터

Claims (10)

1. 내부 공간을 제공하는 하우징;
   상기 하우징에 결합되고 상기 내부 공간에 연결되는 유입 통로를 제공하는 유입관;
   상기 하우징에 결합되고 유출 통로를 제공하는 유출관;
   상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 및
   플러싱 통로를 제공하되 상기 하우징의 벽 일부를 관통하는 플러싱 관; 을 포함하고,
   상기 카트리지는:
   카트리지 유출구; 및
   복수 개의 필터구; 를 제공하며,
   상기 유출관은 상기 카트리지 유출구를 통해 상기 필터링 공간과 상기 유출 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 연결되되,
   상기 복수 개의 필터구의 각각을 통해 상기 내부 공간과 상기 필터링 공간이 연결되고,
   상기 플러싱 관은 상기 필터링 공간과 상기 플러싱 통로가 연결되도록 상기 카트리지에 결합되는 필터링 장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 카트리지 내에 위치하는 필터를 더 포함하되,
   상기 필터는 상기 카트리지의 내측면에 결합되어 상기 복수 개의 필터구를 막는 필터링 장치.
   
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 카트리지는:
   카트리지 몸체; 및
   상기 카트리지 몸체에서 위로 연장되는 결합부; 를 더 포함하되,
   상기 카트리지 유출구는 상기 결합부의 상측에 제공되고,
   상기 복수 개의 필터구의 각각은 상기 카트리지 몸체의 측벽에 제공되며,
   상기 플러싱 관은 상기 결합부에 결합되어 상기 플러싱 통로와 상기 필터링 공간을 연결시키는 필터링 장치.
   
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 유입관은 상기 하우징의 하부에 결합되고,
   상기 유출관은 상기 하우징의 상부에 결합되며,
   상기 플러싱 관은 상기 하우징의 뚜껑 또는 상기 하우징의 측벽을 관통하는 필터링 장치.
   
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 유출관 상에 결합되는 유출 밸브; 및
   상기 플러싱 관 상에 결합되는 플러싱 밸브; 를 더 포함하는 필터링 장치.
   
6. 유체 공급기;
   상기 유체 공급기에 연결되는 필터링 장치; 및
   상기 필터링 장치를 통해 상기 유체 공급기에 연결되는 버퍼 탱크; 를 포함하되,
   상기 필터링 장치는:
   내부 공간을 제공하는 하우징;
   상기 하우징에 결합되고 상기 내부 공간에 연결되는 유입 통로를 제공하는 유입관;
   상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지;
   상기 하우징에 결합되고 상기 필터링 공간에 연결되는 유출 통로를 제공하는 유출관;
   상기 카트리지에 연결되는 플러싱 관;
   상기 유출관 상에 결합되는 유출 밸브; 및
   상기 플러싱 관 상에 결합되는 플러싱 밸브; 를 포함하는 필터링 시스템.
   
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 필터링 장치는 복수 개가 제공되되,
   상기 복수 개의 필터링 장치는 서로 병렬적으로 연결되는 필터링 시스템.
   
8. 제 6 항에 있어서,
   상기 카트리지 내에 위치하는 필터를 더 포함하되,
   상기 필터는 상기 카트리지의 내측면에 결합되는 필터링 시스템.
   
9. 하우징;
   상기 하우징의 하부에 결합되며 유입 통로를 제공하는 유입관;
   상기 하우징의 상부에 결합되며 유출 통로를 제공하는 유출관;
   상기 하우징 내에 위치하며 필터링 공간을 제공하는 카트리지; 및
   상기 하우징에 결합되며 플러싱 통로를 제공하는 플러싱 관; 을 포함하되,
   상기 하우징은:
   내부 공간을 제공하는 하우징 측벽; 및
   상기 하우징 측벽으로부터 상기 카트리지를 향해 연장되는 공간 분할부; 를 포함하고,
   상기 내부 공간은 상기 카트리지가 상기 하우징 내에 삽입된 상태에서 상기 공간 분할부에 의해 상부 공간 및 하부 공간으로 나뉘며,
   상기 플러싱 통로는 상기 상부 공간에 직접 연결되고,
   상기 유입 통로는 상기 하부 공간에 연결되며,
   상기 카트리지는 복수 개의 필터구를 제공하여, 상기 복수 개의 필터구의 적어도 일부를 통해 상기 필터링 공간과 상기 하부 공간이 연결되는 필터링 장치.
   
10. 제 9 항에 있어서,
    상기 카트리지는:
    카트리지 몸체; 및
    상기 카트리지 몸체에서 위로 연장되는 결합부; 를 더 포함하되,
    상기 유출관은 상기 결합부의 상측에 결합되어, 상기 유출 통로와 상기 필터링 공간에 연결되고,
    상기 복수 개의 필터구의 각각은 상기 카트리지 몸체의 측벽에 제공되며,
    상기 결합부는 상기 필터링 공간과 상기 상기 상부 공간을 연결하는 연결구를 제공하는 필터링 장치.
    

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