KR20220112030A - Multiple fiber-adapted spectrometer for large area sample Measurement - Google Patents

Multiple fiber-adapted spectrometer for large area sample Measurement Download PDF

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KR20220112030A
KR20220112030A KR1020210015524A KR20210015524A KR20220112030A KR 20220112030 A KR20220112030 A KR 20220112030A KR 1020210015524 A KR1020210015524 A KR 1020210015524A KR 20210015524 A KR20210015524 A KR 20210015524A KR 20220112030 A KR20220112030 A KR 20220112030A
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wavelength
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박명기
배다정
윤이나
임호준
최지원
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동아대학교 산학협력단
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Abstract

The present invention relates to a multi-fiber spectrometer for large-area sample measurement and, more specifically, to a subminiature multi-fiber spectrometer for large-area sample measurement, capable of simultaneously measuring and detecting spectroscopic and spatial information from laser-induced fluorescence and Raman signals by using an optical fiber bundle. In accordance with an embodiment of the present invention, the multi-fiber spectrometer includes: a light source provided to scan light onto a sample having a predetermined area; a sample part provided to place the sample; an optical fiber bundle receiving fluorescence emitted from the sample; an achromatic lens receiving fluorescence emitted from the optical fiber bundle; a slit filtering the fluorescence such that the intensity of the fluorescence condensed by the achromatic lens is constant; a diffraction grating separating and diffracting the light emitted from the slit according to wavelength; and an electron coupling device converting the fluorescence separated by wavelength by the diffraction grating, into an electrical signal, thereby performing fluorescence analysis on a plurality of spots of the sample.

Description

대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치 {Multiple fiber-adapted spectrometer for large area sample Measurement}Multiple fiber-adapted spectrometer for large area sample Measurement}

본 발명은 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 광섬유 다발을 이용하여 레이저 유발 형광 및 라만 신호로부터 분광학적 정보와 공간적 정보를 동시에 측정하여 검출하는 초소형 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-fiber spectroscopic analysis apparatus for measuring a large-area sample, and more particularly, a micro-large-area sample measurement that simultaneously measures and detects spectroscopic information and spatial information from laser-induced fluorescence and Raman signals using a fiber bundle. It relates to a multi-fiber spectroscopic analysis device for

실제 소자에 사용되는 대면적 시료에 대한 품질 분석에 대한 중요성은 매우 높다. The importance of quality analysis on large-area samples used in real devices is very high.

맵핑(mapping) 분광 분석법은 시료의 공간적 정보를 잃지 않고 분광학적 정보를 측정하는 방법이다. 하지만 이 분석법은 2차원적 주사(scanning) 방식을 사용하여 시간이 오래 걸리는 단점이 있다. 이를 해결하기 위해 대면적 시료에 대한 공간 정보 동시 측정이 가능해야 한다.Mapping spectroscopy is a method of measuring spectroscopic information without losing spatial information of a sample. However, this analysis method has a disadvantage in that it takes a long time by using a two-dimensional scanning method. To solve this problem, it should be possible to simultaneously measure spatial information for a large-area sample.

이를 위해 기존에 제시된 방법으로써 다수의 광 채널과 여러 개의 거울을 사용하여 공간과 분광학적 정보를 얻는 방식이 있다. 하지만 각 채널에 대한 광축 정렬이 어렵고 크기 제약이 존재한다. 다른 방법으로는 필터 휠을 회전시켜 분광 신호를 측정하는 법이 있다. 하지만 전동기의 회전으로 인한 스파크가 발생하여 신호 대 잡음비가 작아져 정확한 측정이 어렵다.For this purpose, there is a method of obtaining spatial and spectroscopic information using a plurality of optical channels and a plurality of mirrors as an existing method. However, it is difficult to align the optical axis for each channel and there is a size limitation. Another method is to measure the spectral signal by rotating the filter wheel. However, as a spark occurs due to the rotation of the motor, the signal-to-noise ratio decreases, making accurate measurement difficult.

국내등록특허 제10-1315856호에는 "액체가 들어 있는 용기를 놓아 둘 수 있는 내부공간이 도어나 덮개에 의해 개폐 가능한 챔버 형태로서, 내부 표면이 흑체로 덮인 검사대상 배치부와; 검사대상 배치부의 내부공간 안으로 150mJ 이하의 에너지를 갖는 532㎚ 파장의 연속파 레이저가 입사될수 있도록, 검사대상 배치부에 연결설치되는 레이저 발진부와; 연속파 레이저가 용기 속의 액체를 통과할 때 생성되는 라만 신호를 집광하기 위한 반원통형 집속 렌즈로서, 렌즈의 평면이 용기쪽을 향하게 함과 아울러 연속파 레이저의 진행방향에 직교하는 방향으로 놓이도록 검사대상 배치부의 내부공간에 설치되는 반원통형 집속 렌즈와; 다수의 선형 광섬유로 이루어진 선형 광섬유 다발의 양 단부에 집속 렌즈측 헤드와 분광판정부측 헤드가 각각 구비된 선형 광섬유 케이블로서, 집속 렌즈측 헤드의 단면이 반원통형 집속 렌즈의 초점거리에 위치되도록 검사대상 배치부의 일측에 설치되는 선형 광섬유 케이블과; 반원통형 집속 렌즈에 의해 집광된 라만 신호가 선형 광섬유 케이블의 분광판정부측 헤드의 단면을 통해 입력될 수 있도록 상기 분광판정부측 헤드와 연결설치되며, 라만 신호가 입력되면, 분광기로 분광 하여 컴퓨터의 데이터베이스에 저장된 위험물질 분광정보와 비교, 분석함으로써 용기 속의 액체가 위험물질인지 아닌지를 판정하는 분광판정부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 선형 광섬유 다발을 사용한 액체 위험물질의 광학적 탐지 장치"가 제공되고 있으며, 상기 탐지 장치는 광섬유 다발을 이용하는 종래 광학적 탐지 장치로써 대면적 시료 측정에는 부적합한 것으로 볼 수 있다.Korean Patent Registration No. 10-1315856 states, "An internal space for placing a container containing a liquid is in the form of a chamber that can be opened and closed by a door or a cover, and an inspection target arrangement part whose inner surface is covered with a black body; A laser oscillation unit connected to the inspection target placement unit so that a continuous wave laser of 532 nm wavelength with an energy of 150 mJ or less can be incident into the inner space; a Raman signal generated when the continuous wave laser passes through a liquid in a container A semi-cylindrical focusing lens comprising: a semi-cylindrical focusing lens installed in an internal space of an inspection target arrangement unit so that the plane of the lens faces toward the container and is placed in a direction orthogonal to the traveling direction of the continuous wave laser; A linear optical fiber cable having a focusing lens-side head and a spectroscopic determining unit-side head at both ends of the linear optical fiber bundle, and installed on one side of the inspection target arrangement so that the cross-section of the focusing lens-side head is located at the focal length of the semi-cylindrical focusing lens a linear optical fiber cable; and a Raman signal condensed by a semi-cylindrical focusing lens is connected to the spectral determination unit head so that the Raman signal can be input through the end face of the spectral determination unit side head of the linear optical fiber cable, and when the Raman signal is input, the A spectroscopic determination unit that determines whether the liquid in the container is a hazardous material or not by comparing and analyzing the spectroscopy with the hazardous material spectral information stored in the database of the computer; A detection device” is provided, and the detection device is a conventional optical detection device using a bundle of optical fibers, and is considered to be unsuitable for measuring a large area sample.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 전술한 바와 같은 종래 광학적 측정 장치의 한계점을 개선하기 위하여, 장치의 크기를 소형화하면서도 대면적 시료의 품질 분석을 수행할 수 있는 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is, in order to improve the limitations of the conventional optical measuring device as described above, multiple optical fiber spectroscopic analysis for measuring a large-area sample capable of performing quality analysis of a large-area sample while reducing the size of the device to provide the device.

본 발명의 실시 예에 따르면, 소정의 면적을 가지는 시료에 빛을 주사하도록 구비되는 대면적 광원; 상기 시료를 배치하도록 구비되는 시료부; 상기 시료로부터 방출된 형광을 입사받는 광섬유 다발; 상기 광섬유 다발로부터 방출되는 형광을 입사받는 색지움 렌즈; 상기 색지움 렌즈에서 집광된 형광의 세기가 일정해지도록 필터링하는 슬릿; 상기 슬릿에서 방출되는 빛을 파장에 따라 회절시켜 분리하는 회절격자; 및 상기 회절격자에서 파장별로 분리된 형광을 전기신호로 변환하는 전자결합소자;를 포함하여, 상기 시료의 복수개 지점에 대한 형광 분석을 수행하는, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, a large-area light source provided to inject light to a sample having a predetermined area; a sample unit provided to place the sample; an optical fiber bundle receiving the fluorescence emitted from the sample; an achromatic lens receiving fluorescence emitted from the optical fiber bundle; a slit for filtering so that the intensity of the fluorescence condensed by the achromatic lens is constant; a diffraction grating for diffracting and separating the light emitted from the slit according to a wavelength; and an electromagnetic coupling device that converts the fluorescence separated by wavelength in the diffraction grating into an electrical signal; it provides a multi-optical optical spectroscopy apparatus for measuring a large area sample, including, performing fluorescence analysis on a plurality of points of the sample .

또한, 상기 광섬유 말단과 시료와의 거리는 5mm 내지 10mm 사이가 되도록 구성하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to configure the distance between the end of the optical fiber and the sample to be between 5 mm and 10 mm.

그리고, 상기 광섬유 다발의 각 광섬유가 서로 5mm 내지 10mm 사이로 이격되도록 시료에 배치시키는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to arrange each optical fiber of the optical fiber bundle on the sample to be spaced apart between 5 mm and 10 mm from each other.

본 발명의 실시 예에 따르면, 대면적 시료에 대한 광학적 분석이 가능하다.According to an embodiment of the present invention, optical analysis of a large-area sample is possible.

또한, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치를 소형화할 수 있다.In addition, it is possible to miniaturize a multi-optical spectroscopic analyzer for measuring a large-area sample.

그리고, 시료의 분광학적 정보와 공간적 정보를 동시에 측정하여 매핑할 수 있다.In addition, spectroscopic information and spatial information of the sample may be simultaneously measured and mapped.

아울러, 거울의 사용 없이 렌즈만으로 빛을 굴절시켜, 위상이 변하지 않은 상태의 데이터를 추출할 수 있다.In addition, by refracting light only with a lens without using a mirror, data in a state in which the phase is not changed can be extracted.

또한, 이러한 대면적 PL(Photoluminescence) 측정 기술을 질병진단에 적용함으로써, 질병진단에 소요되는 시간 및 비용을 획기적으로 절감시킬 수 있다.In addition, by applying this large-area photoluminescence (PL) measurement technology to disease diagnosis, it is possible to dramatically reduce the time and cost required for disease diagnosis.

그리고, 기존 분광 장치 대비 신호 대 잡음비를 현저하게 개선(낮춤)할 수 있다.In addition, it is possible to significantly improve (lower) the signal-to-noise ratio compared to the conventional spectrometer.

도 1 은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치의 개요를 나타낸 구조도이다.1 is a structural diagram showing the outline of a multi-optical optical spectroscopic analyzer for measuring a large-area sample according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 문서의 다양한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다. 그러나, 이는 본 문서에 기재된 기술을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 문서의 실시예의 다양한 변경(modifications), 균등물 (equivalents), 및/또는 대체물(alternatives)을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다.Hereinafter, various embodiments of the present document will be described with reference to the accompanying drawings. However, it is not intended to limit the technology described in this document to specific embodiments, and it should be understood to include various modifications, equivalents, and/or alternatives of the embodiments of this document. . In connection with the description of the drawings, like reference numerals may be used for like components.

본 문서에서, "가진다," "가질 수 있다," "포함한다," 또는 "포함할 수 있다" 등의 표현은 해당 특징(예: 수치, 기능, 동작, 또는 부품 등의 구성요소)의 존재를 가리키며, 추가적인 특징의 존재를 배제하지 않는다.In this document, expressions such as "has," "may have," "includes," or "may include" refer to the presence of a corresponding characteristic (eg, a numerical value, function, operation, or component such as a part). and does not exclude the presence of additional features.

본 문서에서, "A 또는 B," "A 또는/및 B 중 적어도 하나," 또는 "A 또는/및 B 중 하나 또는 그 이상"등의 표현은 함께 나열된 항목들의 모든 가능한 조합을 포함할 수 있다. 예를 들면, "A 또는 B," "A 및 B 중 적어도 하나," 또는 "A 또는 B 중 적어도 하나"는, (1) 적어도 하나의 A를 포함, (2) 적어도 하나의 B를 포함, 또는 (3) 적어도 하나의 A 및 적어도 하나의 B 모두를 포함하는 경우를 모두 지칭할 수 있다.In this document, expressions such as "A or B," "at least one of A and/and B," or "one or more of A or/and B" may include all possible combinations of the items listed together. . For example, "A or B," "at least one of A and B," or "at least one of A or B" means (1) includes at least one A, (2) includes at least one B; Or (3) it may refer to all cases including both at least one A and at least one B.

어떤 구성요소(예: 제 1 구성요소)가 다른 구성요소(예: 제 2 구성요소)에 "(기능적으로 또는 통신적으로) 연결되어(operatively or communicatively) coupled with/to)" 있다거나 "접속되어(connected to)" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나, 다른 구성요소(예: 제 3 구성요소)를 통하여 연결될 수 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소(예: 제 1 구성요소)가 다른 구성요소(예: 제 2 구성요소)에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 상기 어떤 구성요소와 상기 다른 구성요소 사이에 다른 구성요소(예: 제 3 구성요소)가 존재하지 않는 것으로 이해될 수 있다.One component (eg, a first component) is "coupled with/to (operatively or communicatively)" or "connected" to another component (eg, a second component) When referring to "connected to", it will be understood that the certain element may be directly connected to the other element or may be connected through another element (eg, a third element). On the other hand, when it is said that a component (eg, a first component) is "directly connected" or "directly connected" to another component (eg, a second component), the component and the It may be understood that other components (eg, a third component) do not exist between other components.

본 문서에서 사용된 용어들은 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 다른 실시 예의 범위를 한정하려는 의도가 아닐 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 용어들은 본 문서에 기재된 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가질 수 있다. 본 문서에 사용된 용어들 중 일반적인 사전에 정의된 용어들은, 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 동일 또는 유사한 의미로 해석될 수 있으며, 본 문서에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 경우에 따라서, 본 문서에서 정의된 용어일지라도 본 문서의 실시 예들을 배제하도록 해석될 수 없다.Terms used in this document are only used to describe specific embodiments, and may not be intended to limit the scope of other embodiments. The singular expression may include the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. Terms used herein, including technical or scientific terms, may have the same meanings as commonly understood by one of ordinary skill in the art described in this document. Among the terms used in this document, terms defined in a general dictionary may be interpreted with the same or similar meaning to the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in this document, ideal or excessively formal meanings is not interpreted as In some cases, even terms defined in this document cannot be construed to exclude embodiments of this document.

본 발명의 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안될 것이다.Various modifications can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims of the present invention, and these modifications are the technical spirit or spirit of the present invention. It should not be understood individually from the perspective.

본 발명의 실시 예에 따르면, 소정의 면적을 가지는 시료에 빛을 주사하도록 구비되는 대면적 광원; 상기 시료를 배치하도록 구비되는 시료부; 상기 시료로부터 방출된 형광을 입사받는 광섬유 다발; 상기 광섬유 다발로부터 방출되는 형광을 입사받는 색지움 렌즈; 상기 색지움 렌즈에서 집광된 형광의 세기가 일정해지도록 필터링하는 슬릿; 상기 슬릿에서 방출되는 빛을 파장에 따라 회절시켜 분리하는 회절격자; 및 상기 회절격자에서 파장별로 분리된 형광을 전기신호로 변환하는 전자결합소자;를 포함하여, 상기 시료의 복수개 지점에 대한 형광 분석을 수행하는, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치를 제공한다.According to an embodiment of the present invention, a large-area light source provided to inject light to a sample having a predetermined area; a sample unit provided to place the sample; an optical fiber bundle receiving the fluorescence emitted from the sample; an achromatic lens receiving fluorescence emitted from the optical fiber bundle; a slit for filtering so that the intensity of the fluorescence condensed by the achromatic lens is constant; a diffraction grating for diffracting and separating the light emitted from the slit according to a wavelength; and an electromagnetic coupling device that converts the fluorescence separated by wavelength in the diffraction grating into an electrical signal; it provides a multi-optical optical spectroscopy apparatus for measuring a large area sample, including, performing fluorescence analysis on a plurality of points of the sample .

상기 광원(Light Source)은 넓은 영역의 시료(대면적 시료)에 빛을 주사시키는 대면적 광원을 의미할 수 있다.The light source may refer to a large-area light source that injects light into a large-area sample (large-area sample).

상기 광섬유 다발(Optical Fiber)은 빛을 검출장치로 이동시키는 섬유 다발로써, 복수개/다수개의 광섬유의 집합/묶음으로 구성된다.The optical fiber bundle is a fiber bundle that moves light to the detection device, and is composed of a plurality/set/bundle of a plurality of optical fibers.

상기 색지움 렌즈(Acromatic Lens)는 입사되는 빛을 집광시키는 렌즈로써, 입사광의 색수차를 보정/감쇄시킨다.The acromatic lens is a lens for condensing incident light, and corrects/attenuates chromatic aberration of the incident light.

상기 슬릿(Slit)은 일정 크기의 빛만을 통과시키는 장치로써, 방출되는 빛의 세기가 일정하게 유지되도록 한다.The slit is a device that allows only light of a certain size to pass through, so that the intensity of emitted light is kept constant.

상기 회절격자(Grating)는 입사되는 빛을 파장에 따라 회절시키는 광학 장치이다.The diffraction grating is an optical device that diffracts incident light according to a wavelength.

상기 전자결합소자(CCD)는 빛을 전하로 변환시켜 화상을 얻어내는 센서이다.The electronically coupled device (CCD) is a sensor that converts light into electric charge to obtain an image.

상기와 같은 구성에서, 광섬유 다발을 시료의 특정 구역에 각각 위치시켜(도 1의 Sample 1 내지 Sample 4 위치) 공간적으로 분리된 신호(형광)를 추출할 수 있다.In the above configuration, a spatially separated signal (fluorescence) can be extracted by placing the optical fiber bundle in a specific region of the sample (Sample 1 to Sample 4 in FIG. 1).

추출된 신호는 광섬유를 통해 전달되며, 짧은 초점거리를 가지는 색지움 렌즈를 거치면서 집광된다.The extracted signal is transmitted through an optical fiber and condensed while passing through an achromatic lens having a short focal length.

각각의 광섬유는 분광기로 수집되어 전하결합소자의 세로축 센서에 대응됨으로써 동시에 다중 측정(다 지점; 대면적) 및 분석이 가능하다.Each optical fiber is collected by a spectrometer and corresponds to the longitudinal sensor of the charge-coupled device, so that multiple measurements (multi-point; large area) and analysis are possible at the same time.

분광 장치에서 분석된 스펙트럼의 예시는 도 1의 좌측 하단에 도시된 차트와 같다(가로축 Raman shift, 세로축 Intensity).An example of the spectrum analyzed by the spectrometer is the same as the chart shown in the lower left of FIG. 1 (horizontal axis Raman shift, vertical axis intensity).

상기와 같은 구성을 통해, 대면적으로 PL(Photoluminescence)을 측정할 수 있으며, 측정 시간을 획기적으로 줄임으로써 시료의 PL분석을 빠르게 진행할 수 있다.Through the above configuration, it is possible to measure PL (Photoluminescence) over a large area, and by remarkably reducing the measurement time, it is possible to quickly proceed with PL analysis of the sample.

한편, 복수개의 시료에 대한 발광 신호를 동시에 측정하는 방식으로도 활용할 수 있다.On the other hand, it can be used as a method of simultaneously measuring the light emission signals for a plurality of samples.

상기 기재에서 형광은, '형광 또는/및 라만 신호'를 의미할 수 있다.In the above description, fluorescence may mean 'fluorescence and/or Raman signal'.

또한, 시료로부터 광섬유 사이의 거리가 멀어지면 빛이 산란되어 신호의 효율이 떨어진다. 이에 상기 광섬유 말단과 시료와의 거리는 5mm 내지 10mm 사이로 구성되도록 구성하는 것이 바람직하다.In addition, when the distance between the optical fiber from the sample increases, the light is scattered and the signal efficiency decreases. Accordingly, it is preferable to configure the distance between the end of the optical fiber and the sample to be between 5 mm and 10 mm.

상기 광섬유 다발의 간격이 너무 가까워지면 인접한 시료부터 신호의 간섭이 일어나 정확한 신호의 검출이 어렵다. 따라서, 상기 광섬유 다발의 각 광섬유가 서로 5mm 내지 10mm 사이로 이격 되도록 시료에 배치시키는 것이 바람직하다. When the distance between the optical fiber bundles is too close, signal interference occurs from adjacent samples, making it difficult to accurately detect a signal. Therefore, it is preferable to arrange each optical fiber of the optical fiber bundle on the sample so as to be spaced apart from each other by 5 mm to 10 mm.

1 : 광원
2 : 시료부 / 시료
3 : 광섬유 다발
4 : 색지움 렌즈
5 : 슬릿
6 : 회절격자
7 : 전자결합소자(CCD)1: light source
2: sample part / sample
3: Fiber optic bundle
4: achromatic lens
5: slit
6: diffraction grating
7: Electromagnetic coupling device (CCD)

Claims (3)

소정의 면적을 가지는 시료에 빛을 주사하도록 구비되는 광원;
상기 시료를 배치하도록 구비되는 시료부;
상기 시료로부터 방출된 형광을 입사받는 광섬유 다발;
상기 광섬유 다발로부터 방출되는 형광을 입사받는 색지움 렌즈;
상기 색지움 렌즈에서 집광된 형광의 세기가 일정해지도록 필터링하는 슬릿;
상기 슬릿에서 방출되는 빛을 파장에 따라 회절시켜 분리하는 회절격자; 및
상기 회절격자에서 파장별로 분리된 형광을 전기신호로 변환하는 전자결합소자;를 포함하여,
상기 시료의 복수개 지점에 대한 형광 분석을 수행하는, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치a light source provided to inject light into a sample having a predetermined area;
a sample unit provided to place the sample;
an optical fiber bundle receiving the fluorescence emitted from the sample;
an achromatic lens receiving fluorescence emitted from the optical fiber bundle;
a slit for filtering so that the intensity of the fluorescence collected by the achromatic lens is constant;
a diffraction grating for diffracting and separating the light emitted from the slit according to a wavelength; and
Including; an electromagnetic coupling device for converting the fluorescence separated by wavelength in the diffraction grating into an electrical signal;
Multiple optical fiber spectroscopy apparatus for measuring a large area sample, which performs fluorescence analysis on a plurality of points of the sample 청구항 1항에 있어서,
또한, 상기 광섬유 말단과 시료와의 거리는 5mm 내지 10mm 사이인 것을 특징으로 하는, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치The method according to claim 1,
In addition, the distance between the end of the optical fiber and the sample is between 5 mm and 10 mm, a multi-optical spectroscopic analyzer for measuring a large area sample 청구항 1항에 있어서,
상기 광섬유 다발의 각 광섬유가 서로 5mm 내지 10mm 사이로 이격되도록 시료에 배치되도록 구성되는, 대면적 시료 측정용 다중 광섬유 분광 분석 장치
The method according to claim 1,
Multiple optical fiber spectroscopy apparatus for measuring a large area sample, configured to be disposed on a sample such that each optical fiber of the optical fiber bundle is spaced apart between 5 mm and 10 mm from each other
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