KR20220104480A - 반도체설비용 진공밸브조립체 - Google Patents

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KR20220104480A KR1020210006824A KR20210006824A KR20220104480A KR 20220104480 A KR20220104480 A KR 20220104480A KR 1020210006824 A KR1020210006824 A KR 1020210006824A KR 20210006824 A KR20210006824 A KR 20210006824A KR 20220104480 A KR20220104480 A KR 20220104480A
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Abstract

본 발명은 반도체설비용 진공밸브조립체에 관한 것으로, 특히 진공펌프의 고장시 밸브를 빨리 작동시켜 차단할 수 있어서 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 반도체설비용 진공밸브조립체에 관한 것이다.
본 발명의 반도체설비용 진공밸브조립체(1000)는, 배기라인의 대기측 연결배관에 연결설치되는 바디하우징(1110)과 커버(1120)로 이루어진 밸브하우징(1100)과, 바디하우징의 양측내벽면에 끼워져 설치됨과 더불어 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 블레이드(1320)가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버쪽으로도 동기적으로 이동하도록 된 밸브이동안내부(1200)와, 밸브이동안내부를 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 블레이드(1320)가 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 밸브수단(1300)과, 바디하우징의 일측 외부에 설치된 실린더(1410)의 동작에 의해 로드가 작동하여 배기라인쪽으로 전진하게 되면 블레이드가 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동됨은 물론 상승하여 커버의 하부면에 밀착시킬 수 있도록 된 밸브구동부(1400)와, 바디하우징의 배기라인에 연통되도록 하부프로텍션링부재(1510)와 상부프로텍션링부재(1520)가 밸브수단의 이동에 의해 상,하로 이동하도록 된 프로텍션링수단(1500)과, 바디하우징에 고정됨과 더불어 유체 공급에 따라 밸브하우징으로 개폐 유로를 갖춘 소프트밸브(1600)를 포함한다.

Description

반도체설비용 진공밸브조립체{Vacuum valve assembly for semiconductor equipment}
본 발명은 반도체설비용 진공밸브조립체에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공챔버의 배기라인에 설치가 용이함은 물론, 게이트밸브의 내부로 유입되는 공정오염물질 및 부산물을 효과적으로 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 진공펌프의 고장이 나면 밸브를 빨리 작동시켜 차단할 수 있어서 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 반도체설비용 진공밸브조립체에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD, LED, 태양전지 등의 정밀 제조 분야에서는 장비 내부의 압력을 대기압보다 낮게 유지하면서 제조공정을 진행하는 진공장비가 많이 사용됨은 물론, 이러한 진공장비에는 진공장비 내부의 기체를 흡입 배출하여 진공장비 내부의 압력을 낮게 유지하는 진공펌프 및 이 진공펌프와 진공장비를 연결하는 배기라인이 설치된다.
그리고 이 배기라인에는 배기라인 자체의 개폐를 위하여 게이트밸브가 설치되고, 종래의 게이트밸브는, 배기라인의 중간에 설치되며, 밸브하우징, 밸브 및 밸브 구동부를 포함하여 구성된다.
먼저, 밸브는 배기라인을 가로막아서 차단하는 구성요소이며, 배기라인에 대하여 직교하는 방향으로 이동되고, 밸브하우징은 밸브가 이동하는 경로를 제공하며, 배기라인에 설치되어 배기라인을 통하여 배출되는 배기가스의 외부 유출을 방지하는 역할을 하고, 마지막으로 밸브구동부는 밸브의 후단에 결합하여 밸브를 구동하는 역할을 한다.
그런데 이러한 구조의 게이트밸브는, 게이트밸브 내에서 밸브와 밸브하우징 사이의 공간이 차단되지 아니하여, 배기라인을 통하여 배출되는 공정 부산물 또는 오염물질이 밸브하우징 내부 및 밸브 표면에 쌓이는 문제점이 있다.
이렇게 밸브하우징 내부나 밸브에 공정 부산물 또는 오염물질이 쌓이면 밸브하우징이나 밸브가 부식되어 구동 불량이 발생하고 잦은 수리가 요구되는 치명적인 문제가 있고, 불필요한 마찰로 인하여 배기 능력이 저하되는 문제점도 있다.
이러한 문제점을 해소하기 위해, 대한민국 공개특허 제10-2019-0041649호 발명의 명칭 "밸브조립체"가 공지되어 있는바, 진공 챔버 배기라인의 일부가 제거된 상태에서 배기라인의 제거된 부분에 삽입되어 설치되며, 배기라인의 연통 방향으로 개구되고 연통 방향과 수직인 방향으로 일정한 내부 공간을 가지는 밸브하우징; 밸브하우징 내부에 수평 이동 가능하게 설치되며, 밸브하우징 내부에서 수평 이동하면서 배기라인을 연통시키거나 차단하는 밸브; 밸브하우징의 한 부분에 밸브와 연결되어 설치되며, 밸브를 배기라인에 직교하는 방향으로 수평 이동시키는 밸브 구동부; 밸브하우징 내부에 설치되어 밸브의 이동 경로를 안내하는 밸브 이동 안내부;를 포함하는 구조로 되어 있다.
따라서 진공 챔버의 배기라인에 용이하게 설치 가능하며, 밸브가 배기라인의 일부를 이루고 이 밸브를 수평 이동시킴으로써 게이트밸브 내부로 유입되는 공정 오염 물질 및 부산물을 완전히 차단할 수 있으며 배기 효과가 탁월한 장점이 있다.
그러나 이러한 제10-2019-0041649호 밸브의 진공펌프가 고장이 발생해 신호를 주게 되면, 밸브를 닫는데 여러 개의 구동수단을 순차적으로 작동하여 차단하게 되므로 소요되는 시간이 많이 소요되어 게이트밸브 내부로 오염 물질 및 부산물이 유입되는 문제점이 있었다.
참조문헌: 대한민국 공개특허 제10-2019-0041649호 발명의 명칭 "밸브조립체".
본 발명은 상기와 같은 제반 요구사항들을 해소하기 위해 안출된 것으로, 진공펌프의 고장이 나면 밸브를 빨리 작동시켜 차단할 수 있어서 내부로 오염 물질 및 부산물이 유입되지 않아 생산성을 향상시킬 수 있도록 된 반도체설비용 진공밸브조립체를 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명은, 블레이드와 프로텍션링수단이 하나의 실린더에 의해 동기적으로 작동하여 최단시간에 진공의 얍력차단이 가능하도록 된 반도체설비용 진공밸브조립체를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 반도체설비용 진공밸브조립체는, 배기라인의 대기 측 연결배관에 바디하우징이 연결되고, 이 바디하우징의 상부에 조립되어 설비 측 배기라인 연결배관에 고정된 커버로 이루어진 밸브하우징과, 상기 바디하우징의 양측 내벽 면에 끼워져 바디하우징의 양측 내벽 면에서 길이방향으로 이동하지 않도록 설치됨과 더불어 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 블레이드가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버 쪽으로도 동기적으로 이동하도록 된 밸브이동안내부와, 상기 밸브이동안내부를 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 블레이드가 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 블레이드를 갖춘 밸브수단과, 상기 바디하우징의 일측 외부에 설치된 실린더의 조작에 의해 로드가 작동하여 배기라인쪽으로 전진하게 되면 블레이드가 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동됨은 물론 상승하여 커버의 하부면에 밀착시킬 수 있도록 된 밸브구동부와, 상기 바디하우징의 배기라인에 연통되도록 고정된 하부프로텍션링부재와, 하부프로텍션링부재와 상부에 위치하면서 연통되도록 된 상부프로텍션링부재와, 상기 하부프로텍션링부재와 상부프로텍션링부재가 밸브수단의 이동에 의해 상,하로 이동하도록 된 링크부재를 프로텍션링수단과, 상기 바디하우징에 고정됨과 더불어 유체 공급에 따라 바디하우징과 커버로 연통되는 개폐 유로를 갖춘 소프트밸브를 포함한다.
여기서 상기 밸브이동안내부는, 상기 바디하우징의 양측내벽면에 끼워져 세워지는 포스트핀과, 상기 포스트핀에 의해 바디하우징의 양측내벽면에 밀착되어 설치됨과 더불어 상기 좌,우측밸브가이드의 외측면으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기와 부시가 끼워져 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 상기 블레이드가 배기라인을 거의 닫히는 상태가 되면 블레이드가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버쪽으로도 동기적으로 이동하도록 한 쌍의 안내홈이 형성된 블레이드이동안내판으로 이루어진다.
그리고 상기 밸브수단은, 상기 밸브이동안내부인 블레이드이동안내판의 안내홈을 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 좌,우측밸브가이드와, 상기 좌,우측밸브가이드의 상부에 좌,우측 끝 부분이 고정됨과 더불어 일측으로 밸브구동부에 고정되는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드가 고정되지 않는 반대쪽면에는 환형의 패킹이 안착되어 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 블레이드와, 상기 좌,우측밸브가이드의 외측면이면서 양단에서 외측으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기에 끼워져 안착되는 부시를 포함한다.
또한, 상기 밸브구동부는, 상기 바디하우징의 일측 외부에 설치되어 제어수단의 신호를 받아 작동하도록 된 실린더와, 상기 바디하우징의 내부로 돌출된 로드의 단부에 조립된 연결부재와, 상기 연결부재의 하부에 조립되어 로드가 이동될 때 바디하우징의 내측 바닥면에서 구름이동하도록 된 롤러와, 상기 연결부재의 상부에 일단이 회동가능하도록 조립된 힌지부재와, 상기 힌지부재의 타단이 회동가능하게 조립됨과 더불어 블레이드의 하부에 일측이 고정된 블레이드연결부재로 이루어져, 상기 실린더가 작동하여 로드가 배기라인쪽으로 전진하게 되면 상기 블레이드를 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동시킬 수 있음은 물론 상승하여 커버의 하부면에 밀착시킬 수 있도록 구성된다.
한편, 상기 프로텍션링수단은, 상기 바디하우징의 배기라인에 연통되도록 고정됨과 더불어 중심에는 제1배기관통구멍이 형성된 하부프로텍션링부재와, 상기 하부프로텍션링부재의 상부에 위치하면서 하부에는 상기 제1배기관통구멍으로 끼워지면서 실링이 이루어지도록 된 제1배기관통구멍끼움부가 구비됨과 더불어, 상부면에는 블레이드의 하부면에 밀착되어 실링이 이루어지도록 환형의 오링이 안착되는 한편, 상기 오링과 배기관통구멍끼움부의 중앙에는 제2배기관통구멍이 형성된 상부프로텍션링부재와, 상기 상부프로텍션링부재의 양측면에 고정된 링크조립보조부재와, 상기 링크조립보조부재와 하부프로텍션링부재에 설치되어 상부프로텍션링부재가 상기 밸브수단이 배기라인을 차단하는 쪽으로 이동하게 되면 상기 좌,우측밸브가이드와 블레이드의 상승과 더불어 상부프로텍션링부재를 상부로 들어올리는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드와 블레이드의 하강과 더불어 상부프로텍션링부재를 하부로 연동시켜 내리도록 외측면으로 돌출된 돌기가 좌,우측밸브가이드의 프로텍션링연동홈에 의해 안내되도록 된 링크부재를 포함한다.
또 상기 소프트밸브는, 상기 바디하우징에 체결나사로 고정됨과 더불어 상기 바디하우징에서 커버로 커버에서 바디하우징을 통해서 밸브하우징의 압력이 평형이 이루어지도록 연통되는 유로를 갖춘 유로블럭과, 상기 유로블럭에 일단부가 수용되어 유로블럭쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 차단되고 유로블럭의 반대쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 열리도록 된 유로밸브와, 상기 유로밸브를 유로블럭에 수용할 수 있도록 일면이 밀착고정됨과 더불어 타면에는 피스톤부재가 수용되는 피스톤부재수용홈과 이 피스톤부재수용홈으로 질소가스를 공급할 수 있도록 된 질소가스공급부가 구비된 실린더블럭과, 상기 피스톤부재수용홈에 오링을 매개로 끼워져 수용됨과 더불어 유로밸브의 축방향에 체결됨과 더불어 피스톤부재수용홈으로 질소가스가 유입되면 유로커버쪽으로 이동하고 질소가스의 유압이 해소되면 탄성부재에 의해 실린더블럭쪽으로 이동하도록 된 피스톤과, 상기 실린더블럭의 반대쪽에서 피스톤에 밀착되도록 유로밸브에 끼워지는 탄성부재와, 상기 실린더블럭에 밀착되어 피스톤과 탄성부재를 내부에 수용하도록 된 유로커버와, 상기 유로블럭과 실린더블럭 및 유로커버가 순차적으로 밀착되도록 체결되는 체결부재를 포함한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체설비용 진공밸브조립체에 의하면, 진공펌프의 고장시 밸브를 빨리 작동시켜 차단할 수 있어서 내부로 오염 물질 및 부산물이 유입되지 않아 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 반도체설비용 진공밸브조립체에 의하면, 블레이드와 프로텍션링이 하나의 구동수단인 실린더에 의해 동기적으로 작동하여 진공펌프의 고장에 의해 기류가 올라가기 전 최단시간에 진공의 얍력차단이 가능하게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비용 진공밸브조립체의 사시도이고,
도 2는 도 1의 정면도,
도 3은 도 2의 A - A선 단면도,
도 4는 도 2의 B - B선 단면도,
도 5는 도 1의 분해사시도,
도 6은 도 5의 밸브수단을 나타내는 분해사시도,
도 7은 본 발명의 프로텍션링수단을 나타내는 사시도,
도 8은 도 7의 분해사시도,
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체설비용 진공밸브조립체를 구성하는 소프트밸브의 조립도,
도 10은 도 9의 분해사시도,
도 11은 도 10의 유로블럭을 설명하는 C - C선 단면도,
도 12는 도 10의 유로밸브를 설명하는 배면사시도,
도 13은 도 10의 실린더블럭을 설명하는 D - D선 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 반도체설비용 진공밸브조립체를 상세히 설명한다.
상기 도면의 구성 요소들에 인용부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있으며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, '상부', '하부', '앞', '뒤', '선단', '전방', '후단' 등과 같은 방향성 용어는 개시된 도면(들)의 배향과 관련하여 사용된다. 본 발명의 실시예의 구성요소는 다양한 배향으로 위치 설정될 수 있기 때문에 방향성 용어는 예시를 목적으로 사용되는 것이지 이를 제한하는 것은 아니다.
본 발명의 반도체설비용 진공밸브조립체(1000)는, 도 1 내지 도 13에 도시된 것과 같이, 밸브하우징(1100)과, 밸브이동안내부(1200), 밸브수단(1300), 밸브구동부(1400), 프로텍션링수단(1500) 및 소프트밸브(1600)를 포함한다.
여기서 상기 밸브하우징(1100)은, 진공챔버의 배기라인 일부가 제거된 상태에서 이 제거된 부분에 삽입되어 설치됨과 더불어, 배기라인의 연통방향으로 관통구멍(1111)이 개구되면서 연통방향과 수직한 방향으로 일정한 내부공간(1112)을 가지도록 구성되는 한편, 배기라인의 대기측 연결배관에 연결 설치된 바디하우징(1110)과, 상기 바디하우징의 상부에 조립되어 설비측 배기라인 연결배관에 연통되는 커버관통구멍(1121)이 형성된 커버(1120)로 이루어진다.
따라서 상기 바디하우징(1110)과 커버(1120)는 내부에 챔버를 구성하고, 상부측 배기라인이 커버(1120)에 도시되지 않은 플랜지를 매개로 고정되고, 하부측 배기라인이 바디하우징(1110)의 하부에 도시되지 않은 플랜지를 매개로 연결되어 연통되게 설치된다.
또 상기 바디하우징(1110)는, 외측면에서 관통구멍(1111)으로 연통되는 소프트밸브제1연통구멍(1113)이 형성되고, 상기 커버(1120)의 외측면에서 커버관통구멍(1121)으로 연통되는 소프트밸브제2연통구멍(1122)가 형성되어 있다.
따라서 상기 소프트밸브제1연통구멍(1113)과 소프트밸브제2연통구멍(1122)가 소프트밸브(1600)에 의해 선택적으로 연통되게 된다.
그리고 상기 밸브이동안내부(1200)는, 상기 바디하우징의 양측내벽면에 끼워져 세워지는 포스트핀(1210)과, 상기 포스트핀에 의해 바디하우징의 양측내벽면에 서 길이방향으로 이동하지 않도록 설치됨과 더불어 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 후술하는 블레이드가 배기라인을 거의 닫히는 상태가 되면 블레이드가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버쪽으로도 동기적으로 이동하도록 한 쌍의 안내홈(1221,1222)이 형성된 블레이드이동안내판(1220)으로 이루어진다.
따라서 상기 밸브이동안내부(1200)의 블레이드이동안내판(1220)에 형성된 안내홈(1221,1222)에 밸브수단(1300)이 안내를 받아 좌,우이동은 물론 상,하로의 이동이 가능하게 되는 한편, 상기 안내홈(1221,1222)에 밸브수단(1300)의 후술하는 좌,우측밸브가이드의 외측면으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기와 부시가 끼워져 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있게 된다.
또한 상기 밸브수단(1300)은, 상기 밸브이동안내부(1200)인 블레이드이동안내판(1220)의 안내홈(1221,1222)을 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 좌,우측밸브가이드(1310)와, 상기 좌,우측밸브가이드의 상부에 좌,우측 단부가 고정됨과 더불어 일측으로 밸브구동부(1400)에 고정되는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드(1310)가 고정되지 않는 반대쪽면에는 환형의 패킹(1321)이 안착되어 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 블레이드(1320)와, 상기 좌,우측밸브가이드의 외측면이면서 양단에서 외측으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기(1311)에 끼워져 안착되는 부시(1330)를 포함한다.
따라서 상기 좌,우측밸브가이드(1310)의 상부에 블레이드(1320)가 위치하여 고정된 상태로 블레이드이동안내판(1220)의 안내홈(1221,1222)에 가이드돌기(1311)가 부시(1330)를 매개로 끼워져 바디하우징(1110)의 길이방향은 물론 상,하방향으로 블레이드(1320)가 이동할 수 있게 된다.
또 상기 좌,우측밸브가이드(1310)의 측면에는 프로텍션링수단(1500)을 상,하로 연동하여 신장하도록 된 프로텍션링신축안내홈(1313)이 형성되어 있다.
따라서 상기 프로텍션링신축안내홈(1313)에 프로텍션링수단(1500)의 돌기가 끼워져 밸브수단(1300)의 이동에 따라 프로텍션링수단(1500)이 상부로 벌어지거나 또는 하부로 신축되는 상태가 된다.
미설명부호 1340은 나사못으로 블레이드(1320)쪽에서 끼워져 좌,우측밸브가이드(1310)의 상부에 체결되고, 1350은 상기 좌,우측밸브가이드(1310)의 하부로 돌출된 돌기(1312)에 끼워져 바디하우징(1110)의 측면을 따라 구름마찰 할 수 있도록 끼워진 롤러이다.
한편, 상기 밸브구동부(1400)는, 상기 바디하우징(1110)의 일측 외부에 설치되어 도시되지 않은 제어수단의 신호를 받아 작동하도록 된 실린더(1410)와, 상기 바디하우징(1110)의 내부로 돌출된 로드(1411)의 단부에 조립된 연결부재(1420)와, 상기 연결부재의 하부에 조립되어 로드가 이동될 때 바디하우징의 내측 바닥면에서 구름이동하도록 된 롤러(1430)와, 상기 연결부재의 상부에 일단이 회동가능하도록 조립된 힌지부재(1440)와, 상기 힌지부재의 타단이 회동가능하게 조립됨과 더불어 블레이드(1320)의 하부에 고정된 블레이드연결부재(1450)로 이루어진다.
따라서 상기 실린더(1410)가 작동하여 로드(1411)가 배기라인쪽으로 전진하게 되면 상기 블레이드(1320)가 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동시킬 수 있음은 물론 상기 연결부재(1420)와 힌지부재(1440) 및 블레이드연결부재(1450)에 의해 상승하여 커버(1120)의 하부면에 밀착시킬 수 있게 된다.
또, 상기 프로텍션링수단(1500)은, 상기 바디하우징(1110)의 배기라인에 연통되도록 고정됨과 더불어 중심에는 제1배기관통구멍(1511)이 형성된 하부프로텍션링부재(1510)와, 상기 하부프로텍션링부재의 상부에 위치하면서 하부에는 상기 제1배기관통구멍(1511)으로 끼워지면서 실링이 이루어지도록 된 제1배기관통구멍끼움부(1521)가 구비됨과 더불어, 상부면에는 블레이드의 하부면에 밀착되어 실링이 이루어지도록 환형의 오링(1522)이 안착되는 한편, 상기 오링(1522)과 배기관통구멍끼움부(1521)의 축중심에는 제2배기관통구멍(1523)이 형성된 상부프로텍션링부재(1520)와, 상기 상부프로텍션링부재의 양측면에 고정된 링크조립보조부재(1530)와, 상기 링크조립보조부재(1520)와 하부프로텍션링부재(1510)에 설치되어 상부프로텍션링부재가 상기 밸브수단(1300)이 배기라인을 차단하는 쪽으로 이동하게 되면 상기 좌,우측밸브가이드(1310)와 블레이드(1320)의 상승과 더불어 상부프로텍션링부재(1520)를 상부로 들어올리는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드와 블레이드의 하강과 더불어 상부프로텍션링부재를 하부로 연동시켜 내리도록 외측면으로 돌출된 돌기(1541)가 좌,우측밸브가이드(1310)의 프로텍션링연동홈(프로텍션링신축안내홈;1313)에 의해 안내되도록 된 링크부재(1540)를 포함한다.
따라서 상기 하부프로텍션링부재(1510)가 바디하우징(1110)에 고정된 상태에서 링크부재(1540)의 돌기(1541)가 프로텍션링연동홈(프로텍션링신축안내홈;1313)에 끼워져 블레이드(1320)의 상승 또는 하강시 동기적으로 상,하로 이동하여 상부프로텍션링부재(1520)를 상부 또는 하부로 신속하게 이동할 수 있게 됨은 물론, 상기 제1배기관통구멍끼움부(1521)의 실링과 오링(1522)에 의해 부유물이 밸브하우징(1100)의 내부에 존재하지 않도록 한다.
미설명부호 1550은 상기 돌기(1541)에 끼워지는 부시이다.
또한, 상기 소프트밸브(1600)는, 상기 바디하우징(1110)에 체결나사로 고정됨과 더불어 바디하우징에서 커버로 커버에서 바디하우징을 통해서 밸브하우징(1100)의 압력이 설치측과 대기측의 압력이 평형이 이루어지도록 연통되는 유로를 갖춘 유로블럭(1610)과, 상기 유로블럭에 일단부가 수용되어 유로블럭쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 차단되고 유로블럭의 반대쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 열리도록 된 유로밸브(1620)와, 상기 유로밸브를 유로블럭에 수용할 수 있도록 일면이 밀착고정됨과 더불어 타면에는 피스톤부재가 수용되는 피스톤부재수용홈(1631)과 이 피스톤부재수용홈으로 질소가스를 공급할 수 있도록 된 질소가스공급부(1632)가 구비된 실린더블럭(1630)과, 상기 피스톤부재수용홈(1631)에 오링(1641)을 매개로 끼워져 수용됨과 더불어 유로밸브의 축방향에 체결됨과 더불어 피스톤부재수용홈으로 질소가스가 유입되면 유로커버쪽으로 이동하고 질소가스의 유압이 해소되면 탄성부재에 의해 실린더블럭쪽으로 이동하도록 된 피스톤(1640)과, 상기 실린더블럭의 반대쪽에서 피스톤에 밀착되도록 유로밸브에 끼워지는 탄성부재(1650)와, 상기 실린더블럭에 밀착고정되어 피스톤과 탄성부재를 내부에 수용하도록 된 유로커버(1660)와, 상기 유로블럭과 실린더블럭 및 유로커버가 순차적으로 밀착되도록 체결되는 체결부재(1670)를 포함한다.
따라서 상기 질소가스공급부(1632)로 질소가 공급되면 상기 피스톤부재수용홈(1631)으로 질소가스가 충진되면서 피스톤(1640)이 탄성부재(1650)의 탄발력에 대향하여 피스톤(1640)을 유로커버(1660)쪽으로 이동시키게 됨과 동시에 상기 피스톤(1640)과 체결된 유로밸브(1620)가 축방향으로 유로커버(1660)쪽으로 이동하여 유로블럭(1610)의 유로가 바디하우징과 커버로 연통되게 열리게 되고, 상기 질소가스공급부(1632)로 공급되던 질소의 공급이 차단되면 탄성부재(1650)의 탄발력에 유로밸브(1620)가 유로블럭(1610)쪽으로 이동하여 바디하우징과 커버로 연통되게 열려 있던 유로를 차단하게 된다.
여기서 상기 유로블럭(1610)은, 도 1과 도 5 및 도 9 내지 도 11에 도시된 것과 같이, 상기 바디하우징(1110)에 체결나사로 고정하기 위한 관통구멍(1611)과, 상기 실린더블럭(1630)과 조립되는 면에 형성된 유로장공(1612)과, 이 유로장공의 상,중,하부에 일정한 깊이로 형성된 유로장공측홈(1613)과, 상기 바디하우징(1110)에 밀착되는 면에서 상기 유로장공측홈과 연통되도록 형성된 유로연통구멍(1614)과, 이 유로연통구멍의 입구에 설치되는 도시되지 않은 오링을 끼우기 위한 실링홈(1614)이 형성되어 있다.
따라서 상기 유로장공(1612)에서 유로장공측홈(1613)과 유로연통구멍(1614)을 통해서 바디하우징(1110)과 커버(1120)의 내부로 연통되게 된다.
그리고 상기 유로밸브(1620)는, 도 9와 도 10 및 도 12에 도시된 것과 같이, 상기 유로장공(1612)에 끼워짐과 더불어 유로장공측홈(1613)에 실링이 이루어지도록 일면에 도시되지 않은 오링이 끼워지도록 오링홈(1621a)이 형성된 장공밸브부(1621)와, 상기 장공밸브부의 타면에서 축중심으로 일정길이 연장되어 실린더블럭(1630)의 축중심에 형성된 구멍으로 끼워지도록 된 연장밸브축부(1622)와, 상기 연장밸브축부에서 일정길이 연장되도록 형성된 나사부(1623)와, 상기 나사부에서 일정길이 연장되어 피스톤(1640)과 탄성부재(1650)의 축중심으로 끼워져 유로커버(1660)의 중심에 형성된 관통구멍(1661)으로 끼워져 돌출된 연장축부(1624)로 이루어져 있다.
따라서 상기 장공밸브부(1621)의 오링홈(1621a)에 끼워진 오링에 의해 유로장공측홈(1613)에 밀착시 실링이 용이하게 이루어지게 되고, 상기 연장밸브축부(1622)가 실린더블럭(1630)에 끼워져 이동하게 된다.
또한 상기 실린더블럭(1630)은, 도 10과 도 13에 도시된 것과 같이, 상기 유로밸브(1620)를 유로블럭(1610)에 수용할 수 있도록 일면이 밀착고정됨과 더불어 타면에는 피스톤부재(1640)가 수용되도록 형성되는 피스톤부재수용홈(1631)과, 이 피스톤부재수용홈으로 질소가스를 공급할 수 있도록 형성된 질소가스공급구멍(1632a)과 질소가스공급노즐(1632b)을 갖는 질소가스공급부(1632)와, 축중심에서 피스톤부재수용홈(1631)으로 관통형성되어 연장밸브축부(1622)가 실링된 상태로 끼워지도록 된 연장밸브축부끼움구멍(1633)과, 이 연장밸브축부끼움구멍(1633)의 소정위치에 형성된 오링안착홈(1634)과, 상기 피스톤부재수용홈(1631)이 형성된 반대쪽 면이면서 상기 유로블럭(1610)과 밀착되는 면에 유로밸브(1620)의 실링을 위해 오링을 설치하기 위한 유로밸브실링홈(1635)이 형성되어 있다.
따라서 상기 피스톤부재수용홈(1631)에 피스톤부재(1640)가 수용되어 질소가스의 공급에 따라 축방향으로 이동하게 되고, 상기 오링안착홈(1634)과 유로밸브실링홈(1635)에 설치된 실링에 의해 진공상태가 용이하게 된다.
이상과 같이 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 것인 경우에는 본 발명의 보호범위에 속하게 될 것이다.
1000: 반도체설비용 진공밸브조립체 1100: 밸브하우징
1110: 바디하우징 1111: 관통구멍
1112: 공간 1113: 소프트밸브제1연통구멍
1120: 커버 1121: 커버관통구멍
1122: 소프트밸브제2연통구멍 1200: 밸브이동안내부
1210: 포스트핀 1220: 블레이드이동안내판
1221,1222: 안내홈 1300: 밸브수단
1310: 좌,우측밸브가이드 1311: 가이드돌기
1320: 블레이드 1330: 부시
1400: 밸브구동부 1410: 실린더
1420: 연결부재 1430: 롤러
1440: 힌지부재 1450: 블레이드연결부재
1500: 프로텍션링수단 1510: 하부프로텍션링부재
1520: 상부프로텍션링부재 1530: 링크조립보조부재
1540: 링크부재 1600: 소프트밸브
1610: 유로블럭 1620: 유로밸브
1630: 실린더블럭 1640: 피스톤
1650: 탄성부재 1660: 유로커버
1670: 체결부재

Claims (6)

  1. 배기라인의 대기측 연결배관에 바디하우징(1110)이 연결되고, 이 바디하우징의 상부에 조립되어 설비측 배기라인 연결배관에 고정된 커버(1120)로 이루어진 밸브하우징(1100)과,
    상기 바디하우징의 양측내벽면에 끼워져 바디하우징의 양측내벽면에서 길이방향으로 이동하지 않도록 설치됨과 더불어 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 블레이드(1320)가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버쪽으로도 동기적으로 이동하도록 된 밸브이동안내부(1200)와,
    상기 밸브이동안내부를 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 블레이드(1320)가 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 밸브수단(1300)과,
    상기 바디하우징의 일측 외부에 설치된 실린더(1410)의 동작에 의해 로드가 작동하여 배기라인쪽으로 전진하게 되면 블레이드가 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동됨은 물론 상승하여 커버의 하부면에 밀착시킬 수 있도록 된 밸브구동부(1400)와,
    상기 바디하우징의 배기라인에 연통되도록 고정된 하부프로텍션링부재(1510)와, 하부프로텍션링부재와 상부에 위치하면서 연통되도록 된 상부프로텍션링부재(1520)와, 상기 하부프로텍션링부재와 상부프로텍션링부재가 밸브수단의 이동에 의해 상,하로 이동하도록 된 링크부재(1540)를 포함하는 프로텍션링수단(1500)과,
    상기 바디하우징에 고정됨과 더불어 유체 공급에 따라 바디하우징과 커버로 연통되는 개폐 유로를 갖춘 소프트밸브(1600)를 포함하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 밸브이동안내부(1200)는,
    상기 바디하우징의 양측내벽면에 끼워져 세워지는 포스트핀(1210)과,
    상기 포스트핀에 의해 바디하우징의 양측내벽면에 밀착되어 설치됨과 더불어 상기 좌,우측밸브가이드(1310)의 외측면으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기(1311)가 끼워져 바디하우징의 길이방향으로 이동을 안내할 수 있는 한편, 상기 블레이드가 배기라인을 거의 닫히는 상태가 되면 블레이드가 배기라인을 닫는 쪽으로 이동하면서 커버쪽으로도 동기적으로 이동하도록 한 쌍의 안내홈(1221,1222)이 형성된 블레이드이동안내판(1220)으로 이루어지진 것을 특징으로 하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 밸브수단(1300)은,
    상기 밸브이동안내부(1200)인 블레이드이동안내판(1220)의 안내홈(1221,1222)을 따라 좌,우 및 상,하로 이동할 수 있도록 된 좌,우측밸브가이드(1310)와,
    상기 좌,우측밸브가이드의 상부에 좌,우측 단부가 고정됨과 더불어 일측으로 밸브구동부(1400)에 고정되는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드가 고정되지 않는 반대쪽면으로 배기라인의 유로를 개폐할 수 있도록 된 블레이드(1320)와,
    상기 좌,우측밸브가이드의 외측면이면서 양단에서 외측으로 돌출된 한 쌍의 가이드돌기(1311)를 포함하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 밸브구동부(1400)는,
    상기 바디하우징의 일측 외부에 설치되어 제어수단의 신호를 받아 작동하도록 된 실린더(1410)와,
    상기 바디하우징의 내부로 돌출된 로드(1411)의 단부에 조립된 연결부재(1420)와,
    상기 연결부재의 하부에 조립되어 로드가 이동될 때 바디하우징의 내측 바닥면에서 구름 이동하도록 된 롤러(1430)와,
    상기 연결부재의 상부에 일단이 회동가능하도록 조립된 힌지부재(1440)와,
    상기 힌지부재의 타단에 일측이 회동가능하게 조립됨과 더불어 블레이드(1320)의 하부에 타단이 고정된 블레이드연결부재(1450)로 이루어져,
    상기 실린더가 작동하여 로드가 배기라인쪽으로 전진하게 되면 상기 블레이드를 배기라인을 차단할 수 있는 쪽으로 이동시킬 수 있음은 물론 상승하여 커버의 하부면에 밀착시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 프로텍션링수단(1500)은,
    상기 바디하우징(1110)의 배기라인에 연통되도록 고정됨과 더불어 중심에는 제1배기관통구멍(1511)이 형성된 하부프로텍션링부재(1510)와,
    상기 하부프로텍션링부재의 상부에 위치하면서 하부에는 상기 제1배기관통구멍으로 끼워지면서 실링이 이루어지도록 된 제1배기관통구멍끼움부(1521)가 구비됨과 더불어, 상부면에는 블레이드의 하부면에 밀착되어 실링이 이루어지도록 환형의 오링(1522)이 안착되는 한편, 상기 오링과 배기관통구멍끼움부의 중앙에는 제2배기관통구멍(1523)이 형성된 상부프로텍션링부재(1520)와,
    상기 상부프로텍션링부재의 양측면에 고정된 링크조립보조부재(1530)와,
    상기 링크조립보조부재와 하부프로텍션링부재에 설치되어 상부프로텍션링부재가 상기 밸브수단(1300)이 배기라인을 차단하는 쪽으로 이동하게 되면 상기 좌,우측밸브가이드(1310)와 블레이드(1320)의 상승과 더불어 상부프로텍션링부재(1510)를 상부로 들어올리는 한편, 상기 좌,우측밸브가이드와 블레이드의 하강과 더불어 상부프로텍션링부재를 하부로 연동시켜 내리도록 외측면으로 돌출된 돌기(1541)가 좌,우측밸브가이드(1310)의 프로텍션링연동홈(1313)에 의해 안내되도록 된 링크부재(1540)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 소프트밸브(1600)는,
    상기 바디하우징에 체결나사로 고정됨과 더불어 상기 바디하우징에서 커버로 커버에서 바디하우징을 통해서 밸브하우징의 압력이 평형이 이루어지도록 연통되는 유로를 갖춘 유로블럭(1610)과,
    상기 유로블럭에 일단부가 수용되어 유로블럭쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 차단되고 유로블럭의 반대쪽으로 이동하게 되면 바디하우징과 커버로 연통되는 유로가 열리도록 된 유로밸브(1620)와,
    상기 유로밸브를 유로블럭에 수용할 수 있도록 일면이 밀착고정됨과 더불어 타면에는 피스톤부재가 수용되는 피스톤부재수용홈과 이 피스톤부재수용홈으로 질소가스를 공급할 수 있도록 된 질소가스공급부가 구비된 실린더블럭(1630)과,
    상기 피스톤부재수용홈에 오링을 매개로 끼워져 수용됨과 더불어 유로밸브의 축방향에 체결됨과 더불어 피스톤부재수용홈으로 질소가스가 유입되면 유로커버쪽으로 이동하고 질소가스의 유압이 해소되면 탄성부재에 의해 실린더블럭쪽으로 이동하도록 된 피스톤(1640)과,
    상기 실린더블럭의 반대쪽에서 피스톤에 밀착되도록 유로밸브에 끼워지는 탄성부재(1650)와,
    상기 실린더블럭에 밀착되어 피스톤과 탄성부재를 내부에 수용하도록 된 유로커버(1660)와,
    상기 유로블럭과 실린더블럭 및 유로커버가 순차적으로 밀착되도록 체결되는 체결부재(1670)를 포함하는 반도체설비용 진공밸브조립체.
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