KR20220091112A - 비히클 - Google Patents

비히클 Download PDF

Info

Publication number
KR20220091112A
KR20220091112A KR1020200182313A KR20200182313A KR20220091112A KR 20220091112 A KR20220091112 A KR 20220091112A KR 1020200182313 A KR1020200182313 A KR 1020200182313A KR 20200182313 A KR20200182313 A KR 20200182313A KR 20220091112 A KR20220091112 A KR 20220091112A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
cassette
horizontal direction
fixing
fixing member
Prior art date
Application number
KR1020200182313A
Other languages
English (en)
Inventor
김인동
김성규
임창진
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020200182313A priority Critical patent/KR20220091112A/ko
Publication of KR20220091112A publication Critical patent/KR20220091112A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛과, 상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛 및 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함할 수 있다.

Description

비히클{Vehicle}
본 발명은 비히클에 관한 것으로, 보다 상세하게는 주행 레일을 따라 주행하면서 대상물을 이송하는 비히클에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 천장 이송 장치(Overhead Hoist Transport device)에 의해 이송된다. 상기 천장 이송 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다. 예를 들면, 상기 비히클의 핸드 유닛이 상기 카세트를 파지한다.
그러나, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트와 정렬되지 않으면, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 정확하게 파지할 수 없다. 또한, 상기 카세트에 수납된 상기 대상물이 외부로 이탈할 수 있다.
본 발명은 핸드 유닛과 카세트를 정렬하고, 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 비히클을 제공한다.
본 발명에 따른 상기 비히클은, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛과, 상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛과, 상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛 및 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 결합되는 몸체와, 상기 몸체에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 카세트의 상부면에 구비된 플랜지를 파지하는 그리퍼들 및 상기 몸체에 구비되며, 상기 그리퍼들이 상기 대상물들을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 왕복 이동시키는 제1 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 구동부는, 모터와, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치되며, 상기 모터에 의해 회전하는 스크류축과, 상기 스크류 축을 따라 상기 제2 수평 방향을 따라 이동하는 너트와, 상기 너트의 양측에 각각 구비되어 상기 너트와 같이 이동하고, 상기 제2 수평 방향과 경사지는 캠홀을 갖는 캠 부재들 및 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캠 부재의 상기 캠홀에 삽입되는 캠 팔로우어를 가지며, 상기 그리퍼들이 각각 고정되는 이동 블록들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 이탈 방지부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이탈 방지부는, 상기 캠 부재 중 어느 하나에 일단이 힌지 결합되는 링크와, 일단부가 상기 링크의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축을 중심으로 회동되는 회동 부재 및 상기 회동 부재에 고정되며, 상기 회동 부재에 의해 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 이탈 방지 부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트를 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고, 상기 정렬부는, 상기 수용 카세트의 상기 플랜지에 구비된 정렬홀에 삽입되는 정렬 돌기일 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 프레임 유닛의 내부에 상기 제1 수평 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 카세트를 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 고정 유닛들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 제1 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재와, 상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재 및 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향을 따라 왕복 이동시키는 제2 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제2 구동부가 장착되는 베이스 플레이트와, 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠과, 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고, 상기 제2 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 제2 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이보다 길 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들; 및
상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 작은 크기의 카세트의 하단보다 높고, 상기 제2 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 큰 크기의 카세트의 하단보다 높을 수 있다.
본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 핸드 유닛에 상기 정렬부를 구비하므로, 상기 핸드 유닛과 상기 카세트를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 안정적으로 파지할 수 있다.
또한 상기 비히클은 상기 이탈 방지부를 구비하므로, 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
그리고, 상기 비히클은 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재로 상기 카세트를 고정하므로, 상기 카세트가 진동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 카세트에 수용된 상기 대상물이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 확대도이다.
도 3은 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이탈 방지부의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이다.
도 8은 도 5에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1을 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 회전 유닛(150), 핸드 유닛(200) 및 고정 유닛(300)을 포함할 수 있다.
상기 카세트(20)는 내부에 대상물(30)을 수용한다. 일 예로, 상기 카세트(20)는 대략 중공의 정육면체 형상을 가질 수 있다. 상기 카세트(20)는 상기 대상물(30)을 이적재하기 위해 일측에 개구부를 구비한다. 또한, 상기 카세트(20)의 상부면에는 플랜지(21)가 구비된다. 상기 플랜지(21)의 상부면 중앙에는 정렬홈(22)이 구비된다.
상기 대상물(30)은 상기 카세트(20)의 내부에 상하 방향, 즉 Z축 방향을 따라 적재될 수 있다. 상기 대상물(30)의 예로는 웨이퍼 링을 들 수 있다.
상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예들 들면, 상기 비히클(100)은 제1 수평 방향, 즉, X축 방향을 따라 주행할 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)의 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향, 즉, Y축 방향 및 상기 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다. 예를 들면, 상기 슬라이드 유닛(130)은 가이드 레일과 이동 블록을 포함할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(200)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 벨트(142)로 상기 핸드 유닛(200)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛(200)을 승강시킬 수 있다.
상기 회전 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 핸드 유닛(200)을 회전시킨다. 예를 들면, 상기 회전 유닛(150)은 상기 Z축 방향으로 배치되는 회전축을 통해 상기 핸드 유닛(200)과 연결될 수 있다. 상기 회전 유닛(150)은 모터 및 상기 모터와 상기 회전축을 연결하는 기어들 또는 풀리들 및 벨트를 포함할 수 있다. 상기 회전 유닛(150)은 상기 회전축을 회전시킴으로써 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 방향을 조절할 수 있다.
상기 핸드 유닛(200)은 상기 회전 유닛(150)에 회전 가능하도록 연결되며, 상기 카세트(20)를 고정한다.
상기 카세트(20)는 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강하며, 상기 회전 유닛(150)에 의해 회전할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 확대도이고, 도 3은 도 1에 도시된 핸드 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 이탈 방지부의 다른 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 핸드 유닛(200)은 몸체(210), 그리퍼들(220), 제1 구동부(230), 이탈 방지부(240) 및 정렬부(250)를 포함할 수 있다.
상기 몸체(210)는 상기 회전 유닛(150)에 회전 가능하도록 고정될 수 있다. 상기 몸체(210)는 대략 평판 형태를 가질 수 있다.
상기 그리퍼들(220)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수 있다. 상기 그리퍼들(220)은 상기 카세트(20)의 상기 플랜지(21)를 파지할 수 있다.
예를 들면, 상기 각 그리퍼들(220)에서 상기 카세트(20)를 파지하는 일단부와 반대되는 타단부가 상기 몸체(210)에 결합할 수 있다.
상기 제1 구동부(230)는 상기 몸체(210)에 구비되며, 상기 그리퍼들(220)들을 상기 X축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)를 파지하거나 상기 파지를 해제할 수 있다.
상기 제1 구동부(230)는 모터(231), 스크류 축(232), 너트(233)와, 캠 부재들(234) 및 이동 블록들(236)을 포함할 수 있다.
상기 모터(231)는 상기 몸체(210)에 구비되어 상기 스크류 축(232)을 회전시킨다.
상기 스크류 축(232)은 상기 모터(231)에 의해 회전한다.
상기 너트(233)는 상기 스크류 축(232)에 나사 관통되어 상기 스크류 축(232)을 따라 상기 Y축 방향을 따라 왕복 이동한다.
상기 캠 부재들(234)은 상기 너트(233)의 각각 고정되며, 상기 너트(233)와 같이 상기 Y축 방향을 따라 이동한다. 상기 캠 부재들(234)에는 상기 Y축 방향과 경사지는 캠홀(235)이 구비된다.
상기 이동 블록들(236)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 상기 이동 블록들(236)에는 상기 캠 부재들(234)의 상기 캠홀(235)에 삽입되는 캠 팔로우어(236)가 구비된다. 또한, 상기 캠 부재들(234)에는 상기 그리퍼들(220)이 각각 고정된다.
상기 몸체(210)와 상기 이동 블록들(236)들 사이에는 상기 이동 블록들(236)의 상기 X축 방향 이동을 가이드하기 위한 가이드 부재들(238)이 구비될 수 있다.
상기 가이드 부재들(238)은 상기 몸체(210)에 상기 X축 방향을 따라 구비되는 가이드 레일들 및 상기 각 이동 블록들(236)에 고정되며 상기 가이드 레일들을 따라 이동하는 가이드 블록들을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 이동 블록들(236)이 상기 X축 방향을 따라 안정적으로 이동할 수 있다.
상기 모터(231)가 상기 스크류 축(232)을 정회전 또는 역회전시키면, 상기 스크류 축(232)을 따라 상기 너트(233)가 상기 Y축 방향을 따라 왕복 이동한다. 또한, 상기 캠홀(235)을 따라 상기 캠 팔로우어(236) 및 상기 이동 블록들(236)이 상기 Y축 방향을 따라 왕복운동하고, 상기 그리퍼들(220)이 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 카세트(20)를 파지하거나 상기 파지를 해제할 수 있다.
한편, 상기 제1 구동부(230)는 상기 그리퍼들(220)을 상기 X축 방향을 따라 왕복 이동시킬 수 있으면 어느 것이나 무방하다. 다른 예로, 상기 제1 구동부(230)는 펌프와 실린더 등을 포함할 수도 있다.
상기 이탈 방지부(240)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물(30)이 상기 카세트(20)로부터 이탈하는 것을 방지한다.
상기 이탈 방지부(240)는 링크(241), 회동 부재(242) 및 이탈 방지 부재(244)를 포함할 수 있다.
상기 링크(241)는 일단이 상기 캠 부재들(234) 중 어느 하나에 힌지 결합된다. 상기 회동 부재(242)는 일단부가 상기 링크(241)의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축(243)을 중심으로 회동된다. 상기 이탈 방지 부재(244)는 상기 회동 부재(242)에 고정되고, 상기 회동 부재(242)에 의해 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 개폐하도록 회동된다.
상기 모터(231)에 의해 상기 캠 부재들(234)이 상기 Y축 방향으로 전진하면, 상기 링크(241)의 상기 일단이 전진하면서 상기 타단이 상기 회동 부재(242)의 상기 일단부를 밀어낸다. 상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)에서 멀어지는 방향으로 정회동할 수 있다.
이와는 반대로, 상기 모터(231)에 의해 상기 캠 부재들(234)이 상기 Y축 방향으로 후진하면, 상기 링크(241)의 상기 일단이 후진하면서 상기 타단이 상기 회동 부재(242)의 상기 일단부를 끌어당긴다. 상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)와 가까워지는 방향으로 역회동할 수 있다.
상기 이탈 방지 부재(244)가 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 차단하면, 상기 대상물(30)이 상기 카세트(20)에서 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이탈 방지부(240)는 상기 그리퍼들(220)의 일측에 고정되는 이탈 방지 부재(245)일 수 있다. 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)를 파지하면 상기 이탈 방지 부재(245)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부를 차단한다. 상기 그리퍼들(220)이 상기 카세트(20)의 파지를 해제하면, 상기 이탈 방지 부재(245)는 상기 카세트(20)의 상기 개구부로부터 멀어지도록 이동한다.
상기 정렬부(250)는 상기 핸드 유닛(200)과 상기 카세트(20)를 정렬하기 위한 것으로, 정렬 돌기(251) 및 스프링(252)을 포함할 수 있다.
상기 정렬 돌기(251)는 상기 몸체부(210)의 하부에 상기 몸체부(210)에 상기 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 상기 정렬 돌기(251)는 상기 카세트(20)의 상기 플랜지(21)에 구비된 상기 정렬홈(22)에 삽입된다. 상기 정렬 돌기(251)의 단부는 뾰족하거나 둥근 돌기일 수 있다.
상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입되면서 상기 핸드 유닛(200)과 상기 카세트(20)를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(200)이 상기 카세트(20)를 안정적으로 파지할 수 있다.
상기 스프링(252)은 상기 몸체부(210)와 상기 정렬 돌기(251) 사이에 상기 정렬 돌기(251)를 감싸도록 구비된다. 상기 스프링(252)은 상기 정렬 돌기(251)를 상기 몸체부(210)에 탄력적으로 지지시킬 수 있다.
또한, 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입될 때 상기 정렬 돌기(251)가 상승하면서 상기 스프링(252)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 스프링(252)은 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)에 삽입될 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.
그리고, 상기 정렬 돌기(251)가 상기 정렬홈(22)과 분리되면 상기 스프링(252)의 복원력에 의해 상기 정렬 돌기(251)가 원래 위치로 복귀할 수 있다.
상기 고정 유닛(300)은 상기 비히클(100)이 주행함에 따라 발생하는 상기 카세트(20)의 진동과 낙하를 방지한다.
상기 고정 유닛(300)은 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 양측에 각각 구비될 수 있다.
이하에서는 상기 하우징(210)의 내부의 상기 X축 방향 일측에 구비되는 하나의 고정 유닛(300)을 기준으로 설명한다.
도 5는 도 1에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 평면도이고, 도 7은 도 5에 도시된 고정 유닛을 설명하기 위한 배면도이고, 도 8은 도 5에 도시된 연결 부재를 설명하기 위한 확대도이다.
도 5 내지 도 8을 추가로 참조하면, 상기 고정 유닛(300)은 제1 고정 부재(310), 제2 고정 부재(312) 및 상기 제2 구동부(320)를 포함한다. 상기 고정 유닛(300)은 상기 이탈 방지부(240)의 동작을 간섭하지 않도록 배치될 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 비히클(100)의 내부, 구체적으로 상기 프레임 유닛(120)의 내부에 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)는 상기 프레임 유닛(120) 내부의 제1 높이에 위치할 수 있다.
상기 핸드 유닛(200)에 다양한 종류의 상기 카세트(20)가 파지되는 경우, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20) 중 가장 작은 크기의 상기 카세트(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 가장 작은 크기의 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)도 상기 프레임 유닛(120)의 내부에 구비된다. 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정한다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 상기 일측면을 고정하므로, 상기 카세트(20)의 진동을 방지할 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)는 상기 프레임 유닛(120) 내부의 제2 높이에 위치할 수 있다. 상기 제2 높이는 상기 제1 높이보다 낮을 수 있다.
상기 제2 높이는 상기 비히클(100)이 파지하는 상기 카세트(20) 중 가장 큰 크기의 상기 카세트(20)의 하단보다 높을 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 부재(312)가 가장 큰 크기의 상기 카세트(20)의 상기 X축 방향 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 서로 다른 높이에 위치하므로, 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 크기에 따라 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 동시에 상기 카세트(20)를 고정하거나, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 카세트(20)를 고정할 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)에 다양한 크기의 상기 카세트(20)가 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)를 안정적으로 고정할 수 있다.
일 예로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 상기 카세트(20)의 상기 일측면 중앙을 지지할 수 있다.
다른 예로, 자세히 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 각각 한 쌍이 구비되며, 상기 Y축 방향으로 이격되어 상기 카세트(20)의 상기 일측면 양단을 각각 지지할 수 있다. 상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 Y축 방향으로 이격되므로, 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이에 공간이 생긴다. 따라서, 상기 카세트(20)가 회전할 때 상기 제1 고정 부재(310)들 사이 및 상기 제2 고정 부재(312)들 사이를 지날 수 있다. 따라서, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다. 즉, 동일한 위치에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면 중앙을 지지할 때보다 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면 양단을 각각 지지하는 경우, 상기 카세트(20)의 회전 반경을 증가시킬 수 있다.
상기 한 쌍의 제1 고정 부재(310)들 및 상기 한 쌍의 제2 고정 부재(312)들이 상기 카세트(20)의 일측면 양단을 각각 지지하는 경우, 상기 프레임 유닛(120)에 보다 큰 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 간섭없이 회전시킬 수 있다. 따라서, 상기 비히클(100)은 보다 다양한 사이즈의 상기 카세트(20)를 수용하여 이송할 수 있다.
한편, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)는 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 테프론, 나일론 등을 들 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 카세트(20) 사이의 마찰력을 최소화할 수 있다. 그러므로, 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 상기 카세트(20) 사이의 마찰력으로 인한 파티클 발생을 방지할 수 있다.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)의 하부면에 고정된다. 상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 카세트(20)의 하부에 배치되어 상기 카세트(20)의 낙하시 상기 카세트(20)의 하부면을 지지한다. 따라서, 상기 카세트(20)가 상기 핸드 유닛(200)으로부터 분리되더라도 상기 카세트(20)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
상기 낙하 방지 부재(314)도 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)와 마찬가지로 저마찰계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다.
상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 고정 위치와 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 X축 방향을 따라 이동시킨다.
상기 고정 위치는 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 카세트(20)의 일측면을 고정하는 위치이다. 상기 후퇴 위치는 상기 카세트(20)가 승강을 통해 상기 프레임 유닛(120)에 수용되도록 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)가 상기 고정 위치로부터 후퇴한 위치이다.
상기 낙하 방지 부재(314)는 상기 제2 고정 부재(312)에 고정되므로, 상기 제2 구동부(320)에 의해 상기 제2 고정 부재(312)가 이동할 때 상기 낙하 방지 부재(314)도 같이 이동한다.
상기 고정 유닛(300)은 베이스 플레이트(330), 제1 이동 플레이트(340), 제1 슬라이드 캠(350), 제2 이동 플레이트(360), 제2 슬라이드 캠(370) 및 연결 부재(380)를 더 포함할 수 있다.
상기 베이스 플레이트(330)는 상기 비히클(100)의 내부, 구체적으로 상기 프레임 유닛(120)의 내부에서 상기 X축 방향 일측 측면에 고정된다.
상기 제1 이동 플레이트(340)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 적층되어 결합된다.
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제1 이동 플레이트(340) 사이에는 제1 가이드 부재(342)가 구비될 수 있다. 상기 제1 가이드 부재(342)는 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 X축 방향 이동을 가이드 한다.
상기 제1 이동 플레이트(340)의 상부면에 제1 캠 팔로워(344)가 구비될 수 있다.
상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 베이스 플레이트(330)의 상방에 구비된다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상방에 배치될 수 있다. 상기 제1 슬라이드 캠(350)은 제1 가이드 홈(352)이 구비된다. 상기 제1 가이드 홈(352)에 상기 제1 캠 팔로워(344)가 삽입되며, 상기 제1 가이드 홈(352)이 상기 제1 캠 팔로워(344)의 이동을 안내할 수 있다.
상기 제1 캠 팔로워(344)가 상기 제1 가이드 홈(352)을 따라 이동함에 따라 상기 제1 이동 플레이트(340) 및 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제2 이동 플레이트(360)는 상기 베이스 플레이트(330)에 대해 상기 X축 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 적층되어 결합된다.
상기 베이스 플레이트(330)와 상기 제2 이동 플레이트(360) 사이에는 제2 가이드 부재(362)가 구비될 수 있다. 상기 제2 가이드 부재(362)는 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 X축 방향 이동을 가이드 한다.
상기 제2 이동 플레이트(360)의 하부면에 제2 캠 팔로워(364)가 구비될 수 있다.
상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 베이스 플레이트(330)의 하방에 구비된다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 하방에 배치될 수 있다. 상기 제2 슬라이드 캠(370)은 제2 가이드 홈(372)이 구비된다. 상기 제2 가이드 홈(372)에 상기 제2 캠 팔로워(364)가 삽입되며, 상기 제2 가이드 홈(372)이 상기 제2 캠 팔로워(364)의 이동을 안내할 수 있다.
상기 제2 캠 팔로워(364)가 상기 제2 가이드 홈(372)을 따라 이동함에 따라 상기 제2 이동 플레이트(360), 상기 제2 고정 부재(312) 및 상기 낙하 방지 부재(314)가 상기 X축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 제1 가이드 홈(352)의 상기 X축 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈(372)의 상기 X축 방향 길이보다 길 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 X축 방향의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(314)의 상기 X축 방향의 이동 거리보다 길 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)가 상기 제2 고정 부재(312)보다 높게 위치하므로, 상기 제1 고정 부재(310)의 상기 이동 거리가 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 이동 거리보다 길어야 상기 핸드 유닛(200)에 파지된 상기 카세트(20)의 크기가 작더라도 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)의 일측면을 고정할 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 상기 X축 방향의 이동 거리가 서로 다르므로, 상기 핸드 유닛(200)에 다양한 크기의 상기 카세트(20)가 파지되더라도 상기 제1 고정 부재(310)와 상기 제2 고정 부재(312) 중 어느 하나가 상기 카세트(20)를 안정적으로 고정할 수 있다.
상기 연결 부재(380)는 상기 제1 이동 플레이트(340)와 상기 제1 고정 부재(310)를 연결한다.
상기 연결 부재(380)는 고정 핀(382) 및 코일 스프링(384)을 포함한다.
상기 고정 핀(382)은 상기 제1 이동 플레이트(340)로부터 상방으로 돌출된 제1 돌출부(341)를 관통하여 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된다. 이때 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 돌출부(341)에 대해 이동 가능하도록 구비된다. 단, 상기 고정 핀(382)은 상기 제1 고정 부재(310)에 고정된 단부와 반대되는 단부에 걸림턱이 형성된다. 그러므로, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)로부터 상기 제1 고정 부재(310)가 고정된 방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 이동 플레이트(340)의 상기 제1 돌출부(341)와 상기 제1 고정 부재(310) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다. 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때, 상기 고정 핀(382)이 제1 돌출부(341)에 대해 이동하면서 상기 코일 스프링(384)이 수축할 수 있다. 따라서, 상기 코일 스프링(384)은 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 카세트(20)와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시킬 수 있다.
또한, 상기 연결 부재(380)는 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 각각 연결한다.
상기 고정 핀(382)은 상기 제2 이동 플레이트(360)로부터 상방으로 돌출된 제2 돌출부(361)를 관통하여 상기 제2 고정 부재(312)에 고정된다. 상기 코일 스프링(384)은 상기 제2 이동 플레이트(360)의 상기 제2 돌출부(361)와 상기 제2 고정 부재(312) 사이에 상기 고정 핀(382)을 감싸도록 구비된다.
한편, 상기 제2 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)에 구비된다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 장착될 수 있다. 상기 제2 구동부(320)는 연결 부재(322)를 이용하여 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)과 같이 연결될 수 있다.
상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 Y축 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 상기 고정 위치와 상기 후퇴 위치 사이에서 왕복 이동시킨다.
상기 제2 구동부(320)는 상기 제1 슬라이드 캠(350) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)을 상기 Y축 방향을 따라 직선 왕복 운동시킬 수 있는 것이면 어느 것이나 무방하다. 예를 들면, 상기 제2 구동부(320)는 실린더, 볼 스크류 등일 수 있다.
상기 베이스 플레이트(330)에 상기 제1 이동 플레이트(340), 상기 제1 슬라이드 캠(350), 상기 제2 이동 플레이트(360) 및 상기 제2 슬라이드 캠(370)이 적층된 구조를 가지므로, 상기 프레임 유닛(120) 내의 좁은 공간에서 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)를 이동시킬 수 있다.
상기 고정 유닛(300)은 다수의 위치 센서(390)들을 더 포함할 수 있다.
상기 위치 센서(390)들은 상기 베이스 플레이트(330)에 구비되며, 제1 센서(392)들 및 제2 센서(394)를 포함할 수 있다.
상기 제1 센서(392)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 상부면에 상기 X축 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제1 고정 부재(310)들의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.
상기 제1 고정 부재(310)의 이동에 따라 상기 제1 고정 부재(310)가 상기 베이스 플레이트(330)와 이격되므로, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 고정 부재(310)를 직접 감지하기 어렵다. 따라서, 상기 제1 센서(392)들이 상기 제1 이동 플레이트(340)의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수 있다.
한편, 상기 제1 센서(392)들은 상기 제1 가이드 부재(342)에서 슬라이더의 위치를 감지하여 상기 제1 고정 부재(310)의 위치를 확인할 수도 있다.
상기 제2 센서(394)들은 상기 베이스 플레이트(330)의 하부면에 상기 X축 방향을 따라 구비될 수 있다. 상기 카세트(20)의 사이즈가 달라지면, 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치가 가변된다. 따라서, 상기 제2 센서(394)들은 상기 다수의 고정 위치들과 상기 후퇴 위치 사이의 간격만큼 이격될 수 있다.
상기 제2 고정 부재(312)의 이동 거리가 상기 제1 고정 부재(310)의 이동 거리와 다르므로, 상기 제2 센서(394)들의 위치와 상기 제1 센서(392)들의 위치는 다를 수 있다.
상기 위치 센서(390)들이 상기 제1 고정 부재(310) 및 상기 제2 고정 부재(312)의 고정 위치들과 후퇴 위치를 정확하게 감지할 수 있으므로, 상기 제2 구동부(320)와 상기 위치 센서(390)들을 이용하여 여러 사이즈의 상기 카세트(20)를 지지할 수 있도록 고정 유닛(300)의 동작을 정확하게 구현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클은 상기 핸드 유닛에 상기 정렬부를 구비하므로, 상기 핸드 유닛과 상기 카세트를 정렬할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 안정적으로 파지할 수 있다.
또한 상기 비히클은 상기 이탈 방지부를 구비하므로, 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 200 : 핸드 유닛
210 : 몸체 220 : 그리퍼
230 : 제1 구동부 240 : 이탈 방지부
250 : 정렬부 300 : 고정 유닛
310 : 제1 고정 부재 312 : 제2 고정 부재
314 : 낙하 방지 부재 320 : 제2 구동부
330 : 베이스 플레이트 340 : 제1 이동 플레이트
350 : 제1 슬라이드 캠 360 : 제2 이동 플레이트
370 : 제2 슬라이드 캠 380 : 연결 부재
390 : 위치 센서 392 : 제1 센서
392 : 제2 센서 10 : 주행 레일
20 : 카세트 30 : 대상물

Claims (13)

  1. 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향을 따라 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 유닛에 고정되며, 내부가 빈 형태의 상기 프레임 유닛;
    상기 프레임 유닛의 내부에 구비되며, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 슬라이딩하는 슬라이드 유닛;
    상기 슬라이드 유닛의 하부에 구비되며 벨트를 권취하거나 권출하여 상기 벨트를 승강시키는 호이스트 유닛;
    상기 벨트의 일단부에 고정되는 회전 유닛; 및
    상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 상기 회전 유닛에 결합되고, 일측에 개구부를 가지며 내부에 대상물이 수용된 카세트를 파지하는 핸드 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  2. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛은,
    상기 회전 유닛에 회전 가능하도록 결합되는 몸체;
    상기 몸체에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 카세트의 상부면에 구비된 플랜지를 파지하는 그리퍼들: 및
    상기 몸체에 구비되며, 상기 그리퍼들이 상기 대상물들을 파지 또는 해제하도록 상기 그리퍼들을 왕복 이동시키는 제1 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 구동부는,
    모터;
    상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치되며, 상기 모터에 의해 회전하는 스크류축;
    상기 스크류 축을 따라 상기 제2 수평 방향을 따라 이동하는 너트;
    상기 너트의 양측에 각각 구비되어 상기 너트와 같이 이동하고, 상기 제2 수평 방향과 경사지는 캠홀을 갖는 캠 부재들; 및
    상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 캠 부재의 상기 캠홀에 삽입되는 캠 팔로우어를 가지며, 상기 그리퍼들이 각각 고정되는 이동 블록들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  4. 제3항에 있어서, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 상기 대상물이 상기 카세트로부터 이탈하는 것을 방지하는 이탈 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  5. 제4항에 있어서, 상기 이탈 방지부는,
    상기 캠 부재 중 어느 하나에 일단이 힌지 결합되는 링크;
    일단부가 상기 링크의 타단에 결합되고, 타단부가 회전축을 중심으로 회동되는 회동 부재; 및
    상기 회동 부재에 고정되며, 상기 회동 부재에 의해 상기 카세트의 상기 개구부를 개폐하여 이탈 방지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  6. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛은, 상기 카세트를 정렬하기 위한 정렬부를 더 포함하고,
    상기 정렬부는, 상기 수용 카세트의 상기 플랜지에 구비된 정렬홀에 삽입되는 정렬 돌기인 것을 특징으로 하는 비히클.
  7. 제1항에 있어서, 상기 프레임 유닛의 내부에서 상기 제1 수평 방향 양측에 각각 구비되며, 상기 카세트를 고정하여 상기 카세트의 진동을 방지하는 고정 유닛들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  8. 제7항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
    제1 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제1 고정 부재;
    상기 제1 높이보다 낮은 제2 높이에서 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 카세트의 제1 수평 방향 일측면을 고정하는 제2 고정 부재; 및
    상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재를 상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향을 따라 왕복 이동시키는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  9. 제8항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
    상기 프레임 유닛의 제1 수평 방향 일측에 구비되며, 상기 제2 구동부가 장착되는 베이스 플레이트;
    상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 구비되며, 상기 제1 고정 부재를 고정하며 제1 캠 팔로워를 갖는 제1 이동 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 상방에 배치되고, 상기 제1 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제1 가이드 홈을 갖는 제1 슬라이드 캠;
    상기 제1 수평 방향을 따라 이동 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 하부면에 구비되며, 상기 제2 고정 부재를 고정하며 제2 캠 팔로워를 갖는 제2 이동 플레이트; 및
    상기 베이스 플레이트의 하방에 배치되고, 상기 제2 캠 팔로워의 이동을 안내하는 제2 가이드 홈을 갖는 제2 슬라이드 캠을 포함하고,
    상기 제2 구동부는 상기 제1 슬라이드 캠 및 제2 슬라이드 캠을 상기 제2 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 제1 고정 부재 및 상기 제2 고정 부재를 상기 왕복 이동시키는 것을 특징으로 하는 비히클.
  10. 제9항에 있어서, 상기 제1 고정 부재의 이동 거리가 상기 제2 고정 부재의 이동 거리보다 길도록 상기 제1 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이가 상기 제2 가이드 홈의 상기 제1 수평 방향 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 비히클.
  11. 제9항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은,
    상기 제1 및 제2 이동 플레이트들을 관통하여 상기 제1 및 제2 고정 부재들에 각각 고정되는 고정 핀들; 및
    상기 제1 및 제2 고정 부재들이 상기 카세트와 접촉할 때 발생하는 충격을 감소시키기 위해 상기 제1 및 제2 이동 플레이트들과 상기 제1 및 제2 고정 부재들 사이에 상기 고정 핀들을 감싸도록 구비되는 코일 스프링들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  12. 제8항에 있어서, 상기 각 고정 유닛은, 상기 제2 고정 부재의 하부면에 고정되고, 상기 카세트의 하부에 배치되어 상기 카세트가 낙하시 상기 카세트의 하부면을 지지하는 낙하 방지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  13. 제8항에 있어서, 상기 제1 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 작은 크기의 카세트의 하단보다 높고,
    상기 제2 높이는 상기 핸드 유닛이 파지하는 상기 카세트 중 가장 큰 크기의 카세트의 하단보다 높은 것을 특징으로 하는 비히클.
KR1020200182313A 2020-12-23 2020-12-23 비히클 KR20220091112A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200182313A KR20220091112A (ko) 2020-12-23 2020-12-23 비히클

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200182313A KR20220091112A (ko) 2020-12-23 2020-12-23 비히클

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220091112A true KR20220091112A (ko) 2022-06-30

Family

ID=82215422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200182313A KR20220091112A (ko) 2020-12-23 2020-12-23 비히클

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20220091112A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102598384B1 (ko) * 2023-02-24 2023-11-06 주식회사 지앤케이솔루션즈 반도체 소자 제조 장치 시스템

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102598384B1 (ko) * 2023-02-24 2023-11-06 주식회사 지앤케이솔루션즈 반도체 소자 제조 장치 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20190063951A (ko) Oht 장치의 비히클
CN110234582B (zh) 空中搬送车
US5102291A (en) Method for transporting silicon wafers
KR102184615B1 (ko) 반송 장치
KR20130098688A (ko) 호이스트 장치 및 이를 갖는 호이스트 시스템
KR20210002427A (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR20220091112A (ko) 비히클
KR102264857B1 (ko) 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR20210128784A (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
JP5024337B2 (ja) 搬送システム及び保管装置
KR102264860B1 (ko) 핸드 유닛, 이를 갖는 비히클 및 이를 이용한 대상물 고정 방법
KR20220091115A (ko) 비히클
KR100665293B1 (ko) 마스크 운송박스 박스커버 오프너
KR102252735B1 (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR100795964B1 (ko) 반도체 패키지 언로딩 핸들러의 보트 회수장치
KR102247036B1 (ko) 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
CN113035764B (zh) 一种晶圆对中装置
KR20140061279A (ko) 기판 반송용 핸드 및 기판 반송 방법
KR102570893B1 (ko) 콜릿 교체 장치
KR20220091110A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
CN109928188B (zh) 移载设备以及移载方法
KR20220026772A (ko) 대상물 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클
US20220108901A1 (en) Detape apparatus for an optical alignment machine
KR20220092255A (ko) 핸드 유닛 및 이를 갖는 비히클
KR20210158241A (ko) 호이스트 유닛의 가이드 구조물 및 이를 갖는 캐리어 이송 장치