KR20220086167A - 반도체 발광소자 - Google Patents

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KR20220086167A
KR20220086167A KR1020200176364A KR20200176364A KR20220086167A KR 20220086167 A KR20220086167 A KR 20220086167A KR 1020200176364 A KR1020200176364 A KR 1020200176364A KR 20200176364 A KR20200176364 A KR 20200176364A KR 20220086167 A KR20220086167 A KR 20220086167A
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semiconductor layer
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김태현
이성규
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주식회사 에스엘바이오닉스
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Abstract

본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제2 연결전극이 보호층과 제2 오믹 전극에 의해 차단되어 제2 반도체층과 직접 접촉하지 않는 반도체 발광소자에 관한 것이다. 본 개시에 따른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 제2 연결전극과 제2 반도체층의 직접 접촉을 차단하여 신뢰성 특성을 개선하고 잠재적인 신뢰성 불량을 방지할 수 있다.

Description

반도체 발광소자{SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING DEVICE}
본 개시(Disclosure)는 전체적으로 반도체 발광소자에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제2 연결전극이 보호층과 제2 오믹 전극에 의해 차단되어 제2 반도체층과 직접 접촉하지 않는 반도체 발광소자에 관한 것이다.
여기서, 반도체 발광소자는 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 반도체 광소자를 의미하며, 3족 질화물 반도체 발광소자를 예로 들 수 있다. 3족 질화물 반도체는 Al(x)Ga(y)In(1-x-y)N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)로 된 화합물로 이루어진다. 이외에도 적색 발광에 사용되는 GaAs계 반도체 발광소자 등을 예로 들 수 있다.
여기서는, 본 개시에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
또한 본 명세서에서 상측/하측, 위/아래 등과 같은 방향 표시는 도면을 기준으로 한다.
도 1은 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.
반도체 발광소자는 성장기판(10; 예: 사파이어 기판), 성장기판(10) 위에, 복수의 반도체층으로 버퍼층(20), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: n형 GaN층), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예; INGaN/(In)GaN MQWs), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: p형 GaN층)이 순차로 증착되어 있다. 버퍼층(20)은 생략될 수 있다. 그 위에 전류 확산을 위한 투광성 전도막(60)과, 본딩 패드로 역할하는 전극(70)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(14) 위에 본딩 패드로 역할하는 전극(80: 예: Cr/Ni/Au 적층 금속 패드)이 형성되어 있다. 도 1과 같은 형태의 반도체 발광소자를 특히 레터럴 칩(Lateral Chip)이라고 한다. 여기서, 성장기판(10) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다.
도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자의 다른 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 변경하였다.
반도체 발광소자는 성장기판(10), 성장기판(10) 위에, 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50)이 순차로 증착되어 있으며, 그 위에 성장기판(10) 측으로 빛을 반사시키기 위한 3층으로 된 전극막(90, 91, 92)이 형성되어 있다. 제1 전극막(90)은 Ag 반사막, 제2 전극막(91)은 Ni 확산 방지막, 제3 전극막(92)은 Au 본딩층일 수 있다. 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 기능하는 전극(80)이 형성되어 있다. 여기서, 전극막(92) 측이 외부와 전기적으로 연결될 때 장착면이 된다. 도 2와 같은 형태의 반도체 발광소자 칩을 특히 플립칩(Flip Chip)이라고 한다. 도 2에 도시된 플립 칩의 경우 제1 반도체층(30) 위에 형성된 전극(80)이 제2 반도체층 위에 형성된 전극막(90, 91, 92)보다 낮은 높이에 있지만, 동일한 높이에 형성될 수 있도록 할 수도 있다. 여기서 높이의 기준은 성장기판(10)으로부터의 높이일 수 있다. 반도체 발광소자에는 래터럴 칩 또는 플립 칩 이외에 수직 칩 등이 있다.
도 3은 한국 공개특허공보 제2015-0055390호에 기재된 반도체 발광소자의 다른 일 예를 보여주는 도면이다. 설명의 편의를 위해 도면기호를 일부 변경하였다.
반도체 발광소자는 플립 칩으로, 성장기판(10; 예: 사파이어 기판), 성장기판(10) 위에 복수의 반도체층으로, 버퍼층(20), 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(30; 예: n형 반도체층), 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(40; 예; INGaN/(In)GaN MQWs), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(50; 예: p형 반도체층)이 순차로 증착되어 있다. 버퍼층(20)은 생략될 수 있다. 그 위에 전류 확산을 위한 투광성 전도막(60)과, 본딩 패드로 역할하는 전극(70)이 형성되어 있고, 식각되어 노출된 제1 반도체층(30) 위에 본딩 패드로 역할하는 전극(80: 예: Cr/Ni/Au 적층 금속 패드)이 형성되어 있다. 또한 반도체 발광소자의 동작 전압을 낮추기 위한 전극 구조로 제1 반도체층(n형 반도체층)에 형성되는 제1 오믹 전극(51) 및 제2 반도체층(p형 반도체층)에 형성되는 제2 오믹전극(52)을 포함하고 있다.
최근에는 자외선을 발광하는 반도체 발광소자에 대한 개발이 활발히 이루어지고 있으나, 자외선을 발광하는 반도체 발광소자에 포함된 복수의 반도체층은 종래 청색광 등 가시광 영역의 빛을 발광하는 반도체 발광소자와 다르게 알루미늄갈륨 질화물(AlGaN) 물질을 기반으로 하고 있다. AlGaN 물질을 기반으로 하는 자외선을 발광하는 반도체 발광소자에서 제2 반도체층(p형 반도체층)에 형성되는 제2 오믹 전극 및 제2 연결전극에 있어서 프로브 전극 역할을 하는 제2 연결전극이 제2 반도체층(p형 반도체층)에 직접 접촉하는 경우 동작 전압의 상승 등의 문제점이 있다.
미국 등록특허공보 제7,262,436호(2007.08.28) 한국 공개특허공보 제2015-0055390호(2015.05.21)
이에 대하여 '발명을 실시하기 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
여기서는, 본 개시의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 개시의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
본 개시에 따른 일 태양에 의하면(According to one aspect of the present disclosure), 반도체 발광소자에 있어서, 제1 도전성을 갖는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 갖는 제2 반도체층 및 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층; 제2 반도체층을 노출하는 개구를 포함하며 제2 반도체층을 덮는 보호층; 개구를 통하여 제2 반도체층과 전기적으로 연결되며 보호층을 덮는 제2 오믹 전극; 및 보호층과 제2 오믹 전극을 덮는 제2 연결전극;을 포함하며, 제2 연결전극은 보호층과 제2 오믹 전극에 의해 차단되어 제2 반도체층과 직접 접촉하지 않는, 반도체 발광소자가 제공된다.
이에 대하여 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용'의 후단에 기술한다.
도 1은 종래의 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 2는 미국 등록특허공보 제7,262,436호에 제시된 반도체 발광소자의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 3은 한국 공개특허공보 제2015-0055390호에 기재된 반도체 발광소자의 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
이하, 본 개시를 첨부된 도면을 참고로 하여 자세하게 설명한다(The present disclosure will now be described in detail with reference to the accompanying drawing(s)).
도 4는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
도 6은 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 또 다른 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 본 개시에 따른 반도체 발광소자(100)는 복수의 반도체층(130, 140, 150), 보호층(160), 오믹 전극(131, 151), 및 연결전극(132, 152)을 포함한다.
복수의 반도체층(130, 140, 150)은 성장기판(110) 위에 순차적으로 증착된다. 성장기판(110)은 주로 사파이어, SiC, Si, GaN 등이 이용되며, 성장기판(110)은 최종적으로 제거될 수 있다.
한편 성장기판(110) 위에 버퍼층(120)이 성장되고, 그 위에 복수의 반도체층(130, 140, 150)이 증착될 수 있으며, 버퍼층(120)은 생략될 수 있으며 도시하지는 않았지만 필요에 따라 추가의 층들을 포함할 수 있다.
복수의 반도체층(130, 140, 150)은 성장기판(110)에서 성장하는 제1 도전성을 가지는 제1 반도체층(130; 예 : n형 반도체층), 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 가지는 제2 반도체층(150; 예 : p형 반도체층) 및 제1 반도체층(130)과 제2 반도체층(150) 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층(140)을 포함한다. 복수의 반도체층(130, 140, 150)은 알루미늄갈륨 질화물(AlGaN) 물질을 기반으로 하여 반도체 발광소자(100)가 자외선을 방출할 수 있도록 구성될 수 있다. 특히 300nm 이하의 단파장을 갖는 자외선을 방출할 수 있다.
도 4를 참조하면, 보호층(160)은 제2 반도체층(150) 상부에 형성되어 제2 반도체층(150)을 덮도록 구성되며 제2 반도체층(150)을 노출하는 개구(161)를 포함할 수 있다. 보호층(160)은 단일층 구조로 형성되는 것이 바람직하지만, 이에 한정하지 않고 다층 구조로 형성될 수도 있다.
도 5를 참조하면, 또 다른 실시예에서 보호층(160)은 제2 반도체층(150)의 측면 및 활성층(140)의 측면 중 식각된 제1 반도체층(130)을 향하는 측면을 덮도록 구성될 수 있다. 이 경우 보호층(160)은 제2 반도체층(150), 그리고 제2 반도체층(150)의 측면 및 활성층(140)의 측면 중 식각된 제1 반도체층(130)을 향하는 측면을 덮도록 구성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 또 다른 실시예에서 보호층(160)은 제1 반도체층(130)의 일부를 덮도록 구성될 수 있다. 이 경우 보호층(160)은 제2 반도체층(150), 그리고 제2 반도체층(150)의 측면 및 활성층(140)의 측면 중 식각된 제1 반도체층(130)을 향하는 측면, 및 제1 반도체층(130)의 일부를 덮도록 구성될 수 있다.
보호층(160)은 SiO2, TiO2, SiNx 등과 같은 절연물질로 이루어질 수 있다.
이와 같은 보호층(160)은 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition), sputtering, E-beam evaporation, thermal evaportation 등을 이용하여 제2 반도체층(150)을 덮도록 형성된다.
오믹 전극은 제1 오믹 전극(131) 및 제2 오믹 전극(151)을 포함할 수 있다.
제1 오믹 전극(131)은 제1 반도체층(130) 위에 형성되어 제1 반도체층(130)을 덮도록 구성될 수 있다.
제2 오믹 전극(151)은 개구(161)를 통하여 제2 반도체층(150)과 전기적으로 연결되며 보호층(160)을 덮도록 구성될 수 있다.
제1 오믹 전극(131)은 Cr, Ti, Al, Ag, Ni, Pt, W, Au, Rh 등의 조합으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 오믹 전극(131)은 순차로 적층된 오믹 접촉층(예: Cr, Ti, Ni 등)/반사 금속층(예: Al, Ag, Rh 등)/제1 장벽층(예: Ni, Cr, Ti, W, Pt, TiW 등)/산화반지층(예: Au, Pt 등)/제2 장벽층(예: Cr, Ti, Ni, Pt, Al 등)을 포함할 수 있다. 오믹 접촉층은 일함수가 작은 금속으로 이루어져 제1 반도체층(130)과 오믹 접촉을 이룬다. 반사 금속층은 빛을 반사하여 흡수손실을 줄인다. 제1 장벽층은 반사 금속층과 산화 방지층 간에 확산을 방지한다. 산화 방지층은 제1 장벽층 등의 산화를 방지할 수 있다. 도시 하지는 않았지만 제1 오믹 전극(131) 위에 패드 전극을 형성할 수 있으며 이 경우 패드 전극과 제1 오믹 전극(131)은 좋은 전기적 접촉을 이룰 수 있다. 오믹 접촉층은 5Å~500Å의 두께를 가질 수 있고, 반사 금속층은 500Å~10000Å 정도의 두께를 가질 수 있고, 제1 장벽층은 100Å ~ 5000Å 정도의 두께를 가질 수 있고, 산화방지층은 100Å ~ 5000Å 정도의 두께를 가질 수 있고, 제2 장벽층은 10Å ~ 1000Å 정도의 두께를 가질 수 있다. 이와 같은 다층 구조의 제1 오믹 전극(131)은 필요에 따라 일부의 층이 생략되거나 새로운 층이 추가될 수도 있다.
제2 오믹 전극(151)은 Cr, Ti, Al, Ag, Ni, Pt, W, Au, Rh 등의 조합으로 다층으로 이루어질 수 있다. 제2 오믹 전극(151)이 제1 오믹 전극(131)과 동일한 구조를 가질 필요는 없지만 비슷한 다층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 오믹 전극(151)은 순차로 적층된 접촉층/반사 금속층/제1 장벽층/산화반지층/제2 장벽층을 포함할 수 있다. 다만 반도체 발광소자가 플립 칩인 경우 광추출 효율 향상을 위해 제2 오믹 전극(151)은 반사층을 포함하는 것이 바람직하다. 도시하지는 않았지만 필요에 따라 제2 오믹 전극(151) 위에도 패드 전극이 형성될 수 있다.
또한 도시하지는 않았지만 제2 오믹 전극(151)과 제2 반도체층(150) 사이에는 투광성 도전막이 형성될 수 있다. 특히, 제2 반도체층(150)이 p형 알루미늄갈륨질화물(AlGaN)로 이루어지는 경우 전류 확산 능력이 떨어지므로, 투광성 도전막이 형성되는 것이 바람직하다. 투광성 도전막이 너무 얇게 형성되는 경우 전류 확산에 불리하여 구동 전압이 높아지고, 너무 두껍게 형성되는 경우 빛 흡수로 인해 광추출 효율이 감소될 수 있다. 예를 들어, 투광성 도전막은 ITO, ZnO 또는 Ni 및 Au를 사용하여 투광성 도전막으로 형성되거나, 이와 달리 Ag를 사용하여 반사형 도전막으로도 형성될 수 있다. 다만 파장대가 짧아지는 경우 투광성 도전막에 의한 자외선 흡수 문제가 커지기 때문에 투광성 도전막을 형성하는 것보다는 반사층을 포함한 제2 오믹 전극(151)이 제2 반도체층(150)을 대부분 덮어 형성하는 것이 좋다. 바람직하게는 제2 오믹 전극(151)이 제2 반도체층(150)의 상면을 90% 이상 덮고 있는 것이 좋다.
연결전극(132, 152)은 각각 오믹 전극(131, 151) 위에 형성된다. 연결전극(132, 152)은 안정적 전기적 접촉을 위해 Cr, Ti, Ni 또는 이들의 합금을 사용하여 형성될 수 있으며, Al 또는 Ag와 같은 반사 금속층을 포함할 수도 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 연결전극(132)은 제1 오믹 전극(131) 위에 형성되어 제1 오믹 전극(131)을 덮도록 구성될 수 있다. 제1 연결전극(132)은 또한 제1 반도체층(130)과 직접 접촉하도록 구성될 수 있다.
도 6을 참조하면, 제1 연결전극(132)은 또한 보호층(160)을 덮도록 형성될 수 있다.
제2 연결전극(152)은 보호층(160)과 제2 오믹 전극(151)에 위에 형성되어 보호층(160)과 제2 오믹 전극(151)을 덮도록 구성될 수 있다. 따라서 제2 연결전극(152)은 보호층(160)과 제2 오믹 전극(151)에 의해 차단되어 제2 반도체층(150)과 직접 접촉하지 않도록 구성될 수 있다.
이하 본 개시에 따른 반도체 발광소자의 제조방법의 일 예를 설명한다.
우선 성장기판(110) 위에 제1 반도체층(130), 활성층(140) 및 제2 반도체층(150)을 순차적으로 형성한 후, 제2 반도체층(150) 및 활성층(140)을 메사(mesa) 식각하여 제1 반도체층(130)이 노출되도록 한다. 여러 개의 반도체층을 제거하는 방법으로 건식 식각 방법, 예를 들어 ICP(Inductively Coupled Plasma)가 사용될 수 있다. 반도체층(130, 140, 150)의 일부를 식각하는 공정은 공지된 기술로서 당업자에게 잘 알려져 있다.
다음으로, 노출된 제1 반도체층(130) 및 제2 반도체층(150) 위에 보호층(160)을 형성한다. 보호층(160)은 단일층 구조로 형성되는 것이 바람직하지만, 이에 한정하지 않고 다층 구조로 형성될 수도 있다. 보호층(160)은 전술한 바와 같이 SiO2, TiO2 및 SiNx 등과 같은 절연물질로 이루어질 수 있다.
다음으로, 보호층(160)의 일부를 제거한다. 이때, 제2 반도체층(150) 상부에만 보호층(160)이 잔류하도록 할 수도 있고(도 4 참조), 제2 반도체층(150) 상부뿐만 아니라 제2 반도체층(150)의 측면 및 활성층(140)의 측면 중 식각된 제1 반도체층(130)을 향하는 측면까지 잔류하도록 할 수도 있고(도 5 참조), 또한 계속하여 제1 반도체층(130)의 일부분 상부까지 잔류하도록 할 수도 있다(도 6 참조).
보호층(160)의 일부를 제거할 때 제2 반도체층(150) 상부에 개구(161)를 형성한다.
다음으로, 제1 오믹 전극(131)을 제1 반도체층(130)에 위에 형성한다.
한편, 개구(161)를 통하여 제2 반도체층(150)과 전기적으로 연결되며 보호층(160)을 덮도록 제2 오믹 전극(152)을 형성한다. 오믹 전극(131, 151)은 스퍼터링(Sputtering)법, 전자빔 증착법(Ebeam Evaporation), 열 증착법 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있다.
다음으로, 연결전극(132, 152)을 형성한다.
제1 오믹 전극(131)을 덮도록 제1 연결전극(132)을 형성된다. 일 예에서, 제1 반도체층(130)과 직접 접촉하도록 제1 연결전극(132)을 형성할 수 있다. 또 다른 일 예에서, 보호층(160)을 덮도록 제1 연결전극(132)을 형성할 수 있다.
제2 연결전극(152)을 보호층(160)과 제2 오믹 전극(151)을 덮도록 형성한다. 이때 제2 연결전극(152)은 보호층(160)과 제2 오믹 전극(151)에 의해 차단되어 제2 반도체층(150)과 직접 접촉하지 않도록 형성된다.
다음으로 제1 연결전극(132) 및 제2 연결전극(152)을 덮는 절연층(170)을 형성한다. 절연층(170)의 대표적인 물질은 SiO2이며, 이에 제한되지 않고 SiN, TiO2, Al2O3, Su-8 등이 사용될 수 있다.
이후, 절연층(170)에 개구(171, 172)를 형성한다. 개구(171, 172)는 제1 전극(181)과 제1 연결 전극(132), 그리고 제2 전극(182)과 제2 연결전극(152)의 전기적 연결을 위해 적절한 위치에 형성된다.
다음으로, 스퍼터링 장비, E-빔 장비 등을 이용하여 절연층(170) 위에 제1 전극(181) 및 제2 전극(182)이 증착될 수 있다. 제1 전극(181)은 제1 개구(171)를 통해 제1 연결 전극(132)에 연결되며, 제2 전극(182)은 제2 개구(172)를 통해 제2 연결 전극(152)에 연결된다. 제1 전극(181) 및 제2 전극(182)은 스터드 범프, 도전성 페이스트, 유테틱 본딩 등의 방법으로 외부(패키지, COB, 서브마운트 등)에 마련된 전극과 전기적으로 연결될 수 있다. 유테틱 본딩의 경우에, 제1 전극(181) 및 제2 전극(182)의 높이 차가 크게 나지 않는 것이 중요하다. 본 예에 따른 반도체 발광소자에 의하면 제1 전극(181) 및 제2 전극(182)이 절연층(170) 위에 동일한 공정에 의해 형성될 수 있으므로 양 전극의 높이 차가 거의 없다. 따라서 유테틱 본딩의 경우에 이점을 가진다. 반도체 발광소자가 유테틱 본딩을 통해 외부와 전기적으로 연결되는 경우에, 제1 전극(181) 및 제2 전극(182)의 최상부는 Au/Sn 합금, Au/Sn/Cu 합금과 같은 유테틱 본딩 물질로 형성될 수 있다.
이하 본 개시의 다양한 실시 형태에 대하여 설명한다.
(1) 반도체 발광소자에 있어서, 제1 도전성을 갖는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 갖는 제2 반도체층 및 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층; 제2 반도체층을 노출하는 개구를 포함하며 제2 반도체층을 덮는 보호층; 개구를 통하여 제2 반도체층과 전기적으로 연결되며 보호층을 덮는 제2 오믹 전극; 및 보호층과 제2 오믹 전극을 덮는 제2 연결전극;을 포함하며, 제2 연결전극은 보호층과 제2 오믹 전극에 의해 차단되어 제2 반도체층과 직접 접촉하지 않는, 반도체 발광소자.
(2) 제2 반도체층은 p형 반도체층인, 반도체 발광소자.
(3) 제1 반도체층은 n형 반도체층인, 반도체 발광소자.
(4) 보호층은 제2 반도체층의 측면 및 활성층의 측면 중 식각된 제1 반도체층을 향하는 측면을 덮는, 반도체 발광소자.
(5) 보호층은 제1 반도체층의 일부를 덮는, 반도체 발광소자.
(6) 제1 반도체층을 덮는 제1 오믹 전극; 및 제1 오믹 전극을 덮는 제1 연결전극;을 더욱 포함하며, 제1 연결전극은 제1 반도체층과 직접 접촉하는, 반도체 발광소자.
(7) 제1 연결전극은 보호층을 더욱 덮는, 반도체 발광소자.
(8) 보호층은 SiO2, TiO2 및 SiNx 중 적어도 하나로 이루어진, 반도체 발광소자.
(9) 활성층은 자외선을 발광하는, 반도체 발광소자.
본 개시에 따른 하나의 반도체 발광소자에 의하면, 제2 연결전극과 제2 반도체층의 직접 접촉을 차단하여 신뢰성 특성을 개선하고 잠재적인 신뢰성 불량을 방지할 수 있다.
100: 반도체 발광소자
160: 보호층

Claims (9)

  1. 반도체 발광소자에 있어서,
    제1 도전성을 갖는 제1 반도체층, 제1 도전성과 다른 제2 도전성을 갖는 제2 반도체층 및 제1 반도체층과 제2 반도체층 사이에 개재되며 전자와 정공의 재결합을 통해 빛을 생성하는 활성층을 포함하는 복수의 반도체층;
    제2 반도체층을 노출하는 개구를 포함하며 제2 반도체층을 덮는 보호층;
    개구를 통하여 제2 반도체층과 전기적으로 연결되며 보호층을 덮는 제2 오믹 전극; 및
    보호층과 제2 오믹 전극을 덮는 제2 연결전극;
    을 포함하며,
    제2 연결전극은 보호층과 제2 오믹 전극에 의해 차단되어 제2 반도체층과 직접 접촉하지 않는, 반도체 발광소자.
  2. 청구항 1에 있어서,
    제2 반도체층은 p형 반도체층인, 반도체 발광소자.
  3. 청구항 2에 있어서,
    제1 반도체층은 n형 반도체층인, 반도체 발광소자.
  4. 청구항 2에 있어서,
    보호층은 제2 반도체층의 측면 및 활성층의 측면 중 식각된 제1 반도체층을 향하는 측면을 덮는, 반도체 발광소자.
  5. 청구항 4에 있어서,
    보호층은 제1 반도체층의 일부를 덮는, 반도체 발광소자.
  6. 청구항 5에 있어서,
    제1 반도체층을 덮는 제1 오믹 전극; 및
    제1 오믹 전극을 덮는 제1 연결전극;
    을 더욱 포함하며,
    제1 연결전극은 제1 반도체층과 직접 접촉하는, 반도체 발광소자.
  7. 청구항 6에 있어서,
    제1 연결전극은 보호층을 더욱 덮는, 반도체 발광소자.
  8. 청구항 1에 있어서,
    보호층은 SiO2, TiO2 및 SiNx 중 적어도 하나로 이루어진, 반도체 발광소자.
  9. 청구항 1에 있어서,
    활성층은 자외선을 발광하는, 반도체 발광소자.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116435445A (zh) * 2023-06-13 2023-07-14 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 具有高推力值的发光二极管芯片及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7262436B2 (en) 1997-12-15 2007-08-28 Philips Lumileds Lighting Company, Llc III-nitride semiconductor light emitting device having a silver p-contact
KR20150055390A (ko) 2013-11-13 2015-05-21 주식회사 세미콘라이트 반도체 발광소자

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10074778B2 (en) * 2011-03-22 2018-09-11 Seoul Viosys Co., Ltd. Light emitting diode package and method for manufacturing the same
KR101262509B1 (ko) * 2011-05-27 2013-05-08 엘지이노텍 주식회사 발광소자, 발광 모듈 및 발광 소자 제조방법
US9634202B2 (en) * 2014-11-18 2017-04-25 PlayNitride Inc. Light emitting device
KR102496616B1 (ko) * 2016-04-29 2023-02-06 쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드 발광소자 및 이를 포함하는 표시장치
KR101895227B1 (ko) * 2016-12-22 2018-09-07 주식회사 세미콘라이트 반도체 발광소자

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7262436B2 (en) 1997-12-15 2007-08-28 Philips Lumileds Lighting Company, Llc III-nitride semiconductor light emitting device having a silver p-contact
KR20150055390A (ko) 2013-11-13 2015-05-21 주식회사 세미콘라이트 반도체 발광소자

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