KR20220085582A

KR20220085582A - 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치

Info

Publication number: KR20220085582A
Application number: KR1020200175758A
Authority: KR
Inventors: 양진우; 최봉만; 이동윤
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2020-12-15
Filing date: 2020-12-15
Publication date: 2022-06-22
Also published as: US11975349B2; CN114633564A; US20220184653A1; CN114633564B

Abstract

약액 수용 어셈블리는 수용부, 공급 포트, 흐름 안내부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 공급 포트는 상기 수용부로 약액을 공급하는 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측에 구비될 수 있다. 상기 흐름 안내부는 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비될 수 있다.

Description

약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치{ASSEMBLY FOR STORING DROPLET AND APPARATUS FOR DISPENSING DROPLET HAVING THE SAME}

본 발명은 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자로 제조하기 위한 기판에 토출하기 위한 약액을 수용하는 약액 수용 어셈블리 및 이를 포함하는 약액 토출 장치에 관한 것이다.

유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부를 이용하여 기판에 형성되는 픽셀들 각각에 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.

약액 토출 공정은 주로 약액을 저장하는 약액 저장부, 약액을 토출하는 약액 토출부, 약액 저장부로부터 공급되는 약액을 수용함과 아울러 약액 토출시 약액 토출부로 약액을 제공하는 약액 수용 어셈블리 등으로 이루어지는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 달성할 수 있다.

그리고 약액 토출 공정의 수행에서는 약액 내에 잔류할 수 있는 버블들에 대한 처리, 상대적으로 고가인 약액에 대한 회수 및 재사용에 대한 처리 등이 중요한 스펙일 수 있다.

그러나 종래에는 약액 내에 잔류하는 버블들에 대한 처리가 충분하게 이루어지지 않기 때문에 약액 내에 잔류하는 버블들로 인한 토출 불량이 빈번하게 발생하는 문제점이 있을 수 있고, 약액의 회수 및 재사용 또한 원만하게 이루어지지 않고 그대로 버려지는 상황이 발생하는 문제점이 있을 수 있다.

본 발명의 일 과제는 약액 내에 잔류하는 버블들에 처리를 용이하게 달성할 수 있는 약액 수용 어셈블리를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 과제는 버블들이 충분하게 처리되는 약액을 약액 토출부로 제공할 수 있는 뿐만 아니라 미토출 약액을 회수 및 재사용할 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 수용부, 공급 포트, 흐름 안내부를 포함할 수 있다. 상기 수용부는 약액을 수용하도록 구비될 수 있다. 상기 공급 포트는 상기 수용부로 약액을 공급하는 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측에 구비될 수 있다. 상기 흐름 안내부는 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흐름 안내부는 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비되고, 밑면은 상기 수용부의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 밑면의 단부 쪽에는 상기 수용부의 일측면을 따라 상기 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로가 구비되는 공간부, 및 상기 유로를 통하여 상기 수용부의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 상기 수용부의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 상기 유로와 이웃하는 상기 수용부의 일측면으로부터 상기 수용부의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 경사부로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 공급 포트는 상기 수용부의 일측 상부에 한 개가 구비되고, 상기 공간부는 상기 수용부의 일측 상부의 길이 방향을 따라 구비됨과 아울러 상기 유로는 적어도 두 개가 일정 간격을 갖도록 구비되고, 상기 경사부는 상기 공간부의 길이를 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 경사부는 상기 수용부의 아래쪽을 향하는 단부가 뾰족한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용부의 밑면은 상기 약액이 플로우되는 방향을 따라 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 상기 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비되는 구획부를 더 포함하되, 상기 약액이 플로우될 수 있게 상기 수용부의 밑면을 향하는 상기 구획부의 단부가 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되거나 또는/및 다공성 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구획부가 두 개 이상이 구비될 경우 상기 약액이 지그재그 경로를 따라 상기 구획부의 단부를 통과할 수 있게 어느 하나의 구획부의 단부는 일측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 구비되고, 나머지 하나의 구획부의 단부는 타측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구획부의 단부는 뾰족한 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 수용부로부터 약액을 제공받는 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 한 개가 구비되는 제공 포트를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출부, 약액 저장부, 약액 수용 어셈블리, 공급 라인, 및 제공 라인을 포함할 수 있다. 상기 약액 토출부는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 저장부는 상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 공급 라인은 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 제공 라인은 상기 약액 수용 어셈블리로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 수용 어셈블리는 상기 약액 저장부로부터 상기 약액을 공급받아 수용함과 아울러 상기 약액 토출 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비될 수 있는데, 상기 약액을 수용하는 수용부와, 상기 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측 상부에 구비되는 공급 포트와, 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비되는 흐름 안내부와, 상기 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 구비되는 제공 포트로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 흐름 안내부는 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비되고, 밑면은 상기 수용부의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 밑면의 단부 쪽에는 상기 수용부의 일측면을 따라 상기 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로가 구비되는 공간부와, 상기 유로를 통하여 상기 수용부의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 상기 수용부의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 상기 유로와 이웃하는 상기 수용부의 일측면으로부터 상기 수용부의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 경사부로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 토출부로부터 미토출 약액을 수집하도록 구비되는 수집부, 및 상기 수집부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 회수 라인을 더 포함하되, 상기 회수 라인은 상기 공급 포트를 통하여 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 수용 어셈블리와 상기 약액 토출부 사이에서 상기 약액을 임시 수용하도록 구비되는 임시 수용부, 및 상기 임시 수용부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 공급하거나 또는 상기 약액의 공급을 중단시키면서 상기 약액 토출부가 메니스커스를 유지할 수 있게 상기 임시 수용부에 양압을 형성하거나 또는 음압을 형성하도록 구비되는 압력 조정부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 토출부, 약액 저장부, 약액 수용 어셈블리, 제1 공급 라인, 제2 공급 라인, 제공 라인, 구획부, 센싱부, 및 제어부를 포함할 수 있다. 상기 약액 토출부는 기판에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 저장부는 상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 공급 라인은 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 공급 라인은 상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비될 수 있다. 상기 제공 라인은 상기 약액 수용 어셈블리로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 구획부는 상기 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 상기 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비될 수 있다. 상기 센싱부는 상기 수용부에 수용되는 상기 약액의 수위를 센싱하도록 구비될 수 있다. 상기 제어부는 상기 센싱부에 의해 상기 약액의 수위가 상기 구획부의 상단부에 다다른 것으로 센싱되면 상기 약액의 공급을 중단시키고, 상기 약액의 수위가 상기 제2 공급 라인가 연결되는 제2 공급 포트에 다다른 것으로 센싱되면 상기 약액을 공급할 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 수용 어셈블리는 상기 약액 저장부로부터 상기 약액을 공급받아 수용함과 아울러 상기 약액 토출 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비될 수 있는데, 상기 약액을 수용하는 수용부와, 상기 제1 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측 상부에 구비되는 제1 공급 포트와, 상기 제2 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 제1 공급 포트를 기준으로 상기 수용부의 일측 아래쪽에 구비되는 제2 공급 포트와, 상기 제1 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비되는 흐름 안내부와, 상기 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 구비되는 제공 포트로 이루어질 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액이 플로우될 수 있게 상기 수용부의 밑면을 향하는 상기 구획부의 단부가 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되거나 또는/및 다공성 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액 토출부로부터 미토출 약액을 수집하도록 구비되는 수집부, 및 상기 수집부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 회수 라인을 더 포함하되, 상기 회수 라인은 상기 제1 공급 포트를 통하여 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비될 수 있다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 수용부로 약액의 공급시 약액이 수용부의 일측면을 따라 흘러내리도록 함으로써 약액 내에 잔류할 수 있는 버블을 용이하게 제거할 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리는 약액 내에 잔류하는 버블을 용이하게 처리할 수 있기 때문에 버블로 인한 토출 불량을 사전에 방지할 수 있을 것이고, 그 결과 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 약액 내에 잔류할 수 있는 버블을 용이하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라 미토출 약액을 회수 및 재사용할 수 있을 것이고, 나아가 미토출 약액의 회수시에도 미토출 약액 내에 잔류할 수 있는 버블까지도 용이하게 제거할 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치의 경우에도 버블로 인한 토출 불량을 사전에 방지할 수 있을 뿐만 아니라 미토출 약액의 회수 및 재사용을 통하여 상대적으로 고가인 약액의 미사용량을 줄일 수 있기 때문에 버블로 인한 토출 불량의 사전 방지를 통하여 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이고, 나아가 약액의 미사용량을 줄임으로써 공정에 소요되는 비용의 절감까지도 기대할 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 A 부분을 확대한 것으로써 흐름 안내부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 흐름 안내부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4 및 도 5는 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 구획부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 6은 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 약액의 흐름을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해 되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 캐니스터(canister) 등과 같은 약액 저장부로부터 공급되는 약액을 수용함과 아울러 잉크젯 헤드 등과 같은 약액 토출부로 약액을 제공할 수 있는 것으로써, 수용부(11), 공급 포트(13), 흐름 안내부(15), 제공 포트(29) 등이 구비될 수 있다.

수용부(11)는 약액을 수용하도록 구비될 수 있는 것으로써, 기판에 토출하기 위한 약액을 수용할 수 있는 공간을 제공하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

공급 포트(13)는 수용부(11)로 약액을 공급하는 공급 라인과 연결되게 구비될 수 있는 것으로써, 수용부(11)의 일측에 구비될 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서는 약액이 수용부(11)의 일측면을 따라 수용부(11)의 아래쪽으로 흘러내리는 구성을 가져야 하기 때문에 공급 포트(13)는 수용부(11)의 일측 상부에 구비되는 것이 바람직할 것이다.

그리고 공급 포트(13)는 수용부(11)의 일측 상부에 관통 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 나아가 공급 라인과 연결될 수 있게 수용부(11)의 일측 상부로부터 관통 구조가 토출되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.

흐름 안내부(15)는 공급 포트(13)를 통하여 수용부(11)로 공급되는 약액이 수용부(11)의 일측면을 따라 수용부(11)의 아래쪽으로 흘러내리도록 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비될 수 있는 것으로써, 공급 포트(13)와 연결되는 구조를 가질 수 있는데, 본 발명의 예시적인 실시예들에서는 공급 포트(13)가 수용부(11)의 일측 상부에 구비될 수 있기 때문에 흐름 안내부(15)의 경우에도 수용부(11)의 상부에서 수용부(11)의 아래쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에서의 흐름 안내부에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다.

도 2는 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 A 부분을 확대한 것으로써 흐름 안내부를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 3은 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 흐름 안내부를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 흐름 안내부(15)에는 공간부(17), 경사부(19) 등이 구비될 수 있다.

공간부(17)는 수용부(11)로 공급되는 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비될 수 있고, 밑면(21)은 수용부(11)의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 밑면(21)의 단부 쪽에는 수용부(11)의 일측면을 따라 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로(23)가 구비될 수 있을 것이다.

공간부(17)는 공급 포트(13)와 마주하는 위치에 구비될 수 있기 때문에 공급 포트(13)와 마주하는 수용부(11)의 일측 상부, 즉 수용부(11)의 안쪽 일측 상부에 공간을 갖도록 구비될 수 있다.

경사부(19)는 공간부(17)의 유로(23)를 통하여 수용부(11)의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 수용부(11)의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 유로(23)와 이웃하는 수용부(11)의 일측면으로부터 수용부(11)의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 공급 포토를 통하여 수용부(11)로 공급되는 약액이 공간부(17)의 공간 내에 일시적으로 머무르게 할 수 있고, 그리고 밑면의 경사진 구조를 따라 수용부(11) 일측면을 향하여 흘러내리다가 유로(23)를 통하여 경사부(19)의 경사진 구조를 따라 수용부(11)의 아래쪽으로 계속해서 흘러내리게 할 수 있을 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 버블이 잔류하는 약액이 공급됨에도 불구하고 버블이 잔류하는 약액이 수용부(11)의 일측면 및 경사부(19)의 경사면을 따라 흘러내리는 동안 약액 자체의 부피가 줄어들어 약액 내에 잔류하는 버블이 노출될 수 있고, 그 결과 버블이 외부와 접촉하여 제거되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 공간부(17)의 유로(23)의 크기에 대한 조정을 통하여 버블이 잔류하는 약액이 공간부(17)의 유로(23)를 통과하지 못하게 함에 의해서도 버블이 잔류하는 약액이 약액 토출부까지 제공되지 않게 할 수 있을 것이다.

이외에도, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 경사부(19)의 경사면을 따라 흘러내릴 때 경사부(19)의 경사면과의 마찰로 인하여 약액 내에 잔류하는 버블이 제거되도록 할 수 있을 것이고, 아울러 경사면을 따라 흘러내리는 약액의 낙하 속도를 감소시킴에 의해서도 노출되는 시간의 연장을 통하여 버블이 제거되는 효율을 향상시킬 수 있을 것이고, 나아가 약액이 공간부(17)에 일시적으로 머무르게 하여 버블이 잔류하는 약액이 공간부(17) 상부 쪽으로 떠오르게 함에 의해서도 버블의 처리가 가능할 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 공간부(17)에서의 밑면(21) 단부(22)를 뾰족한 구조를 갖도록 형성함에 의해서도 약액 내에 잔류하는 버블의 처리를 보다 용이하게 할 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 경사부(19)의 구조 중에서 수용부(11)의 아래쪽을 향하는 단부(20)를 뾰족한 구조를 갖도록 형성함에 의해서도 약액 내에 잔류하는 버블의 처리를 보다 용이하게 할 수 있을 것이다.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액이 뾰족한 부분을 통과하도록 함에 의해서도 약액 내에 잔류하는 버블의 처리를 보다 용이하게 달성할 수 있을 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 공급 포트(13)는 그 개수에는 제한되지 않지만 바람직하게는 수용부(11)의 일측 상부 한 개가 구비될 수 있는 것으로써, 한 개가 구비될 경우에는 수용부(11)의 일측 상부의 길이 방향을 기준으로 주로 가운데 부분에 구비될 수 있을 것이고, 다수개가 구비될 경우에는 수용부(11)의 일측 상부의 길이 방향에서의 가운데 부분을 기준으로 양쪽에 일정 간격마다에 구비될 수 있을 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 공간부(17)는 수용부(11)의 일측 상부의 길이 방향을 따라 구비될 수 있는 것으로써, 언급한 바와 같이 공급 포트(13)로부터의 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 크기의 공간을 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

이와 같이, 공간부(17)가 수용부(11)의 일측 상부의 길이 방향을 따라 구비될 수 있기 때문에 유로(23)는 적어도 두 개가 일정 간격을 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 경사부(19)는 공간부(17)의 길이를 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

여기서, 유로(23)가 한 개만이 구비될 경우에는 공간부(17)로부터 수용부(11)로의 약액이 공급되는 시간에 차질이 있을 수 있기 때문에 본 발명에서는 언급한 바와 같이 다수개의 유로(23)가 공간부(17)의 일정 간격마다에 구비될 수 있을 것이다.

또한, 경사부(19)의 길이가 공간부(17)의 길이보다 짧을 경우에는 약액이 경사부(19)를 따라 수용부(11)의 아래쪽까지 충분하게 흘러내리지 못하고 경사부(19)를 벗어나 수용부(11) 아래쪽으로 그대로 떨어질 수 있는 상황이 발생하여 약액으로부터의 버블 처리가 충분하게 이루어지지 않기 때문에 본 발명에서는 언급한 바와 같이 다수개의 유로가 공간부(17)의 일정 간격마다에 구비될 수 있을 것이다.

다시 도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)에 수용되는 약액을 약액 토출부로 제공할 수 있을 것이다.

이에, 제공 포트(29)는 수용부(11)로부터 약액을 제공받는 제공 라인과 연결될 수 있게 구비될 수 있고, 특히 수용부(11)의 타측 밑면에 관통 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이고, 나아가 제공 라인과 연결될 수 있게 수용부(11)의 타측 밑면으로부터 관통 구조가 토출되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)의 수용부(11)에서의 약액이 정체되는 상황이 발생할 경우 버블이 성장할 수 있는 원인을 제공할 수 있기 때문에 바람직하지 않다.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)에 수용되는 약액이 정체되지 않고 공급 포트(13)가 구비되는 수용부(11)의 일측으로부터 제공 포트(29)가 구비되는 수용부(11)의 타측으로 흘러내릴 수 있어야 할 것이다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)의 밑면(27)은 약액이 플로우되는 방향을 따라 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써 공급 포트(13)가 구비되는 수용부(11)의 일측으로부터 제공 포트(29)가 구비되는 수용부(11)의 타측으로 경사진 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)에서의 약액이 정체되지 않고 원활하게 플로우될 수 있게 수용부(11)의 밑면(27)이 경사된 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 구획부(41)가 구비되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리에 구비되는 구획부에 대하여 설명하기로 한다.

도 4 및 도 5는 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 구획부를 설명하기 위한 개략적인 도면들이고, 도 6은 도 1의 약액 수용 어셈블리에서의 약액의 흐름을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

먼저 도 1 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 구획부(41)는 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 수용부(11)의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비될 수 있을 것이다.

그리고 구획부(41)는 약액이 플로우될 수 있게 수용부(11)의 밑면(27)을 향하는 구획부(41)의 단부가 수용부(11)의 밑면(27)과 이격되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 이와 같이 본 발명에서는 수용부(11)의 밑면(27)과 구획부(41)가 이격되는 부분을 통해서만 약액이 플로우되게 하여 약액이 플로우되는 유속의 증가를 통하여 수용부(11) 전체에서 약액이 플로우되는 것에 비해 약액이 정체되는 상황을 줄일 수 있는 것이다.

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 구획부(41)는 수용부(11)의 밑면(27)과 구획부(41)의 단부 전체와 이격시키는 구조를 갖도록 구비하는 것이 아니라 구획부(41)의 단부 일측 또는 타측만이 수용부(11)의 밑면(27)과 이격되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.

이에, 수용부(11)에서의 약액은 수용부(11)의 밑면(27)과 이격되는 구조를 갖는 구획부(41)의 단부 일측 또는 타측을 통과할 수 있게 플로우될 수 있을 것이다.

그리고 도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에서의 구획부(41)는 약액이 플로우될 수 있는 다공성 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.

이와 같이, 구획부(41)가 다공성 구조를 갖도록 구비될 경우에는 수용부(11)에 수용되는 약액이 정체되지 않고 플로우될 수 있을 뿐만 아니라 다공성 구조가 제공하는 홀들을 통하여 약액이 플로우될 수 있기에 버블이 제거되는 효율을 더 향상시킬 수 있을 것이다.

도 5에서의 다공성 구조를 갖도록 구비되는 구획부(41)의 경우에도 수용부(11)의 밑면(27)과 이격되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 뿐만 아니라 구획부(41)의 단부 일측 또는 타측만이 수용부(11)의 밑면(27)과 이격되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.

또한 도 6을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 어셈블리(100)에서의 구획부(41)가 두 개 이상이 구비될 경우 어느 하나의 구획부(41)의 단부는 일측이 수용부(11)의 밑면과 이격되는 구조를 구비되고, 나머지 하나의 구획부(41)의 단부는 타측이 수용부(11)의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 함으로써 약액이 지그재그 경로를 따라 구획부(41)의 단부를 통과할 수 있을 것이다.

이에, 수용부(11)에서의 약액이 플로우되는 경로의 연장 및 플로우되는 시간의 연장을 통해서도 버블이 제거되는 효율의 항샹을 기대할 수 있을 것이다.

다시 도 1을 참조하면, 버블이 잔류하는 약액이 통과할 때 접촉을 통하여 버블이 제거되도록 할 수 있게 구획부(41)의 단부(25)의 경우에도 뾰족한 구조를 갖도록 구비할 수 있을 것이다.

언급한 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에 따르면 수용부(11)에서 약액의 공급시 수용부(11)의 일측 상부로부터 수용부(11)의 일측 아래쪽으로 약액이 흘러내리도록 하여 약액의 부피를 감소시킴으로써 약액 내에 잔류하는 버블의 제거를 상대적으로 향상시킬 수 있을 것이고, 구획부(41)에 의해 약액이 플로우되는 경로 및 시간을 연장시킴에 의해서도 약액 내에 잔류하는 버블의 제거를 상대적으로 향상시킬 수 있을 것이다.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)에 따르면 공간부(17)에서의 밑면(21) 단부(22), 경사부(19)에서의 단부(20), 및 구획부(41)에서의 단부(25) 모두를 뾰족한 구조를 갖도록 구비함으로써 버블이 잔류하는 약액이 통과할 때 접촉을 통해서도 버블이 제거되도록 할 수 있기에 약액 내에 잔류하는 버블의 제거를 상대적으로 향상시킬 수 있을 것이고, 구획부(41)에서의 다공성 구조를 통해서도 약액 내에 잔류하는 버블의 제거를 상대적으로 향상시킬 수 있을 것이다.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 약액 내에 잔류하는 버블을 용이하게 처리할 수 있기 때문에 버블로 인한 토출 불량을 사전에 방지할 수 있을 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)에서의 약액이 구획부(41)의 상단부를 넘어서까지 공급되면 안되기 때문에 구획부(41)의 상단부를 넘지 않는 범위 내에서 약액이 공급되도록 조정되게 구비될 수 있다.

더불어, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리(100)는 후술하는 도 7에서와 같이 공급 포트(13)보다 아래인 수용부(11)의 일측 아래쪽에 제2 공급 포트(85)를 더 구비할 수 있는데, 이 경우 수용부(11)에 수용되는 약액의 수위는 제2 공급 포트(85)보다 위쪽에 위치하도록 조정되게 구비될 수 있다.

이하에서는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리를 포함하는 약액 토출 장치에 대하여 설명하기로 하고, 동일 부재에 대해서는 동일 부호로 표기하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.

도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 픽셀 형성을 위한 약액 토출 또는 소자 보호용 봉지막 형성을 위한 약액 토출 등에 적용할 수 있는 것으로써, 약액 토출부(71), 약액 저장부(73), 약액 수용 어셈블리(100), 공급 라인(75, 77), 제공 라인(79) 등이 구비될 수 있고, 그리고 센싱부(81), 제어부(83), 수집부(87), 회수 라인(89), 임시 수용부(91), 압력 조정부(93) 등이 더 구비될 수 있다.

먼저 약액 토출부(71)는 약액 수용 어셈블리(100)로부터 제공되는 약액을 기판에 토출하도록 구비될 수 있는 것으로써, 스테이지를 따라 이송되는 기판 상부에서 기판을 향하여 약액을 토출하도록 구비될 수 있고, 기판 상부에 위치하게 갠트리에 의해 지지되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)에서의 약액 토출부(71)는 잉크젯 헤드 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 이에 기판과 마주하는 일면에 약액을 토출하는 다수개의 노즐들이 일정 간격을 따라 배치되는 토출면을 갖도록 구비될 수 있고, 다수개의 노즐들 각각에는 압전 소자가 구비될 수 있고, 인가되는 전압 제어에 의해 각기 독립적으로 조절되는 압전 소자의 동작에 의해 다수개의 노즐들 각각을 통하여 기판에 약액을 토출시킬 수 있도록 구비될 수 있다.

약액 저장부(73)는 약액 수용 어셈블리(100)로 약액을 공급하도록 구비되는 캐니스터(canister) 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 주로 제조 공정이 이루어지는 외부에 대용량으로 약액을 저장할 수 있게 저장 탱크 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

약액 수용 어셈블리(100)는 버퍼 레저버(buffer reservoir) 등과 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)에서의 약액 수용 어셈블리(100)는 도 1 내지 도 6에서와 같은 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

다만, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)에서의 약액 수용 어셈블리(100)는 수용부(11)의 일측 상부에 제1 공급 포트(13)가 구비됨과 아울러 제1 공급 포트(13)보다 아래인 수용부(11)의 일측 아래쪽에 구비되는 제2 공급 포트(85)가 더 구비될 수 있고, 이에 공급 라인(75, 77)의 경우에도 제1 공급 포트(13)와 연결되는 제1 공급 라인(75) 및 제2 공급 포트(85)와 연결되는 제2 공급 라인(77)이 구비될 수 있다.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 제1 공급 라인(75) 및 제2 공급 라인(77)을 통하여 약액 수용 어셈블리(100)로 약액이 공급되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.

제공 라인(79)은 약액 수용 어셈블리(100)로부터 약액 토출부(71)로 약액을 제공하도록 구비될 수 있는데, 특히 제공 포트(29)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.

센싱부(81)는 수용부(11)에 수용되는 약액의 수위를 센싱하도록 구비될 수 있는 것으로써, 수위 센서일 수 있다.

제어부(83)는 센싱부(81)로부터 수용부(11)에서의 약액의 수위에 대한 센싱 신호를 수신받을 수 있도록 구비되는 것으로써, 센싱 신호의 수신 결과 약액의 수위가 구획부(41)의 상단부에 다다른 것으로 센싱되면 수용부(11)로의 약액의 공급을 중단시킬 수 있게 제어함과 아울러 약액의 수위가 제2 공급 포트(85)에 다다른 것으로 센싱되면 약액을 공급할 수 있게 제어하도록 구비될 수 있다.

여기서, 수용부(11)에서의 약액이 구획부(41)의 상단부를 넘치는 수위를 유지할 경우에는 수용부(11)에서의 약액의 플로우에 지장을 끼치지 때문에 바람직하지 않을 것이고, 제2 공급 포트(85)보다 아래쪽에서의 수위를 유지할 경우에는 제2 공급 포토를 통하여 공급되는 약액에 의해 수용부(11)의 바닥에 잔류할 수 있는 잔류물이 제공 포트(29) 쪽으로 흘러 들어갈 수 있기 때문에 바람직하지 않기 때문에 언급한 바와 같이 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 수용부(11)에 수용되는 약액이 제2 공급 포트(85)와 구획부(41)의 상단부 사이에서 수위를 유지할 수 있게 구비될 수 있는 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)를 사용하는 약액 토출시 약액 토출부(71)로 제공되는 약액을 기판에 전부 토출하지 못할 경우 미토출 약액이 발생할 수 있다.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)에서의 수집부(87)는 약액 토출부(71)로부터 미토출 약액을 수집하도록 구비될 수 있다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 수집부(87)에서의 미토출 약액을 회수하여 재사용할 수 있게 회수 라인(89)이 구비될 수 있는데, 회수 라인(89)은 수집부(87)로부터 약액 수용 어셈블리(100)로 미토출 약액을 회수하도록 구비될 수 있는 것으로써, 특히 제1 공급 포트(13)를 통하여 약액 수용 어셈블리(100)로 미토출 약액을 회수하도록 구비될 수 있다.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 수집부(87) 및 회수 라인(89)을 구비함으로써 미토출 약액을 회수 및 재사용할 수 있을 것이고, 도 1 내지 도 6에서의 약액 수용 어셈블리(100)를 구비함으로써 약액 내에 잔류할 수 있는 버블을 용이하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라 회수되는 미토출 약액 내에 잔류할 수 있는 버블까지도 용이하게 제거할 수 있을 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)를 사용하는 약액 토출 공정의 수행에서는 약액 수용 어셈블리(100)로부터 약액 토출부(71)로 단순하게 약액을 제공하는 것이 아니라 양압 및 음압의 조정을 통하여 약액 수용 어셈블리(100)로부터 약액 토출부(71)로 약액을 제공하도록 이루어질 수 있다.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)에는 임시 수용부(91) 및 압력 조정부(93)가 구비될 수 있는데, 임시 수용부(91)는 약액 수용 어셈블리(100)와 약액 토출부(71) 사이에서 약액을 임시 수용하도록 구비될 수 있고, 압력 조정부(93)는 임시 수용부(91)로부터 약액 토출부(71)로 약액을 공급하거나 또는 약액의 공급을 중단시키면서 약액 토출부(71)가 메니스커스를 유지할 수 있게 임시 수용부(91)에 양압을 형성하거나 또는 음압을 형성하도록 구비될 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 임시 수용부(91) 및 압력 조정부(93)룰 구비함으로써 약액 토출부(71)로의 약액을 보다 안정적으로 제공할 수 있을 것이다.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치에 대한 구성에 대하여 살펴보기로 한다.

먼저 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 약액 토출부(71), 약액 저장부(73), 약액 수용 어셈블리(100), 공급 라인(제1 공급 라인)(75), 제공 라인(79), 수집부(87), 회수 라인(89), 임시 수용부(91), 및 압력 조정부(93)를 포함하는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.

이에, 약액 토출 공정의 수행시 약액 수용 어셈블리(100)에 의해 약액에 잔류하는 버블을 용이하게 처리할 수 있을 것이고, 수집부(87) 및 회수 라인(89)에 의해 미토출 약액을 회수 및 재사용할 수 있을 것이고, 임시 수용부(91) 및 압력 조정부(93)에 의해 약액 토출부(71)로 약액을 안정적으로 제공할 수 있을 것이다.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(700)는 약액 토출부(71), 약액 저장부(73), 약액 수용 어셈블리(100), 공급 라인(제1 공급 라인, 제2 공급 라인)(75, 77), 제공 라인(79), 수집부(87), 회수 라인(89), 임시 수용부(91), 압력 조정부(93)와 함께 센싱부(81) 및 제어부(83)를 포함하는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.

따라서 약액 토출 공정의 수행시 약액 수용 어셈블리(100)에 의해 약액에 잔류하는 버블을 용이하게 처리할 수 있을 것이고, 수집부(87) 및 회수 라인(89)에 의해 미토출 약액을 회수 및 재사용할 수 있을 것이고, 임시 수용부(91) 및 압력 조정부(93)에 의해 약액 토출부(71)로 약액을 안정적으로 제공할 수 있을 것이고, 그리고 센싱부(81) 및 제어부(83)에 의해 약액 수용 어셈블리(100)의 수용부(11)에 약액을 보다 안정적으로 수용할 수 있을 것이다.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 수용 어셈블리 및 약액 토출 장치는 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조 라인에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이고, 이를 통하여 제조되는 스마트폰, 데스크탑 PC, 태블릿 PC, 스마트 TV 등의 제조에도 충분하게 적용할 수 있을 것이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

11 : 수용부 13, 85 : 공급 포트
15 : 흐름 안내부 17 : 공간부
19 : 경사부 29 : 제공 포트
41 : 구획부 71 : 약액 토출부
73 : 약액 저장부 75, 77 : 공급 라인
79 : 제공 라인 81 : 센싱부
83 : 제어부 87 : 수집부
89 : 회수 라인 91 : 임시 수용부
93 : 압력 조정부 100 : 약액 수용 어셈블리
700 : 약액 토출 장치

Claims

약액을 수용하는 수용부;
상기 수용부로 약액을 공급하는 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측에 구비되는 공급 포트; 및
상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비되는 흐름 안내부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 흐름 안내부는
상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비되고, 밑면은 상기 수용부의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 밑면의 단부 쪽에는 상기 수용부의 일측면을 따라 상기 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로가 구비되는 공간부; 및
상기 유로를 통하여 상기 수용부의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 상기 수용부의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 상기 유로와 이웃하는 상기 수용부의 일측면으로부터 상기 수용부의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 경사부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제2 항에 있어서,
상기 공급 포트는 상기 수용부의 일측 상부에 한 개가 구비되고, 상기 공간부는 상기 수용부의 일측 상부의 길이 방향을 따라 구비됨과 아울러 상기 유로는 적어도 두 개가 일정 간격을 갖도록 구비되고, 상기 경사부는 상기 공간부의 길이를 커버할 수 있는 길이를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제2 항에 있어서,
상기 경사부는 상기 수용부의 아래쪽을 향하는 단부가 뾰족한 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 수용부의 밑면은 상기 약액이 플로우되는 방향을 따라 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 상기 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비되는 구획부를 더 포함하되,
상기 약액이 플로우될 수 있게 상기 수용부의 밑면을 향하는 상기 구획부의 단부가 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되거나 또는/및 다공성 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제6 항에 있어서,
상기 구획부가 두 개 이상이 구비될 경우 상기 약액이 지그재그 경로를 따라 상기 구획부의 단부를 통과할 수 있게 어느 하나의 구획부의 단부는 일측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 구비되고, 나머지 하나의 구획부의 단부는 타측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제6 항에 있어서,
상기 구획부의 단부는 뾰족한 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
제1 항에 있어서,
상기 수용부로부터 약액을 제공받는 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 한 개가 구비되는 제공 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 수용 어셈블리.
기판에 약액을 토출하는 약액 토출부;
상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 약액 저장부;
상기 약액 저장부로부터 상기 약액을 공급받아 수용함과 아울러 상기 약액 토출 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하는 약액 수용 어셈블리;
상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 공급 라인; 및
상기 약액 수용 어셈블리로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비되는 제공 라인을 포함하되,
상기 약액 수용 어셈블리는 상기 약액을 수용하는 수용부와, 상기 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측 상부에 구비되는 공급 포트와, 상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비되는 흐름 안내부와, 상기 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 구비되는 제공 포트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제10 항에 있어서,
상기 흐름 안내부는
상기 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비되고, 밑면은 상기 수용부의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 밑면의 단부 쪽에는 상기 수용부의 일측면을 따라 상기 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로가 구비되는 공간부와, 상기 유로를 통하여 상기 수용부의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 상기 수용부의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 상기 유로와 이웃하는 상기 수용부의 일측면으로부터 상기 수용부의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 경사부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제10 항에 있어서,
상기 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 상기 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비되는 구획부를 더 포함하되,
상기 약액이 플로우될 수 있게 상기 수용부의 밑면을 향하는 상기 구획부의 단부가 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되거나 또는/및 다공성 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제12 항에 있어서,
상기 구획부가 두 개 이상이 구비될 경우 상기 약액이 지그재그 경로를 따라 상기 구획부의 단부를 통과할 수 있게 어느 하나의 구획부의 단부는 일측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 구비되고, 나머지 하나의 구획부의 단부는 타측이 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제10 항에 있어서,
상기 약액 토출부로부터 미토출 약액을 수집하도록 구비되는 수집부; 및
상기 수집부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 회수 라인을 더 포함하되,
상기 회수 라인은 상기 공급 포트를 통하여 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제10 항에 있어서,
상기 약액 수용 어셈블리와 상기 약액 토출부 사이에서 상기 약액을 임시 수용하도록 구비되는 임시 수용부; 및
상기 임시 수용부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 공급하거나 또는 상기 약액의 공급을 중단시키면서 상기 약액 토출부가 메니스커스를 유지할 수 있게 상기 임시 수용부에 양압을 형성하거나 또는 음압을 형성하도록 구비되는 압력 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
기판에 약액을 토출하는 약액 토출부;
상기 약액 토출부로 공급하기 위한 상기 약액을 저장하는 약액 저장부;
상기 약액 저장부로부터 상기 약액을 공급받아 수용함과 아울러 상기 약액 토출 공정의 수행시 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하는 약액 수용 어셈블리;
상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 제1 공급 라인;
상기 약액 저장부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 약액을 공급하도록 구비되는 제2 공급 라인
상기 약액 수용 어셈블리로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 제공하도록 구비되는 제공 라인;
상기 약액이 플로우되는 방향을 기준으로 상기 수용부의 공간을 수직 방향으로 적어도 두 군데로 구획하도록 구비되는 구획부;
상기 수용부에 수용되는 상기 약액의 수위를 센싱하도록 구비되는 센싱부; 및
상기 센싱부에 의해 상기 약액의 수위가 상기 구획부의 상단부에 다다른 것으로 센싱되면 상기 약액의 공급을 중단시키고, 상기 약액의 수위가 상기 제2 공급 라인과 연결되는 제2 공급 포트에 다다른 것으로 센싱되면 상기 약액을 공급할 수 있게 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하되,
상기 약액 수용 어셈블리는 상기 약액을 수용하는 수용부와, 상기 제1 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부의 일측 상부에 구비되는 제1 공급 포트와, 상기 제2 공급 라인과 연결될 수 있게 상기 제1 공급 포트를 기준으로 상기 수용부의 일측 아래쪽에 구비되는 제2 공급 포트와, 상기 제1 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 상기 수용부의 일측면을 타고 상기 수용부의 아래쪽으로 흘러내리도록 상기 약액의 흐름을 안내할 수 있게 구비되는 흐름 안내부와, 상기 제공 라인과 연결될 수 있게 상기 수용부 타측 밑면에 구비되는 제공 포트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제16 항에 있어서,
상기 흐름 안내부는
상기 제1 공급 포트를 통하여 상기 수용부로 공급되는 상기 약액이 일시적으로 머무를 수 있는 공간을 제공하도록 구비되고, 밑면은 상기 수용부의 일측면 쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되고, 상기 밑면의 단부 쪽에는 상기 수용부의 일측면을 따라 상기 약액이 흘러내릴 수 있게 하는 유로가 구비되는 공간부와, 상기 유로를 통하여 상기 수용부의 일측면을 따라 흘러내리는 약액이 상기 수용부의 아래쪽으로 계속해서 흘러내릴 수 있게 상기 유로와 이웃하는 상기 수용부의 일측면으로부터 상기 수용부의 아래쪽으로 경사진 구조를 갖도록 구비되는 경사부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제16 항에 있어서,
상기 약액이 플로우될 수 있게 상기 수용부의 밑면을 향하는 상기 구획부의 단부가 상기 수용부의 밑면과 이격되는 구조를 갖도록 구비되거나 또는/및 다공성 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제16 항에 있어서,
상기 약액 토출부로부터 미토출 약액을 수집하도록 구비되는 수집부; 및
상기 수집부로부터 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 회수 라인을 더 포함하되,
상기 회수 라인은 상기 제1 공급 포트를 통하여 상기 약액 수용 어셈블리로 상기 미토출 약액을 회수하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
제16 항에 있어서,
상기 약액 수용 어셈블리와 상기 약액 토출부 사이에서 상기 약액을 임시 수용하도록 구비되는 임시 수용부; 및
상기 임시 수용부로부터 상기 약액 토출부로 상기 약액을 공급하거나 또는 상기 약액의 공급을 중단시키면서 상기 약액 토출부가 메니스커스를 유지할 수 있게 상기 임시 수용부에 양압을 형성하거나 또는 음압을 형성하도록 구비되는 압력 조정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.