KR20220068923A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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KR20220068923A
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유이치 도우키
고우조우 가나가와
준이치 기타노
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

(과제) 기판의 일부를 제거하는 제거량을 관리하는 기술을 제공한다.
(해결수단) 기판 처리 장치는, 기판을 수용하는 카세트가 배치되는 카세트 블록과, 상기 기판을 처리하는 처리 블록과, 상기 카세트 블록과 상기 처리 블록 사이에서 상기 기판을 중계하는 중계 블록과, 제어 장치를 구비한다. 상기 처리 블록은, 상기 기판의 일부를 제거하는 제거 처리를 행하는 처리 모듈을 포함한다. 상기 중계 블록은, 상기 처리 블록에서 처리하기 전의, 또는 상기 처리 블록에서 처리한 후의, 상기 기판의 중량을 측정하는 중량 측정부를 포함한다. 상기 제어 장치는, 상기 중량 측정부의 측정 결과를 이용하여, 상기 처리 블록에서 처리하는 전후에서의 상기 기판의 중량차를 산출하여, 상기 제거 처리에 의한 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정하는 제거량 판정부를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 개시는, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
특허문헌 1에 기재된 성막 처리 장치는, 웨이퍼 카세트로부터 성막처리실로의 웨이퍼 반송 경로의 도상에, 막형성 처리전의 반도체 웨이퍼의 중량을 자동적으로 측정하는 측정 수단과, 막형성 처리후의 반도체 웨이퍼의 중량을 자동적으로 측정하는 측정 수단을 구비한다. 또한, 성막 처리 장치는, 막형성 처리 전후에 측정한 반도체 웨이퍼의 중량을 기억하는 데이터베이스와, 중량으로부터 막두께를 연산하는 연산 수단을 구비한다. 또한, 성막 처리 장치는, 막두께로부터 성막조건을 제어하는 수단을 더 구비한다.
특허문헌 2에 기재된 도금 장치는, 도금 처리되기 전의 피도금물의 처리전 중량과, 도금 처리된 후의 피도금물의 처리후 중량을 계량하는 계량부를 구비한다. 또한, 도금 장치는, 처리전 중량과 처리후 중량의 차이를 도금부 중량으로 간주하고, 도금부 중량이 소정의 범위 내인지 여부를 판단하는 판단부를 구비한다. 도금 장치는, 도금부 중량이 소정의 범위에서 벗어난 경우에는, 도금 처리의 조건을 변경한다.
특허문헌 3에 기재된 에칭 종점 검출법은, 웨이퍼를 에칭액으로부터 끌어 올려 웨이퍼의 중량을 측정하고, 중량의 저하가 일정치가 된 것을 검지하여 에칭의 종점을 검출한다. 중량의 저하가 일정치가 될 때까지, 웨이퍼를 에칭액에 소정 시간 동안 가라앉히는 것과, 웨이퍼의 중량을 측정하는 것이 반복하여 행해진다.
특허문헌 4에 기재된 반도체 디바이스의 제조 프로세스의 제어 방법은, 각 제조 프로세스에서의 반도체 웨이퍼의 질량 변화를 측정하는 단계를 포함한다.
특허문헌 1 : 일본특허공개 제2003-332239호 공보 특허문헌 2 : 일본특허공개 제2018-188708호 공보 특허문헌 3 : 일본특허공개 평1-236633호 공보 특허문헌 4 : 일본특허 제5957023호 공보
본 개시의 일양태는, 기판의 일부를 제거하는 제거량을 관리하는 기술을 제공한다.
본 개시의 일양태에 관한 기판 처리 장치는, 기판을 수용하는 카세트가 배치되는 카세트 블록과, 상기 기판을 처리하는 처리 블록과, 상기 카세트 블록과 상기 처리 블록 사이에서 상기 기판을 중계하는 중계 블록과, 제어 장치를 구비한다. 상기 카세트 블록은, 상기 카세트가 배치되는 배치부와, 상기 배치부와 상기 중계 블록 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 반송부를 포함한다. 상기 처리 블록은, 상기 기판의 일부를 제거하는 제거 처리를 행하는 처리 모듈과, 상기 처리 모듈과 상기 중계 블록 사이에서 상기 기판을 반송하는 제2 반송부를 포함한다. 상기 중계 블록은, 상기 처리 블록에서 처리하기 전의, 또는 상기 처리 블록에서 처리한 후의, 상기 기판의 중량을 측정하는 중량 측정부를 포함한다. 상기 제어 장치는, 상기 중량 측정부의 측정 결과를 이용하여, 상기 처리 블록에서 처리하는 전후에서의 상기 기판의 중량차를 산출하여, 상기 제거 처리에 의한 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정하는 제거량 판정부를 포함한다.
본 개시의 일양태에 의하면, 제거량 판정부에 의해, 기판의 일부를 제거하는 제거량을 관리할 수 있다.
도 1은, 제1 실시형태에 관한 기판 처리 장치를 도시하는 평면도이다.
도 2는, 제어 장치의 구성 요소의 일례를 기능 블록으로 도시하는 도면이다.
도 3은, 카세트 블록과 중계 블록의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 4는, 얼라인먼트부의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 5는, 얼라인먼트부에서의 중량 측정의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 6은, 로트 형성부의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 7은, 로트 형성부의 동작의 일례를 도시하는 측면도이다.
도 8은, 도 7에 이어서, 로트 형성부의 동작의 일례를 도시하는 측면도이다.
도 9는, 도 8에 이어서, 로트 형성부의 동작의 일례를 도시하는 측면도이다.
도 10은, 배치식의 처리 모듈의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 11은, 도 10의 처리 모듈의 다른 단면도이다.
도 12는, 건조 모듈에서의 액처리의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 13은, 건조 모듈에서의 건조의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 14는, 건조 모듈에서의 중량 측정의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 15는, 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치를 도시하는 평면도이다.
도 16은, 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치를 도시하는 정면도이다.
도 17은, 트랜지션부의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 18은, 도 17의 XVIII-XVIII선을 따르는 단면도이다.
도 19는, 도 18의 일부를 도시하는 단면도이다.
도 20은, 매엽식의 처리 모듈의 일례를 도시하는 단면도이다.
도 21은, 매엽식의 처리 모듈에서의 중량 측정의 일례를 도시하는 단면도이다.
이하, 본 개시의 실시형태에 관해 도면을 참조하여 설명한다. 또, 각 도면에 있어서 동일 또는 대응하는 구성에는 동일한 부호를 붙이고, 설명을 생략하는 경우가 있다. 또한, X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향은 서로 수직인 방향이며, X축 방향 및 Y축 방향은 수평 방향, Z축 방향은 연직 방향이다.
(제1 실시형태)
도 1에 도시하는 기판 처리 장치(1)는 배치식이다. 기판 처리 장치(1)는, 카세트 블록(2)과, 중계 블록(3)과, 처리 블록(4)과, 제어 장치(9)를 갖는다. 카세트 블록(2)은 카세트(C)가 배치되는 것이다. 카세트(C)는 기판(W)을 수용한다. 기판(W)은, 반도체 기판 또는 유리 기판 등의 하지 기판과, 하지 기판의 위에 형성되는 막을 포함한다. 처리 블록(4)은, 예컨대, 기판(W)의 표면에 피막된 금속막이나 수지막을 처리액으로 에칭 또는 용해하는 처리 등의, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행한다. 중계 블록(3)은, 카세트 블록(2)과 처리 블록(4) 사이에서 기판(W)을 중계한다. 카세트 블록(2)과, 중계 블록(3)과, 처리 블록(4)은, 이 순서로 X축 정방향으로 나열된다.
카세트 블록(2)은, 카세트(C)가 배치되는 배치부(21)를 갖는다. 카세트(C)는, 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 수용하고, 카세트 블록(2)에 대하여 반입 반출된다. 카세트(C)는, 연직 방향으로 제1 피치로 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 수평으로 유지한다.
카세트 블록(2)은, 카세트(C)를 보관하는 보관부(22)를 갖는다. 보관부(22)는, 배치부(21)과, 중계 블록(3)의 반입 반출부(31A, 31B) 사이에서 반송되는 도중의 카세트(C)를 보관한다. 보관부(22)는, 기판(W)을 수용한 카세트(C)를 보관해도 좋고, 카세트(C)를 보관해도 좋다.
카세트 블록(2)은, 배치부(21)과, 중계 블록(3)의 반입 반출부(31A, 31B) 사이에서, 기판(W)을 반송하는 제1 반송부(23)를 갖는다. 제1 반송부(23)는, 예컨대 다관절 로보트이다. 제1 반송부(23)는, 카세트(C)를 반송함으로써, 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 일괄적으로 반송한다. 제1 반송부(23)는, 비어 있는 카세트(C)를 반송해도 좋다.
중계 블록(3)은, 카세트 블록(2)과 처리 블록(4) 사이에서 기판(W)을 중계한다. 중계 블록(3)은, 카세트(C)에 대한 기판(W)의 반입 반출이 행해질 때에, 카세트(C)가 배치되는 반입 반출부(31A, 31B)를 갖는다. 반입 반출부(31A, 31B)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 연직 방향으로 나열된다. 예컨대, 반입 반출부(31A)가 상단에 배치되고, 반입 반출부(31B)가 하단에 배치된다.
중계 블록(3)은, 반입 반출부(31A, 31B)에 배치된 카세트(C)의 도어를 개폐하는 개폐 기구(33)(도 1 참조)를 갖는다. 카세트(C)의 개구부가 개방된 상태로, 카세트(C)에 대한 기판(W)의 반입 반출이 행해진다. 또한, 카세트(C)의 개구부가 폐색된 상태로 카세트(C)의 반송이 행해진다.
중계 블록(3)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 노치의 위치를 조절하는 얼라인먼트부(34)를 갖는다. 예컨대, 얼라인먼트부(34)는, 하단의 반입 반출부(31B)의 하측에 배치된다. 얼라인먼트부(34)는, 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 노치의 위치를 조절하지만, 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)의 노치의 위치를 조절해도 좋다.
얼라인먼트부(34)는, 예컨대, 도 4에 도시하는 바와 같이, 기판(W)을 수평으로 유지하여 회전시키는 스핀척(341)과, 기판(W)의 노치의 위치를 검출하는 센서(342)를 포함한다. 스핀척(341)이 기판(W)을 유지하여 회전시키면서, 센서(342)가 기판(W)의 노치의 위치를 검출함으로써, 기판(W)의 회전각이 조절되고, 노치의 위치가 조절된다.
또, 기판(W)에는, 노치 대신에 오리엔테이션 플랫이 형성되어도 좋다. 후자의 경우, 얼라인먼트부(34)는 오리엔테이션 플랫의 위치를 조절한다.
얼라인먼트부(34)는, 예컨대, 도 5에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(344)를 포함해도 좋다. 얼라인먼트부(34)는, 1장씩 기판(W)의 노치의 위치를 조절하고, 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 측정부(344)는, 기판(W)을 하측으로부터 지지하는 아암(345)을 갖는다. 아암(345)은, 예컨대, 복수개(예컨대 3개)의 핀(345a)을 포함한다. 복수개의 핀(345a)은, 스핀척(341)의 직경 방향 외측에 배치되어, 기판(W)을 스핀척(341)으로부터 들어 올린다.
또한, 중량 측정부(344)는, 아암(345)을 얹는 중량 센서(346)를 갖는다. 중량 센서(346)는, 아암(345)과 아암(345)으로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 아암(345)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다. 중량 센서(346)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
중량 측정부(344)는, 아암(345)과 중량 센서(346)를 승강시키는 승강 기구(347)를 갖는다. 또한, 중량 측정부(344)는, 승강 기구(347)와 아암(345)을 연결한 상태와, 승강 기구(347)와 아암(345)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(348)를 갖는다.
승강 기구(347)가 아암(345)을 승강시킬 때에는, 록기구(348)가 승강 기구(347)와 아암(345)을 연결한다. 승강 기구(347)의 구동력이 아암(345)에 전달되고, 아암(345)이 승강하게 된다. 아암(345)이 기판(W)을 스핀척(341)으로부터 들어 올린 상태로, 중량 센서(346)가 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 센서(346)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(348)가 승강 기구(347)와 아암(345)의 연결을 해제한다. 그 결과, 아암(345)이 가이드(349)를 따라 낙하 가능해지고, 아암(345) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(346)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(346)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 중계 블록(3)은, 기판(W)을 1장씩 반송하는 매엽 반송부(35)를 포함한다. 매엽 반송부(35)는, 하단의 반입 반출부(31B)의 위에 배치된 카세트(C)로부터 기판(W)을 반출하여, 얼라인먼트부(34)에 반송한다. 또한, 매엽 반송부(35)은, 얼라인먼트부(34)로부터 기판(W)을 수취하여, 하단의 반입 반출부(31B)의 위에 배치된 카세트(C)에 기판(W)을 반입한다.
매엽 반송부(35)는, 연직 방향으로 이동 가능한 이동체(351)과, 이동체(351)에 대하여 독립적으로 진퇴하는 2개의 반송 아암(352, 353)을 갖는다. 2개의 반송 아암(352, 353)에 의해, 얼라인먼트부(34)로부터의 기판(W)의 반출과, 얼라인먼트부(34)로의 기판(W)의 반입을 연속으로 실시할 수 있어, 얼라인먼트부(34)의 가동률을 향상시킬 수 있다.
카세트(C)는, 얼라인먼트부(34)에 의해 노치의 위치를 조절한 기판(W)을 수용한다. 그 후, 카세트(C)는, 제1 반송부(23)에 의해 하단의 반입 반출부(31B)로부터 상단의 반입 반출부(31B)로 옮겨진다.
중계 블록(3)은, 복수매의 기판(W)을 동시에 반송하는 일괄 반송부(36)를 포함한다. 일괄 반송부(36)는, 예컨대 다관절 로보트이며, 도 7에 도시하는 바와 같이, 그 선단에 반송 아암(361)을 갖는다. 반송 아암(361)은, 카세트(C)와 동일하게, 제1 피치로 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 유지한다.
도 3에 도시하는 바와 같이, 일괄 반송부(36)는, 상단의 반입 반출부(31A)의 위에 배치된 카세트(C)로부터 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 반출하여, 후술하는 로트 형성부(37)에 반송한다. 그 도중에, 일괄 반송부(36)는, 기판(W)의 배열 방향을 Z축 방향으로부터 Y축 방향으로 변경한다.
또한, 일괄 반송부(36)는, 후술하는 로트 해제부(38)로부터 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 수취하여, 상단의 반입 반출부(31A)의 위에 배치된 비어 있는 카세트(C)에 반입한다. 그 도중에, 일괄 반송부(36)는, 기판(W)의 배열 방향을 Y축 방향으로부터 Z축 방향으로 변경한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 중계 블록(3)은, 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)으로 이루어진 로트를 형성하는 로트 형성부(37)를 포함한다. 로트 형성부(37)는, 제1 피치로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)과, 동일한 제1 피치로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 조합하여, 로트를 형성한다. 로트는, 제1 피치와는 상이한 제2 피치로 나열된 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)으로 이루어진다.
제2 피치는, 예컨대 제1 피치의 반값이다. 하나의 로트는, 2개의 카세트(C)에 수용된 기판(W)으로 구성된다. 기판(W)의 피치를 좁게 함으로써, 일괄적으로 처리하는 기판(W)의 매수를 증가시킬 수 있다. 또, 제2 피치는 제1 피치의 1/n배(n은 2 이상의 자연수)이면 되며, 하나의 로트는 n개의 카세트(C)에 수용된 기판(W)으로 구성되어도 좋다. 기판(W)은, 로트마다 처리 블록(4)에서 처리된다.
중계 블록(3)은, 로트를 해제하는 로트 해제부(38)를 포함한다. 로트 해제부(38)는, 제2 피치로 나열된 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)을, 제1 피치로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)과, 동일하게 제1 피치로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)으로 분해한다. 로트의 해제는, 로트를 처리 블록(4)에서 처리한 후에 행해진다.
다음으로, 도 6∼도 9를 참조하여 로트 형성부(37)에 관해 설명한다. 도 6∼도 9에 있어서, 도면의 공간의 사정으로, 기판(W)의 매수를 실제의 매수보다 적게 도시한다. 로트 형성부(37)는, 고정 핸드(371)와, 가동 핸드(372)와, 승강 기구(373)를 갖는다. 고정 핸드(371)와 가동 핸드(372)는 각각, Y축 방향으로 간격을 두고 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 연직으로 세워 유지한다. 승강 기구(373)는, 고정 핸드(371)에 대하여 가동 핸드(372)를 승강시킨다.
고정 핸드(371)은, 서로 평행한 복수개의 아암(371a)을 갖는다. 아암(371a)의 갯수는 도시한 것에 한정되지 않는다. 각 아암(371a)은, 기판(W)을 유지하는 유지홈(371b)과, 기판(W)을 통과시키는 통과홈(371c)을 교대로 포함한다. 유지홈(371b)의 피치는 제1 피치이고, 통과홈(371c)의 피치도 제1 피치이다.
가동 핸드(372)도, 서로 평행한 복수개의 아암(372a)을 갖는다. 아암(372a)의 갯수는 도시한 것에 한정되지 않는다. 각 아암(372a)은, 기판(W)을 유지하는 유지홈(372b)을 포함한다. 유지홈(372b)의 피치는 제2 피치이다. 제2 피치는 제1 피치의 1/n배이다.
승강 기구(373)는, 가동 핸드(372)를, 고정 핸드(371)보다 상측의 위치와, 고정 핸드(371)보다 하측의 위치 사이에서 승강시킨다. 우선, 도 7에 도시하는 바와 같이, 가동 핸드(372)는, 고정 핸드(371)보다 하측의 위치에서 정지한다. 그 후, 일괄 반송부(36)가, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을, 고정 핸드(371)의 통과홈(371c)에 삽입하고, 가동 핸드(372)에 전달한다. 가동 핸드(372)는, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 연직으로 세워 유지한다.
다음으로, 도 8에 도시하는 바와 같이, 승강 기구(373)가, 가동 핸드(372)를 하강시켜, 가동 핸드(372)로 유지한 복수매의 기판(W)을 고정 핸드(371)의 하측으로 후퇴시킨다. 그 후, 일괄 반송부(36)가, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을, 고정 핸드(371)의 유지홈(372b)에 삽입하고, 고정 핸드(371)에 전달한다. 고정 핸드(371)은, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 연직으로 세워 유지한다.
다음으로, 도 9에 도시하는 바와 같이, 승강 기구(373)가, 가동 핸드(372)를 고정 핸드(371)보다 상측의 위치까지 상승시킨다. 그 도중에, 가동 핸드(372)는, 고정 핸드(371)로 유지된 복수매의 기판(W)을 고정 핸드(371)로부터 수취하고, 수취한 기판(W)과 원래 유지하고 있던 기판(W)을 합쳐서 로트를 형성한다. 로트는, 제2 피치(P2)로 나열된 복수매의 기판(W)으로 이루어진다.
로트 형성부(37)는, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(374)를 포함해도 좋다. 중량 측정부(374)는, 예컨대, 가동 핸드(372)를 얹는 중량 센서(375)를 포함한다. 중량 센서(375)는, 가동 핸드(372)와 가동 핸드(372)로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 가동 핸드(372)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 센서(375)는, 로트 단위로 기판(W)의 중량을 측정해도 좋고, 카세트 단위로 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다. 중량 센서(375)는, 하나의 로트의 기판(W)의 중량과, 하나의 카세트(C)의 기판(W)의 중량을 측정하여, 그 차분을 나머지 카세트(C)의 기판(W)의 중량으로서 추정해도 좋다. 중량 센서(375)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
로트 형성부(37)는, 승강 기구(373)와 가동 핸드(372)를 연결한 상태와, 승강 기구(373)와 가동 핸드(372)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(378)를 포함해도 좋다.
승강 기구(373)가 가동 핸드(372)를 승강시킬 때에는, 록기구(378)가 승강 기구(373)와 가동 핸드(372)를 연결한다. 승강 기구(373)의 구동력이 가동 핸드(372)에 전달되고, 가동 핸드(372)가 승강하게 된다.
한편, 중량 센서(375)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(378)가 승강 기구(373)와 가동 핸드(372)의 연결을 해제한다. 그 결과, 가동 핸드(372)가 가이드(379)를 따라 낙하 가능해지고, 가동 핸드(372) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(375)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(375)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
로트 해제부(38)는 로트 형성부(37)와 동일하게 구성된다. 로트 형성부(37)와 로트 해제부(38)는 모두, 복수매의 기판(W)을 유지하면서 기판(W)의 피치를 바꾸는 피치 변환부이다.
로트 해제부(38)는, 로트 형성부(37)와는 반대의 동작을 행하는 것에 의해, 제2 피치(P2)로 나열된 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)을, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)과, 동일하게 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)으로 분해한다.
로트 해제부(38)는, 로트 형성부(37)와 동일하게, 중량 측정부를 가져도 좋다. 로트 형성부(37)가 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 중량을 측정하는 데 비해, 로트 해제부(38)는 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)의 중량을 측정한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 처리 블록(4)은, 예컨대, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행하는 처리 모듈(41)을 포함한다. 제거 처리는, 기판(W)을 에칭하는 처리를 포함한다. 또, 제거 처리는, 기판(W)에 형성된 레지스트막을 박리하는 처리, 또는 기판(W)을 연마하는 처리를 포함해도 좋다. 처리 모듈(41)은 복수이어도 좋고, 복수의 처리 모듈(41)은 상이한 기판(W)에 대하여 동일한 제거 처리를 행한다.
처리 블록(4)은, 처리 모듈(41)과 중계 블록(3) 사이에서 기판(W)을 반송하는 제2 반송부(42)를 포함한다. 제2 반송부(42)는, 기판(W)을 로트 단위로 반송한다. 제2 반송부(42)는, 로트 형성부(37)로부터 기판(W)을 수취하여, 처리 모듈(41)과, 건조 모듈(43)과, 로트 해제부(38)에 이 순서로 반송한다.
또, 처리 블록(4)은, 처리 모듈(41)과는 상이한 처리를 기판(W)에 대하여 행하는 제2 처리 모듈을 더 포함해도 좋다. 제2 처리 모듈은, 처리 모듈(41)과 동일하게 구성되지만, 처리 모듈(41)과는 상이한 처리액을 이용하여 기판(W)을 처리한다. 처리액의 종류는 3종류 이상이어도 좋다.
다음으로, 도 10 및 도 11을 참조하여 처리 모듈(41)에 관해 설명한다. 처리 모듈(41)은, 복수매의 기판(W)을 일괄적으로 처리하는 배치식이다. 처리 모듈(41)은, 처리액을 저류하는 처리조(101)를 구비한다. 처리액은, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행한다. 처리액은, 예컨대, DHF(희불산), BHF(불산과 불화암모늄의 혼합액), 인산 수용액, 또는 SC1(암모니아와 과산화수소와 물의 혼합액)이다.
또, 처리액은, DHF, BFH, 인산 수용액 및 SC1에는 한정되지 않고, 예컨대, 희황산, SPM(황산과 과산화수소와 물의 혼합액), SC2(염산과 과산화수소와 물의 혼합액), TMAH(수산화테트라메틸암모늄과 물의 혼합액), 혼산 등이어도 좋다. 혼산은, 예컨대, 불산(HF)과 질산(HNO3)의 혼합물, 또는 PAN(인산과 아세트산과 질산의 혼합물) 등이다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 처리조(101)는, 내조(102)와, 외조(103)를 포함한다. 내조(102)는, 상측이 개방된 상자형의 조이다. 복수매의 기판(W)은, 후술하는 유지 기구(130)로 유지된 상태로, 내조(102)에 담은 처리액에 침지된다. 외조(103)는, 내조(102)으로부터 오버플로우한 처리액을 회수한다.
처리 모듈(41)은, 처리액을 처리조(101)에 공급하는 액공급부(105)를 구비한다. 액공급부(105)는, 복수종류의 액체를 혼합하여 처리액을 조제한다. 액공급부(105)는, 액체마다 액체의 유량을 제어하는 유량 제어기와, 액체마다 액체의 유로를 개폐하는 개폐 밸브를 포함한다. 액공급부(105)는, 복수종류의 액체의 혼합비를 변경하여, 처리액의 농도를 변경해도 좋다.
처리 모듈(41)은, 처리조(101)의 내부에 담은 처리액을 외부로 배출하는 액배출부(106)를 구비한다. 예컨대, 액배출부(106)는, 내조(102)의 바닥벽으로부터 외부로 처리액을 배출한다. 또, 액배출부(106)는, 후술하는 순환 라인(110)의 도중에 외부로 처리액을 배출해도 좋다.
처리 모듈(41)은, 외조(103)로부터 처리액을 취출하여 내조(102)로 보내는 순환 라인(110)을 구비한다. 또한, 처리 모듈(41)은, 순환 라인(110)의 도중에, 순환 펌프(111)와, 온도 조절기(112)와, 필터(113)를 구비한다. 순환 펌프(111)는 처리액을 압송한다. 온도 조절기(112)는 히터 등이며, 처리액의 온도를 조절한다. 필터(113)는, 처리액에 포함되는 파티클을 포집한다.
처리 모듈(41)은, 예컨대, 처리액을 내조(102)의 내부에 공급하는 수평관(120)을 구비한다. 수평관(120)은, Y축 방향으로 연장되어 있고, X축 방향으로 간격을 두고 복수개 설치된다. 복수개의 수평관(120)은, 그 길이 방향으로 간격을 두고 복수의 토출구를 갖는다. 복수의 토출구는, 각각 바로 위를 향해 처리액을 토출한다. 이것에 의해, 커튼형의 상승류를 내조(102)의 내부에 형성할 수 있다. 또, 수평관(120)은, 복수의 토출구의 유량을 독립적으로 제어할 수 있도록 구성되어도 좋다. 또한, 수평관(120)은, 액체와 기체의 혼합 유체를 토출해도 좋다. 기체로는, N2 가스 등이 이용된다.
처리 모듈(41)은, 복수매의 기판(W)을 유지하는 유지 기구(130)를 구비한다. 유지 기구(130)는, 서로 평행한 복수개의 아암(131)을 포함한다. 각 아암(131)은, 도 11에 도시하는 바와 같이, 수평관(120)에 대하여 평행하게(즉 Y축 방향으로) 배치되어, Y축 방향으로 제2 피치(P2)로 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 연직으로 유지한다.
처리 모듈(41)은, 유지 기구(130)를 승강시키는 승강 기구(140)를 갖는다. 승강 기구(140)은, 기판(W)을 처리액에 침지하는 위치와, 기판(W)을 반입 반출하는 위치 사이에서, 유지 기구(130)를 승강시킨다.
처리 모듈(41)은, 유지 기구(130)를 얹는 중량 센서(150)를 구비해도 좋다. 중량 센서(150)는, 유지 기구(130)와 유지 기구(130)로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 유지 기구(130)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다. 중량 센서(150)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
처리 모듈(41)은, 승강 기구(140)와 유지 기구(130)를 연결한 상태와, 승강 기구(140)와 유지 기구(130)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(160)를 구비해도 좋다. 승강 기구(140)가 유지 기구(130)를 승강시킬 때에는, 록기구(160)가 승강 기구(140)와 유지 기구(130)를 연결한다. 승강 기구(140)의 구동력이 유지 기구(130)에 전달되고, 유지 기구(130)가 승강하게 된다.
한편, 중량 센서(150)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(160)가 승강 기구(140)와 유지 기구(130)의 연결을 해제한다. 그 결과, 유지 기구(130)가 가이드(142)를 따라 낙하 가능해지고, 유지 기구(130) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(150)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(150)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 처리 모듈(41)은, 린스조(181)과, 제2 유지 기구(182)와, 제2 승강 기구(183)를 더 구비해도 좋다. 린스조(181)는, 복수매의 기판(W)이 침지되는 린스액을 담는다. 린스액은, 예컨대 탈이온수 등의 순수이며, 에칭액 등의 처리액을 기판(W)으로부터 제거한다. 제2 유지 기구(182)는 복수매의 기판(W)을 유지한다. 제2 승강 기구(183)는, 기판(W)을 린스액에 침지하는 위치와, 기판(W)을 반입 반출하는 위치 사이에서, 제2 유지 기구(182)를 승강시킨다.
다음으로, 도 12∼도 14를 참조하여 건조 모듈(43)에 관해 설명한다. 도 12에 도시하는 바와 같이, 건조 모듈(43)은 처리조(210)를 구비한다. 처리조(210)는, 복수매의 기판(W)이 일괄적으로 침지되는 처리액을 담는다. 처리액은, 예컨대 탈이온수 등의 순수이다. 처리액의 층의 위에 IPA(이소프로필알코올)의 층이 형성되어도 좋다. 기판(W)에 부착된 순수를 IPA로 치환하면서, 기판(W)을 처리조(210)로부터 끌어 올릴 수 있다.
처리조(210)는, 내조(211)과, 외조(212)와, 시일조(213)를 포함한다. 내조(211)는, 상측이 개방된 상자형의 조이다. 복수매의 기판(W)은, 후술하는 유지 기구(260)로 유지된 상태로, 내조(211)에 담은 처리액에 침지된다. 외조(212)는, 내조(211)로부터 오버플로우한 처리액을 회수한다. 시일조(213)는, 내부에 담은 시일액으로 외기의 침입을 억제한다.
건조 모듈(43)은, 처리조(210)의 상측 공간을 둘러싸는 통형의 측벽(220)을 구비한다. 측벽(220)은, 기판(W)의 건조가 행해지는 건조실을 내부에 형성한다. 건조 모듈(43)은, 건조실에 가스를 공급하는 가스 공급부(230)를 구비한다. 가스 공급부(230)는, 건조실에 배치되는 노즐(231)을 포함한다. 노즐(231)은, 기판(W)을 사이에 두고 양측에 배치된다. 노즐(231)에 의해 건조실에 공급된 가스는, 측벽(220)의 배기구(221)로부터 배출된다.
가스 공급부(230)는, 노즐(231)에 가스를 공급하는 공급 기구(232)를 포함한다. 공급 기구(232)는, 복수종류의 가스를 노즐(231)에 공급해도 좋다. 공급 기구(232)는, 가스의 온도를 조절하는 히터 등의 온도 조절기, 가스의 유량을 조절하는 유량 제어기, 가스의 유로를 개폐하는 개폐 밸브 등을 포함한다. 가스는, IPA 등의 유기 용제의 가스, 또는 N2 가스 등이다.
건조 모듈(43)은, 처리조(210)과 측벽(220) 사이에 케이싱(240)을 구비한다. 케이싱(240)의 내부에는 셔터(241)가 이동 가능하게 배치된다. 건조 모듈(43)은, 셔터(241)를 이동시키는 개폐 기구(242)를 구비한다. 개폐 기구(242)는, 건조실의 하부 개구를 개방하는 위치와 폐색하는 위치 사이에서 셔터(241)를 수평 방향으로 이동시킨다.
건조 모듈(43)은, 건조실의 상부 개구를 개폐하는 덮개체(250)와, 덮개체(250)를 이동시키는 개폐 기구(251)를 구비한다. 개폐 기구(251)는, 건조실의 상부 개구를 개방하는 위치와 폐색하는 위치 사이에서 덮개체(250)를 연직 방향으로 이동시킨다.
건조 모듈(43)은, 복수매의 기판(W)을 유지하는 유지 기구(260)를 구비한다. 유지 기구(260)는, Y축 방향으로 제2 피치(P2)로 나열된 복수매의 기판(W)의 각각을 연직으로 세워 유지한다. 유지 기구(260)는, 서로 평행한 복수개의 아암(261)과, 복수개의 아암(261)을 캔틸레버 지지하는 브래킷(262)과, 브래킷(262)으로부터 바로 위로 연장되는 승강 로드(263)를 갖는다. 승강 로드(263)는, 덮개체(250)의 관통 구멍에 삽입 관통되어 있고, 그 관통 구멍에는 시일 기구가 설치되어 있다.
건조 모듈(43)은, 유지 기구(260)를 승강시키는 승강 기구(270)를 구비한다. 승강 기구(270)는, 기판(W)을 처리액에 침지하는 위치(도 12 참조)와, 기판(W)을 건조시키는 위치(도 13 참조)와, 기판(W)을 반입 반출하는 위치 사이에서, 유지 기구(260)를 승강시킨다. 또, 기판(W)의 반입 반출은, 덮개체(250)가 건조실의 상부 개구를 개방한 상태로 행해진다.
도 14에 도시하는 바와 같이, 건조 모듈(43)은, 유지 기구(260)를 얹는 중량 센서(280)를 구비해도 좋다. 중량 센서(280)는, 유지 기구(260)와 유지 기구(260)로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 유지 기구(260)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다. 중량 센서(280)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
건조 모듈(43)은, 승강 기구(270)와 유지 기구(260)를 연결한 상태와, 승강 기구(270)와 유지 기구(260)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(290)를 구비해도 좋다. 승강 기구(270)가 유지 기구(260)를 승강시킬 때에는, 록기구(290)가 승강 기구(270)와 유지 기구(260)를 연결한다. 승강 기구(270)의 구동력이 유지 기구(260)에 전달되고, 유지 기구(260)가 승강하게 된다.
한편, 중량 센서(280)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(290)가 승강 기구(270)와 유지 기구(260)의 연결을 해제한다. 그 결과, 유지 기구(260)가 가이드(272)를 따라 낙하 가능해지고, 유지 기구(260) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(280)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(280)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(9)는, 예컨대 컴퓨터이며, CPU(Central Processing Unit)(91)와, 메모리 등의 기억 매체(92)를 구비한다. 기억 매체(92)에는, 기판 처리 장치(1)에 있어서 실행되는 각종 처리를 제어하는 프로그램이 저장된다. 제어 장치(9)는, 기억 매체(92)에 기억된 프로그램을 CPU(91)에 실행시키는 것에 의해, 기판 처리 장치(1)의 동작을 제어한다.
다음으로, 기판 처리 장치(1)의 동작, 즉 기판 처리 방법에 관해 설명한다. 하기 동작은, 제어 장치(9)에 의한 제어하에 실시된다. 우선, 외부의 반송기가, 카세트(C)를 카세트 블록(2)의 배치부(21)에 배치한다. 카세트(C)는, 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 제1 피치(P1)로 수용한다.
다음으로, 제1 반송부(23)가, 배치부(21)에 배치된 카세트(C)를, 중계 블록(3)의 하단의 반입 반출부(31B)에 반송한다. 제1 반송부(23)는, 카세트(C)를 배치부(21)로부터 하단의 반입 반출부(31B)에 반송하는 도중에, 카세트(C)를 일시적으로 보관부(22)에 배치해도 좋다.
다음으로, 개폐 기구(33)가, 하단의 반입 반출부(31B)의 위에 배치된 카세트(C)의 개구부를 개방한다. 계속해서, 매엽 반송부(35)가, 카세트(C)로부터 기판(W)을 1장씩 반출하여, 얼라인먼트부(34)에 반송한다. 얼라인먼트부(34)는, 1장씩 기판(W)의 노치의 위치를 조절하고, 기판(W)의 중량을 측정한다. 그 후, 기판(W)은, 매엽 반송부(35)에 의해 카세트(C)로 복귀된다. 모든 기판(W)이 카세트(C)로 복귀하면, 개폐 기구(33)가 카세트(C)의 개구부를 폐색한다. 그 후, 제1 반송부(23)가, 예컨대, 카세트(C)를 하단의 반입 반출부(31B)로부터 상단의 반입 반출부(31A)에 반송한다. 제1 반송부(23)는, 카세트(C)를 하단의 반입 반출부(31B)로부터 상단의 반입 반출부(31A)에 반송하는 도중에, 카세트(C)를 일시적으로 보관부(22)에 배치해도 좋다.
다음으로, 개폐 기구(33)가, 상단의 반입 반출부(31A)의 위에 배치된 카세트(C)의 개구부를 개방한다. 계속해서, 일괄 반송부(36)가, 카세트(C)로부터 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 반출하여, 로트 형성부(37)에 반송한다. 비어 있는 카세트(C)는, 제1 반송부(23)에 의해 보관부(22)에 반송된다.
다음으로, 로트 형성부(37)가, 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)으로 이루어진 로트를 형성한다. 하나의 로트는, 2개의 카세트(C)에 수용된 기판(W)으로 구성된다. 또한, 로트 형성부(37)는, 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다. 그 후, 제2 반송부(42)가, 로트 형성부(37)로부터 복수매의 기판(W)을 수취하여, 처리 모듈(41)에 반송한다.
다음으로, 처리 모듈(41)이, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행한다. 제거 처리는 로트 단위로 행해진다. 제2 반송부(42)는, 우선, 복수매의 기판(W)을 유지 기구(130)에 전달한다. 계속해서, 승강 기구(140)가 유지 기구(130)를 하강시켜, 복수매의 기판(W)을 처리액에 설정 시간 동안 침지시킨다. 중량 센서(150)는, 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 측정한다. 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 중계 블록(3)에서 측정하는 경우에 비교하여, 빠른 타이밍에 제거량을 산출할 수 있다.
승강 기구(140)가 복수매의 기판(W)을 처리액에 침지시키는 동안에, 중량 센서(150)가 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다. 중량 센서(150)는, 기판(W)과 처리액의 밀도차로부터 기판(W)에 작용하는 부력을 산출하여, 측정 데이터를 보정한다. 또, 중량 센서(150)는, 처리액으로부터 기판(W)을 끌어 올린 후에 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다. 기판(W)에 부착되는 액적의 양이 일정하면, 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
기판(W)의 중량을 측정하는 타이밍은, 특별히 한정되지 않지만, 처리액 중에서 기판(W)의 중량을 측정하는 경우, 예컨대, 기판(W)을 처리액에 침지시킨 직후와, 기판(W)을 처리액으로부터 끌어 올리기 직전이다. 제어 장치(9)는, 처리액 중에서 기판(W)의 중량을 측정하는 동안, 수평관(120)에 의한 처리액의 토출을 정지해도 좋다. 처리액의 흐름을 멈추면, 기판(W)의 중량의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
다음으로, 승강 기구(140)가 유지 기구(130)를 상승시킨다. 그 후, 제2 반송부(42)가, 유지 기구(130)로부터 복수매의 기판(W)을 수취하여, 제2 유지 기구(182)에 반송한다. 계속해서, 제2 승강 기구(183)가 제2 유지 기구(182)를 하강시켜, 복수매의 기판(W)을 린스액에 설정 시간 동안 침지시킨다. 기판(W)에 잔존하는 처리액을 린스액으로 치환할 수 있다.
다음으로, 제2 승강 기구(183)가 제2 유지 기구(182)를 상승시킨다. 그 후, 제2 반송부(42)가, 제2 유지 기구(182)로부터 복수매의 기판(W)을 수취하여, 건조 모듈(43)에 반송한다. 제2 반송부(42)는, 복수매의 기판(W)을 건조 모듈(43)의 유지 기구(260)에 전달한다.
다음으로, 승강 기구(270)가 유지 기구(260)를 하강시켜, 복수매의 기판(W)을 처리액에 설정 시간 동안 침지시킨다. 계속해서, 승강 기구(270)가 유지 기구(260)를 상승시켜, 건조실에서 복수매의 기판(W)을 건조시킨다. 그 후, 중량 센서(280)가 기판(W)의 중량을 측정한다. 그 후, 제2 반송부(42)가, 유지 기구(260)로부터 복수매의 기판(W)을 수취하여, 로트 해제부(38)에 반송한다.
다음으로, 로트 해제부(38)가, 제2 피치(P2)로 나열된 복수매(예컨대 50장)의 기판(W)을, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)과, 동일하게 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)으로 분해하여, 로트를 해제한다. 또한, 로트 해제부(38)는, 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다.
다음으로, 일괄 반송부(36)가, 제1 피치(P1)로 나열된 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 로트 해제부(38)로부터 수취하여, 상단의 반입 반출부(31A)에 미리 배치된 비어 있는 카세트(C)에 반입한다. 계속해서, 개폐 기구(33)가 카세트(C)의 개구부를 폐색한다. 그 후, 제1 반송부(23)가, 상단의 반입 반출부(31A)에 배치된 카세트(C)를 배치부(21)에 반송한다. 그리고, 외부의 반송기가, 처리 완료한 기판(W)을 수용한 카세트(C)를 기판 처리 장치(1)로부터 반출한다.
다음으로, 도 2를 참조하여 제어 장치(9)의 기능에 관해 설명한다. 도 2에 도시되는 각 기능 블록은 개념적인 것이며, 반드시 물리적으로 도시한 바와 같이 구성되어 있을 필요는 없다. 각 기능 블록의 전부 또는 일부를, 임의의 단위로 기능적 또는 물리적으로 분산·통합하여 구성하는 것이 가능하다. 각 기능 블록에서 행해지는 각 처리 기능은, 그 전부 또는 임의의 일부가, CPU에서 실행되는 프로그램으로 실현되거나, 혹은, 와이어드 로직에 의한 하드웨어로서 실현될 수 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(9)는, 예컨대, 제거량 판정부(901)와, 제거 조건 변경부(902)와, 장치간 차이 판정부(903)와, 중량 변화 감시부(904)와, 건조 불량 판정부(905)와, 건조 조건 변경부(906)를 포함한다.
제거량 판정부(901)는, 중계 블록(3)의 중량 측정부(344, 374)의 측정 결과를 이용하여, 처리 블록(4)에서 처리하는 전후에서의 기판(W)의 중량차를 산출하여, 제거 처리에 의한 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정한다. 제거량은 중량차와 같다. 허용 범위는, 제거 처리의 종류, 기판(W)의 매수 등에 따라서 적절하게 설정된다. 제거량 판정부(901)에 의해 기판(W)의 제거량을 관리할 수 있다. 제거량 판정부(901)의 판정 결과에 따라서, 처리 조건의 변경, 알람의 통지 등을 제어 장치(9)가 행해도 좋다. 판정 결과에 따라서 행해지는 처리 내용마다 허용 범위가 준비되어도 좋다. 따라서, 허용 범위의 하한치 및 상한치는 복수 준비되어도 좋다. 제어 장치(9)는, 처리 조건을 변경하지 않고 알람을 통지해도 좋다. 알람의 통지를 받은 사용자가, 처리 조건을 변경하는지 여부를 검토해도 좋다.
제거량 판정부(901)는, 복수매의 기판(W)으로 이루어진 로트마다 판정을 행해도 좋고, 1장마다 판정을 해도 좋다. 후자의 경우, 제거량 판정부(901)는, 로트를 구성하는 복수매의 기판(W) 중, 전부에 관해 판정을 행해도 좋고, 일부만(예컨대 배열 방향 양끝과 중앙)에 관해 판정을 행해도 좋다. 로트 내에서의 기판(W)의 위치와 제거량 판정부(901)의 판정 결과가 대응되어 기억되어도 좋다.
중계 블록(3)은, 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(344, 374)와, 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(예컨대 로트 해제부(38)의 중량 측정부)를 따로따로 포함해도 좋다. 처리전의 기판(W)에 부착된 이물질이 처리후의 기판(W)으로 전이하는 것을 방지할 수 있어, 처리후의 기판(W)을 청정하게 유지할 수 있다.
중계 블록(3)은, 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(344, 374)만을 포함해도 좋다. 제거량 판정부(901)는, 처리 모듈(41)의 중량 센서(150)를 이용하여 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 측정하여, 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정해도 좋다. 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 중계 블록(3)에서 측정하는 경우에 비교하여, 빠른 타이밍에 제거량을 산출할 수 있다.
또, 제거량 판정부(901)는, 처리 모듈(41)의 중량 센서 이외의 중량 센서를 이용하여, 제거 처리의 전 또는 후의 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다.
예컨대, 제1 반송부(23) 또는 제2 반송부(42)가, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 센서를 포함해도 좋다. 그 중량 센서는, 기판(W)을 유지하는 반송 아암 등에 설치되어, 기판(W)의 중량에 따른 하중을 받는다. 따라서, 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
또한, 카세트 블록(2)의 배치부(21)가, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 센서를 포함해도 좋다. 그 중량 센서는, 카세트(C)와 카세트(C)에 수용된 기판(W)의 합계 중량과, 카세트(C)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다.
제거 조건 변경부(902)는, 제거량 판정부(901)에 의해 제거량이 허용 범위밖이라고 판정되는 경우에, 제거 처리의 처리 조건을 변경한다. 그 처리 조건은, 예컨대, 처리 시간, 처리 온도, 처리액의 농도 또는 처리액의 유량을 포함한다. 처리 시간은 침지 시간이며, 처리 온도는 처리액의 온도이다. 또, 수평관(120)이 처리액과 기체의 혼합 유체를 토출하는 경우, 처리 조건은 기체의 유량을 포함해도 좋다.
또, 상기와 같이, 로트 내에서의 기판(W)의 위치와 제거량 판정부(901)의 판정 결과가 대응되어 기억되어도 좋다. 로트 내에서의 기판(W)의 위치에 따라서 제거량이 변하는 경우가 있다. 제거 조건 변경부(902)는, 로트 내에서의 제거량의 변동을 저감하기 위해, 로트 내에서의 기판(W)의 위치마다 수평관(120)의 토출 유량을 변경해도 좋다.
제거 조건 변경부(902)는, 제거량이 허용 범위 내에 수습되도록, 제거 처리의 처리 조건을 변경한다. 예컨대, 제거량이 지나치게 적은 경우, 제거 조건 변경부(902)는 처리 시간을 길게 변경한다. 또한, 제거량이 지나치게 많은 경우, 제거 조건 변경부(902)는 처리 시간을 짧게 변경한다.
제거 조건 변경부(902)는, 제거량 판정부(901)에 의해 제거량이 허용 범위밖이라고 판정된 후에, 제거 처리의 처리 조건을 변경한다. 즉, 제거 조건 변경부(902)는, 제거 처리의 처리 조건을 피드백 제어한다.
단, 제거 조건 변경부(902)는, 제거량의 경시 변화를 감시하여, 다음번의 제거량이 허용 범위밖이 된다고 예측한 경우에, 제거 처리의 처리 조건을 변경해도 좋다. 즉, 제거 조건 변경부(902)는, 제거 처리의 처리 조건을 피드포워드 제어해도 좋다.
제어 장치(9)는, 제거 조건 변경부(902)에 의해 변경된 처리 조건에 따라서 처리 모듈(41)을 제어하고, 기판(W)에 대한 처리를 행한다. 제거 조건 변경부(902)가 처리 조건을 변경하는 것에 의해, 불량품의 대량 생산을 회피할 수 있다.
장치간 차이 판정부(903)는, 상이한 기판(W)에 대하여 동일한 제거 처리를 행하는 복수의 처리 모듈(41) 사이에서, 제거량에 차이가 있는지 여부를 판정한다. 제거량의 차이는, 예컨대 처리 모듈(41)의 설치 장소, 방향 또는 구조 등의 차이에 의해 생긴다.
따라서, 제거 조건 변경부(902)는, 장치간 차이 판정부(903)에 의해 복수의 처리 모듈(41) 사이에서 제거량에 차이가 있다고 판정되는 경우에, 제거 처리의 처리 조건을 변경해도 좋다. 그 처리 조건의 변경은, 피드백 제어이어도 좋고 피드포워드 제어이어도 좋다.
제거 조건 변경부(902)는, 복수의 처리 모듈(41) 사이에서 제거량에 차이가 없어지도록 제거 처리의 처리 조건을 변경한다. 제거량에 차이가 없어진다는 것은, 예컨대, 제거량의 평균치의 차이가 허용 범위 내에 들어가는 것이다. 제거 조건 변경부(902)는, 적어도 하나의 처리 모듈(41)의 처리 조건을 변경하면 된다.
제어 장치(9)는, 제거 조건 변경부(902)에 의해 변경된 처리 조건에 따라서 처리 모듈(41)을 제어하고, 기판(W)에 대한 처리를 행한다. 제거 조건 변경부(902)가 처리 조건을 변경하는 것에 의해, 복수의 처리 모듈(41) 사이에서의 처리 품질의 차이를 저감할 수 있다.
중량 변화 감시부(904)는, 처리 모듈(41)의 중량 센서(150)를 이용하여, 처리액 중에서의 기판(W)의 중량 변화를 감시한다. 기판(W)의 제거 처리중에, 기판(W)의 제거량이 허용 범위에 들어가도록, 제거 조건 변경부(902)가 처리 조건을 변경할 수 있다.
건조 불량 판정부(905)는, 건조 모듈(43)의 중량 센서(280)를 이용하여 건조후의 기판(W)의 중량을 측정하여, 건조 불량의 유무를 판정한다. 건조 불량이란, 예컨대 기판(W)에 액적이 부착되어 있는 것이다.
건조 불량 판정부(905)는, 건조후의 기판(W)의 중량이 임계값을 넘는 경우에, 건조 불량이 있다고 판정한다. 또한, 건조 불량 판정부(905)는, 건조후의 기판(W)의 중량이 임계값 이하인 경우에, 건조 불량이 없다고 판정한다. 건조 불량 판정부(905)의 판정 결과에 따라서, 처리 조건의 변경, 알람의 통지 등을 제어 장치(9)가 행해도 좋다.
건조 불량 판정부(905)는, 복수매의 기판(W)으로 이루어진 로트마다 판정을 행해도 좋고, 1장마다 판정을 행해도 좋다. 후자의 경우, 건조 불량 판정부(905)는, 로트를 구성하는 복수매의 기판(W) 중, 전부에 관해 판정을 행해도 좋고, 일부만(예컨대 배열 방향 양끝과 중앙)에 관해 판정을 행해도 좋다. 로트 내에서의 기판(W)의 위치와 건조 불량 판정부(905)의 판정 결과가 대응되어 기억되어도 좋다.
건조 조건 변경부(906)는, 건조 불량 판정부(905)에 의해 건조 불량이 있다고 판정하는 경우에, 건조 모듈(43)의 처리 조건을 변경한다. 그 처리 조건은, 예컨대, 처리 시간, 처리 온도, 가스의 농도 또는 가스의 유량을 포함한다. 처리 온도는 가스의 온도이다.
건조 조건 변경부(906)는, 건조 불량이 없어지도록, 건조 처리의 처리 조건을 변경한다. 예컨대, 건조 불량이 있는 경우, 건조 조건 변경부(906)는 처리 시간을 길게 변경하거나, 처리 온도를 높게 변경하거나 한다. 이러한 변경은, 피드백 제어이어도 좋고 피드포워드 제어이어도 좋다.
또, 상기와 같이, 로트 내에서의 기판(W)의 위치와 건조 불량 판정부(905)의 판정 결과가 대응되어 기억되어도 좋다. 로트 내에서의 기판(W)의 위치에 따라서 판정 결과가 변하는 경우가 있다. 건조 조건 변경부(906)는, 건조 불량의 비율을 저감하기 위해, 로트 내에서의 기판(W)의 위치마다 가스의 토출 유량 등을 변경해도 좋다.
제어 장치(9)는, 건조 조건 변경부(906)에 의해 변경된 처리 조건에 따라서 건조 모듈(43)을 제어하고, 기판(W)에 대한 처리를 행한다. 건조 조건 변경부(906)가 처리 조건을 변경하는 것에 의해, 불량품의 대량 생산을 회피할 수 있다.
(제2 실시형태)
도 15 및 도 16에 도시하는 기판 처리 장치(1)는 매엽식이다. 이하, 본 실시형태와 상기 실시형태의 상이점에 관해 주로 설명한다. 기판 처리 장치(1)는, 카세트 블록(2)과, 중계 블록(3)과, 처리 블록(4)과, 제어 장치(9)를 갖는다. 카세트 블록(2)은 카세트(C)가 배치되는 것이다. 카세트(C)는 기판(W)을 수용한다. 처리 블록(4)은, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행한다. 중계 블록(3)은, 카세트 블록(2)과 처리 블록(4) 사이에서 기판(W)을 중계한다. 카세트 블록(2)과, 중계 블록(3)과, 처리 블록(4)은, 이 순서로 X축 정방향으로 나열된다.
카세트 블록(2)은, 카세트(C)가 배치되는 배치부(21)를 갖는다. 카세트(C)는, 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)을 수용하고, 카세트 블록(2)에 대하여 반입 반출된다. 카세트(C)는, 연직 방향으로 간격을 두고 나열되는 복수매의 기판(W)의 각각을 수평으로 유지한다.
카세트 블록(2)은, 배치부(21)와, 중계 블록(3)의 트랜지션부(39A, 39B) 사이에서, 기판(W)을 반송하는 제1 반송부(23)를 갖는다. 제1 반송부(23)는, 기판(W)을 유지하는 반송 아암을 포함한다. 반송 아암은, 수평 방향 및 연직 방향으로 이동 가능하며, 연직인 회전축을 중심으로 회전 가능하다.
제1 반송부(23)는, 배치부(21)에 배치된 카세트(C)로부터 기판(W)을 취출하여 트랜지션부(39A)에 배치한다. 또한, 제1 반송부(23)는, 트랜지션부(39B)로부터 기판(W)을 수취하여, 배치부(21)에 배치된 카세트(C)에 반송한다.
중계 블록(3)은, 카세트 블록(2)과 처리 블록(4) 사이에서 기판(W)을 중계한다. 중계 블록(3)은, 기판(W)을 일시적으로 보관하는 트랜지션부(39A, 39B)를 갖는다. 트랜지션부(39A)는 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)을 일시적으로 보관하고, 트랜지션부(39B)는 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)을 일시적으로 보관한다. 트랜지션부(39A, 39B)에는, 제1 반송부(23)와 제2 반송부(42) 양쪽이 액세스한다.
다음으로, 도 17∼도 19를 참조하여 트랜지션부(39A)에 관해 설명한다. 또, 트랜지션부(39B)는, 트랜지션부(39A)와 동일하게 구성되기 때문에, 설명 및 도시를 생략한다.
도 17에 도시하는 바와 같이, 트랜지션부(39A)는, 기판(W)을 유지하는 유지부(391)를 포함한다. 유지부(391)는, 연직 방향으로 간격을 두고 나열되는 복수매(예컨대 5장)의 기판(W)의 각각을 수평으로 유지한다. 트랜지션부(39A)는, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(394)를 포함해도 좋다. 중량 측정부(394)는, 기판(W)의 둘레 방향으로 간격을 두고 복수(예컨대 5개) 설치되어도 좋다.
도 19에 도시하는 바와 같이, 중량 측정부(394)는, 기판(W)을 하측으로부터 지지하는 아암(395)을 갖는다. 아암(395)은, 예컨대 복수개(예컨대 3개)의 핀(395a)을 포함한다. 복수개의 핀(395a)은, 기판(W)을 유지부(391)로부터 들어 올린다.
또한, 중량 측정부(394)는, 아암(395)을 얹는 중량 센서(396)를 갖는다. 중량 센서(396)는, 아암(395)과 아암(395)으로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 아암(395)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다. 중량 센서(396)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
중량 측정부(394)는, 아암(395)과 중량 센서(375)를 승강시키는 승강 기구(397)를 갖는다. 또한, 중량 측정부(394)는, 승강 기구(397)와 아암(395)을 연결한 상태와, 승강 기구(397)와 아암(395)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(398)를 갖는다.
승강 기구(397)가 아암(395)을 승강시킬 때에는, 록기구(398)가 승강 기구(397)와 아암(395)을 연결한다. 승강 기구(397)의 구동력이 아암(395)에 전달되어, 아암(395)이 승강하게 된다. 아암(395)이 기판(W)을 유지부(391)로부터 들어 올린 상태로, 중량 센서(396)가 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 센서(396)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(398)가 승강 기구(397)와 아암(395)의 연결을 해제한다. 그 결과, 아암(395)이 가이드(399)를 따라 낙하 가능해지고, 아암(395) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(396)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(396)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
중계 블록(3)은, 처리 블록(4)에서 처리하기 전의 기판(W)의 중량을 측정하는 트랜지션부(39A)와, 처리 블록(4)에서 처리한 후의 기판(W)의 중량을 측정하는 트랜지션부(39B)를 따로따로 포함해도 좋다. 처리전의 기판(W)에 부착된 이물질이 처리후의 기판(W)에 전이하는 것을 방지할 수 있어, 처리후의 기판(W)을 청정하게 유지할 수 있다.
도 15에 도시하는 바와 같이, 처리 블록(4)은, 예컨대, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행하는 처리 모듈(41)을 포함한다. 제거 처리는, 기판(W)을 에칭하는 처리를 포함한다. 에칭의 대상은, 본 실시형태에서는 기판(W)의 표면(예컨대 상면)이지만, 이면(예컨대 하면), 표리 양면, 또는 베벨이어도 좋다. 또, 제거 처리는, 기판(W)에 형성된 레지스트막을 박리하는 처리, 또는 기판(W)을 연마하는 처리를 포함해도 좋다. 처리 모듈(41)은 복수이어도 좋고, 복수의 처리 모듈(41)은 다른 기판(W)에 대하여 동일한 제거 처리를 행한다.
처리 블록(4)은, 처리 모듈(41)과 중계 블록(3) 사이에서 기판(W)을 반송하는 제2 반송부(42)를 포함한다. 제2 반송부(42)는, 기판(W)을 유지하는 반송 아암을 포함한다. 반송 아암은, 수평 방향 및 연직 방향으로 이동 가능하며, 연직인 회전축을 중심으로 회전 가능하다. 제2 반송부(42)는, 트랜지션부(39A)로부터 기판(W)을 수취하여, 처리 모듈(41)과 트랜지션부(39B)에 이 순서로 반송한다.
다음으로, 도 20 및 도 21을 참조하여 처리 모듈(41)에 관해 설명한다. 처리 모듈(41)은, 기판(W)을 1장씩 처리하는 매엽식이다. 처리 모듈(41)은, 예컨대, 기판(W)을 흡착하여 회전시키는 스핀척(411)과, 스핀척(411)으로 흡착한 기판(W)에 대하여 처리액을 공급하는 노즐(412)과, 노즐(412)에 대하여 처리액을 공급하는 액공급부(413)를 포함한다.
노즐(412)은, 스핀척(411)으로 수평으로 유지된 기판(W)에 대하여, 예컨대 상측으로부터 처리액을 토출한다. 처리액은, 회전하는 기판(W)의 직경 방향 중심에 공급되고, 원심력에 의해 기판(W)의 직경 방향 전체에 퍼져, 기판(W)의 상면 전체를 처리한다. 노즐(412)의 수는 1개 이상이다. 복수의 노즐(412)이 복수종류의 처리액을 토출해도 좋고, 하나의 노즐(412)이 복수종류의 처리액을 토출해도 좋다.
액공급부(413)는, 처리액마다 처리액의 유량을 제어하는 유량 제어기와, 처리액마다 처리액의 유로를 개폐하는 개폐 밸브를 포함한다. 액공급부(413)는, 복수종류의 액체의 혼합비를 변경하여, 처리액의 농도를 변경해도 좋다. 또한, 액공급부(413)는, 처리액의 온도를 조절하는 히터 등의 온도 조절기를 포함해도 좋다.
처리 모듈(41)은, 예컨대, 도 21에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 중량을 측정하는 중량 측정부(414)를 포함해도 좋다. 처리 모듈(41)은, 1장씩 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 측정부(414)는, 기판(W)을 하측으로부터 지지하는 아암(415)을 갖는다. 아암(415)은, 예컨대, 복수개(예컨대 3개)의 핀(415a)을 포함한다. 복수개의 핀(415a)은, 스핀척(411)의 직경 방향 외측에 배치되어, 기판(W)을 스핀척(411)으로부터 들어 올린다.
또한, 중량 측정부(414)는, 아암(415)을 얹는 중량 센서(416)를 갖는다. 중량 센서(416)는, 아암(415)과 아암(415)으로 유지된 기판(W)의 합계 중량과, 아암(415)의 중량의 차분을 측정하여, 기판(W)의 중량을 측정한다. 중량 센서(416)는, 측정한 데이터를 제어 장치(9)에 송신한다.
중량 측정부(414)는, 아암(415)과 중량 센서(416)를 승강시키는 승강 기구(417)를 갖는다. 또한, 중량 측정부(414)는, 승강 기구(417)와 아암(415)을 연결한 상태와, 승강 기구(417)와 아암(415)의 연결을 해제한 상태를 전환하는 록기구(418)를 갖는다.
승강 기구(417)가 아암(415)을 승강시킬 때에는, 록기구(418)가 승강 기구(417)와 아암(415)을 연결한다. 승강 기구(417)의 구동력이 아암(415)에 전달되어, 아암(415)이 승강하게 된다. 아암(415)이 기판(W)을 스핀척(411)으로부터 들어 올린 상태로, 중량 센서(416)가 기판(W)의 중량을 측정한다.
중량 센서(416)가 기판(W)의 중량을 측정할 때에는, 록기구(418)가 승강 기구(417)와 아암(415)의 연결을 해제한다. 그 결과, 아암(415)이 가이드(419)를 따라 낙하 가능해지고, 아암(415) 등의 중량에 비례하는 하중이 중량 센서(416)에 작용한다. 따라서, 중량 센서(416)가 기판(W)의 중량을 측정할 수 있다.
다음으로, 기판 처리 장치(1)의 동작, 즉 기판 처리 방법에 관해 설명한다. 하기의 동작은, 제어 장치(9)에 의한 제어하에 실시된다. 우선, 외부의 반송기가, 카세트(C)를 카세트 블록(2)의 배치부(21)에 배치한다. 카세트(C)는, 연직 방향으로 간격을 두고 나열되는 복수매(예컨대 25장)의 기판(W)의 각각을 수평으로 수용한다.
다음으로, 제1 반송부(23)가, 배치부(21)에 배치된 카세트(C)를, 중계 블록(3)의 트랜지션부(39A)에 반송한다. 트랜지션부(39A)는, 1장씩 기판(W)의 중량을 측정한다. 그 후, 제2 반송부(42)가, 트랜지션부(39A)로부터 기판(W)을 수취하여 처리 모듈(41)에 반송한다.
다음으로, 처리 모듈(41)이, 기판(W)의 일부를 제거하는 제거 처리를 행한다. 제거 처리는 1장씩 행해진다. 처리 모듈(41)은, 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 측정해도 좋다. 제거 처리후의 기판(W)의 중량을 중계 블록(3)에서 측정하는 경우에 비교하여, 빠른 타이밍에 제거량을 산출할 수 있다.
다음으로, 제2 반송부(42)가, 처리 모듈(41)로부터 기판(W)을 수취하여 트랜지션부(39B)에 반송한다. 트랜지션부(39B)는, 1장씩 기판(W)의 중량을 측정한다. 그 후, 제1 반송부(23)가, 트랜지션부(39B)로부터 기판(W)을 수취하여, 배치부(21)에 미리 배치된 카세트(C)에 반입한다.
본 실시형태에 있어서도, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로, 제어 장치(9)는, 예컨대, 제거량 판정부(901)와, 제거 조건 변경부(902)와, 장치간 차이 판정부(903)와, 중량 변화 감시부(904)와, 건조 불량 판정부(905)와, 건조 조건 변경부(906)를 포함한다. 따라서, 상기 제1 실시형태와 동일한 효과가 얻어진다.
이상, 본 개시에 관한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법의 실시형태 등에 관해 설명했지만, 본 개시는 상기 실시형태 등에 한정되지 않는다. 특허청구범위에 기재된 범주 내에서, 각종 변경, 수정, 치환, 부가, 삭제 및 조합이 가능하다. 이들에 관해서도 당연히 본 개시의 기술적 범위에 속한다.
제어 장치(9)는, 처리 블록(4)에서 처리한 후에 측정한 기판(W)의 중량 데이터를, 기판 1장 단위나 로트 단위로 호스트 컴퓨터에 송신한다. 호스트 컴퓨터는, 제어 장치(9)로부터 송신되는 중량 데이터, 또는 중량 데이터로부터 추정되는 상태 데이터(예컨대 에칭량의 데이터)를 관리한다. 호스트 컴퓨터는, 관리하고 있는 데이터를 다음 공정의 기판 처리 장치에 전송하여, 다음 공정의 기판 처리 조건에 반영해도 좋다.
1 : 기판 처리 장치
2 : 카세트 블록
21 : 배치부
23 : 제1 반송부
3 : 중계 블록
344, 374 : 중량 측정부
4 : 처리 블록
41 : 처리 모듈
42 : 제2 반송부

Claims (20)

  1. 기판을 수용하는 카세트가 배치되는 카세트 블록과, 상기 기판을 처리하는 처리 블록과, 상기 카세트 블록과 상기 처리 블록 사이에서 상기 기판을 중계하는 중계 블록과, 제어 장치를 구비하는 기판 처리 장치로서,
    상기 카세트 블록은, 상기 카세트가 배치되는 배치부와, 상기 배치부와 상기 중계 블록 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 반송부를 포함하고,
    상기 처리 블록은, 상기 기판의 일부를 제거하는 제거 처리를 행하는 처리 모듈과, 상기 처리 모듈과 상기 중계 블록 사이에서 상기 기판을 반송하는 제2 반송부를 포함하고,
    상기 중계 블록은, 상기 처리 블록에서 처리하기 전의, 또는 상기 처리 블록에서 처리한 후의, 상기 기판의 중량을 측정하는 중량 측정부를 포함하고,
    상기 제어 장치는, 상기 중량 측정부의 측정 결과를 이용하여, 상기 처리 블록에서 처리하는 전후에서의 상기 기판의 중량차를 산출하여, 상기 제거 처리에 의한 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정하는 제거량 판정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 제거량 판정부에 의해 상기 제거량이 허용 범위밖이라고 판정되는 경우에, 상기 제거 처리의 처리 조건을 변경하는 제거 조건 변경부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 처리 블록은, 상이한 상기 기판에 대하여 동일한 상기 제거 처리를 행하는 복수의 상기 처리 모듈을 구비하고,
    상기 제어 장치는, 상이한 상기 기판에 대하여 동일한 상기 제거 처리를 행하는 복수의 상기 처리 모듈 사이에서, 상기 제거량에 차이가 있는지 여부를 판정하는 장치간 차이 판정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제거 처리는, 상기 기판을 에칭하는 처리, 상기 기판에 형성된 레지스트막을 박리하는 처리, 또는 상기 기판을 연마하는 처리를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 중계 블록은, 상기 처리 블록에서 처리하기 전의 상기 기판의 중량을 측정하는 상기 중량 측정부와, 상기 처리 블록에서 처리한 후의 상기 기판의 중량을 측정하는 상기 중량 측정부를 따로따로 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 배치부, 상기 제1 반송부 또는 상기 제2 반송부가, 상기 기판의 중량을 측정하는 중량 센서를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 처리 모듈은, 복수매의 상기 기판을 일괄적으로 처리하는 배치식인 것인, 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 중계 블록은, 복수매의 상기 기판을 유지하면서, 상기 기판의 피치를 바꾸는 피치 변환부를 포함하고,
    상기 피치 변환부가 상기 중량 측정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 중계 블록은, 상기 기판의 노치 또는 오리엔테이션 플랫의 위치를 조절하는 얼라인먼트부를 포함하고,
    상기 얼라인먼트부가 상기 중량 측정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 처리 모듈은, 복수매의 상기 기판이 일괄적으로 침지되는 처리액을 저류하는 처리조와, 복수매의 상기 기판을 유지하는 유지 기구와, 상기 유지 기구를 얹는 중량 센서를 구비하는 것인, 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제거량 판정부는, 상기 처리 모듈의 상기 중량 센서를 이용하여 상기 제거 처리후의 상기 기판의 중량을 측정하여, 상기 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정하는 것인, 기판 처리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 처리 모듈의 상기 중량 센서를 이용하여, 상기 처리액 중에서의 상기 기판의 중량 변화를 감시하는 중량 변화 감시부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 처리 블록은, 복수매의 상기 기판을 일괄적으로 건조시키는 건조 모듈을 포함하고,
    상기 건조 모듈은, 복수매의 상기 기판이 일괄적으로 침지되는 처리액을 저류하는 처리조와, 복수매의 상기 기판을 유지하는 유지 기구와, 상기 유지 기구를 얹는 중량 센서를 구비하는 것인, 기판 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 건조 모듈의 상기 중량 센서를 이용하여 건조후의 상기 기판의 중량을 측정하여, 건조 불량의 유무를 판정하는 건조 불량 판정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 건조 불량 판정부에 의해 건조 불량이 있다고 판정되는 경우에, 상기 건조 모듈의 처리 조건을 변경하는 건조 조건 변경부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  16. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 처리 모듈은, 상기 기판을 1장씩 처리하는 매엽식인 것인, 기판 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 중계 블록은, 상기 제1 반송부와 상기 제2 반송부 양쪽이 액세스하는 트랜지션부를 포함하고,
    상기 트랜지션부는, 상기 기판을 유지하는 유지부와, 상기 중량 측정부를 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 중계 블록은, 상기 처리 블록에서 처리하기 전의 상기 기판의 중량을 측정하는 상기 트랜지션부와, 상기 처리 블록에서 처리한 후의 상기 기판의 중량을 측정하는 상기 트랜지션부를 따로따로 포함하는 것인, 기판 처리 장치.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 처리 모듈은, 상기 기판을 유지하여 회전시키는 스핀척과, 상기 스핀척으로부터 상기 기판을 들어 올리는 아암과, 상기 아암을 얹는 중량 센서를 구비하는 것인, 기판 처리 장치.
  20. 제1항 또는 제2항에 기재된 기판 처리 장치를 이용하여 상기 기판을 처리하는 기판 처리 방법으로서,
    상기 중량 측정부의 측정 결과를 이용하여, 상기 처리 블록에서 처리하는 전후에서의 상기 기판의 중량차를 산출하여, 상기 제거 처리에 의한 상기 제거량이 허용 범위 내인지 여부를 판정하는 단계를 포함하는, 기판 처리 방법.
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