KR20220054217A - Angle valve - Google Patents

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KR20220054217A
KR20220054217A KR1020210141670A KR20210141670A KR20220054217A KR 20220054217 A KR20220054217 A KR 20220054217A KR 1020210141670 A KR1020210141670 A KR 1020210141670A KR 20210141670 A KR20210141670 A KR 20210141670A KR 20220054217 A KR20220054217 A KR 20220054217A
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손영만
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주식회사 에스알티
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Abstract

The present invention provides an angle valve, wherein two springs having a dual structure are provided to a single-acting angle valve to reduce buckling of the spring during driving and also reduce stress of the spring by a repetitive action to enable the stable driving of the valve.

Description

앵글밸브{Angle valve}Angle valve {Angle valve}

본 발명은 앵글밸브에 관한 것으로서, 하부에 직각형태의 유체이동로(111, 112)가 형성되며, 내측에 상기 유체이동로(111, 112)와 연통되는 내측공간(113)이 형성되는 본체하우징(110);과, 상기 본체하우징(110)의 상부에 결합되되, 피스톤(121) 및 샤프트(122)를 포함하는 실린더부(120);와, 상기 내측공간(113)에 위치되되, 상기 샤프트(122)의 말단에 연결되는 밀폐플레이트(130);와, 상기 샤프트(122)의 상부측 외측면을 감싸는 제1 스프링(140);과, 상기 샤프트(122)의 하부측 외측면을 감싸는 제2 스프링(150); 및 상기 제1 스프링(140)과 상기 제2 스프링(150) 사이에 위치되는 가이드부싱부(160);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 앵글밸브에 관한 것이다.The present invention relates to an angle valve, in which a right-angled fluid passage (111, 112) is formed in the lower portion, and an inner space (113) communicating with the fluid passage (111, 112) is formed on the inside of the main housing (110); And, coupled to the upper portion of the body housing 110, the cylinder portion 120 including a piston 121 and a shaft 122; And, located in the inner space 113, the shaft A sealing plate 130 connected to the distal end of the shaft 122; and a first spring 140 surrounding the upper outer surface of the shaft 122; and a third enclosing the lower outer surface of the shaft 122. 2 spring 150; and a guide bushing portion 160 positioned between the first spring 140 and the second spring 150. It relates to an angle valve comprising: a.

일반적으로, LCD, LED, 반도체 소자 등은 공정밀도를 요구함으로 높은 청결도와 고정밀도 및 특수한 제조기술이 요구되고 있다. In general, LCDs, LEDs, semiconductor devices, etc. require process precision, so high cleanliness, high precision, and special manufacturing technology are required.

이러한 이유로 LCD, LED, 반도체 소자 등은 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.For this reason, LCD, LED, and semiconductor devices are manufactured in a vacuum that can most completely block the contact of foreign substances in the air. affect.

상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 다양한 형태의 게이트밸브(앵글밸브, 진공밸브 포함)가 설치됨으로써 세정모듈을 통과한 가스를 챔버간 전달하거나 차단하는 기능을 수행하게 된다.Various types of gate valves (including angle valves and vacuum valves) are installed in the process section for manufacturing the semiconductor as described above, thereby performing a function of transferring or blocking the gas passing through the cleaning module between chambers.

이러한 밸브는 공정챔버와 공정챔버 또는 진동펌프사이의 유입부, 유출부에 각각 결합된 상태에서 유출부 또는 유입부가 상호간 결합되어 실린더의 구동에 따라 밀폐부재가 해당 유입부를 개폐함으로써, 유출부로 가스가 전달되거나 차단되도록 작동된다.In such a valve, in a state in which the inlet and outlet between the process chamber and the process chamber or the vibration pump are coupled to each other, the outlet or inlet is coupled to each other, and the sealing member opens and closes the corresponding inlet according to the operation of the cylinder, so that the gas flows into the outlet operated to be transmitted or blocked.

이와 같은 밸브의 일실시예로 하기 특허문헌 1의 “기밀성이 강화된 앵글밸브(대한민국 등록특허공보 제10-00772020호)”가 게시되어 있다.As an example of such a valve, "angle valve with enhanced airtightness (Korea Patent Publication No. 10-00772020)" of the following Patent Document 1 has been published.

상기 특허문헌 1의 “기밀성이 강화된 앵글밸브”는 내부에 형성된 중공과, 챔버와 상기 중공을 연결하는 제1통로와, 상기 중공과 진공펌프를 연결하는 제2통로를 갖는 제1몸체;와, 상기 제1몸체의 제1통로와 대향되는 곳에 결합되고, 중앙부에 제1관통홀이 형성되며, 내측에 벨로우즈가 구비되 어 있는 제2몸체;와, 상기 제2몸체에 결합되고, 중앙부에 제2관통홀이 형성된 실플레이트를 포함하는 실린더; 상기 실린더 내에서 왕복되는 피스톤;과, 상기 피스톤에 연결되어 상기 제1관통홀 및 제2관통홀을 통과하는 샤프트; 상기 샤프트에 결합되어 제1통로를 개폐하는 밀폐판; 및 상기 제2몸체와 맞닿는 상기 밀폐판의 후면 또는 상기 밀폐판과 맞닿는 상기 제2몸체에 결합되는 오링;을 포함 하되, 상기 제2몸체에는 상기 벨로우즈가 고정되는 벨로우즈 고정부와 상기 샤프트의 이동과 함께 움직이며 상기 샤프트의 이동을 안내하는 샤프트 안내부가 형성되는 것이 특징으로서, 이로 인하여, 제2몸체와 맞닿는 밀폐판의 후면 또는 밀폐판과 맞닿는 제2몸체에 오링을 구비하여 공정가스에 의하여 파티클이 생성되는 것을 방지한다는 장점이 있었다.The "angle valve with enhanced airtightness" of Patent Document 1 includes a first body having a hollow formed therein, a first passage connecting the chamber and the hollow, and a second passage connecting the hollow and the vacuum pump; And , a second body coupled to a place opposite to the first passage of the first body, a first through hole is formed in the central portion, and a second body having a bellows inside; and coupled to the second body, the central portion a cylinder including a seal plate having a second through hole formed therein; a piston reciprocating within the cylinder; and a shaft connected to the piston and passing through the first through hole and the second through hole; a sealing plate coupled to the shaft to open and close the first passage; and an O-ring coupled to a rear surface of the sealing plate in contact with the second body or to the second body in contact with the sealing plate, wherein the second body includes a bellows fixing part to which the bellows is fixed and movement of the shaft; It is characterized in that a shaft guide part is formed that moves together and guides the movement of the shaft. Due to this, an O-ring is provided on the rear surface of the sealing plate in contact with the second body or on the second body in contact with the sealing plate, so that particles are generated by the process gas. It had the advantage of preventing it from being created.

그러나, 상기 특허문헌 1의 “기밀성이 강화된 앵글밸브”는 앵글밸브가 구동하는 과정에서 단일타입의 코일스프링의 구조적인 이유로 좌굴현상이 발생하고, 비틀림에 의해 코일스프링 외측에 형성된 벨로우즈에 영향을 주어 벨로우즈가 손상될 수 있으며, 반복적인 상, 하 운동으로 인해 코일스프링에 스트레스가 축척되어 변형 또는 파손될 수 있다는 문제점이 있었다.However, in the "angle valve with enhanced airtightness" of Patent Document 1, a buckling phenomenon occurs due to the structural reason of a single type of coil spring in the process of driving the angle valve, and by torsion, the bellows formed on the outside of the coil spring is affected. There was a problem that the bellows could be damaged and the coil spring could be deformed or damaged due to the accumulation of stress on the coil spring due to repeated up and down movements.

특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-0772020호Patent Document 1: Republic of Korea Patent Publication No. 10-0772020

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 단동타입의 앵글밸브에 듀얼(Dual)구조로 이루어진 2개의 스프링을 구비함으로써, 구동시 스프링의 좌굴현상을 감소시킬 수 있고, 반복작동에 의한 스프링의 스트레스 또한 감소시킬 수 있어 안정적인 밸브구동이 가능한 앵글밸브를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a single-acting type angle valve with two springs having a dual structure, thereby reducing the buckling phenomenon of the spring during operation, It is to provide an angle valve capable of stable valve operation since it can also reduce the stress of the spring due to repeated operation.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 앵글밸브는, 하부에 직각형태의 유체이동로(111, 112)가 형성되며, 내측에 상기 유체이동로(111, 112)와 연통되는 내측공간(113)이 형성되는 본체하우징(110);과, 상기 본체하우징(110)의 상부에 결합되되, 피스톤(121) 및 샤프트(122)를 포함하는 실린더부(120);와, 상기 내측공간(113)에 위치되되, 상기 샤프트(122)의 말단에 연결되는 밀폐플레이트(130);와, 상기 샤프트(122)의 상부측 외측면을 감싸는 제1 스프링(140);과, 상기 샤프트(122)의 하부측 외측면을 감싸는 제2 스프링(150); 및 상기 제1 스프링(140)과 상기 제2 스프링(150) 사이에 위치되는 가이드부싱부(160);으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the angle valve according to the present invention has a right-angled fluid passageway (111, 112) formed at the lower portion, and an inner space communicating with the fluid passageway (111, 112) on the inside. The body housing 110 in which 113 is formed; and the cylinder part 120 coupled to the upper part of the body housing 110, the cylinder part 120 including the piston 121 and the shaft 122; And, the inner space ( 113), the sealing plate 130 connected to the distal end of the shaft 122; and a first spring 140 surrounding the upper outer surface of the shaft 122; and the shaft 122. A second spring 150 surrounding the lower outer surface of the; and a guide bushing unit 160 positioned between the first spring 140 and the second spring 150 .

또한, 상기 가이드부싱부(160)는, 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 통과공(161)이 타공형성되고, 상부에는 상기 제1 스프링(140)의 하부가 지지되도록 링형상의 상부안착홈(162)이 함몰형성되고, 하부에는 상기 제2 스프링(150)의 상부가 맞닿도록 링형상의 하부안착홈(163)이 함몰형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide bushing unit 160 has a through hole 161 through which the shaft 122 passes is formed in the center, and the upper portion of the guide bushing unit 160 is seated in a ring shape so that the lower portion of the first spring 140 is supported. A groove 162 is recessed, and a ring-shaped lower seating groove 163 is recessed in the lower portion so that the upper portion of the second spring 150 abuts.

또한, 상기 통과공(161)의 내측면 둘레에는 내측방향으로 단턱부(164)가 돌출형성되고, 상기 단턱부(164) 상부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제1 통공(171)을 포함하는 제1 루론(170)이 구비되고, 상기 단턱부(164) 하부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제2 통공(181)을 포함하는 제2 루론(180)이 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, a stepped portion 164 is formed to protrude inwardly around the inner surface of the through hole 161 , and a first through hole 171 through which the shaft 122 passes through the upper portion of the stepped portion 164 in the center. A first Luron 170 including characterized.

또한, 상기 단턱부(164)가 형성된 상기 통과공(161)의 내경(內徑)은 상기 제1, 2 루론(170, 180)의 내경(內徑)보다 크게 형성되어 상기 통과공(161)에 상기 샤프트(122)가 삽입된 상태에서 상기 단턱부(164)의 내측면이 상기 샤프트(122)의 외측면에 맞닿지 않는 것을 특징으로 한다.In addition, the inner diameter (內徑) of the through hole (161) in which the stepped portion (164) is formed is formed larger than the inner diameter (內徑) of the first and second lurons (170, 180), the through hole (161) In the state in which the shaft 122 is inserted, the inner surface of the stepped portion 164 does not contact the outer surface of the shaft 122 .

또한, 상기 샤프트(122)의 외측에는 벨로우즈(190)가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer side of the shaft 122 is characterized in that the bellows 190 is further formed.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 단동타입의 앵글밸브에 듀얼(Dual)구조로 이루어진 2개의 스프링을 구비함으로써, 구동시 스프링의 좌굴현상을 감소시킬 수 있고, 반복작동에 의한 스프링의 스트레스 또한 감소시킬 수 있어 안정적인 밸브구동이 가능하다는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, as described above, by having two springs of a dual structure in a single-acting type angle valve, it is possible to reduce the buckling phenomenon of the spring during operation, and the stress of the spring due to repeated operation In addition, it has the advantage that stable valve operation is possible because it can be reduced.

또한, 2개의 스프링 사이에 가이드부싱부를 형성함으로써, 안정적인 밸브구동을 가이드 해 주고, 가이드부싱부에 메탈재질로 이루어진 샤프트와 다른 재질의 루론을 구비하여 메탈재질끼리 맞닿아 발생할 수 있는 문제점(갈림현상, 이물질발생현상 등)을 차단할 수 있다는 장점이 있다.In addition, by forming the guide bushing part between the two springs, it guides the stable valve operation, and the guide bushing is provided with a shaft made of a metal material and a Luron of a different material, which may cause problems (braking phenomenon) , foreign substances, etc.) can be blocked.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 앵글밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2 및 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 앵글밸브가 작동하는 모습을 보인 실시예도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 앵글밸브의 구성 중 가이드부싱부의 모습을 보인 사시도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 앵글밸브의 구성 중 가이드부싱부의 단면 모습을 보인 사시단면도 및 단면도1 is a perspective view showing an overall appearance of an angle valve according to a preferred embodiment of the present invention;
2 and 3 are exemplary views showing the operation of the angle valve according to a preferred embodiment of the present invention;
Figure 4 is a perspective view showing the state of the guide bushing in the configuration of the angle valve according to the preferred embodiment of the present invention;
5 is a perspective cross-sectional view and a cross-sectional view showing a cross-sectional view of a guide bushing in the configuration of an angle valve according to a preferred embodiment of the present invention;

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 앵글밸브(100)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, the angle valve 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, it should be noted that in the drawings, the same components or parts are denoted by the same reference numerals as much as possible. In describing the present invention, detailed descriptions of related well-known functions or configurations are omitted so as not to obscure the gist of the present invention.

도 1 또는 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 앵글밸브(100)는 크게, 본체하우징(110), 실린더부(120), 밀폐플레이트(130), 제1, 2 스프링(140, 150) 및 가이드부싱부(160)로 구성된다.1 or 2, the angle valve 100 according to an embodiment of the present invention is largely, the body housing 110, the cylinder part 120, the sealing plate 130, the first and second springs 140 , 150 ) and a guide bushing unit 160 .

먼저, 본체하우징(110)에 대하여 설명한다. 상기 본체하우징(110)은 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 유체가 이동하고, 후술할 밀폐플레이트(130)가 내설되는 일종의 외형틀로서, 유체가 인입되고 배출되는 유체이동로(111, 112)가 직각형태로 형성되고, 내측에는 상기 밀폐플레이트(130)가 위치되면서 상기 유체이동로(111, 112)와 연통되는 내측공간(113)이 형성된다.First, the main housing 110 will be described. As shown in FIG. 1 or FIG. 2 , the body housing 110 is a type of external frame in which a fluid moves and a sealing plate 130 to be described later is installed inside, and fluid flow paths 111 and 112 through which the fluid is introduced and discharged. ) is formed in a right angle shape, and an inner space 113 communicating with the fluid passages 111 and 112 is formed while the sealing plate 130 is positioned inside.

다음으로, 실린더부(120)에 대하여 설명한다. 상기 실린더부(120)는 도 1 또는 도 2에 나타낸 것과 같이, 상기 본체하우징(110)의 상부에 결합되어 상기 밀폐플레이트(130)가 상, 하 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 제공해 주는 구성요소로서, 실린더실에 형성되는 피스톤(121)과 선단은 상기 피스톤(121)과 연결되고 말단은 상기 밀폐플레이트(130)와 연결되는 샤프트(122)로 이루어진다.Next, the cylinder part 120 will be described. As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the cylinder part 120 is coupled to the upper portion of the main housing 110 to provide a driving force so that the sealing plate 130 can move in the up and down directions. , the piston 121 formed in the cylinder chamber and the front end is connected to the piston 121 and the end is made of a shaft 122 connected to the sealing plate (130).

이때, 상기 샤프트(122)의 외측에는 파티클 등의 이물질로 부터 상기 샤프트(120)를 보호하도록 벨로우즈(190)가 설치되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the bellows 190 is installed on the outside of the shaft 122 to protect the shaft 120 from foreign substances such as particles.

다음으로, 밀폐플레이트(130)에 대하여 설명한다. 상기 밀폐플레이트(130)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(122)의 말단에 연결되고, 상기 내측공간(113)에 위치되어 상기 실린더부(120)의 구동여부에 따라 상기 유체이동로(111, 112)를 개방하거나 폐쇄하는 구성요소로서, 상기 밀폐플레이트(130)의 내측에는 후술할 제2 스프링(150)이 안착되는 공간이 형성되는 것이 바람직하다.Next, the sealing plate 130 will be described. As shown in FIG. 2 or FIG. 3 , the sealing plate 130 is connected to the end of the shaft 122 , is located in the inner space 113 , and the fluid depends on whether the cylinder part 120 is driven or not. As a component for opening or closing the movement paths 111 and 112 , it is preferable that a space in which a second spring 150 to be described later is seated is formed inside the sealing plate 130 .

다음으로, 제1, 2 스프링(140, 150)에 대하여 설명한다. 상기 제1 스프링(140)은 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(122)의 상부측 외측면을 감싼 상태로 탄성력을 제공하고, 상기 제2 스프링(150)은 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(122)의 하부측 외측면을 감싼 상태로 탄성력을 제공하는 구성요소로서, 듀얼타입으로 형성되어 단일타입으로 형성되는 스프링에 비해 좌굴현상이 감소하고, 밸브동작에 의한 스트레스를 나누어 받음으로써, 내구성 등이 향상되는 것이 가능해 진다.Next, the first and second springs 140 and 150 will be described. As shown in FIG. 2 or 3, the first spring 140 provides an elastic force while surrounding the upper outer surface of the shaft 122, and the second spring 150 is shown in FIG. 2 or 3 As shown in, as a component that provides elastic force while wrapping the lower side outer surface of the shaft 122, the buckling phenomenon is reduced compared to the spring formed as a single type by being formed as a dual type, and due to the valve operation By sharing the stress, it becomes possible to improve durability and the like.

다음으로, 가이드부싱부(160)에 대하여 설명한다. 상기 가이드부싱부(160)는 도 4 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 제1 스프링(140)과 상기 제2 스프링(150) 사이에 위치되어 각각의 상기 제1 스프링(140) 및 상기 제2 스프링(150)를 지지 해 주는 구성요소로서, 통과공(161), 상부안착홈(162), 하부안착홈(163) 및 단턱부(164)로 이루어진다.Next, the guide bushing unit 160 will be described. 4 or 5, the guide bushing unit 160 is positioned between the first spring 140 and the second spring 150 to each of the first spring 140 and the second spring 150. As a component supporting the spring 150 , it consists of a through hole 161 , an upper seating groove 162 , a lower seating groove 163 , and a stepped portion 164 .

상기 통과공(161)은 상기 가이드부싱부(160)의 중앙에 수직방향으로 타공형성되는 구성요소로서, 상기 샤프트(122)가 통과된다.The through hole 161 is a component vertically perforated in the center of the guide bushing unit 160 , and the shaft 122 passes therethrough.

상기 상부안착홈(162)은 상기 가이드부싱부(160)의 상부에 링형상의 함몰구조를 가지는 것으로서, 상기 제1 스프링(140)의 하부가 안착되어 지지되는 것을 가능하게 한다.The upper seating groove 162 has a ring-shaped recessed structure in the upper portion of the guide bushing 160 , and enables the lower portion of the first spring 140 to be seated and supported.

상기 하부안착홈(163)은 상기 가이드부싱부(160)의 하부에 상기 상부안착홈(162)과 마찬가지로 링형상의 함몰구조를 가지는 것으로서, 상기 제2 스프링(150)의 상부가 맞닿아 고정되는 것을 가능하게 한다.The lower seating groove 163 has a ring-shaped recessed structure in the lower portion of the guide bushing 160, similarly to the upper seating groove 162, and the upper portion of the second spring 150 is abutted and fixed. make it possible

상기 단턱부(164)는 상기 통과공(161)의 내측면 둘레에 내측방향으로 돌출형성되는 구성요소로서, 후술할 제1 루론(170)을 지지해 주는 역할을 한다.The stepped portion 164 is a component protruding in the inward direction around the inner surface of the through hole 161, and serves to support the first Luron 170 to be described later.

한편, 상기 단턱부(164) 상부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제1 통공(171)을 포함하는 제1 루론(170)이 구비되고, 상기 단턱부(164) 하부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제2 통공(181)을 포함하는 제2 루론(180)이 구비된다.On the other hand, a first luron 170 including a first through hole 171 through which the shaft 122 passes is provided in the upper portion of the stepped portion 164, and the lower portion of the stepped portion 164 is provided in the center. A second Luron 180 including a second through hole 181 through which the shaft 122 is passed is provided.

한편, 상기 샤프트(122) 및 상기 가이드부싱부(160)는 스틸 계열의 재질로 이루어지고, 상기 제1, 2 루론(170)은 플라스틱 계열의 재질로 이루어진다.Meanwhile, the shaft 122 and the guide bushing unit 160 are made of a steel-based material, and the first and second lurons 170 are made of a plastic-based material.

한편, 상기 단턱부(164)가 형성된 상기 통과공(161)의 내경(D1)은 상기 제1, 2 루론(170, 180)의 내경(D2, D3)보다 크게 형성된다. 즉, 상기 샤프트(122)는 상기 제1, 2 루론(170, 180)과 면접촉되어 수직이동을 하게 된다.On the other hand, the inner diameter (D1) of the through hole 161 in which the stepped portion 164 is formed is formed to be larger than the inner diameters (D2, D3) of the first and second lurons 170 and 180 . That is, the shaft 122 is in surface contact with the first and second lurons 170 and 180 to vertically move.

이로 인하여, 상기 통과공(161)에 상기 샤프트(122)가 삽입된 상태에서 상기 단턱부(164)의 내측면과 상기 샤프트(122)의 외측면 사이에는 공간이 존재하면서 서로 맞닿지 않게 됨으로써, 스틸 계열의 재질끼리 맞닿는 것을 방지하여 갈림현상 등에 의해 이물질이 발생되는 것을 방지하거나 마찰로 인한 충격발생을 방지할 수 있다.Due to this, a space exists between the inner surface of the stepped portion 164 and the outer surface of the shaft 122 in a state in which the shaft 122 is inserted into the through hole 161 and does not come into contact with each other, By preventing the steel-based materials from coming into contact with each other, it is possible to prevent the occurrence of foreign substances due to cracking, etc. or to prevent the occurrence of shocks due to friction.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Best embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms are used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention, and are not used to limit the meaning or scope of the present invention described in the claims. Therefore, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 앵글밸브
110: 본체하우징
111, 112: 유체이동로 113: 내측공간
120: 실린더부
121: 피스톤 122: 샤프트
130: 밀폐플레이트
140: 제1 스프링
150: 제2 스프링
160: 가이드부싱부
161: 통과공 162: 상부안착홈
163: 하부안착홈 164: 단턱부
170: 제1 루론 171: 제1 통공
180: 제2 루론 181: 제2 통공
190: 벨로우즈100: angle valve
110: body housing
111, 112: fluid flow path 113: inner space
120: cylinder part
121: piston 122: shaft
130: sealing plate
140: first spring
150: second spring
160: guide bushing unit
161: through hole 162: upper seating groove
163: lower seating groove 164: stepped portion
170: first Luron 171: first hole
180: second luron 181: second hole
190: bellows

Claims (5)

하부에 직각형태의 유체이동로(111, 112)가 형성되며, 내측에 상기 유체이동로(111, 112)와 연통되는 내측공간(113)이 형성되는 본체하우징(110);
상기 본체하우징(110)의 상부에 결합되되, 피스톤(121) 및 샤프트(122)를 포함하는 실린더부(120);
상기 내측공간(113)에 위치되되, 상기 샤프트(122)의 말단에 연결되는 밀폐플레이트(130);
상기 샤프트(122)의 상부측 외측면을 감싸는 제1 스프링(140);
상기 샤프트(122)의 하부측 외측면을 감싸는 제2 스프링(150); 및
상기 제1 스프링(140)과 상기 제2 스프링(150) 사이에 위치되는 가이드부싱부(160);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 앵글밸브(100).a body housing 110 in which a right-angled fluid passage (111, 112) is formed at a lower portion, and an inner space (113) communicating with the fluid passage (111, 112) is formed therein;
Doedoe coupled to the upper portion of the body housing 110, the cylinder portion 120 including a piston 121 and a shaft 122;
Doedoe located in the inner space 113, the sealing plate 130 connected to the end of the shaft 122;
a first spring 140 surrounding the upper outer surface of the shaft 122;
a second spring 150 surrounding the lower outer surface of the shaft 122; and
The angle valve (100), characterized in that it is composed of; a guide bushing portion (160) positioned between the first spring (140) and the second spring (150). 제1항에 있어서,
상기 가이드부싱부(160)는,
중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 통과공(161)이 타공형성되고,
상부에는 상기 제1 스프링(140)의 하부가 지지되도록 링형상의 상부안착홈(162)이 함몰형성되고,
하부에는 상기 제2 스프링(150)의 상부가 맞닿도록 링형상의 하부안착홈(163)이 함몰형성되는 것을 특징으로 하는 앵글밸브(100).According to claim 1,
The guide bushing unit 160,
A through hole 161 through which the shaft 122 passes is formed in the center,
A ring-shaped upper seating groove 162 is recessed in the upper portion so that the lower portion of the first spring 140 is supported,
An angle valve (100), characterized in that a ring-shaped lower seating groove (163) is recessed in the lower portion so that the upper portion of the second spring (150) abuts. 제2항에 있어서,
상기 통과공(161)의 내측면 둘레에는 내측방향으로 단턱부(164)가 돌출형성되고,
상기 단턱부(164) 상부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제1 통공(171)을 포함하는 제1 루론(170)이 구비되고,
상기 단턱부(164) 하부에는 중앙에 상기 샤프트(122)가 통과되는 제2 통공(181)을 포함하는 제2 루론(180)이 구비되는 것을 특징으로 하는 앵글밸브(100).3. The method of claim 2,
A stepped portion 164 is formed protruding in the inner direction around the inner surface of the through hole 161,
A first luron 170 including a first through hole 171 through which the shaft 122 passes is provided at the upper portion of the stepped portion 164 in the center,
An angle valve 100, characterized in that the second luron 180 including a second through hole 181 through which the shaft 122 passes is provided at the lower portion of the stepped portion 164 in the center. 제3항에 있어서,
상기 단턱부(164)가 형성된 상기 통과공(161)의 내경(內徑)은 상기 제1, 2 루론(170, 180)의 내경(內徑)보다 크게 형성되어 상기 통과공(161)에 상기 샤프트(122)가 삽입된 상태에서 상기 단턱부(164)의 내측면이 상기 샤프트(122)의 외측면에 맞닿지 않는 것을 특징으로 하는 앵글밸브(100).4. The method of claim 3,
The inner diameter (內徑) of the through hole (161) in which the stepped portion (164) is formed is formed to be larger than the inner diameter (內徑) of the first and second lurons (170, 180) to the through hole (161). Angle valve (100), characterized in that the inner surface of the stepped portion (164) does not contact the outer surface of the shaft (122) in the state in which the shaft (122) is inserted. 제1항에 있어서,
상기 샤프트(122)의 외측에는 벨로우즈(190)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 앵글밸브(100).

According to claim 1,
The angle valve (100), characterized in that the bellows (190) is further formed on the outside of the shaft (122).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH11166665A (en) * 1997-12-08 1999-06-22 Motoyama Seisakusho:Kk Vacuum valve and control method therefor
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