KR20220009908A - 검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법 - Google Patents

검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

[과제] 피검사체의 온도의 균일성을 향상시키는 검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법을 제공한다.
[해결 수단] 피검사체를 갖는 기판을 탑재하는 스테이지와, 상기 피검사체에 전류를 공급하는 프로브를 갖는 프로브 카드와, 광을 조사하여 상기 기판을 가열하는 광 조사 기구와, 상기 광 조사 기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는 상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계와, 상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계를 갖는 검사 장치.

Description

검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법{INSPECTION APPARATUS AND CONTROL METHOD FOR INSPECTION APPARATUS}
본 개시는 검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
전자 디바이스가 형성된 웨이퍼나 전자 디바이스가 배치된 캐리어를 탑재대에 탑재하여, 전자 디바이스에 대해, 테스터로부터 프로브 등을 거쳐서 전류를 공급함으로써, 전자 디바이스의 전기적 특성을 검사하는 검사 장치가 알려져 있다. 탑재대 내의 냉각 기구나 가열 기구에 의해서, 전자 디바이스의 온도가 제어된다.
특허문헌 1에는, 피검사체에 마련된 전자 디바이스에 접촉 단자를 전기적으로 접촉시켜서 해당 전자 디바이스를 검사하는 검사 장치로서, 광을 투과 가능한 냉매가 유통하는 냉매 유로를 내부에 갖는 동시에, 상기 피검사체가 탑재되는 것이며, 상기 피검사체의 탑재측과 반대측이 광 투과 부재로 형성된 탑재대와, 상기 탑재대에 있어서의 상기 피검사체의 탑재측과 반대측의 면과 대향하도록 배치되고, 상기 피검사체를 지향하는 복수의 LED를 갖는 광 조사 기구와, 상기 냉매에 의한 흡열과 상기 LED로부터의 광에 의한 가열을 제어하고, 검사 대상의 상기 전자 디바이스의 온도를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는 적어도 측정된 상기 검사 대상의 상기 전자 디바이스의 온도에 근거하여, 상기 LED로부터의 광 출력을 제어하고, 상기 LED의 광 출력에 근거하여, 상기 냉매에 의한 흡열을 제어하는 것을 특징으로 하는 검사 장치가 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제 2019-153717 호 공보
그런데, 전자 디바이스의 검사시, 전자 디바이스에 전류가 공급됨으로써 전자 디바이스가 발열한다. 전자 디바이스의 발열은 전자 디바이스의 외주 방향으로의 열 방산에 의해, 중심측이 고온이 되고, 외주측이 저온이 되는 열 분포가 생긴다.
하나의 측면에서는, 본 개시는 피검사체의 온도의 균일성을 향상시키는 검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법을 제공한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 하나의 태양에 의하면, 피검사체를 갖는 기판을 탑재하는 스테이지와, 상기 피검사체에 전류를 공급하는 프로브를 갖는 프로브 카드와, 광을 조사하여 상기 기판을 가열하는 광 조사 기구와, 상기 광 조사 기구를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는 상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계와, 상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계를 갖는, 검사 장치가 제공된다.
하나의 측면에 의하면, 피검사체의 온도의 균일성을 향상시키는 검사 장치 및 검사 장치의 제어 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 검사 장치의 구성을 설명하는 단면 모식도.
도 2는 본 실시형태에 따른 검사 장치에 있어서의 웨이퍼의 온도 조정 기구를 설명하는 단면 모식도의 일례.
도 3은 본 실시형태에 따른 검사 장치에 있어서, 스테이지에 탑재된 웨이퍼의 온도 제어를 설명하는 플로우 차트의 일례.
도 4는 제 1 조사 공정에 있어서의 온도 조정 기구의 동작을 설명하는 단면 모식도의 일례.
도 5는 제 1 조사 공정에 있어서의 광을 조사하는 LED 구획의 일례를 설명하는 평면에서 바라볼 때의 도면의 일례.
도 6은 제 2 조사 공정에 있어서의 온도 조정 기구의 동작을 설명하는 단면 모식도의 일례.
도 7은 제 2 조사 공정에 있어서의 광을 조사하는 LED 구획의 일례를 설명하는 평면에서 바라볼 때의 도면의 일례.
이하, 도면을 참조하여 본 개시를 실시하기 위한 형태에 대해서 설명한다. 각 도면에 있어서, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 부여하고, 중복한 설명을 생략하는 경우가 있다.
<검사 장치>
본 실시형태에 따른 스테이지(탑재대)(11)를 구비하는 검사 장치(10)에 대해서, 도 1을 이용하여 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 검사 장치(10)의 구성을 설명하는 단면 모식도의 일례이다.
검사 장치(10)는 웨이퍼(기판)(W)에 형성된 복수의 전자 디바이스(피검사체)의 각각의 전기적 특성의 검사를 실행하는 장치이다. 또한, 피검사체를 갖는 기판은 웨이퍼(W)에 한정되는 것이 아니며, 전자 디바이스가 배치된 캐리어, 유리 기판, 팁 단체 등을 포함한다. 검사 장치(10)는 웨이퍼(W)를 탑재하는 스테이지(11)를 수용하는 수용실(12)과, 수용실(12)에 인접하여 배치되는 로더(13)와, 수용실(12)을 덮도록 배치되는 테스터(14)를 구비한다.
수용실(12)은 내부가 공동의 하우징 형상을 갖는다. 수용실(12)의 내부에는, 웨이퍼(W)를 탑재하는 스테이지(11)와, 스테이지(11)에 대향하도록 배치되는 프로브 카드(15)가 수용된다. 프로브 카드(15)는 웨이퍼(W)의 각 전자 디바이스의 전극에 대응하여 마련된 전극 패드나 반전 범프에 대응하여 배치된 다수의 침 형상의 프로브(접촉 단자)(16)를 갖는다.
스테이지(11)는 웨이퍼(W)를 스테이지(11)에 고정하는 고정 기구(도시되지 않음)를 갖는다. 이에 의해, 스테이지(11)에 대한 웨이퍼(W)의 상대 위치의 위치 어긋남을 방지한다. 또한, 수용실(12)에는, 스테이지(11)를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 이동 기구(도시되지 않음)가 마련되는 것에 의해, 프로브 카드(15) 및 웨이퍼(W)의 상대 위치를 조정하여 각 전자 디바이스의 전극에 대응하여 마련된 전극 패드나 반전 범프를 프로브 카드(15)의 각 프로브(16)에 접촉시킨다.
로더(13)는 반송 용기인 FOUP(도시되지 않음)로부터 전자 디바이스가 배치된 웨이퍼(W)를 취출하여 수용실(12)의 내부의 스테이지(11)로 탑재하고, 또한, 검사가 실행된 웨이퍼(W)를 스테이지(11)로부터 제거하여 FOUP로 수용한다.
프로브 카드(15)는 인터페이스(17)를 거쳐서 테스터(14)로 접속되고, 각 프로브(16)가 웨이퍼(W)의 각 전자 디바이스의 전극에 대응하여 마련된 전극 패드나 반전 범프에 접촉할 때, 각 프로브(16)는 테스터(14)로부터 인터페이스(17)를 거쳐서 전자 디바이스로 전력을 공급하고, 또는 전자 디바이스로부터의 신호를 인터페이스(17)를 거쳐서 테스터(14)로 전달한다.
테스터(14)는 전자 디바이스가 탑재되는 마더 보드의 회로 구성의 일부를 재현하는 테스트 보드(도시되지 않음)를 갖고, 테스트 보드는 전자 디바이스로부터의 신호에 근거하여 전자 디바이스의 양부(良否)를 판단하는 테스터 컴퓨터(18)에 접속된다. 테스터(14)에서는 테스트 보드를 교체하는 것에 의해, 복수종의 마더 보드의 회로 구성을 재현할 수 있다.
제어부(19)는 스테이지(11)의 동작을 제어한다. 제어부(19)는 스테이지(11)의 이동 기구(도시되지 않음)를 제어하여, 스테이지(11)를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시킨다. 또한, 제어부(19)는 배선(20)으로 스테이지(11)와 접속된다. 제어부(19)는 배선(20)을 거쳐서, 후술하는 광 조사 기구(40)의 동작을 제어한다. 또한, 제어부(19)는 테스터(14)와 통신 가능하게 접속되고, 테스터(14)의 정보가 제어부(19)에 입력된다.
냉매 공급 장치(21)는 공급 배관(22) 및 복귀 배관(23)을 거쳐서, 스테이지(11)의 냉매 유로(31)와 접속되고, 냉매 공급 장치(21)와 스테이지(11)의 냉매 유로(31) 사이에서 냉매를 순환시킬 수 있다. 제어부(19)는 냉매 공급 장치(21)를 제어하여, 냉매 공급 장치(21)로부터 냉매 유로(31)에 공급되는 냉매의 온도, 유량 등을 제어한다.
또한, 제어부(19) 및 냉매 공급 장치(21)는 로더(13) 내에 마련되는 것으로서 도시되어 있지만, 이에 한정되는 것이 아니며, 그 외의 위치에 마련되어 있어도 좋다.
검사 장치(10)에서는, 전자 디바이스의 전기적 특성의 검사를 실행할 때, 테스터 컴퓨터(18)가 전자 디바이스와 각 프로브(16)를 거쳐서 접속된 테스트 보드로 데이터를 송신하고, 게다가, 송신된 데이터가 해당 테스트 보드에 의해서 확실히 처리되었는지 아닌지를 테스트 보드로부터의 전기 신호에 근거하여 판정한다.
다음에, 본 실시형태에 따른 검사 장치(10)에 있어서의 웨이퍼(W)의 온도 조정 기구에 대해서, 도 2를 이용하여 설명한다. 도 2는 본 실시형태에 따른 검사 장치(10)에 있어서의 웨이퍼(W)의 온도 조정 기구를 설명하는 단면 모식도의 일례이다. 또한, 도 2에 있어서, 냉매의 유동을 백색 화살표로 나타낸다. 또한, 도 2(및 후술하는 도 4, 도 6)에 있어서, 광 조사 기구(40)로부터 조사되는 광을 실선 화살표로 나타낸다.
스테이지(11)는 탑재부(30)와, 광 조사 기구(40)를 갖는다.
탑재부(30)는 전자 디바이스가 형성되는 웨이퍼(W)가 탑재된다. 탑재부(30)는 광 조사 기구(40)로부터 조사된 광을 투과하는 투광성 부재로 형성된다. 이에 의해, 광 조사 기구(40)로부터 조사된 광은 탑재부(30)를 투과하여 웨이퍼(W)의 이면에 조사된다. 또한, 스테이지(11)에는, 냉매 유로(냉각부)(31)가 형성된다. 냉매 유로(31)에는, 공급 배관(22)(도 1 참조)을 거쳐서, 냉매 공급 장치(21)(도 1 참조)로부터 냉매가 공급된다. 냉매 유로(31)를 흐른 냉매는 복귀 배관(23)(도 1 참조)을 거쳐서, 냉매 공급 장치(21)에 되돌려진다. 냉매로서는, 예를 들면, 무색이며 광이 투과 가능한 액체인 물이나 갈덴(Galden)(등록상표)이 이용된다.
광 조사 기구(40)는 광을 조사하는 복수의 LED(41)를 구비한다. LED(41)는 평면에서 바라볼 때, 소정의 영역마다 구획(후술하는 도 5, 도 7 참조)된다. 제어부(19)는 구획된 LED(41)마다 점등 및 그 광량을 제어할 수 있다. 또한, 광 조사 기구(40)는 광원으로서 LED(41)를 이용하는 것으로 하여 설명하지만, 광원의 종류는 이에 한정되는 것은 아니다.
광 조사 기구(40)로부터 방사된 광은 투광성 부재로 형성되는 탑재부(30) 및 냉매 유로(31)를 흐르는 냉매를 투과하여, 웨이퍼(W)의 이면에 조사된다. 이에 의해, 광이 조사된 웨이퍼(W)가 승온(昇溫)하여, 전자 디바이스가 승온된다. 또한, 탑재부(30)의 상면(웨이퍼(W)의 탑재면)에 광 흡수 부재를 갖고 있어도 좋다. 본 구성의 경우, 광 조사 기구(40)로부터 방사된 광은 광 흡수 부재에 조사되고, 광 흡수 부재가 승온한다. 그리고, 광 흡수 부재로부터 웨이퍼(W)에 전열함으로써, 웨이퍼(W)에 형성되는 전자 디바이스가 승온된다. 또한, 광 조사 기구(40)는 LED(41)를 점등시키는 구획을 제어하는 것에 의해, 광 조사 기구(40)에 의해서 승온되는 웨이퍼(W)의 영역을 제어할 수 있다.
프로브(16)는 전자 디바이스의 전극과 접촉한다. 테스터(14)(도 1 참조)는 프로브(16)를 거쳐서 전자 디바이스의 전극에 전압을 인가하는 것에 의해, 전자 디바이스의 내부의 회로로 전류를 흘릴 수 있다.
도 3은 본 실시형태에 따른 검사 장치(10)에 있어서, 스테이지(11)에 탑재된 웨이퍼(W)의 온도 제어를 설명하는 플로우 차트의 일례이다.
단계(S101)에 있어서, 제어부(19)는 제 1 조사 공정을 실행한다. 제 1 조사 공정은 전자 디바이스(500)의 검사를 개시하기 전의 상태, 바꿔말하면, 프로브(16)를 거쳐서 전자 디바이스(500)에 전류를 공급하기 전의 상태에 있어서 실행된다.
본 명세서에서, 도 4 및 도 5를 이용하여, 제 1 조사 공정에 대해서 더 설명한다. 도 4는 제 1 조사 공정에 있어서의 온도 조정 기구의 동작을 설명하는 단면 모식도의 일례이다. 도 5는 제 1 조사 공정에 있어서의 광을 조사하는 LED 구획의 일례를 설명하는 평면에서 바라볼 때의 도면의 일례이다. 또한, 도 4(및 후술하는 도 6)에 있어서, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 위치를 파선으로 나타낸다. 또한, 도 5(및 후술하는 도 7)에 있어서, 평면에서 바라봤을 때의 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 위치를 도트의 망점을 부여하여 나타낸다. 또한, 검사 대상의 전자 디바이스(500)는 1개의 칩을 검사하는 구성이어도 좋고, 복수의 팁을 동시에 검사하는 구성이어도 좋다.
도 5에 도시되는 바와 같이, 광 조사 기구(40)는 소정의 영역마다 구획된 LED 어레이(400)를 갖는다. 각 LED 어레이(400)에는, 복수의 LED(41)(도 4 참조)가 마련되어 있다. 제어부(19)는 LED 어레이(400)마다 LED(41)의 점등·광량을 제어할 수 있다.
제 1 조사 공정에서는, 제어부(19)는 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 위치를 포함한 영역(401) 내의 LED 어레이(400)를 점등시키고, 검사 대상의 전자 디바이스(500)에 균일하게 광을 조사한다. 또한, 도 5에 있어서, 광을 조사하는 LED 어레이(400)의 영역(401)에 해칭을 부여하여 나타낸다. 또한, 도 4에 있어서, 광 조사 기구(40)로부터 조사되는 광을 실선 화살표로 나타낸다.
이에 의해, 검사 대상의 전자 디바이스(500)는 광 조사 기구(40)에 의해서 균일하게 가열된다. 또한, 탑재부(30)의 냉매 유로(31)에는, 냉매가 통류하고 있다. 또한, 백색 화살표로 나타내는 바와 같이, 전자 디바이스(500)의 열은 전자 디바이스(500)로부터 탑재부(30)에 균일하게 흡열된다. 이에 의해, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 온도의 면내 균일성을 확보할 수 있다. 또한, 제어부(19)는 스테이지(11)에 마련된 복수의 온도 센서(도시되지 않음)의 검출 값에 근거하여, 각 LED 어레이(400)의 광량을 피드백 제어해도 좋다.
단계(S102)에 있어서, 테스터(14)는 프로브(16)를 거쳐서 전자 디바이스(500)에 전류를 흘리고, 전자 디바이스(500)의 검사를 개시한다. 본 명세서에서, 제어부(19)는 전자 디바이스(500)의 발열을 검지하면, 광 조사 기구(40)의 제어를 단계(S101)에 나타내는 제 1 조사 공정으로부터 단계(S103)에 나타내는 제 2 조사 공정으로 전환한다.
본 명세서에서, 제어부(19)는 광 조사 기구(40)를 제어하는 내부 변수에 근거하여, 전자 디바이스(500)의 발열을 검지한다. 예를 들어, 제어부(19)는 스테이지(11)에 마련된 복수의 온도 센서(도시되지 않음)의 검출 값에 근거하여 각 LED 어레이(400)의 광량을 피드백 제어한다. 제어부(19)는 이 피드백량(내부 변수)에 근거하여, 전자 디바이스(500)의 발열을 검지한다.
또한, 제어부(19)는 테스터(14)로부터 전자 디바이스(500)의 검사를 개시한 것을 나타내는 신호(트리거 신호)를 취득한다. 바꿔말하면, 제어부(19)는 테스터(14)로부터 전자 디바이스(500)에 전력 공급을 개시한 것을 나타내는 신호를 테스터(14)로부터 취득한다. 제어부(19)는 취득한 신호에 근거하여, 전자 디바이스(500)의 발열을 검지하는 구성이어도 좋다.
또한, 제어부(19)는 테스터(14)로부터 전자 디바이스(500)에 공급하는 전력의 정보(파워 정보)를 테스터(14)로부터 취득한다. 제어부(19)는 취득한 정보에 근거하여, 전자 디바이스(500)의 발열을 검지하는 구성이어도 좋다.
단계(S103)에 있어서, 제어부(19)는 제 2 조사 공정을 실행한다. 제 2 조사 공정은 전자 디바이스(500)의 검사시의 상태, 바꿔말하면, 프로브(16)를 거쳐서 전자 디바이스(500)에 전류가 공급되어 있는 상태에 있어서 실행된다.
본 명세서에서, 도 6 및 도 7을 이용하여, 제 2 조사 공정에 대해서 더 설명한다. 도 6은 제 2 조사 공정에 있어서의 온도 조정 기구의 동작을 설명하는 단면 모식도의 일례이다. 도 7은 제 2 조사 공정에 있어서의 광을 조사하는 LED 구획의 일례를 설명하는 평면에서 바라볼 때의 도의 일례이다.
도 6 및 도 7에 도시되는 바와 같이, 제 2 조사 공정에서는, 제어부(19)는 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주측에 광을 조사하도록, 영역(402) 내의 LED 어레이(400)를 점등시키고, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주부에 광을 조사한다. 본 명세서에서, 전자 디바이스(500)의 외주부는 전자 디바이스(500)의 주변의 내측과 외측을 모두 포함하는 주변 근방의 부분을 의미한다. 또한, 도 7에 있어서, 광을 조사하는 LED 어레이(400)의 영역(402)에 해칭을 부여하여 나타낸다. 또한, 도 6에 있어서, 광 조사 기구(40)로부터 조사되는 광을 실선 화살표로 나타낸다.
본 명세서에서, 검사 대상의 전자 디바이스(500)는 테스터(14)로부터 프로브(16)를 거쳐서 전류가 공급되는 것에 의해, 전자 디바이스(500)가 발열한다. 전자 디바이스(500)의 열은 전자 디바이스(500)의 외주부에 있어서는, 주위에 전열(방열)한다. 한편, 전자 디바이스(500)의 중앙부에 축열부(510)(도 6 참조)가 형성된다.
제 2 조사 공정에서는, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주부에 광을 조사한다. 또한, 전자 디바이스(500)의 외주부에 광 조사 기구(40)의 광을 조사하여 전자 디바이스(500)의 외주부를 승온시켜도 좋고, 전자 디바이스(500)보다 외측에 광 조사 기구(40)의 광을 조사하여 전자 디바이스(500)의 외주부에 전열(도 6의 파선 화살표 참조)시키는 것에 의해 전자 디바이스(500)의 외주부를 승온해도 좋다.
이에 의해, 전자 디바이스(500)는, 전자 디바이스(500)의 발열(전자 디바이스(500)의 중앙부의 축열)과, 광 조사 기구(40)에 의한 광 조사 가열(전자 디바이스(500)의 외주부의 가열)에 의해서, 균일하게 가열된다. 또한, 백색 화살표로 나타내는 바와 같이, 전자 디바이스(500)의 열은 전자 디바이스(500)로부터 탑재부(30)에 균일하게 흡열된다. 이에 의해, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 온도의 면내 균일성을 확보할 수 있다.
또한, 도 3에 나타내는 플로우 차트에 있어서, 광 조사 기구(40)의 제어를 제 1 조사 공정으로부터 제 2 조사 공정으로 전환되는 타이밍은, 검사 대상의 전자 디바이스(500)로의 전력 공급을 개시한 후에(검사 대상의 전자 디바이스(500)의 발열을 검지한 후에) 실행하는 것으로서 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 검사 대상의 전자 디바이스(500)로의 전력 공급을 개시하기 전에, 사전에 광 조사 기구(40)의 제어를 제 1 조사 공정으로부터 제 2 조사 공정으로 전환하고, 그 후에 검사 대상의 전자 디바이스(500)로의 전력 공급을 개시해도 좋다. 즉, 도 3의 단계(S102)와 단계(S103)의 순서를 바꿔도 좋다.
이상, 본 실시형태에 따른 검사 장치(10)에 의하면, 검사 대상의 전자 디바이스의 온도의 면내 균일성을 향상시킬 수 있다. 즉, 전자 디바이스(500)의 발열 전은 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 위치를 포함한 영역(401) 내의 LED 어레이(400)를 점등시키고, 검사 대상의 전자 디바이스(500)에 균일하게 광을 조사함으로써, 전자 디바이스(500)의 온도의 면내 균일하게 제어할 수 있다. 또한, 전자 디바이스(500)의 발열 중은 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주측에 광을 조사하도록 영역(402) 내의 LED 어레이(400)를 점등시키고, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주측에 광을 조사한다. 이에 의해, 전자 디바이스(500)의 발열 및 광 조사 기구(40)에 의한 광 조사 가열에 의해서, 검사 대상의 전자 디바이스(500)를 가열한다. 이에 의해, 전자 디바이스(500)의 온도의 면내 균일하게 제어할 수 있다.
또한, 제 2 조사 공정에 있어서, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주측에 광을 조사하는 영역(402) 내의 LED(41)를 점등시키고, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 중앙부에 광을 조사하는 LED(41)를 소등시킬 수 있으므로, 광 조사 기구(40)의 소비 전력을 삭감할 수 있다.
이상, 검사 장치(10)에 대해서 설명하였지만, 본 개시는 상기 실시형태 등에 한정되는 것이 아니며, 특허청구범위에 기재된 본 개시의 요지의 범위 내에 있어서, 여러 가지의 변형, 개량이 가능하다.
제 2 조사 공정에 있어서, 제어부(19)는 프레임 형상의 영역(402)보다 내측의 LED 어레이(400)를 소등시킨다, 바꿔말하면, 전자 디바이스(500)의 중앙부에 광을 조사하는 LED 어레이(400)를 소등시키는 것으로서 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제어부(19)는 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 중앙부에 광을 조사하는 LED 어레이(400)의 광량이, 검사 대상의 전자 디바이스(500)의 외주측에 광을 조사하는 LED 어레이(400)의 광량보다 적게 되도록 광 조사 기구(40)의 광량 분포를 제어해도 좋다.
또한, 검사 장치(10)는 전자 디바이스의 발열의 유무에 의해서, 제 1 조사 공정(균일 조사)과 제 2 조사 공정(외주 조사)을 전환하는 것으로서 설명하였지만, 광 조사 기구(40)의 제어는 이에 한정되는 것은 아니다. 전자 디바이스의 발열량에 따라서, 제 1 조사 공정(균일 조사)과 제 2 조사 공정(외주 조사)을 전환하는 구성이어도 좋다. 예를 들어, 전자 디바이스의 발열량이 소정의 문턱 값 미만의 경우 제 1 조사 공정(균일 조사)을 실행하고, 전자 디바이스의 발열량이 소정의 문턱값 이상의 경우 제 2 조사 공정(외주 조사)을 실행하는 구성이어도 좋다.
또한, 전자 디바이스의 검사에 있어서, 제 1 조사 공정(균일 조사)과 제 2 조사 공정(외주 조사)을 복수회 반복하는 구성이어도 좋다. 또한, 검사 내용에 따라 영역(402)를 바꿔도 좋다.
또한, 광 조사 기구(40)는 웨이퍼(W)의 이면측으로부터 광을 조사하는 것으로서 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니다. 광 조사 기구(40)는 웨이퍼(W)의 표면측으로부터 광을 조사하는 구성이어도 좋다.
W : 웨이퍼
10 : 검사 장치
11 : 스테이지
14 : 테스터
15 : 프로브 카드
16 : 프로브
19 : 제어부
20 : 배선
21 : 냉매 공급 장치
22 : 공급 배관
23 : 복귀 배관
30 : 탑재부
31 : 냉매 유로
40 : 광 조사 기구
41 : LED(광원)
400 : LED 어레이
401 : 영역
402 : 영역
500 : 전자 디바이스(피검사체)
510 : 축열부

Claims (7)

  1. 피검사체를 갖는 기판을 탑재하는 스테이지와,
    상기 피검사체에 전류를 공급하는 프로브를 갖는 프로브 카드와,
    광을 조사하여 상기 기판을 가열하는 광 조사 기구와,
    상기 광 조사 기구를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계와,
    상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계를 실행하는
    검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 피검사체의 발열에 근거하여, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계로부터 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계로 전환하는
    검사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 광 조사 기구의 제어의 내부 변수에 근거하여, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계로부터 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계로 전환하는
    검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 카드와 접속되고, 상기 피검사체를 검사하는 테스터를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 테스터로부터의 상기 피검사체의 검사의 개시를 나타내는 신호에 근거하여, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계로부터 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계로 전환하는
    검사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로브 카드와 접속되고, 상기 피검사체를 검사하는 테스터를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 테스터로부터 상기 피검사체에 공급되는 전류 정보에 근거하여, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계로부터 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계로 전환하는
    검사 장치.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광 조사 기구는 구획된 복수의 광원을 갖고,
    상기 제어부는 구획된 복수의 상기 광원마다 점등 및/또는 광량을 제어하는
    검사 장치.
  7. 피검사체를 갖는 기판을 탑재하는 스테이지와, 상기 피검사체에 전류를 공급하는 프로브를 갖는 프로브 카드와, 광을 조사하여 상기 기판을 가열하는 광 조사 기구와, 상기 광 조사 기구를 제어하는 제어부를 구비하는 검사 장치의 제어 방법에 있어서,
    상기 검사 장치의 제어 방법은, 상기 제어부에 의해 실행되고,
    상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체를 균일하게 가열하는 단계와,
    상기 광 조사 기구로부터의 광에 의해, 상기 피검사체의 외주부를 가열하는 단계를 갖는
    검사 장치의 제어 방법.
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