KR20220000634A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20220000634A
KR20220000634A KR1020200078497A KR20200078497A KR20220000634A KR 20220000634 A KR20220000634 A KR 20220000634A KR 1020200078497 A KR1020200078497 A KR 1020200078497A KR 20200078497 A KR20200078497 A KR 20200078497A KR 20220000634 A KR20220000634 A KR 20220000634A
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조경석
최한빈
김한우
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세메스 주식회사
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Abstract

기판 처리 장치가 제공된다. 기판 처리 장치는 기판에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 모듈과, 상기 공정 모듈로 기판을 삽입하고, 상기 공정 모듈에서 공정 처리가 완료된 기판을 인출하는 인덱스 모듈, 및 상기 공정 모듈 및 상기 인덱스 모듈의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하되, 상기 인덱스 모듈은, 기판의 적재가 가능한 캐리어의 안착면을 제공하는 로드 포트와, 상기 로드 포트에 안착된 캐리어에 대하여 기판의 반입 및 반출을 수행하는 인덱스 로봇, 및 상기 인덱스 로봇의 작업 공간을 제공하는 이송 프레임을 포함하고, 상기 제어 모듈은 위치 설정 장치가 이용되어 확인된 상기 인덱스 로봇의 위치 설정 정보를 참조하여 상기 인덱스 로봇의 기준 위치를 설정한다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}
본 발명은 로봇의 기준 위치 설정이 용이하게 수행되는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 디스플레이 장치를 제조할 때에는, 사진, 식각, 애싱, 이온주입, 박막증착, 세정 등 다양한 공정이 실시된다. 여기서, 사진공정은 도포, 노광, 그리고 현상 공정을 포함한다. 기판 상에 감광액을 도포하고(즉, 도포 공정), 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하며(즉, 노광 공정), 기판의 노광처리된 영역을 선택적으로 현상한다(즉, 현상 공정).
다양한 공정이 하나의 공정 설비에서 수행될 수 있다. 이를 위하여, 해당 설비는 서로 다른 공정을 수행하는 복수의 공정 모듈을 구비할 수 있다. 공정 대상인 기판은 캐리어에 수용된 상태로 설비로 반입되고, 공정이 완료된 기판은 설비에서 반출되어 캐리어에 수용된 상태로 다른 공정 설비로 이송될 수 있다.
캐리어에서 기판을 반출하거나 캐리어에 기판을 반입함에 있어서 로봇이 이용될 수 있다. 예를 들어, 로봇은 캐리어에 적재된 복수의 기판 중 하나의 목표 기판을 반출하고, 공정이 완료된 기판을 캐리어에 반입하여 적재할 수 있다.
설비는 복수의 캐리어를 안착시키기 위한 복수의 로드 포트를 구비할 수 있다. 로봇은 복수의 로드 포트로 이동하여 각 로드 포트에 안착된 캐리어에 대하여 기판의 반입 및 반출 작업을 수행할 수 있다. 각 로드 포트에 안착된 캐리어에서 기판의 정확한 위치를 결정하기 위하여 로봇의 기준 위치 설정이 수행될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 로봇의 기준 위치 설정이 용이하게 수행되는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 기판에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 모듈과, 상기 공정 모듈로 기판을 삽입하고, 상기 공정 모듈에서 공정 처리가 완료된 기판을 인출하는 인덱스 모듈, 및 상기 공정 모듈 및 상기 인덱스 모듈의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하되, 상기 인덱스 모듈은, 기판의 적재가 가능한 캐리어의 안착면을 제공하는 로드 포트와, 상기 로드 포트에 안착된 캐리어에 대하여 기판의 반입 및 반출을 수행하는 인덱스 로봇, 및 상기 인덱스 로봇의 작업 공간을 제공하는 이송 프레임을 포함하고, 상기 제어 모듈은 위치 설정 장치가 이용되어 확인된 상기 인덱스 로봇의 위치 설정 정보를 참조하여 상기 인덱스 로봇의 기준 위치를 설정한다.
상기 인덱스 로봇은, 상기 인덱스 프레임에 구비된 인덱스 레일을 따라 이동 가능한 인덱스 베이스와, 상기 인덱스 베이스에 대하여 직선 이동 또는 회전 가능한 인덱스 암과, 상기 인덱스 암에 직선 이동 가능하도록 결합되고, 기판을 지지하는 인덱스 핸드를 포함하되, 상기 인덱스 핸드는 상기 인덱스 암에 대하여 직선 이동하여 상기 캐리어에 삽입되거나 상기 캐리어에서 배출된다.
상기 위치 설정 장치는, 상기 로드 포트에 결합 가능한 베이스부와, 상기 베이스부에 일측 방향으로 길게 배치된 트랙, 및 상기 트랙을 따라 이동 가능하고, 상기 트랙상에서의 위치를 측정하는 게이지를 포함한다.
상기 트랙은, 상기 베이스부에 배치된 제1 트랙, 및 상기 제1 트랙에 대하여 일정 거리만큼 이격되어 상기 제1 트랙에 평행하게 배치된 제2 트랙을 포함하고, 상기 게이지는, 상기 제1 트랙을 따라 이동 가능한 제1 및 제2 게이지, 및 상기 제2 트랙을 따라 이동 가능한 제3 및 제4 게이지를 포함한다.
상기 인덱스 로봇의 위치 설정 정보는 상기 제1 및 제2 게이지의 상기 제1 트랙상의 위치와 상기 제3 및 제4 게이지의 상기 제2 트랙상의 위치가 참조되어 결정된다.
상기 기판 처리 장치는 상기 위치 설정 정보를 산출하는 정보 산출 장치를 더 포함한다.
상기 정보 산출 장치는 상기 제어 모듈로 상기 위치 설정 정보를 송신한다.
상기 위치 설정 정보는 상기 인덱스 핸드가 상기 캐리어의 개구면에 수직한 방향으로 반입되거나 반출되도록 하는 상기 인덱스 베이스에 대한 상기 인덱스 암의 보정 각도 및 상기 인덱스 베이스의 보정 거리를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 4는 도 2에 도시된 인덱스 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 캐리어에 대한 인덱스 핸드의 반입 및 반출을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 캐리어에 대한 인덱스 로봇의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 위치 설정 장치를 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7의 위치 설정 장치가 로드 포트에 안착된 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 도 8에 도시된 위치 설정 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 정보 산출 장치를 나타낸 도면이다.
도 11 내지 도 13은 도 10에 도시된 정보 산출 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는 도 9에 도시된 인덱스 로봇의 기준 위치가 설정되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 도면이며, 도 3 내지 도 5는 도 2에 도시된 인덱스 로봇의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 인덱스 모듈(11), 로딩 모듈(12), 공정 모듈(13) 및 제어 모듈(14)을 포함하여 구성된다.
인덱스 모듈(11), 로딩 모듈(12) 및 공정 모듈(13)은 일렬로 배치될 수 있다. 이하, 인덱스 모듈(11), 로딩 모듈(12) 및 공정 모듈(13)이 배열된 방향을 제1 방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(X)에 수직한 방향을 제2 방향(Y)이라 하며, 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3 방향(Z)이라 한다.
인덱스 모듈(11)은 공정 모듈(13)로 기판을 삽입하고, 공정 모듈(13)에서 공정 처리가 완료된 기판을 인출하는 역할을 수행한다. 인덱스 모듈(11)과 공정 모듈(13)의 사이에는 로딩 모듈(12)이 구비될 수 있다. 인덱스 모듈(11)은 로딩 모듈(12)을 통하여 공정 모듈(13)로 기판을 삽입하거나 로딩 모듈(12)에서 기판을 인출할 수 있다.
인덱스 모듈(11)은 기판이 수납된 캐리어(110)로부터 기판을 로딩 모듈(12)로 이송시키고, 로딩 모듈(12)에서 배출되는 기판을 캐리어(110)에 수납시킬 수 있다. 인덱스 모듈(11)은 로드 포트(100) 및 이송 프레임(200)을 포함할 수 있다.
로드 포트(100)에는 캐리어(110)가 안착될 수 있다. 캐리어(110)에는 복수의 기판이 수납될 수 있다. 로드 포트(100)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드 포트(100)는 제2 방향(Y)으로 일렬로 배치될 수 있다.
캐리어(110)는 기판의 가장자리를 지지하는 슬롯(미도시)을 구비할 수 있다. 슬롯은 제3 방향(Z)을 따라 복수 개가 구비될 수 있다. 이에, 복수의 기판이 제3 방향(Z)을 따라 일정 거리만큼 서로 이격된 상태로 캐리어(110)의 내부에서 적층될 수 있다. 캐리어(110)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod; FOUP)가 이용될 수 있다.
이송 프레임(200)은 캐리어(110) 및 로딩 모듈(12) 간에 기판을 이송시키기 위한 작업 공간을 제공할 수 있다. 이송 프레임(200)은 인덱스 레일(210)을 포함할 수 있다.
인덱스 레일(210)은 제2 방향(Y)에 평행하게 길게 배치될 수 있다. 이송 프레임(200)의 작업 공간에는 인덱스 로봇(300)이 배치되어 기판을 운반하기 위한 작업을 수행할 수 있다. 인덱스 로봇(300)은 인덱스 레일(210)상에 설치되며, 인덱스 레일(210)을 따라 제2 방향(Y)으로 이동할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 인덱스 로봇(300)은 인덱스 베이스(310), 인덱스 몸체(320), 인덱스 암(330) 및 인덱스 핸드(340)를 포함할 수 있다.
인덱스 베이스(310)는 인덱스 레일(210)을 따라 이동 가능하도록 인덱스 레일(210)에 설치될 수 있다. 인덱스 몸체(320)는 인덱스 베이스(310)에 결합되어 인덱스 베이스(310)와 함께 인덱스 레일(210)을 따라 이동할 수 있다. 또한, 인덱스 몸체(320)는 인덱스 베이스(310)에 대하여 제3 방향(Z)을 따라 이동할 수 있으며, 제3 방향(Z)에 평행한 회전축(Ax)을 중심으로 회전할 수도 있다.
인덱스 몸체(320)가 회전하는 경우 도 3에 도시된 바와 같이 인덱스 몸체(320)에 결합되어 있는 인덱스 암(330)도 인덱스 몸체(320)와 함께 회전할 수 있다.
인덱스 암(330)은 인덱스 몸체(320)에 결합되어 인덱스 핸드(340)의 자세를 결정하기 위한 기준점을 제공할 수 있다. 인덱스 핸드(340)는 인덱스 암(330)에 직선 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이 인덱스 핸드(340)는 인덱스 암(330)에서 방출되거나 인덱스 암(330)에 삽입될 수 있다. 인덱스 핸드(340)가 인덱스 암(330)에서 방출되는 경우 인덱스 핸드(340)와 인덱스 베이스(310) 간의 거리가 증가하고, 인덱스 핸드(340)가 인덱스 암(330)에 삽입되는 경우 인덱스 핸드(340)와 인덱스 베이스(310) 간의 거리가 감소될 수 있다. 인덱스 핸드(340)는 인덱스 암(330)에 대하여 직선 이동하여 캐리어(110)에 삽입되거나 캐리어(110)에서 배출될 수 있다.
인덱스 베이스(310)에 대한 인덱스 암(330)의 자세에 따라 인덱스 핸드(340)의 직선 이동 방향이 결정될 수 있다. 예를 들어, 인덱스 암(330)이 제1 방향(X)에 평행하도록 길게 배치된 경우 인덱스 핸드(340)는 제1 방향(X)에 평행한 방향으로 직선 이동할 수 있다. 이에 반하여, 인덱스 암(330)이 제1 방향(X)에 경사지도록 배치된 경우 인덱스 핸드(340)는 제1 방향(X)에 경사진 방향으로 직선 이동할 수 있다.
인덱스 핸드(340)은 직접적으로 기판을 지지하여 기판을 이송시키는 역할을 수행한다. 이를 위하여, 인덱스 핸드(340)는 기판을 지지하기 위한 지지부(341)를 구비할 수 있다. 지지부(341)는 복수 개가 구비될 수 있다. 복수의 지지부(341)는 기판의 서로 다른 지점을 지지하여, 기판이 지면에 평행한 자세로 유지되도록 할 수 있다. 또한, 지지부(341)에는 진공 흡착 기능이 구비될 수 있다. 이러한 경우 지지부(341)는 기판을 진공 흡착하여 지지할 수 있다.
로딩 모듈(12)은 진공 분위기 또는 상압 분위기로 분위기 전환하여 진공 분위기의 공정 모듈(13)과 상압 분위기의 인덱스 모듈(11) 간에 기판을 중계하는 역할을 수행한다. 공정 모듈(13)의 내부는 진공 분위기이고, 인덱스 모듈(11)은 상압 분위기일 수 있다. 공정 모듈(13)의 진공 분위기를 그대로 유지하면서 공정 모듈(13)과 인덱스 모듈(11) 간의 기판 교환을 위하여 로딩 모듈(12)이 구비될 수 있다.
로딩 모듈(12)은 공정 모듈(13)의 이송 챔버(500)와 이송 프레임(200)의 사이에 배치될 수 있다. 로딩 모듈(12)은 이송 챔버(500)와 이송 프레임(200) 간에 기판이 이송되기 전에 기판이 머무르는 공간을 제공할 수 있다. 로딩 모듈(12)은 로드락 챔버(410) 및 언로드락 챔버(420)를 포함할 수 있다. 로드락 챔버(410) 및 언로드락 챔버(420)는 그 내부 공간의 분위기가 진공 분위기 또는 상압 분위기로 전환 가능하도록 제공될 수 있다.
로드락 챔버(410)는 인덱스 모듈(11)에서 공정 모듈(13)로 이송되는 기판을 임시로 수용하는 역할을 수행한다. 로드락 챔버(410)를 사이에 두고 인덱스 모듈(11) 및 공정 모듈(13)에는 도어(221, 511)가 구비될 수 있다. 이하, 로드락 챔버(410)의 양측에 구비된 도어 중 인덱스 모듈(11)에 구비된 도어를 제1 인덱스 도어(221)라 하고, 공정 모듈(13)에 구비된 도어를 제1 이송 도어(511)라 한다.
로드락 챔버(410)에 기판이 반입되면 제1 인덱스 도어(221) 및 제1 이송 도어(511)가 닫히고 로드락 챔버(410)의 내부 공간은 인덱스 모듈(11) 및 공정 모듈(13)에 대해 밀폐될 수 있다. 밀폐된 이후에 로드락 챔버(410)의 내부 공간은 상압 분위기에서 진공 분위기로 전환될 수 있다. 그리고, 제1 인덱스 도어(221)가 닫힌 상태에서 제1 이송 도어(511)가 열리면서 로드락 챔버(410)의 기판은 반출되어 이송 챔버(500)로 이송될 수 있다.
언로드락 챔버(420)는 공정 모듈(13)에서 인덱스 모듈(11)로 이송되는 기판을 임시로 수용하는 역할을 수행한다. 언로드락 챔버(420)를 사이에 두고 인덱스 모듈(11) 및 공정 모듈(13)에는 도어(222, 512)가 구비될 수 있다. 이하, 언로드락 챔버(420)의 양측에 구비된 도어 중 인덱스 모듈(11)에 구비된 도어를 제2 인덱스 도어(222)라 하고, 공정 모듈(13)에 구비된 도어를 제2 이송 도어(512)라 한다.
언로드락 챔버(420)에 기판이 반입되면 제2 인덱스 도어(222) 및 제2 이송 도어(512)가 닫히고 언로드락 챔버(420)의 내부 공간은 인덱스 모듈(11) 및 공정 모듈(13)에 대해 밀폐될 수 있다. 밀폐된 이후에 언로드락 챔버(420)의 내부 공간은 진공 분위기에서 상압 분위기로 전환될 수 있다. 그리고, 제2 이송 도어(512)가 닫힌 상태에서 제2 인덱스 도어(222)가 열리면서 언로드락 챔버(420)의 기판은 반출되어 인덱스 모듈(11)로 이송될 수 있다.
공정 모듈(13)은 기판에 대한 공정 처리를 수행할 수 있다. 공정 모듈(13)은 이송 챔버(500) 및 공정 챔버(600)를 포함할 수 있다. 공정 챔버(600)는 복수 개가 구비될 수 있다.
이송 챔버(500)는 로드락 챔버(410), 언로드락 챔버(420) 및 공정 챔버(600) 간의 기판 중계를 위한 공간을 제공할 수 있다. 이를 위하여, 로드락 챔버(410), 언로드락 챔버(420) 및 공정 챔버(600)는 이송 챔버(500)의 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 특히, 이송 챔버(500)는 공정 챔버(600)에 연결되어 공정 챔버(600)로 기판을 반입하거나 공정 챔버(600)에서 기판을 반출하기 위한 이송 공간(SP)을 제공할 수 있다.
도 1은 육각형의 형상을 갖는 이송 챔버(500)의 가장자리를 따라 로드락 챔버(410), 언로드락 챔버(420) 및 3개의 공정 챔버(600)가 배치된 것을 도시하고 있다. 본 발명의 이송 챔버(500)의 형상이 육각형에 한정되는 것은 아니며, 이송 챔버(500)의 형상은 공정 챔버(600)의 수에 따라 달라질 수 있다.
각 공정 챔버(600)별로 공정 도어(520)가 구비될 수 있다. 공정 도어(520)가 개방된 상태에서 이송 챔버(500)과 공정 챔버(600) 간의 기판 반입 또는 기판 반출이 수행되고, 공정 도어(520)가 폐쇄된 상태에서 공정 챔버(600)에 의한 공정 처리 동작이 수행될 수 있다.
이송 챔버(500)의 내부에는 이송 로봇(700)이 구비될 수 있다. 이송 로봇(700)은 로드락 챔버(410), 언로드락 챔버(420) 및 공정 챔버(600) 간에 기판을 이송시키는 역할을 수행한다. 예를 들어, 이송 로봇(700)은 로드락 챔버(410)에서 반출된 기판을 이동시켜 공정 챔버(600)에 반입시키고, 공정 챔버(600)에서 반출된 기판을 이동시켜 언로드락 챔버(420)에 반입시킬 수 있다.
이송 로봇(700)은 이송 베이스(710), 이송 몸체(720), 이송 암(730) 및 이송 핸드(740)를 포함할 수 있다. 이송 베이스(710)는 이송 챔버(500)의 중심에 배치될 수 있다. 이송 몸체(720)는 이송 베이스(710)에 대하여 제3 방향(Z)을 따라 이동할 수 있으며, 제3 방향(Z)에 평행한 회전축(Ax)을 중심으로 회전할 수도 있다. 이송 몸체(720)에 결합된 이송 암(730)은 이송 몸체(720)와 함께 이동하거나 회전할 수 있다.
이송 암(730)은 이송 몸체(720)에 결합되어 이송 핸드(740)의 자세를 결정하기 위한 기준점을 제공할 수 있다. 이송 핸드(740)는 이송 암(730)에 직선 이동 가능하도록 결합될 수 있다. 예를 들어, 이송 핸드(740)는 이송 암(730)에서 방출되거나 이송 암(730)에 삽입될 수 있다. 이송 핸드(740)가 이송 암(730)에서 방출되는 경우 이송 핸드(740)와 이송 베이스(710) 간의 거리가 증가하고, 이송 핸드(740)가 이송 암(730)에 삽입되는 경우 이송 핸드(740)와 이송 베이스(710) 간의 거리가 감소될 수 있다.
이송 베이스(710)에 대한 이송 암(730)의 자세에 따라 이송 핸드(740)의 직선 이동 방향이 결정될 수 있다. 예를 들어, 이송 암(730)이 제1 방향(X)에 평행하도록 길게 배치된 경우 이송 핸드(740)는 제1 방향(X)에 평행한 방향으로 직선 이동할 수 있다. 이에 반하여, 이송 암(730)이 제1 방향(X)에 경사지도록 배치된 경우 이송 핸드(340)는 제1 방향(X)에 경사진 방향으로 직선 이동할 수 있다.
이송 핸드(740)는 직접적으로 기판을 지지하여 기판을 이송시키는 역할을 수행한다. 이를 위하여, 이송 핸드(740)는 기판을 지지하기 위한 지지부를 구비할 수 있다. 지지부는 복수 개가 구비될 수 있다. 복수의 지지부는 기판의 서로 다른 지점을 지지하여, 기판이 지면에 평행한 자세로 유지되도록 할 수 있다. 또한, 지지부에는 진공 흡착 기능이 구비될 수 있다. 이러한 경우 지지부는 기판을 진공 흡착하여 지지할 수 있다.
공정 챔버(600)는 기판에 대한 공정 처리 공간을 제공할 수 있다. 공정 챔버(600)에서 기판에 대한 특정 작업이 수행될 수 있다. 예를 들어, 공정 챔버(600)는 기판에 대한 식각 또는 증착 처리를 수행할 수 있다. 공정 모듈(13)은 복수의 공정 챔버(600)를 포함할 수 있으며, 각 공정 챔버(600)별로 동일하거나 서로 다른 작업을 수행할 수 있다.
제어 모듈(14)은 공정 모듈(13), 인덱스 모듈(11) 및 로딩 모듈(12)에 대한 전반적인 제어를 수행한다. 특히, 제어 모듈(14)은 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 설정할 수 있다.
도 5는 캐리어에 대한 인덱스 핸드의 반입 및 반출을 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 캐리어에 대한 인덱스 로봇의 배치를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 인덱스 핸드(340)는 캐리어(110)에 반입되거나 캐리어(110)에서 반출될 수 있다.
캐리어(110)는 인덱스 핸드(340)의 반입 및 반출을 위한 개구(111)를 포함할 수 있다. 인덱스 암(330)에서 인덱스 핸드(340)가 방출됨으로써 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에 반입될 수 있고, 인덱스 암(330)에 인덱스 핸드(340)가 삽입됨으로써 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에서 반출될 수 있다. 이 때, 인덱스 핸드(340)는 기판(W)을 캐리어(110)에 반입하거나 캐리어(110)에 수납된 기판(W)을 반출할 수 있다.
인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에 삽입된 상태에서 기판(W)의 중심축(Bx)이 캐리어(110)의 중심축(Cx)에 일치되는 것이 바람직하다. 기판(W)의 중심축(Bx)은 기판(W)의 넓은 면에 수직하고, 기판(W)의 중심점을 지나는 가상의 선으로 이해될 수 있다. 기판(W)의 중심축(Bx) 및 캐리어(110)의 중심축(Cx)은 제3 방향(Z)에 평행하게 형성될 수 있다. 기판(W)의 중심축(Bx)이 캐리어(110)의 중심축(Cx)에 일치되는 경우 기판(W)의 가장자리가 캐리어(110)의 내측면에서 사전에 설정된 일정 거리만큼 이격된 상태로 기판(W)이 안정적으로 캐리어(110)에 적재될 수 있다.
한편, 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에 반입되거나 캐리어(110)에서 반출됨에 있어서 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 인덱스 핸드(340)의 직선 이동이 수행되는 것이 바람직하다. 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향에 대하여 경사지어 반입되거나 반출되는 경우 인덱스 핸드(340) 또는 기판(W)이 캐리어(110)와 충돌할 수 있기 때문이다.
도 6을 참조하면, 인덱스 핸드(340)는 캐리어(110)에 반입될 수 있다.
인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에 반입되어 인덱스 핸드(340)의 중심축(Dx)과 캐리어(110)의 중심축(Cx)이 일치한 상태에서 캐리어(110)의 중심축(Cx)과 인덱스 로봇(300)의 회전축(Ax) 간에 제2 방향(Y)으로 일정 거리(D)만큼 오차가 발생될 수 있다. 또한, 캐리어(110)와 인덱스 로봇(300) 간의 오차 거리(D)가 발생되는 경우 제1 방향(X)에 대하여 인덱스 핸드(340)의 직선 이동 방향이 일정 각도(A)만큼 오차가 발생될 수 있다. 오차 거리(D) 및 오차 각도(A)는 각각 0이거나 0에 가까운 것이 바람직하다. 오차 거리(D) 및 오차 각도(A)가 0인 경우 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 직선 이동할 수 있기 때문이다.
제어 모듈(14)은 인덱스 로봇(300)의 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)에 반입되거나 반출될 때 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 인덱스 핸드(340)가 직선 이동하도록 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 설정할 수 있다. 제어 모듈(14)에 의한 인덱스 로봇(300)의 기준 위치 설정은 각 로드 포트(100)별로 수행될 수 있다. 일단 각 로드 포트(100)별로 인덱스 로봇(300)의 기준 위치가 설정된 경우 인덱스 로봇(300)이 특정 로드 포트(100)에 안착된 캐리어(110)에 대하여 기판(W)의 반입 또는 반출 작업을 수행함에 있어서 인덱스 핸드(340)는 해당 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 직선 이동할 수 있다. 즉, 제어 모듈(14)은 각 로드 포트(100)별 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 저장할 수 있는 것이다. 그리하여, 제어 모듈(14)은 특정 로드 포트(100)에 안착된 캐리어(110)에 대한 기판(W)의 반입 또는 반출 작업을 수행할 때 저장된 기준 위치를 추출하여 인덱스 로봇(300)을 제어할 수 있는 것이다.
특히, 제어 모듈(14)은 후술하는 위치 설정 장치가 이용되어 확인된 인덱스 로봇(300)의 위치 설정 정보를 참조하여 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 설정할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 14를 통하여 위치 설정 장치가 이용되어 확인된 위치 설정 정보가 참조되어 인덱스 로봇(300)의 기준 위치가 설정되는 것을 설명하기로 한다.
도 7은 위치 설정 장치를 나타낸 도면이다.
도 7을 참조하면, 위치 설정 장치(800)는 베이스부(810), 트랙(821, 822) 및 게이지(831, 832, 833, 834)를 포함하여 구성된다.
베이스부(810)는 로드 포트(100)에 결합될 수 있다. 특히, 베이스부(810)는 로드 포트(100)에 착탈될 수 있다. 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 설정하기 위하여 베이스부(810)가 로드 포트(100)에 결합되고, 인덱스 로봇(300)의 기준 위치 설정이 완료된 경우 베이스부(810)는 로드 포트(100)에서 결합 해제될 수 있다.
트랙(821, 822)은 베이스부(810)에 일측 방향으로 길게 배치될 수 있다. 예를 들어, 트랙(821, 822)은 제2 방향(Y)에 평행한 방향으로 길게 배치될 수 있다.
게이지(831, 832, 833, 834)는 트랙(821, 822)을 따라 이동할 수 있다. 본 발명에서 트랙(821, 822)은 제1 트랙(821) 및 제2 트랙(822)을 포함할 수 있다. 제2 트랙(822)은 제1 트랙(821)에 대하여 일정 거리만큼 이격되어 제1 트랙(821)에 평행하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 트랙(821) 및 제2 트랙(822)은 일정 거리만큼 이격된 상태에서 제2 방향(Y)에 평행한 방향으로 길게 배치될 수 있다.
게이지(831, 832, 833, 834)는 제1 게이지(831), 제2 게이지(832), 제3 게이지(833) 및 제4 게이지(834)를 포함할 수 있다. 제1 게이지(831) 및 제2 게이지(832)는 제1 트랙(821)을 따라 이동할 수 있고, 제3 게이지(833) 및 제4 게이지(834)는 제2 트랙(822)을 따라 이동할 수 있다.
각 게이지(831, 832, 833, 834)는 트랙(821, 822)상에서의 위치를 측정할 수 있다. 즉, 제1 게이지(831) 및 제2 게이지(832)는 제1 트랙(821)상에서의 위치를 측정하고, 제3 게이지(833) 및 제4 게이지(834)는 제2 트랙(822)상에서의 위치를 측정할 수 있다. 도 7에 도시된 바와 같이 제1 게이지(831)는 제1 트랙(821)의 좌측에 인접하여 배치되고, 제2 게이지(832)는 제2 트랙(822)의 우측에 인접하여 배치될 수 있다. 제1 게이지(831)는 제1 트랙(821)의 좌측 말단부터 자신의 위치까지의 거리를 측정하고, 제2 게이지(832)는 제1 트랙(821)의 우측 말단부터 자신의 위치까지의 거리를 측정할 수 있다. 이와 마찬가지로, 제3 게이지(833)는 제2 트랙(822)의 좌측 말단부터 자신의 위치까지의 거리를 측정하고, 제4 게이지(834)는 제2 트랙(822)의 우측 말단부터 자신의 위치까지의 거리를 측정할 수 있다.
도 8은 도 7의 위치 설정 장치가 로드 포트에 안착된 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 9는 도 8에 도시된 위치 설정 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8을 참조하면, 위치 설정 장치(800)는 로드 포트(100)에 결합될 수 있다.
위치 설정 장치(800)의 베이스부(810)가 로드 포트(100)에 결합됨으로써 위치 설정 장치(800)가 로드 포트(100)에 결합될 수 있다.
도 9를 참조하면, 인덱스 핸드(340)가 위치 설정 장치(800)에 위치한 상태에서 게이지(831, 832, 833, 834)가 이동하여 인덱스 핸드(340)의 자세를 판단할 수 있다.
사용자는 인덱스 로봇(300)을 조작하여 인덱스 핸드(340)를 위치 설정 장치(800)에 위치시킬 수 있다. 이 때, 인덱스 핸드(340)의 중심축(Dx)을 로드 포트(100)의 중심축(Ex)에 일치시킬 수 있다. 인덱스 핸드(340)의 중심축(Dx)은 인덱스 핸드(340)에 지지된 기판(W)의 중심축(Bx)에 대응하고, 로드 포트(100)의 중심축(Ex)은 로드 포트(100)에 안착된 캐리어(110)의 중심축(Cx)에 대응할 수 있다.
인덱스 핸드(340)의 중심축(Dx) 및 로드 포트(100)의 중심축(Ex)이 일치하더라도 로드 포트(100)에 대하여 인덱스 로봇(300)의 오차 거리(D) 및 오차 각도(A)가 존재할 수 있다. 오차 거리(D) 및 오차 각도(A)가 0을 초과하거나 사전에 설정된 임계치를 초과하는 상태에서 인덱스 로봇(300)의 현재 위치가 인덱스 로봇(300)의 기준 위치로 설정되는 경우 캐리어(110)의 개구면에 대하여 경사진 방향으로 인덱스 핸드(340)의 직선 이동이 수행될 수 있다. 따라서, 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 보정하는 것이 바람직하다.
사용자는 게이지(831, 832, 833, 834)가 인덱스 핸드(340)에 접촉할 때까지 게이지(831, 832, 833, 834)를 트랙(821, 822)을 따라 이동시킬 수 있다. 각 게이지(831, 832, 833, 834)는 트랙(821, 822)상에서의 위치를 측정할 수 있다. 전술한 인덱스 로봇(300)의 위치 설정 정보는 제1 게이지(831) 및 제2 게이지(832)의 제1 트랙(821)상의 위치와 제3 게이지(833) 및 제4 게이지(834)의 제2 트랙(822)상의 위치가 참조되어 결정될 수 있다.
게이지(831, 832, 833, 834)의 위치는 트랙(821, 822)의 양측 말단에 대한 거리일 수 있다. 측정된 거리는 게이지(831, 832, 833, 834)의 화면에 표시될 수 있다. 사용자는 각 게이지(831, 832, 833, 834)에 표시된 측정값을 확인할 수 있다. 확인된 측정값은 후술하는 정보 산출 장치에 입력될 수 있다.
도 10은 정보 산출 장치를 나타낸 도면이고, 도 11 내지 도 13은 도 10에 도시된 정보 산출 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10을 참조하면, 정보 산출 장치(900)는 인터페이스 화면(910)을 포함할 수 있다.
본 발명에서 정보 산출 장치(900)는 PC(Personal Computer)와 같이 고정된 장치일 수 있고, 랩톱 또는 스마트폰과 같이 휴대용 장치일 수도 있다.
인터페이스 화면(910)은 인덱스 핸드(340)의 이미지(920), 측정값 입력 박스(931, 932, 933, 934), 위치 설정 정보 박스(941, 942) 및 제어 버튼(951, 952)을 포함할 수 있다.
측정값 입력 박스(931, 932, 933, 934)는 게이지(831, 832, 833, 834)의 측정값을 입력 받을 수 있다. 사용자는 측정값 입력 박스(931, 932, 933, 934)에 게이지(831, 832, 833, 834)의 측정값을 입력할 수 있다. 이 때, 사용자는 인터페이스 화면(910)에 표시된 인덱스 핸드(340)의 이미지(920)를 참조하여 제1 게이지(831)의 측정값을 제1 측정값 입력 박스(931)에 입력하고, 제2 게이지(832)의 측정값을 제2 측정값 입력 박스(932)에 입력하고, 제3 게이지(833)의 측정값을 제3 측정값 입력 박스(933)에 입력하며, 제4 게이지(834)의 측정값을 제4 측정값 입력 박스(934)에 입력할 수 있다. 도 11은 측정값 입력 박스(931, 932, 933, 934)에 게이지(831, 832, 833, 834)의 측정값이 입력된 것을 도시하고 있다.
게이지(831, 832, 833, 834)의 측정값이 입력되면 사용자는 제어 버튼(951, 952) 중 계산 버튼(951)을 선택하여 위치 설정 정보가 산출되도록 할 수 있다. 정보 산출 장치(900)의 정보 산출부(미도시)는 입력된 게이지(831, 832, 833, 834)의 측정값을 이용하여 인덱스 로봇(300)의 보정된 기준 위치를 설정하는데 이용되는 위치 설정 정보를 산출할 수 있다. 그리고, 산출된 위치 설정 정보는 위치 설정 정보 박스(941, 942)에 표시될 수 있다. 위치 설정 정보 박스(941, 942)는 보정 각도를 표시하는 보정 각도 박스(941)와 보정 거리를 표시하는 보정 거리 박스(942)를 포함할 수 있다. 도 12는 위치 설정 정보 박스(941, 942)에 위치 설정 정보가 표시된 것을 도시하고 있다.
위치 설정 정보의 산출이 완료된 경우 사용자는 초기화 버튼(952)을 선택하여 또 다른 위치 설정 정보가 산출되도록 할 수 있다.
본 발명에서 위치 설정 정보는 인덱스 핸드(340)가 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 반입되거나 반출되도록 하는 인덱스 베이스(310)에 대한 인덱스 암(330)의 보정 각도 및 인덱스 베이스(310)의 보정 거리를 포함할 수 있다. 예를 들어, 보정 각도 및 보정 거리가 인덱스 로봇(300)에 적용되어 인덱스 로봇(300)의 기준 위치가 보정되는 경우 전술한 오차 거리(D) 및 오차 각도(A)가 0이거나 0에 근접할 수 있는 것이다.
사용자는 정보 산출 장치(900)에 의해 산출된 위치 설정 정보를 기판 처리 장치(10)에 입력할 수 있다. 제어 모듈(14)은 입력된 위치 설정 정보를 이용하여 인덱스 로봇(300)의 기준 위치를 설정할 수 있다. 또는, 정보 산출 장치(900)는 제어 모듈(14)로 위치 설정 정보(INF)를 송신할 수도 있다. 이를 위하여, 정보 산출 장치(900)는 제어 모듈(14)과의 통신을 위한 통신 모듈(미도시)을 포함할 수 있다. 또한, 도 13에 도시된 바와 같이 정보 산출 장치(900)의 인터페이스 화면(910)에는 송신 버튼(953)이 포함될 수 있다. 위치 설정 정보가 산출된 상태에서 사용자가 송신 버튼(953)을 선택하는 경우 위치 설정 정보(INF)가 제어 모듈(14)로 송신될 수 있다. 이에, 제어 모듈(14)은 인덱스 로봇(300)에 대한 기준 위치를 설정할 수 있다.
도 14는 도 9에 도시된 인덱스 로봇의 기준 위치가 설정되는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 14를 참조하면, 인덱스 로봇(300)의 기준 위치가 설정될 수 있다.
인덱스 로봇(300)의 인덱스 베이스(310)는 제어 모듈(14)의 제어에 의해 보정 거리(Da)만큼 이동할 수 있다. 또한, 인덱스 베이스(310)가 보정 거리(Da)만큼 이동함에 따라 로드 포트(100)의 중심축(Ex)과 인덱스 로봇(300)의 회전축(Ax) 간에 제2 방향(Y)으로의 오차(D)가 제거될 수 있다.
인덱스 로봇(300)이 보정 거리(Da)만큼 이동할 때 인덱스 핸드(340)의 중심축(Dx) 및 로드 포트(100)의 중심축(Ex)은 일치된 상태를 유지할 수 있다. 즉, 해당 중심축(Dx, Ex)을 기준으로 인덱스 몸체(320)에 대하여 인덱스 암(330)이 회전할 수 있는 것으로서, 회전 각도는 보정 각도(Aa)에 대응할 수 있다.
보정 거리(Da) 및 보정 각도(Aa)가 적용된 상태의 인덱스 로봇(300)의 위치가 기준 위치로 설정될 수 있다. 이후에 해당 로드 포트(100)에 안착된 캐리어(110)에 대하여 기판(W)의 반입 및 반출 작업이 수행되는 경우 인덱스 로봇(300)은 기준 위치에서 작업을 수행할 수 있다. 이 때, 보정 거리(Da) 및 보정 각도(Aa)가 적용되어 인덱스 로봇(300)의 기준 위치가 설정됨에 따라 인덱스 핸드(340)는 캐리어(110)의 개구면에 수직한 방향으로 직선 이동을 수행할 수 있다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판 처리 장치 11: 인덱스 모듈
12: 로딩 모듈 13: 공정 모듈
14: 제어 모듈 100: 로드 포트
110: 캐리어 200: 이송 프레임
210: 인덱스 레일 221, 222: 인덱스 도어
300: 인덱스 로봇 310: 인덱스 베이스
320: 인덱스 몸체 330: 인덱스 암
340: 인덱스 핸드 341: 지지부
410: 로드락 챔버 420: 언로드락 챔버
500: 이송 챔버 511, 512: 이송 도어
520: 공정 도어 600: 공정 챔버
700: 이송 로봇 710: 이송 베이스
720: 이송 몸체 730: 이송 암
740: 이동 핸드 800: 위치 설정 장치
810: 베이스부 821, 822: 트랙
831, 832, 833, 834: 게이지 900: 정보 산출 장치
910: 인터페이스 화면 920: 인덱스 핸드의 이미지
931, 932, 933, 934: 측정값 입력 박스
941, 942: 위치 설정 정보 박스 951, 952: 제어 버튼

Claims (8)

  1. 기판에 대한 공정 처리를 수행하는 공정 모듈;
    상기 공정 모듈로 기판을 삽입하고, 상기 공정 모듈에서 공정 처리가 완료된 기판을 인출하는 인덱스 모듈; 및
    상기 공정 모듈 및 상기 인덱스 모듈의 동작을 제어하는 제어 모듈을 포함하되,
    상기 인덱스 모듈은,
    기판의 적재가 가능한 캐리어의 안착면을 제공하는 로드 포트;
    상기 로드 포트에 안착된 캐리어에 대하여 기판의 반입 및 반출을 수행하는 인덱스 로봇; 및
    상기 인덱스 로봇의 작업 공간을 제공하는 이송 프레임을 포함하고,
    상기 제어 모듈은 위치 설정 장치가 이용되어 확인된 상기 인덱스 로봇의 위치 설정 정보를 참조하여 상기 인덱스 로봇의 기준 위치를 설정하는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 인덱스 로봇은,
    상기 인덱스 프레임에 구비된 인덱스 레일을 따라 이동 가능한 인덱스 베이스;
    상기 인덱스 베이스에 대하여 직선 이동 또는 회전 가능한 인덱스 암;
    상기 인덱스 암에 직선 이동 가능하도록 결합되고, 기판을 지지하는 인덱스 핸드를 포함하되,
    상기 인덱스 핸드는 상기 인덱스 암에 대하여 직선 이동하여 상기 캐리어에 삽입되거나 상기 캐리어에서 배출되는 기판 처리 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 위치 설정 장치는,
    상기 로드 포트에 결합 가능한 베이스부;
    상기 베이스부에 일측 방향으로 길게 배치된 트랙; 및
    상기 트랙을 따라 이동 가능하고, 상기 트랙상에서의 위치를 측정하는 게이지를 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 트랙은,
    상기 베이스부에 배치된 제1 트랙; 및
    상기 제1 트랙에 대하여 일정 거리만큼 이격되어 상기 제1 트랙에 평행하게 배치된 제2 트랙을 포함하고,
    상기 게이지는,
    상기 제1 트랙을 따라 이동 가능한 제1 및 제2 게이지; 및
    상기 제2 트랙을 따라 이동 가능한 제3 및 제4 게이지를 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 인덱스 로봇의 위치 설정 정보는 상기 제1 및 제2 게이지의 상기 제1 트랙상의 위치와 상기 제3 및 제4 게이지의 상기 제2 트랙상의 위치가 참조되어 결정되는 기판 처리 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 위치 설정 정보를 산출하는 정보 산출 장치를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 정보 산출 장치는 상기 제어 모듈로 상기 위치 설정 정보를 송신하는 기판 처리 장치.
  8. 제2 항에 있어서,
    상기 위치 설정 정보는 상기 인덱스 핸드가 상기 캐리어의 개구면에 수직한 방향으로 반입되거나 반출되도록 하는 상기 인덱스 베이스에 대한 상기 인덱스 암의 보정 각도 및 상기 인덱스 베이스의 보정 거리를 포함하는 기판 처리 장치.
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