KR20210132709A - 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 도통성을 향상시키기 위해, 구성 부품 수를 줄여, 탄성 부재의 접동성을 향상시킬 수 있고, 접촉대상의 특성에 따라 탄성력을 제어할 수 있어, 접촉대상과의 전기적인 접촉 안정성을 향상시킬 수 있도록 한다.
[해결수단] 본 발명의 전기적 접촉자는, 도전성을 가지는 판상 부재를 권회하여 형성된 것이며, 판상 부재의 제1 선단부를 권회하여 형성된 제1 접촉부와, 끝이 가늘어지는 형상의 상부 암부를 권회하여 형성된 제1 탄성부와, 제2 선단부를 권회하여 형성된 제2 접촉부와, 끝이 가늘어지는 형상의 하부 암부를 권회하여 형성된 제2 탄성부와, 판부재의 본체부를 권회하여 형성된 통상부를 갖춘다.

Description

전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치

본 발명은, 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치에 관한 것으로, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 상의 집적 회로나 피검사체의 통전(通電) 시험에 이용하는 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치에 적용할 수 있는 것이다.

반도체 웨이퍼 상에 형성된 집적 회로나, 패키지화된 집적 회로 등의 피검사체는, 각각의 제조 단계에서 전기적 특성의 검사가 실시된다. 반도체 웨이퍼 상의 집적 회로의 전기적 검사에는, 프로브 카드 등의 전기적 접속 장치가 이용되고, 패키지화된 집적 회로의 전기적 검사에는 소켓 등의 전기적 접속 장치가 이용된다. 이러한 전기적 접속 장치에서는, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 접촉하는 전기적 접촉자가 이용되고, 전기적 접촉자를 통해 제1 접촉대상과 제2 접촉대상과의 사이에서 전기 신호의 도통을 실시하고 있다.

종래, 전기적 접촉자로는, 다양한 것이 있지만, 복수의 구성 부품을 조합해 형성되는 전기적 접촉자가 있다. 이러한 복수의 구성 부품으로 형성되는 전기적 접촉자를 이용하여, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상과의 사이에서 전기 신호를 도통시키는 경우, 구성 부품끼리의 접촉 개소에서 저항이 커져, 도통성에 영향이 생길 수 있다.

특허문헌 1에는, 박육(薄肉) 띠형상(帶狀)의 기판을 굽힘(bending) 가공하여, 나선상(螺旋狀)의 통상(筒狀) 슬리브와, 통상 슬리브의 일단에 제1 단자와, 통상 슬리브의 타단에 제2 단자를 일체 성형한 스프링 프로브가 개시되어 있다. 이러한 스프링 프로브는, 박육 띠형상의 기판에 일체적으로 형성되어 있으므로, 도전성(導電性)이 양호해진다.

[특허문헌 1] 일본 특허공개공보 2011-12992호

그렇지만, 특허문헌 1에 기재된 스프링 프로브는, 평판(平板)을 나선상으로 구부려서 통상 슬리브를 형성한 것이기 때문에, 제1 단자 및 제2 단자가 접촉대상에 접촉해 하중이 작용했을 때, 통상 슬리브의 접동성이 충분하지 않아, 양호한 탄성력을 얻을 수 없는 경우가 있고, 또한, 통상 슬리브의 탄성력을 조정하기 어렵다고 하는 과제가 있다. 그 결과, 접촉대상에 대해서 안정된 전기적 접촉성을 얻을 수 없는 경우가 생길 수 있다.

그래서 본 발명은, 상기 과제를 감안하여, 도통성을 향상시키기 위해, 적은 부품 수로 형성되어, 탄성 부재의 접동성을 향상시킬 수 있고, 접촉대상의 특성에 따라 탄성력을 제어할 수 있어, 접촉대상과의 전기적인 접촉 안정성을 향상시킬 수 있는 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치를 제공하려고 하는 것이다.

이러한 과제를 해결하기 위해, 제1의 본 발명의 전기적 접촉자는, 도전성을 가지는 판상 부재로 형성된 전기적 접촉자에 있어서, 판상 부재가, 본체부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 상방을 향해 연출(延出)하는 끝이 가늘어지는 형상(tapered shapes)의 상부 암부와, 상기 상부 암부의 선단에 설치된 제1 선단부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 하방을 향해 연출하는 끝이 가늘어지는 형상의 하부 암부와, 상기 하부 암부의 선단에 설치된 제2 선단부를 갖추고, 상기 제1 선단부를 권회(卷回, Winding)하여 형성된, 제1 접촉대상과 접촉하는 제1 접촉부와, 상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 상부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 상부 암부의 상단부가 내측의 상기 상부 암부의 하단부의 외주(外周)를 덮도록 형성된 제1 탄성부와, 상기 제2 선단부를 권회하여 형성된, 제2 접촉대상과 접촉하는 제2 접촉부와, 상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 하부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 하부 암부의 하단부가 내측의 상기 하부 암부의 상단부의 외주를 덮도록 형성된 제2 탄성부와, 상기 본체부를 권회하여 형성된 것이며, 상기 제1 탄성부의 기단부(基端部)와 상기 제2 탄성부의 기단부를 내측에 수용하는 통상부를 갖추는 것을 특징으로 한다.

제2의 본 발명의 전기적 접촉자는, 도전성을 가지는 판상 부재로 형성된 전기적 접촉자에 있어서, 상기 판상 부재가, 본체부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 상방을 향해 연출하는 끝이 가늘어지는 형상의 상부 암부와, 상기 상부 암부의 선단에 설치된 선단부와, 상기 본체부의 하단부에 설치되어 복수의 산형(山形) 돌기부를 갖추고, 상기 선단부를 권회하여 형성된, 제1 접촉대상과 접촉하는 제1 접촉부와, 상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 상부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 상부 암부의 상단부가 내측의 상기 상부 암부의 하단부의 외주를 덮도록 형성된 탄성부와, 상기 본체부를 권회하여 형성된 것이며, 상기 탄성부의 기단부를 내측에 수용하는 것과 함께, 하단부의 상기 복수의 산형 돌기부를 수반해 제2 접촉대상과 접촉하는 통상부를 갖추는 것을 특징으로 한다.

제3의 본 발명의 전기적 접속 장치는, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 접촉시키는 복수의 전기적 접촉자를 갖추는 전기적 접속 장치에 있어서, 상기 복수의 전기적 접촉자가, 제1 또는 제2의 본 발명의 전기적 접촉자인 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 도통성을 향상시키기 위해, 적은 부품 수로 형성되어, 탄성 부재의 접동성을 향상시킬 수 있고, 접촉대상의 특성에 따라 탄성력을 제어할 수 있어, 접촉대상과의 전기적인 접촉 안정성을 향상시킬 수 있다.

[도 1] 제1 실시 형태에 따른 접속자의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 2] 제1 실시 형태의 접속자를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 3] 제1 실시 형태에 따른 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 4] 실시 형태의 접속자의 제조 방법을 설명하는 설명도이다(그 1).
[도 5] 실시 형태의 접속자의 제조 방법을 설명하는 설명도이다(그 2).
[도 6] 제1 실시 형태의 접속자의 하우징 상태와 하중을 받았을 때의 상태를 예시하는 도이다.
[도 7] 제2 실시 형태의 전기적 접촉자의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 8] 제2 실시 형태의 전기적 접촉자를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 9] 제3 실시 형태의 전기적 접촉자의 구성과 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 10] 제4 실시 형태의 전기적 접촉자를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 11] 제4 실시 형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타내는 구성도이다.
[도 12] 제5 실시 형태에 따른 전기적 접촉자의 구성과 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다(그 1).
[도 13] 제5 실시 형태에 따른 전기적 접촉자의 구성과 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다(그 2).
[도 14] 제5 실시 형태에 따른 전기적 접촉자의 구성과 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다(그 3).

(A) 제1 실시 형태

이하에서는, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치의 제1 실시 형태를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

이 실시 형태에서는, 본 발명에 따른 전기적 접촉자를, 후술하는 것처럼, 전기적 접속 장치의 구성 부재인 전기적 접속 유닛에 탑재되는 접속자에 적용하는 경우를 예시한다. 덧붙여, 본 발명에 따른 전기적 접촉자는, 이하의 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명에 따른 전기적 접촉자는, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 전기적으로 접촉하여, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상과의 사이에서 전기 신호를 도통 가능하게 하는 것에 적용할 수 있다.

또, 이 실시 형태에서는, 본 발명에 따른 전기적 접속 장치를, 반도체 웨이퍼 상에 형성되어 있는 집적 회로를 피검사체로 하여, 상기 피검사체의 전기적 검사에 이용되는 전기적 접속 장치에 적용하는 경우를 예시한다. 덧붙여, 본 발명에 따른 전기적 접속 장치는, 본 발명에 따른 전기적 접촉자를 이용하여, 제1 접촉대상과 제2 접촉대상과의 사이에서 전기 신호를 도통시켜 전기적으로 접속시키는 것에 적용할 수 있다.

(A-1) 제1 실시 형태의 구성

(A-1-1) 전기적 접속 장치

도 3은, 제1 실시 형태에 따른 전기적 접속 장치의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 3의 전기적 접속 장치(10)는, 주요한 구성 부재를 도시하고 있지만, 이러한 구성 부재로 한정되지 않고, 실제로는 도 3에 도시하지 않은 구성 부재도 가진다. 또, 이하에서는, 도 3 중의 상하 방향에 주목하여, 「위(上)」, 「아래(下)」를 언급하는 것으로 한다.

도 3에서, 이 실시 형태에 따른 전기적 접속 장치(10)는, 평판상(平板狀)의 지지 부재(12)와, 상기 지지 부재(12)의 하면(12a)에 유지(保持)되는 평판상의 배선 기판(14)과, 상기 배선 기판(14)과 전기적으로 접속되는 전기적 접속 유닛(15)과, 상기 전기적 접속 유닛(15)과 전기적으로 접속하는 것과 함께, 복수의 프로브(20)를 가지는 프로브 기판(16)을 가진다.

전기적 접속 장치(10)는, 지지 부재(12), 배선 기판(14), 전기적 접속 유닛(15), 프로브 기판(16)을 조립할 때에, 다수의 고정 부재(예를 들면, 볼트 등의 나합 부재 등)를 이용하고 있지만, 도 3에서는 이러한 고정 부재를 도시하고 있지 않다.

전기적 접속 장치(10)는, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 집적 회로 등을 피검사체(2)로 하여, 피검사체(2)의 전기적인 검사를 실시하는 것이다. 구체적으로는, 피검사체(2)를 프로브 기판(16)을 향해 압압하여, 프로브 기판(16)의 각 프로브(20)의 선단부와 피검사체(2)의 전극 단자(2a)를 전기적으로 접촉시켜, 도시하지 않은 테스터(검사 장치)로부터 피검사체(2)의 전극 단자(2a)에 전기 신호를 공급하고, 게다가, 피검사체(2)의 전극 단자(2a)로부터의 전기 신호를 테스터측에 주는 것으로, 피검사체(2)의 전기적인 검사를 실시한다.

검사 대상인 피검사체(2)는 척톱(chuck-top)(3)의 상면에 재치(載置)된다. 척톱(3)은, 수평 방향의 X축 방향, 수평면 상에서 X축 방향에 대해 수직인 Y축 방향, 수평면(X-Y 평면)에 대해 수직인 Z축 방향으로 위치 조정이 가능한 것이며, 게다가, Z축 회전의 θ방향으로 회전 자세를 조정 가능하다. 피검사체(2)의 전기적 검사를 실시할 때, 상하 방향(Z축 방향)으로 승강 가능한 척(chuck)을 이동시켜, 피검사체(2)의 전극 단자(2a)를 프로브 기판(16)의 각 프로브(20)의 선단부에 전기적으로 접촉시키기 위해, 전기적 접속 장치(10)의 프로브 기판(16)의 하면과, 척톱(3)의 상면의 피검사체(2)가 상대적으로 가까워지도록 이동시킨다.

[지지 부재]

지지 부재(12)는, 배선 기판(14)의 변형(예를 들면, 휘어짐 등)을 억제하는 것이다. 예를 들면, 프로브 기판(16)은 다수의 프로브(20)를 가지고 있기 때문에, 배선 기판(14)측에 장착되는 프로브 기판(16)의 중량은 커지고 있다. 또, 피검사체(2)의 전기적인 검사가 실시될 때, 프로브 기판(16)이, 척톱(3) 상의 피검사체(2)에 의해 강압되는 것에 의해, 프로브 기판(16)의 하면에 돌출해 있는 프로브(20)의 선단부와 피검사체(2)의 전극 단자(2a)가 접촉한다. 이와 같이, 전기적 검사 시, 아래에서 위를 향해 밀어 올리는 반력(反力)(컨택트 하중)이 작용하여, 배선 기판(14)에도 큰 하중이 가해진다. 지지 부재(12)는, 배선 기판(14)의 변형(예를 들면, 휘어짐 등)을 억제하는 부재로서 기능한다.

또, 지지 부재(12)에는, 상면과 하면을 관통시킨 복수의 관통공(121)이 마련되어 있다. 복수의 관통공(121)의 각각은, 후술하는 프로브 기판(16)의 상면에 배치시키는 복수의 앵커(anchor)(50)의 각각의 위치와 대응하는 위치에 마련되어 있고, 또한, 배선 기판(14)에 마련한 복수의 관통공(141)의 각각의 위치와 대응하는 위치에 마련되어 있다.

지지 부재(12)의 각 관통공(121)에는, 스페이서(이하, 「지지부」라고도 부른다.)(51)가, 지지 부재(12)의 상방에서 하방을 향하여 삽통(澁痛)되고, 스페이서(지지부)(51)의 하단부와, 대응하는 앵커(50)가 고정 가능한 구성으로 되어 있다. 예를 들면, 스페이서(지지부)(51)의 하단부는 수나사부로 되어 있고, 또, 프로브 기판(16)의 상면에 배치되는 앵커(50)의 대략 중앙부는 암나사부(501)로 되어 있고, 스페이서(지지부)(51)의 하단부(수나사부)가 앵커(50)의 암나사부에 나합하는 것으로 고정할 수 있다. 이에 따라, 프로브 기판(16)의 상면과, 지지 부재(12)의 상면과의 사이의 거리를 소정의 거리길이(距離長)로 유지할 수 있도록 하고 있다.

[배선 기판]

배선 기판(14)은, 예를 들면, 폴리이미드 등의 수지 재료로 형성된 것이며, 예를 들면, 대략 원형 판상으로 형성된 프린트 기판 등이다. 배선 기판(14)의 상면의 주연부(周緣部)에는, 테스터(검사 장치)의 테스트 헤드(도시하지 않음)와 전기적으로 접속하기 위한 다수의 전극 단자(도시하지 않음)가 배치되어 있다. 또, 배선 기판(14)의 하면에는, 배선 패턴이 형성되어 있고, 배선 패턴의 접속 단자(14a)가, 전기적 접속 유닛(15)에 설치되어 있는 포고핀(Pogo pin) 등의 접속자(30)의 상단부와 전기적으로 접속하도록 되어 있다.

게다가, 배선 기판(14)의 내부에는 배선 회로(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 배선 기판(14)의 하면의 배선 패턴과, 배선 기판(14)의 상면의 전극 단자는, 배선 기판(14) 내부의 배선 회로를 통하여 접속 가능하게 되어 있다. 따라서, 배선 기판(14) 내의 배선 회로를 통하여, 배선 기판(14)의 하면의 배선 패턴의 접속 단자(14a)에 전기적으로 접속하는 전기적 접속 유닛(15)의 각 접속자(30)와, 배선 기판(14)의 상면의 전극 단자에 접속하는 테스트 헤드와의 사이에서 전기 신호를 도통시킬 수 있다. 배선 기판(14)의 상면에는, 피검사체(2)의 전기적 검사에 필요한 복수의 전자 부품도 배치되어 있다.

또, 배선 기판(14)에는, 상기 배선 기판(14)의 상면과 하면을 관통시킨 복수의 관통공(141)이 마련되어 있다. 복수의 관통공(141)의 각각은, 프로브 기판(16)의 상면에 배치되는 복수의 앵커(50)의 각각의 위치와 대응하는 위치에 배치되고, 또한, 지지 부재(12)의 복수의 관통공(121)의 각각의 위치와 대응하는 위치에 배치되어 있다.

덧붙여, 각 관통공(141)의 개구 형상은, 삽통되는 지지부(51)의 형상에 대응한 형상으로 할 수 있다. 또, 각 관통공(141)에 지지부(51)를 삽통 가능하게 하기 위해, 각 관통공(141)의 내경(內徑)은, 지지부(51)의 외경(外徑)과 동일한 정도 또는 약간 크게 되어 있다.

이 실시 형태에서는, 지지부(51)가 원기둥 부재인 경우를 예시하기 위해, 관통공(141)의 개구 형상이 대략 원형인 경우를 예시하지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 지지부(51)의 단면 형상이 대략 정방형(正方形) 등인 직각기둥 부재나, 상기 단면 형상이 다각형인 다각기둥 부재 등이어도 무방하고, 이러한 예의 경우에도, 관통공(141)의 개구 형상은, 지지부(51)를 삽통 가능한 형상으로 할 수 있다.

[전기적 접속 유닛]

전기적 접속 유닛(15)은, 예를 들면, 포고핀 등과 같은 복수의 접속자(30)를 가지고 있다. 전기적 접속 장치(10)의 조립 상태에서는, 각 접속자(30)의 상단부가, 배선 기판(14)의 하면의 배선 패턴의 접속 단자(14a)에 전기적으로 접속되고, 또, 각 접속자(30)의 하단부가, 프로브 기판(16)의 상면에 설치된 패드에 접속된다. 프로브(20)의 선단부가 피검사체(2)의 전극 단자에 전기적으로 접촉하므로, 피검사체(2)의 전극 단자는, 프로브(20) 및 접속자(30)를 통해서 테스터(검사 장치)와 전기적으로 접속되기 때문에, 피검사체(2)는 테스터(검사 장치)에 의한 전기적인 검사가 가능해진다.

예를 들면, 전기적 접속 유닛(15)은, 각 접속자(30)를 삽통하기 위해, 복수의 삽통공을 가지고 있고, 각 삽통공에 접속자(30)가 삽통되는 것으로, 각 접속자(30)의 상단부 및 하단부가 돌출하도록 되어 있다. 덧붙여, 전기적 접속 유닛(15)에서, 복수의 접속자(30)를 장착하는 구조는, 관통공을 마련하는 구성으로 한정되지 않고, 다양한 구성을 넓게 적용할 수 있다. 전기적 접속 유닛(15)의 주위에는 플랜지부(151)가 설치되어 있다.

[프로브 기판]

프로브 기판(16)은, 복수의 프로브(20)를 가지는 기판이며, 대략 원형 혹은 다각형(예를 들면, 16각형 등)으로 형성된 것이다. 프로브(20)는, 예를 들면, 캔틸레버(cantilever)형의 프로브 등을 이용할 수 있지만, 이것으로 한정되지 않는다. 또, 프로브 기판(16)은, 예를 들면, 세라믹판으로 형성되는 기판 부재(161)와, 이 기판 부재(161)의 하면에 형성된 다층 배선 기판(162)을 가진다.

세라믹 기판인 기판 부재(161)의 내부에는, 판두께 방향으로 관통하는 다수의 도전로(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 또, 기판 부재(161)의 상면에는, 패드(161a)가 형성되어 있고, 기판 부재(161) 내의 도전로의 일단이, 상기 기판 부재(161)의 상면의 대응하는 패드(161a)와 접속하도록 형성되어 있다. 게다가, 기판 부재(161)의 하면에서는, 기판 부재(161) 내의 도전로의 타단이, 다층 배선 기판(162)의 상면에 설치된 접속 단자와 접속되도록 형성되어 있다.

다층 배선 기판(162)은, 예를 들면, 폴리이미드 등의 합성 수지 부재로 형성된 복수의 다층 기판으로 형성되어 있고, 복수의 다층 기판의 사이에 배선로(도시하지 않음)가 형성된 것이다. 다층 배선 기판(162)의 배선로의 일단은, 세라믹 기판인 기판 부재(161)측의 도전로의 타단과 접속하고 있고, 다층 배선 기판(162)의 타단은, 다층 배선 기판(162)의 하면에 설치된 프로브 랜드에 접속되어 있다. 다층 배선 기판(162)의 하면에 설치된 프로브 랜드에는, 복수의 프로브(20)가 배치되어 있고, 프로브 기판(16)의 복수의 프로브(20)는, 전기적 접속 유닛(15)을 통하여, 배선 기판(14)의 대응하는 접속 단자(14a)와 전기적으로 접속하고 있다.

(A-1-2) 접속자(전기적 접촉자)

도 1은, 제1 실시 형태에 따른 접속자(30)의 구성을 나타내는 구성도이다. 도 2는, 제1 실시 형태의 접속자(30)를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기적 접촉자의 일례인 접속자(30)는, 통상부(32)와, 제1 접촉대상으로서의 배선 기판(14)의 접속 단자(14a)와 접촉하는 제1 접촉부(34)와, 제1 접촉부(34)가 접속 단자(14a)와 접촉하여 하중을 받았을 때 상하 방향으로 탄성적으로 부세하는 상부 탄성부(33)와, 제2 접촉대상으로서의 기판 부재(161)의 패드(161a)와 접촉하는 제2 접촉부(36)와, 제2 접촉부(6)가 패드(161a)와 접촉하여 하중을 받았을 때에 상하 방향으로 탄성적으로 부세하는 하부 탄성부(35)를 가진다.

도 1의 접속자(30)는, 도 2의 판상 부재(40)를 성형 가공(예를 들면, 라운딩(rounding) 가공, 굽힘(bending) 가공 등)하여 형성된다. 즉, 도 2의 판상 부재(40)는, 도 1의 접속자(30)의 성형 가공 전의 부재이며, 도전성 재료로 형성된 판상의 부재이다. 따라서, 접속자(30)는, 도전성 재료로 형성된 판상 부재를 성형 가공해 형성되게 되므로, 전기 신호의 도통성을 안정화시킬 수 있다. 바꿔 말하면, 복수의 부품을 조합해 형성되는 전기적 접촉자는, 복수의 부품끼리 서로 접촉해서 전기 신호를 도통하게 되므로, 복수의 부품 간의 접촉 개소에서 저항이 커져, 도통성이 불안정해지는 경우가 있다. 이에 대해, 판상 부재를 성형 가공해 형성되는 접속자(30)는, 부품 간의 접촉 개소가 없거나 혹은 줄일 수 있으므로, 전기 신호의 도통성을 안정화 할 수 있다.

덧붙여, 판상 부재(40)는, 예를 들면, 귀금속 또는 금속으로 형성된 판상 부재, 혹은, 판상의 부재의 표면을 귀금속 또는 금속으로 도금 가공해 얻은 판상 부재이며, 판상의 부재를 펀칭(punching) 가공 등을 실시해 형성된다. 또, 예를 들면, 판상 부재(40)는, 제1 접촉대상 및/또는 제2 접촉대상과 접촉하는 개소(후술하는 제1 선단부(44) 및/또는 제2 선단부(46))를 귀금속 등으로 하고, 그 이외의 부분을 예를 들면, 바이메탈 등의 탄성(예를 들면, 용수철성)이 뛰어난 부재로 형성해도 무방하다. 이와 같이, 제1 접촉대상 및/또는 제2 접촉대상과의 접촉 개소를 귀금속 등으로 함으로써 도통성을 양호하게 할 수 있는 것과 함께, 그 이외의 부분을 예를 들면, 바이메탈 등의 부재로 함으로써, 그 부분의 탄성(예를 들면, 용수철성)을 양호하게 할 수 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 판상 부재(40)는, 본체부(42)와, 상부 암부(43)와, 상부 암부(43)의 선단에 설치된 제1 선단부(44)와, 하부 암부(45)와, 하부 암부(45)의 선단에 설치된 제2 선단부(46)를 가진다.

[본체부]

본체부(42)는, 대략 장방형상(長方形狀)의 판상의 부분이다. 후술하는 것처럼, 라운딩 가공에 의해 판상 부재(40)의 좌측의 구성요소측부터 권회해 가며, 접속자(30)를 형성한다. 접속자(30)가 형성되면, 본체부(42)는, 권회된 상부 암부(43)와 하부 암부(45)를 덮는 통상부(筒狀部)(32)가 되는 부분이다.

여기서, 본체부(42)의 4변의 단부(段部) 중, 상단부(421)와 하단부(422)의 단부는, 횡방향에 직선상(直線狀)으로 형성되고, 서로 평행하도록 형성된다. 판상 부재(40)를 권회하여 형성되는 접속자(30)의 통상부(32)는, 접속자(30)를 하우징할 때의 접속자(30)의 높이 방향의 위치 결정부로서 기능하게 된다. 따라서, 본체부(42)의 상단부(421)와 하단부(422)의 단부가 직선상으로 평행하게 형성되는 것으로, 하우징되는 접속자(30)의 자세를 안정화시킬 수 있다.

[상부 암부]

상부 암부(43)는, 본체부(42)의 4변의 단부 중, 어느 하나의 단부(도 2에서는 좌측 단부)와 일체적으로 연결되어 있고, 본체부(42)의 좌측 단부의 상부에 위치하고 있어, 본체부(42)의 좌측 단부로부터 왼쪽 경사 상방향으로 연출하는 부재이다.

상부 암부(43)는, 본체부(42)와 연결되어 있는 기단부(431)로부터 선단측(즉, 제1 선단부(44)측)으로 갈수록, 상하 방향(y방향)의 길이가 작아지는, 끝이 가늘어지는 형상(테이퍼 형상)으로 해도 무방하고, 기단부(431)로부터 선단측에 걸쳐 동일 폭으로 해도 무방하다. 바꿔 말하면, 본체부(42)와 연결되어 있는 상부 암부(43)의 기단부(431)의 y방향의 길이를 「a1」이라고 하고, 상부 암부(43)의 선단부(432)의 y방향의 길이를 「a2」라고 하면, a1≥a2의 관계가 있다. 이 실시 형태에서는, 상부 암부(43)가 끝이 가늘어지는 형상인 경우를 예시해 설명한다.

이와 같이, 상부 암부(43)를 끝이 가늘어지는 형상으로 함으로써, 라운딩 가공에 의해, 상부 암부(43)가 권회되면, 예를 들면, 벌류트 스프링(volute spring) 형상의 상부 탄성부(33)가 형성된다. 즉, 상부 암부(43)가 권회되어 형성되는 상부 탄성부(33) 중, 권회된 내측 부재의 하단부를, 권회된 외측 부재의 상단부가 덮은 상태가 된다. 그리고, 상부 탄성부(33)는, 상하 방향으로 탄성적으로 제1 접촉부(34)를 부세한다.

상부 암부(43)의 기단부(431)는, 본체부(42)의 좌측 단부의 상부 각부(423)로부터 약간 내려간 위치(상부 각부(423)로부터 이간한 위치)로부터 연출하고 있다. 여기서, 상부 각부(423)로부터 기단부(431)까지의 본체부(42)의 좌측 단부의 일부를 「단부(424)」라고 부른다. 이와 같이, 상부 각부(423)에서 단부(424)를 마련한 위치로부터 상부 암부(43)를 연출함으로써, 라운딩 가공에 의해, 판상 부재(40)를 권회해 가면, 권회된 상부 암부(43)(상부 탄성부(33))의 기단부(431)가, 본체부(42)에 덮이는 상태가 된다.

그렇게 하면, 판상 부재(40)가 권회되어 형성된 접속자(30)가 전기적 접속 유닛(15)에 하우징되고, 제1 접촉부(34)가 하중을 받으면, 상부 탄성부(33)의 기단부(431)가 통상부(32)에 내포된 상태에서, 상부 탄성부(33)가 상하 방향으로 탄성적으로 스트로크(stroke) 하게 된다. 따라서, 용수철로서 탄성적으로 구동하는 상부 탄성부(33)의 파손을 방지할 수 있다.

[제1 선단부]

제1 선단부(44)는, 상부 암부(43)의 선단에 설치되어 있고, 수직 상방으로 연출된 부분이다. 라운딩 가공에 의해, 제1 선단부(44)가 권회되는 것으로, 권회된 제1 선단부(44)는, 제1 접촉대상과 접촉하는 접속자(30)의 제1 접촉부(34)로서 기능한다.

[하부 암부]

하부 암부(45)는, 본체부(42)의 4변의 단부 중, 어느 하나의 단부(도 2에서는 좌측 단부)와 일체적으로 연결되어 있고, 본체부(42)의 좌측 단부 중 하부에 위치하고 있어, 본체부(42)의 좌측 단부로부터 왼쪽 경사 하방향으로 연출하는 부재이다. 하부 암부(45)의 기단부(451)는, 상부 암부(43)의 기단부(431)의 위치 보다 하부에 위치하고 있고, 본체부(42)의 좌측 단부에 있어서, 하부 암부(45)의 기단부(451)와, 상부 암부(43)의 기단부(431)는 이간하고 있다.

하부 암부(45)도, 상부 암부(43)와 마찬가지로, 본체부(42)와 연결되어 있는 기단부(451)로부터 선단측(즉, 제2 선단부(46)측)으로 갈수록, 상하 방향(y방향)의 길이가 작아지는, 끝이 가늘어지는 형상(테이퍼 형상)으로 해도 무방하고, 기단부(431)로부터 선단측에 걸쳐 동일 폭으로 해도 무방하다. 바꿔 말하면, 본체부(42)와 연결되어 있는 하부 암부(45)의 기단부(451)의 y방향의 길이를 「b1」이라고 하고, 하부 암부(45)의 선단부(452)의 y방향의 길이를 「b2」라고 하면, b1≥b2의 관계가 있다. 이 실시 형태에서는, 하부 암부(45)가 끝이 가늘어지는 형상인 경우를 예시해 설명한다.

이처럼, 하부 암부(45)가 끝이 가늘어지는 형상으로 되어 있는 것으로, 라운딩 가공에 의해, 하부 암부(45)가 권회되면, 예를 들면, 벌류트 스프링(volute spring) 형상의 하부 탄성부(35)가 형성된다. 즉, 하부 암부(45)가 권회되어 형성되는 하부 탄성부(35) 중, 권회된 내측 부재의 상단부를, 권회된 외측 부재의 하단부가 덮은 상태가 된다. 그리고, 하부 탄성부(35)는, 상하 방향으로 탄성적으로 제2 접촉부(36)를 부세한다.

하부 암부(45)의 기단부(451)는, 본체부(42)의 좌측 단부의 하부 각부(425)로부터 약간 상측 위치(하부 각부(425)로부터 이간한 위치)로부터 연출하고 있다. 여기서, 하부 각부(425)로부터 기단부(451)까지의 본체부(42)의 좌측 단부의 일부를 「단부(426)」라고 부른다. 이와 같이, 하부 각부(425)에서 단부(426)를 마련한 위치로부터 하부 암부(45)를 연출함으로써, 라운딩 가공에 의해, 판상 부재(40)를 권회해 가면, 권회된 하부 암부(45)(하부 탄성부(35))의 기단부(451)가, 본체부(42)에 덮이는 상태가 된다.

그렇게 하면, 판상 부재(40)가 권회되어 형성된 접속자(30)가 전기적 접속 유닛(15)에 하우징되고, 제2 접촉부(36)가 하중을 받으면, 하부 탄성부(35)의 기단부(451)가 통상부(32)에 내포된 상태에서, 하부 탄성부(35)가 상하 방향으로 탄성적으로 스트로크 하게 된다. 따라서, 용수철로서 탄성적으로 구동하는 하부 탄성부(35)의 파손을 방지할 수 있다.

[제2 선단부]

제2 선단부(46)는, 하부 암부(45)의 선단에 설치되어 있고, 수직 하방으로 연출된 부분이다. 라운딩 가공에 의해, 제2 선단부(46)가 권회되는 것으로, 권회된 제2 선단부(46)는, 제2 접촉대상과 접촉하는 접속자(30)의 제2 접촉부(36)로서 기능한다.

[접속자의 제조 방법]

도 4 및 도 5는, 실시 형태의 접속자(30)의 제조 방법을 설명하는 설명도이다.

도 4(A)에서, 우선, 판상 부재(40)의 제1 선단부(44) 및 제2 선단부(46)에 대해 라운딩 가공을 실시하여, 제1 선단부(44) 및 제2 선단부(46)를 통상(筒狀)으로 둥글게 하여, 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(36)를 성형한다.

도 4(B)에서, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)에 대해 라운딩 가공을 실시해, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)의 선단측으로부터 기단부(431 및 451)를 향해 권회해 간다. 예를 들면, 여기에서는, 도 4 및 도 5의 평면시(平面視)에서, 반시계 방향으로 권회하는 경우를 예시한다. 이때, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)를 권회하는 중심축을 일치 또는 대략 일치시켜, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)의 권회 수를 같은 수로 하도록 해도 무방하다.

또, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)는, 기단부(431 및 451)로부터 선단측에 걸쳐서 끝이 가늘어지는 형상(테이퍼 형상)이기 때문에, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)의 권회를 반복하는 것으로, 상부 탄성부(33)의 내측 부재의 하단부의 일부는, 외측 부재의 상단부에 덮이고, 또, 하부 탄성부(35)의 내측 부재의 상단부의 일부는, 외측 부재의 하단부에 덮이게 되어, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)가 형성된다.

도 4(C)에 도시한 바와 같이, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)가 기단부(431 및 451)까지 권회되어, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)가 형성되면, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)에 대해 라운딩 가공을 더 실시하여, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 기단부(431 및 451)를 본체부(42)로 감싸도록, 통상(筒狀)으로 둥글게 한다.

도 5(A)에 도시한 바와 같이, 상부 암부(43)의 기단부(431)는, 상부 각부(423)에서 단부(424)를 마련한 위치로부터 연출하고 있고, 하부 암부(45)의 기단부(451)는, 하부 각부(425)에서 단부(426)를 마련한 위치로부터 연출하고 있으므로, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 기단부(431 및 451)가, 통상(筒狀)의 권회되는 본체부(42)의 내측에 덮인 상태가 된다.

그리고, 도 5(B)에 도시한 바와 같이, 본체부(42)의 남은 부분을 권회시켜서, 통상부(32)가 형성되면, 접속자(30)가 형성된다. 이와 같이, 접속자(30)는, 도전성 재료의 판상 부재(40)를 권회해 성형되므로, 전기 신호의 도통성을 안정화시킬 수 있다. 덧붙여, 본체부(42)의 단부는, 내측의 본체부(42)의 표면에 고정되도록 해도 무방하다. 즉, 본체부(42)를 권회해 형성되는 통상부(32)의 외형 구조를 유지하기 위해, 본체부(42)의 단부와 통상부(32)가 접촉하는 하나 또는 복수의 개소를, 예를 들면, 용접이나 접착제 등으로 고정하도록 해도 무방하다. 덧붙여, 통상부(32)의 외형 구조의 고정 방법은, 용접이나 접착제로 한정되지 않고, 코킹(caulking)을 치는 등 해도 무방하다.

도 6은, 제1 실시 형태의 접속자(30)의 하우징 상태와 하중을 받았을 때의 상태를 예시하는 도이다. 덧붙여, 접속자(30)의 하우징 방법 및 하우징 구조는 일례이며, 도 6의 구조로 한정되는 것은 아니다.

도 6(A)의 예에서는, 전기적 접속 유닛(15)에는, 접속자(30)를 삽통하기 위한 관통공(60)이 마련되어 있고, 관통공(60)에 접속자(30)가 삽통되는 것으로 한다. 관통공(60)의 내경은, 접속자(30)의 외형 보다 약간 크거나 혹은 동일한 정도로 한다. 또, 관통공(60)의 하부에는, 관통공(60)의 상부의 내경 보다 약간 내경이 작아지고 있고, 관통공(60)의 내면에 있어서 단차(段差)가 마련되고 있다. 이 관통공(60)의 내면의 단차에, 삽통된 접속자(30)의 통상부(32)의 하단부(321)가 지지되도록 되어 있다. 접속자(30)의 통상부(32)의 하단부(321)는, 플랫한 단면으로 되어 있기 때문에, 삽통된 접속자(30)는 안정된 자세로 수용된다.

도 6(B)에 도시한 바와 같이, 관통공(60)에 접속자(30)가 삽통되어, 제1 접촉대상인 접속 단자(14a)가 제1 접촉부(34)와 접촉해 하중을 받으면, 상부 탄성부(33)가 상하 방향으로 탄성한다. 제2 비접촉대상인 패드(161a)가 제2 접촉부(36)와 접촉해 하중을 받으면, 하부 탄성부(35)가 상하 방향으로 탄성한다.

전기적 접촉자인 접속자(30)의 축 방향(상하 방향)의 양단에 있는 상부 탄성부(33)와 하부 탄성부(35)는, 각각 서로 비대칭으로 형성되어 있으므로, 상부 탄성부(33)와 하부 탄성부(35)는 각각 독립적으로 상하 방향의 탄성을 가진다.

또, 벌류트 스프링(volute spring)으로서 기능하는 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 기단부(431 및 451)는, 통상부(32)의 내측에 있으므로, 하중을 받은 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)는, 통상부(32)의 내측에 있는 기단부(431 및 451)를 용수철 기능의 단으로서 상하 방향으로 탄성하게 된다. 그렇게 하면, 통상부(32)가, 하중을 받은 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 상하 방향으로 움직이는 스트로크를 규제할 수 있으므로, 용수철 기능으로서의 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 파손을 방지할 수 있다.

또, 통상부(32)로부터 돌출시키는 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 상하 방향의 높이길이(高長)를 조정함으로써, 하중을 받았을 때의 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 스트로크를 조정할 수 있다. 바꿔 말하면, 가동 스트로크가 크기 때문에, 접촉대상과의 접촉 하중의 크기 정도에 따라서, 접속자(30)의 부세력의 정도를 폭넓게 설정할 수 있다.

게다가, 통상부(32)의 상하 방향의 길이(높이)는 변하지 않기 때문에, 접속자(30)의 높이 방향의 위치 결정을 확실하게 할 수 있다.

또, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)는, 벌류트 스프링(volute spring)으로서 기능하므로, 하중을 받은 상하 방향으로 동작하는 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 접동성을 향상시킬 수 있다. 즉, 접속자가 복수의 구성 부품으로 형성되는 경우, 복수의 구성 부품 사이에 하중이 작용하여 상하 방향의 탄성을 가지므로, 그 접동 불량이 생기는 경우가 있다. 그러나, 이 실시 형태의 접속자(30)는, 종래보다 구성 부품 수를 줄인 구조이므로, 접동성이 향상된다.

(A-2) 제1 실시 형태의 효과

이상과 같이, 이 실시 형태의 전기적 접촉자(접속자)는, 종래보다 적은 구성 부품 수로 구성되어 있으므로, 접동성을 향상시킬 수 있고, 또한, 접촉대상과의 전기적인 접촉 안정성을 향상시킬 수 있다.

(B) 제2 실시 형태

다음으로, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치의 제2 실시 형태를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

(B-1) 제2 실시 형태의 구성

상술한 제1 실시 형태에서는, 반도체 웨이퍼 상의 집적 회로의 전기적인 검사를 실시하는 전기적 접속 장치의 전기적 접속 유닛에 탑재하는 접속자에, 본 발명의 전기적 접촉자를 적용하는 경우를 예시했다. 이 경우, 전기적 접촉자의 접촉대상이 플랫한 패드나 단자 등인 것이 많다.

그러나, 패키지화된 집적 회로의 전기적 검사에 이용되는 테스트 소켓 등의 소켓에 탑재되는 프로브에, 본 발명에 따른 전기적 접촉자를 적용하도록 해도 무방하다. 그 경우, 전기적 접촉자의 접촉대상이, 예를 들면, 땜납볼(solder ball) 등의 반원구상(半圓球狀)인 것이 있다.

그래서, 제2 실시 형태에서는, 땜납볼 등을 접촉대상으로 하는 경우에도 대응 가능한 전기적 접촉자를, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 7은, 제2 실시 형태의 전기적 접촉자(30A)의 구성을 나타내는 구성도이다. 도 8은, 제2 실시 형태의 전기적 접촉자(30A)를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 7에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태의 전기적 접촉자(30A)는, 통상부(32)와, 제1 접촉대상으로서의 배선 기판(14)의 접속 단자(14a)와 접촉하는 제1 접촉부(34)와, 제1 접촉부(34)가 접속 단자(14a)와 접촉하여 하중을 받았을 때 상하 방향으로 탄성적으로 부세하는 상부 탄성부(33)와, 통상부(32)의 하단부(321)에 복수의 제2 접촉부(37)를 가진다.

도 8에 도시한 바와 같이, 판상 부재(40A)는, 본체부(42)와, 상부 암부(43)와, 상부 암부(43)의 선단에 설치된 제1 선단부(44)와, 본체부(42)의 하단부(422)에 산형(山形) 형상의 볼록부(凸部)인 복수의 산형 돌기부(47)를 가진다. 덧붙여, 판상 부재(40A)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, 귀금속 또는 금속으로 형성된 판상 부재, 혹은, 판상의 부재의 표면을 귀금속 또는 금속으로 도금 가공해 얻은 판상 부재이며, 판상의 부재를 펀칭 가공 등을 실시해 형성된다. 또, 예를 들면, 판상 부재(40A)는, 제1 접촉대상 및/또는 제2 접촉대상과 접촉하는 개소를 귀금속 등으로 하고, 그 이외의 부분을 예를 들면, 바이메탈 등의 탄성(예를 들면, 용수철성)이 뛰어난 부재로 형성해도 무방하다.

도 7의 전기적 접촉자(30A)는, 도 8의 판상 부재(40A)에 대해 성형 가공(라운딩 가공 등)을 실시하여, 판상 부재(40A)를 권회해 둥글게 하는 것으로 형성된다. 판상 부재(40A)를 권회하여 전기적 접촉자(30A)가 형성되면, 통상부(32)의 하단부(321) 및 제2 접촉부(37)는 크라운 형상의 접촉부로서 기능한다.

덧붙여, 도 8의 판상 부재(40A)에 대해 라운딩 가공을 실시하여, 도 7의 전기적 접촉자(30A)를 형성하는 제조 방법은, 기본적으로는, 제1 실시 형태와 같으므로, 여기에서는 제조 방법의 상세한 설명은 생략한다.

도 7 및 도 8의 예에서는, 3개의 산형 돌기부(47)를 마련하는 경우를 예시했지만, 산형 돌기부(47)의 수는 특별히 한정되지 않으며, 2개 혹은 4개 이상이어도 무방하다. 또, 접촉대상으로 하는 땜납볼의 크기(외형) 등에 따라서, 산형 돌기부(47)의 설치 간격을 결정할 수 있다.

도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 복수의 제2 접촉부(37)는, 통상부(32)의 하단부(321)에 산형 형상의 볼록부(돌기부)로서 설치되어 있다. 이러한 형상으로 함으로써, 복수의 제2 접촉부(산형 돌기부(47))(37)와 통상부(32)의 하단부(321)가, 땜납볼(80)에 대해서 전기적으로 접촉할 수 있고, 통상부(32)의 하단부(321)에 제2 접촉부(산형 돌기부(47))(37)를 마련함으로써, 제2 접촉부(산형 돌기부(47))(37)가 땜납볼(80)의 표면에 닿아서(찔러서) 전기적 접촉성을 확실하게 할 수 있다.

또, 상술한 예에서는, 산형 돌기부(47)로서의 제2 접촉부(37)가 통상부(32)의 하단부(321)에 있는 경우를 예시했지만, 접촉대상과의 접촉 양태에 따라서, 통상부(32)의 상단부에 산형 돌기부(47)로서의 제2 접촉부(37)를 마련하도록 해도 무방하다.

(B-2) 제2 실시 형태의 효과

이상과 같이, 제2 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에서 설명한 효과에 더하여, 접촉대상이 땜납볼 등과 같은 반구체상의 것으로서, 상기 접촉대상과의 전기적 접촉성을 확실히 할 수 있다.

(C) 제3 실시 형태

다음에, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치의 제3 실시 형태를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

(C-1) 제3 실시 형태의 구성

도 9는, 제3 실시 형태의 전기적 접촉자의 구성과 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 9(A)에 도시한 바와 같이, 제3 실시 형태의 판상 부재(40C)는, 본체부(42)와, 상부 암부(43C)와, 상부 암부(43C)의 선단에 설치된 제1 선단부(44)와, 하부 암부(45C)와, 하부 암부(45C)의 선단에 설치된 제2 선단부(46)를 가진다. 덧붙여, 판상 부재(40C)는, 제1 및 제2 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, 귀금속 또는 금속으로 형성된 판상 부재, 혹은, 판상의 부재의 표면을 귀금속 또는 금속으로 도금 가공해 얻은 판상 부재이며, 판상의 부재를 펀칭 가공 등을 실시해 형성된다. 또, 예를 들면, 판상 부재(40C)는, 제1 접촉대상 및/또는 제2 접촉대상과 접촉하는 개소를 귀금속 등으로 하고, 그 이외의 부분을 예를 들면, 바이메탈 등의 탄성(예를 들면, 용수철성)이 뛰어난 부재로 형성해도 무방하다.

도 9(B)에서, 제3 실시 형태의 전기적 접촉자(30C)는, 통상부(32)와, 상부 탄성부(33C)와, 제1 접촉부(34)와, 하부 탄성부(35C)와, 제2 접촉부(36)를 가진다.

제3 실시 형태에서는, 전기적 접촉자(30C)의 용수철 기능으로서 작용하는 상부 탄성부(33C) 및 하부 탄성부(35C)의 하중 내성 및 스트로크를 조정하기 위해, 판상 부재(40C)의 상부 암부(43C) 및 하부 암부(45C)의 형상을 변형한 경우의 실시 형태를 설명한다.

도 9(A)에서, 판상 부재(40C)의 상부 암부(43C)의 형상이, 예를 들어, 궁형(弓形) 등의 원호상, 혹은, 굴곡한 형상으로 되어 있다. 즉, 상부 암부(43C)의 형상이 궁형으로 만곡한 형상으로 하거나, 또는, 직선상의 상부 암부(43C)가 꺽여 구부러진 형상으로 한다. 또, 상부 암부(43C)의 상하 방향의 폭길이(幅長)를 비교적 작게(즉, 상부 암부(43C)를 가늘게) 하고 있다.

이와 같이, 상부 암부(43C)의 형상을 원호상으로 만곡한 형상 혹은 꺽여 구부러진 형상으로 하고, 상하 방향의 폭길이를 가늘게 함으로써, 상부 암부(43C)를 권회해 형성한 상부 탄성부(33C)는, 상하 방향의 부세력을 작게(저 하중) 할 수 있다. 즉, 제1 접촉부(34)가 제1 접촉대상과 접촉할 때의 접촉 하중을 작게 할 수 있다.

또, 하부 암부(45C)는, 제1 실시 형태의 하부 암부(45)와 마찬가지로, 중심축이 직선상의 늘어난 형상이지만, 상하 방향의 폭길이를 크게 한 형상(하부 암부(45C)를 굵게 한 형상)로 되어 있다. 이와 같이, 하부 암부(45C)를 굵게 함으로써, 하부 암부(45C)를 권회해 형성한 하부 탄성부(35C)는, 상하 방향의 부세력을 크게(고 하중) 할 수 있다. 즉, 제2 접촉부(36)가 제2 접촉대상과 접촉할 때의 접촉 하중을 크게 할 수 있다.

도 9(A) 및 도 9(B)의 예에서는, 상부 암부(43C)가 원호상 또는 꺽여 구부러진 형상이며, 하부 암부(45C)가 광폭의 형상인 경우를 예시하고 싶지만, 전기적 접촉자(30C)의 접촉대상에 따라서, 하부 암부(45C)를 원호상 또는 꺽여 구부러진 형상으로 하고, 상부 암부(43C)를 광폭의 형상 등으로 해도 무방하다.

또, 상부 암부(43C) 및 하부 암부(45C)의 상하 방향의 폭길이는, 접촉대상의 재질이나 경도(硬度) 등에 따라 결정할 수 있다.

(C-2) 제3 실시 형태의 효과

이상과 같이, 제3 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에서 설명한 효과를 얻을 수 있는 것과 함께, 전기적 접촉자를 형성하는 판상 부재의 상부 암부 및 하부 암부의 형상을 변경함으로써, 상하 방향으로 탄성하는 상부 탄성부 및 하부 탄성부의 탄성 에너지나 스트로크를 제어해, 상부 탄성부 및 하부 탄성부의 부세력을 조정할 수 있다.

(D) 제4 실시 형태

다음에, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치의 제4 실시 형태를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

(D-1) 제4 실시 형태의 구성

도 10은, 제4 실시 형태의 전기적 접촉자를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다. 도 11은, 제4 실시 형태에 따른 전기적 접촉자의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 10에 도시한 바와 같이, 제4 실시 형태의 판상 부재(40D)는, 본체부(42D)와, 본체부(42D)의 좌측 단부의 상부로부터 왼쪽 경사 상방향으로 연출하는 상부 암부(43)와, 상부 암부(43)의 선단에 설치된 제1 선단부(44)와, 본체부(42D)의 우측 단부의 하부로부터 오른쪽 경사 하방향으로 연출하는 하부 암부(45D)와, 하부 암부(45D)의 선단에 설치된 제2 선단부(46D)를 가진다.

덧붙여, 제4 실시 형태의 판상 부재(40D)에서, 상부 암부(43)와, 상부 암부(43)의 선단에 설치된 제1 선단부(44)는, 제1 실시 형태에서 설명한 각 구성요소와 같기 때문에, 동일 부호를 교부하고 있다. 덧붙여, 판상 부재(40D)는, 제1~제3 실시 형태와 마찬가지로, 예를 들면, 귀금속 또는 금속으로 형성된 판상 부재, 혹은, 판상의 부재의 표면을 귀금속 또는 금속으로 도금 가공해 얻은 판상 부재이며, 판상의 부재를 펀칭 가공 등을 실시해 형성된다. 또, 예를 들면, 판상 부재(40D)는, 제1 접촉대상 및/또는 제2 접촉대상과 접촉하는 개소를 귀금속 등으로 하고, 그 이외의 부분을 예를 들면, 바이메탈 등의 탄성(예를 들면, 용수철성)이 뛰어난 부재로 형성해도 무방하다.

하부 암부(45D)는, 본체부(42D)의 4변의 단부 중, 상부 암부(43)가 설치되어 있는 단부(좌측 단부)와 대향하는 대향 단부(우측 단부)와 일체적으로 연결되어 있고, 본체부(42D)의 우측 단부로부터 오른쪽 경사 하방향으로 연출한다.

하부 암부(45D)는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 본체부(42D)측의 기단부(451D)로부터 선단측으로 갈수록, 상하 방향의 폭길이가 작아지는, 끝이 가늘어지는 형상(테이퍼 형상)으로 되어 있다. 또, 제4 실시 형태에서도, 다른 실시 형태와 마찬가지로, 본체부(42D)에 대해서, 하부 암부(45D)의 기단부(451D)는, 상부 암부(43)의 기단부(431)보다 하방으로 위치를 시프트하여 연출하고, 또한, 본체부(42D)의 우측 단부의 하부 각부(425D)로부터 약간 상측 위치로부터 연출하고 있다. 여기서, 하부 각부(425D)로부터 기단부(451D)까지의 본체부(42D)의 좌측 단부의 일부를 「단부(426D)」라고 부른다.

제2 선단부(46D)는, 하부 암부(45D)의 선단에 설치되어 있고, 수직 하방으로 연출된 부분이다.

본체부(42D)는, 기본적으로는, 다른 실시 형태와 마찬가지로 대략 장방형상이지만, 상부 암부(43)의 기단부(431)의 하측 단부(427)가, 상부 암부(43)의 기단부(431)의 상측에 있는 단부(424)의 위치 보다, 본체부(42D)의 중앙부 가까이에 위치하고 있다. 마찬가지로, 본체부(42D)는, 하부 암부(45D)의 기단부(451D)의 상측 단부(428)가, 하부 암부(45D)의 하측에 있는 단부(426D)의 위치 보다, 본체부(42D)의 중앙부 가까이에 위치하고 있다. 이처럼, 상부 암부(43)의 하측 단부(427)와, 하부 암부(45D)의 상측 단부(428)의 각 위치를, 본체부(42D)의 중앙부 가까이로 함으로써, 라운딩 가공에 의해 전기적 접촉자(30D)의 통상부(32)를 형성할 때에, 권회한 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45D))와, 이에 대향하는 본체부(42D)의 단부(대향 단부)와의 간섭을 회피할 수 있다. 즉, 상부 암부(43)의 하측 단부(427)와, 하부 암부(45D)의 상측 단부(428)의 각 위치를, 본체부(42D)의 중앙부 가까이로 하는 것이, 회피 구조를 형성하게 된다.

제4 실시 형태에서는, 상부 암부(43)의 권회 방향과, 하부 암부(45D)의 권회 방향이 서로 다른 방향이다. 예를 들어, 상부 암부(43)의 권회 방향은, 도 10의 평면시야에서 반시계 방향이며, 하부 암부(45D)의 권회 방향은, 도 10의 평면시야에서 시계 방향 등과 같이 한다.

우선, 상부 암부(43)에 라운딩 가공을 실시해 상부 암부(43)를 반시계 방향으로 권회하고, 하부 암부(45D)에 라운딩 가공을 실시해 하부 암부(45D)를 시계 방향으로 권회해 간다.

다음에, 상부 암부(43)를 권회하여 상부 탄성부(33)와, 하부 암부(45D)를 권회하여 하부 탄성부(35D)가 형성되면, 본체부(42D)에 대해서는, 1점쇄선(중심선)의 중심을 향하여, 본체부(42D)의 좌우로부터 각각 균등하게 권회해 간다. 이에 따라, 도 11(A)에 예시하는 전기적 접촉자(30D)가 형성된다.

여기서, 도 11(A) 및 도 11(B)를 참조하여, 통상부(32)의 형성 방법을 설명한다. 상부 암부(43)를 권회하여 형성된 상부 탄성부(33)의 기단부(431)는, 상기 기단부(431)가 연결하고 있는 본체부(42D)의 좌측 부분에 의해 감싸지도록 권회된다. 즉, 상부 탄성부(33)의 기단부(431)가, 본체부(42D)의 좌측 부분의 내측에 감긴다. 마찬가지로, 하부 암부(45D)를 권회하여 형성된 하부 탄성부(35D)의 기단부(451D)는, 상기 기단부(451D)가 연결하고 있는 본체부(42D)의 우측 부분에 감싸지도록 권회된다.

이와 같이, 상부 탄성부(33)를, 본체부(42D)의 좌측 부분에서 감아 넣는 것과 동시에, 하부 탄성부(35D)를, 본체부(42D)의 우측 부분에서 감아 넣고, 본체부(42D)의 좌측 단부와 우측 단부를 맞대는(접촉시키는) 것으로, 통상부(32)를 형성한다. 즉, 본체부(42D)의 우측 단부의 상측 단부(428)의 이면측에서, 상부 탄성부(33)를 감싸도록 덮고, 본체부(42D)의 좌측 단부의 하측 단부(427)의 이면측에서, 하부 탄성부(35D)를 감싸도록 덮게 한다. 이에 따라, 도 11(B)에 예시하는 전기적 접촉자(30D)가 형성된다. 덧붙여, 도 11(B)에서는, 본체부(42D)로 형성한 통상부(32)는, 본체부(42D)의 좌측 단부와 우측 단부를 접촉시키는 구조를 예시했지만, 이것으로 한정되지 않는다. 도 11(C)에 예시하는 것처럼, 본체부(42D)의 좌측 단부와 우측 단부를 약간 이간시켜 대향하게 해도 무방하다. 또, 도 11(A)~도 11(C)에서, 본체부(42D)를 권회하여 통상부(32)를 형성할 때에, 통상부(32)의 외형 구조를 유지하기 위해, 본체부(42D)의 좌측 단부 및/또는 우측 단부의 임의의 하나 또는 복수의 개소에, 예를 들면, 용접이나 접착제 등으로 고정하도록 해도 무방하다. 예를 들면, 도 11(B)에서, 본체부(42D)의 좌측 단부와 우측 단부가 접촉하는 하나 또는 복수의 개소에, 예를 들면, 용접이나 접착제 등으로 고정하거나, 도 11(C)에서, 본체부(42D)의 좌측 단부(및/또는, 우측 단부)와, 이에 대향하는 통상부(32)의 단부가 접촉하는 하나 또는 복수의 개소에, 예를 들면, 용접이나 접착제 등으로 고정하거나 해도 무방하다. 덧붙여, 통상부(32)의 외형 구조의 고정 방법은, 용접이나 접착제로 한정되지 않고, 코킹을 치는 등 해도 무방하다.

상부 암부(43)와 하부 암부(45D)는, 본체부(42D)에 대해서 높이 방향의 위치를 시프트해 연출하고 있으므로, 상부 탄성부(33)와 하부 탄성부(35D)를, 본체부(42D)로 감싸도록 권회해도, 상부 탄성부(33)와 하부 탄성부(35D)는, 서로 간섭하는 일이 없다. 그 결과, 전기적 접촉자(30D)의 상부 탄성부(33)와 하부 탄성부(35D)는, 각각 독립적으로 축 방향으로 탄성을 가진다.

이와 같이, 상부 암부(43)와 하부 암부(45D)의 권회 방향을 서로 다른 방향으로 함으로써, 제1 접촉부(34)가 제1 접촉대상과 접촉하고, 제2 접촉부(36D)가 제2 접촉대상과 접촉하여 하중이 걸렸을 때, 상부 탄성부(33)에 작용하는 응력과, 하부 탄성부(35D)에 작용하는 응력을 상쇄할 수 있다.

따라서, 제1 접촉부(34)가 제1 접촉대상에 접촉했을 때의 접점과, 제2 접촉부(36D)가 제2 접촉대상과 접촉했을 때의 접점에 생기는 회전 하중을 경감할 수 있다.

(D-2) 제4 실시 형태의 효과

이상과 같이, 제4 실시 형태에 의하면, 제1 실시 형태에서 설명한 효과를 얻을 수 있는 것과 함께, 상부 암부와 하부 암부의 권회 방향을 서로 다른 방향으로 함으로써, 상부 탄성부에 작용하는 응력과, 하부 탄성부에 작용하는 응력을 상쇄할 수 있어, 접점에서의 회전 하중을 경감할 수 있다.

(E) 제5 실시 형태

다음에, 본 발명에 따른 전기적 접촉자 및 전기적 접속 장치의 제5 실시 형태를, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

제5 실시 형태는, 접속자(전기적 접촉자)의 성형 가공 전의 판상 부재에서, 본체부로부터 연출하고 있는 암부(상부 암부, 하부 암부)의 판상 부분에 중공 가공(Hollow processing)(컷팅 가공)을 실시하는 경우를 예시해 설명한다.

이하에서는, 제1 실시 형태에서 설명한 판상 부재(40)의 상부 암부(43)와 하부 암부(45)의 양방의 판상 부분에, 중공 가공을 실시하는 경우를 예시한다. 덧붙여, 중공 가공의 대상으로 하는 암부는, 제1~제4 실시 형태에서 설명한 판상 부재(40, 40A, 및 40C)에서의, 상부 암부(상부 암부(43 및 43C)와, 하부 암부(하부 암부(45, 45C 및 45D))의 어느 하나여도 무방하고, 상부 암부(상부 암부(43 및 43C)와 하부 암부(하부 암부(45, 45C 및 45D))의 전부여도 무방하다.

(E-1) 제5 실시 형태의 구성

도 12~도 14는, 제5 실시 형태의 전기적 접촉자를 형성하기 전의 판상 부재의 구성을 나타내는 구성도이다.

도 12에 예시하는 것처럼, 판상 부재(40E)에서, 본체부(42)로부터 연출하고 있는 상부 암부(43)의 기단부(431)로부터 선단측에 걸쳐서 중공 가공이 실시되어, 대략 사다리꼴 형상의 슬릿부(48)가 형성된다. 마찬가지로, 하부 암부(45)의 기단부(451)로부터 선단측에 걸쳐서 중공 가공이 실시되어, 대략 사다리꼴 형상의 슬릿부(49)가 형성된다.

제1~제4 실시 형태와 마찬가지의 방법으로, 도 12에 예시하는 판상 부재(40E)를 권회하여 접속자(전기적 접촉자)(30)를 형성한다. 그렇게 하면, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)에는 슬릿부(48) 및 슬릿부(49)가 형성되어 있으므로, 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(36)가, 제1 접촉대상 및 제2 접촉대상으로부터 받는 하중(접촉 하중)의 크기나, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 상하 방향으로 탄성하는 스트로크를 변경할 수 있다.

즉, 상부 암부(43) 및 하부 암부(45)에, 슬릿부(48) 및 슬릿부(49)를 형성함으로써, 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(36)의 하중의 크기나, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 스트로크를 조정할 수 있다.

바꿔 말하면, 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45))의 상하 방향에서의 폭길이에 대해, 슬릿부(48)(또는, 슬릿부(49))의 폭길이나, 기단부(431)로부터 선단측(또는, 기단부(451)로부터 선단측)에 걸친 슬릿부(48)의 길이나, 슬릿부(48)(또는, 슬릿부(49))의 위치 등을 조정함으로써, 제1 접촉부(34) 및 제2 접촉부(36)의 하중의 크기나, 상부 탄성부(33) 및 하부 탄성부(35)의 스트로크를 조정(컨트롤)할 수 있다.

상부 암부(43)나 하부 암부(45)에 형성하는 슬릿부(48)나 슬릿부(49)의 형상이나 위치 등의 조정 방법에 대해서는, 다양한 방법을 넓게 적용할 수 있다.

예를 들면, 도 13에 예시하는 것처럼, 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45))의 판상 부분의 폭에 있어서, 상하 방향으로 2개의 슬릿부(48A 및 48B)(또는, 슬릿부(49A 및 49B))를 배열하도록 해도 무방하다. 덧붙여, 2개의 슬릿부(48A 및 48B)(또는, 슬릿부(49A 및 49B))의 각각의 상하 방향의 폭길이는 대략 같은 길이로 해도 무방하고, 각각 다른 길이로 해도 무방하다. 물론, 3개 이상의 슬릿부(48)(또는, 슬릿부(49))를 배열하도록 해도 무방하다.

또, 예를 들면, 도 14에 예시하는 것처럼, 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45))에서, 선단측에 가까운 쪽과, 기단부(431)에 가까운 쪽과의 각각에 2개의 슬릿부(48C 및 48D)(또는, 슬릿부(49C 및 49D))를 형성하도록 해도 무방하다. 덧붙여, 기단부(431)로부터 선단측을 향하게 한 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45))의 연출 방향에서의, 슬릿부(48C 및 48D)(또는, 슬릿부(49C 및 49D))의 길이는, 각각 같은 길이여도 무방하고, 각각 다른 길이여도 무방하다. 물론, 상부 암부(43)(또는, 하부 암부(45))의 연출 방향으로, 3개 이상의 슬릿부(48)(또는, 슬릿부(49))를 형성하도록 해도 무방하다.

게다가, 예를 들면, 도 12~도 14를 포함하여, 이 실시 형태에서 예시한 각 슬릿부(48)(또는, 슬릿부(49))의 형상은, 대략 사다리꼴 형상으로 한정되는 것이 아니라, 대략 삼각형상, 대략 구형(矩形) 형상, 대략 타원 형상, 양단을 원호상으로 한 형상 등으로 해도 무방하다.

(E-2) 제5 실시 형태의 효과

이상과 같이, 제5 실시 형태에 의하면, 제1~제4 실시 형태에서 설명한 효과를 얻을 수 있는 것과 함께, 암부(상부 암부, 하부 암부)에, 하나 또는 복수의 슬릿부를 마련함으로써, 판상 부재를 권회하여 형성한 접속자의 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 하중의 크기나, 상부 탄성부 및 하부 탄성부의 상하 방향의 스트로크를 조정할 수 있다.

(F) 다른 실시 형태

상술한 각 실시 형태에서도, 본 발명의 변형 실시 형태를 언급하였지만, 본 발명은, 이하의 실시 형태에서도 적용할 수 있다.

상술한 제2 실시 형태에서 설명한 전기적 접촉자는, 상부 암부를 권회하여 형성한 상부 탄성부를 갖추고, 통상부의 하단부에 복수의 산형 돌기부를 갖추는 경우를 예시했지만, 제2 실시 형태에서도, 상부 탄성부의 탄성력을 작게 하기 위해, 상부 암부의 형상을 원호상 등의 형상으로 해도 무방하고, 상부 탄성부의 탄성력을 높게 하기 위해, 상부 암부의 상하 방향의 폭길이를 크게 하도록 해도 무방하다.

상술한 각 실시 형태에서는, 제1 선단부 및 제2 선단부의 형상이 구형(矩形) 형상인 경우를 예시했지만, 제1 선단부 및 제2 선단부의 형상은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 권회한 후의 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 형상이 크라운 형상, 니들 형상 등이 되도록, 제1 선단부 및 제2 선단부의 형상을 변형해도 무방하다. 또, 상술한 각 실시 형태에서 예시한, 통상부의 외형 구조를 유지하기 위해, 통상부의 임의의 개소에, 소정의 방법(예를 들면, 용접이나 접착제 등)으로 고정하도록 해도 무방하다.

30 … 접속자,
30A, 30C 및 30D … 전기적 접촉자,
32 … 통상부,
33 및 33C … 상부 탄성부,
34 … 제1 접촉부,
35, 35C 및 35D … 하부 탄성부,
36 및 36D … 제2 접촉부,
37 … 제2 접촉부,
40, 40A, 40C, 40D, 40E, 40F, 40G … 판상 부재,
42 및 42D … 본체부,
43 및 43C … 상부 암부,
44 … 제1 선단부,
45, 45C 및 45D … 하부 암부,
46 및 46D … 제2 선단부,
47 … 산형 돌기부,
48, 48A, 48B, 48C, 48D … 슬릿부,
49, 49A, 49B, 49C, 49D … 슬릿부,
421 … 상단부,
422 … 하단부,
423 … 상부 각부,
424 … 단부,
425 및 425D … 하부 각부,
426 및 426D … 단부,
431 … 기단부,
432 … 선단부,
451 및 451D … 기단부,
452 … 선단부.

Claims (7)

1. 도전성을 가지는 판상 부재로 형성된 전기적 접촉자에 있어서,
   상기 판상 부재가, 본체부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 상방을 향해 연출하는 끝이 가늘어지는 형상(tapered shapes)의 상부 암부와, 상기 상부 암부의 선단에 설치된 제1 선단부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 하방을 향해 연출하는 끝이 가늘어지는 형상의 하부 암부와, 상기 하부 암부의 선단에 설치된 제2 선단부를 갖추고,
   상기 제1 선단부를 권회하여 형성된, 제1 접촉대상과 접촉하는 제1 접촉부와,
   상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 상부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 상부 암부의 상단부가 내측의 상기 상부 암부의 하단부의 외주를 덮도록 형성된 제1 탄성부와,
   상기 제2 선단부를 권회하여 형성된, 제2 접촉대상과 접촉하는 제2 접촉부와,
   상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 하부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 하부 암부의 하단부가 내측의 상기 하부 암부의 상단부의 외주를 덮도록 형성된 제2 탄성부와,
   상기 본체부를 권회하여 형성된 것이며, 상기 제1 탄성부의 기단부와 상기 제2 탄성부의 기단부를 내측에 수용하는 통상부
   를 갖추는 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 탄성부 및 상기 제2 탄성부가, 축 방향으로 탄성을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 상부 암부는, 상기 본체부의 일단부로부터 연출하고 있고, 상기 제1 탄성부는, 제1 권회 방향으로 권회되어 형성된 것이며,
   상기 하부 암부는, 상기 상부 암부가 연출하고 있는 상기 본체부의 상기 일단부와 대향하는 대향 단부로부터 연출하고 있고, 상기 제2 탄성부는, 상기 제1 권회 방향과는 다른 제2 권회 방향으로 권회되어 형성된 것인
   것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
4. 도전성을 가지는 판상 부재로 형성된 전기적 접촉자에 있어서,
   상기 판상 부재가, 본체부와, 상기 본체부의 일단부로부터 경사 상방을 향해 연출하는 끝이 가늘어지는 형상의 상부 암부와, 상기 상부 암부의 선단에 설치된 선단부와, 상기 본체부의 하단부에 설치된 복수의 산형(山形) 돌기부를 갖추고,
   상기 선단부를 권회하여 형성된, 제1 접촉대상과 접촉하는 제1 접촉부와,
   상기 끝이 가늘어지는 형상의 상기 상부 암부를 권회하여 형성된 것이며, 외측의 상기 상부 암부의 상단부가 내측의 상기 상부 암부의 하단부의 외주를 덮도록 형성된 탄성부와,
   상기 본체부를 권회하여 형성된 것이며, 상기 탄성부의 기단부를 내측에 수용하는 것과 함께, 하단부의 상기 복수의 산형 돌기부를 수반해 제2 접촉대상과 접촉하는 통상부
   를 갖추는 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 본체부의 단부로부터 연출하는 각 암부의 어느 하나 또는 전부가, 원호상으로 만곡하고 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   구형(矩形) 형상의 상기 본체부의 단부로부터 연출하는 각 암부가, 상기 단부의 각부(角部)로부터 이간한 위치로부터 연출하고 있고,
   상기 각 암부가 권회되어 형성되는 상기 각 탄성부의 기단부가, 상기 본체부의 내면으로 덮여, 상기 통상부에 내포되는
   것을 특징으로 하는 전기적 접촉자.
7. 제1 접촉대상과 제2 접촉대상에 접촉시키는 복수의 전기적 접촉자를 갖추는 전기적 접속 장치에 있어서,
   상기 복수의 전기적 접촉자가, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 전기적 접촉자인 것을 특징으로 하는 전기적 접속 장치.

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