KR20210125789A - Adhesion Chuck , Adhesion Pad micro lens pattern design of Big or middle size Transfer device for Glass , plate etc. - Google Patents

Adhesion Chuck , Adhesion Pad micro lens pattern design of Big or middle size Transfer device for Glass , plate etc. Download PDF

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Abstract

The present invention relates to a transfer plate for medium and large-area glass and medium and large plate transfer devices, and more specifically to the transfer plate for medium and large-area glass and medium and large plate transfer devices that can be moved by adhering medium and large-area glass and medium and large plates through numerous micro 3D micro-pattern adhesives formed on the base plate that can move up and down, left and right, minimizes the change of adhesive force with the structure of numerous micro 3D micro-patterns and contamination with the micro-pattern 3D structure, minimizes the adhesive area that adjusts the adhesive force, and has adhesive medium and large area glass and medium and large plates with minimal traces. The transfer plate of the present invention includes a base plate and a portion formed on one surface of the base plate to adhere a plurality of medium and large-area glass and medium and large plates at once.

Description

Glass , plate 등의 중,대형판 이송 장치의 점착척 및 점착패드 등의 마이크로 3D 패턴 적용 디자인 {Adhesion Chuck , Adhesion Pad micro lens pattern design of Big or middle size Transfer device for Glass , plate etc.} Adhesion Chuck , Adhesion Pad micro lens pattern design of Big or middle size Transfer device for Glass , plate etc.}

본 발명은 글라스 및 중,대형판 이송 장치용 점착척 및 점착패드의 디자인에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상하좌우 이동 가능한 베이스 플레이트에 형성된 점착척의 새로운 디자인을 통해 오염에 의한 방지와 수직에는 강한 점착력 과 탈착시에는 현저하게 약한 힘으로 탈착할 수 있으며, 피착물에는 점착흔적에 의한 오염을 최소한으로 디자인된 점착척 및 점착패드의 수마이크로에서 수십마이크로의 크기를 가진 3D 미세패턴 디자인이다.The present invention relates to a design of an adhesive chuck and an adhesive pad for glass and medium and large plate transfer devices, and more specifically, prevention of contamination and strong vertical adhesive force through a new design of an adhesive chuck formed on a base plate that can move vertically and horizontally In case of over-desorption, it can be detached with a remarkably weak force, and it is a 3D micro-pattern design with a size of several micro to several tens of micro for the adhesive chuck and adhesive pad designed to minimize contamination by adhesion traces on the adherend.

OLED 및 LCD 등의 디스플레이는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 의 이송을 통하여 복잡한 공정을 거쳐 제작된다. 이에 따라 중,대형 Glass 및 중,대형 플레이트의 용이한 이송및 정확한 위치정렬을 위한 이송시에는 강한 점착력과 탈착시에는 현저하게 약한 힘으로 제어하게 디자인하여 피착물에 최소한의 흔적으로 점착을 하여야 하며 정밀하고 빠른속도로 이동하여 정확한 위치에 내려놓아야 한다Displays such as OLED and LCD are manufactured through a complicated process through the transfer of medium and large-area glass and medium and large plates. Accordingly, it is designed to control the medium and large glass and medium and large plates with a strong adhesive force when transporting for easy transport and accurate positioning, and a remarkably weak force when detaching, so that it can adhere to the adherend with minimal traces. It must be moved at a precise and fast speed and put down in the correct position.

따라서, 최근 OLED 및 LCD 등의 디스플레이는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate를 이송시에는 정확한 위치에 탈작할 수 있는 정밀도와 점착신뢰도 와 함께 최소한의 점착면의오염을 최소화하고자 하는 이송 기술에 대한 연구가 이슈로 떠오르고 있다.Therefore, in recent years, displays such as OLEDs and LCDs are a transport technology that seeks to minimize contamination of the adhesive surface along with the precision and reliability of peeling at the correct position when transporting medium and large-area glass and medium and large plates. research is emerging as an issue.

종래에는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate를 이송하기 위해 정전기력에 의한 흡착 및 탈착하는 방식의 정전척과 이송을 위한 중,대형플레이트에 점착층에 의해 점착하고 다이아프램등의 추가장치를 독립적으로 사용하여 탈착하는 점착척을 사용하는 것이 일반적이다.Conventionally, in order to transport medium and large-area glass and medium and large plates, the electrostatic chuck is a method of adsorption and desorption by electrostatic force, and the medium and large plates for transport are adhered by an adhesive layer and additional devices such as diaphragms are independent. It is common to use an adhesive chuck that is used and detached.

한편, 정전척 방식의 경우, 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 접촉면 전체에 고른 정전기력이 작용하여 고착시키므로, 평편도가 보장되며, 정전기력을 조절할 수 있어 흡착력을 제어할 수 있다는 장점이 있다. On the other hand, in the case of the electrostatic chuck method, an even electrostatic force acts on the entire contact surface of medium and large-area glass and medium and large plates to fix it, so flatness is guaranteed, and the electrostatic force can be adjusted, so the adsorption force can be controlled. .

또한, 점착척 방식의 경우, 정전척 방식과 달리 부수의 장치가 필요 없으며, 접착층의 단순한 접촉에 의해 흡착력이 발생되므로 구조가 단순해 경비 측면에서 탁월한 장점을 보유하고 있다.In addition, in the case of the adhesive chuck method, unlike the electrostatic chuck method, there is no need for an additional device, and since the adsorption force is generated by the simple contact of the adhesive layer, the structure is simple and has excellent advantages in terms of cost.

그러나, 정전척 방식의 경우 정전기력을 발생하기 위한 회로가 복잡하게 구성되어 있어 가격이 비싸며, 정전기에 의해 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 들이 오염되어 손상되는 문제가 발생되는 경우가 있다.However, in the case of the electrostatic chuck method, the circuit for generating electrostatic force is complicated and expensive, and there is a problem in that medium and large area glass and medium and large plates are contaminated and damaged by static electricity.

또한, 점착척 방식의 경우 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 의 위치에 따라 점착층에 대한 오염과 대기압등에 의한 일정함 점착력 유지가 어려워 위치 오차 등의 문제가 발생하는 단점이 있다.In addition, in the case of the adhesive chuck method, it is difficult to maintain a constant adhesive force due to contamination of the adhesive layer and atmospheric pressure, depending on the position of medium and large-area glass and medium and large plates, which causes problems such as position errors.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 별도의 복잡하고 독립적인 구성 없이, 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 점착을 시간 및 압력에 따른 혹은 오염도에 따른 점착력의 변화를 최소로 제어할 구조를 갖는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트를 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to adhere medium and large area glass and medium and large plates according to time and pressure or pollution degree without a separate complicated and independent configuration. It is to provide a transfer plate for medium and large area glass and medium and large plate transfer device having a structure to minimize the change in adhesive force.

또한, 본 발명의 다른 목적은 점착척 및 점착패드에 수마이크로에서 수십마이크로의미세높이와 수마이크로에서 수십마이크로의 크기를 가진 미세패턴모양의 3D 구조를 적용함으로 환경 및 공정진행으로 인한 파티클에 의한 오염 과 점착면에서오는 피착물에서의 점착흔적으로 인한 글라스 및 플레이트등의 피착물 변화를 최소한으로 하는 점착척 및 패드를 개발하는 것이다. In addition, another object of the present invention is to apply a 3D structure in the shape of a fine pattern having a micro height of several micro to several tens of micro and a size of several micro to several tens of micro to the adhesive chuck and the adhesive pad. To develop an adhesive chuck and pad that minimizes changes in adherends such as glass and plate due to contamination and adhesion traces on the adherend from the adhesive surface.

한편, 본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 상하좌우 이동이 가능한 베이스 플레이트 및 상기 베이스 플레이트의 일면에 형성되어 점착척 및 점착패드의 수십에서 수백 마이크로의 3D 미세패턴을 적용하여 미세 파티클로 인한 점착력의 저하와 점착하는 피착물과의 점착력을 3D구조의 미세패턴과의 거리 및 개수로 조정하여 일정한 점착력을 작용하며 수마이크로에서 수십마이크로의 높이를 이용한 마이크로 미세패턴 3D 타입의 점착 구조 특성으로인하여 피착물과의 점착면이 최소한으로 하는것이 특징으로 하는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a base plate that can move up, down, left, and right, and a 3D micropattern of tens to hundreds of micro-patterns formed on one surface of the base plate to apply a 3D micropattern of an adhesive chuck and an adhesive pad, The lowering of the adhesive force and the adhesive force with the adherend to be adhered are adjusted to the distance and number of the fine pattern of the 3D structure, so that a certain adhesive force is applied. It provides a transfer plate for medium and large-area glass and medium and large plate transfer devices, characterized in that the adhesion surface with the adherend is minimized.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 점착셀은 탄성체와 점착제를 혼합하여 제조된 복합체이다.In a preferred embodiment, the pressure-sensitive adhesive cell is a composite prepared by mixing an elastic body and an adhesive.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 점착셀은 상기 베이스 플레이트에서 돌출된 마이크로 미세패턴 3D 점착 패턴면이 점착력을 조정 피착물에 점착된다.In a preferred embodiment, in the adhesive cell, the micro-pattern 3D adhesive pattern surface protruding from the base plate is adhered to the adherend whose adhesive strength is adjusted.

본 발명은 다음과 같은 우수한 효과를 가진다.The present invention has the following excellent effects.

본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트에 의하면, 베이스 플레이트에 형성된 마이크로 점착척 구조에 의해 별도의 복잡한 구성없이 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate을 일정한 힘에의한 우수한 점착 특성을 가지며, 환경 및 피착물에 의한 오염 방지와 Glass 및 중,대형 Plate 의 점착 흔적을 최소화할 수 있다.According to the transfer plate for medium and large area glass and medium and large plate transfer device of the present invention, the medium and large area glass and medium and large plate can be uniformly processed by the micro-adhesive chuck structure formed on the base plate without a separate complicated configuration. It has excellent adhesive properties by force, and it can prevent contamination by the environment and adherends and minimize adhesion traces on glass and medium and large plates.

또한, 본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트에 의하면, 점착면이 수많은 마이크로 3D 패턴의 구조로 이루어져 있어, 점착력을 제어하기가 상대적으로 용이하며, 수마이크로에서 수십마이크로 높이의 효과로 인하여 오염등의 영향을 최소화할수 있고, 점착면이 미세패턴의 효과에 의하여 피착물 Glass 및 중,대형 Plate의 점착흔적이 최소화되어 차후 세정공정등의 필요성이 최소화되어, 공정비용 및 시간이 절약되는 장점이 있다In addition, according to the transfer plate for medium and large-area glass and medium and large plate transfer apparatus of the present invention, the adhesive surface is made of a structure of numerous micro 3D patterns, so it is relatively easy to control the adhesive force, and The effect of contamination can be minimized due to the effect of several tens of micro heights, and the adhesion traces of the adherend glass and medium and large plates are minimized by the effect of the fine pattern on the adhesive surface, thereby minimizing the need for subsequent cleaning processes, etc. It has the advantage of saving money and time

도 1 은 본 발명의 일 실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트를 보여주는 도면,
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 여러 점착과정을 보여주는 도면,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 점착셀부위의 여러디자인에 따른 평면도 이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 점착셀부위의 여러디자인에 따른 단면도 이다.1 is a view showing a transfer plate for a medium, large-area glass and medium, large plate transfer device according to an embodiment of the present invention;
2 is a view showing various adhesion processes of medium and large-area glass and medium and large plate conveying devices according to an embodiment of the present invention;
3 is a plan view according to various designs of the adhesive cell portion of the medium and large-area glass and the medium and large plate conveying device according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view according to various designs of the adhesive cell portion of the medium and large-area glass and the medium and large plate conveying device for the conveying device according to an embodiment of the present invention.

본 발명에서 사용되는 용어는 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있는데 이 경우에는 단순한 용어의 명칭이 아닌 발명의 상세한 설명 부분에 기재되거나 사용된 의미를 고려하여 그 의미가 파악되어야 할 것이다.As for the terms used in the present invention, general terms that are currently widely used as possible have been selected, but in certain cases, there are also terms arbitrarily selected by the applicant. So the meaning should be understood.

이하, 첨부한 도면에 도시된 바람직한 실시예들을 참조하여 본 발명의 기술적 구성을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the technical configuration of the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

그러나, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 나타낸다.However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Like reference numerals refer to like elements throughout.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트를 보여주는 도면, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 일면을 보여주는 도면으로, 도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명의 이송 플레이트(100)는 점착 위치에 있는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)을 점착할 수 있는 장치이다. 1 is a view showing a transfer plate for medium, large-area glass and medium, large plate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a medium, large-area glass and medium according to an embodiment of the present invention , As a view showing one side of a transfer plate for a large plate transfer device, referring to FIGS. 1 to 2 , the transfer plate 100 of the present invention is a medium, large-area glass and medium, large plate 200 in an adhesive position. ) is a device that can adhere.

또한, 본 발명의 이송 플레이트(100)는 베이스 플레이트(110) 및 점착 (120)을 포함하여 이루어진다.In addition, the transfer plate 100 of the present invention comprises a base plate 110 and an adhesive (120).

상기 베이스 플레이트(110)는 상하좌우로 이동이 가능하도록 구성된다, The base plate 110 is configured to be movable up, down, left and right,

또한, 상기 베이스 플레이트(110)는 가공성이 우수한 재질로 이루어진 금속판이다.In addition, the base plate 110 is a metal plate made of a material having excellent workability.

상기 점착부(120)는 상기 베이스 플레이트(110)을 포함하여 이루어진다..The adhesive part 120 includes the base plate 110 .

또한, 상기 점착셀(122)의 개수와 크기는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate의 종류와 크기 및 필요로 하는 점착력에 따라 증가하거나 감소할 수 있다.In addition, the number and size of the adhesive cells 122 may increase or decrease depending on the type and size of medium and large-area glass and medium and large plates, and required adhesive force.

또한, 상기 점착셀(121)은 점착력과 소정의 탄성을 갖는 셀로서, 탄성체와 점착제가 혼합된 복합체이다.In addition, the adhesive cell 121 is a cell having adhesive strength and a predetermined elasticity, and is a composite in which an elastic body and an adhesive are mixed.

이하에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 점착 디자인의 과정을 설명한다.Hereinafter, with reference to FIGS. 2 to 4, the process of the adhesion design of the medium, large-area glass and medium, large plate conveying device for the medium and large plate conveying device of the present invention will be described.

도 2 은 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트의 점착 후 활용을 설명하기 위한 도면이다, 이때, 상기 점착셀(122)의 3D 마이크로 패턴의 디자인에 의하여 높은 부분만 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)에 먼저 접촉하게 된다.2 is a view for explaining the application after adhesion of the transfer plate for medium and large-area glass and medium and large plate transfer device of the present invention according to an embodiment of the present invention, in this case, the adhesion cell 122 Due to the design of the 3D micro pattern, only the high part comes into contact with the medium and large area glass and the medium and large plate 200 first.

즉, 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)을 점착할 때는 상기 점착셀높은(122)부분만이 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate들(11)에 접촉하게 하면, 다시 상기 베이스 플레이트(110)가 상승혹은 평행이동 할 경우 상기 점착셀(122)의 점착력에 의해 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)이 점착되어 운송된다.That is, when adhering the medium and large-area glass and the medium and large plate 200, only the high 122 portion of the adhesive cell is in contact with the medium and large-area glass and the medium and large plates 11. Then, when the base plate 110 rises or moves in parallel again, the medium and large area of the glass and the medium and large plate 200 are adhered and transported by the adhesive force of the adhesive cell 122 .

따라서, 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)을 점착할 때 상기 베이스 플레이트(110)가 상기 점착셀(122)만이 상기 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)에 접촉하며 점착력의 변화가 필요할때는 3D마이크로 패턴사이의 거리와 크기등으로 조정 할 수 있다.Therefore, when adhering the medium and large-area glass and the medium and large plate 200, only the base plate 110 and the adhesive cell 122 are the medium and large-area glass and the medium and large plate 200. When the adhesive force needs to be changed in contact with the 3D micro-pattern, it can be adjusted by adjusting the distance and size between the 3D micro-patterns.

다음, 상기 점착셀(122)에 점착된 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)을 점착부위의 미세패턴 3D 디자인에 의하여 오염 및 파티클이 도피할수 있어 오염의 영향을 최소화 한다.Next, the medium and large area of the glass and the medium and large plate 200 adhered to the adhesive cell 122 can be escaped from contamination and particles by the fine pattern 3D design of the adhesive part, thereby minimizing the influence of contamination.

따라서, 본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트(100)에 의하면, 점착셀(122) 디자인 3D 구조에 의해 별도의 복잡한 구성없이 점착 구조와 오염을 피할수 있는 구조로 되어 있어 점착력의 일정한 품질을 기대할 수 있으며 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate(200)을 오염을 최소한으로 유지시키며 점착척 및 점착패드의 점착력을 유지시킬수 있다.Therefore, according to the transfer plate 100 for medium and large-area glass and medium and large plate transfer apparatus of the present invention, the adhesion structure and contamination can be avoided without a separate complicated configuration by the adhesion cell 122 design 3D structure. Since it has a structure, a constant quality of adhesive force can be expected, and contamination of medium and large-area glass and medium and large plates 200 can be kept to a minimum, and the adhesive force of adhesive chucks and adhesive pads can be maintained.

또한, 본 발명의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트(100)에 점착셀(121)이 단순한 구조로 이루어져 있으며, 점착셀(121)의 개수만큼 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate의 운송이 가능함으로써, 대량 운송이 가능하고, 제작 비용이 저렴하다는 장점이 있다.In addition, the adhesive cell 121 is composed of a simple structure in the transfer plate 100 for medium and large area glass and medium and large plate transfer apparatus of the present invention, Glass and medium and large plates can be transported, so mass transport is possible and the manufacturing cost is low.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.As described above, the present invention has been illustrated and described with reference to preferred embodiments, but it is not limited to the above-described embodiments, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains within the scope not departing from the spirit of the present invention Various changes and modifications will be possible.

100:중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트 110:베이스 플레이트
120: 미세패턴 3D 점착부100: Transfer plate for medium, large-area glass and medium, large plate transfer device 110: base plate
120: fine pattern 3D adhesive part

Claims (3)

상하좌우 이동이 가능한 베이스 플레이트; 및
상기 베이스 플레이트의 일면에 형성되어 복수의 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate을 한번에 점착하는 부위를 포함한다.,
상기 베이스플레이트에 점착된 미세패턴의 3D 구조로 점착된 부위와 오염에 도피하는 디자인을 채용함으로 점착된 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate이 장시간 탈부착을 가능하게 하는 특징으로 하는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트a base plate capable of moving up, down, left and right; and
It is formed on one surface of the base plate and includes a portion for attaching a plurality of medium and large-area glass and medium and large plates at once.,
Medium, large, characterized in that it enables long-term attachment and detachment of attached medium and large-area glass and medium and large plates by adopting a design that escapes from the adhered area and contamination with the 3D structure of the fine pattern adhered to the base plate. Transfer plate for glass of area and medium and large plate transfer device 제 1 항에 있어서,
상기 점착셀은 수많은 마이크로 3D 미세패턴으로 점착 탄성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트The method of claim 1,
The adhesive cell is made of an adhesive elastic body with numerous micro 3D micropatterns. 제 2 항에 있어서,
상기 점착셀은 탄성체와 점착제를 혼합하여 제조된 복합체이며 수많은 미세패턴 3D 구조로 이루어져 점착력은 미세패턴의 거리 및 크기로 점착력을 조정하며, 피착물의 흔적이 점착면으로 인한 흔적을 최호화할수 있게 디자인된 마이크로 3D 미세패턴 구조 을 특징으로 하는 중,대면적의 Glass 및 중,대형 Plate 이송 장치용 이송 플레이트3. The method of claim 2,
The adhesive cell is a composite manufactured by mixing an elastic body and an adhesive, and consists of numerous fine pattern 3D structures. Transfer plate for medium and large area glass and medium and large plate transfer device featuring micro 3D micropattern structure
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