KR20210123194A - Apparatus for manufacturing display device and method for manufacturing display device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a display device and a method for manufacturing the display device.
사용자에게 영상을 제공하는 스마트 폰, 태블릿 PC, 디지털 카메라, 노트북 컴퓨터, 네비게이션, 및 스마트 텔레비젼 등의 전자기기는 영상을 표시하기 위한 표시 장치를 포함한다. Electronic devices such as smart phones, tablet PCs, digital cameras, notebook computers, navigation systems, and smart TVs that provide images to users include display devices for displaying images.
표시 장치의 화상을 표시하는 장치로서 유기 발광 표시 패널이나 액정 표시 패널과 같은 표시 패널을 포함한다. 그 중, 발광 표시 패널로써, 발광 소자를 포함할 수 있는데, 예를 들어 발광 다이오드(Light Emitting Diode, LED)의 경우, 유기물을 형광 물질로 이용하는 유기 발광 다이오드(OLED), 무기물을 형광물질로 이용하는 무기 발광 다이오드 등이 있다.A device for displaying an image of a display device includes a display panel such as an organic light emitting display panel or a liquid crystal display panel. Among them, the light emitting display panel may include a light emitting device. For example, in the case of a light emitting diode (LED), an organic light emitting diode (OLED) using an organic material as a fluorescent material and an inorganic material as a fluorescent material may be included. and inorganic light emitting diodes.
표시 장치의 크기에 따라 표시 장치에 포함되는 표시 패널의 크기 역시 다양할 수 있다. 표시 패널의 크기에 따라, 각 표시 장치를 제조하는 제조 장치의 각 구성은 그 크기와 형상이 다르다. 또한, 각 표시 패널의 크기에 따라, 이를 제조하는 제조 장치의 구성을 교체해야 한다.The size of the display panel included in the display device may also vary according to the size of the display device. According to the size of the display panel, each configuration of the manufacturing apparatus for manufacturing each display device has a different size and shape. In addition, according to the size of each display panel, it is necessary to change the configuration of the manufacturing apparatus for manufacturing the same.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 표시 패널의 크기가 달라지더라도, 제조 장치의 각 구성을 교체하지 않으며, 상기 구성을 교체하는 시간을 감소시켜 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an apparatus for manufacturing a display device capable of improving process efficiency by reducing the time required to replace each component without replacing each component of the manufacturing apparatus even when the size of the display panel is changed, and A method of manufacturing a display device is provided.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제 해결을 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 서로 다른 제1 챔버 및 제2 챔버를 포함하는 표시 장치의 제조 장치로서, 상기 제1 챔버 내에 배치되고, 제1 얼라인 마크를 포함하는 제1 스테이지, 상기 제1 챔버 내에서 상기 제1 스테이지 상부에 배치되며, 제1 얼라인 마크와 상기 제1 스테이지 상에 안착되는 대상 기판의 위치 정보를 획득하는 제1 카메라, 상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 카메라, 및 상기 제1 카메라에 의해 획득된 상기 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라의 위치를 결정하는 제어부를 포함한다. According to an exemplary embodiment, an apparatus for manufacturing a display device includes a first chamber and a second chamber that are different from each other, and is disposed in the first chamber and includes a first alignment mark. a first stage, a first camera disposed above the first stage in the first chamber, and acquiring a first alignment mark and position information of a target substrate seated on the first stage; and the second chamber a second camera disposed within, and a controller configured to determine a position of the second camera according to the position information obtained by the first camera.
상기 제어부에서 결정된 상기 제2 카메라의 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라의 위치를 이동시키는 카메라 구동부를 더 포함할 수 있다. The controller may further include a camera driving unit configured to move the position of the second camera according to the position information of the second camera determined by the controller.
상기 제1 카메라에 의해 획득된 상기 위치 정보를 처리하여, 상기 제어부로 제공하는 데이터 처리부를 더 포함할 수 있다. The method may further include a data processing unit that processes the location information obtained by the first camera and provides it to the control unit.
상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 스테이지를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 대상 기판의 위치 정보에 따라, 상기 제2 스테이지에 안착되는 상기 대상 기판의 위치를 결정할 수 있다. The method may further include a second stage disposed in the second chamber, wherein the controller may determine a position of the target substrate seated on the second stage according to position information of the target substrate.
상기 제어부는 상기 대상 기판의 위치 정보에 따라, 상기 제2 스테이지의 위치를 결정할 수 있다. The controller may determine a position of the second stage according to position information of the target substrate.
상기 과제 해결을 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치는 상면에 복수의 제1 흡착홀들과 복수의 제2 흡착홀들을 포함하는 스테이지, 및 각각 상기 스테이지의 상면에 음압을 제공하며, 서로 독립 구동되는 제1 흡입 부재 및 제2 흡입 부재를 포함하되, 상기 제1 흡입 부재는 제1 흡착홀들에 연결되고, 상기 제2 흡입 부재는 제2 흡착홀들에 연결된다. According to an embodiment of the present invention, an apparatus for manufacturing a display device provides a stage including a plurality of first suction holes and a plurality of second suction holes on an upper surface, and a negative pressure to the upper surface of the stage, respectively, and to each other. It includes a first suction member and a second suction member that are independently driven, wherein the first suction member is connected to the first suction holes, and the second suction member is connected to the second suction holes.
상기 제1 흡착홀들은 상기 스테이지의 제1 영역에 배치되고, 상기 제2 흡착홀들은 상기 제1 영역과 비중첩하는 상기 스테이지의 제2 영역에 배치될 수 있다. The first suction holes may be disposed in a first area of the stage, and the second suction holes may be disposed in a second area of the stage that does not overlap the first area.
상기 스테이지는 스테이지 상판, 및 상기 스테이지 상판의 하부에 배치되는 스테이지 하판을 더 포함하고, 상기 제1 흡착홀들과 상기 제2 흡착홀들은 상기 스테이지 상판에 위치하고, 상기 제1 흡입 부재 및 상기 제2 흡입 부재는 상기 스테이지 하판에 연결될 수 있다. The stage further includes a stage upper plate and a lower stage plate disposed under the stage upper plate, the first suction holes and the second suction holes are located on the stage upper plate, the first suction member and the second The suction member may be connected to the lower plate of the stage.
상기 스테이지 하판은 상기 제1 흡입 부재와 연결된 제1 흡착 홈, 및 상기 제2 흡입 부재와 연결된 제2 흡착 홈을 포함할 수 있다. The lower stage plate may include a first suction groove connected to the first suction member and a second suction groove connected to the second suction member.
상기 제1 흡착 홈은 상기 제1 흡착홀들 중 적어도 일부와 중첩하고, 상기 제2 흡착 홈은 상기 제2 흠착홀들 중 적어도 일부와 중첩할 수 있다. The first adsorption groove may overlap at least some of the first adsorption holes, and the second adsorption groove may overlap at least some of the second damage holes.
복수의 홀을 포함하는 로봇 핸드를 포함하는 이송 유닛 및 상기 복수의 홀 중 적어도 일부에 연결된 흡착 부재를 더 포함할 수 있다.It may further include a transfer unit including a robot hand including a plurality of holes and a suction member connected to at least some of the plurality of holes.
상기 복수의 홀 중 상기 흡착 부재가 연결되지 않은 나머지 홀 내에 삽입된 충진 부재를 더 포함할 수 있다. The plurality of holes may further include a filling member inserted into the remaining holes to which the adsorption member is not connected.
상기 스테이지 상부에 위치하는 카메라, 및 상기 카메라와 연결되는 이동 부재를 더 포함하고, 상기 이동 부재는 상기 카메라를 제1 방향, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시킬 수 있다.The camera may further include a camera positioned above the stage and a moving member connected to the camera, wherein the moving member may move the camera in a first direction and a second direction crossing the first direction.
챔버를 더 포함하며, 상기 스테이지는 상기 챔버 내부에 배치될 수 있다.It further includes a chamber, wherein the stage may be disposed inside the chamber.
상기 과제 해결을 위한 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 챔버 내에 배치된 제1 카메라를 이용하여, 상기 제1 챔버 내에 배치된 제1 스테이지의 제1 얼라인 마크의 위치 정보, 및 상기 제1 스테이지 상에 안착된 대상 기판의 제2 얼라인 마크의 위치 정보를 획득하는 단계, 및 상기 획득된 위치 정보를 기초로, 상기 제1 챔버와 다른 제2 챔버 내에 배치된 제2 카메라의 위치를 조정하는 단계를 포함하고, 상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 스테이지의 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라 사이의 상대적인 위치는 상기 제1 스테이지의 상기 제1 얼라인 마크와 상기 제1 카메라 사이의 상대적인 위치와 동일하다.In a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment for solving the above problems, position information of a first alignment mark of a first stage disposed in the first chamber using a first camera disposed in the first chamber, and acquiring position information of a second alignment mark of the target substrate seated on the first stage, and based on the obtained position information, a second camera disposed in a second chamber different from the first chamber adjusting a position, wherein a relative position between a third alignment mark of a second stage disposed in the second chamber and the second camera is determined between the first alignment mark of the first stage and the first It is the same as the relative position between the cameras.
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크는 제1 방향으로 이격되고, 상기 제어부에 의해 조정된 상기 제2 카메라의 위치는 상기 제3 얼라인 마크로부터 상기 제1 방향으로 이격되고, 상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크가 상기 제1 방향으로 이격된 거리는 상기 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라가 제1 방향으로 이격된 거리와 동일할 수 있다. The first alignment mark and the second alignment mark are spaced apart in a first direction, the position of the second camera adjusted by the controller is spaced apart from the third alignment mark in the first direction, and A distance between the first alignment mark and the second alignment mark in the first direction may be the same as a distance between the third alignment mark and the second camera in the first direction.
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크는 제2 방향으로 이격되고, 상기 제어부에 의해 조정된 상기 제2 카메라의 위치는 상기 제3 얼라인 마크로부터 상기 제2 방향으로 이격되고, 상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크가 상기 제2 방향으로 이격된 거리는 상기 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라가 제2 방향으로 이격된 거리와 동일할 수 있다. The first alignment mark and the second alignment mark are spaced apart in a second direction, the position of the second camera adjusted by the controller is spaced apart from the third alignment mark in the second direction, and A distance between the first alignment mark and the second alignment mark in the second direction may be the same as a distance between the third alignment mark and the second camera in the second direction.
상기 제1 스테이지는 상면에 복수의 제1 흡착홀들과 복수의 제2 흡착홀들, 및 서로 독립 구동되는 제1 흡입 부재와 제2 흡입 부재를 포함하되, 상기 제1 흡입 부재는 제1 흡착홀들에 연결되고, 상기 제2 흡입 부재는 제2 흡착홀들에 연결되며, 상기 제1 흡입 부재와 상기 제2 흡입 부재는 각각 상기 스테이지의 상면에 음압을 제공할 수 있다. The first stage includes a plurality of first suction holes and a plurality of second suction holes on an upper surface, and a first suction member and a second suction member driven independently of each other, wherein the first suction member is a first suction member It may be connected to the holes, the second suction member may be connected to the second suction holes, and the first suction member and the second suction member may respectively provide negative pressure to the upper surface of the stage.
상기 제1 흡착홀들은 상기 제1 스테이지의 제1 영역에 배치되고, 상기 제2 흡착홀들은 상기 제1 영역과 비중첩하는 상기 제1 스테이지의 제2 영역에 배치될 수 있다. The first suction holes may be disposed in a first area of the first stage, and the second suction holes may be disposed in a second area of the first stage that does not overlap the first area.
상기 제1 스테이지는 스테이지 상판, 및 상기 스테이지 상판의 하부에 배치되는 스테이지 하판을 더 포함하고, 상기 제1 흡착홀들과 상기 제2 흡착홀들은 상기 스테이지 상판에 위치하고, 상기 제1 흡입 부재 및 상기 제2 흡입 부재는 상기 스테이지 하판에 연결될 수 있다.The first stage further includes a stage upper plate and a lower stage plate disposed under the stage upper plate, wherein the first suction holes and the second suction holes are located on the stage upper plate, the first suction member and the The second suction member may be connected to the lower plate of the stage.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 실시예들에 의하면, 표시 패널의 크기가 달라지더라도, 제조 장치의 각 구성을 교체하지 않으며, 상기 구성을 교체하는 시간을 감소시켜 공정의 효율을 향상시킬 수 있는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공할 수 있다. According to embodiments of the present disclosure, even if the size of the display panel is changed, each component of the manufacturing apparatus is not replaced, and the time for replacing the component is reduced, thereby improving process efficiency. and a method of manufacturing a display device.
실시예들에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.Effects according to the embodiments are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 제1 이송 유닛의 로봇 핸드의 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 제1 이송 유닛의 로봇 핸드의 지지부에 흡착 부재 및 충진 부재가 결합된 모습을 도시한 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따른 진공 챔버 내부를 간략히 도시한 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 제2 이송 유닛의 로봇 핸드의 사시도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 제2 이송 유닛의 로봇 핸드의 지지부에 흡착 부재 및 충진 부재가 결합된 모습을 도시한 도면이다.
도 7은 일 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다.
도 8은 일 실시예에 따른 스테이지의 분해 사시도이다.
도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 자른 단면도이다.
도 10은 일 실시예에 따른 비전 시스템 및 대상 기판이 안착된 스테이지의 사시도이다.
도 11은 도 10의 일 부분을 확대한 평면도이다.
도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 13은 도 10의 일 부분을 확대한 평면도이다.
도 14는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 15는 일 실시예에 따른 제조 장치에 의해 제조된 표시 장치의 평면도이다.
도 16은 일 실시예에 따른 제조 장치에 의해 제조된 표시 장치의 벤딩 영역 주변의 개략적인 단면도이다.
도 17은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 비전 시스템의 사시도이다.
도 18은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 스테이지의 일부를 확대한 평면도이다.
도 19는 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다.
도 20은 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다.
도 21은 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 분해 사시도이다.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다.1 is a schematic diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
2 is a perspective view of a robot hand of a first transfer unit according to an embodiment;
3 is a view illustrating a state in which the adsorption member and the filling member are coupled to the support part of the robot hand of the first transfer unit according to an embodiment.
4 is a diagram schematically illustrating the inside of a vacuum chamber according to an embodiment.
5 is a perspective view of a robot hand of a second transfer unit according to an embodiment.
6 is a view illustrating a state in which the adsorption member and the filling member are coupled to the support part of the robot hand of the second transfer unit according to an embodiment.
7 is a perspective view of a stage according to an embodiment.
8 is an exploded perspective view of a stage according to an embodiment.
9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 8 .
10 is a perspective view of a stage on which a vision system and a target substrate are mounted, according to an exemplary embodiment.
11 is an enlarged plan view of a portion of FIG. 10 .
12 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
13 is an enlarged plan view of a portion of FIG. 10 .
14 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
15 is a plan view of a display device manufactured by a manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment.
16 is a schematic cross-sectional view of a bending area of a display device manufactured by a manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment.
17 is a perspective view of a vision system of an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
18 is an enlarged plan view of a part of a stage of an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
19 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
20 is a perspective view of a stage according to another embodiment.
21 is an exploded perspective view of a stage according to another embodiment.
22 is a perspective view of a stage according to another embodiment.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. Advantages and features of the present invention and methods of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in a variety of different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Reference to an element or layer “on” of another element or layer includes any intervening layer or other element directly on or in the middle of the other element or layer. Like reference numerals refer to like elements throughout.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, these elements are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the spirit of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 구체적인 실시예들에 대해 설명한다. Hereinafter, specific embodiments will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10)는 적어도 하나의 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4), 적어도 하나의 반송 챔버(TC1, TC2), 및 제1 이송 유닛(100)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , an
진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)는 제1 진공 챔버(CH1), 제2 진공 챔버(CH2), 제3 진공 챔버(CH3), 및 제4 진공 챔버(CH4)를 포함할 수 있다. 도면상 4개의 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)를 도시하였으나, 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)의 개수는 이에 제한되는 것은 아니고, 3개 이하 또는 5개 이상일 수 있다. The vacuum chambers CH1 , CH2 , CH3 , and CH4 may include a first vacuum chamber CH1 , a second vacuum chamber CH2 , a third vacuum chamber CH3 , and a fourth vacuum chamber CH4 . Although four vacuum chambers (CH1, CH2, CH3, CH4) are illustrated in the drawing, the number of vacuum chambers (CH1, CH2, CH3, CH4) is not limited thereto, and may be 3 or less or 5 or more.
진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)는 박스(box)형 구조물로서, 그 내부에서 대상 기판(도 3의 'S' 참조)에 대한 제조 공정이 진행될 수 있다. 즉, 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각은 대상 기판(도 3의 'S' 참조)에 대한 제조 공정이 진행되는 공간을 제공할 수 있다. 각각의 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 내에서 서로 다른 제조 공정이 진행될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 각각의 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 일측 벽면에는 대상 기판(도 3의 'S' 참조) 등이 출입하는 게이트(미도시)가 배치될 수 있다. 각각의 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)는 밀폐되어 내부가 진공 상태일 수 있으며, 상호 물리적으로 분리될 수 있다. The vacuum chambers CH1 , CH2 , CH3 , and CH4 are box-type structures, in which a manufacturing process for a target substrate (refer to 'S' in FIG. 3 ) may be performed. That is, each of the vacuum chambers CH1 , CH2 , CH3 , and CH4 may provide a space in which a manufacturing process for a target substrate (see 'S' in FIG. 3 ) is performed. Different manufacturing processes may be performed in each of the vacuum chambers CH1, CH2, CH3, and CH4, but the present invention is not limited thereto. A gate (not shown) through which a target substrate (refer to 'S' in FIG. 3 ) and the like enters and exits may be disposed on one side wall of each of the vacuum chambers CH1 , CH2 , CH3 , and CH4 . Each of the vacuum chambers CH1 , CH2 , CH3 , and CH4 may be sealed so that the inside thereof may be in a vacuum state, and may be physically separated from each other.
반송 챔버(TC1, TC2)는 제1 반송 챔버(TC1) 및 제2 반송 챔버(TC2)를 포함할 수 있다. 도면상 2개의 반송 챔버(TC1, TC2)를 도시하였으나, 반송 챔버(TC1, TC2)의 개수는 이에 제한되는 것은 아니고, 1개이거나 3개 이상일 수 있다. 제1 반송 챔버(TC1)와 제2 반송 챔버(TC2)는 대상 기판(도 3의 'S' 참조)이 시스템 내부로 들어오는 입구 및/또는 출구 기능을 할 수 있다. 예컨대, 대상 기판(도 3의 'S' 참조)은 제1 반송 챔버(TC1)로 반입되고, 제1 챔버(CH1), 제2 챔버(CH2), 제3 챔버(CH3), 및 제4 챔버(CH4)에서 수행되는 가공 단계를 거쳐 제2 반송 챔버(TC2)로 반출될 수 있다. The transfer chambers TC1 and TC2 may include a first transfer chamber TC1 and a second transfer chamber TC2 . Although two transfer chambers TC1 and TC2 are illustrated in the drawing, the number of transfer chambers TC1 and TC2 is not limited thereto, and may be one or three or more. The first transfer chamber TC1 and the second transfer chamber TC2 may function as an inlet and/or outlet through which a target substrate (refer to 'S' in FIG. 3 ) enters the system. For example, the target substrate (refer to 'S' in FIG. 3 ) is loaded into the first transfer chamber TC1 , and the first chamber CH1 , the second chamber CH2 , the third chamber CH3 , and the fourth chamber It may be transported to the second transfer chamber TC2 through the processing step performed in (CH4).
제1 이송 유닛(100)은 대상 기판(도 3의 'S' 참조)을 각 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 및 반송 챔버(TC1, TC2)에 반입하거나, 반출할 수 있다. 제1 이송 유닛(100)은 로봇 암(Robot arm, 110), 로봇 핸드(Robot hand, 120)를 포함할 수 있다. The
로봇 암(110)은 로봇 핸드(120)를 지지하며, 로봇 핸드(120)를 이동시킬 수 있다. 로봇 핸드(120)는 대상 기판(도 3의 'S' 참조)을 지지하며, 대상 기판(도 3의 'S' 참조)을 이동시킨다. The
로봇 핸드(120)에 대해 보다 상세히 설명하기 위해 도 2 및 도 3이 더 참조된다. Further reference is made to FIGS. 2 and 3 for a more detailed description of the
도 2는 일 실시예에 따른 제1 이송 유닛의 로봇 핸드의 사시도이다. 도 3은 일 실시예에 따른 제1 이송 유닛의 로봇 핸드의 지지부에 흡착 부재 및 충진 부재가 결합된 모습을 도시한 도면이다.2 is a perspective view of a robot hand of a first transfer unit according to an embodiment; 3 is a view illustrating a state in which the adsorption member and the filling member are coupled to the support part of the robot hand of the first transfer unit according to an embodiment.
도 2 및 도 3을 더 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10)는 흡착 부재(123) 및 충진 부재(124)를 더 포함할 수 있으며, 로봇 핸드(120)는 지지부(121), 홀(122), 및 결합부(125)를 포함할 수 있다. 2 and 3 , the
지지부(121)는 평면상 대상 기판(S)의 크기보다 클 수 있다. 지지부(121)는 평면상 직사각형의 형상으로 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 삼각형, 오각형 등의 다각형 형상으로 형성되거나, 타원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 지지부(121)는 대상 기판(S)을 흡착하는 흡착 부재(123)와 충진 부재(124)가 배치되는 공간을 제공하며, 흡착 부재(123)와 충진 부재(124)를 고정할 수 있다. 지지부(121)에 복수의 홀(122)이 형성될 수 있다. The
홀(122)은 지지부(121)에 의해 정의되며, 지지부(121)를 두께 방향으로 관통할 수 있다. 홀(122)은 평면상 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 삼각형, 사각형 등 다각형으로 형성되거나, 타원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 복수의 홀(122) 중 일부의 내부에는 흡착 부재(123)가 배치되고, 나머지의 일부에는 충진 부재(124)가 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 충진 부재(124)는 생략될 수도 있다. The
흡착 부재(123)는 복수의 홀(122) 중 적어도 일부에 연결되어, 대상 기판(S)을 진공으로 흡착할 수 있다. 이에 따라, 대상 기판(S)은 로봇 핸드(120)의 지지부(121) 상에 고정될 수 있다. 도시하진 않았으나, 흡착 부재(123)와 연결되어, 흡착 부재(123)가 대상 기판(S)을 진공으로 흡착하도록 공기를 흡입하는 진공 흡입부(미도시)가 더 배치될 수 있다. The
충진 부재(124)는 복수의 홀(122) 중 흡착 부재(123)가 배치되지 않은 홀(122) 내에 배치될 수 있다. 충진 부재(124)는 흡착 부재(123)가 배치되지 않은 홀(122) 내에 배치됨으로써, 상기 홀(122)을 채우고, 외부로부터 공기 등이 흡입되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 상기 흡착 부재(123)가 원활히 작동할 수 있다. The filling
대상 기판(S)과 대응되는 전 영역에 위치하는 모든 홀(122)에 흡착 부재(123)가 연결될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 대상 기판(S)과 대응되는 영역 중 일부의 홀(122)에만 흡착 부재(123)가 배치될 수도 있다. 즉, 로봇 핸드(120)의 적어도 일부 영역에서만 흡착 부재(123)가 배치되어, 대상 기판(S)을 지지할 수도 있다. The
흡착 부재(123)가 배치된 영역을 대응 영역(DA)으로, 흡착 부재(123)가 배치되지 않은 영역을 주변 영역(GA)으로 지칭할 수 있다. 대응 영역(DA)의 크기 및 형상은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 대응되며, 대응 영역(DA)은 대상 기판(S)과 중첩할 수 있다. An area in which the
로봇 핸드(120)의 일부 영역에서만 선별적으로 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있다. 상기 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라 달라질 수 있다. 흡착 부재(123)가 배치되는 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라 달라질 수 있다. 상기 흡착 부재(123)가 배치되는 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 대응되며, 대상 기판(S)과 중첩할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 흡착 부재(123)가 배치되는 위치는 대상 기판(S)의 일부와 중첩할 수도 있다. 즉, 흡착 부재(123)는 대응 영역(DA) 내에 위치하는 홀(122) 중 일부에만 배치될 수도 있다. 이 경우, 흡착 부재(123)는 대응 영역(DA) 내에서 서로 다른 복수의 패턴을 가질 수 있다.The target substrate S may be selectively vacuum-sucked only in a partial area of the
따라서, 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라, 흡착 부재(123)의 배치 위치 및 흡착 부재(123)가 배치되는 영역의 크기 및 형상이 달라질 수 있고, 이에 따라, 서로 다른 형상 및 크기를 갖는 대상 기판(S)은 하나의 로봇 핸드(120) 상에 부착될 수 있다. 즉, 대상 기판(S)의 크기 및 형상이 달라짐에도 불구하고, 로봇 핸드(120) 자체의 교체는 불필요하며, 동일한 로봇 핸드(120)로 다양한 크기 및 형상을 갖는 대상 기판(S)을 이동시킬 수 있다. 따라서, 로봇 핸드(120) 자체의 교체에 필요한 시간을 감소시킬 수 있으며, 공정에 필요한 시간을 감소시킬 수 있어, 공정 효율이 향상될 수 있다. Therefore, depending on the size and shape of the target substrate S, the arrangement position of the
충진 부재(124)는 주변 영역(GA)에 위치하는 홀(122)의 내부에 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 주변 영역(GA)에 배치된 홀(122)의 내부는 별도의 구성이 배치되지 않고, 비어 있을 수 있다. The filling
결합부(125)는 지지부(121) 상에 위치할 수 있다. 결합부(125)는 일 방향 일측 끝단으로부터 타측 끝단으로 이어지며, 이에 제한되는 것은 아니지만, 다리(Bridge) 형상으로 형성될 수 있다. 도시하진 않았으나, 결합부(125)는 로봇 암(110)과 결합되는 결합 홈(미도시)을 포함할 수 있다. 결합부(125)에 의해, 로봇 암(110)과 로봇 핸드(120)가 결합될 수 있고, 로봇 암(110)에 의해 로봇 핸드(120) 및 로봇 핸드(120) 상에 위치하는 대상 기판(S)이 이송될 수 있다. The
이하에서, 진공 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 내부에 배치된 구성들에 대해 설명한다. Hereinafter, components disposed in the vacuum chambers CH1, CH2, CH3, and CH4 will be described.
도 4는 일 실시예에 따른 진공 챔버 내부를 간략히 도시한 도면이다. 4 is a diagram schematically illustrating the inside of a vacuum chamber according to an embodiment.
도 4에서는 설명의 편의를 위해 제1 진공 챔버(CH1)의 내부만을 도시하였으나, 이는 예시적인 것으로, 이하에서 서술되는 설명은 제2 내지 제4 진공 챔버(CH2, CH3, CH4)에도 적용될 수 있다. In FIG. 4 , only the inside of the first vacuum chamber CH1 is illustrated for convenience of description, this is exemplary, and the descriptions described below may also be applied to the second to fourth vacuum chambers CH2, CH3, and CH4. .
도 4를 참조하면, 표시 장치의 제조 장치(10)는 제2 이송 유닛(200), 스테이지(Stage, 300) 및 비전 시스템(Vision system, 400)을 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4 , the
제2 이송 유닛(200)은 제1 진공 챔버(CH1) 내에 배치될 수 있다. 제2 이송 유닛(200)은 제1 진공 챔버(CH1) 외부의 제1 이송 유닛(도 1의 '100' 참조)으로부터 대상 기판(도 3의 'S')을 전달받고, 제1 진공 챔버(CH1) 내부에서 대상 기판(도 3의 'S')을 이송하여, 스테이지(300) 상에 대상 기판(도 3의 'S') 위치시킬 수 있다. 제2 이송 유닛(200)은 로봇 암(210) 및 로봇 핸드(220)을 포함할 수 있다. 제2 이송 유닛(200)의 로봇 암(210)은 제2 이송 유닛(200)의 로봇 핸드(220)를 지지하며, 제2 이송 유닛(200)의 로봇 핸드(220)를 이동시킬 수 있다. 제2 이송 유닛(200)의 로봇 핸드(220)는 대상 기판(도 3의 'S' 참조)을 지지하며, 대상 기판(도 3의 'S' 참조)을 이동시킨다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다. The
스테이지(300)는 제1 진공 챔버(CH1) 내에 배치될 수 있다. 스테이지(300)는 대상 기판(S)이 안착될 수 있는 공간을 제공하며, 대상 기판(S)을 지지할 수 있다. 다시 말해서, 대상 기판(S)은 스테이지(300) 상에 안착된다. 대상 기판(S)은 스테이지(300)의 상면 상에 배치될 수 있다. 스테이지(300)는 진공, 정전기 및/또는 반데르 발스 힘 등을 이용하여 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)을 고정할 수 있다. 또한, 스테이지(300)는 대상 기판(S)이 안착된 상태에서 이동하거나 회전함으로써, 대상 기판(S)의 위치 및 방향을 조정할 수 있다. 스테이지(300)는 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S) 크기 및 형상에 상관없이 사용될 수 있는 공용 스테이지일 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다. The
비전 시스템(400)은 제1 진공 챔버(CH1) 내에 배치될 수 있다. 비전 시스템(400)은 스테이지(300)의 스테이지 얼라인 마크(Align mark, 311)와 대상 기판(S)의 대상 기판 얼라인 마크(도 10의 'MK1, MK2' 참조)의 위치를 확인할 수 있다. 비전 시스템(400)은 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 포함할 수 있다. 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 스테이지(300)의 상부에 위치할 수 있다. 다시 말해서, 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 대상 기판(S)을 사이에 두고 스테이지(300)와 이격되어 배치될 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다. The
이하에서, 도 5 및 도 6을 참조하여, 제2 이송 유닛(200)의 로봇 핸드(220)에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, the
도 5는 일 실시예에 따른 제2 이송 유닛의 로봇 핸드의 사시도이다. 도 6은 일 실시예에 따른 제2 이송 유닛의 로봇 핸드의 지지부에 흡착 부재 및 충진 부재가 결합된 모습을 도시한 도면이다.5 is a perspective view of a robot hand of a second transfer unit according to an embodiment. 6 is a view illustrating a state in which the adsorption member and the filling member are coupled to the support part of the robot hand of the second transfer unit according to an embodiment.
도 5 및 도 6을 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10)는 흡착 부재(223) 및 충진 부재(224)를 더 포함할 수 있다. 5 and 6 , the
제2 이송 유닛(200)의 로봇 핸드(220)는 대상 기판(S)을 지지할 수 있다. 로봇 핸드(220)는 지지부(221), 홀(222), 흡착 부재(223), 충진 부재(224) 및 결합부(225)를 포함할 수 있다. The
지지부(221)는 평면상 대상 기판(S)의 크기보다 클 수 있다. 지지부(221)는 평면상 직사각형의 형상으로 형성될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 삼각형, 오각형 등의 다각형 형상으로 형성되거나, 타원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 지지부(221)는 대상 기판(S)을 흡착하는 흡착 부재(223)와 충진 부재(224)가 배치되는 공간을 제공하며, 흡착 부재(223)와 충진 부재(224)를 고정할 수 있다. 지지부(221)에 복수의 홀(222)이 형성될 수 있다. The
홀(222)은 지지부(221)에 의해 정의되며, 지지부(221)를 두께 방향으로 관통할 수 있다. 홀(222)은 평면상 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 삼각형, 사각형 등 다각형으로 형성되거나, 타원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 복수의 홀(222) 중 일부의 내부에는 흡착 부재(223)가 배치되고, 나머지의 일부에는 충진 부재(224)가 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 충진 부재(224)는 생략될 수도 있다. The
흡착 부재(223)는 복수의 홀(222) 중 적어도 일부에 연결되어, 대상 기판(S)을 진공으로 흡착할 수 있다. 이에 따라, 대상 기판(S)은 로봇 핸드(220)의 지지부(221) 상에 고정될 수 있다. 도시하진 않았으나, 흡착 부재(223)와 연결되어, 흡착 부재(223)가 대상 기판(S)을 진공으로 흡착하도록 공기를 흡입하는 진공 흡입부(미도시)가 더 배치될 수 있다. The
충진 부재(224)는 복수의 홀(222) 중 흡착 부재(223)가 배치되지 않은 홀(222) 내에 배치될 수 있다. 충진 부재(224)는 흡착 부재(223)가 배치되지 않은 홀(222) 내에 배치됨으로써, 상기 홀(222)을 채우고, 외부로부터 공기 등이 흡입되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 상기 흡착 부재(223)가 원활히 작동할 수 있다. The filling
대상 기판(S)과 대응되는 전 영역에 위치하는 모든 홀(122)에 흡착 부재(223)가 연결될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 대상 기판(S)과 대응되는 영역 중 일부의 홀(222)에만 흡착 부재(223)가 배치될 수도 있다. 즉, 로봇 핸드(220)의 적어도 일부 영역에서만 흡착 부재(223)가 배치되어, 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수도 있다.The
흡착 부재(223)가 배치된 영역을 대응 영역(DA)으로, 흡착 부재(223)가 배치되지 않은 영역을 주변 영역(GA)으로 지칭할 수 있다. 대응 영역(DA)의 크기 및 형상은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 대응되며, 대응 영역(DA)은 대상 기판(S)과 중첩할 수 있다. An area in which the
로봇 핸드(220)의 일부 영역에서만 선별적으로 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있다. 상기 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라 달라질 수 있다. 흡착 부재(223)가 배치되는 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라 달라질 수 있다. 흡착 부재(223)가 배치되는 영역은 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 대응되며, 대상 기판(S)과 중첩할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니며, 흡착 부재(223)가 배치되는 위치는 대상 기판(S)의 일부와 중첩할 수도 있다. 즉, 흡착 부재(223)는 대응 영역(DA) 내에 위치하는 홀(222) 중 일부에만 배치될 수도 있다. 이 경우, 흡착 부재(223)는 대응 영역(DA) 내에서 서로 다른 복수의 패턴을 가질 수 있다.The target substrate S may be selectively vacuum-adsorbed only in a partial area of the
따라서, 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라, 흡착 부재(223)의 배치 위치 및 흡착 부재(223)가 배치되는 영역의 크기 및 형상이 달라질 수 있고, 이에 따라, 서로 다른 형상 및 크기를 갖는 대상 기판(S)은 하나의 로봇 핸드(220) 상에 부착될 수 있다. 즉, 대상 기판(S)의 크기 및 형상이 달라짐에도 불구하고, 로봇 핸드(220) 자체의 교체는 불필요하며, 동일한 로봇 핸드(120)로 다양한 크기 및 형상을 갖는 대상 기판(S)을 이동시킬 수 있다. 따라서, 로봇 핸드(220) 자체의 교체에 필요한 시간을 감소시킬 수 있으며, 공정에 필요한 시간을 감소시킬 수 있어, 공정 효율이 향상될 수 있다. Therefore, depending on the size and shape of the target substrate S, the arrangement position of the
충진 부재(224)는 주변 영역(GA)에 위치하는 홀(222)의 내부에 배치될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 주변 영역(GA)에 배치된 홀(222)의 내부는 별도의 구성이 배치되지 않고, 비어 있을 수 있다. The filling
결합부(225)는 지지부(221) 상에 위치할 수 있다. 결합부(225)는 일 방향 일측 끝단으로부터 타측 끝단으로 이어지며, 이에 제한되는 것은 아니지만, 다리(Bridge) 형상으로 형성될 수 있다. 도시하진 않았으나, 결합부(225)는 로봇 암(210)과 결합되는 결합 홈(미도시)을 포함할 수 있다. 결합부(225)에 의해, 로봇 암(210)과 로봇 핸드(220)가 결합될 수 있고, 로봇 암(210)에 의해 로봇 핸드(220) 및 로봇 핸드(220) 상에 위치하는 대상 기판(S)이 이송될 수 있다.The
이하에서, 도 7 내지 도 9를 참조하여, 스테이지(300)에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, the
도 7은 일 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다. 도 8은 일 실시예에 따른 스테이지의 분해 사시도이다. 도 9는 도 8의 Ⅸ-Ⅸ' 선을 따라 자른 단면도이다.7 is a perspective view of a stage according to an embodiment. 8 is an exploded perspective view of a stage according to an embodiment. 9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX' of FIG. 8 .
도 7 내지 도 9를 참조하면, 스테이지(300)는 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라, 대상 기판(S)을 고정하는 영역이 달라질 수 있다. 스테이지(300)가 대상 기판(S)을 고정하는 방법은 다양할 수 있으며, 이에 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어, 스테이지(300)는 대상 기판(S)를 진공 흡착하며, 대상 기판(S)의 크기 및 형상에 따라 대상 기판(S)을 진공 흡착하는 영역이 달라질 수 있다. 7 to 9 , in the
스테이지(300)는 스테이지 상판(310), 스테이지 상판(310)의 하부에 위치하는 스테이지 하판(320) 및 흡입 부재(322)를 포함할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 스테이지(300)는 스테이지 상판(310)과 스테이지 하판(320)이 분리되지 않고, 일체로 형성될 수도 있다. The
스테이지 상판(310)은 평면상 직사각형의 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 평면상 삼각형, 오각형 등의 다각형 형상으로 형성되거나, 원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 스테이지 상판(310) 상에는 대상 기판(S)이 안착될 수 있다. 스테이지 상판(310)은 얼라인 마크(311), 눈금 자(312) 및 복수의 흡착 홀(313)을 포함할 수 있다. The stage
얼라인 마크(311)는 스테이지 상판(310) 상에 배치되며, 스테이지 상판(310)의 모서리에 배치될 수 있다. 얼라인 마크(311)는 평면상 십자가 형상(+) 형상으로 형성될 수 있으나, 얼라인 마크(311)의 평면상 형상은 이에 제한되지 않고, 예를 들어, 삼각형, 육각형, 원형, 타원형 등의 형상으로 형성될 수도 있다. 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)는 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)의 위치를 측정하기 위한 기준점이 될 수 있다. The
눈금 자(312)는 스테이지 상판(310) 상에 배치되며, 스테이지 상판(310)의 적어도 어느 한 변의 테두리를 따라 배치될 수 있다. 눈금 자(312)는 스테이지 상판(310)의 적어도 어느 한 변의 테두리를 따라, 일 직선에 그래픽 정보의 일종인 복수의 눈금이 나열된 형상으로 형성될 수 있다. 눈금 자(312)는 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)의 위치를 보다 정확하게 측정하도록 하는 역할을 수행한다. The
스테이지(300)의 흡착 홀(313)은 스테이지 상판(310)에 의해 정의되며, 스테이지 상판(310)을 두께 방향으로 관통할 수 있다. 흡착 홀(313)은 평면상 원형으로 형성될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며, 삼각형, 사각형 등 다각형으로 형성되거나, 타원 형상 등으로 형성될 수도 있다. 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)은 스테이지(300)의 흡착 홀(313) 및 흡착 홀(313)에 연결된 흡입 부재(322) 등을 통해 스테이지 상판(310, 또는, 스테이지 상면) 상에 흡착되어, 스테이지(300) 상에 고정될 수 있다. The
스테이지 하판(320)은 스테이지 상판(310)의 하부에 위치할 수 있다. 스테이지 하판(320)의 형상은 스테이지 상판(310)의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다. 스테이지 하판(320)은 흡착 홈(321)을 포함할 수 있다. The stage
흡착 홈(321)은 복수로 구비될 수 있다. 흡착 홈(321)은 제1 방향(DR1)을 따라 상호 이격되어 반복적으로 배치될 수 있으며, 제2 방향(DR1)을 따라 상호 이격되어 반복적으로 배치될 수 있다. 흡착 홈(321)은 제1 방향(DR1)을 따라 7개가 배치되며, 제2 방향(DR2)을 따라 4개가 배치되는 것으로 도시하였으나, 흡착 홈(321)의 개수는 이에 제한되지 않는다. A plurality of
흡착 홈(321)은 스테이지 하판(320) 상에서 하측으로 파여진 홈(Groove) 형상으로 형성될 수 있다. 각각의 흡착 홈(321)은 후술할 흡입 부재(322)와 연결되어, 진공 흡입할 수 있다. 각각의 흡착 홈(321)은 서로 독립적으로 형성되어, 상호 분리될 수 있다. 스테이지 하판(320)이 스테이지 상판(310)과 결합하는 경우 또는 스테이지 상판(310)과 스테이지 하판(320)이 일체로 형성되는 경우, 각 흡착 홈(321)은 독립적으로 밀폐된 공간을 형성할 수 있다. 즉, 흡착 홈(321)은 각각 서로 분리되어 독립적으로 진공 흡입할 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어, 복수의 흡착 홈(321) 중 일부는 진공 흡입하면서, 나머지의 흡착 홈(321)은 진공 흡입하지 않을 수 있다. The
흡입 부재(322)는 복수로 구비되며, 복수의 흡입 부재(322)는 각각 독립적으로 구동될 수 있다. 각각의 흡입 부재(322)는 상기 흡입 부재(322)와 연결된 흡착 홈(321) 내부의 기체를 흡입하여, 외부로 배출할 수 있다. 이에 따라, 흡입 부재(322)는 스테이지(300) 상면(또는 스테이지 상판(310))에 음압을 제공할 수 있다. 각각의 흡입 부재(322)는 서로 다른 흡착 홈(321)과 연결되며, 서로 다른 복수의 홀(313)들과 연결될 수 있다. 따라서, 각각의 흡착 홈(321)은 독립적으로 진공 흡입할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 2개 이상의 흡입 부재(322)가 하나의 흡착 홈(321)과 연결될 수도 있다. The
흡입 부재(322)가 진공 흡입함에 따라, 흡입 부재(322)는 스테이지(300)의 상면(또는, 스테이지 상판(310))에 음압을 제공할 수 있다. 다시 말해서, 흡입 부재(322)는 상기 흡입 부재(322)와 연결된 흡착 홈(321), 및/또는 상기 흡착 홈(321)과 중첩하는 흡착 홀(313)을 통해, 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있다. 흡착 홈(321)이 진공 흡착하는 경우, 상기 스테이지 상판(310)의 흡착 홀(313) 상에 위치하는 대상 기판(S)은 스테이지(300) 상에 진공 흡착되어, 고정될 수 있다. As the
아울러, 스테이지 하판(320)에 구비된 복수의 흡착 홈(321), 및 상기 흡착 홈(321)에 연결된 흡입 부재(322)를 구비하고, 흡입 부재(322) 각각이 독립적으로 구동됨에 따라, 하나의 스테이지(300) 상에 크기 및 형상이 다른 대상 기판(S)이 안착될 수 있다. 다시 말해서, 스테이지(300)는 스테이지(300)의 일부 영역만을 선별적으로 진공 흡입할 수 있고, 상기 영역에 위치하는 적어도 하나의 흡착 홀(313), 상기 흡착 홀(313)에 연결된 적어도 하나의 흡착 홈(321)에 연결된 흡입 부재(322)를 선별적으로 구동하여, 진공 흡입할 수 있다.In addition, a plurality of
따라서, 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)의 크기 및 형상이 달라지더라도, 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)에 대응되는 영역의 흡착 홈(321)과 연결된 흡입 부재(322)를 구동하여 상기 대응 영역에서 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있다. 따라서, 대상 기판(S)의 크기 및 형상이 달라지더라도, 대상 기판(S) 각각에 대응되는 영역의 흡착 홈(321)과 연결된 흡입 부재(322)를 구동함으로써, 스테이지(300)의 교체없이, 스테이지(300) 상에 크기 및 형상이 다른 대상 기판(S)이 각각 안착될 수 있다. Accordingly, even if the size and shape of the target substrate S seated on the
스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)에 대응되는 전 영역에서 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니고, 상기 대상 기판(S)에 대응되는 영역 중 일부 영역에서만 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수도 있다. 즉, 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)에 대응되는 전 영역에 배치된 흡착 홈(321)에 연결된 흡입 부재(322) 전부가 구동되어, 상기 전 영역에서 진공 흡입이 이루어질 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 스테이지(300) 상에 안착되는 대상 기판(S)에 대응되는 전 영역에 배치된 흡착 홈(321)에 연결된 흡입 부재(322) 중 일부만 작동하여, 상기 영역의 일부에서만 진공 흡입이 이루어질 수도 있다. The target substrate S may be vacuum-adsorbed in the entire region corresponding to the target substrate S seated on the
이에 따라, 대상 기판(S)의 크기가 달라지더라도, 스테이지(300) 자체의 교체는 불필요할 수 있다. 스테이지(300) 자체의 교체가 불필요해짐에 따라, 스테이지(300) 자체의 교체에 시간이 소비되는 것을 방지할 수 있고, 공정에 소비되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 공정 효율이 향상될 수 있다. Accordingly, even if the size of the target substrate S is changed, replacement of the
도 10은 일 실시예에 따른 비전 시스템 및 대상 기판이 안착된 스테이지의 사시도이다. 도 10에서 설명의 편의를 위해 스테이지(300) 상에는 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)만을 도시하였다. 10 is a perspective view of a stage on which a vision system and a target substrate are mounted, according to an exemplary embodiment. In FIG. 10 , only the alignment marks 311 of the
도 10을 참조하면, 대상 기판(S)은 제1 얼라인 마크(MK1) 및 제2 얼라인 마크(MK2)를 포함할 수 있다. 제1 얼라인 마크(MK1) 및 제2 얼라인 마크(MK2)는 대상 기판(S) 상에 배치되며, 대상 기판(S)의 모서리에 배치될 수 있다. 제1 얼라인 마크(MK1) 및 제2 얼라인 마크(MK2)는 평면상 십자가 형상(+) 형상으로 형성될 수 있으나, 제1 얼라인 마크(MK1) 및 제2 얼라인 마크(MK2)의 평면상 형상은 이에 제한되지 않고, 예를 들어, 삼각형, 육각형, 원형, 타원형 등의 형상으로 형성될 수도 있다. 제1 얼라인 마크(MK1)는 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제1 방향(DR1)으로 가까운 곳에 위치한 얼라인 마크를 지칭하고, 제2 얼라인 마크(MK2)는 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제1 방향(DR1)으로 먼 곳에 위치한 얼라인 마크를 지칭한다. Referring to FIG. 10 , the target substrate S may include a first alignment mark MK1 and a second alignment mark MK2 . The first alignment mark MK1 and the second alignment mark MK2 may be disposed on the target substrate S and may be disposed at corners of the target substrate S. The first alignment mark MK1 and the second alignment mark MK2 may be formed in a cross-shaped (+) shape in plan view, but the first alignment mark MK1 and the second alignment mark MK2 The planar shape is not limited thereto, and for example, it may be formed in a shape such as a triangle, a hexagon, a circle, an oval, or the like. The first alignment mark MK1 refers to an alignment mark located close to the
일 실시예에 따른 비전 시스템(400)은 제1 카메라(410), 제2 카메라(420), 및 이동 부재(430)를 포함할 수 있다. The
제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)은 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)의 위치를 확인하며, 대상 기판(S)의 얼라인 마크(MK1, MK2)의 위치를 확인할 수 있다. 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)의 위치 및 대상 기판(S)의 얼라인 마크(MK1, MK2)의 위치를 확인함으로써, 스테이지(300) 상에 원하는 위치에 대상 기판(S)이 안착되었는지 여부를 확인할 수 있다. The
도시하진 않았으나, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 식별광 발생부(미도시) 및 식별광 수광부(미도시)를 포함할 수 있다. 식별광 발생부(미도시)는 얼라인 마크 식별광을 생성하여, 얼라인 마크 식별광을 얼라인 마크(311, MK1, MK2) 측으로 방출하는 역할을 한다. 식별광 수광부(미도시)는 얼라인 마크(311, MK1, MK2)로부터 반사된 식별광을 수신한다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 식별광 발생부(미도시)가 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)에 구비되지 않고, 별도의 얼라인 마크 식별광 발생 장치가 구비될 수도 있다.Although not shown, the
이동 부재(430)는 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제1 방향(DR1) 및 이와 교차하는 제2 방향(DR2)으로 이동시킬 수 있다. 이동 부재(430)는 제1 이동부(431) 및 제2 이동부(432)를 포함할 수 있다. The moving member 430 may move the
제1 이동부(431)는 스테이지(300) 및 대상 기판(S)의 상부에 위치하고, 스테이지(300) 및 대상 기판(S)와 이격되어 배치될 수 있다. 제1 이동부(431)는 제1 방향(DR1)으로 연장되며, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 제1 이동부(431)는 하나의 레일로 형성될 수 있다. 아울러, 제1 이동부(431)는 제1 카메라(410)와 제2 카메라(420)를 독립적으로 이동시킬 수 있고, 이에 따라, 제1 카메라(410)와 제2 카메라(420)의 제1 방향(DR1) 사이의 거리를 조절할 수 있다.The first moving
제2 이동부(432)는 스테이지(300) 및 대상 기판(S)의 제1 방향(DR1) 일측 및 타측에 위치하고, 스테이지(300) 및 대상 기판(S)와 이격되어 배치될 수 있다. 제2 이동부(432)는 제2 방향(DR2)으로 연장되며, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제2 방향(DR2)으로 이동시킬 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 제2 이동부(432)는 두 개의 레일로 된 한 쌍으로 형성될 수 있다.The second moving
도면상에 도시된 제1 이동부(431)의 형상, 제2 이동부(432)의 형상 및 제1 이동부(431)와 제2 이동부(432) 사이의 결합 관계는 예시적인 것일 뿐이며, 이에 제한되지 않고, 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The shape of the first moving
대상 기판(S)의 정렬 위치 및 크기를 확인하기 위한 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치는 복수의 진공 챔버(도 1의 'CH1, CH2, CH3, CH4' 참조) 중 하나에서 설정함으로써, 나머지 챔버의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치도 함께 설정될 수 있다. 이에 대해 설명하기 위해 도 11 및 도 12가 더 참조된다. The positions of the
도 11은 도 10의 일 부분을 확대한 평면도이다. 도 12는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 도 11에서 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)로부터 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)의 얼라인 마크(MK1, MK2)를 향해 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)가 이동하는 이동 경로를 도시하였다. 11 is an enlarged plan view of a portion of FIG. 10 . 12 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment. In FIG. 11 , the
우선, 도 11을 더 참조하면, 제1 카메라(410)는 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)로부터 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)를 향해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다. 다시 말해서, 제1 카메라(410)는 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)로부터 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)를 향해 제1 방향(DR1)으로 제1 거리(d1)만큼 이동하고, 제2 방향(DR2)으로 제2 거리(d2)만큼 이동할 수 있다. 제1 카메라(410)가 상기와 같이 이동함에 따라, 제2 카메라(420)도 함께 이동할 수 있다. First, further referring to FIG. 11 , the
제1 카메라(410)가 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)의 상부에 위치한 후, 제1 카메라(410)는 고정하고, 제2 카메라(420)를 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 다시 말해서, 제2 카메라(420)는 제1 카메라(410)를 따라 이동한 뒤, 제2 얼라인 마크(MK2)를 향해 제1 방향(DR1)으로 제3 거리(d3)만큼 이동할 수 있다. After the
이어, 도 12를 더 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10)는 데이터 처리부(DP), 제어부(CT), 및 비전 시스템 구동부(DR_V)을 더 포함할 수 있다. 도면상 비전 시스템(400), 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것으로 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 제1 방향(DR1) 뿐만 아니라 제2 방향(DR2)으로도 이동할 수 있다. Next, further referring to FIG. 12 , the
데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410) 및/또는 제2 카메라(420)가 이동한 정보를 처리할 수 있다 즉, 데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410) 및/또는 제2 카메라(420)가 이동한 제1 거리(d1), 제2 거리(d2) 및 제3 거리(d3)를 전송하기에 적합한 형식으로 변환시켜 이를 제어부(CT)에 제공할 수 있다. 데이터 처리부(DP)는 유선 또는 무선 통신 방식으로 필요한 정보를 제어부(CT)에 제공할 수 있다.The data processing unit DP may process information moved by the
제어부(CT)는 데이터 처리부(DP)로부터 제공된 정보를 기초로 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치를 조정할 수 있다. 제어부(CT)는 중앙 처리 장치(CPU)를 포함할 수 있다. 제어부(CT)는 상기 정보를 처리하고 이를 기초로 후술하는 비전 시스템 구동부(DR_V)를 제어할 수 있다. The control unit CT may adjust the positions of the
비전 시스템 구동부(DR_V)는 제어부(CT)로부터 상기 정보에 따른 제어 명령을 전달받아, 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 이동시킬 수 있다. 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각에 마련된 이동 부재(430)에 의해 이동할 수 있다. 비전 시스템 구동부(DR_V)는 이에 제한되는 것은 아니지만, 적어도 하나의 모터나 액츄에이터를 포함하고, 상기 이동 부재(430)를 구동시킬 수 있다.The vision system driver DR_V receives a control command according to the information from the controller CT, and receives the
비전 시스템 구동부(DR_V)는 각각의 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4)마다 마련되어, 각각의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치를 조정할 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 하나의 비전 시스템 구동부(DR_V)가 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치를 일괄적으로 조정할 수도 있다. The vision system driver DR_V may be provided in each of the second to fourth chambers CH2 , CH3 , and CH4 to adjust positions of the
도시하진 않았으나, 제어부(CT)는 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 위치 정보를 메모리부(미도시)에 저장할 수 있다. 메모리부(미도시)는 상기 위치 정보가 저장될 수 있는 내장 메모리 및 외장 메모리 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. Although not shown, the control unit CT may store location information of the
즉, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 상호 동기화함으로써, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 중 어느 하나에서 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 이동시키더라도, 나머지의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 동일하게 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각에서, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제1 카메라(410) 사이의 상대적인 위치, 및 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제2 카메라(420) 사이의 상대적인 위치는 모두 동일할 수 있다. 즉, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각에서, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제1 카메라(410) 사이의 제1 방향(DR1) 거리 및 제2 방향(DR2) 거리는 모두 동일할 수 있으며, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 제2 카메라(420) 사이의 제1 방향(DR1) 거리 및 제2 방향(DR2) 거리는 모두 동일할 수 있다. That is, by mutually synchronizing the
따라서, 공정의 정확성이 향상되고, 각 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420) 얼라인에 필요한 시간을 절약할 수 있어 공정 효율성이 향상될 수 있다.Accordingly, the accuracy of the process is improved, and the time required for aligning the
제1 챔버(CH1) 내에 배치된 비전 시스템(400)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 내에 배치된 비전 시스템(400)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)와 동기화될 뿐만 아니라, 제1 이송 유닛(100) 및 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 내에 배치된 제2 이송 유닛(200)과도 동기화 될 수 있다. 이를 설명하기 위해 도 13 및 도 14이 참조된다. The
도 13은 도 10의 일 부분을 확대한 평면도이다. 도 14는 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 도 13에서 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)이 이동한 모습을 도시하였다. 또한, 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)이 이동됨에 따라, 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)가 이동한 이동 경로를 따라 제1 카메라(410)가 이동하는 모습을 도시하였다. 13 is an enlarged plan view of a portion of FIG. 10 . 14 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment. 13 shows a state in which the target substrate S seated on the
우선, 도 10 및 도 13를 참조하면, 스테이지(300) 상에 안착된 대상 기판(S)은 초기 설정을 위해 이동될 수 있다. 즉, 제1 이송 유닛(100)(도 1의 '100' 참조) 및 제2 이송 유닛(200)(도 4의 '200' 참조)에 의해 스테이지(300) 상으로 이송된 대상 기판(S)은 원하는 위치에 정확히 배치되지 않을 수 있고, 이에 따라, 상기 대상 기판(S)을 정확히 원하는 위치로 이동시킬 필요가 있다. 도면상에서 종래의 대상 기판(S)의 위치는 점선으로 표현하였으며, 원하는 위치로 이동된 대상 기판(S)은 실선으로 표시하였다. First, referring to FIGS. 10 and 13 , the target substrate S seated on the
제1 카메라(410)는 대상 기판(S)을 이동시키기 전, 종래의 위치에 있는 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)의 위치를 확인하고, 이후, 작업자 또는 별개의 구성에 의해, 대상 기판(S)은 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 이어, 원하는 위치에 배치된 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)의 위치를 확인할 수 있다. 이에 따라, 제1 카메라(410)는 대상 기판(S)이 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)으로 이동한 거리를 각각 확인할 수 있다. 즉, 제1 카메라(410)를 통해 이동 전, 후의 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)의 위치를 각각 확인함으로써, 대상 기판(S)의 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)으로 이동한 거리(d4, d5)를 측정할 수 있다. The
이상에서, 비전 시스템(400)의 제1 카메라(410) 및 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1)를 사용하여, 상기 이동 거리(d4, d5)를 측정하는 것으로 설명하였으나, 이에 제한되지 않으며, 제2 카메라(420)가 사용되거나, 대상 기판(S)의 제2 얼라인 마크(MK2)가 사용될 수도 있다. In the above, it has been described that the movement distances d4 and d5 are measured using the
이어, 도 14를 더 참조하면, 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10)는 데이터 처리부(DP) 및 제어부(CT)을 포함하되, 이송 유닛 구동부(DR_T)을 더 포함할 수 있다. 도면상 비전 시스템(400), 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것으로 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 제1 방향(DR1) 뿐만 아니라 제2 방향(DR2)으로도 이동할 수 있다.Next, further referring to FIG. 14 , the
데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410)가 이동한 정보를 처리할 수 있다 즉, 데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410)가 이동한 제4 거리(d4) 및 제5 거리(d5)를 전송하기에 적합한 형식으로 변환시켜 이를 제어부(CT)에 제공할 수 있다. 데이터 처리부(DP)는 유선 또는 무선 통신 방식으로 필요한 정보를 제어부(CT)에 제공할 수 있다.The data processing unit DP may process information moved by the
제어부(CT)는 데이터 처리부(DP)로부터 제공된 정보를 기초로 제1 이송 유닛(100), 및 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제2 이송 유닛(200)에 의해 안착되는 대상 기판(S)의 위치를 조정할 수 있다. 제어부(CT)는 중앙 처리 장치(CPU)를 포함할 수 있다. 제어부(CT)는 상기 정보를 처리하고 이를 기초로 후술하는 이송 유닛 구동부(DR_T)를 제어할 수 있다. The control unit CT is seated by the
이송 유닛 구동부(DR_T)는 제어부(CT)로부터 상기 정보에 따른 제어 명령을 전달받아, 제1 이송 유닛(100), 및 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제2 이송 유닛(200)에 의해 안착되는 대상 기판(S)의 위치를 이동시킬 수 있다. 즉, 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각에서, 제1 이송 유닛(100), 및 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제2 이송 유닛(200)에 의해 대상 기판(S)은 스테이지(300) 상의 원하는 위치로 안착될 수 있다. The transfer unit driving unit DR_T receives a control command according to the information from the controller CT, and receives the
도시하진 않았으나, 제어부(CT)는 제1 카메라(410) 및/또는 제2 카메라(420)의 위치 정보를 메모리부(미도시)에 저장할 수 있다. 메모리부(미도시)는 상기 위치 정보가 저장될 수 있는 내장 메모리 및 외장 메모리 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. Although not shown, the controller CT may store location information of the
즉, 제1 챔버(CH1) 내에 배치된 비전 시스템(400)과 제1 이송 유닛(100) 및 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 제2 이송 유닛(200)을 상호 동기화함으로써, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 중 어느 하나에서만 대상 기판(S)을 원하는 위치로 이동시키더라도, 나머지의 제2 이송 유닛(200) 및 제1 이송 유닛(100)에 의해 대상 기판(S)이 스테이지(300) 상에 안착되는 위치가 일괄적으로 변경될 수 있다. 이에 따라, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각에서, 대상 기판(S)이 스테이지(300) 상에 안착되는 경우, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 대상 기판(S)의 얼라인 마크(MK1, MK2) 사이의 상대적인 위치는 모두 동일할 수 있다. 즉, 공정이 진행됨에 따라, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 각각에서 대상 기판(S)이 스테이지(300) 상에 안착되는 경우, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 대상 기판(S)의 제1 얼라인 마크(MK1) 사이의 제1 방향(DR1) 거리 및 제2 방향(DR2) 거리는 모두 동일할 수 있으며, 스테이지(300)의 얼라인 마크(311)와 대상 기판(S)의 제2 얼라인 마크(MK2) 사이의 제1 방향(DR1) 거리 및 제2 방향(DR2) 거리는 모두 동일할 수 있다.That is, the
따라서, 공정의 정확성이 향상되고, 각 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 내에 위치하는 각 스테이지(300)의 원하는 위치에 대상 기판(S)을 위치시키는 과정에 필요한 시간을 절약할 수 있어 공정 효율성이 향상될 수 있다.Accordingly, the accuracy of the process is improved, and the time required for the process of locating the target substrate S at a desired position of each
이하에서, 도 15 및 도 16을 참조하여, 상기 공정에 의해 형성되는 표시 장치(DSP)를 간략히 설명한다. Hereinafter, a display device DSP formed by the above process will be briefly described with reference to FIGS. 15 and 16 .
도 15는 일 실시예에 따른 제조 장치에 의해 제조된 표시 장치의 평면도이다. 도 16은 일 실시예에 따른 제조 장치에 의해 제조된 표시 장치의 벤딩 영역 주변의 개략적인 단면도이다.15 is a plan view of a display device manufactured by a manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment. 16 is a schematic cross-sectional view of a bending area of a display device manufactured by a manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment.
도 15 및 도 16을 참조하면, 표시 장치(DSP)는 동영상이나 정지영상을 표시한다. 표시 장치(DSP)는 표시 화면을 제공하는 모든 전자 장치를 지칭할 수 있다. 예를 들어, 표시 화면을 제공하는 모바일 폰, 스마트 폰, 태블릿 PC(Personal Computer), 전자 시계, 스마트 워치, 워치 폰, 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(Portable Multimedia Player), 네비게이션, 게임기, 디지털 카메라 등과 같은 휴대용 전자 기기 뿐만 아니라 텔레비전 시스템, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷 등이 표시 장치(DSP)에 포함될 수 있다. 15 and 16 , the display device DSP displays a moving image or a still image. The display device DSP may refer to any electronic device that provides a display screen. For example, a mobile phone, a smart phone, a tablet PC (Personal Computer), an electronic watch, a smart watch, a watch phone, a mobile communication terminal, an electronic notebook, an e-book, a PMP (Portable Multimedia Player), navigation, The display device (DSP) may include a television system, a laptop computer, a monitor, a billboard, and the Internet of Things, as well as a portable electronic device such as a game machine or a digital camera.
표시 장치(DSP)는 활성 영역(AAR)과 비활성 영역(NAR)을 포함한다. 표시 장치(DSP)에서, 화면을 표시하는 부분을 표시 영역으로, 화면을 표시하지 않는 부분을 비표시 영역으로 정의하면, 표시 영역은 활성 영역(AAR)에 포함될 수 있다. 표시 장치(DSP)가 터치 기능을 갖는 경우, 터치 입력의 감지가 이루어지는 영역인 터치 영역 또한 활성 영역(AAR)에 포함될 수 있다. 표시 영역과 터치 영역은 중첩할 수 있다. 활성 영역(AAR)은 표시도 이루어지고 터치 입력의 감지도 이루어지는 영역일 수 있다. The display device DSP includes an active area AAR and a non-active area NAR. In the display device DSP, when a portion displaying a screen is defined as a display area and a portion not displaying a screen is defined as a non-display area, the display area may be included in the active area AAR. When the display device DSP has a touch function, a touch area that is an area in which a touch input is sensed may also be included in the active area AAR. The display area and the touch area may overlap. The active area AAR may be an area in which both display and touch input are detected.
활성 영역(AAR)은 복수의 화소(PX)를 포함할 수 있다. 복수의 화소(PX)는 행렬 방향으로 배열될 수 있다. 각 화소(PX)의 형상은 평면도상(즉, 평면도 상태로 바라볼 때) 직사각형 또는 정사각형일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니고 각 변이 제1 방향(DR1)에 대해 기울어진 마름모 형상일 수도 있다. 활성 영역(AAR)의 형상은 직사각형 또는 모서리가 둥근 직사각형일 수 있다. The active area AAR may include a plurality of pixels PX. The plurality of pixels PX may be arranged in a matrix direction. The shape of each pixel PX may be a rectangular shape or a square shape in a plan view (ie, when viewed in a plan view state), but is not limited thereto, and each side may have a rhombus shape inclined with respect to the first direction DR1 . The shape of the active area AAR may be a rectangle or a rectangle with rounded corners.
비활성 영역(NAR)은 활성 영역(AAR)의 주변에 배치된다. 비활성 영역(NAR)은 베젤 영역일 수 있다. 비활성 영역(NAR)은 활성 영역(AAR)의 모든 변(도면에서 4변)을 둘러쌀 수 있다. The non-active area NAR is disposed around the active area AAR. The non-active area NAR may be a bezel area. The non-active area NAR may surround all sides (four sides in the drawing) of the active area AAR.
표시 장치(DSP)는 표시 화면을 제공하는 표시 패널(PNL)을 포함한다. 표시 패널(PNL)의 예로는 유기발광 표시 패널, 마이크로 LED 표시 패널, 나노 LED 표시 패널, 양자점 발광 표시 패널, 액정 표시 패널, 플라즈마 표시 패널, 전계방출 표시 패널, 전기영동 표시 패널, 전기습윤 표시 패널 등을 들 수 있다. 이하에서는 표시 패널(PNL)의 일 예로서, 유기발광 표시 패널이 적용된 경우를 예시하지만, 그에 제한되는 것은 아니며, 동일한 기술적 사상이 적용가능하다면 다른 표시 패널에도 적용될 수 있다. The display device DSP includes a display panel PNL that provides a display screen. Examples of the display panel (PNL) include an organic light emitting display panel, a micro LED display panel, a nano LED display panel, a quantum dot light emitting display panel, a liquid crystal display panel, a plasma display panel, a field emission display panel, an electrophoretic display panel, an electrowetting display panel and the like. Hereinafter, a case in which an organic light emitting display panel is applied is exemplified as an example of the display panel PNL, but the present invention is not limited thereto, and the same technical idea may be applied to other display panels if applicable.
표시 패널(PNL)은 폴리이미드 등과 같은 가요성 고분자 물질을 포함하는 플렉시블한 기판(SUB)을 포함할 수 있다. 그에 따라, 표시 패널(PNL)은 휘어지거나, 절곡되거나, 접히거나, 말릴 수 있다. 표시 패널(PNL)은 패널이 벤딩되는 영역인 벤딩 영역(BR)을 포함할 수 있다. 벤딩 영역(BR)을 중심으로 표시 패널(PNL)은 벤딩 영역(BR)의 일측에 위치하는 메인 영역(MR)과 벤딩 영역(BR)의 타측에 위치하는 서브 영역(SR)으로 구분될 수 있다. The display panel PNL may include a flexible substrate SUB including a flexible polymer material such as polyimide. Accordingly, the display panel PNL may be bent, bent, folded, or rolled. The display panel PNL may include a bending area BR, which is an area in which the panel is bent. The display panel PNL may be divided into a main region MR positioned on one side of the bending region BR and a sub region SR positioned on the other side of the bending region BR based on the bending region BR. .
메인 영역(MR)은 벤딩 영역(BR)과의 연결부에서 L자 커팅 형상을 가질 수 있다. 서브 영역(SR)은 벤딩 영역(BR)으로부터 연장된다. 서브 영역(SR)에는 구동칩(IC)이 배치될 수 있다. 구동칩(IC)은 표시 패널(PNL)을 구동하는 집적 회로를 포함할 수 있다. The main region MR may have an L-shaped cutting shape at a connection portion with the bending region BR. The sub region SR extends from the bending region BR. A driving chip IC may be disposed in the sub region SR. The driving chip IC may include an integrated circuit that drives the display panel PNL.
벤딩 영역(BR)에서 표시 패널(PNL)은 제3 방향(DR3) 타측으로 곡률을 가지고 벤딩될 수 있다. 벤딩 영역(BR)에는 벤딩 보호층(BPL)이 배치될 수 있다. 벤딩 보호층(BPL)은 기판(SUB)의 일면 상에 배치될 수 있다. 벤딩 보호층(BPL)은 수지 등으로 이루어져 벤딩 영역(BR)을 보호할 수 있다. In the bending area BR, the display panel PNL may be bent with a curvature in the other side of the third direction DR3 . A bending protective layer BPL may be disposed in the bending region BR. The bending protection layer BPL may be disposed on one surface of the substrate SUB. The bending protective layer BPL may be made of a resin or the like to protect the bending region BR.
표시 패널(PNL)의 서브 영역(SR) 단부에는 패드부가 배치될 수 있다. 패드부는 복수의 디스플레이 신호 배선 패드 및 터치 신호 배선 패드를 포함할 수 있다. 표시 패널(PNL)의 서브 영역(SR) 단부의 패드부에는 구동 기판(FPC)이 연결될 수 있다. 구동 기판(FPC)은 연성 인쇄회로기판이나 필름일 수 있다. A pad part may be disposed at an end of the sub-region SR of the display panel PNL. The pad unit may include a plurality of display signal wiring pads and touch signal wiring pads. The driving substrate FPC may be connected to the pad portion at the end of the sub region SR of the display panel PNL. The driving board FPC may be a flexible printed circuit board or a film.
표시 패널(PNL)은 메인 영역(MR)과 서브 영역(SR)의 중첩 영역에 배치된 보호 필름(PF1, PF2)을 더 포함할 수 있다. 제1 보호 필름(PF1)과 제2 보호 필름(PF2)은 서로 마주할 수 있고, 접착제 또는 점착제 등의 결합층(PSA)을 통해 결합할 수 있다. 이를 통해 벤딩 구조의 기구적 안정성이 향상될 수 있다. The display panel PNL may further include protective films PF1 and PF2 disposed on an overlapping region of the main region MR and the sub region SR. The first protective film PF1 and the second protective film PF2 may face each other, and may be coupled through a bonding layer PSA such as an adhesive or an adhesive. Through this, the mechanical stability of the bending structure may be improved.
기판(SUB)이 절곡된 부분에는 스페이서(CSP)가 배치될 수 있다. 기판(SUB)이 절곡된 상태에서 스페이서(CSP)는 제1 보호 필름(PF1)과 제2 보호 필름(PF2)의 제1 방향(DR1) 측면에 배치되고, 제1 보호 필름(PF1) 및 제2 보호 필름(PF2)과 기판(SUB) 사이에 위치할 수 있다. 이를 통해 벤딩 구조의 기구적 안정성이 향상될 수 있다.A spacer CSP may be disposed at a portion where the substrate SUB is bent. In a state in which the substrate SUB is bent, the spacers CSP are disposed on side surfaces of the first protective film PF1 and the second protective film PF2 in the first direction DR1 , the first protective film PF1 and the second
기판(SUB)의 일면 상에 활성 소자층(ATL), 박막 봉지층(ENC) 및 터치층(TSP)이 배치될 수 있다. An active element layer ATL, a thin film encapsulation layer ENC, and a touch layer TSP may be disposed on one surface of the substrate SUB.
활성 소자층(ATL)은 발광 소자 및 이를 구동하는 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다. 박막 봉지층(ENC)은 활성 소자층(ATL)을 덮어 활성 소자층(ATL)이 수분이나 공기에 노출되는 것을 방지할 수 있다. 박막 봉지층(ENC) 상에는 터치층(TSP)이 배치될 수 있다. 터치층(TSP)은 복수의 터치 전극을 포함할 수 있다. 터치층(TSP)은 생략될 수도 있다. The active element layer ATL may include a light emitting element and a thin film transistor driving the light emitting element. The thin film encapsulation layer ENC may cover the active element layer ATL to prevent the active element layer ATL from being exposed to moisture or air. A touch layer TSP may be disposed on the thin film encapsulation layer ENC. The touch layer TSP may include a plurality of touch electrodes. The touch layer TSP may be omitted.
표시 장치(DSP)는 표시 패널(PNL) 상에 배치된 편광 부재(POL)를 더 포함할 수 있다. 편광 부재(POL)는 통과하는 빛을 편광시킨다. 편광 부재(POL)는 외광 반사를 감소시키는 역할을 할 수 있다. The display device DSP may further include a polarization member POL disposed on the display panel PNL. The polarizing member POL polarizes the passing light. The polarizing member POL may serve to reduce reflection of external light.
표시 장치(DSP)는 윈도우 부재(WM)를 더 포함할 수 있다. 윈도우 부재(WM)는 표시 패널(PNL)을 커버하여 보호하는 역할을 한다. 윈도우 부재(WM)는 광학 투명 접착제나 광학 투명 수지 등을 포함하는 투명 결합층(OCR)을 통해 표시 패널(PNL)의 일면 상에 부착될 수 있다. 표시 장치(DSP)가 편광 부재(POL)를 포함하는 경우, 윈도우 부재(WM)는 편광 부재(POL)의 일면 상에 부착될 수 있다. The display device DSP may further include a window member WM. The window member WM serves to cover and protect the display panel PNL. The window member WM may be attached to one surface of the display panel PNL through a transparent bonding layer OCR including an optically transparent adhesive or an optically transparent resin. When the display device DSP includes the polarization member POL, the window member WM may be attached on one surface of the polarization member POL.
윈도우 부재(WM)는 윈도우 기재(WD), 및 윈도우 기재(WD) 상에 배치된 인쇄층(IK)을 포함할 수 있다. The window member WM may include a window substrate WD and a printed layer IK disposed on the window substrate WD.
윈도우 기재(WD)는 투명한 물질로 이루어질 수 있다. 윈도우 기재(WD)는 예를 들어, 유리나 플라스틱을 포함하여 이루어질 수 있다. 윈도우 기재(WD)가 플라스틱을 포함하는 경우, 윈도우 기재(WD)는 플렉시블한 성질을 가질 수 있다. 윈도우 기재(WD)의 평면 형상은 적용되는 표시 장치(DSP)의 형상에 상응한다.The window substrate WD may be formed of a transparent material. The window substrate WD may include, for example, glass or plastic. When the window substrate WD includes plastic, the window substrate WD may have flexible properties. The planar shape of the window substrate WD corresponds to the shape of the applied display device DSP.
윈도우 기재(WD) 상에는 인쇄층(IK)이 배치될 수 있다. 인쇄층(IK)은 윈도우 기재(WD)의 테두리 부위에 배치되며, 비활성 영역(NAR)에 배치될 수 있다. 인쇄층(IK)은 차광층이거나 심미감을 부여하는 장식층일 수 있다.A printed layer IK may be disposed on the window substrate WD. The printed layer IK is disposed on the edge of the window substrate WD and may be disposed in the non-active area NAR. The printed layer IK may be a light blocking layer or a decorative layer that imparts an aesthetic feeling.
이하, 표시 장치의 제조 장치의 다른 실시예들에 대해 설명한다. 이하의 실시예에서, 이미 설명한 실시예와 동일한 구성에 대해서는 설명을 생략하거나 간략화하고, 차이점을 위주로 설명하기로 한다.Hereinafter, other embodiments of an apparatus for manufacturing a display device will be described. In the following embodiments, descriptions of the same components as those of the previously described embodiments will be omitted or simplified, and differences will be mainly described.
도 17은 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 비전 시스템의 사시도이다. 17 is a perspective view of a vision system of an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
도 17을 참조하면, 본 실시예에 따른 비전 시스템(400_1)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 뿐만 아니라 제3 방향(DR3)으로도 이동할 수 있다는 점에서 도 10의 실시예와 차이가 있다. Referring to FIG. 17 , the
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 비전 시스템(400_1)은 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제1 방향(DR1)으로 이동시키는 제1 이동부(431), 및 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제2 방향(DR2)으로 이동시키는 제2 이동부(432)를 포함하되, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제3 방향(DR3)으로 이동시키는 제3 이동부(433_1)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 뿐만 아니라 제3 방향(DR3)으로 이동할 수 있다.More specifically, the vision system 400_1 according to the present embodiment includes a first moving
이 경우, 본 실시예에 따른 비전 시스템(400_1)은 대상 기판(S)의 두께가 달라지더라도, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)를 제3 방향(DR3)으로 이동하여, 초점을 맞출 수 있다. 즉, 대상 기판(S)의 크기 및 형상 뿐만 아니라, 두께가 달라지더라도, 비전 시스템(400_1)의 교체가 불필요할 수 있다. 따라서, 비전 시스템(400_1)의 교체에 소요되는 시간을 감소시킬 수 있고, 공정의 효율이 상승할 수 있다. In this case, the vision system 400_1 according to the present embodiment moves the
아울러, 상술한 바와 같이, 각 챔버(도 12의 'CH1, CH2, CH3, CH4')의 비전 시스템(400_1) 간의 동기화에 의해, 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)의 제3 방향(DR3)으로의 이동은 다른 챔버(도 12의 'CH1, CH2, CH3, CH4') 내에 배치된 비전 시스템(400_1)의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420)에도 적용될 수 있다. 따라서, 챔버(도 12의 'CH1, CH2, CH3, CH4')의 제1 카메라(410) 및 제2 카메라(420) 각각의 별도 설정이 불필요할 수 있다. 즉, 상기 설정에 필요한 시간을 줄일 수 있으며, 공정의 효율이 향상될 수 있다.In addition, as described above, by synchronization between the vision systems 400_1 of each chamber ('CH1, CH2, CH3, CH4' in FIG. 12 ), the third of the
도 18은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치의 스테이지의 일부를 확대한 평면도이다. 도 19은 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 설명하기 위한 블록도이다. 18 is an enlarged plan view of a portion of a stage of an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment. 19 is a block diagram illustrating an apparatus for manufacturing a display device according to another exemplary embodiment.
도 18은 본 실시예에 따른 스테이지(300_2)가 이동한 모습을 도시하였다. 또한, 스테이지(300_2)가 이동함에 따라, 스테이지(300_2)의 얼라인 마크(311)가 이동한 이동 경로를 따라 제1 카메라(410)가 이동하는 모습을 도시하였다. 도 18에서 종래의 스테이지(300_2)의 위치는 점선으로 표현하였으며, 원하는 위치로 이동된 스테이지(300_2)는 실선으로 표시하였다. 도 19에서 비전 시스템(400), 제1 카메라(410), 제2 카메라(420) 및 스테이지(300)는 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것으로 도시하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이며, 제1 방향(DR1) 뿐만 아니라 제2 방향(DR2)으로도 이동할 수 있다.18 illustrates a state in which the stage 300_2 according to the present embodiment is moved. Also, as the stage 300_2 moves, a state in which the
도 18 및 도 19를 참조하면, 본 실시예에 따른 스테이지(300_2)는 비전 시스템(400)과 동기화된다는 점에서 도 12의 실시예와 차이가 있다.18 and 19 , the stage 300_2 according to the present embodiment is different from the embodiment of FIG. 12 in that it is synchronized with the
구체적으로 설명하면, 제1 카메라(410)는 스테이지(300_2)를 이동시키기 전, 종래의 위치에 있는 스테이지(300_2)의 얼라인 마크(311)의 위치를 확인하고, 이후, 작업자 또는 별개의 구성에 의해, 스테이지(300_2)는 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 이어, 원하는 위치에 배치된 스테이지(300_2)의 얼라인 마크(311)의 위치를 확인할 수 있다. 이에 따라, 제1 카메라(410)는 스테이지(300_2)가 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)으로 이동한 거리를 각각 확인할 수 있다. 즉, 제1 카메라(410)를 통해 이동 전, 후의 스테이지(300_2)의 얼라인 마크(311)의 위치를 각각 확인함으로써, 스테이지(300_2)이 제1 방향(DR1) 및/또는 제2 방향(DR2)으로 이동한 거리(d6, d7)를 측정할 수 있다. Specifically, the
본 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치(10_2)는 데이터 처리부(DP) 및 제어부(CT)을 포함하되, 스테이지 구동부(DR_S)을 더 포함할 수 있다.The apparatus 10_2 for manufacturing a display device according to the present exemplary embodiment includes a data processing unit DP and a control unit CT, but may further include a stage driver DR_S.
데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410)가 이동한 정보를 처리할 수 있다 즉, 데이터 처리부(DP)는 제1 진공 챔버(CH1)의 제1 카메라(410)가 이동한 제6 거리(d6) 및 제7 거리(d7)를 전송하기에 적합한 형식으로 변환시켜 이를 제어부(CT)에 제공할 수 있다. 데이터 처리부(DP)는 유선 또는 무선 통신 방식으로 필요한 정보를 제어부(CT)에 제공할 수 있다.The data processing unit DP may process information moved by the
제어부(CT)는 데이터 처리부(DP)로부터 제공된 정보를 기초로 스테이지(300_2)의 위치를 조정할 수 있다. 제어부(CT)는 중앙 처리 장치(CPU)를 포함할 수 있다. 제어부(CT)는 상기 정보를 처리하고 이를 기초로 후술하는 스테이지 구동부(DR_S)를 제어할 수 있다. The control unit CT may adjust the position of the stage 300_2 based on information provided from the data processing unit DP. The control unit CT may include a central processing unit (CPU). The control unit CT may process the information and control the stage driver DR_S, which will be described later, based on the processing information.
스테이지 구동부(DR_S)는 제어부(CT)로부터 상기 정보에 따른 제어 명령을 전달받아, 스테이지(300_2)의 위치를 이동시킬 수 있다. 즉, 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각에서, 스테이지(300_2)은 원하는 위치로 이동할 수 있다. The stage driver DR_S may receive a control command according to the information from the controller CT to move the position of the stage 300_2 . That is, in each of the second to fourth chambers CH2 , CH3 , and CH4 , the stage 300_2 may move to a desired position.
즉, 제1 챔버(CH1) 내에 배치된 비전 시스템(400)과 제2 내지 제4 챔버(CH2, CH3, CH4) 각각의 스테이지(300_2)를 상호 동기화함으로써, 제1 내지 제4 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 중 어느 하나에서만 스테이지(300_2)를 원하는 위치로 이동시키더라도, 나머지의 스테이지(300_2)의 위치가 일괄적으로 변경될 수 있다. 이에 따라, 공정의 정확성이 향상되고, 각 챔버(CH1, CH2, CH3, CH4) 내에 위치하는 각 스테이지(300_2)를 원하는 위치로 이동시키는 과정에 필요한 시간을 절약할 수 있어 공정 효율성이 향상될 수 있다.That is, by synchronizing the
도 20는 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다. 도 21은 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 분해 사시도이다. 20 is a perspective view of a stage according to another embodiment. 21 is an exploded perspective view of a stage according to another embodiment.
도 20 및 도 21을 참조하면, 본 실시예에 따른 스테이지(300_3)는 복수의 흡착 홈(321_3)을 포함하되, 흡착 홈(321_3)은 일 방향으로 연장된다는 점에서 도 7 및 도 8의 실시예와 차이가 있다. Referring to FIGS. 20 and 21 , the stage 300_3 according to the present embodiment includes a plurality of adsorption grooves 321_3, but the adsorption grooves 321_3 extend in one direction according to the embodiment of FIGS. 7 and 8 . There is a difference with the example.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 스테이지(300_3)는 복수의 흡착 홈(321_3)을 포함하되, 흡착 홈(321_3)은 제1 방향(DR1)으로 상호 이격되어 반복적으로 배치되며, 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 즉, 흡착 홈(321_3)은 제1 방향(DR1)을 따라 복수로 제공되고, 제1 방향(DR1)을 따라 복수로 제공된 흡착 홈(321_3)은 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 흡착 홈(321_3)은 제2 방향(DR2)을 따라 복수로 제공되고, 제2 방향(DR2)을 따라 복수로 제공된 흡착 홈(321_3)은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수도 있다. More specifically, the stage 300_3 according to the present embodiment includes a plurality of adsorption grooves 321_3, wherein the adsorption grooves 321_3 are repeatedly disposed spaced apart from each other in the first direction DR1, and the second direction (DR2) can be extended. That is, the plurality of suction grooves 321_3 may be provided along the first direction DR1 , and the plurality of suction grooves 321_3 provided along the first direction DR1 may extend in the second direction DR2 . However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of suction grooves 321_3 are provided along the second direction DR2 , and the plurality of suction grooves 321_3 provided along the second direction DR2 may be disposed in the first direction DR1 . may be extended to
흡착 홈(321_3)은 흡입 부재(322)와 연결될 수 있으며, 각 흡착 홈(321_3)과 연결된 흡입 부재(322)는 각각 독립적으로 구동될 수 있다. 따라서, 각각의 흡착 홈(321_3)은 독립적으로 진공 흡입할 수 있다. 이에 따라, 스테이지(300_3) 상에 안착되는 대상 기판(S)의 크기 및 형상이 달라지더라도, 스테이지(300_3) 상에 안착된 대상 기판(S)에 대응되는 영역의 흡착 홈(321_3)과 연결된 흡입 부재(322)를 구동하여 상기 대응 영역에서 대상 기판(S)을 진공 흡착할 수 있다.The suction grooves 321_3 may be connected to the
이 경우에도, 대상 기판(S)의 크기가 달라지더라도, 스테이지(300_3) 자체의 교체는 불필요할 수 있다. 이에 따라, 스테이지(300_3) 자체의 교체에 시간이 소비되는 것을 방지할 수 있고, 공정에 소비되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 공정 효율이 향상될 수 있다.Even in this case, even if the size of the target substrate S is changed, replacement of the stage 300_3 itself may not be necessary. Accordingly, time consumed in replacing the stage 300_3 itself may be prevented, and time consumed in the process may be reduced. Accordingly, process efficiency can be improved.
도 22는 또 다른 실시예에 따른 스테이지의 사시도이다. 22 is a perspective view of a stage according to another embodiment.
도 22를 참조하면, 본 실시예에 따른 스테이지(300_4)는 흡착 부재(322_4)가 대상 기판(S, 도 3 참조)과 직접 맞닿을 수 있다는 점에서 도 7 및 도 8의 실시예와 차이가 있다. Referring to FIG. 22 , the stage 300_4 according to the present embodiment is different from the embodiments of FIGS. 7 and 8 in that the adsorption member 322_4 can directly contact the target substrate S (refer to FIG. 3 ). have.
구체적으로 설명하면, 본 실시예에 따른 스테이지(300_4)는 스테이지 하판(320, 도 7 및 도 8 참조)를 구비하지 않되, 스테이지 상판(310_4)을 포함할 수 있다. 아울러, 스테이지 하판(320, 도 7 및 도 8 참조)이 포함하는 흡착 홈(321, 도 7 및 도 8 참조)을 포함하지 않을 수 있다. Specifically, the stage 300_4 according to the present embodiment does not include the stage lower plate 320 (refer to FIGS. 7 and 8 ), but may include the stage upper plate 310_4 . In addition, the suction groove 321 (refer to FIGS. 7 and 8) included in the lower stage plate 320 (refer to FIGS. 7 and 8) may not be included.
다만, 본 실시예에 따른 흡입 부재(322_4)는 스테이지 상판(310_4)의 흡착 홀(313_4)과 물리적으로 연결될 수 있다. 이에 제한되는 것은 아니지만, 예를 들어, 흡입 부재(322_4)의 일부 영역은 스테이지 상판(310_4)의 흡착 홀(313_4)의 내부에 배치될 수 있으며, 흡착 홀(313_4) 내에 끼워질 수 있다. 흡입 부재(322_4)는 일부 영역이 스테이지 상판(310_4) 상부로 일부 돌출되거나, 스테이지 상판(310_4)의 일면과 실질적으로 같은 평면에 배치될 수 있다. 이 경우, 도시하진 않았으나, 대상 기판(S, 도 3 참조)은 흡입 부재(322_4) 상에 직접 안착되고, 흡입 부재(322_4)는 대상 기판(S, 도 3 참조)과 직접 맞닿을 수 있다. However, the suction member 322_4 according to the present embodiment may be physically connected to the suction hole 313_4 of the stage upper plate 310_4 . Although not limited thereto, for example, a partial region of the suction member 322_4 may be disposed inside the suction hole 313_4 of the stage upper plate 310_4 and may be fitted into the suction hole 313_4 . A partial region of the suction member 322_4 may partially protrude above the stage upper plate 310_4 , or may be disposed on the same plane as one surface of the stage upper plate 310_4 . In this case, although not shown, the target substrate S (refer to FIG. 3 ) may be directly seated on the suction member 322_4 , and the suction member 322_4 may be in direct contact with the target substrate S (refer to FIG. 3 ).
흡입 부재(322_4)는 복수의 흡착 홀(313_4) 중 적어도 일부에 연결되어, 대상 기판(S, 도 3 참조)을 진공 흡착할 수 있다. 흡입 부재(322_4)는 복수의 흡착 홀(313_4) 중 대상 기판(S, 도 3 참조)이 배치되는 영역과 대응되는 영역에 배치된 흡착 홀(313_4)과 연결될 수 있다. 흡입 부재(322_4)는 상기 대응 영역에 배치된 흡착 홀(313_4) 중 적어도 하나의 흡착 홀(313_4)과 연결될 수 있다. The suction member 322_4 may be connected to at least a portion of the plurality of suction holes 313_4 to vacuum suction the target substrate S (refer to FIG. 3 ). The suction member 322_4 may be connected to the suction hole 313_4 disposed in an area corresponding to an area in which the target substrate S (refer to FIG. 3 ) is disposed among the plurality of suction holes 313_4 . The suction member 322_4 may be connected to at least one suction hole 313_4 among the suction holes 313_4 disposed in the corresponding area.
다시 말해서, 흡착 홀(313_4)은 스테이지 상판(310_4) 상에 복수로 마련되어 있으며, 흡입 부재(322_4)는 복수의 흡착 홀(313_4) 중 적어도 일부와 연결될 수 있다. 흡입 부재(322_4)는 대상 기판(S, 도 3 참조)의 크기 및 형상에 따라, 다양한 크기 및 형상의 영역에 배치될 수 있다. 즉, 흡입 부재(322_4)가 배치될 수 있는 영역의 크기 및 형상은 다양하게 변경될 수 있다. In other words, a plurality of suction holes 313_4 are provided on the stage upper plate 310_4 , and the suction member 322_4 may be connected to at least some of the plurality of suction holes 313_4 . The suction member 322_4 may be disposed in areas of various sizes and shapes according to the size and shape of the target substrate S (refer to FIG. 3 ). That is, the size and shape of the region in which the suction member 322_4 can be disposed may be variously changed.
따라서, 이 경우에도, 대상 기판(S)의 크기가 달라지더라도, 스테이지(300_4) 자체의 교체는 불필요할 수 있다. 이에 따라, 스테이지(300_4) 자체의 교체에 시간이 소비되는 것을 방지할 수 있고, 공정에 소비되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 공정 효율이 향상될 수 있다.Accordingly, even in this case, even if the size of the target substrate S is changed, replacement of the stage 300_4 itself may not be necessary. Accordingly, it is possible to prevent time wasted in replacing the stage 300_4 itself, and the time consumed in the process may be reduced. Accordingly, process efficiency can be improved.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.
10: 표시 장치의 제조 장치
CH1, CH2, CH3, CH4: 진공 챔버
TC1, TC2: 반송 챔버
100: 제1 이송 유닛
200: 제2 이송 유닛
300: 스테이지
400: 비전 시스템
S: 대상 기판10: Manufacturing apparatus of a display device
CH1, CH2, CH3, CH4: vacuum chamber
TC1, TC2: transfer chamber
100: first transfer unit
200: second transfer unit
300: stage
400: vision system
S: target substrate
Claims (20)
상기 제1 챔버 내에 배치되고, 제1 얼라인 마크를 포함하는 제1 스테이지;
상기 제1 챔버 내에서 상기 제1 스테이지 상부에 배치되며, 제1 얼라인 마크와 상기 제1 스테이지 상에 안착되는 대상 기판의 위치 정보를 획득하는 제1 카메라;
상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 카메라; 및
상기 제1 카메라에 의해 획득된 상기 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라의 위치를 결정하는 제어부를 포함하는 표시 장치의 제조 장치. An apparatus for manufacturing a display device including a first chamber and a second chamber that are different from each other, the apparatus comprising:
a first stage disposed in the first chamber and including a first alignment mark;
a first camera disposed on the first stage in the first chamber and configured to acquire a first alignment mark and position information of a target substrate seated on the first stage;
a second camera disposed within the second chamber; and
and a controller configured to determine a position of the second camera according to the position information obtained by the first camera.
상기 제어부에서 결정된 상기 제2 카메라의 위치 정보에 따라 상기 제2 카메라의 위치를 이동시키는 카메라 구동부를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. According to claim 1,
and a camera driver configured to move the position of the second camera according to the position information of the second camera determined by the controller.
상기 제1 카메라에 의해 획득된 상기 위치 정보를 처리하여, 상기 제어부로 제공하는 데이터 처리부를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. 3. The method of claim 2,
and a data processing unit that processes the location information obtained by the first camera and provides it to the control unit.
상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 스테이지를 더 포함하고,
상기 제어부는 상기 대상 기판의 위치 정보에 따라, 상기 제2 스테이지에 안착되는 상기 대상 기판의 위치를 결정하는 표시 장치의 제조 장치. According to claim 1,
Further comprising a second stage disposed in the second chamber,
The control unit determines a position of the target substrate seated on the second stage according to the position information of the target substrate.
상기 제어부는 상기 대상 기판의 위치 정보에 따라, 상기 제2 스테이지의 위치를 결정하는 표시 장치의 제조 장치. 5. The method of claim 4,
The control unit determines a position of the second stage according to position information of the target substrate.
각각 상기 스테이지의 상면에 음압을 제공하며, 서로 독립 구동되는 제1 흡입 부재 및 제2 흡입 부재를 포함하되,
상기 제1 흡입 부재는 제1 흡착홀들에 연결되고,
상기 제2 흡입 부재는 제2 흡착홀들에 연결되는 표시 장치의 제조 장치. a stage including a plurality of first adsorption holes and a plurality of second adsorption holes on an upper surface; and
A first suction member and a second suction member each providing a negative pressure to the upper surface of the stage and driven independently of each other,
The first suction member is connected to the first suction holes,
The second suction member is connected to the second suction holes.
상기 제1 흡착홀들은 상기 스테이지의 제1 영역에 배치되고, 상기 제2 흡착홀들은 상기 제1 영역과 비중첩하는 상기 스테이지의 제2 영역에 배치되는 표시 장치의 제조 장치. 7. The method of claim 6,
The first suction holes are disposed in a first area of the stage, and the second suction holes are disposed in a second area of the stage that does not overlap the first area.
상기 스테이지는 스테이지 상판, 및 상기 스테이지 상판의 하부에 배치되는 스테이지 하판을 더 포함하고,
상기 제1 흡착홀들과 상기 제2 흡착홀들은 상기 스테이지 상판에 위치하고,
상기 제1 흡입 부재 및 상기 제2 흡입 부재는 상기 스테이지 하판에 연결되는 표시 장치의 제조 장치. 7. The method of claim 6,
The stage further includes a stage upper plate, and a lower stage plate disposed under the stage upper plate,
The first suction holes and the second suction holes are located on the upper plate of the stage,
The first suction member and the second suction member are connected to the lower plate of the stage.
상기 스테이지 하판은 상기 제1 흡입 부재와 연결된 제1 흡착 홈, 및 상기 제2 흡입 부재와 연결된 제2 흡착 홈을 포함하는 표시 장치의 제조 장치. 9. The method of claim 8,
The apparatus for manufacturing a display device, wherein the lower stage plate includes a first suction groove connected to the first suction member and a second suction groove connected to the second suction member.
상기 제1 흡착 홈은 상기 제1 흡착홀들 중 적어도 일부와 중첩하고, 상기 제2 흡착 홈은 상기 제2 흠착홀들 중 적어도 일부와 중첩하는 표시 장치의 제조 장치. 10. The method of claim 9,
The first suction groove overlaps at least some of the first suction holes, and the second suction groove overlaps at least some of the second damage holes.
복수의 홀을 포함하는 로봇 핸드를 포함하는 이송 유닛 및 상기 복수의 홀 중 적어도 일부에 연결된 흡착 부재를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. 7. The method of claim 6,
The apparatus for manufacturing a display device, further comprising: a transfer unit including a robot hand including a plurality of holes; and a suction member connected to at least some of the plurality of holes.
상기 복수의 홀 중 상기 흡착 부재가 연결되지 않은 나머지 홀 내에 삽입된 충진 부재를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. 12. The method of claim 11,
and a filling member inserted into the remaining holes to which the adsorption member is not connected among the plurality of holes.
상기 스테이지 상부에 위치하는 카메라, 및 상기 카메라와 연결되는 이동 부재를 더 포함하고,
상기 이동 부재는 상기 카메라를 제1 방향, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 이동시키는 표시 장치의 제조 장치. 7. The method of claim 6,
Further comprising a camera positioned above the stage, and a moving member connected to the camera,
The moving member moves the camera in a first direction and in a second direction intersecting the first direction.
챔버를 더 포함하며, 상기 스테이지는 상기 챔버 내부에 배치되는 표시 장치의 제조 장치. 7. The method of claim 6,
The apparatus further comprising a chamber, wherein the stage is disposed inside the chamber.
상기 획득된 위치 정보를 기초로, 상기 제1 챔버와 다른 제2 챔버 내에 배치된 제2 카메라의 위치를 조정하는 단계를 포함하고,
상기 제2 챔버 내에 배치되는 제2 스테이지의 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라 사이의 상대적인 위치는 상기 제1 스테이지의 상기 제1 얼라인 마크와 상기 제1 카메라 사이의 상대적인 위치와 동일한 표시 장치의 제조 방법.Using the first camera disposed in the first chamber, position information of the first alignment mark of the first stage disposed in the first chamber, and the second alignment mark of the target substrate seated on the first stage obtaining location information of and
Based on the obtained position information, comprising the step of adjusting the position of a second camera disposed in a second chamber different from the first chamber,
A display device in which a relative position between a third alignment mark of a second stage and the second camera disposed in the second chamber is the same as a relative position between the first alignment mark of the first stage and the first camera manufacturing method.
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크는 제1 방향으로 이격되고,
상기 제어부에 의해 조정된 상기 제2 카메라의 위치는 상기 제3 얼라인 마크로부터 상기 제1 방향으로 이격되고,
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크가 상기 제1 방향으로 이격된 거리는 상기 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라가 제1 방향으로 이격된 거리와 동일한 표시 장치의 제조 방법.16. The method of claim 15,
the first alignment mark and the second alignment mark are spaced apart from each other in a first direction;
The position of the second camera adjusted by the control unit is spaced apart from the third alignment mark in the first direction,
A distance between the first alignment mark and the second alignment mark in the first direction is the same as a distance between the third alignment mark and the second camera in the first direction.
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크는 제2 방향으로 이격되고,
상기 제어부에 의해 조정된 상기 제2 카메라의 위치는 상기 제3 얼라인 마크로부터 상기 제2 방향으로 이격되고,
상기 제1 얼라인 마크와 상기 제2 얼라인 마크가 상기 제2 방향으로 이격된 거리는 상기 제3 얼라인 마크와 상기 제2 카메라가 제2 방향으로 이격된 거리와 동일한 표시 장치의 제조 방법.17. The method of claim 16,
the first alignment mark and the second alignment mark are spaced apart from each other in a second direction;
The position of the second camera adjusted by the control unit is spaced apart from the third alignment mark in the second direction,
A distance between the first alignment mark and the second alignment mark in the second direction is the same as a distance between the third alignment mark and the second camera in the second direction.
상기 제1 스테이지는 상면에 복수의 제1 흡착홀들과 복수의 제2 흡착홀들, 및 서로 독립 구동되는 제1 흡입 부재와 제2 흡입 부재를 포함하되,
상기 제1 흡입 부재는 제1 흡착홀들에 연결되고, 상기 제2 흡입 부재는 제2 흡착홀들에 연결되며,
상기 제1 흡입 부재와 상기 제2 흡입 부재는 각각 상기 스테이지의 상면에 음압을 제공하는 표시 장치의 제조 방법.16. The method of claim 15,
The first stage includes a plurality of first suction holes and a plurality of second suction holes on an upper surface, and a first suction member and a second suction member that are independently driven from each other,
The first suction member is connected to the first suction holes, the second suction member is connected to the second suction holes,
The first suction member and the second suction member each provide a negative pressure to an upper surface of the stage.
상기 제1 흡착홀들은 상기 제1 스테이지의 제1 영역에 배치되고, 상기 제2 흡착홀들은 상기 제1 영역과 비중첩하는 상기 제1 스테이지의 제2 영역에 배치되는 표시 장치의 제조 방법.19. The method of claim 18,
The first suction holes are disposed in a first area of the first stage, and the second suction holes are disposed in a second area of the first stage that does not overlap the first area.
상기 제1 스테이지는 스테이지 상판, 및 상기 스테이지 상판의 하부에 배치되는 스테이지 하판을 더 포함하고,
상기 제1 흡착홀들과 상기 제2 흡착홀들은 상기 스테이지 상판에 위치하고,
상기 제1 흡입 부재 및 상기 제2 흡입 부재는 상기 스테이지 하판에 연결되는 표시 장치의 제조 방법.19. The method of claim 18,
The first stage further includes a stage upper plate, and a lower stage plate disposed under the stage upper plate,
The first suction holes and the second suction holes are located on the upper plate of the stage,
The first suction member and the second suction member are connected to the lower plate of the stage.
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