KR20210107962A - 표시패널 검사장치 및 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 시패널의 로딩 및 언로딩 뿐만 아니라 반전까지 간단하고 효율적으로 실시할 수 있고, 일원화된 설비를 이용하여 표시패널의 양면을 선택적으로 검사함으로써 효율적이고 신뢰할 수 있는 검사를 실시할 수 있는 표시패널의 검사장치 및 검사방법을 위하여, 제1방향을 따라 표시패널을 이송하는 이송부; 상기 이송부를 부분적으로 둘러싸며, 투입된 표시패널을 반전시키는 반전부; 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 제어부; 및 상기 이송부의 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하는 검사부;를 포함하고, 상기 반전부는, 반전프레임; 상기 반전프레임 상에 배치되며, 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛; 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연장된 회전축선을 중심으로 상기 반전프레임을 회전시키는 회전구동유닛;을 포함하는, 표시패널 검사장치를 제공한다.

Description

표시패널 검사장치 및 검사방법{Apparatus and method for Inspection of display panel}

본 발명은 표시패널 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시패널의 일 면의 외관을 검사하기 위한 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시패널을 포함한다. 최근, 표시패널을 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.

이러한 표시패널을 제조하는 단계 또는 제조가 완료된 이후에, 표시패널의 양불을 판정하기 위한 검사가 수행될 수 있다.

본 발명은 표시패널의 로딩 및 언로딩 뿐만 아니라 반전까지 간단하고 효율적으로 실시할 수 있는 표시패널 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로한다. 또한, 일원화된 설비를 이용하여 표시패널의 양면을 선택적으로 검사함으로써, 효율적이고 신뢰할 수 있는 검사를 실시할 수 있는, 표시패널 검사장치 및 검사방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 일 관점에 따르면, 제1방향을 따라 표시패널을 이송하는 이송부, 상기 이송부를 부분적으로 둘러싸며 투입된 표시패널을 반전시키는 반전부, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 제어부, 및 상기 이송부의 일 측에 배치되며 상기 표시패널의 외관을 검사하는 검사부를 포함하고, 상기 반전부는, 반전프레임, 상기 반전프레임 상에 배치되며 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛, 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연장된 회전축선을 중심으로 상기 반전프레임을 회전시키는 회전구동유닛을 포함하는, 표시패널 검사장치가 제공된다.

본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛은, 상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드 및 상기 흡착패드를 지지하는 흡착봉을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛의 상기 흡착봉은, 상기 반전프레임에 대해 상하 이동이 가능하게 결합될 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 제어부는, 상기 반전부의 위치를 감지하는 위치감지부; 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부 및 상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 판단부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 상기 회전구동유닛은, 상기 반전프레임과 연결되는 회전축; 및 상기 회전축을 통해 상기 반전프레임에 회전력을 인가하는 구동부;를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 검사부는, 검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하도록 배치되는 광학 장치를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 반전프레임은 상기 회전축선이 놓이는 일 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)를 구비할 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 제1방향을 따라 표시패널을 이송하거나 상기 표시패널을 반전시키는 이송반전부, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 제어부, 및 상기 이송반전부 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하기 위한 검사부를 포함하고, 상기 이송반전부는, 제1방향 따라 연장된 중심프레임, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며 상기 중심프레임을 관통하도록 배치되는 아암(arm), 및 상기 아암 상에 상기 제2방향을 따라 배치되며 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛을 포함하며, 상기 아암은 상기 중심프레임을 회전축선으로 하여 회전되거나 상기 제2방향을 따라 슬라이딩되는, 표시패널 검사장치를 제공한다.

본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛은, 상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드 및 상기 흡착패드를 지지하고 상기 아암에 대해 상하 이동 가능하게 부착되는 흡착봉을 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 이송반전부는, 상기 아암을 상기 제2방향을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛 및 상기 중심프레임에 회전력을 제공하는 회전구동유닛을 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 제어부는, 상기 이송반전부의 위치를 감지하는 위치감지부, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부, 및 상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 판단부를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 검사부는, 검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하는 하방으로 광을 조사하는 광학 장치를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 검사하고자 하는 표시패널을 제1위치에 있는 반전부 상에 투입하는 단계, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계, 상기 반전부의 구동을 결정한 경우, 상기 반전부의 반전프레임에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계, 상기 반전프레임의 일 단부에 놓이는 회전축선을 중심으로 상기 반전부를 회전시켜 제2위치로 이동시키는 단계, 상기 흡착유닛의 흡착이 해제되고, 상기 표시패널이 이송부 상에 안착되는 단계, 상기 이송부가 상기 표시패널을 검사스테이지로 이송시키는 단계, 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계를 포함하는, 표시패널 검사방법이 제공된다.

본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 구동을 결정하지 않은 경우, 상기 반전부의 회전 없이 상기 이송부가 상기 표시패널을 상기 검사스테이지로 이송시키는 단계, 및 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 표시패널이 상기 검사스테이지로 이송된 이후, 상기 반전부가 상기 제2위치에서 상기 제1위치로 복귀하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계는, 상기 반전부의 위치 정보, 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정할 수 있다.

본 발명의 다른 관점에 따르면, 검사하고자 하는 표시패널을 초기 위치의 이송반전부 상에 투입하는 단계, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계, 상기 이송반전부의 아암 상에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계, 상기 이송반전부의 중심프레임을 회전축선으로 하여 상기 아암을 회전시키는 단계, 상기 흡착유닛의 흡착을 해제하여, 상기 표시패널을 검사스테이지에 안착시키는 단계, 상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계를 포함하는, 표시패널 검사방법이 제공된다.

본 실시예에 따르면, 상기 흡착유닛이 상기 아암에 대해 상기 검사스테이지의 반대 방향으로 슬라이딩되는 단계, 및 상기 아암이 슬라이딩되어 상기 초기 위치로 복귀하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 실시예에 따르면, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계는, 상기 이송반전부의 위치 정보, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보, 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정할 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 간단하고 효율적이며 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있는 표시패널 검사장치 및 검사방법을 구현할 수 있다. 구체적으로, 투입된 표시패널의 정보 및 검사장치의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하며, 일원화된 검사장비를 이용하여 효율적이고 신뢰할 수 있는 검사 결과를 얻을 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

본 명세서에서 "A 및/또는 B"은 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다. 그리고, "A 및 B 중 적어도 하나"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우, 또는/및 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우, 및/또는 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우를 나타낸다.

x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.

도 1을 참조하면, 표시패널(P)의 검사장치(1)는 이송라인(TL), 이송부(10), 반전부(20), 제어부(30) 및 검사부(40)를 포함할 수 있다.

이송라인(TL)은 표시패널(P)을 이전 공정으로부터 다음 공정으로 이송시킬 수 있다. 이송라인(TL)은 예컨대, 롤러컨베이어 등의 이송수단으로 구현될 수 있다.

이송부(10)는 이송라인(TL)의 일 측에 배치될 수 있다. 이송부(10)는 이송라인(TL)과 검사부(40) 사이에 배치될 수 있고, 이송라인(TL)과 검사부(40) 사이에서 표시패널(P)을 이송시킬 수 있다. 일 실시예에서, 이송부(10)는 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 이송부(10)는 제1방향(DR1)을 따라 이송라인(TL)으로부터 검사부(40)로 표시패널(P)을 로딩(loading)하는 제1이송부(10a) 및 검사부(40)로부터 이송라인(TL)로 언로딩(unloading)하는 제2이송부(10b)를 포함할 수 있다.

반전부(20)는 이송부(10)와 인접하여 배치될 수 있다. 반전부(20)는 투입된 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 일 실시예에서, 반전부(20)는 적어도 하나 이상이 구비될 수 있다. 다른 실시예로, 반전부(20)는 제1이송부(10a)와 인접하는 제1반전부(20a) 및 제2이송부(10b)와 인접하는 제2반전부(20b)를 포함할 수 있다. 이하에서는 각각 두 개의 이송부(10) 및 반전부(20)가 구비된 경우를 설명하도록 한다. 이송부(10) 및 반전부(20)의 구조 및 구동방법은 도 2 내지 도 5를 참조하여 자세히 설명한다.

제어부(30)는 이송부(10) 및 반전부(20)에 인접하여 배치될 수 있다. 제어부(30)는 검사장치(1)의 상태 정보 및 표시패널(P)에 대한 정보를 획득하여 반전부(20)의 구동 여부를 결정할 수 있다. 일 실시예로, 제어부(30)는 반전부(20)의 위치를 감지하는 위치감지부(310), 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부(320), 및 표시패널(P)의 식별 정보를 수신하고, 반전부(20)의 구동 여부를 결정하는 판단부(330)를 구비할 수 있다.

검사부(40)는 이송부(10)의 일 측에 배치되며, 제1이송부(10a)로부터 로딩된 표시패널(P)의 외관을 검사할 수 있다. 검사부(40)는 검사가 완료된 표시패널(P)을 제2이송부(10b)로 언로딩할 수 있다. 검사부(40)로부터 언로딩된 표시패널(P)은 제2반전부(20b)에 의해 반전될 수 있고, 또는 반전 없이 제2이송부(10b)에 의해 이송라인(TL)으로 이송될 수 있다.

도 1을 참조하면, 표시패널(P)의 이송 방향이 화살표로 도시되어 있다. 이송라인(TL)을 통해 이송되는 표시패널(P)에 대한 외관 검사가 필요하지 않은 경우, 제1반전부(20a)로의 투입 없이 이송라인(TL)을 따라 다음 공정으로 이송될 수 있다. 반면에, 표시패널(P)의 외관 검사가 필요한 경우, 표시패널(P)은 선택적으로 제1반전부(20a)로 투입될 수 있다. 이송라인(TL)으로부터 제1반전부(20a)로의 표시패널(P)의 투입은 공압실린더 등으로 구현될 수 있다.

표시패널(P)에는 외관 검사가 필요한지 여부에 대한 정보가 포함된 식별 정보가 부여될 수 있다. 제어부(30)는 수신부를 통해 이송라인(TL)을 따라 이송 중인 표시패널(P)의 식별 정보를 수신할 수 있다. 제어부(30)는 수신한 식별 정보에 기초하여, 외관 검사가 필요한 표시패널(P)을 제1반전부(20a)로 투입하도록 제어할 수 있다.

제어부(30)에 의해 제1반전부(20a)로 투입된 표시패널(P)에 대한 반전 필요여부가 결정될 수 있다. 즉, 제어부(30)에 의해 제1반전부(20a)의 구동 여부가 결정될 수 있다. 예컨대, 표시패널(P)의 제1면을 검사하고자 하는 경우, 표시패널(P)은 반전 없이 제1반전부(20a)와 인접한 제1이송부(10a)에 의해 검사부(40)로 로딩될 수 있다. 반면, 표시패널(P)의 제2면을 검사하고자 하는 경우, 제어부(30)는 제1반전부(20a)의 구동을 결정하고, 이에 따라 제1반전부(20a)는 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 반전된 표시패널(P)은 제1이송부(10a)에 의해 검사부(40)로 로딩될 수 있다.

검사부(40)에서는 로딩된 표시패널(P)의 일 면의 외관을 검사할 수 있다. 여기서, 외관 검사란, 표시패널(P)의 일 면에 크랙, 스크래치 등이 존재하는지 여부를 확인하여 표시패널(P)의 양불 여부를 판정하는 것을 포함할 수 있다.

검사가 완료된 표시패널(P)은 제2반전부(20b)로 언로딩될 수 있다. 앞서 제1반전부(20a)의 구동 여부에 따라, 표시패널(P)은 제2반전부(20b)에 의해 다시 반전되거나, 반전 없이 제2이송부(10b)에 의해 이송라인(TL)으로 투입될 수 있다.

또한 일 예로, 표시패널(P)의 양면 모두 검사가 필요한 경우, 제1반전부(20a)에서 표시패널(P)의 반전 없이 검사부(40)로 로딩되어 일 면의 검사를 수행한 후, 언로딩된 표시패널(P)을 제2반전부(20b)에서 반전시켜 다시 검사부(40)로 로딩하여 타 면의 검사를 수행할 수 있다.

도 1에서는 이송라인(TL), 이송부(10), 반전부(20), 및 검사부(40)가 전체적으로 폐곡선을 이루며 배치되는 것을 도시하였으나, 다른 실시예로서, 이들은 일직선, 한번 이상 굴곡된 라인 등을 이루며 배치될 수 있다. 이 경우, 이송부(10) 및 반전부(20)가 각각 하나씩 구비되는 검사장치(1)가 제공될 수 있다. 하나의 이송부(10)는 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 구동하여 표시패널(P)을 검사부(40)에 로딩 및 언로딩할 수 있다. 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사하는 경우, 반전부(20)의 반전 및 이송부(10)의 양방향 구동을 조합하여 검사를 수행할 수 있다.

이상 도 1에서는 검사장치(1)의 검사 대상이 표시패널(P)인 것으로 설명하였지만, 본 발명의 검사 대상은 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 검사장치(1)의 검사 대상은 표시패널(P)의 서브층(예컨대 기판), 표시패널(P)을 구비한 전자 기기 등을 포함할 수 있으며, 이들은 세로 및 가로의 길이가 그 두께보다 큰 평판일 수 있다.

도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 이송부(10) 및 반전부(20)를 개략적으로 나타내고 있다.

도 2를 참조하면, 이송부(10)는 선형이송수단을 포함할 수 있다. 일 예로, 이송부(10)는 컨베이어프레임(미도시), 컨베이어프레임에 회전 가능하게 부착된 롤러(110), 롤러(110)를 구동시키는 롤러구동부(미도시), 및 표시패널(P)이 놓이는 컨베이어벨트(120)를 포함할 수 있다. 컨베이어벨트(120)는 제1방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다. 컨베이어벨트(120)의 길이는 검사장치(1)가 설치되는 환경에 따라 변경될 수 있다. 컨베이어벨트(120)의 폭은 표시패널(P)의 폭보다 작을 수 있다. 컨베이어벨트(120)를 구동하는 롤러(110)는 양방향으로 회전 가능할 수 있다. 따라서, 컨베이어벨트(120)는 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 모두 움직일 수 있으며, 표시패널(P)은 컨베이어벨트(120)에 의해 제1방향(DR1)을 따라 양방향으로 이송 가능하다.

반전부(20)는 반전프레임(210), 흡착유닛(220) 및 회전구동유닛(230)을 포함할 수 있다. 반전프레임(210)은 이송부(10)를 부분적으로 둘러싸는 형상을 가질 수 있다. 일 실시예에서, 반전프레임(210)은, 이송부(10)의 양측에서 각각 제1방향(DR1)을 따라 연장되는 두 측부(210a, 210b)들, 및 두 측부(210a, 210b)들을 서로 연결하는 연결부(210c)를 구비할 수 있다. 이송부(10)는 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)들 및 연결부(210c)에 의해 부분적으로 둘러싸일 수 있다.

흡착유닛(220)은 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b) 상에 배치될 수 있다. 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b) 상에는 각각 적어도 하나 이상의 흡착유닛(220)들이 배치될 수 있고, 흡착유닛(220)들은 제1방향(DR1)을 따라 배열될 수 있다.

흡착유닛(220)은 표시패널(P)과 직접 접촉하는 흡착패드(221) 및 흡착패드(221)를 지지하는 흡착봉(222)을 포함할 수 있다. 흡착패드(221)는 원형, 타원형, 사각형, 마름모 등 다양한 형상을 가질 수 있다. 흡착패드(221)는 고무 등과 같은 유연하고 부드러운 소재를 포함하여, 표시패널(P)과 직접 접촉할 때 표시패널(P)에 물리적 손상을 최소화할 수 있다.

흡착봉(222)은 속이 빈 파이프일 수 있다. 흡착봉(222)의 일 단부에는 흡착패드(221)가 부착될 수 있고, 흡착봉(222)의 타 단부는 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b)와 연결될 수 있다. 흡착봉(222)은 반전프레임(210)의 측부(210a, 210b)에 대해 상방 및 하방, 즉 제3방향(DR3)을 따라 이동 가능하게 연결될 수 있다. 흡착봉(222)은 음압을 발생시키는 외부의 석션유닛과 연결될 수 있다. 외부의 석션유닛이 음압을 발생시키면, 흡착봉(222)을 통해 흡착패드(221)로 음압이 전달될 수 있다. 이를 통해, 표시패널(P)이 흡착패드(221)에 흡착될 수 있다.

회전구동유닛(230)은 회전축(231) 및 구동부(232)를 포함할 수 있다. 회전구동유닛(230)의 회전축(231)은 반전프레임(210)의 연결부(210c)의 반대측 단부에서 반전프레임(210)과 연결될 수 있다. 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)는 회전축(231)과 연결되기 위해 굴곡된 형상을 가질 수 있다. 구동부(232)는 회전축(231)을 통해 반전프레임(210)에 회전력을 인가할 수 있다. 즉, 반전프레임(210)의 일 단부에 연결된 회전축(231)을 회전축선(RA)으로 하여 구동부(232)는 반전프레임(210)을 회전시킬 수 있다. 구동부(232)는 전기적으로 구동되는 모터일 수 있고, 또는 공압식 모터, 회전실린더 등일 수 있다.

제어부(30)는 반전부(20)에 인접하여 배치되며, 반전부(20)의 위치를 감지하는 위치감지부(310)를 포함할 수 있다. 위치감지부(310)는 광전센서 등을 포함할 수 있다. 위치감지부(310)는 반전부(20)의 반전프레임(210)이 소정의 위치에 있는 경우와 그렇지 않은 경우를 감지할 수 있다. 또한, 제어부(30)는 반전부(20)에 인접하여 배치되며, 반전부(20) 상으로 표시패널(P)이 투입되었는지 여부를 감지할 수 있는 투입감지부(320)를 포함할 수 있다. 투입감지부(320)는 광전센서 등을 포함할 수 있다. 이들의 감지 결과는, 후술하는 바와 같이, 제어부(30)가 반전부(20)의 구동 여부를 결정하는 기초가 될 수 있다.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도이다. 도 3a 및 도 3b는 표시패널이 반전부에 의해 반전되는 단계를 도시하고 있다.

우선 도 3a를 참조하면, 반전부(20)의 반전프레임(210)은 제1위치(PO1)에 위치한다. 표시패널(P)은 이송라인(TL, 도 1)으로부터 제1위치(PO1)에 있는 반전부(20) 상으로 투입될 수 있다.

제어부(30, 도 1)에 의해, 반전부(20)의 구동 여부가 결정될 수 있다. 제어부(30)는 반전부(20)의 위치 정보, 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 정보 및 표시패널(P)의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 반전부(20)의 구동 여부를 결정할 수 있다.

구체적으로, 제어부(30)의 위치감지부(310, 도 2)는 반전부(20)의 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 있는지 감지할 수 있다. 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 위치하지 않는 경우, 제어부(30)의 판단부(330, 도 2)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다. 또한, 제어부(30)의 투입감지부(320, 도 2)는 이송라인(TL) 및 반전부(20)에 인접하게 배치되고, 반전부(20) 상으로의 표시패널(P)의 투입 여부를 감지하는 센서를 포함할 수 있다. 투입감지부(320)는 표시패널(P)의 투입 여부를 감지할 수 있다. 표시패널(P)이 반전부(20) 상으로 투입되지 않은 경우, 판단부(330)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다. 또한, 제어부(30)의 판단부(330) 투입된 표시패널(P)의 식별 정보를 수신할 수 있고, 상기 식별 정보에는 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 중 어느 면에 검사가 요구되는지에 대한 정보가 포함될 수 있다. 제1면에 대한 검사가 요구되는 경우, 판단부(330)는 반전부(20)의 구동을 결정하지 않을 수 있다.

제어부(30)가 반전부(20)의 구동을 결정하지 않은 경우, 반전부(20)의 회전 없이 이송부(10)가 표시패널(P)을 검사부(40)의 검사스테이지(410)로 이송시켜 로딩할 수 있다.

반대로, 반전프레임(210)이 제1위치(PO1)에 위치하며 표시패널(P)이 반전부(20) 상으로 투입되었고 제2면에 대한 검사가 요구되는 경우, 제어부(30)는 반전부(20)의 구동을 결정할 수 있다. 제어부(30)가 반전부(20)의 구동을 결정한 경우, 반전부(20)의 반전프레임(210) 상에 배치된 흡착유닛(220)이 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다.

도 3b를 참조하면, 흡착유닛(220)의 흡착이 완료되면, 반전부(20)의 구동부(232)는 회전축(231)을 통해 회전력을 인가하여 반전프레임(210)을 제2위치(PO2)로 회전시킨다. 회전각도는 실질적으로 180도일 수 있고, 또는 이송부(10)의 선형이송수단의 종류, 배치 등에 따라 180도보다 크거나 작은 각도일 수 있다. 반전부(20)의 회전을 통해 표시패널(P)의 반전이 이루어질 수 있다.

반전이 완료된 후, 흡착유닛(220)은 흡착을 해제하고 표시패널(P)을 이송부(10) 상에 안착시킬 수 있다. 이후, 구동부(232)는 반대 방향으로 회전력을 인가하여, 다음의 반전 단계를 실시할 수 있도록 제2위치(PO2)의 반전프레임(210)을 다시 제1위치(PO1)로 복귀시킬 수 있다. 그런 다음, 이송부(10)는 반전된 표시패널(P)을 검사부(40)의 검사스테이지(410)로 이송시켜 로딩시킬 수 있다.

검사부(40)는 검사스테이지(410) 및 광학 장치(420)를 포함할 수 있다. 검사스테이지(410) 상에는 검사 대상이 되는 표시패널(P)이 로딩될 수 있다. 광학 장치(420)는 검사스테이지(410) 상부에 배치되고, 검사스테이지(410) 상에 놓인 표시패널(P)을 향하는 방향, 즉 하방을 향해 배치될 수 있다. 광학 장치(420)는 촬상요소 또는 이미지센서 등을 구비할 수 있고, 표시패널(P)의 일 면의 외관을 검사할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 대상이 되는 표시패널(P)의 일 면이 상부를 향하도록 배치되고 광학 장치(420)는 하방으로 표시패널(P)을 향하도록 배치되므로, 광학 장치의 촬상요소 또는 센서 등에 이물질이 쌓여 검사 품질을 저하시키는 것을 최소화할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 투입된 표시패널(P)의 정보 및 검사장치(1)의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널(P)의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하여 표시패널(P)의 외관 검사를 선택적으로 수행하므로, 효율적인 검사가 가능하다.

비교예로서 표시패널의 제1면 및 제2면 각각을 검사하는 둘 이상의 검사부를 이용하는 경우, 추가적인 설비 및 비용이 필요할 뿐만 아니라, 둘 이상의 검사부들에 의한 결과를 서로 연관(correlation)시키고 교정(calibration)하는 단계가 추가로 요구되어, 검사 단계가 복잡해질 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 일원화된 검사부(40)로 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사할 수 있다. 이를 통해, 불필요한 단계를 줄이고, 간단하고 효율적이며 나아가 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 도 2를 참조하여 설명한 내용과 동일한 내용은 생략하고, 이하 차이점 위주로 설명하도록 한다.

일 실시예에서, 이송부(10)는 리니어 스테이지와 같은 선형이송수단으로 구현될 수 있다. 이송부(10)는 베이스(111) 및 베이스(111)를 따라 직선왕복운동하는 슬라이더(112)를 포함할 수 있다. 베이스(111)는 제1방향(DR1)을 따라 연장될 수 있다. 슬라이더(112) 상에는 검사 대상인 표시패널(P)이 안착될 수 있다.

표시패널(P)의 반전이 필요하지 않은 경우, 반전부(20)는 구동하지 않고 표시패널(P)이 안착된 이송부(10)만 구동되어 표시패널(P)을 베이스의 연장 방향을 따라 이송시킬 수 있다. 표시패널(P)의 반전이 필요한 경우, 반전부(20)는 구동될 수 있다. 반전부(20)의 흡착유닛(220)이 표시패널(P)을 흡착한 이후, 슬라이더(112)는 초기 위치로부터 반전된 표시패널(P)을 안착시킬 위치로 이동할 수 있다. 그 후 반전부(20)가 구동되어 회전축선(RA)을 중심으로 회전하여 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다. 흡착유닛(220)의 흡착은 해제되고, 반전된 표시패널(P)은 슬라이더(112) 상에 안착될 수 있다. 그 다음, 슬라이더(112)는 표시패널(P)을 검사부(40, 도 2)로 이송시킬 수 있다.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다.

도 5를 참조하면, 반전부(20)의 반전프레임(210)은 회전축선(RA, 도 2)이 놓이는 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)(210R)를 구비할 수 있다. 즉 반전프레임(210)의 두 측부(210a, 210b)와 연결부(210c)가 만나는 모서리부에 보강 리브(210R)가 위치할 수 있다. 보강 리브(210R)의 재료는 반전프레임(210)의 재료와 상이할 수 있고, 금속재료 등을 포함할 수 있다.

보강 리브(210R)는 반전프레임(210)의 내구성을 보강하고, 충분한 강도와 지지력을 유지할 수 있다. 반전프레임(210)이 반복적으로 구동되면, 회전력에 의한 내부 응력으로 인해 반전프레임(210)의 변형 또는 뒤틀림 등이 발생될 수 있다. 반전프레임(210)의 단부에 보강 리브(210R)를 형성하여 내구성 및 강도를 강화시킴으로써, 이러한 변형 및 뒤틀림을 방지 또는 최소화할 수 있다.

도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 사시도이다. 앞서 도 2를 참조하여 설명한 구성과 동일한 구성은 생략하고, 이하 차이점 위주로 설명한다.

도 6을 참조하면, 검사장치(1)는 표시패널(P)의 이송 및 반전을 모두 수행할 수 있는 이송반전부(50)를 구비할 수 있다. 이송반전부(50)는 제1방향(DR1)을 따라 표시패널(P)을 이송하거나, 표시패널(P)을 반전시킬 수 있다.

이송반전부(50)는 중심프레임(510), 아암(arm)(520), 및 흡착유닛(530)을 포함할 수 있다. 중심프레임(510)은 제1방향(DR1)을 따라 연장되며, 회전축선(RA)과 동일 선상에 놓일 수 있다. 아암(arm)(520)은 제1방향(DR1)과 교차하는 제2방향(DR2)으로 연장되며 중심프레임(510)을 관통하도록 배치될 수 있다. 흡착유닛(530)은 아암(520) 상에 제2방향(DR2)을 따라 배치되며 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다. 흡착유닛(530)은 표시패널(P)과 직접 접촉하는 흡착패드(531) 및 흡착패드(531)를 지지하는 흡착봉(532)을 포함할 수 있다. 흡착패드(531)는 흡착봉(532)의 양측 단부에 모두 배치될 수 있다. 흡착봉(532)은 아암(520)에 대해 상하 이동 가능하게 부착될 수 있다.

아암(520)은 중심프레임(510)을 회전축선(RA)으로 하여 회전되거나 제2방향(DR2)을 따라 슬라이딩될 수 있다. 이송반전부(50)는, 아암(520)을 제2방향(DR2)을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛(540) 및 중심프레임(510)에 회전력을 제공하는 회전구동유닛(550)을 더 포함할 수 있다.

일 실시예로, 선형구동유닛(540)은 랙앤피니언모터, 리니어모터 등일 수 있다. 선형구동유닛(540)이 랙앤피니언모터인 경우, 이는 중심프레임(510)의 내부 또는 하부에서 아암(520)에 인접하도록 배치될 수 있다. 선형구동유닛(540)이 리니어모터인 경우, 리니어모터의 스케일은 중심프레임(510)의 내부 또는 하부에서 아암(520)에 인접하도록 배치되고, 리니어모터의 이동자는 아암(520)에 배치될 수 있다. 도 6에서 일 예로서 선형구동유닛(540)이 중심프레임(510) 내부에 배치되는 경우에 대해 선형구동유닛(540)의 위치를 점선으로 도시하였다.

일 실시예로, 회전구동유닛(550)은 중심프레임(510)의 일 측에 배치되며, 회전축(551) 및 구동부(552)를 포함할 수 있다. 회전축(551)은 중심프레임(510)의 일 단부와 구동부(552)를 연결하고, 구동부(552)는 회전축(551)을 통해 중심프레임(510)에 회전력을 전달할 수 있다.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 일부를 개략적으로 도시하는 측면도로, 도 6의 이송반전부에 의해 기판이 반전되는 단계를 도시하고 있다.

우선 도 7a를 참조하면, 이송반전부(50)의 중심프레임(510)은 제1위치(PO1)에 위치한다. 표시패널(P)은 이송라인(TL, 도 1)으로부터 제1위치(PO1)에 있는 이송반전부(50) 상으로 투입될 수 있다.

제어부(30, 도 1)는 이송반전부(50)의 위치 정보, 이송반전부(50) 상으로의 표시패널(P)의 투입 정보 및 표시패널(P)의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여, 이송반전부(50)의 구동 방식을 결정할 수 있다.

제어부(30)가 이송반전부(50)의 이송을 결정한 경우, 이송반전부(50)의 아암(520) 상에 배치된 흡착유닛(530)이 표시패널(P)을 흡착시킨 뒤 아암(520)이 중심프레임(510)에 대해 슬라이딩 되어 표시패널(P)을 이송시킬 수 있다. 검사부(40)는 이송된 표시패널(P)대해 외관 검사를 수행할 수 있다.

반면에, 중심프레임(510)이 제1위치(PO1)에 위치하며 표시패널(P)이 이송반전부(50) 상으로 투입되었고 제2면에 대한 검사가 요구되는 경우, 제어부(30)가 이송반전부(50)의 반전을 결정할 수 있다. 제어부(30)가 이송반전부(50)의 반전을 결정한 경우, 이송반전부(50)의 아암(520) 상에 배치된 흡착유닛(530)이 표시패널(P)을 흡착시킬 수 있다.

도 7b를 참조하면, 흡착유닛(530)의 흡착이 완료되면, 이송반전부(50)의 회전구동유닛(550)은 회전축(231)을 통해 회전력을 인가하여 아암(520)을 제2위치(PO2)로 회전시킨다. 회전각도는 실질적으로 180도일 수 있고, 180도보다 크거나 작은 각도일 수 있다. 이송반전부(50)의 회전을 통해 표시패널(P)의 반전이 이루어질 수 있다.

도 7c를 참조하면, 반전이 완료된 후, 흡착유닛(530)은 흡착을 해제하고 표시패널(P)을 검사스테이지(410) 상에 안착시킬 수 있다. 이후, 흡착봉(532)이 아암(520)에 대해 슬라이딩 되어 상방으로 이동할 수 있다.

도 7d를 참조하면, 회전구동유닛(550)은 반대 방향으로 회전력을 인가하여, 다음의 반전 단계를 실시할 수 있도록 제2위치(PO2)의 아암(520)을 다시 제1위치(PO1)로 복귀시킬 수 있다. 그런 다음, 검사스테이지(410) 상의 표시패널(P)에 대한 외관 검사가 수행될 수 있다.

이송 및 반전을 모두 수행할 수 있는 이송반전부(50)를 통해 표시패널(P)을 간단하고 효율적으로 이송 및 반전시킬 수 있다. 투입된 표시패널(P)의 정보 및 검사장치(1)의 상태 정보에 기초하여 필요에 따라 표시패널(P)의 이송 및 반전을 선택적으로 실시하여 표시패널(P)의 외관 검사를 선택적으로 수행하므로, 효율적인 검사가 가능하다. 또한, 일원화된 검사부(40)로 표시패널(P)의 제1면 및 제2면 모두를 검사할 수 있어, 불필요한 단계를 줄이고 간단하고 효율적이며 나아가 신뢰성이 향상된 검사를 실시할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것 이다.

1 검사장치
P 표시패널
TL 이송라인
10 이송부
20 반전부
30 제어부
40 검사부
50 이송반전부

Claims (19)

1. 제1방향을 따라 표시패널을 이송하는 이송부;
   상기 이송부를 부분적으로 둘러싸며, 투입된 표시패널을 반전시키는 반전부;
   상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 제어부; 및
   상기 이송부의 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하는 검사부;를 포함하고,
   상기 반전부는,
   반전프레임;
   상기 반전프레임 상에 배치되며, 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛; 및
   상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연장된 회전축선을 중심으로 상기 반전프레임을 회전시키는 회전구동유닛;을 포함하는, 표시패널 검사장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 흡착유닛은,
   상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드; 및
   상기 흡착패드를 지지하는 흡착봉;을 포함하는, 표시패널 검사장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 흡착유닛의 상기 흡착봉은, 상기 반전프레임에 대해 상하 이동이 가능하게 결합되는, 표시패널 검사장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는,
   상기 반전부의 위치를 감지하는 위치감지부;
   상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부; 및
   상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 판단부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 반전부의 상기 회전구동유닛은, 상기 반전프레임과 연결되는 회전축; 및 상기 회전축을 통해 상기 반전프레임에 회전력을 인가하는 구동부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.
6. 제1항에 있어서,
   상기 검사부는,
   검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지; 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하도록 배치되는 광학 장치;를 포함하는, 표시패널 검사장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 반전프레임은 상기 회전축선이 놓이는 일 단부의 반대편 단부에 보강 리브(rib)를 구비하는, 표시패널 검사장치.
8. 제1방향을 따라 표시패널을 이송하거나, 상기 표시패널을 반전시키는 이송반전부;
   상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 제어부; 및
   상기 이송반전부의 일 측에 배치되며, 상기 표시패널의 외관을 검사하기 위한 검사부; 를 포함하고,
   상기 이송반전부는,
   제1방향 따라 연장된 중심프레임;
   상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장되며, 상기 중심프레임을 관통하도록 배치되는 아암(arm); 및
   상기 아암 상에 상기 제2방향을 따라 배치되며, 상기 표시패널을 흡착시키는 흡착유닛;을 포함하며,
   상기 아암은 상기 중심프레임을 회전축선으로 하여 회전되거나 상기 제2방향을 따라 슬라이딩되는, 표시패널 검사장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 흡착유닛은,
   상기 표시패널에 직접 접촉하는 흡착패드; 및
   상기 흡착패드를 지지하고, 상기 아암에 대해 상하 이동 가능하게 부착되는 흡착봉;을 포함하는, 표시패널 검사장치.
10. 제8항에 있어서,
    상기 이송반전부는,
    상기 아암을 상기 제2방향을 따라 슬라이딩 시키는 선형구동유닛; 및
    상기 중심프레임에 회전력을 제공하는 회전구동유닛;을 더 포함하는, 표시패널 검사장치.
11. 제8항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 이송반전부의 위치를 감지하는 위치감지부;
    상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 여부를 감지하는 센서를 구비한 투입감지부; 및
    상기 표시패널의 식별 정보를 수신하고, 상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 판단부;를 포함하는, 표시패널 검사장치.
12. 제9항에 있어서,
    상기 검사부는,
    검사 대상이 되는 표시패널이 놓이는 검사스테이지; 및 상기 검사스테이지의 상부에 배치되고, 상기 표시패널을 향하는 하방으로 광을 조사하는 광학 장치;를 포함하는, 표시패널 검사장치.
13. 검사하고자 하는 표시패널을 제1위치에 있는 반전부 상에 투입하는 단계;
    상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계;
    상기 반전부의 구동을 결정한 경우, 상기 반전부의 반전프레임에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계;
    상기 반전프레임의 일 단부에 놓이는 회전축선을 중심으로 상기 반전부를 회전시켜 제2위치로 이동시키는 단계;
    상기 흡착유닛의 흡착이 해제되고, 상기 표시패널이 이송부 상에 안착되는 단계;
    상기 이송부가 상기 표시패널을 검사스테이지로 이송시키는 단계;
    상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.
14. 제13항에 있어서,
    상기 반전부의 구동을 결정하지 않은 경우, 상기 반전부의 회전 없이 상기 이송부가 상기 표시패널을 상기 검사스테이지로 이송시키는 단계; 및
    상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.
15. 제13항에 있어서,
    상기 표시패널이 상기 검사스테이지로 이송된 이후, 상기 반전부가 상기 제2위치에서 상기 제1위치로 복귀하는 단계;를 더 포함하는, 표시패널 검사방법.
16. 제13항 또는 제14항에 있어서,
    상기 반전부의 구동 여부를 결정하는 단계는,
    상기 반전부의 위치 정보, 상기 반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정하는, 표시패널 검사방법.
17. 검사하고자 하는 표시패널을 초기 위치의 이송반전부 상에 투입하는 단계;
    상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계;
    상기 이송반전부의 아암 상에 배치된 흡착유닛이 상기 표시패널을 흡착시키는 단계;
    상기 이송반전부의 중심프레임을 회전축선으로 하여 상기 아암을 회전시키는 단계;
    상기 흡착유닛의 흡착을 해제하여, 상기 표시패널을 검사스테이지에 안착시키는 단계;
    상기 검사스테이지에 놓인 상기 표시패널의 일 면의 외관을 검사하는 단계;를 포함하는, 표시패널 검사방법.
18. 제17항에 있어서,
    상기 흡착유닛이 상기 아암에 대해 상기 검사스테이지의 반대 방향으로 슬라이딩되는 단계; 및
    상기 아암이 슬라이딩되어 상기 초기 위치로 복귀하는 단계;를 더 포함하는, 표시패널 검사방법.
19. 제17항에 있어서,
    상기 이송반전부의 구동 방식을 결정하는 단계는,
    상기 이송반전부의 위치 정보, 상기 이송반전부 상으로의 상기 표시패널의 투입 정보 및 상기 표시패널의 검사 여부에 대한 정보를 포함하는 식별 정보에 기초하여 결정하는, 표시패널 검사방법.

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