KR20210094690A - Test tray and test handler - Google Patents
Test tray and test handler Download PDFInfo
- Publication number
- KR20210094690A KR20210094690A KR1020200007919A KR20200007919A KR20210094690A KR 20210094690 A KR20210094690 A KR 20210094690A KR 1020200007919 A KR1020200007919 A KR 1020200007919A KR 20200007919 A KR20200007919 A KR 20200007919A KR 20210094690 A KR20210094690 A KR 20210094690A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- test
- semiconductor device
- tray
- module
- test tray
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2868—Complete testing stations; systems; procedures; software aspects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 테스트 트레이 및 테스트 핸들러에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor devices, and more particularly, to a test tray and a test handler.
컴퓨터, 노트북, 서버 용 메모리로 사용되는 반도체 소자는 SO-DIMM, UB-DIMM, REG-DIMM, LR-DIMM, VLP-DIMM 외에도 다양한 규격을 가지고 있다. 이와 같이 반도체 소자는 단일 규격으로 생산되는 것이 아니기 때문에, 반도체 소자를 테스트하기 위한 테스트 핸들러는 다양한 규격의 반도체 소자에 대응하기 위하여 각 규격별로 별도로 마련되고 있는 실정이다.Semiconductor devices used as memory for computers, notebook computers, and servers have various specifications in addition to SO-DIMM, UB-DIMM, REG-DIMM, LR-DIMM, and VLP-DIMM. As such, since semiconductor devices are not produced in a single standard, test handlers for testing semiconductor devices are separately prepared for each standard in order to respond to semiconductor devices of various standards.
이에 따라, 반도체 소자의 다양한 규격 별로 테스트 핸들러를 각각 마련하기 때문에 불필요한 설비 투자비용이 증가하고, 반도체 소자의 규격별로 장비를 설치하기 위한 공간이 확보되어야 한다.Accordingly, since test handlers are provided for each standard of a semiconductor device, unnecessary equipment investment cost increases, and a space for installing equipment for each standard of a semiconductor device must be secured.
본 발명의 실시 예는 단일 장비로 다양한 규격의 반도체에 대응할 수 있도록 한 테스트 트레이 및 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.An embodiment of the present invention is to provide a test tray and a test handler capable of responding to semiconductors of various standards with a single device.
본 발명의 실시 예에 따른 테스트 트레이는, 반도체 소자를 수용하기 위한 서로 다른 사이즈의 복수의 안착홈이 형성된 본체; 상기 안착홈의 내측의 일측 및 타측에 각각 형성되어 반도체 소자를 안착 시키기 위한 인서트; 및 상기 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착되는 반도체 소자를 하부에서 지지하기 위한 클립을 포함할 수 있다.A test tray according to an embodiment of the present invention includes a body having a plurality of seating grooves of different sizes for accommodating semiconductor devices; inserts respectively formed on one side and the other side of the inner side of the seating groove to seat the semiconductor device; and a clip formed to be connected to the insert and configured to support a semiconductor device seated on the insert from a lower side.
또한, 테스트 트레이는, 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 고정시키기 위한 고정부를 더 포함하고, 상기 고정부는, 상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 양측에서 각각 고정시키거나 또는 고정 해제 시키기 위한 레버; 및 상기 레버의 외측에 위치하여 상기 반도체 소자를 고정시킬 때 상기 반도체 소자의 양측을 내측 방향으로 가압하거나 또는 상기 반도체 소자의 고정을 해제시킬 때 상기 가압을 해제하는 스프링을 포함할 수 있다.In addition, the test tray is formed to be connected to the insert and further includes a fixing part for fixing the semiconductor device seated on the insert, wherein the fixing part fixes the semiconductor device seated on the insert from both sides, respectively, or or a lever for unlocking; and a spring positioned outside the lever to press both sides of the semiconductor device in an inward direction when fixing the semiconductor device or releasing the pressure when releasing the fixing of the semiconductor device.
본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러는, 복수 규격의 반도체 소자를 수용하는 테스트 트레이; 및 상기 테스트 트레이를 지지하여 테스트 공정 구역을 따라 이송하는 이송부를 포함할 수 있다.A test handler according to an embodiment of the present invention includes a test tray accommodating a plurality of standard semiconductor devices; and a transport unit supporting the test tray and transporting it along the test process area.
또한, 테스트 핸들러는, 상기 테스트 트레이에 수용된 상기 반도체 소자에 대한 테스트를 수행하기 위한 테스터; 및 상기 반도체 소자의 규격에 따라 상기 반도체 소자가 테스트를 위한 정위치에 정렬되도록 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬하는 정렬부를 더 포함할 수 있다.In addition, the test handler may include: a tester for performing a test on the semiconductor device accommodated in the test tray; and an aligning unit for aligning a position of the test tray so that the semiconductor device is aligned with the correct position for testing according to the standard of the semiconductor device.
또한, 테스트 핸들러는, 테스트 핸들러의 입출구에 위치하여 상기 반도체 소자가 수용된 커스토머 트레이를 로딩하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 외부로 언로딩하는 로딩 및 언로딩부; 상기 로딩 및 언로딩부 또는 전달부로부터 전달되는 상기 커스토머 트레이를 적재하는 적재부; 및 상기 커스토머 트레이로부터 상기 반도체 소자를 픽업하여 상기 테스트 트레이로 전달하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자를 픽업하여 상기 커스토머 트레이로 전달하는 전달부를 더 포함할 수 있다.In addition, the test handler may include: a loading and unloading unit positioned at the entrance and exit of the test handler to load the customer tray in which the semiconductor device is accommodated, or to unload the customer tray in which the semiconductor device has been completed; a loading unit for loading the customer tray delivered from the loading and unloading unit or the transmission unit; and a delivery unit that picks up the semiconductor device from the customer tray and delivers it to the test tray, or picks up a semiconductor device that has been tested and delivers it to the customer tray.
본 실시 예들에 따르면, 반도체 소자를 위한 테스트 핸들러는 단일 장비로 다양한 규격의 반도체 소자에 대응할 수 있으므로, 해당 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고 이로 인해 관련 비용도 절감할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.According to the present embodiments, since the test handler for a semiconductor device can respond to semiconductor devices of various standards with a single device, the time required for a corresponding process can be shortened, thereby reducing related costs. there is.
또한, 본 실시 예는 반도체 소자의 테스트에 사용하는 테스트 트레이의 순환 경로를 효율적으로 설계하여 장비의 설치공간을 효율적으로 활용할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.In addition, the present embodiment can be expected to have the effect of efficiently utilizing the installation space of the equipment by efficiently designing the circulation path of the test tray used for testing the semiconductor device.
또한, 본 실시 예는 테스트 공정의 연속성을 확보하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, the present embodiment can be expected to have the effect of improving the productivity by ensuring the continuity of the test process.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 트레이의 외관을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 테스트 트레이의 일부를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 테스트 트레이에 반도체 소자가 안착된 상태의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 4, 도 5a 및 도 5b는 도 3의 테스트 트레이의 일부를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 로테이터를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 실시 예에 따른 프리사이저를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 11 및 12는 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 정렬부를 상세하게 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 반출 위치를 상세하게 나타내는 도면이다.1 is a view showing the appearance of a test tray according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing in detail a part of the test tray of FIG. 1 .
3 is a view illustrating an example of a state in which a semiconductor device is seated on the test tray of FIG. 1 .
4, 5A, and 5B are views illustrating in detail a part of the test tray of FIG. 3 .
6 is a diagram illustrating a configuration of a test handler according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing in detail a rotator according to an embodiment of the present invention.
8 to 10 are views showing in detail a presizer according to an embodiment of the present invention.
11 and 12 are views illustrating in detail an alignment part of a test handler according to an embodiment of the present invention.
13 is a diagram illustrating in detail a location where a test handler is unloaded according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하도록 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described based on the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 트레이의 외관을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the appearance of a test tray according to an embodiment of the present invention.
이하에서는, 도 1의 테스트 트레이의 일부를 상세하게 나타내는 도 2, 도 1의 테스트 트레이에 반도체 소자가 안착된 상태의 일 예를 나타내는 도 3, 도 3의 테스트 트레이의 일부를 상세하게 나타내는 도 4, 도 5a 및 도 5b를 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, FIGS. 2 showing a part of the test tray of FIG. 1 in detail, FIGS. 3 showing an example of a state in which a semiconductor device is seated on the test tray of FIG. 1 , and FIG. 4 showing a part of the test tray of FIG. 3 in detail , will be described with reference to FIGS. 5A and 5B.
먼저, 이하의 설명에서 반도체 소자라 함은 SO-DIMM, UB-DIMM, REG-DIMM, LR-DIMM, VLP-DIMM 등과 같은 컴퓨터, 노트북, 서버용 메모리일 수 있다. 이러한 반도체 소자들은 공지된 바와 같이 그 종류에 따라 폭과 길이와 같은 사이즈의 규격이 상이할 수 있다.First, in the following description, a semiconductor device may be a memory for a computer, a notebook computer, a server, such as SO-DIMM, UB-DIMM, REG-DIMM, LR-DIMM, and VLP-DIMM. As is known, these semiconductor devices may have different sizes, such as width and length, depending on their type.
도 1을 참조하면, 테스트 트레이(10)는 본체(11), 인서트(150), 클립(16) 및 고정부를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , the
본체(11)는 반도체 소자(20)를 수용하기 위한 서로 다른 사이즈의 복수의 안착홈(12, 13)이 형성될 수 있다.The
안착홈(12, 13)은 후술할 테스터(미도시)가 반도체 소자(20)에 전기적으로 접속할 수 있도록 상, 하로 관통된 형태일 수 있다.The
안착홈(12, 13)들은 다양한 반도체 소자(20)의 규격에 대응할 수 있도록 그 길이가 서로 다르게 복수 개가 형성될 수 있다.A plurality of
본 실시예에서, 테스트 트레이(10)는 2종의 반도체 소자를 수용할 수 있도록 2종의 안착홈(12, 13)이 서로 교번되도록 형성되고, 서로 이웃하는 안착홈(12, 13)들의 간격은 동일한 피치(도 1의 P)를 가지는 것으로 예를 들고 있으나, 이에 한정되지 않고, 안착홈(12, 13)의 규격, 피치, 개수 및 배열은 반도체 소자(20)의 규격에 따라 얼마든지 설계 변경될 수 있을 것이다.In the present embodiment, the
예를 들어, 단일 테스트 트레이(10) 당 다양한 규격의 반도체 소자(Rdimm, Sdimm)를 동시에 16ea 수용할 수 있다. 이때, 반도체 소자(20)의 수용 개수는 16ea에 한정되지 않고 운용자에 따라 변경 가능하다 할 것이다.For example, a
이러한 상태에서 도 6에서 도시하는 바와 같이, 후술하는 테스터(700)가 2개의 테스트 트레이(10)에 대해 테스트 진행을 동시에 수행할 수 있기 때문에, 한 번에 총 32ea의 반도체 소자(20)에 대한 테스트를 수행할 수 있는 것이다. 이때, 운용자의 필요에 따라, 테스터(700)가 2개의 테스트 트레이(10) 이외에 추가로 테스트 트레이(10)에 대한 테스트 공정을 수행할 수 있도록 변경함 역시 가능하다 할 것이다.In this state, as shown in FIG. 6 , since a
도 2 내지 도 4를 참조하면, 인서트(15)는 안착홈(12, 13)의 내측의 일측 및 타측에 각각 형성되어 반도체 소자(20)를 안착시키기 위한 구성일 수 있다.2 to 4 , the
즉, 인서트(15)는 안착홈(12, 13)의 내부에는 형성되어, 안착홈(12, 13)에 수용된 반도체 소자(20)를 견고하게 클램핑할 수 있는 것이다.That is, the
인서트(15)는 연성 재질로 이루어져 반도체 소자(20)에 가해질 수 있는 스크래치와 같은 손상을 사전에 예방할 수 있다.The
도 4를 참고하면, 클립(16)은 인서트(15)에 연결되게 형성되어 인서트(15)에 안착되는 반도체 소자(20)를 하부에서 지지하기 위한 구성일 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
구체적으로, 클립(16)은 단일 인서트(15)의 양측 중 반도체 소자(20)가 접촉되는 측에 하부 방향의 고리 형상으로 연장되게 형성되어, 인서트(15)에 삽입되는 반도체 소자(20)를 하부에서 지지하는 것이다.Specifically, the
도 5a 및 도 5b를 참고하면, 고정부(17, 18)는 인서트(15)에 연결되게 형성되어 인서트(15)에 안착된 반도체 소자(20)를 고정시키기 위한 구성일 수 있다.Referring to FIGS. 5A and 5B , the
즉, 고정부(17, 18)는 인서트(15)에 삽입되고 클립(16)에 의해서 하부 지지된 상태의 반도체 소자(20)를 추가로 단단하게 고정 또는 고정 해제시키기 위한 구성인 것이다.That is, the
구체적으로, 고정부는 레버(17) 및 스프링(18)을 포함할 수 있다.Specifically, the fixing portion may include a
도 5a 및 도 5b를 참고하면, 레버(17)는 인서트(15)에 안착된 반도체 소자(20)를 양측에서 각각 고정시키거나 또는 고정 해제시키기 위한 구성일 수 있다. 레버(17)는 반도체 소자(20)가 안착된 영역 측으로 밀리면 잠금 상태로 고정되는 것이고, 반도체 소자(20)가 안착된 영역과 반대측으로 밀리면 잠금 해제 상태로 고정 해제 상태가 되는 것이다.5A and 5B , the
도 5a를 참조하면, 스프링(18)은 레버(17)의 외측에 위치하여 반도체 소자(20)를 고정시킬 때 반도체 소자(20)의 양측을 내측 방향으로 가압할 수 있다.Referring to FIG. 5A , the
도 5b을 참조하면, 스프링(18)은 반도체 소자(20)의 고정을 해제시킬 때 반도체 소자(20)의 양측을 내측 방향으로 가압한 상태를 해제할 수 있다.Referring to FIG. 5B , the
상술한 스프링(18)은 레버(17)에 삽입되는 형태로 형성되어 반도체 소자를 지지하는 형태로 구현될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.The above-described
상술한 인서트(15), 클립(16) 및 고정부(17, 18)는 복수의 안착홈(12, 13) 각각에 한 쌍씩 대응되게 형성될 수 있다.The
상술한 바와 같이, 테스트 트레이(10)는 R-DIMM, SO-DIMM 및 UB-DIMM 등의 서로 다른 규격의 반도체 소자(20)를 투입하더라도 테스트 트레이(10)를 교체할 필요가 없기 때문에 컨버젼(conversion) 시간을 절약하여 장비 가동률 향상을 기대할 수 있는 것이다.As described above, the
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 구성을 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating a configuration of a test handler according to an embodiment of the present invention.
이하에서는, 본 발명의 실시 예에 따른 로테이터를 상세하게 나타내는 도 7, 본 발명의 실시 예에 따른 프리사이저를 상세하게 나타내는 도 8 내지 도 10, 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 정렬부를 상세하게 나타내는 도 11 및 12, 본 발명의 실시 예에 따른 테스트 핸들러의 반출 위치를 상세하게 나타내는 도 13을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, FIG. 7 showing a rotator according to an embodiment of the present invention in detail, FIGS. 8 to 10 showing a sizer according to an embodiment of the present invention in detail, and an alignment part of a test handler according to an embodiment of the present invention It will be described with reference to FIGS. 11 and 12 showing details and FIG. 13 showing details of the unloading position of the test handler according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 테스트 핸들러는 테스트 트레이(10) 및 이송부(400)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the test handler may include a
또한, 테스트 핸들러는 커스토머 트레이(Customer Tray)(30), 로딩 및 언로딩부(100), 적재부(200), 전달부(300), 테스터(700) 및 정렬부(800)를 더 포함할 수 있다.In addition, the test handler further includes a customer tray (Customer Tray) 30 , a loading and
테스트 트레이(10)는 복수 규격의 반도체 소자(20)를 수용하는 구성일 수 있다. The
도 1을 참조하면, 테스트 트레이(10)는 본체(11), 인서트(150), 클립(16) 및 고정부를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the
본체(11)는 반도체 소자(20)를 수용하기 위한 서로 다른 사이즈의 복수의 안착홈(12, 13)이 형성될 수 있다. The
안착홈(12, 13)은 후술할 테스터(700)가 반도체 소자(20)에 전기적으로 접속할 수 있도록 상하로 관통된 형태일 수 있다. 안착홈(12, 13)들은 다양한 반도체 소자(20)의 규격에 대응할 수 있도록, 그 길이가 서로 다르게 복수 개가 형성될 수 있다.The
도 2 내지 도 4를 참조하면, 인서트(15)는 안착홈(12, 13)의 내측의 일측 및 타측에 각각 형성되어 반도체 소자(20)를 안착시키기 위한 구성일 수 있다. 인서트(15)는 안착홈(12, 13)의 내부에는 형성되어, 안착홈(12, 13)에 수용된 반도체 소자(20)를 견고하게 클램핑할 수 있다. 인서트(15)는 연성 재질로 이루어져 반도체 소자(20)에 가해질 수 있는 스크래치와 같은 손상을 사전에 예방할 수 있다.2 to 4 , the
도 4를 참고하면, 클립(16)은 인서트(15)에 연결되게 형성되어 인서트(15)에 안착되는 반도체 소자(20)를 하부에서 지지하기 위한 구성일 수 있다.Referring to FIG. 4 , the
도 5a 및 도 5b를 참고하면, 고정부는 인서트(15)에 연결되게 형성되어 인서트(15)에 안착된 반도체 소자(20)를 고정시키기 위한 구성일 수 있다. 구체적으로, 고정부는 레버(17) 및 스프링(18)을 포함할 수 있다. 레버(17)는 인서트(15)에 안착된 반도체 소자(20)를 양측에서 각각 고정시키거나 또는 고정 해제시키기 위한 구성일 수 있다. 도 5a를 참조하면, 스프링(18)은 레버(17)의 외측에 위치하여 반도체 소자(20)를 고정시킬 때 반도체 소자(20)의 양측을 내측 방향으로 가압할 수 있다. 도 5b을 참조하면, 스프링(18)은 반도체 소자(20)의 고정을 해제시킬 때 반도체 소자(20)의 양측을 내측 방향으로 가압한 상태를 해제할 수 있다.5A and 5B , the fixing part is formed to be connected to the
상술한 인서트(15), 클립(16) 및 고정부는 복수의 안착홈(12, 13) 각각에 한 쌍씩 대응되게 형성될 수 있다.The
로딩 및 언로딩부(100)는 테스트 핸들러의 입출구에 위치하여 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 로딩하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 외부로 언로딩할 수 있다.The loading and
여기에서, 복수의 반도체 소자(20)는 단일 커스토머 트레이(30)에 수용된 후, 테스트 트레이(10)로 전달되어 테스트가 이루어지기 위해 로딩 및 언로딩부(100), 적재부(200), 전달부(300), 이송부(400) 및 테스터(700)를 경유할 수 있다.Here, the plurality of
구체적으로, 로딩 및 언로딩부(100)는 로딩 모듈(110), 언로딩 모듈(120) 및 버퍼 모듈(130)을 포함할 수 있다.Specifically, the loading and
로딩 모듈(110)은 커스토머 트레이(30)를 적재부(200)로 반입시키는 구성일 수 있다.The
언로딩 모듈(120)은 로딩 모듈(110)의 일측방에 배치되어 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 반출시키는 구성일 수 있다.The
버퍼 모듈(130)은 비상시 커스토머 트레이(30)의 반입, 또는 반출을 수행하기 위하여, 로딩 모듈(110)과 언로딩 모듈(120)의 사이에 배치될 수 있다. The
예를 들어, 버퍼 모듈(130)은 로딩 모듈(110) 또는 언로딩 모듈(120)에 문제가 발생하는 등의 비상 시, 커스토머 트레이(30)의 반입 또는 반출을 수행할 수 있는 것이다. For example, the
로딩 모듈(110), 언로딩 모듈(120) 및 버퍼 모듈(130)은 커스토머 트레이(30)를 평면 상에서 직선 이송하도록 작동하는 액츄에이터의 형태로 마련될 수 있다. 이때, 로딩 모듈(110), 언로딩 모듈(120) 및 버퍼 모듈(130)은 커스토머 트레이(30)의 로딩 또는 언로딩에 따라 커스토머 트레이(30)의 이송 방향에서 차이가 있을 수 있다.The
적재부(200)는 로딩 및 언로딩부(100) 또는 전달부(300)로부터 전달되는 커스토머 트레이(30)를 적재할 수 있다. 상기 적재부(200)에는 커스토머 트레이(30)가 복수로 적재될 수 있다.The
적재부(200)는 로딩 스태커(210), 언로딩 스태커(220) 및 버퍼 스태커(230)를 포함할 수 있다.The
로딩 스태커(210)는 로딩 모듈(110)에 연결되어 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 적재하는 구성일 수 있다.The
언로딩 스태커(220)는 로딩 스태커(210)의 일측방에 배치되고 언로딩 모듈(120)에 연결되어 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 적재할 수 있다.The
버퍼 스태커(230)는 비상시 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30), 또는 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 커스토머 트레이(30)를 적재하기 위하여, 로딩 스태커(210)와 언로딩 스태커(220)의 사이에 배치될 수 있다.In an emergency, the
버퍼 스태커(230)는 로딩 스태커(210) 또는 언로딩 스태커(220)에 문제가 발생하면, 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30) 또는 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)를 적재할 수 있는 것이다.In the
로딩 스태커(210), 언로딩 스태커(220) 및 버퍼 스태커(230)는 커스토머 트레이(30)를 승강시켜 복수의 커스토머 트레이(30)의 적재가 가능하도록 상하 방향으로 작동하는 액츄에이터 및 각 스태커의 가장 하측에 위치한 커스토머 트레이(30)를 평면 상에서 직선 이송하도록 작동하는 액츄에이터의 조합으로 이루어질 수 있다. The
이때, 로딩 스태커(210), 언로딩 스태커(220) 및 버퍼 스태커(230)는 커스토머 트레이(30)의 로딩, 또는 언로딩에 따라 커스토머 트레이(30)의 이송 방향과 승강 방향에서 상이할 수 있다.At this time, the
전달부(300)는 커스토머 트레이(30)로부터 반도체 소자(20)를 픽업하여 테스트 트레이(10)로 전달하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자(20)를 픽업하여 커스토머 트레이(30)로 전달할 수 있다.The
구체적으로, 전달부(300)는 로딩 트랜스퍼(310) 및 언로딩 트랜스퍼(320)를 포함할 수 있다.Specifically, the
로딩 트랜스퍼(310)는 커스토머 트레이(30)로부터 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)로 픽업 앤 플레이스를 수행할 수 있다.The
로딩 트랜스퍼(310)는 로딩 스태커(210)로부터 낱장으로 공급되는 커스토머 트레이(30)에 수용된 반도체 소자를 테스트 트레이(10)로 픽업 앤 플레이스 할 수 있다.The
상기 로딩 트랜스퍼(310)에 의해 반도체 소자(20)가 테스트 트레이(10) 전달될 때의 테스트 트레이(10)의 위치는 테스트 트레이(10)의 반입 위치(도 6의 IN)일 수 있다.When the
언로딩 트랜스퍼(320)는 테스트 트레이(10)로부터 테스트가 완료된 반도체 소자(20)를 커스토머 트레이(30)로 픽업 앤 플레이스를 수행할 수 있다.The unloading
상기 언로딩 트랜스퍼(320)에 의해 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 커스토머 트레이(30)로 전달될 때의 테스트 트레이(10)의 위치는 테스트 트레이(10)의 반출 위치(도 6의 OUT)일 수 있다.The position of the
상술한 로딩 트랜스퍼(310) 및 언로딩 트랜스퍼(320)는 커스토머 트레이(30)의 상측과 테스트 트레이(10)의 상측을 왕복 가능하고 평면 상의 두 축 방향으로 직선 이송하도록 배치되는 복수의 액츄에이터, 상하 방향으로 작동 가능한 액츄에이터 및 반도체 소자(20)의 픽 앤 플레이스가 가능한 픽 핸드의 조합으로 이루어질 수 있다. The above-described
이때, 로딩 트랜스퍼(310) 및 언로딩 트랜스퍼(320)는 반도체 소자(20)의 로딩, 또는 언로딩에 따라 픽 핸드의 이송 방향과 승강 방향에서 상이할 수 있다. 상기 픽 핸드는 커스토머 트레이(30) 또는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자의 규격에 따라 픽 영역이 가변될 수 있음은 당연하다 할 것이다.In this case, the
커스토머 트레이(30)에 수용된 반도체 소자(20)는 로딩 트랜스퍼(310)에 의해 커스토머 트레이(30)로부터 테스트 트레이(10)로 전달되는데, 이때 테스트 트레이(10)의 위치를 테스트 트레이(10)의 반입 위치(도 6의 IN)로 정의할 수 있다. The
또한, 테스트를 완료한 반도체 소자(20)는 언로딩 트랜스퍼(320)에 의해 테스트 트레이(10)이로부터 커스토머 트레이(30)로 전달되는데, 이때 테스트 트레이(10)의 위치를 테스트 트레이(10)의 반출 위치(도 6의 OUT)로 정의할 수 있다. 도 6에서 도시하는 바와 같이, 상술한 반입 위치와 반출 위치는 동일 직선 상에 형성될 수 있다.In addition, the
여기에서, 반입 위치에는 로딩 프리사이저(preciser)(311)가 배치될 수 있으며, 반출 위치에는 언로딩 프리사이저(321)가 배치될 수 있으며, 이에 대한 상세 설명은 후술하기로 한다.Here, a
이송부(400)는 테스트 트레이(10)를 지지하여 테스트 공정 구역을 따라 이송할 수 있다.The
도 6을 참조하면, 이송부(400)는 테스트 트레이(10)를 이동 경로에 따라 이송시키는 제1, 제2, 제3, 제4, 제5, 제6 및 제 7 이송모듈(410, 420, 430, 440, 450, 460, 470)을 포함하는 이송모듈, 테스트 트레이(10)를 트레이 기준 방향에 따라 회전시키는 제1 및 제2 로테이터(510, 520)를 포함하는 로테이터 및 테스트 트레이(10)를 승강시키는 제1 및 제2 승강모듈(610, 620)을 포함하는 승강모듈을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the
도 6을 참조하면, 제1 이송모듈(410)은 반입 위치(IN)에서 테스트 트레이(10)를 다음 이송 영역까지 이송할 수 있다. 제1 이송모듈(410)은 반도체 소자(20)가 수용된 테스트 트레이(10)를 반입 위치로부터 도 6에 표기된 제1방향으로 이송할 수 있다.Referring to FIG. 6 , the
도 7을 참고하면, 제1 로테이터(510)는 제1 이송모듈(410)에 의해 이송된 테스트 트레이(10)를 다음 단계의 트레이 기준 방향에 따라 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 로테이터(510)는 제1 이송모듈(410)에 의해 이송된 테스트 트레이(10)를 지지하고, 테스트 트레이(10)를 평면 상에서 90도로 회전시킬 수 있다.Referring to FIG. 7 , the
제1 로테이터(510)는 테스트 트레이(10)를 그립한 후 회전 위치로 이동하며 다른 구성과의 간섭 회피를 위해 레일 다운(rail down)을 수행할 수 있다. 이후, 제1 로테이터(510)는 테스트 트레이(10)를 회전 위치로 이송한 후 레일 업(rail up)하고, 구비된 로테이터 실린더를 통해 테스트 트레이(10)를 회전시킬 수 있다. 이를 위해, 제1 로테이터(510)는 로딩용 레일 업다운 실린더(Loading rail up/down cylinder)(511)와 로테이트 실린더(rotate cylinder)(미도시)를 포함할 수 있다.After gripping the
제2 이송모듈(420)은 제1 로테이터(510)로부터 테스트 트레이(10)를 다음 이송 영역까지 이송할 수 있다. 예를 들어, 제2 이송모듈(420)은 제1 로테이터(510)에 지지되는 테스트 트레이(10)를 제1방향으로 이송할 수 있다.The
제1 승강모듈(610)은 제2 이송모듈(420)에 의해 이송된 테스트 트레이(10)를 승강시킬 수 있다.The first elevating
제3 이송모듈(430)은 제1 승강모듈(610)에 의해 승강된 테스트 트레이(10)를 테스터(700)의 일측방으로 이송할 수 있다. 예를 들어, 제3 이송모듈(430)은 제1 승강모듈(610)에 의해 승강된 테스트 트레이(10)를 도 6에 표기된 제2방향으로 이송할 수 있다.The
제4 이송모듈(440)은 제3 이송모듈(430)로부터 테스트 트레이(10)를 테스터(700)의 상측으로 이송할 수 있다.The
예를 들어, 제4 이송모듈(440)은 제3 이송모듈(430)에 의해 이송된 테스트 트레이(10)를 도 6에 표기된 제3방향으로 이송할 수 있다. 이때, 제3방향으로 이송된 테스트 트레이(10)는 후술될 테스터(700)에 반입되어 테스터(700)의 상측에 위치할 수 있다.For example, the
제5 이송모듈(450)은 테스터(700)로부터 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 수용된 테스트 트레이(10)를 테스터(700)의 외부로 이송할 수 있다.The
테스터(700)에 테스트 트레이(10)가 반입되면, 반도체 소자(20)에 대한 테스트 공정이 진행되며, 제5이송모듈(450)은 테스터(700)로부터 테스트완료 반도체 소자가 수용된 테스트 트레이(10)를 도 6에 표기된 제3방향으로 이송할 수 있다.When the
도 7을 참조하면, 제2 로테이터(520)는 제5 이송모듈(450)에 의해 테스터(700)의 외부로 이송된 테스트 트레이(10)를 다음 단계의 트레이 기준 방향에 따라 회전시킬 수 있다. 예를 들어, 제2 로테이터(520)는 테스트 트레이(10)를 평면 상에서 90도로 회전시킬 수 있다.Referring to FIG. 7 , the
제2 로테이터(520)는 테스트 트레이(10)를 그립한 후 회전 위치로 이동하며 다른 구성과의 간섭 회피를 위해 레일 다운(rail down)을 수행할 수 있다. 이후, 제2 로테이터(520)는 테스트 트레이(10)를 회전 위치로 이송한 후 레일 업(rail up)하고, 구비된 로테이터 실린더를 통해 테스트 트레이(10)를 회전시킬 수 있다. 이를 위해, 제2 로테이터(520)는 언로딩용 레일 업다운 실린더(Unloading rail up/down cylinder)(513)와 로테이트 실린더(rotate cylinder)(미도시)를 포함할 수 있다.After gripping the
제6 이송모듈(460)은 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 테스트 트레이(10)를 반출 위치(도 6의 OUT)로 이송할 수 있다. 예를 들어, 제6 이송모듈(460)은 테스트 트레이(10)를 도 6에 표기된 제2방향으로 이송하여 테스트 트레이(10)를 반출 위치에 위치시킬 수 있는 것이다.The
제2 승강모듈(620)은 반출 위치에서 비어 있는 테스트 트레이(10)를 승강시킬 수 있다. 구체적으로, 언로딩 트랜스퍼(320)에 의해 테스트가 완료된 반도체 소자(20)가 모두 언로딩되면, 제2 승강모듈(620)은 테스트 트레이(10)를 승강시킬 수 있다.The second elevating
제7 이송모듈(470)은 제6 이송모듈(460)의 상측에 배치되어 테스트 트레이(10)를 반입 위치(IN)로 이송할 수 있다. 예를 들어, 제7 이송모듈(470)은 테스트 트레이(10)를 도 6에 표기된 제4방향으로 이송하여 반입 위치(IN)에 위치시킬 수 있는 것이다.The
도 13을 참고하면, 테스트 트레이(10)는 테스터(700)에서 테스트 공정이 완료된 후 반출 위치(OUT)로 이송될 수 있고(1-1), 테스트가 완료된 반도체 소자(20)를 커스토머 트레이(30)로 옮겨 담은 후, 재 사용을 위해 반입 위치(IN)로 이송(1-2)될 수 있다.Referring to FIG. 13 , the
이때, 테스트 트레이(10)는 반출 위치(OUT)에서 수직 상승하여 반입 위치(IN)로 이동하기 때문에, 테스터(700)로부터 반출 위치(OUT)까지의 경로(1-2)와 반출 위치(OUT)로부터 반입 위치(IN)까지의 경로(1-2)가 중첩되어 테스트 트레이(10) 간에 경로 방해가 발생할 수 있는 것을 사전에 방지할 수 있다. At this time, since the
이때, 테스트 트레이(10)는 반출 위치에서 수직 상승 이외에도 수직 하강하는 등 테스트 트레이(10) 간에 발생할 수 있는 경로 방해를 방지하는 모든 방향으로 이동 가능하다 할 것이다.In this case, the
한편, 이송부(400)는 도 6의 반입 위치에 배치되는 로딩 프리사이저(preciser)(311)와 반출 위치에 배치되는 언로딩 프리사이저(321)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the
로딩 프리사이저(311)는 로딩 트랜스퍼(310)가 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)에 안착시킬 수 있도록 할 수 있다.The
구체적으로, 로딩 프리사이저(311)는 로딩 트랜스퍼(310)가 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)의 정 위치에 안착시킬 수 있도록 가이드 하되, 테스트 트레이(10)의 인서트(15)를 오픈할 수 있다.Specifically, the
도 9를 참조하면, 로딩 및 언로딩 프리사이저(311, 321)는 테스트 트레이(10)의 인서트 오픈 가이드(317)를 구비하여, 반도체 소자(20)의 사이즈에 따라 참조번호 317a, 또는 317b의 인서트 오픈 가이드를 통해 인서트(15)를 오픈시킬 수 있다.Referring to FIG. 9 , the loading and unloading presizers 311 and 321 include an insert
구체적으로, 인서트(15)의 오픈은 테스트 트레이(10) 하부에 위치한 로딩 및 언로딩 프리사이저(311, 321)가 실린더 동작으로 테스트 트레이(10)와 결합되는 과정에서 인서트 오픈 가이드(317)을 통해 도 5a의 상태인 레버(17)가 위로 밀려 올라가게 되어 도 5b와 같은 형태로 되는 것이다. 이때, 클립(16)이 오픈되어 공간이 확보되면서 반도체 소자(20)를 삽입하는 로딩 또는 반도체 소자(20)를 반출하는 언로딩이 가능한 상태로 되는 것이다.Specifically, the opening of the
한편, 레버(17)가 도 5b와 같이 뒤로 밀려나게 되어 잠금 해제 상태가 되거나, 또는 도 5a와 같이 잠금 상태가 되는 것은 스프링(18)의 작용하는 힘을 통해 가능할 수 있다. 이때, 스프링(18)은 레버(17)를 밀거나 또는 레버(17)에 의해서 밀릴 수 있다.On the other hand, the
상술한 원리를 통해, 클립(16)은 반도체 소자(20)를 지지하는 역할을 하는 동시에 스프링(18)과 레버(17)의 조합을 통해 반도체 소자(20)를 고정하는 역할까지 가능할 수 있다.Through the above-described principle, the
참고로, 도 10은 로딩 및 언로딩 프리사이저(311, 321)에 안착된 테스트 트레이(10)에 반도체 소자(20)가 수용된 상태를 나타내는 것이다.For reference, FIG. 10 illustrates a state in which the
언로딩 프리사이저(321)는 언로딩 트랜스퍼(320)가 테스트가 완료된 반도체 소자를 테스트 트레이(10)로부터 반출할 수 있도록 할 수 있다.The unloading
언로딩 프리사이저(321)는 언로딩 트랜스퍼(320)가 테스트가 완료된 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)로부터 반출할 수 있도록 반출 위치에 위치한 테스트 트레이(10)의 하측에 배치되어 승강될 수 있다.The unloading
도 8 내지 도 10을 참조하면, 상술한 로딩 프리사이저(311)와 언로딩 프리사이저(321)는 반입 위치 또는 반출 위치에 위치한 테스트 트레이(10)의 하측에 배치되어 승강되는 플레이트(313) 및 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)의 위치에 대응하여 플레이트(313)로부터 돌출되어 반도체 소자(20)를 지지하는 지지돌기(315)를 포함할 수 있다.8 to 10 , the above-described
테스터(700)는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)에 대한 테스트를 수행하기 위한 구성일 수 있다.The
도 11 및 도 12를 참조하면, 테스터(700)는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)에 대한 테스트를 수행할 수 있다. 테스터(700)는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)에 전기적으로 접속하여 반도체 소자(70)에 대한 소정의 테스트를 수행할 수 있다. 한번의 공정으로 많은 물량의 반도체 소자(70)에 대한 테스트 공정을 수행할 수 있도록 테스터(700)는 복수 개로 마련될 수 있다. 이때, 테스터(700)가 복수로 마련되는 경우, 상술한 제4 이송모듈(440)과 제2 로테이터(520) 및 테스트 레일(710)은 테스터(700)의 수량에 비례하여 마련될 수 있다. 또한, 제3 이송모듈(430)은 테스터(700)의 수량에 비례하여 테스트 트레이(10)를 각 테스터(700)로 각각 공급할 수 있는 충분한 길이로 마련될 수 있다. 11 and 12 , the
구체적으로, 테스터(700)는 테스트 레일(710) 및 가압 모듈(720)을 포함할 수 있다.Specifically, the
테스트 레일(710)는 테스터(700)의 상측에 배치되어 테스트 트레이(10)를 지지할 수 있다.The
테스트 레일(710)은 제4 이송모듈(440)에 의해 제3방향으로 이송되는 테스트 트레이(10)가 테스터(700)의 상측으로 원활하게 반입되고, 제5 이송모듈(450)에 의해 제3방향으로 이송되는 테스트 트레이(10)가 테스터(700)의 상측으로부터 원활하게 반출될 수 있도록 제3방향으로 나란하게 배치되는 한 쌍의 레일로 이루어질 수 있다.As for the
가압 모듈(720)은 테스트 레일(710)에 지지되는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)를 가압할 수 있다.The
가압 모듈(720)은 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)를 향해 승강되어 반도체 소자(20)와 테스터(700)의 전기적 접속상태가 견고하게 유지되도록 할 수 있다.The
정렬부(800)는 반도체 소자(20)의 규격에 따라 반도체 소자(20)가 테스트를 위한 정위치에 정렬되도록 테스트 트레이(10)의 위치를 정렬하는 구성일 수 있다.The
정렬부(800)는 제1 정렬모듈(810) 및 제2 정렬모듈(820)을 포함할 수 있다.The
제1 정렬모듈(810)은 서로 이웃하는 안착홈들(12, 13) 사이의 피치에 따라 이송부를 이동시켜 테스트 트레이(10)의 위치를 조정할 수 있다. 예를 들어, 제1 정렬모듈(810)은 제3 이송모듈(430)에 연결되어 제3 이송모듈(430)을 도 6의 제2방향, 또는 제4방향으로 이동시켜 테스트 트레이(10)의 위치를 조정할 수 있다.The
제2 정렬모듈(820)은 서로 이웃하는 안착홈들(12, 13) 사이의 피치에 따라 테스트 레일(710)을 이동시켜 테스트 트레이(10)의 위치를 조정할 수 있다. 예를 들어, 제2 정렬모듈(820)은 테스트 레일(710)에 연결되어 테스트 레일(710)을 제2방향 또는 제4방향으로 이동시켜 테스트 트레이(10)의 위치를 조정할 수 있다. The
본 실시예에 따른 테스트 트레이(10)에는 2종의 반도체 소자(20)를 수용할 수 있도록 2종의 안착홈(12, 13)이 서로 교번되어 형성되고, 안착홈(12, 13)들의 간격이 동일한 피치(P)를 가질 수 있다. 이에, 제1 정렬모듈(810)과 제2 정렬모듈(820)은 반도체 소자(20)의 규격에 따라 해당 규격의 반도체 소자(20)를 지지하는 안착홈(12, 13)이 테스터(700)에 정렬될 수 있도록 제3 이송모듈(430)과 테스트 레일(710)을 함께 이송할 수 있다.In the
도시하지 않았지만, 상술한 제1 및 제2 정렬모듈(820)은 위치 센서를 적용하여 테스트 트레이(10)를 정위치에 정렬할 수 있다. 테스트 트레이(10)가 정위치에 정렬되었을 때 상단에 있는 가압 모듈(720)은 한 번에 두 장의 테스트 트레이(10)를 눌러 32개의 반도체 소자(20)을 동시에 테스트할 수 있도록 할 수 있다. 테스트가 완료된 테스트 트레이(10)는 물류 이동하여 언로딩 구역으로 이송되고 로봇(미도시)이 테스트 결과에 따라 제품 분류를 실시하고 언로딩이 완료된 테스트 트레이(10)는 다시 로딩 구역으로 물류 이동되어 반도체 소자를 로딩하는 순환 방식의 동작을 실시할 수 있다.Although not shown, the above-described first and
도 6을 참조하여, 본 실시예에 따른 테스트 핸들러에서의 구동을 설명하기로 한다.Referring to FIG. 6 , driving in the test handler according to the present embodiment will be described.
먼저, 커스토머 트레이(30)는 로딩 모듈(110)에 공급될 수 있다. 이때, 로딩 모듈(110)에는 비어있는 커스토머 트레이(30)가 지지되고 작업자 또는 자동 설비에 의해 반도체 소자(20)가 커스토머 트레이(30)에 채워질 수 있다. 이후, 반도체 소자(20)로 채워진 커스토머 트레이(30)는 대차 방식과 같은 자동화 설비에 의해 로딩 모듈(110)로 공급될 수 있다.First, the
반도체 소자(20)가 수용된 커스토머 트레이(30)는 로딩 모듈(110)에 의해 로딩 스태커(210)로 이송될 수 있다. 로딩 스태커(210)는 로딩 모듈(110)에 의해 이송된 커스토머 트레이(30)를 바로 전달부(300)로 이송할 수 있지만, 바람직하게는 공정의 효율성을 위해 커스토머 트레이(30)를 적재부(200)에 적재해 놓을 수 있다. 로딩 스태커(210)에 복수의 커스토머 트레이(30)가 적재된 경우, 로딩 스태커(210)는 가장 하부에 위치한 커스토머 트레이(30)를 전달부(300)를 향해 이송할 수 있다.The
다음으로, 테스트 트레이(10)는 반입 위치에 대기하며, 로딩 트랜스퍼(310)는 커스토머 트레이(30)에 담겨진 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)로 전달할 수 있다. 테스트 트레이(10)에 반도체 소자(20)가 채워지면, 제1 이송모듈(410)은 테스트 트레이(10)를 제1 로테이터(510)로 이송할 수 있다. 제1 로테이터(510)는 테스트 트레이(10)를 90도로 회전시킬 수 있다. 제2 이송모듈(420)은 테스트 트레이(10)를 제1 승강모듈(610)로 이송할 수 있다. 제1 승강모듈(610)은 테스트 트레이(10)를 하강시킬 수 있다. 제3 이송모듈(430)은 테스트 트레이(10)를 테스터(700)의 일측방으로 이송할 수 있다. 제4 이송모듈(440)은 테스트 트레이(10)를 테스터(700)로 반입시킬 수 있다. 테스터(700)로 반입된 테스트 트레이(10)는 테스트 레일(710)에 안착되어 테스터(700)의 상측에 위치할 수 있다. 가압 모듈(720)은 반도체 소자(20)를 가압하며, 테스터(700)는 반도체 소자(20)에 전기적으로 접속하여 소정의 테스트를 수행할 수 있다.Next, the
다음으로, 제5 이송모듈(450)은 테스트가 완료된 반도체 소자(20)를 제2 로테이터(520)로 이송할 수 있다. 제2 로테이터(520)는 테스트 트레이(10)를 90도로 회전시킬 수 있다. 제6 이송모듈(460)은 테스트 트레이(10)를 반출 위치로 이송할 수 있다. 반출 위치에서, 언로딩 트랜스퍼(320)는 테스트 트레이(10)에 수용된 반도체 소자(20)를 커스토머 트레이(30)로 전달할 수 있다. 제2 승강모듈(620)은 테스트 트레이(10)를 상승시킬 수 있다. 제7 이송모듈(470)은 비어있는 테스트 트레이(10)를 반입 위치로 이송할 수 있다.Next, the
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 테스트 핸들러의 테스트 트레이(10)는 반입 위치로부터 테스터(700)를 지나 반출 위치까지 순환될 수 있다. 도 13에서 도시하는 바와 같이, 테스트 트레이(10)의 순환 중에, 반출 위치로부터 반입 위치로 이송되는 테스트 트레이(10)는 제2 로테이터(520)에 지지되는 테스트 트레이(10)의 상측으로 이송되어 테스트 트레이(10) 간의 간섭을 방지할 수 있다. 이에, 본 실시예에 따른 테스트 핸들러는 공정의 연속성을 확보하여 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, the
또한, 본 실시예에 따른 테스트 핸들러는 커스토머 트레이(30)에 지지된 반도체 소자(20)를 테스트 트레이(10)에 전달한 후, 테스트 트레이(10)를 90도로 회전시켜 테스터(700)로 반입한 후, 테스트가 완료된 후 테스트 트레이(10)를 다시 90도로 회전시켜 반출하므로 테스터(700)를 변경하지 않고 그대로 사용할 수 있을 뿐 만 아니라, 반도체 소자의 규격과 상관없이 장비 전체의 규모를 줄여 공간을 효율적으로 활용할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, the test handler according to the present embodiment transfers the
한편, 이전에 반도체 소자(20)와 다른 규격의 반도체 소자(20)를 테스트해야 하는 경우에도 테스트 트레이(10)는 상술한 바와 같은 경로로 순환하며 테스트 공정을 수행할 수 있다. Meanwhile, even when the
다만, 이전의 반도체 소자(20)와 다른 규격의 반도체 소자(20)는 테스트 트레이(10)에서 이전에 피테스트한 반도체 소자가 지지되었던 안착홈으로부터 1피치 간격으로 이격된 안착홈에 지지되기 때문에, 정렬부(700)는 제3 이송모듈(430)과 테스트 레일(710)을 안착홈(12, 13)의 1 피치의 거리로 이송하여 다른 규격의 반도체 소자(20)를 테스터(700)에 정렬할 수 있다.However, since the
이와 같이 본 실시예에 따른 테스트 핸들러는 규격 별로 테스트 핸들러 및 테스터를 마련하지 않더라도, 단일 장비로 복수 규격의 반도체 소자(20)에 대한 테스트를 수행할 있으므로, 설비 투자비용을 절감할 수 있는 효과를 도출할 수 있다. As such, the test handler according to the present embodiment performs a test on the
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, since the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof, the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. have to understand The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention. do.
IN : 반입 위치
OUT : 반출 위치
10 : 테스트 트레이
12, 13 : 안착홈
20 : 반도체 소자
30 : 커스토머 트레이
100 : 로딩 및 언로딩부
200 : 적재부
300 : 전달부
400 : 이송부
700 : 테스터
800 : 정렬부IN: carry-in location OUT: carry-out location
10:
20: semiconductor element 30: customer tray
100: loading and unloading unit 200: loading unit
300: transfer unit 400: transfer unit
700: tester 800: alignment unit
Claims (20)
상기 안착홈의 내측의 일측 및 타측에 각각 형성되어 반도체 소자를 안착시키기 위한 인서트; 및
상기 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착되는 반도체 소자를 하부에서 지지하기 위한 클립;
을 포함하는 테스트 트레이.a body having a plurality of seating grooves of different sizes for accommodating semiconductor devices;
inserts respectively formed on one side and the other side of the inner side of the seating groove to seat the semiconductor device; and
a clip formed to be connected to the insert and configured to support a semiconductor device seated on the insert from a lower side;
A test tray containing
상기 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 고정시키기 위한 고정부를 더 포함하고,
상기 고정부는,
상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 양측에서 각각 고정시키거나 또는 고정 해제시키기 위한 레버; 및
상기 레버의 외측에 위치하여 상기 반도체 소자를 고정시킬 때 상기 반도체 소자의 양측을 내측 방향으로 가압하거나 또는 상기 반도체 소자의 고정을 해제시킬 때 상기 가압을 해제하는 스프링;
을 포함하는 테스트 트레이.According to claim 1,
It is formed to be connected to the insert and further comprises a fixing part for fixing the semiconductor device seated on the insert,
The fixing part,
a lever for fixing or releasing the semiconductor element seated on the insert from both sides, respectively; and
a spring positioned outside the lever to press both sides of the semiconductor device inward when fixing the semiconductor device or releasing the pressure when releasing the fixing of the semiconductor device;
A test tray containing
상기 인서트, 상기 클립 및 상기 고정부는 상기 복수의 안착홈 각각에 한 쌍씩 대응되게 형성된 테스트 트레이.3. The method of claim 2,
The insert, the clip, and the fixing part are formed to correspond to each of the plurality of seating grooves in pairs.
상기 인서트는 연성 재질로 이루어진 테스트 트레이.According to claim 1,
The insert is a test tray made of a flexible material.
상기 테스트 트레이를 지지하여 테스트 공정 구역을 따라 이송하는 이송부;
를 포함하는 테스트 핸들러.a test tray accommodating a plurality of standard semiconductor devices; and
a transport unit supporting the test tray and transporting it along the test process area;
A test handler containing .
상기 테스트 핸들러는,
상기 테스트 트레이에 수용된 상기 반도체 소자에 대한 테스트를 수행하기 위한 테스터; 및
상기 반도체 소자의 규격에 따라 상기 반도체 소자가 테스트를 위한 정위치에 정렬되도록 상기 테스트 트레이의 위치를 정렬하는 정렬부;
를 더 포함하는 테스트 핸들러.6. The method of claim 5,
The test handler is
a tester for performing a test on the semiconductor device accommodated in the test tray; and
an alignment unit for aligning a position of the test tray so that the semiconductor device is aligned with the correct position for testing according to the standard of the semiconductor device;
A test handler that further includes .
상기 테스트 핸들러는,
테스트 핸들러의 입출구에 위치하여 상기 반도체 소자가 수용된 커스토머 트레이를 로딩하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 외부로 언로딩하는 로딩 및 언로딩부;
상기 로딩 및 언로딩부 또는 전달부로부터 전달되는 상기 커스토머 트레이를 적재하는 적재부; 및
상기 커스토머 트레이로부터 상기 반도체 소자를 픽업하여 상기 테스트 트레이로 전달하거나, 또는 테스트가 완료된 반도체 소자를 픽업하여 상기 커스토머 트레이로 전달하는 전달부;
를 더 포함하는 테스트 핸들러.7. The method of claim 6,
The test handler is
a loading and unloading unit positioned at the entrance/exit of the test handler to load the customer tray in which the semiconductor device is accommodated or to unload the customer tray in which the semiconductor device has been completed;
a loading unit for loading the customer tray delivered from the loading and unloading unit or the transmission unit; and
a delivery unit that picks up the semiconductor device from the customer tray and delivers it to the test tray, or picks up a semiconductor device that has been tested and delivers it to the customer tray;
A test handler that further includes .
상기 로딩 및 언로딩부는,
상기 커스토머 트레이를 상기 적재부로 반입시키는 로딩 모듈;
상기 로딩 모듈의 일측방에 배치되어 상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 반출시키는 언로딩 모듈; 및
비상시 상기 커스토머 트레이의 반입, 또는 반출을 수행하기 위하여, 상기 로딩 모듈과 상기 언로딩 모듈의 사이에 배치되는 버퍼 모듈;
을 포함하는 테스트 핸들러.8. The method of claim 7,
The loading and unloading unit,
a loading module for loading the customer tray into the loading unit;
an unloading module disposed at one side of the loading module to unload the customer tray in which the test-completed semiconductor device is accommodated; and
a buffer module disposed between the loading module and the unloading module to carry out the loading or unloading of the customer tray in an emergency;
A test handler containing .
상기 적재부는,
상기 로딩 모듈에 연결되어 상기 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 적재하는 로딩 스태커;
상기 로딩 스태커의 일측방에 배치되고 상기 언로딩 모듈에 연결되어 상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 적재하는 언로딩 스태커; 및
비상시 상기 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이, 또는 상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 커스토머 트레이를 적재하기 위하여, 상기 로딩 스태커와 상기 언로딩 스태커의 사이에 배치되는 버퍼 스태커;
를 포함하는 테스트 핸들러.9. The method of claim 8,
The loading unit,
a loading stacker connected to the loading module to load the customer tray in which the semiconductor device is accommodated;
an unloading stacker disposed on one side of the loading stacker and connected to the unloading module to load the customer tray in which the test-completed semiconductor device is accommodated; and
a buffer stacker disposed between the loading stacker and the unloading stacker to load the customer tray in which the semiconductor device is accommodated or the customer tray in which the tested semiconductor device is accommodated in an emergency;
A test handler containing .
상기 전달부는,
상기 커스토머 트레이로부터 상기 반도체 소자를 상기 테스트 트레이로 픽업 앤 플레이스를 수행하는 로딩 트랜스퍼; 및
상기 테스트 트레이로부터 상기 테스트가 완료된 반도체 소자를 상기 커스토머 트레이로 픽업 앤 플레이스를 수행하는 언로딩 트랜스퍼;
를 포함하는 테스트 핸들러.10. The method of claim 9,
The delivery unit,
a loading transfer for picking up and placing the semiconductor device from the customer tray to the test tray; and
an unloading transfer for picking up and placing the tested semiconductor device from the test tray to the customer tray;
A test handler containing .
상기 로딩 트랜스퍼에 의해 상기 반도체 소자가 상기 테스트 트레이로 전달될 때의 상기 테스트 트레이의 위치는 상기 테스트 트레이의 반입 위치이고,
상기 언로딩 트랜스퍼에 의해 상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 상기 커스토머 트레이로 전달될 때의 상기 테스트 트레이의 위치는 상기 테스트 트레이의 반출 위치이며,
상기 반입 위치와 상기 반출 위치는 동일 직선 상에 형성되는 테스트 핸들러.11. The method of claim 10,
A position of the test tray when the semiconductor device is transferred to the test tray by the loading transfer is a loading position of the test tray,
A position of the test tray when the semiconductor device on which the test has been completed by the unloading transfer is transferred to the customer tray is a unloading position of the test tray,
A test handler in which the carry-in position and the carry-out position are formed on the same straight line.
상기 이송부는,
상기 테스트 트레이를 이동 경로에 따라 이송시키는 이송모듈;
상기 테스트 트레이를 트레이 기준 방향에 따라 회전시키는 로테이터; 및
상기 테스트 트레이를 승강시키는 승강모듈;
을 포함하는 테스트 핸들러.12. The method of claim 11,
The transfer unit,
a transfer module for transferring the test tray along a movement path;
a rotator for rotating the test tray in a tray reference direction; and
an elevating module for elevating the test tray;
A test handler containing .
상기 이송부는,
상기 반입 위치에서 상기 테스트 트레이를 다음 이송 영역까지 이송하는 제1 이송모듈;
상기 제1 이송모듈에 의해 이송된 상기 테스트 트레이를 다음 단계의 트레이 기준 방향에 따라 회전시키는 제1 로테이터;
상기 제1 로테이터로부터 상기 테스트 트레이를 다음 이송 영역까지 이송하는 제2 이송모듈;
상기 제2 이송모듈에 의해 이송된 상기 테스트 트레이를 승강시키는 제1 승강모듈;
상기 제1 승강모듈에 의해 승강된 상기 테스트 트레이를 상기 테스터의 일측방으로 이송하는 상기 제3 이송모듈; 및
상기 제3 이송모듈로부터 상기 테스트 트레이를 상기 테스터의 상측으로 이송하는 제4 이송모듈;
을 포함하는 테스트 핸들러.12. The method of claim 11,
The transfer unit,
a first transfer module for transferring the test tray from the carry-in position to a next transfer area;
a first rotator for rotating the test tray transported by the first transport module according to the tray reference direction of the next step;
a second transfer module for transferring the test tray from the first rotator to a next transfer area;
a first elevating module for elevating the test tray transferred by the second transfer module;
the third transfer module for transferring the test tray lifted by the first lifting module to one side of the tester; and
a fourth transfer module for transferring the test tray from the third transfer module to an upper side of the tester;
A test handler containing .
상기 이송부는,
상기 테스터로부터 상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 테스트 트레이를 상기 테스터의 외부로 이송하는 제5 이송모듈;
상기 제5 이송모듈에 의해 상기 테스터의 외부로 이송된 상기 테스트 트레이를 다음 단계의 트레이 기준 방향에 따라 회전시키는 제2 로테이터;
상기 테스트가 완료된 반도체 소자가 수용된 상기 테스트 트레이를 반출 위치로 이송하는 제6 이송모듈;
상기 반출 위치에서 비어 있는 상기 테스트 트레이를 승강시키는 제2 승강모듈; 및
상기 제6 이송모듈의 상측에 배치되어 상기 테스트 트레이를 상기 반입위치로 이송하는 제7 이송모듈;
을 더 포함하는 테스트 핸들러.14. The method of claim 13,
The transfer unit,
a fifth transfer module for transferring the test tray in which the semiconductor device for which the test has been completed is accommodated from the tester to the outside of the tester;
a second rotator for rotating the test tray transferred to the outside of the tester by the fifth transfer module according to the tray reference direction of the next step;
a sixth transport module for transporting the test tray in which the semiconductor device of which the test has been completed is accommodated to a unloading position;
a second elevating module for elevating the empty test tray at the unloading position; and
a seventh transfer module disposed above the sixth transfer module to transfer the test tray to the carry-in position;
A test handler that further includes .
상기 이송부는,
상기 로딩 트랜스퍼가 상기 반도체 소자를 상기 테스트 트레이의 정 위치에 안착시킬 수 있도록 가이드 하되, 상기 테스트 트레이의 인서트를 오픈하는 로딩 프리사이저(preciser); 및
상기 언로딩 트랜스퍼가 상기 테스트가 완료된 반도체 소자를 상기 테스트 트레이로부터 반출할 수 있도록 반출 위치에 위치한 상기 테스트 트레이의 하측에 배치되어 승강되는 언로딩 프리사이저;
를 더 포함하는 테스트 핸들러.11. The method of claim 10,
The transfer unit,
a loading presetter (preciser) for guiding the loading transfer to seat the semiconductor device in a proper position of the test tray, and opening an insert of the test tray; and
an unloading presizer disposed under the test tray at a unloading position to allow the unloading transfer to unload the tested semiconductor device from the test tray and lifted;
A test handler that further includes .
상기 테스터는,
상기 테스터의 상측에 배치되어 상기 테스트 트레이를 지지하는 테스트 레일; 및
상기 테스트 레일에 지지되는 상기 테스트 트레이에 수용된 상기 반도체 소자를 가압하는 가압 모듈;
을 포함하는 테스트 핸들러.7. The method of claim 6,
The tester is
a test rail disposed above the tester to support the test tray; and
a pressing module for pressing the semiconductor device accommodated in the test tray supported by the test rail;
A test handler containing .
상기 정렬부는,
서로 이웃하는 상기 안착홈들 사이의 피치에 따라 상기 이송부를 이동시켜 상기 테스트 트레이의 위치를 조정하는 제1 정렬모듈; 및
서로 이웃하는 상기 안착홈들 사이의 피치에 따라 상기 테스트 레일을 이동시켜 상기 테스트 트레이의 위치를 조정하는 제2 정렬모듈;
을 포함하는 테스트 핸들러.7. The method of claim 6,
The alignment unit,
a first alignment module for adjusting the position of the test tray by moving the transfer unit according to a pitch between the adjacent seating grooves; and
a second alignment module for adjusting the position of the test tray by moving the test rail according to a pitch between the adjacent seating grooves;
A test handler containing .
상기 테스트 트레이는,
반도체 소자를 수용하기 위한 서로 다른 사이즈의 복수의 안착홈이 형성된 본체;
상기 안착홈의 내측의 일측 및 타측에 각각 형성되어 반도체 소자를 안착시키기 위한 인서트; 및
상기 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착되는 반도체 소자를 하부에서 지지하기 위한 클립;
을 포함하는 테스트 핸들러.6. The method of claim 5,
The test tray is
a body having a plurality of seating grooves of different sizes for accommodating semiconductor devices;
inserts respectively formed on one side and the other side of the inner side of the seating groove to seat the semiconductor device; and
a clip formed to be connected to the insert and configured to support a semiconductor device seated on the insert from a lower side;
A test handler containing .
상기 인서트에 연결되게 형성되어 상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 고정시키기 위한 고정부를 더 포함하고,
상기 고정부는,
상기 인서트에 안착된 상기 반도체 소자를 양측에서 각각 고정시키거나 또는 고정 해제시키기 위한 레버; 및
상기 레버의 외측에 위치하여 상기 반도체 소자를 고정시킬 때 상기 반도체 소자의 양측을 내측 방향으로 가압하거나 또는 상기 반도체 소자의 고정을 해제시킬 때 상기 가압을 해제하는 스프링;
을 포함하는 테스트 핸들러.19. The method of claim 18,
It is formed to be connected to the insert and further comprises a fixing part for fixing the semiconductor device seated on the insert,
The fixing part,
a lever for fixing or releasing the semiconductor element seated on the insert from both sides, respectively; and
a spring positioned outside the lever to press both sides of the semiconductor device inward when fixing the semiconductor device or releasing the pressure when releasing the fixing of the semiconductor device;
A test handler containing .
상기 인서트, 상기 클립 및 상기 고정부는 상기 복수의 안착홈 각각에 한 쌍씩 대응되게 형성된 테스트 핸들러.20. The method of claim 19,
The insert, the clip, and the fixing part are formed to correspond to each of the plurality of seating grooves in pairs.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200007919A KR102341232B1 (en) | 2020-01-21 | 2020-01-21 | Test tray and test handler |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020200007919A KR102341232B1 (en) | 2020-01-21 | 2020-01-21 | Test tray and test handler |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210094690A true KR20210094690A (en) | 2021-07-30 |
KR102341232B1 KR102341232B1 (en) | 2021-12-23 |
Family
ID=77148381
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020200007919A KR102341232B1 (en) | 2020-01-21 | 2020-01-21 | Test tray and test handler |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102341232B1 (en) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070109721A (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-15 | 미래산업 주식회사 | Carrier module for semiconductor test handler |
KR20090029944A (en) * | 2007-09-19 | 2009-03-24 | 세크론 주식회사 | Test handler |
KR20090039442A (en) * | 2007-10-18 | 2009-04-22 | (주) 핸들러월드 | Apparatus for inspecting a solid state disk |
KR20090078256A (en) * | 2008-01-14 | 2009-07-17 | 에버테크노 주식회사 | A solid state disk test handler |
KR20170096750A (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 에스케이하이닉스 주식회사 | A buffer for mounting the modules of different sizes |
-
2020
- 2020-01-21 KR KR1020200007919A patent/KR102341232B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070109721A (en) * | 2006-05-12 | 2007-11-15 | 미래산업 주식회사 | Carrier module for semiconductor test handler |
KR20090029944A (en) * | 2007-09-19 | 2009-03-24 | 세크론 주식회사 | Test handler |
KR20090039442A (en) * | 2007-10-18 | 2009-04-22 | (주) 핸들러월드 | Apparatus for inspecting a solid state disk |
KR20090078256A (en) * | 2008-01-14 | 2009-07-17 | 에버테크노 주식회사 | A solid state disk test handler |
KR20170096750A (en) * | 2016-02-17 | 2017-08-25 | 에스케이하이닉스 주식회사 | A buffer for mounting the modules of different sizes |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102341232B1 (en) | 2021-12-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100959372B1 (en) | Transferring Semiconductor, Handler having the same, and Method of Manufacturing Semiconductor using the same | |
KR101421102B1 (en) | Electronic component testing apparatus | |
KR101402631B1 (en) | Electronic component transfer apparatus, electronic component handling apparatus and electronic component test apparatus | |
KR101372240B1 (en) | Pitch alteration apparatus, electronic component handling apparatus and electronic component test apparatus | |
KR101177746B1 (en) | Semiconductor device inspection apparatus | |
KR19990083190A (en) | A tray transfer arm, a tray transfer apparatus using the tray transfer arm, an IC testing apparatus and a tray handling method | |
US20090033352A1 (en) | Handler and process for testing a semiconductor chips using the handler | |
KR100911337B1 (en) | Carrier board transferring apparatus for test handler and test handler | |
KR20210042842A (en) | Pressing module and device handler having the same | |
KR100938170B1 (en) | Handler, Method of Transferring Test-tray, and Method of Manufacturing Semiconductor | |
KR100962632B1 (en) | Method of transferring customer trays, unit for transferring customer trays, and test handler having the unit for transferring customer trays | |
KR100901977B1 (en) | Handler, Method of Manufacturing Semiconductor using the same, and Method of Transferring Test-tray | |
KR102341232B1 (en) | Test tray and test handler | |
KR102035413B1 (en) | Apparatus for handling semiconductor devices | |
KR102249574B1 (en) | Electric device unloading equipment | |
KR102568868B1 (en) | Stacker for electronic device test handler and electronic device test handler comprising that | |
KR20200121195A (en) | Test tray feeder | |
KR101177319B1 (en) | Sorting Apparatus for Semiconductor Device | |
KR100902292B1 (en) | Transfering apparatus of tray, Handler for testing semiconductor device using the transfering apparatus, Transfering method of the tray using the handler, and Manufacturing method of the semiconductor device using the the handler | |
KR102270588B1 (en) | Test tray insert and test handler for semiconductor module using the same | |
KR102270587B1 (en) | Preciser and test handler using the same | |
KR100901983B1 (en) | Apparatus of transferring a test tray and Test Handler using the same | |
KR20200057161A (en) | Loader for wafer prober being capable of storing wafers | |
KR100980210B1 (en) | Apparatus of transferring a test tray and Test Handler using the same | |
KR20200121191A (en) | User tray align device for test handler, user tray align method for test handler, and test handler |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right |