KR20210091164A - setter for firing - Google Patents

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KR20210091164A
KR20210091164A KR1020217014436A KR20217014436A KR20210091164A KR 20210091164 A KR20210091164 A KR 20210091164A KR 1020217014436 A KR1020217014436 A KR 1020217014436A KR 20217014436 A KR20217014436 A KR 20217014436A KR 20210091164 A KR20210091164 A KR 20210091164A
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corrugated
baking
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KR1020217014436A
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히로아키 니혼마츠
다카시 이토
가즈키 누쿠미즈
Original Assignee
엔지케이 인슐레이터 엘티디
엔지케이 어드렉 가부시키가이샤
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Abstract

소성용 세터는, 세라믹스제이며, 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 평판부와, 평판부 사이를 접속하고 있고, 평판부 사이에서 한 방향으로 신장되는 복수의 구획으로 분할되어 있는 코러게이트부를 구비하고 있다. 이 소성용 세터는, 평판부 및 코러게이트부를 구성하고 있는 골격의 개기공률이 5% 미만이다.The setter for firing is made of ceramic, and includes a pair of flat plate portions opposed at intervals, and a corrugated portion that connects between the flat portions and is divided into a plurality of sections extending in one direction between the flat portions. there is. In this setter for firing, the open porosity of the skeleton constituting the flat plate portion and the corrugated portion is less than 5%.

Description

소성용 세터setter for firing

본 출원은, 2020년 1월 6일에 출원된 일본국 특허 출원 제2020-000553호에 기초한 우선권을 주장한다. 그 출원의 모든 내용은, 이 명세서 안에 참조에 의해 원용되고 있다. 본 명세서는, 소성용 세터에 관한 기술을 개시한다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2020-000553 for which it applied on January 6, 2020. All contents of the application are incorporated by reference in this specification. This specification discloses the technique related to the setter for baking.

국제 공개 WO2018/047784호(이하, 특허문헌 1이라 칭함)에, 허니컴 구조(트러스 구조)를 갖는 소성용 세터가 개시되어 있다. 특허문헌 1의 소성용 세터는, 표면층(피소성물을 배치하는 배치면)의 두께를 50~2000 ㎛로 하여, 배치면의 강도를 확보하고 있다. 또한, 표면층과 이면층 사이의 중간층을 허니컴 구조로 하여, 열용량을 저감하고 있다.International Publication No. WO2018/047784 (hereinafter referred to as Patent Document 1) discloses a setter for firing having a honeycomb structure (truss structure). The setter for baking of patent document 1 makes the thickness of the surface layer (placement surface on which a to-be-baked object is arrange|positioned) 50-2000 micrometers, and ensures the intensity|strength of a placement surface. In addition, the intermediate layer between the surface layer and the back surface layer has a honeycomb structure to reduce heat capacity.

특허문헌 1의 소성용 세터는, 트러스 구조를 채용하고 표면층의 두께를 확보함으로써, 피소성물을 배치하거나 꺼내거나 하는 등, 통상의 사용 상태에 있어서는 충분히 강도를 발휘한다. 그러나, 소성용 세터 자체를 낙하시켜 버린 경우 등, 소성용 세터에 국소적인 충격이 가해진 경우에, 예컨대 중간층을 구성하고 있는 골격이 파손되는 일이 일어날 수 있다. 골격의 일부가 파손되면, 소성용 세터의 내구성(수명)이 저하된다. 본 명세서는, 내구성이 높은 소성용 세터를 실현하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.The setter for baking of patent document 1 employ|adopts a truss structure and ensures the thickness of a surface layer, and in a normal use state, such as arrange|positioning or taking out a to-be-baked object, it fully exhibits intensity|strength. However, when a local impact is applied to the setter for firing, such as when the setter for firing itself is dropped, for example, the skeleton constituting the intermediate layer may be damaged. When a part of the skeleton is damaged, the durability (lifetime) of the setter for firing is reduced. An object of this specification is to provide the technique which implement|achieves the setter for baking with high durability.

본 명세서에서 개시하는 소성용 세터는, 세라믹스제이며, 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 평판부와, 평판부 사이를 접속하고 있고, 평판부 사이에서 한 방향으로 신장되는 복수의 구획으로 분할되어 있는 코러게이트부를 구비하고 있어도 좋다. 또한, 평판부 및 코러게이트부를 구성하고 있는 골격의 개기공률이 5% 미만이어도 좋다.The setter for firing disclosed in this specification is made of ceramics, and is divided into a pair of flat plate portions facing at intervals, and a plurality of divisions extending in one direction between the flat plate portions, connecting the flat portions. A corrugated portion may be provided. Further, the open porosity of the skeleton constituting the flat plate portion and the corrugated portion may be less than 5%.

도 1은 제1 실시예의 소성용 세터의 사시도를 나타낸다.
도 2는 제1 실시예의 소성용 세터의 평면도를 나타낸다.
도 3은 도 2의 부분 확대도를 나타낸다.
도 4는 소성용 세터의 골격에 포함되는 특정 원소의 농도 분포를 나타낸다.
도 5는 제2 실시예의 소성용 세터의 사시도를 나타낸다.1 shows a perspective view of a setter for firing of a first embodiment.
Fig. 2 shows a plan view of the setter for firing according to the first embodiment.
FIG. 3 shows a partially enlarged view of FIG. 2 .
4 shows the concentration distribution of a specific element included in the skeleton of the setter for firing.
Figure 5 shows a perspective view of the setter for firing of the second embodiment.

본 명세서에서 개시하는 소성용 세터는, 세라믹스제이며, 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 평판부와, 평판부 사이를 접속하고 있는 코러게이트부를 구비하고 있어도 좋다. 코러게이트부는, 평판부 사이에서 한 방향으로 신장되는 복수의 구획으로 분할되어 있어도 좋다. 즉, 코러게이트부에 의해, 평판부 사이에 한 방향으로 신장되는 복수의 관통 구멍이 형성되어 있어도 좋다. 코러게이트부는, 파형판 모양이며, 파형의 되접힘 부분이 평판부에 접속되어 있어도 좋다. 평판부와 코러게이트부에 의해, 대략 삼각형의 트러스 구조가 구성되어 있어도 좋다. 또한, 소성용 세터는, 각각 다른 부품의 평판부와 코러게이트부를 접속(접합)한 것이어도 좋고, 평판부와 코러게이트부가 일체 성형된 것이어도 좋다. 또한, 소성용 세터는, 한 쌍의 평판부와 코러게이트부의 조합(트러스 구조)을 1개만 갖고 있어도 좋고, 상기 조합을 복수 갖고 있어도 좋다. 즉, 소성용 세터는, 1개의 트러스 구조로 구성되어 있어도 좋고, 복수의 트러스 구조를 적층함으로써 구성되어 있어도 좋다.The setter for baking disclosed in this specification is made from ceramics, and may be provided with a pair of flat plate parts opposing with a space|interval, and the corrugated part which connects between the flat plate parts. The corrugated portion may be divided into a plurality of sections extending in one direction between the flat plate portions. That is, a plurality of through holes extending in one direction may be formed between the flat plate portions by the corrugated portion. The corrugated portion may have a corrugated plate shape, and the folded portion of the corrugated portion may be connected to the flat plate portion. A substantially triangular truss structure may be constituted by the flat plate portion and the corrugated portion. In addition, the setter for baking may be what connected (joined) the flat plate part and the corrugate part of different components, respectively, and what the flat plate part and the corrugated part were integrally molded may be sufficient as it. In addition, the setter for baking may have only one combination (truss structure) of a pair of flat plate part and a corrugated part, and may have two or more said combinations. That is, the setter for baking may be comprised by one truss structure, and may be comprised by laminating|stacking a some truss structure.

소성용 세터(평판부 및 코러게이트부)를 구성하고 있는 골격의 개기공률은, 5% 미만이어도 좋고, 4% 이하여도 좋으며, 3% 이하여도 좋고, 2% 이하여도 좋으며, 1% 이하여도 좋다. 골격의 개기공률이 5% 미만이면, 골격 자체의 강도가 증가하여, 소성용 세터 전체의 강도가 증가한다. 또한, 한 쌍의 평판부 사이의 공극률은, 50% 이상 95% 이하여도 좋다. 한 쌍의 평판부 사이의 공극률은, 60% 이상이어도 좋고, 70% 이상이어도 좋으며, 80% 이상이어도 좋다. 또한, 한 쌍의 평판부 사이의 공극률은, 90% 이하여도 좋고, 80% 이하여도 좋으며, 70% 이하여도 좋다. 한 쌍의 평판부 사이의 공극률이 50% 이상이면, 소성용 세터를 경량화할 수 있고, 평판부 사이를 가스(노내 가스, 피소성물로부터 발생하는 가스)가 용이하게 통과할 수 있다. 또한, 한 쌍의 평판부 사이의 공극률은, 하기 식에 의해 산출할 수 있다.The open porosity of the skeleton constituting the setter for firing (plate part and corrugated part) may be less than 5%, may be less than 4%, may be less than 3%, may be less than 2%, may be less than 1%. . When the open porosity of the skeleton is less than 5%, the strength of the skeleton itself increases and the strength of the entire setter for firing increases. Further, the porosity between the pair of flat plate portions may be 50% or more and 95% or less. The porosity between a pair of flat plate parts may be 60 % or more, 70 % or more may be sufficient as it, and 80 % or more may be sufficient as it. Further, the porosity between the pair of flat plate portions may be 90% or less, 80% or less, or 70% or less. If the porosity between the pair of flat plate parts is 50% or more, the setter for firing can be reduced in weight, and gas (gas in the furnace, gas generated from the fired object) can easily pass between the flat plate parts. In addition, the porosity between a pair of flat plate parts can be computed with the following formula.

{(한 쌍의 평판부 사이의 공간 체적)-(코러게이트부의 체적)}/(한 쌍의 평판부 사이의 공간 체적)×100{(space volume between a pair of flat plate parts)-(volume of corrugated part)}/(space volume between a pair of flat plate parts)×100

한 쌍의 평판부 사이의 공극률은, 코러게이트부의 두께, 코러게이트부의 파형의 되접힘 부분의 피치를 변경함으로써 조정할 수 있다. 예컨대, 한 쌍의 평판부 사이의 공극률을 증가시키기 위해서는 (1) 평판부 사이의 거리를 크게 하거나, (2) 코러게이트부의 두께를 얇게 하거나, (3) 코러게이트부의 파형의 되접힘 부분의 피치를 길게 하는 것 중 적어도 하나를 실시하면 좋다. 또한, (4) 평판부의 두께를 얇게 함으로써, 실질적으로 평판부 사이의 거리를 크게 할[상기 (1)] 수도 있다. 통상, (1)~(4)를 실시하면, 평판부 또는 코러게이트부 자체의 강도가 저하된다. 그러나, 소성용 세터(평판부 및 코러게이트부)를 구성하고 있는 골격의 개기공률을 5% 미만으로 하면, 골격 자체의 강도가 증가하므로, 골격 자체의 파손이 억제되고, 소성용 세터의 내구성(수명)이 향상된다.The porosity between the pair of flat plate portions can be adjusted by changing the thickness of the corrugated portion and the pitch of the folded portion of the corrugated portion of the corrugated portion. For example, in order to increase the porosity between a pair of flat plate portions, (1) increase the distance between the flat portions, (2) decrease the thickness of the corrugated portion, or (3) the pitch of the folded portion of the corrugated portion It is good to carry out at least one of lengthening. Further, (4) the distance between the flat plate parts can be substantially increased by reducing the thickness of the flat plate parts (above (1)). Usually, when (1) to (4) are carried out, the strength of the flat plate portion or the corrugated portion itself decreases. However, if the open porosity of the skeleton constituting the setter for firing (plate part and corrugated part) is less than 5%, the strength of the skeleton itself increases, so that damage to the skeleton itself is suppressed, and the durability ( lifespan) is improved.

상기한 소성용 세터에 있어서, 피소성물의 배치면은, 평판부와 코러게이트부에 의해 형성되는 복수의 구획으로 구성되어 있어도 좋고, 평판부로 구성되어 있어도 좋다. 또한, 배치면이 상기 복수의 구획으로 구성되어 있다고 하는 것은, 소성용 세터를 평면에서 보았을(배치면을 배치면에 직교하는 방향으로부터 관찰했을) 때에, 소성용 세터의 표면(배치면)에, 평판부와 코러게이트부에 의해 형성되는 트러스 구조가 관찰되는 것을 의미한다. 두께 방향으로 신장되는 관통 구멍의 개구가 배치면에 노출되기 때문에, 피소성물로부터 발생하는 가스가, 관통 구멍을 통해 피소성물 외부로 용이하게 이동할 수 있다. 그 결과, 피소성물을 양호하게 소성할 수 있다. 또한, 평판부와 코러게이트부가 배치면에 직교하는 방향(수직 방향)으로 신장되기 때문에, 배치면의 강도를 확보할 수도 있다.Said setter for baking WHEREIN: The arrangement surface of the to-be-baked object may be comprised with the some division formed by the flat plate part and the corrugated part, and may be comprised with the flat plate part. In addition, that the placement surface is comprised of the said plurality of divisions means that when the setter for baking is viewed in a planar view (the placement surface is observed from a direction orthogonal to the placement surface), on the surface (placement surface) of the setter for baking, It means that the truss structure formed by the flat plate part and the corrugated part is observed. Since the opening of the through hole extending in the thickness direction is exposed on the arrangement surface, the gas generated from the fired object can easily move to the outside of the fired object through the through hole. As a result, the to-be-baked object can be baked favorably. Further, since the flat plate portion and the corrugated portion extend in a direction perpendicular to the placement surface (vertical direction), the strength of the placement surface can be secured.

배치면이 평판부로 구성되어 있는 경우, 배치면의 이면측(코러게이트부)에는, 한 방향으로 신장되는 복수의 관통 구멍이 존재한다. 그 때문에, 배치면의 이면측을 노내 가스가 통과하여, 배치면의 면내 온도를 균일하게 할 수 있다. 그 결과, 피소성물에 소성 불균일이 생기는 것을 억제할 수 있다. 또한, 트러스 구조가 두께 방향의 강도를 증대시키므로, 배치면의 강도를 확보할 수도 있다.When the mounting surface is constituted by a flat plate portion, a plurality of through holes extending in one direction are present on the rear side (corrugated portion) of the mounting surface. Therefore, the furnace gas can pass through the back surface side of the arrangement surface, and the in-plane temperature of the arrangement surface can be made uniform. As a result, it can suppress that baking nonuniformity arises in a to-be-baked object. Further, since the truss structure increases the strength in the thickness direction, it is also possible to secure the strength of the arrangement surface.

평판부와 코러게이트부는, 동일 재료로 형성되어 있어도 좋다. 예컨대, 소성용 세터(평판부 및 코러게이트부)의 골격은, 알루미나질, 멀라이트질, ZrO2질, SiC질, Si-SiC질이어도 좋다. 「Si-SiC질」이란, SiC 입자를 주체(전체의 50 질량% 이상)으로 하고, SiC 입자 사이에 금속 Si가 포함되는 재료를 의미한다. 특히, 소성용 세터를 Si-SiC질로 형성함으로써, 소성용 세터를 구성하는 골격의 표면 부분의 개기공률을 낮게 할 수 있어, 소성용 세터의 강도가 향상된다. 또한, Si-SiC질은 열전도율이 높기 때문에, 배치면의 면내 온도가 균일해지기 쉽다.The flat plate portion and the corrugated portion may be formed of the same material. For example, the skeleton of the setter for firing (the flat plate portion and the corrugated portion) may be of alumina material, mullite material, ZrO 2 material , SiC material, or Si-SiC material. "Si-SiC quality" refers to a material in which SiC particles are the main component (50 mass% or more of the total), and metal Si is contained between SiC particles. In particular, by forming the setter for firing of Si-SiC material, the open porosity of the surface portion of the skeleton constituting the setter for firing can be made low, and the strength of the setter for firing is improved. In addition, since Si-SiC material has high thermal conductivity, the in-plane temperature of the arrangement surface tends to be uniform.

상기한 바와 같이, 소성용 세터는, 평판부와 코러게이트부가 일체 성형된 것이어도 좋다. 이와 같은 소성용 세터는, 예컨대 가연성 재료로 목적으로 하는 형상을 형성한 후, 이 재료에 세라믹스 재료(세라믹스 슬러리)를 함침시킨 중간체를 형성하고, 중간체를 소성함으로써 제조할 수 있다. 가연성 재료로는, 예컨대 종이, 천, 수지를 들 수 있다. 이용하는 가연성 재료에 따라서는, 소성용 세터를 구성하고 있는 골격의 표면 부분과 비교하여, 골격의 내부에는 가연성 재료의 재료 성분이 남기 쉽다. 그 때문에, 골격의 표면 부분과 비교하여, 골격의 내부에, 탄소와 칼슘 중 적어도 한쪽 원소(가연성 재료에 전형적으로 포함되어 있는 원소)가 많이 포함되어 있어도 좋다. 예컨대, 소성용 세터가 Si-SiC질로 형성되어 있는 경우, 골격의 표면 부분은 주성분(전체의 50 wt% 초과)이 SiC이고 잔부가 금속 Si이며, 골격의 내부는 주성분이 금속 Si이고 잔부가 탄소, 및/또는, 칼슘이어도 좋다.As described above, the setter for firing may be one in which a flat plate portion and a corrugated portion are integrally molded. Such a setter for baking can be manufactured, for example, by forming a target shape with a combustible material, forming an intermediate body impregnated with a ceramic material (ceramic slurry) in this material, and firing the intermediate body. Examples of the combustible material include paper, cloth, and resin. Depending on the combustible material to be used, the material component of the combustible material tends to remain inside the skeleton as compared with the surface portion of the skeleton constituting the setter for firing. Therefore, compared with the surface portion of the skeleton, at least one of carbon and calcium (an element typically contained in combustible materials) may be contained in a large amount in the skeleton. For example, when the setter for firing is made of Si-SiC material, the main component (more than 50 wt% of the total) of the surface portion of the skeleton is SiC and the remainder is metal Si, and the interior of the skeleton has a main component of metal Si and the remainder is carbon , and/or calcium may be sufficient.

(제1 실시예)(Example 1)

도 1 내지 도 4를 참조하여, 소성용 세터(100)에 대해서 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 소성용 세터(100)는 판형이며, 복수의 평판부(2)와 복수의 코러게이트부(4)에 의해 구성되어 있다. 각 평판부(2)는 직사각형(장방형)이며, 1변(단변)이 소성용 세터(100)의 두께 방향(Z축 방향)으로 신장되어 있고, 다른 1변(장변)은 피소성물이 배치되는 배치면(8)에 평행한 한 방향(X축 방향)으로 신장되어 있다. 각 평판부(2)는, 배치면(8)에 평행하고 장변(상기 다른 1변)이 신장되는 방향에 직교하는 방향(Y축 방향)으로, 간격을 두고 대향하고 있다. 코러게이트부(4)는 파형판 모양이며, 한 쌍의 평판부(2) 사이에 배치되어 있다. 코러게이트부(4)의 파형의 되접힘 부분이, 평판부(2)에 접속되어 있다. 그 결과, 한 쌍의 평판부(2) 사이는 복수의 구획으로 분할되어 있다. 한 쌍의 평판부(2)와 코러게이트부(4)에 의해, 트러스 구조(10a~10f)가 형성되어 있다. 트러스 구조(10a~10f)는, Y축 방향으로 나란히 배치되어 있다(Y축 방향으로 적층되어 있음). 소성용 세터(100)에서는, 트러스 구조(10a~10f)가 Si-SiC질로 형성되어 있다. 또한, Z축 방향에 있어서, 코러게이트부(4)의 길이는 평판부(2)의 길이와 같다. 즉, 평판부(2)와 코러게이트부(4)에 의해, 배치면(8)이 형성되어 있다.1 to 4, the setter 100 for firing will be described. As shown in FIG. 1 , the setter 100 for firing is plate-shaped, and includes a plurality of flat plate portions 2 and a plurality of corrugated portions 4 . Each flat plate portion 2 is rectangular (rectangular), one side (short side) is extended in the thickness direction (Z-axis direction) of the setter for firing 100, and the other side (long side) is the object to be fired It extends in one direction (X-axis direction) parallel to the mounting surface 8 . Each flat plate part 2 is parallel to the mounting surface 8 and opposes with a space|interval in the direction (Y-axis direction) orthogonal to the extending|stretching direction of a long side (the said other side). The corrugated portion 4 has a corrugated plate shape and is disposed between a pair of flat plate portions 2 . A corrugated folded portion of the corrugated portion 4 is connected to the flat plate portion 2 . As a result, between the pair of flat plate portions 2 is divided into a plurality of divisions. Truss structures 10a to 10f are formed by a pair of flat plate portions 2 and corrugated portions 4 . The truss structures 10a to 10f are arranged side by side in the Y-axis direction (stacked in the Y-axis direction). In the setter 100 for firing, the truss structures 10a to 10f are made of Si-SiC material. Further, in the Z-axis direction, the length of the corrugated portion 4 is equal to the length of the flat plate portion 2 . That is, the arrangement surface 8 is formed by the flat plate portion 2 and the corrugated portion 4 .

또한, 도 1에서는, 평판부(2)의 단변이 Z축 방향으로 신장되어 있고, 장변이 X축 방향으로 신장되어 있지만, 소성용 세터(100)는, 평판부(2)의 장변이 Z축 방향으로 신장되고, 단변이 X축 방향으로 신장되어 있어도 좋다. 혹은, 평판부(2)의 Z축 방향 길이와 X축 방향 길이가 동일하여도 좋다. 이 경우, 평판부(2)의 형상은 정방형이다.In addition, in FIG. 1, although the short side of the flat plate part 2 is extended in the Z-axis direction, and the long side is extended in the X-axis direction, in the setter 100 for baking, the long side of the flat plate part 2 is Z-axis. direction, and the short side may extend in the X-axis direction. Alternatively, the length in the Z-axis direction and the length in the X-axis direction of the flat plate portion 2 may be the same. In this case, the shape of the flat plate portion 2 is a square.

도 2는 소성용 세터(100)의 평면도를 나타내고 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 평판부(2)와 코러게이트부(4)에 의해, Z축 방향으로 신장되는 복수의 관통 구멍(6)이 형성되어 있다. 관통 구멍(6)은, 소성용 세터(100)의 표면으로부터 이면(Z축 방향 일단으로부터 타단)까지 신장되어 있다. 관통 구멍(6)은, 소성용 세터(100)의 거의 전체면에 형성되어 있다. 평판부(2)와 코러게이트부(4)에 의해 구성되는 트러스 구조(10a~10f)는, 실질적으로 동일한 구조이다. 그 때문에, 이하에서는 트러스 구조(10a)의 부분 확대도를 이용하여, 소성용 세터(100)의 특징을 설명한다.2 : has shown the top view of the setter 100 for baking. As shown in FIG. 2 , a plurality of through holes 6 extending in the Z-axis direction are formed by the flat plate portion 2 and the corrugated portion 4 . The through hole 6 is extended from the front surface of the setter 100 for baking to the back surface (Z-axis direction one end to the other end). The through hole 6 is formed in the substantially whole surface of the setter 100 for baking. The truss structures 10a to 10f constituted by the flat plate portion 2 and the corrugated portion 4 have substantially the same structure. Therefore, below, the characteristic of the setter 100 for baking is demonstrated using the partially enlarged view of the truss structure 10a.

도 3에 도시된 바와 같이, 트러스 구조(10a)의 평판부(2) 및 코러게이트부(4)는 일체 성형되어 있다. 또한, 트러스 구조(10a)를 구성하고 있는 한 쌍의 평판부(2) 중, 트러스 구조(10b)측의 평판부(2)는, 트러스 구조(10b)를 구성하고 있는 한 쌍의 평판부(2) 중의 1개를 겸하고 있다(도 1 및 도 2도 참조). 그 때문에, 트러스 구조(10a)와 트러스 구조(10b)도 일체 성형되어 있다. 소성용 세터(100)에서는, 모든 구성 부품[평판부(2) 및 코러게이트부(4)]이 일체 성형되어 있다.As shown in Fig. 3, the flat plate portion 2 and the corrugated portion 4 of the truss structure 10a are integrally formed. In addition, among the pair of flat plate parts 2 constituting the truss structure 10a, the flat plate part 2 on the truss structure 10b side is a pair of flat plate parts constituting the truss structure 10b ( 2) also serves as one of (see Figs. 1 and 2). Therefore, the truss structure 10a and the truss structure 10b are also integrally molded. In the setter 100 for baking, all the constituent parts (the flat plate part 2 and the corrugated part 4) are integrally molded.

또한, 각 트러스 구조(10a~10f)의 공극률[한 쌍의 평판부(2) 사이의 공극률]은, 평판부(2) 사이의 거리(2a), 코러게이트부(4)의 두께(5) 및 되접힘 피치를 변경함으로써 조정할 수 있다. 소성용 세터(100)에서는, 트러스 구조(10a~10f)의 공극률이 50~95 체적%가 되도록, 평판부(2) 사이의 거리, 코러게이트부(4)의 두께(5), 코러게이트부(4)의 파형의 되접힘 피치가 조정되어 있다.In addition, the porosity (porosity between a pair of flat plate parts 2) of each truss structure 10a-10f is the distance 2a between the flat plate parts 2, and the thickness 5 of the corrugated part 4 and by changing the folding pitch. In the setter 100 for firing, the distance between the flat plate portions 2, the thickness 5 of the corrugated portion 4, and the corrugated portion so that the porosity of the truss structures 10a to 10f is 50 to 95% by volume. The fold-back pitch of the waveform of (4) is adjusted.

소성용 세터(100)는, 종이 등의 가연성 하지재(下地材)에 SiC 슬러리를 함침시킨 중간체를 형성하고, 그 후 금속 Si를 접촉시킨 상태에서 소성함으로써 제조되어 있다. 그 때문에, 소성용 세터(100)를 구성하는 골격[평판부(2) 및 코러게이트부(4)]의 표면 부분은, 주성분이 SiC이고 잔부가 금속 Si이다. 또한, 골격의 내부는, 주성분이 금속 Si이고 잔부가 하지재에 포함되는 원소(탄소, 및/또는, 칼슘)이다. 또한, 골격 표면의 개기공률은 1% 미만이다.The setter 100 for baking is manufactured by forming the intermediate body which impregnated SiC slurry in combustible base material, such as paper, and baking in the state which made metal Si after that contact. Therefore, in the surface portion of the skeleton (the flat plate portion 2 and the corrugated portion 4 ) constituting the setter 100 for firing, the main component is SiC and the remainder is metal Si. The inside of the skeleton is an element (carbon and/or calcium) whose main component is metal Si and the remainder is contained in the base material. Further, the open porosity of the skeleton surface is less than 1%.

도 4는 소성용 세터(100)를 구성하고 있는 골격에 포함되는 하지재의 성분의 농도 분포를 나타내고 있다. 그래프의 횡축은, 골격의 두께[예컨대 도 3에 도시된 평판부(2)의 두께(3), 코러게이트부(4)의 두께(5)]를, 일단으로부터 타단까지의 거리(%)로 나타내고 있다. 종축은, 하지재에서 유래된 원소(C, Ca)의 비율을 나타내고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 골재의 표면 부분에는 「C」, 「Ca」가 거의 포함되어 있지 않다. 「C」 및 「Ca」는, 골격의 표면으로부터 소정 깊이 경과한 후에 출현하기 시작하고, 골격의 중심을 향함에 따라 증가하고 있다.4 : has shown the density|concentration distribution of the component of the base material contained in the frame|skeleton which comprises the setter 100 for baking. The horizontal axis of the graph represents the thickness of the skeleton (e.g., the thickness 3 of the flat plate portion 2 shown in FIG. 3 and the thickness 5 of the corrugated portion 4 shown in Fig. 3) as the distance (%) from one end to the other end. is indicating The vertical axis represents the ratio of elements (C, Ca) derived from the base material. As shown in FIG. 4, "C" and "Ca" are hardly included in the surface portion of the aggregate. "C" and "Ca" start to appear after a predetermined depth has elapsed from the surface of the skeleton, and increase toward the center of the skeleton.

(제2 실시예)(Second embodiment)

도 5를 참조하여, 소성용 세터(200)에 대해서 설명한다. 소성용 세터(200)는, 소성용 세터(100)의 변형예이며, 평판부(2)에 의해 배치면(208)이 구성되어 있다. 소성용 세터(200)에 대해서, 소성용 세터(100)와 동일한 구성에 대해서는, 소성용 세터(100)에 붙인 참조 번호와 동일한 참조 번호를 붙임으로써 설명을 생략하는 경우가 있다.With reference to FIG. 5, the setter 200 for baking is demonstrated. The setter 200 for baking is a modified example of the setter 100 for baking, and the mounting surface 208 is comprised by the flat plate part 2 . About the setter 200 for baking, about the structure similar to the setter 100 for baking, description may be abbreviate|omitted by attaching|subjecting the same reference number as the reference number attached to the setter 100 for baking.

소성용 세터(200)는, 두께 방향(Z축 방향)으로 2개의 트러스 구조(20a, 20b)가 적층되어 있다. 그 때문에, 트러스 구조(20a)를 구성하고 있는 한 쌍의 평판부(2) 중 1개가, 배치면(208)을 구성하고 있다. 또한, 도 5에서는, 2개의 트러스 구조(20a, 20b)가 Z축 방향으로 적층되어 있지만, 소성용 세터(200)는, 1개의 트러스 구조로 구성되어 있어도 좋고, 3개 이상의 트러스 구조가 Z축 방향으로 적층되어 있어도 좋다. 또한, 소성용 세터(200)는, 소성용 세터(100)와 마찬가지로, 가연성 하지재에 SiC 슬러리를 함침시킨 중간체를 형성하고, 중간체를 소성하며, 그 후 금속 Si를 접촉시킨 상태에서 더 소성함으로써 제조되어 있다. 그 때문에, 소성용 세터(200)도, 모든 구성 부품[평판부(2) 및 코러게이트부(4)]이 일체 성형되어 있다. 또한, 평판부(2)와 코러게이트부(4)로 구성되어 있는 관통 구멍(6)은, 소성용 세터(200)의 Y축 방향 일단으로부터 타단까지 신장되어 있다. 즉, 소성용 세터(200)는, 배치면(208)의 이면측에, 측면의 일단으로부터 타단까지 신장되는 관통 구멍(6)을 구비하고 있다.As for the setter 200 for baking, two truss structures 20a, 20b are laminated|stacked in the thickness direction (Z-axis direction). Therefore, one of the pair of flat plate portions 2 constituting the truss structure 20a constitutes the arrangement surface 208 . In addition, in FIG. 5, although two truss structures 20a, 20b are laminated|stacked in the Z-axis direction, the setter 200 for baking may be comprised with one truss structure, and three or more truss structures are Z-axis direction may be laminated. In addition, the setter for firing 200, similarly to the setter 100 for firing, forms an intermediate body impregnated with SiC slurry in a combustible base material, bakes the intermediate body, and then further bakes in a state in which metal Si is in contact. is manufactured. Therefore, also in the setter 200 for baking, all the component parts (the flat plate part 2 and the corrugated part 4) are integrally molded. Moreover, the through-hole 6 comprised from the flat plate part 2 and the corrugated part 4 extends from the Y-axis direction one end of the setter 200 for baking to the other end. That is, the setter 200 for baking is equipped with the through-hole 6 extending from the one end of the side surface to the other end on the back side of the mounting surface 208. As shown in FIG.

이상, 본 발명의 구체예를 상세히 설명하였으나, 이들은 예시에 지나지 않으며, 청구범위를 한정하는 것은 아니다. 청구범위에 기재된 기술에는, 이상으로 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 설명한 기술 요소는, 단독으로 혹은 각종 조합에 의해 기술적 유용성을 발휘하는 것이며, 출원시 청구항 기재의 조합에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서 또는 도면에 예시한 기술은 복수 목적을 동시에 달성할 수 있는 것으로, 그 중 하나의 목적을 달성하는 것 자체로 기술적 유용성을 갖는 것이다.As mentioned above, although specific examples of the present invention have been described in detail, these are merely examples and do not limit the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes to the specific examples exemplified above. In addition, the technical elements demonstrated in this specification or drawing exhibit technical usefulness individually or by various combinations, and are not limited to the combination of claim description at the time of an application. In addition, the technology illustrated in the present specification or drawings is capable of achieving a plurality of objects at the same time, and has technical usefulness in itself by achieving one of the objectives.

2 : 평판부
4 : 코러게이트부
100 : 소성용 세터2: flat plate
4: corrugated part
100: setter for firing

Claims (6)

세라믹스제의 소성용 세터로서,
간격을 두고 대향하는 한 쌍의 평판부와,
평판부 사이를 접속하고 있고, 평판부 사이에서 한 방향으로 신장되는 복수의 구획으로 분할되어 있는 코러게이트부
를 구비하고,
평판부 및 코러게이트부를 구성하고 있는 골격의 개기공률이 5% 미만인 것인 소성용 세터.A setter for firing made of ceramics, comprising:
A pair of flat plates facing each other at intervals,
A corrugated portion that connects between the flat plates and is divided into a plurality of sections extending in one direction between the flat portions.
to provide
The setter for firing that the open porosity of the skeleton constituting the flat plate portion and the corrugated portion is less than 5%. 제1항에 있어서, 한 쌍의 평판부 사이의 공극률이 50% 이상 95% 이하인 것인 소성용 세터.The setter for firing according to claim 1, wherein the porosity between the pair of flat plates is 50% or more and 95% or less. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 골격은, 알루미나질, 멀라이트질, ZrO2질, SiC질, 또는 SiC의 비율이 50 질량% 이상인 Si-SiC질을 주성분으로 하는 것인 소성용 세터.The setter for sintering according to claim 1 or 2, wherein the skeleton is composed mainly of alumina material, mullite material, ZrO 2 material , SiC material, or Si-SiC material in which the ratio of SiC is 50 mass% or more. . 제3항에 있어서, 상기 골격은, SiC 입자를 주체로 하고, SiC 입자 사이에 금속 Si가 포함되는 Si-SiC질인 것인 소성용 세터.The setter for firing according to claim 3, wherein the skeleton is made of Si-SiC material in which SiC particles are the main component and metal Si is contained between SiC particles. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 구획은, 피소성물의배치면을 구성하고 있는 것인 소성용 세터.The setter for firing according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of divisions constitute an arrangement surface of a to-be-fired object. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 평판부는, 피소성물의 배치면을 구성하고 있는 것인 소성용 세터.The setter for baking according to any one of claims 1 to 4, wherein the flat plate portion constitutes an arrangement surface of the to-be-fired object.
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