KR20210081895A - Backlash Compensation Method for Servo Motor - Google Patents

Backlash Compensation Method for Servo Motor Download PDF

Info

Publication number
KR20210081895A
KR20210081895A KR1020190174298A KR20190174298A KR20210081895A KR 20210081895 A KR20210081895 A KR 20210081895A KR 1020190174298 A KR1020190174298 A KR 1020190174298A KR 20190174298 A KR20190174298 A KR 20190174298A KR 20210081895 A KR20210081895 A KR 20210081895A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
servo motor
backlash
controller
command
weight
Prior art date
Application number
KR1020190174298A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102358422B1 (en
Inventor
신주희
Original Assignee
알에스오토메이션주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 알에스오토메이션주식회사 filed Critical 알에스오토메이션주식회사
Priority to KR1020190174298A priority Critical patent/KR102358422B1/en
Publication of KR20210081895A publication Critical patent/KR20210081895A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102358422B1 publication Critical patent/KR102358422B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1641—Programme controls characterised by the control loop compensation for backlash, friction, compliance, elasticity in the joints
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41032—Backlash
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41046—Ffw compensation using adaptive inverse backlash model

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

The present invention relates to a method for compensating backlash of a servomotor. The present invention may provide the method for compensating backlash of the servomotor comprising: a step of issuing, by a user, a command for performing an operation by a controller; a step of operating the servomotor receiving a control command from the controller; and a step of operating a mechanical part coupled to the servomotor, wherein the controller comprises a step of compensating and correcting the backlash generated when power is transmitted from the servomotor to the mechanical part. Therefore, the present invention is capable of minimizing errors in power transmission of the servomotor.

Description

서보 모터의 백래시 보상 방법{Backlash Compensation Method for Servo Motor}Backlash Compensation Method for Servo Motor

본 발명은 서보 모터의 백래시 보상 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of compensating for backlash of a servo motor.

제어기에 의해 동작이 제어되는 서보 모터가 장착된 각종 기구부는 서보 모터와 기구부의 결합 부분에서 백래시가 존재한다. In various mechanical parts equipped with a servo motor whose operation is controlled by a controller, backlash exists in the coupling portion between the servo motor and the mechanical part.

이러한 백래시는 서보 모터가 기구부에 동력 전달시 기구부가 보다 부드럽게 동작하도록 하게 하지만, 서보 모터의 운동 방향을 역방향으로 변경하면 위치 오차를 발생시킬 수 있다. This backlash allows the servo motor to operate the mechanical part more smoothly when power is transmitted to the mechanical part, but changing the motion direction of the servo motor in the reverse direction may cause a position error.

이러한 위치 오차를 최소화하는 방안이 요구되는 실정이다. There is a need for a method to minimize the position error.

대한민국 공개특허 제 10-2014-0132113호(공개일자 : 2014년 11월 17일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2014-0132113 (published date: November 17, 2014)

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 백래시를 보상하여 서보 모터의 동력 전달시의 오차를 최소화할 수 있도록 한 서보 모터의 백래시 보상 방법을 제공하는 것이다. Accordingly, the present invention was invented to solve the conventional problems as described above, and the problem to be solved by the present invention is to compensate the backlash to minimize the error in power transmission of the servo motor by compensating for the backlash of the servo motor. is to provide

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 해결 수단은 사용자가 제어기에 의해 동작 수행을 위한 명령을 하달하는 단계; A solution for solving the above problems includes: issuing a command for performing an operation by a user by a controller;

상기 제어기로부터 제어 명령을 전달 받은 서보 모터가 동작하는 단계;operating the servo motor receiving the control command from the controller;

상기 서보 모터와 결합된 기구부가 동작하는 단계;operating the mechanical unit coupled to the servo motor;

를 포함하고,including,

상기 제어기는 상기 서보 모터에서 상기 기구부에 동력 전달시 발생하는 백래시를 보상하여 보정해주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 모터의 백래시 보상 방법이 제공될 수 있다. The controller may be provided with a backlash compensation method of a servo motor comprising the step of compensating and correcting the backlash generated when the power is transmitted from the servo motor to the mechanical unit.

이와 같이 본 발명은 백래시를 보상하여 서보 모터의 동력 전달시의 오차를 최소화할 수 있다.As described above, the present invention can minimize the error in power transmission of the servo motor by compensating for the backlash.

본 발명은 서보 모터의 정방향 구동시 가중치를 1로 적용하고, 역방향으로 구동시에는 가중치를 0으로 적용하여 백래시를 보상해줄 수 있다. In the present invention, backlash can be compensated by applying a weight of 1 when the servo motor is driven in the forward direction and applying a weight of 0 when driving in the reverse direction.

도 1은 본 발명에 따른 백래시 보상 방법을 구현하기 위한 서보 시스템의 개략적인 블럭도이다.
도 2는 도 1의 제어기의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 백래시 보상 방법을 설명하기 위한 그래프이다. 1 is a schematic block diagram of a servo system for implementing a backlash compensation method according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram of the controller of FIG. 1 .
3 is a graph for explaining a backlash compensation method of the present invention.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 첨부된 예시 도면에 의거 상세하게 설명한다.Hereinafter, specific contents for carrying out the present invention will be described in detail based on the accompanying exemplary drawings.

도 1은 본 발명에 따른 백래시 보상 방법을 구현하기 위한 서보 시스템의 개략적인 블럭도이다. 도 2는 도 1의 제어기의 구성도이다. 1 is a schematic block diagram of a servo system for implementing a backlash compensation method according to the present invention. FIG. 2 is a block diagram of the controller of FIG. 1 .

도 1을 참조하면, 서보 시스템은 사용자가 모션 명령을 내리는 제어기(10), 제어기(10)로부터 제어 명령을 전달받아 동작하는 서보 모터(20), 서보 모터(20)에 의해 동작을 구현하는 기구부(30)로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 1 , the servo system includes a controller 10 that a user gives a motion command, a servo motor 20 that receives a control command from the controller 10 and operates, and a mechanism unit that implements an operation by the servo motor 20 . (30).

도 2를 참조하면, 제어기(10)는 PTP(point to point) 명령부(11), 백래시 보정부(12), 프로파일 생성부(13), 펄스 생성부(14)로 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 2 , the controller 10 may include a point to point (PTP) command unit 11 , a backlash correction unit 12 , a profile generation unit 13 , and a pulse generation unit 14 .

PTP 명령부(11)는 사용자가 원하는 동작 명령을 내리는 기능을 담당하고, 프로파일 생성부(13)는 PTP 명령부(11)에서 받은 명령 신호를 부드러운 제어 동작을 위해 프로파일(profile)을 형성하며, 일정 주기에 맞추어서 펄스 생성부(14)를 통해 펄스를 생성할 수 있다. The PTP command unit 11 is responsible for issuing an operation command desired by the user, and the profile generation unit 13 forms a profile for smooth control operation with the command signal received from the PTP command unit 11, A pulse may be generated through the pulse generator 14 according to a predetermined period.

펄스 생성부(14)를 통해 생성된 펄스 신호는 서보 모터(20)에 전달되어서 서보 모터(20)가 제어 동작을 할 수 있다. The pulse signal generated through the pulse generator 14 is transmitted to the servo motor 20 so that the servo motor 20 can control operation.

서보 모터(20)와 결합되어 동력을 전달받는 기구부(30)는 백래시(backlash)가 존재할 수 있다. 백래시는 서로 물리는 부분 사이의 틈으로서, 기구부(30)의 부드러운 동작 수행을 위해 백래시를 형성하는데, 기구부(30)의 동작 수행 방향을 역방향으로 변경하는 경우에는 위치 오차를 발생시킬 수 있다.Backlash may be present in the mechanical unit 30 coupled to the servo motor 20 to receive power. Backlash is a gap between parts that are bitten by each other, and forms backlash for smooth operation of the mechanical unit 30 . However, when the operation direction of the mechanical unit 30 is changed to the reverse direction, a position error may occur.

따라서, 이러한 백래시를 감안하여 서보 모터(20)를 제어할 필요가 있다. Therefore, it is necessary to control the servo motor 20 in consideration of such backlash.

본 발명의 백래시 보상 방법은 다음과 같이 수행될 수 있다. The backlash compensation method of the present invention may be performed as follows.

본 발명의 백래시 보상 방법은 사용자가 제어기(10)에 의해 동작 수행을 위한 명령을 하달하는 단계; The method for compensating for backlash of the present invention includes: a user issuing a command for performing an operation by the controller 10;

상기 제어기(10)로부터 제어 명령을 전달 받은 서보 모터(20)가 동작하는 단계;operating the servo motor 20 receiving the control command from the controller 10;

상기 서보 모터(20)와 결합된 기구부(30)가 동작하는 단계;operating the mechanical unit 30 coupled to the servo motor 20;

로 포함하고,including as

상기 제어기(10)는 상기 서보 모터(20)에서 상기 기구부(30)에 동력 전달시 발생하는 백래시를 보상하여 보정해주는 단계를 포함할 수 있다. The controller 10 may include compensating for and correcting backlash generated when power is transmitted from the servo motor 20 to the mechanism unit 30 .

도 3를 참조하여 본 발명의 백래시 보상 방법을 설명하면, 예를 들어 사용자가 제어기(10)에게 제1 경로(A)와 같은 패턴으로 움직이도록 제어 명령을 내리는 경우, 서보 모터(20)의 경로는 제2 경로(B)와 같은 궤적을 나타낼 수 있다. The backlash compensation method of the present invention will be described with reference to FIG. 3 , for example, when the user gives a control command to the controller 10 to move in the same pattern as the first path A, the path of the servo motor 20 may represent the same trajectory as the second path (B).

도 3에서 가로축은 시간(t)이고, 세로축은 위치(Pos)를 나타낸다. In FIG. 3 , the horizontal axis represents time t, and the vertical axis represents position Pos.

제1 구간(L1)은 서보 모터(20)의 정방향 운동시 구간으로서, 제1 구간(L1)에서 사용자가 제어기(10)에게 명령을 제1 위치(P1)인 0에서 제2 위치(P2)인 10000으로 하달하게 되면, 제1 경로(A)와 같이 제2 위치(P2)인 10000이라는 명령을 받게 된다. The first section (L1) is a section during the forward motion of the servo motor 20, and in the first section (L1), the user gives a command to the controller 10 from the first position (P1) 0 to the second position (P2) When it reaches 10000, it receives a command of 10000, which is the second location P2, like the first path A.

이때, 서보 모터(20)는 제2 위치(P2)인 10000이라는 위치에 도달하기 위해서 정방향으로 움직이게 되고, 제2 경로(B)와 같은 궤적을 나타낼 수 있다.At this time, the servo motor 20 moves in the forward direction to reach a position of 10000, which is the second position P2, and may exhibit the same trajectory as the second path B.

여기서, 서보 모터(20)와 기구부(30)의 결합되는 부분에서 백래시가 존재하므로, 백래시의 크기 만큼 움직이지 않고 있다가 백래시의 크기를 초과하면 기구부(30)는 제3 경로(C)와 같은 궤적으로 움직이기 시작할 수 있다. Here, since backlash exists in the coupled portion of the servo motor 20 and the mechanism unit 30, if the backlash does not move as much as the size of the backlash and exceeds the size of the backlash, the mechanism unit 30 moves the same as the third path (C). You can start moving in a trajectory.

이러한 경우에, 백래시 만큼 기구부(30)가 움직이지 않기 때문에 가중치를 반영하여 제어기(10) 내부적으로 서보 모터(20)가 더 움직이도록 제어 명령을 내릴 수 있다. In this case, since the mechanical unit 30 does not move as much as the backlash, a control command may be issued to further move the servo motor 20 internally in the controller 10 by reflecting the weight.

즉, 서보 모터(20)의 운동시에는 다음 수학식 1과 같은 조건이 성립될 수 있다. That is, during the motion of the servo motor 20 , the condition shown in Equation 1 below may be established.

Figure pat00001
Figure pat00001

SP는 서보 모터의 위치, MP는 기구부의 위치, S는 가중치이다. SP is the position of the servo motor, MP is the position of the mechanical part, and S is the weight.

따라서, 서보 모터(20)의 정방향 운동시에는 가중치(S)를 1로 부여할 수 있다. Therefore, in the forward motion of the servo motor 20 , the weight S may be assigned to 1 .

한편, 제2 구간(L2)에서는 서보 모터(20)의 역방향 운동시로서, 이 경우에는 가중치(S)를 0(제로)가 되어서 최종적으로 서보 모터(20)의 위치와 기구부(30)의 위치가 동일하게 될 수 있다. Meanwhile, in the second section L2 , when the servo motor 20 moves in the reverse direction, in this case, the weight S becomes 0 (zero) and finally the position of the servo motor 20 and the position of the mechanism unit 30 . can be the same.

서보 모터(20)의 역방향 운동시에는 수학식 1에서 가중치(S)를 0으로 부여하여 서보 모터의 위치(SP)와 기구부의 위치(MP)가 동일하게 될 수 있다. When the servo motor 20 moves in the reverse direction, the weight S is given as 0 in Equation 1 so that the position SP of the servo motor and the position MP of the mechanism part may be the same.

사용자가 제3 위치(P3)인 1000이라는 위치로 명령을 제어기(10)에 하달하면, 서보 모터(20)는 제3 위치(P3)로 이동을 시작하지만, 백래시의 영향으로 기구부(30)는 움직이지 않는다. 이 상태에서 백래시의 크기 이상으로 서보 모터(20)가 이동하게 되면, 기구부(30)는 이동하게 되고, 목적지에 도달하였을 경우에 서보 모터(20)의 위치와 기구부(30)의 위치는 동일하게 될 수 있다. When the user sends a command to the controller 10 to the position 1000, which is the third position P3, the servo motor 20 starts to move to the third position P3, but due to the backlash effect, the mechanism unit 30 is not moving. In this state, when the servo motor 20 moves more than the size of the backlash, the mechanical part 30 moves, and when the destination is reached, the position of the servo motor 20 and the position of the mechanical part 30 are the same can be

만일, 서보 모터(20)의 방향이 변경되지 않으면 가중치(S)의 값은 변경되지 않는다. If the direction of the servo motor 20 is not changed, the value of the weight S is not changed.

즉, 역방향에서 정방향으로 서보 모터(20)의 이동 방향이 변경되면, 가중치(S)는 1이 되고, 정방향으로 서보 모터(20)가 이동하면, 동일하게 가중치(S)는 1이 적용될 수 있다. That is, when the movement direction of the servo motor 20 is changed from the reverse direction to the forward direction, the weight S becomes 1, and when the servo motor 20 moves in the forward direction, the weight S may be equally applied. .

한편, 서보 모터(20)의 이동 방향이 정방향에서 역방향으로 변경되면, 가중치(S)는 0이 된다. On the other hand, when the movement direction of the servo motor 20 is changed from the forward direction to the reverse direction, the weight S becomes 0.

정리하면, 가중치(S)인 1과 0을 적용하는 것의 차이는 서보 모터(20)의 이동 방향이 변경되었는지 여부에 따라 정해질 수 있다. In summary, the difference between applying 1 and 0, which is the weight S, may be determined depending on whether the moving direction of the servo motor 20 is changed.

10 : 서보 모터 11 : PTP 명령부
12 : 백래시 보정부 13 : 프로파일 생성부
14 : 펄스 생성부 20 : 서보 모터
30 : 기구부
A : 제1 경로 B : 제2 경로
C : 제3 경로 L1 : 제1 구간
L2 : 제2 구간 MP : 기구부 위치
P1 : 제1 위치 P2 : 제2 위치
P3 : 제3 위치 SP : 서보 모터 위치
S : 가중치10: servo motor 11: PTP command part
12: backlash compensating unit 13: profile generating unit
14: pulse generator 20: servo motor
30: mechanism
A: first route B: second route
C: Third route L1: First section
L2: second section MP: mechanical part position
P1: first position P2: second position
P3 : 3rd position SP : Servo motor position
S: weight

Claims (3)

사용자가 제어기에 의해 동작 수행을 위한 명령을 하달하는 단계;
상기 제어기로부터 제어 명령을 전달 받은 서보 모터가 동작하는 단계;
상기 서보 모터와 결합된 기구부가 동작하는 단계;
를 포함하고,
상기 제어기는 상기 서보 모터에서 상기 기구부에 동력 전달시 발생하는 백래시를 보상하여 보정해주는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 서보 모터의 백래시 보상 방법.
step of the user issuing a command for performing an operation by the controller;
operating the servo motor receiving the control command from the controller;
operating the mechanical unit coupled to the servo motor;
including,
and the controller compensating for and correcting backlash generated when power is transmitted from the servo motor to the mechanical unit.
 제1 항에 있어서,
상기 백래시 보정 단계는 다음 수학식 1에 의거 가중치를 부여하는 것을 특징으로 하는 서보 모터의 백래시 보상 방법.
[수학식 1]
Figure pat00002

SP는 서보 모터의 위치, MP는 기구부의 위치, S는 가중치이다.
According to claim 1,
The backlash compensation step is a backlash compensation method of a servo motor, characterized in that by assigning a weight based on the following equation (1).
[Equation 1]
Figure pat00002

SP is the position of the servo motor, MP is the position of the mechanical part, and S is the weight.
 제2 항에 있어서,
상기 가중치는 상기 서보 모터의 정방향 구동시에는 1로 부여하고, 역방향 구동시에는 0을 부여하는 것을 특징으로 하는 서보 모터의 백래시 보상 방법.
3. The method of claim 2,
The weight is given as 1 when the servo motor is driven in the forward direction, and 0 is assigned when the servo motor is driven in the reverse direction.
KR1020190174298A 2019-12-24 2019-12-24 Backlash Compensation Method for Servo Motor KR102358422B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190174298A KR102358422B1 (en) 2019-12-24 2019-12-24 Backlash Compensation Method for Servo Motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190174298A KR102358422B1 (en) 2019-12-24 2019-12-24 Backlash Compensation Method for Servo Motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210081895A true KR20210081895A (en) 2021-07-02
KR102358422B1 KR102358422B1 (en) 2022-02-04

Family

ID=76897153

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190174298A KR102358422B1 (en) 2019-12-24 2019-12-24 Backlash Compensation Method for Servo Motor

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102358422B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230142934A (en) 2022-04-04 2023-10-11 경상국립대학교산학협력단 Composition for improving intestinal function comprising an extract of Corni fructus as an active ingredient

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140132113A (en) 2013-05-07 2014-11-17 삼성전자주식회사 Method for compensating backlash and method for making backlash compensation value calculating formular

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140132113A (en) 2013-05-07 2014-11-17 삼성전자주식회사 Method for compensating backlash and method for making backlash compensation value calculating formular

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230142934A (en) 2022-04-04 2023-10-11 경상국립대학교산학협력단 Composition for improving intestinal function comprising an extract of Corni fructus as an active ingredient

Also Published As

Publication number Publication date
KR102358422B1 (en) 2022-02-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6496340B2 (en) Scanner control device, robot control device, and remote laser welding robot system
US10022866B2 (en) Robot control device
JPWO2018079075A1 (en) Encoder abnormality detection method, abnormality detection apparatus, and robot control system
JP2897333B2 (en) Servo control device
US20200171661A1 (en) Method for transmitting information in controller and method for detecting abnormality in encoder
JP5943650B2 (en) Servo control device and servo control method
CN105278456A (en) Numerical controller having function of switching position control gain during synchronous control
KR102358422B1 (en) Backlash Compensation Method for Servo Motor
JP5201300B2 (en) Motor control device
JP2005052913A (en) Robot controller
EP3520972B1 (en) Robot controlling method and welding method
US20210229216A1 (en) Systems and methods for improving accuracy in large area laser processing using position feedforward compensation
JP5471588B2 (en) Motor drive device
EP2752718B1 (en) Actuator control method and actuator control device
JP6825133B2 (en) Methods and devices for controlling the focus of a working laser beam and laser machining heads with such devices
JP5388604B2 (en) Motor drive control device
JP5642104B2 (en) Lens driving system and laser processing apparatus
CN113632036B (en) Control device
JP2778620B2 (en) Satellite attitude control device
JP4436809B2 (en) Laser processing system
JP2011175308A (en) Method and apparatus for controlling feed drive system of machine tool
JP5980042B2 (en) Conveying apparatus control method and conveying system
JP2002149204A (en) Control device
JPH05173646A (en) Electrohydraulic servo mechanism
JP4206194B2 (en) Control device and control method of hydraulic drive device

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant