KR20210074730A - 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치 - Google Patents

텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 그래핀 필름의 제조과정에서 촉매금속필름에 일정한 장력을 유지하여 그래핀이 증착된 촉매금속필름이 손상되는 것을 방지함과 아울러 그래핀이 증착된 촉매금속필름의 냉각이 용이한 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 관한 것으로,
롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 단방향 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 있어서, 촉매금속필름을 증착챔버로 공급하기 위한 공급롤러와, 공급롤러에서 공급되는 촉매금속필름을 하향이송되도록 방향을 전환하는 상부방향전환롤러와, 상기 상부방향전환롤러와 밀착하여 상기 상부방향전환롤러와 함께 촉매금속필름을 일정한 장력을 주면서 하향으로 공급하는 보조롤러로 구성되는 상부챔버; 상기 상부챔버의 하부에 연결되어, 상기 촉매금속필름에 그래핀이 증착되는 증착챔버; 및 상기 증착챔버에서 이송된 촉매금속필름의 방향을 전환하기 위한 하부방향전환롤러와, 상기 하부방향전환롤러에서 이송되는 촉매금속필름에 일정한 장력을 주면서 방향을 전환하는 텐션조절롤러를 포함하는 텐션 조절부와, 상기 텐션조절롤러에서 이송되는 촉매금속필름이 감겨지는 권취롤러로 구성되는 하부챔버;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공한다.

Description

텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치{The roll-to-roll graphine film manufacturing apparatus provided with tension modulation unit in the lower}
본 발명은 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 그래핀 필름의 제조과정에서 촉매금속필름에 일정한 장력을 유지하여 그래핀이 증착된 촉매금속필름이 손상되는 것을 방지함과 아울러 그래핀이 증착된 촉매금속필름의 냉각이 용이한 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 그래핀(Graphene)은 탄소가 육각형의 형태로 서로 연결되어 벌집 모양의 2차원 평면 구조를 이루는 물질이며, 그 두께가 매우 얇고 투명하며, 전기전도성이 매우 큰 특징이 있다. 이러한 특징을 이용하여 그래핀을 투명 디스플레이 또는 플렉시블(flexible) 디스플레이에 적용하려는 시도가 이루어지고 있다.
종래 그래핀 필름의 제조방법은 공개특허 10-2012-0111659호(그래핀을 포함하는 필름 제조 방법, 2012년 10월 10일 공개)에 기재되어 있다.
위의 공개특허에서는 대량생산을 위하여 롤-투-롤(Roll to Roll) 방식으로 일방향으로 촉매금속필름을 이송하면서, 그래핀을 형성하고, 그래핀이 형성되지 않은 촉매금속필름의 일면에 전사필름을 형성하는 단계에 대하여 기재되어 있으며, 각 단계별로 필요한 기구적인 구성에 대하여 설명이 되어 있다.
구체적으로 촉매금속필름을 권취하고 이송하기 위한 권취롤러 및 이송롤러와, 그 촉매금속필름에 탄소 공급 가스를 공급하여 그래핀을 증착하는 그래핀 형성 공간 등이 기재되어 있다.
종래기술들은 롤투롤 방식의 그래핀 필름 제조장치에 대한 것을 제시하고 있으나, 촉매금속필름이 공급롤러와 권취롤러 사이의 롤러 속도의 차이로 인해 촉매금속필름에 손상이 생기는 문제점이 있었다.
(문헌 1) 공개특허공보 제10-2012-0061224호(2012.06.13. 공개) (문헌 2) 등록특허공보 제10-1262327호(2013.06.02. 등록) (문헌 3) 등록특허공보 제10-1874317호(2018.06.28. 등록) (문헌 4) 등록특허공보 제10-1760653호(2017.07.18. 등록)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 롤-투-롤 방식으로 그래핀 필름을 제조하는 제조장치에서, 하부챔버에 텐션조절부를 구비하여 권취롤러에 감겨지는 그래핀이 증착된 촉매금속필름에 작용하는 장력이 일정하게 작용하도록 하여 촉매금속필름의 손상을 방지할 수 있는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 그래핀이 증착되는 촉매금속필름의 이동을 가이드하면서 일정한 장력을 주는 가이드 롤러를 구비함으로써, 촉매금속필름이 이동과정에서 발생하는 비틀림 등으로 인한 촉매금속필름의 손상을 방지할 수 있는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 그래핀이 증착된 필름을 배출하는 과정에서 필름의 온도를 가능한 빨리 낮출 수 있는 냉각관을 구비한 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 그래핀이 증착되는 촉매금속필름이 자중에 의해 처지는 현상을 방지할 수 있는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해, 롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 단방향 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 있어서, 촉매금속필름을 증착챔버로 공급하기 위한 공급롤러와, 공급롤러에서 공급되는 촉매금속필름을 하향이송되도록 방향을 전환하는 상부방향전환롤러와, 상기 상부방향전환롤러와 밀착하여 상기 상부방향전환롤러와 함께 촉매금속필름을 일정한 장력을 주면서 하향으로 공급하는 보조롤러로 구성되는 상부챔버; 상기 상부챔버의 하부에 연결되어, 상기 촉매금속필름에 그래핀이 증착되는 증착챔버; 및 상기 증착챔버에서 이송된 촉매금속필름의 방향을 전환하기 위한 하부방향전환롤러와, 상기 하부방향전환롤러에서 이송되는 촉매금속필름에 일정한 장력을 주면서 방향을 전환하는 텐션조절롤러를 포함하는 텐션 조절부와, 상기 텐션조절롤러에서 이송되는 촉매금속필름이 감겨지는 권취롤러로 구성되는 하부챔버;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치를 제공한다.
본 발명에서 증착챔버는, 사각형상의 프레임으로 구성되는 증착챔버바디; 상기 증착챔버바디 내부에 위치하며, 상기 상부챔버에서 공급되는 촉매금속필름을 일정각도로 하향 경사지게 하여 텐션을 주면서 이송하는 상부경사롤러와 하부경사롤러; 상기 하부경사롤러를 통해서 하향으로 이송되는 촉매금속필름에 그래핀을 증착하기 위해 촉매금속필름의 양측에서 공정가스를 일정하게 공급하는 상기 증착챔버바디의 내측에 장착되는 다수의 공정가스 공급노즐; 상기 증착챔버바디의 내측인 상기 공정가스 공급노즐의 양측에 장착되는 히터; 및 상기 증착챔버바디의 내측인 상기 히터의 주변에 장착되는 열차단 쉴드;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 텐션조절부는, 하부챔버 내측에 위치하며, 상기 촉매금속필름에 작용하는 텐션을 조절하기 위한 텐션조절롤러; 하단에는 상기 텐션조절롤러가 장착되고, 상단에는 텐션 조절추가 형성되며, 상기 텐션 조절추의 일정거리 하부에는 회전축이 연결되는 회전바; 전면에는 상기 회전바가 연결되고, 배면에는 각도측정바가 연결되는 회전축; 상기 하부챔버의 외측에 위치하며, 상기 회전축에 연결되어 상기 촉매금속필름의 텐션에 따라 회전하는 회전바의 각도를 측정하기 위한 각도측정바; 및 상기 하부챔버의 외측에서 각도측정바의 일단과 타단에 장착되어 상기 각도측정바의 회전에 따른 회전각을 검출하는 센서부;로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 각도측정바는, 회전축을 중심으로 하부측은 장축바로 이루어지고, 상부측은 단축바로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서 각도측정바는 일자형 또는 'ㄱ'자형으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 촉매금속필름에 일정한 장력이 유지될 수 있도록 텐션 조절부가 구비됨으로써, 그래핀이 증착된 촉매금속필름의 손상을 방지할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 증착챔버의 냉각관을 통해서 증착챔버 내부의 열을 빨리 냉각할 수 있기 때문에 생산성이 증대되는 효과를 가진다.
또한, 본 발명은 하부챔버에 텐션 조절부가 구비되고, 센서에 의해 촉매금속필름에 작용하는 장력을 정확하게 파악할 수 있기 때문에, 촉매금속필름의 손상을 미리 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명은 촉매금속필름에 증착되는 그래핀 중 일면은 롤러와 접촉하지 않기 때문에 롤러에 의한 스크래치를 방지할 수 있어 고품질의 그래핀을 얻을 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치의 전체 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 상부챔버를 도시한 사시도.
도 3은 도 2의 상부챔버에서 상부챔버바디를 제거한 상태의 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 증착챔버를 도시한 사시도.
도 5는 본 발명에 따른 상부챔버와 증착챔버의 연결을 도시한 절단 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 증착챔버에서 증착챔버바디를 제거한 상태의 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 하부챔버의 사시도.
도 8은 본 발명에 따른 하부챔버의 하부챔버바디를 제거한 상태의 사시도.
도 9는 도 8의 배면측 사시도.
이하 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 실시예들을 설명함에 있어서 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 부호가 사용되며, 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치의 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 상부챔버를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 상부챔버에서 상부챔버바디를 제거한 상태의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 증착챔버를 도시한 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 상부챔버와 증착챔버의 연결을 도시한 절단 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 증착챔버에서 증착챔버바디를 제거한 상태의 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 하부챔버의 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 하부챔버의 하부챔버바디를 제거한 상태의 사시도이고, 도 9는 도 8의 배면측 사시도이다.
도 1은 본 발명에 따른 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치(1)에 대한 전체 사시도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 그래핀 필름 제조장치(1)는 상부챔버(10)와, 증착챔버(20)와, 하부챔버(30), 하부챔버(30)에 설치되는 텐션조절부(40) 및 하부챔버의 하부에서 챔버 전체를 지지하는 받침부(50)로 구성된다.
도 2 내지 도 3은 본 발명에 따른 그래핀 필름 제조장치(1)의 상부챔버(10)에 대한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 상부챔버(10)는 상부챔버바디(11)와, 상부챔버바디(11) 내측에 장착되는 공급롤러(12)와, 공급롤러(12)에서 이송되는 촉매금속필름(F)의 방향을 하부방향으로 전환하는 상부방향전환롤러(13)와, 상부방향전환롤러(13)와 밀착되어 이송되는 촉매금속필름(F)에 장력을 부여하기 위한 보조롤러(14)로 구성된다. 상부챔버바디(11)는 전방에 도어(미도시)가 장착되는 개방구(111)가 형성되고, 개방구(111)를 통해 촉매금속필름(F)이 권취된 롤이 공급롤러(12)에 장착된다. 상부챔버바디(11)의 하부에는 촉매금속필름이 이송될 수 있도록 관통홀(18)이 형성된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 공급롤러(12)와 상부방향전환롤러(13) 및 보조롤러(14)는 롤러들의 배면측에 있는 상부롤러지지판(15)에 장착되고, 상부롤러지지판(15)은 상부챔버바디(11) 내측에 장착된다. 또한 공급롤러(12)와 상부방향전환롤러(13) 및 보조롤러(14)는 모터(16a, 16b, 16c)에 의해 구동된다. 보조롤러(14)가 상부방향전환롤러(13)와 밀착되기 때문에 보조롤러(14)의 배면측에 바로 모터를 장착할 수 없다. 그에 따라 보조롤러(14)는 체인이나 벨트로 구동될 수 있다. 체인이나 벨트는 모터(16c)와 연결된 동력전달부(17) 내에 장착되어 보조롤러(14)의 회전축과 연결된다. 촉매금속필름(F)은 공급롤러(12)에서 상부방향전환롤러(13) 및 보조롤러(14)에 의해 연결바디(19)의 관통홀(18)을 통해 증착챔버(20)로 이송된다.
도 4 내지 도 6은 증착챔버(20)에 대한 도면이다. 도면에 도시된 바와 같이, 증착챔버(20)는, 사각형상의 프레임으로 구성되는 증착챔버바디(21)와, 증착챔버바디(21) 내부에 위치하며, 상부챔버(10)에서 공급되는 촉매금속필름(F)을 일정각도로 하향 경사지게 하여 텐션을 주면서 이송하는 상부경사롤러(23)와 하부경사롤러(24)와, 하부경사롤러(24)를 통해서 하향으로 이송되는 촉매금속필름에 그래핀을 증착하기 위해 촉매금속필름의 양측에서 공정가스를 일정하게 공급하는 다수의 공정가스 공급노즐(26)과, 공정가스 공급노즐(26)의 양측에 장착되는 히터(25a, 25b)와, 히터(25a, 25b)의 주변에 장착되는 열차단 쉴드(22)로 구성된다. 촉매금속필름(F)은 관통홀(18)을 통해서 증착챔버(20)로 이송되며, 증착챔버(20)의 챔버바디(21)에 장착되는 상부경사롤러(23)와 하부경사롤러(24)에 의해 촉매금속필름(F)은 하부로 내려오다가 일정각도로 경사져서 내려오게 되고, 하부경사롤러(24)를 통과하면서 다시 수직하향으로 내려오게 된다. 촉매금속필름(F)은 상부경사롤러(23)와 하부경사롤러(24)에서 서로 대칭적으로 접촉하게 되고, 그에 따라 상부경사롤러(23)와 하부경사롤러(24)에 의해 촉매금속필름(F)은 소정의 텐션을 유지하게 된다. 촉매금속필름(F)은 증착챔버의 챔버바디(21) 내로 들어오면서 열차단 쉴드(22)의 관통홀(221)을 통해 열차단 쉴드(22) 내로 진입하게 되며, 열차단 쉴드(22)의 내측에 장착된 공정가스 공급노즐(26)을 통해서 공급되는 공정가스 상의 그래핀이 촉매금속필름에 증착된다. 그래핀 증착을 위해 공급노즐(26)의 양측으로 히터(25a, 25b)가 구비된다. 그래핀이 증착된 촉매금속필름(F)은 열차단 쉴드(22)의 하단에 형성된 관통홀(222)과 증착챔버 챔버바디(21)의 하단에 형성된 관통홀(27)을 통해 하부챔버(30)로 이송된다. 도 5와 도 6에 도시된 바와 같이 증착챔버의 챔버바디(21)의 모서리는 'ㄷ'형강의 프레임(211)으로 이루어지고, 프레임(211) 내부 공간에는 증착챔버의 냉각을 위한 냉각관(212a, 212b)이 마련된다. 따라서 증착이 완료된 후 그래핀 필름 제조장치(1)의 빠른 냉각을 통해 그래핀이 증착된 필름을 반출할 수 있다.
도 7과 도 8은 본 발명에 따른 하부챔버(30)를 도시하고 있다. 하부챔버(30)는, 증착챔버(20)와 연결되는 하부연결바디(35)와, 하부챔버바디(31)와, 하부챔버바디(31) 내부에 장착되는 증착챔버(20)에서 이송된 촉매금속필름의 방향을 전환하기 위한 하부방향전환롤러(32)와, 하부방향전환롤러(32)에서 이송되는 촉매금속필름에 일정한 장력을 주면서 방향을 전환하는 텐션조절롤러(41)와, 텐션조절롤러(41)에서 이송되는 촉매금속필름이 감겨지는 권취롤러(34)로 이루어진다. 하부방향전환롤러(32)와 텐션조절롤러(41) 사이에는 하부방향전환롤러(32)에서 이송되는 촉매금속필름에 일정한 경사각을 주기 위한 각도형성롤러(33)가 부가될 수 있다. 하부방향전환롤러(32)와 권취롤러(34)는 모터에 의해 구동된다. 권취롤러(34)에 그래핀이 증착된 촉매금속필름의 권취가 완료되면, 증착챔버(20)의 냉각관(212a, 212b)으로 냉각수를 유입시켜 냉각을 하고, 냉각이 완료되면 권취롤을 수거한다.
도 8과 도 9는 하부챔버(30)에 장착되는 롤러와 텐션조절부(40)에 대한 도면을 도시하고 있다. 하부방향전환롤러(32)와 권취롤러(34)와 각도형성롤러(33) 및 텐션조절부(40)는 하부롤러지지판(36)에 장착된다. 텐션조절부(40)는 하부챔버(30)의 챔버바디(31) 내측에 장착되는 텐션조절롤러(41)와, 텐션조절롤러(41)가 하단에 힌지결합되어 회전가능하도록 장착되고 상단에는 텐션조절을 위한 텐션 조절추(44)가 장착되며, 상기 텐션 조절추의 일정거리 하부에는 회전축(43)이 연결되는 회전바(42)와, 전면에는 회전바(42)가 연결되고, 배면에는 각도측정바(45)가 연결되는 회전축(43)과, 하부챔버(30)의 외측에 위치하며, 회전축(43)에 연결되어 촉매금속필름의 텐션에 따라 회전하는 회전바(42)의 각도를 측정하기 위한 각도측정바(45)와, 하부챔버(30)의 외측에서 각도측정바(45)의 일단과 타단에 각도측정바(45)의 회전에 따른 회전각을 검출하는 센서(46a, 46b)로 이루어진다. 센서(46a, 46b)는 하부롤러지지판(36)의 배면측에 장착되는데, 각도측정바(45)의 상부측 단부와 하부측 단부에서 각도를 센싱할 수 있도록 장착된다. 각도측정바(45)는 회전축(43)을 중심으로 하부측은 장축바로 이루어지고, 상부측은 단축바로 이루어질 수 있다. 각도측정바(45)의 형상은 'ㄱ'자 형상 또는 일자형상으로 이루어질 수 있다. 즉, 센서(46)는, 상부측 센서(46a)는 단축바의 회전각을 측정하고, 하부측 센서(46b)는 장축바의 회전각을 측정한다. 장축바의 회전각은 미세한 회전을 감지하고, 단축바의 회전각은 장축바의 회전각보다 큰 각을 가지기 때문에 큰 회전을 감지한다. 감지된 신호는 그래핀 필름 제조장치(1)의 컨트롤러(미도시)로 전송되고, 컨트롤러는 모터의 구동을 제어함으로써 롤러의 구동을 제어하여 촉매금속필름의 손상을 방지한다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
1 : 그래핀 필름 제조장치
10 : 상부챔버 11 : 상부챔버바디
12 : 공급롤러 13 : 상부방향전환롤러
14: 보조롤러 15 : 상부롤러지지판
16(16a, 16b, 16c) : 모터 17 : 동력전달부
18 : 관통홀 19 : 연결바디
20 : 증착챔버 21 : 증착챔버바디
22 : 열차단 쉴드 23 : 상부경사롤러
24 : 하부경사롤러 25(25a, 25b) : 히터
26 : 공정가스 공급노즐 27 : 관통홀
30 : 하부챔버 31 : 하부챔버바디
32 : 하부방향전환롤러 33 : 각도형성롤러
34 : 권취롤러 35 : 하부연결바디
36 : 하부롤러지지판
40 : 텐션조절부 41 : 텐션조절롤러
42 : 회전바 43 : 회전축
44 : 텐션 조절추 45 : 각도측정바
46(46a, 46b) : 센서

Claims (5)

  1. 롤-투-롤(roll to roll) 방식으로 촉매금속필름을 이송하면서 그래핀을 증착하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 단방향 롤투롤 그래핀 필름 제조장치에 있어서,
    촉매금속필름을 증착챔버로 공급하기 위한 공급롤러와, 공급롤러에서 공급되는 촉매금속필름을 하향이송되도록 방향을 전환하는 상부방향전환롤러와, 상기 상부방향전환롤러와 밀착하여 상기 상부방향전환롤러와 함께 촉매금속필름을 일정한 장력을 주면서 하향으로 공급하는 보조롤러로 구성되는 상부챔버;
    상기 상부챔버의 하부에 연결되어, 상기 촉매금속필름에 그래핀이 증착되는 증착챔버; 및
    상기 증착챔버에서 이송된 촉매금속필름의 방향을 전환하기 위한 하부방향전환롤러와, 상기 하부방향전환롤러에서 이송되는 촉매금속필름에 일정한 장력을 주면서 방향을 전환하는 텐션조절롤러를 포함하는 텐션 조절부와, 상기 텐션조절롤러에서 이송되는 촉매금속필름이 감겨지는 권취롤러로 구성되는 하부챔버;
    로 이루어지는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착챔버는,
    사각형상의 프레임으로 구성되는 증착챔버바디;
    상기 증착챔버바디 내부에 위치하며, 상기 상부챔버에서 공급되는 촉매금속필름을 일정각도로 하향 경사지게 하여 텐션을 주면서 이송하는 상부경사롤러와 하부경사롤러;
    상기 하부경사롤러를 통해서 하향으로 이송되는 촉매금속필름에 그래핀을 증착하기 위해 촉매금속필름의 양측에서 공정가스를 일정하게 공급하는 상기 증착챔버바디의 내측에 장착되는 다수의 공정가스 공급노즐;
    상기 증착챔버바디의 내측인 상기 공정가스 공급노즐의 양측에 장착되는 히터; 및
    상기 증착챔버바디의 내측인 상기 히터의 주변에 장착되는 열차단 쉴드;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 텐션조절부는,
    상기 하부챔버 내측에 위치하며, 상기 촉매금속필름에 작용하는 텐션을 조절하기 위한 텐션조절롤러;
    하단에는 상기 텐션조절롤러가 장착되고, 상단에는 텐션 조절추가 형성되며, 상기 텐션 조절추의 일정거리 하부에는 회전축이 연결되는 회전바;
    전면에는 상기 회전바가 연결되고, 배면에는 각도측정바가 연결되는 회전축;
    상기 하부챔버의 외측에 위치하며, 상기 회전축에 연결되어 상기 촉매금속필름의 텐션에 따라 회전하는 회전바의 각도를 측정하기 위한 각도측정바; 및
    상기 하부챔버의 외측에서 각도측정바의 일단과 타단에 장착되어 상기 각도측정바의 회전에 따른 회전각을 검출하는 센서부;
    로 구성되는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 각도측정바는, 상기 회전축을 중심으로 하부측은 장축바로 이루어지고, 상부측은 단축바로 이루어지는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 각도측정바는 일자형 또는 'ㄱ'자형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 텐션 조절부가 하부에 구비된 롤투롤 그래핀 필름 제조장치.
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