KR20210052143A - Heat treatment apparatus - Google Patents

Abstract

Provided is a heat treatment device, which further reduces the load applied to a tube which accommodates an object to be processed. The heat treatment device (1) includes: a horizontal tube (4) including an opening portion (4a) for putting in and taking out the object to be processed (100); a door (8) for opening and closing the opening portion (4a); and a door support mechanism (9) supporting the door (8) so that the opening portion (4a) of the tube (4) is displaceable in the up-down direction (Z) in association with the operation which displaces in the up-down direction (Z).

Description

열처리 장치{HEAT TREATMENT APPARATUS}Heat treatment device {HEAT TREATMENT APPARATUS}

본 발명은, 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한, 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.

기판 등의 재료에 열처리를 행하기 위한, 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 열처리 장치는, 석영제의 튜브를 갖고 있다. 이 튜브는, 통 형상으로 형성되어 있고, 당해 튜브의 중심 축선이 수평 방향이 되도록 횡방향으로 배치되어 있다. 이 튜브는, 기판 등의 피처리물을 수용한다. 튜브 내에서는, 열반응에 의해, 피처리물에 원하는 열처리가 실시된다. 튜브의 개구부는, 피처리물의 열처리 시에 도어에 의해 닫힌다.A heat treatment apparatus for performing heat treatment on a material such as a substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The heat treatment apparatus described in Patent Document 1 has a quartz tube. This tube is formed in a cylindrical shape, and is disposed in the transverse direction so that the central axis of the tube becomes a horizontal direction. This tube accommodates an object to be processed such as a substrate. In the tube, a desired heat treatment is performed on the object to be treated by a thermal reaction. The opening of the tube is closed by the door during heat treatment of the object to be processed.

일본국 특허공개 2014-53550호 공보Japanese Patent Publication No. 2014-53550

튜브는, 예를 들면, 서포트 부재에 의해 지지되어 있다. 또, 도어는, 도어 개폐 장치에 의해 개폐 가능하게 지지되어 있다.The tube is supported by a support member, for example. Moreover, the door is supported so that it can open and close by a door opening/closing device.

열처리 장치는, 피처리물을 수백도 이상으로 가열하기 때문에 고온이 된다. 이 때문에, 튜브도 고온이 된다. 튜브가 고온이 되면, 튜브용 서포트 부재도 고온이 되기 때문에, 서포트 부재나 튜브 등이 열팽창하고, 그 결과, 튜브의 개구부에 있어서의 각 부의 상하 위치가 변화한다. 또, 튜브 내에 피처리물이 반입됨으로써, 이 피처리물로부터의 하중을 받아 튜브가 수평 방향에 대해 기울어, 개구부의 상하 위치가 변화해 버리는 경우가 있다. 이와 같이, 튜브의 상하 위치가 변화하는 한편, 개구부를 닫은 상태의 도어는, 도어 개폐 장치에 의해 변위하지 않도록 고정되어 있기 때문에 상하 위치가 변화하지 않는다. 그 결과, 튜브의 개구부는, 상하 방향으로 이동하는 힘을 받으면서 고정된 도어와 상대 이동하지 않으면 안된다. 이로 인해, 튜브의 개구부에는 큰 부하가 걸려, 튜브의 개구부에 파손이 생기기 쉬워지는 하나의 원인이 된다.The heat treatment apparatus becomes high temperature because it heats the object to be treated to hundreds of degrees or more. For this reason, the tube also becomes high temperature. When the tube becomes high temperature, the support member for the tube also becomes high temperature. As a result, the support member, the tube, and the like are thermally expanded, and as a result, the vertical position of each part in the opening of the tube changes. Moreover, when the object to be processed is carried into the tube, the tube is inclined with respect to the horizontal direction by receiving a load from the object to be processed, and the vertical position of the opening may change. In this way, the vertical position of the tube is changed, while the door with the opening closed is fixed so as not to be displaced by the door opening and closing device, so that the vertical position does not change. As a result, the opening of the tube must move relative to the fixed door while receiving a force that moves in the vertical direction. For this reason, a large load is applied to the opening of the tube, which is one cause of liable to be damaged in the opening of the tube.

본 발명은, 상기 사정을 감안함으로써, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 튜브에 걸리는 부하를 보다 저감하는 것을, 목적으로 한다.In view of the above circumstances, an object of the present invention is to further reduce a load applied to a tube for accommodating an object to be processed in a heat treatment apparatus.

(1) 상기 과제를 해결하기 위해, 이 발명의 어느 국면에 따른 열처리 장치는, 피처리물을 넣고 꺼내기 위한 개구부를 포함하는 가로형 튜브와, 상기 개구부를 개폐하는 도어와, 상기 튜브의 상기 개구부가 상하 방향으로 변위하는 동작에 연동하여 상기 도어를 상기 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 도어 지지 기구를 갖고 있다.(1) In order to solve the above problem, a heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention includes a horizontal tube including an opening for inserting and removing an object to be processed, a door for opening and closing the opening, and the opening of the tube. It has a door support mechanism for supporting the door so that it can be displaced in the vertical direction in connection with an operation of displacement in the vertical direction.

이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재의 열팽창에 의해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브의 열팽창에 의해 당해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브 내에서의 피처리물의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 도어는, 튜브의 개구부의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브의 개구부는, 도어로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브의 개구부에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.According to this configuration, when the upper and lower positions of the openings of the tube are changed due to thermal expansion of the tube support member that has become hot, the upper and lower positions of the openings of the tube are changed due to the thermal expansion of the tube which has become hot, or in the tube. When the vertical position of the opening of the tube is changed due to the load balance of the object to be processed at, the door can be displaced in the vertical direction according to the change of the vertical position of the opening of the tube. As a result, the opening of the tube does not receive a large force from the door. Therefore, the load applied to the opening of the tube can be further reduced.

(2) 상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 지지하기 위해 상기 도어에 연결된 제1 지지 부재와, 상기 제1 지지 부재를 지지하는 제2 지지 부재와, 상기 제2 지지 부재에 대해 상기 제1 지지 부재가 상기 상하 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지 부재로부터의 하중을 상기 제2 지지 부재에 전달하는 제1 탄성 부재를 갖고 있는 경우가 있다.(2) The door support mechanism includes a first support member connected to the door to support the door, a second support member supporting the first support member, and the first support with respect to the second support member. In some cases, the member has a first elastic member that transmits a load from the first support member to the second support member so that the member can move in the vertical direction.

이 구성에 의하면, 도어 지지 기구는, 제1 탄성 부재의 탄성 변형에 의해, 도어를 상하 방향으로 부드럽게 이동시킬 수 있다.According to this configuration, the door support mechanism can smoothly move the door in the vertical direction by elastic deformation of the first elastic member.

(3) 상기 도어는, 상기 상하 방향과 직교하는 좌우 방향으로 연장되는 축선 둘레로 변위 가능하게 상기 제1 지지 부재에 연결되어 있는 경우가 있다.(3) The door may be connected to the first support member so as to be displaceable around an axis extending in a left-right direction orthogonal to the vertical direction.

이 구성에 의하면, 튜브의 개구부가 상하 방향에 대해 기울어지도록 변위한 경우, 예를 들면, 튜브 내에서의 피처리물의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브의 개구부가 상하 방향에 대해 기울어진 경우, 도어 지지 기구는, 이 기울기에 맞추도록 도어를 기울일 수 있다. 이로 인해, 튜브의 개구부와 도어 사이에 간극이 형성되는 것을 억제하면서, 튜브의 개구부에 큰 부하가 작용하는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, when the opening of the tube is displaced so as to be inclined with respect to the vertical direction, for example, when the opening of the tube is inclined with respect to the vertical direction due to the load balance of the object to be processed in the tube, the door support The instrument can tilt the door to match this tilt. For this reason, while suppressing the formation of a gap between the opening of the tube and the door, it is possible to suppress a large load from acting on the opening of the tube.

(4) 상기 도어와 상기 제1 지지 부재는, 구면(球面) 이음을 이용하여 연결되어 있는 경우가 있다.(4) The door and the first support member may be connected using a spherical joint.

이 구성에 의하면, 튜브의 개구부의 변위에 맞추도록 도어가 변위하는 자유도를 보다 높게 할 수 있고, 또한, 이음이 적은 부품 점수로 족하다.According to this configuration, the degree of freedom in which the door is displaced can be increased so as to match the displacement of the opening of the tube, and the number of parts with less joints is sufficient.

(5) 상기 제1 지지 부재는, 상기 상하 방향으로 연장되는 축형상부를 포함하며, 상기 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍을 통과하고 있는 경우가 있다.(5) The first support member may include a shaft-shaped portion extending in the vertical direction, and may pass through a through hole formed in the second support member.

이 구성에 의하면, 제2 지지 부재가 제1 지지 부재를 보호하는 보호 부재로서 기능하고, 제1 지지 부재가 이물에 접촉하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재를 컴팩트하게 배치할 수 있다.According to this configuration, the second support member functions as a protective member for protecting the first support member, and it is possible to more reliably suppress the first support member from contacting a foreign object. Further, the first support member and the second support member can be arranged compactly.

(6) 상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재와 상기 도어 사이에서 탄성 변형함으로써 상기 도어를 상기 개구부 측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시키는 제2 탄성 부재를 포함하고 있는 경우가 있다.(6) The door support mechanism may include a second elastic member that elastically deforms between the second support member and the door to generate an elastic repulsive force that presses the door toward the opening.

이 구성에 의하면, 도어를 튜브의 개구부에 가압하는 하중을 도어에 부여함으로써, 도어와 튜브의 밀착도를 높일 수 있다. 또한, 도어를 튜브의 개구부에 가압하는 하중을, 도어의 둘레 방향에 있어서 보다 균등하게 할 수 있다.According to this configuration, by applying a load for pressing the door to the opening of the tube to the door, the degree of adhesion between the door and the tube can be improved. Further, the load for pressing the door against the opening of the tube can be made more evenly in the circumferential direction of the door.

(7) 상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 개폐 동작시키기 위한 개폐 기구를 포함하며, 상기 개폐 기구는, 상기 도어의 개폐 동작에 연동시켜 상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 변위시키는 경우가 있다.(7) The door support mechanism includes an opening/closing mechanism for opening and closing the door, and the opening/closing mechanism displaces the first support member and the second support member by interlocking with the opening and closing operation of the door. There is.

이 구성에 의하면, 개폐 기구는, 도어의 개폐 동작에 따라 도어 지지 기구의 제1 지지 부재와 제2 지지 부재의 쌍방을 튜브의 개구부에 대해 변위시킬 수 있다. 이로 인해, 튜브의 개구부를 통해 피처리물을 넣고 꺼낼 때에, 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재가 방해가 되지 않도록 이들 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재를 이동시킬 수 있다.According to this configuration, the opening/closing mechanism can displace both the first supporting member and the second supporting member of the door supporting mechanism with respect to the opening of the tube in accordance with the opening and closing operation of the door. For this reason, when the object to be processed is put in and taken out through the opening of the tube, these first support members and second support members can be moved so that the first support member and the second support member do not interfere.

(8) 상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재에 대한 초기 하중 설정 부재의 상하 위치에 따른 초기 하중을 상기 제1 탄성 부재에 발생시키는 상기 초기 하중 설정 부재와, 상기 초기 하중 설정 부재와는 다른 부재로 설치되어, 상기 제2 지지 부재에 대한 상기 제1 지지 부재의 상하 위치를 조정하기 위한 위치 조정 부재를 포함하고 있는 경우가 있다.(8) The door support mechanism comprises the initial load setting member for generating an initial load according to the vertical position of the initial load setting member with respect to the second support member to the first elastic member, and the initial load setting member In some cases, it is provided with another member and includes a position adjusting member for adjusting the vertical position of the first supporting member with respect to the second supporting member.

이 구성에 의하면, 초기 하중 설정 부재는, 예를 들면, 튜브의 개구부가 도어에 대해 변위하기 전의 상태에 있어서의 탄성 부재의 탄성 변형량을 설정할 수 있다. 또, 위치 조정 부재를 조작함으로써, 제2 지지 부재에 대한 제1 지지 부재의 상하 위치를 변경할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들면 열처리 장치의 메인터넌스 시 등에 있어서, 초기 하중 설정 부재를 조작하는 일 없이, 제2 지지 부재에 대한 제1 지지 부재(도어)의 위치 조정을 행할 수 있다. 이와 같이, 초기 하중 설정 작업과, 도어의 위치 조정 작업을 서로 독립적으로 행할 수 있는 구성이 채용되고 있는 결과, 열처리 장치의 조립 및 메인터넌스에 드는 수고를 보다 적게 할 수 있다.According to this configuration, the initial load setting member can set the amount of elastic deformation of the elastic member in a state before the opening of the tube is displaced with respect to the door, for example. In addition, by operating the position adjustment member, it is possible to change the vertical position of the first support member with respect to the second support member. With this configuration, it is possible to adjust the position of the first support member (door) with respect to the second support member without operating the initial load setting member, for example, during maintenance of the heat treatment apparatus. In this way, as a result of employing a configuration capable of performing the initial load setting operation and the door position adjustment operation independently of each other, it is possible to reduce the labor required for assembling and maintaining the heat treatment apparatus.

본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 튜브에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.Advantageous Effects of Invention According to the present invention, in the heat treatment apparatus, the load applied to the tube containing the object to be treated can be further reduced.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성을 나타내는 모식적인 사시도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 2는, 열처리 장치의 주요부를 모식적으로 나타낸 구성을 열처리 장치의 좌측방에서 본 상태를 나타내는 도면이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 3은, 열처리 장치의 튜브 어댑터의 주변을 좌측방에서 본 상태를 나타내는 모식적인 단면도이다.
도 4는, 튜브 어댑터 지지 기구의 좌측 기구의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 5는, 튜브 어댑터 지지 기구의 우측 기구의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 6은, 튜브 어댑터 지지 기구의 우측 기구의 개략적인 단면도이다.
도 7은, 열처리 장치의 일부를 나타내는 모식적인 사시도이며, 도어 지지 기구의 모식적인 구성을 나타내고 있다.
도 8은, 도어 지지 기구의 구성을 모식적으로 나타내는, 일부를 단면으로 나타내는 좌측면도이며, 도 2의 일부를 확대한 도면에 상당한다.
도 9는, 도 7 및 도 8에 있어서의 도어 지지 기구의 주요부를 확대해서 나타내는 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 2 is a diagram showing a configuration schematically showing a main part of the heat treatment device as viewed from the left side of the heat treatment device, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 3 is a schematic cross-sectional view showing the periphery of the tube adapter of the heat treatment apparatus viewed from the left side.
4 is a schematic diagram of the left side mechanism of the tube adapter holding mechanism, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 5 is a schematic diagram of the right side mechanism of the tube adapter holding mechanism, and a part thereof is shown in cross section.
6 is a schematic cross-sectional view of the right side mechanism of the tube adapter holding mechanism.
Fig. 7 is a schematic perspective view showing a part of a heat treatment apparatus, and shows a schematic configuration of a door support mechanism.
FIG. 8 is a left side view schematically showing the configuration of the door support mechanism, showing a part in a cross section, and corresponds to an enlarged view of a part of FIG. 2.
9 is a perspective view showing an enlarged main part of the door support mechanism in FIGS. 7 and 8.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은, 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 널리 적용할 수 있다.Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Further, the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat treatment of an object to be treated.

도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 열처리 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 모식적인 사시도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 2는, 열처리 장치(1)의 주요부를 모식적으로 나타낸 구성을 열처리 장치(1)의 좌측방에서 본 상태를 나타내는 도면이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 3은, 열처리 장치(1)의 튜브 어댑터(6) 주변을 좌측방에서 본 상태를 나타내는 모식적인 단면도이다. 도 4는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 좌측 기구(30L)의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 5는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 6은, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)의 개략적인 단면도이다. 도 7은, 열처리 장치(1)의 일부를 나타내는 모식적인 사시도이며, 도어 지지 기구(9)의 모식적인 구성을 나타내고 있다. 도 8은, 도어 지지 기구(9)의 구성을 모식적으로 나타내는, 일부를 단면으로 나타내는 좌측면도이며, 도 2의 일부를 확대한 도면에 상당한다. 도 9는, 도 7 및 도 8에 있어서의 도어 지지 기구(9)의 주요부를 확대해서 나타내는 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and a part thereof is shown in cross section. FIG. 2 is a diagram showing a configuration schematically showing a main part of the heat treatment apparatus 1 as viewed from the left side of the heat treatment apparatus 1, and a part thereof is shown in cross section. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state of the periphery of the tube adapter 6 of the heat treatment apparatus 1 viewed from the left side. 4 is a schematic diagram of the left side mechanism 30L of the tube adapter holding mechanism 7 and a part thereof is shown in cross section. 5 is a schematic view of the right side mechanism 30R of the tube adapter holding mechanism 7, and a part thereof is shown in cross section. 6 is a schematic cross-sectional view of the right side mechanism 30R of the tube adapter holding mechanism 7. 7 is a schematic perspective view showing a part of the heat treatment apparatus 1, and a schematic configuration of the door support mechanism 9 is shown. Fig. 8 is a left side view schematically showing the configuration of the door support mechanism 9, partially showing a cross-section, and corresponds to an enlarged view of a part of Fig. 2. 9 is a perspective view showing an enlarged main part of the door support mechanism 9 in FIGS. 7 and 8.

또한, 이하에서는, 열처리 장치(1)의 후술하는 튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향을 따라 튜브(4)의 개구부(4a)와 마주 한 상태에서 봤을 때를 기준으로 하여, 전후 방향(X), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z)을 말한다. 또, 「좌우 방향(Y)에 있어서의 내측」이란, 좌우 방향(Y)에 있어서 튜브(4)의 중심 축선(P1)에 가까운 측을 말하며, 「좌우 방향(Y)에 있어서의 외측」이란, 좌우 방향(Y)에 있어서 열처리 장치(1)의 외측에 가까운 측을 말한다.In the following, as a reference, when viewed from the state facing the opening 4a of the tube 4 along the direction of the central axis P1 of the tube 4 described later of the heat treatment apparatus 1, the front-rear direction ( It refers to X), the left-right direction (Y), and the vertical direction (Z). In addition, "inside in the left-right direction (Y)" means a side close to the central axis line (P1) of the tube 4 in the left-right direction (Y), and "outside in the left-right direction (Y)" , Refers to the side close to the outside of the heat treatment apparatus 1 in the left-right direction Y.

도 1 및 도 2를 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 이 열처리로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 처리, 확산 처리, 어닐링 처리, 태양 전지의 제조 처리, 반도체 디바이스의 제조 처리 등을 예시할 수 있다. 본 실시형태에서는, 피처리물(100)은, 유리 기판이다. 피처리물(100)은, 예를 들면, 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을, 반응성 가스의 분위기 하에서 열처리함으로써, 피처리물(100)의 표면에, 박막을 형성한다. 또, 열처리 장치(1)는, 가로형 열처리 장치이다. 피처리물(100)은, 열처리 장치(1)에 대해 넣고 꺼내어질 때에, 수평 방향인 전후 방향(X)으로 변위된다.1 and 2, the heat treatment apparatus 1 is configured to be capable of performing heat treatment on the surface of the object to be treated 100. As this heat treatment, a CVD (Chemical Vapor Deposition) treatment, a diffusion treatment, an annealing treatment, a solar cell manufacturing process, a semiconductor device manufacturing process, and the like can be exemplified. In this embodiment, the object to be processed 100 is a glass substrate. The object to be processed 100 is formed in, for example, a rectangular shape. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the object 100 by heat-treating the object 100 in an atmosphere of a reactive gas. In addition, the heat treatment device 1 is a horizontal heat treatment device. When the object to be processed 100 is put into the heat treatment apparatus 1 and taken out, it is displaced in the front-rear direction X which is the horizontal direction.

열처리 장치(1)는, 하우징(2)과, 튜브 지지 부재(3)와, 튜브(수납 용기)(4)와, 히터(5)와, 튜브 어댑터(6)와, 튜브 어댑터 지지 기구(7)와, 도어(8)와, 도어 지지 기구(9)를 갖고 있다.The heat treatment apparatus 1 includes a housing 2, a tube support member 3, a tube (storage container) 4, a heater 5, a tube adapter 6, and a tube adapter support mechanism 7 ), a door 8, and a door support mechanism 9 are provided.

하우징(2)은, 열처리 장치(1)의 외각 부재로서 설치되어 있고, 본 실시형태에서는, 전후 방향(X)으로 가늘고 길게 연장되는 틀 구조를 갖고 있다.The housing 2 is provided as an outer member of the heat treatment apparatus 1, and in this embodiment, has a frame structure that extends elongated in the front-rear direction X.

하우징(2)은, 열처리 장치(1)의 전단에 배치된 좌우 한 쌍의 기둥으로서의 우측 기둥(11R) 및 좌측 기둥(11L)과, 이들 기둥(11R, 11L)의 하부 측에 있어서 수평으로 설치된 바닥부(12)를 갖고 있다.The housing 2 is provided horizontally on the lower side of the right column 11R and the left column 11L as a pair of left and right columns arranged at the front end of the heat treatment apparatus 1, and the lower sides of these columns 11R and 11L. It has a bottom part 12.

바닥부(12)에는, 튜브 지지 부재(3)가 올려 놓아져 있다. 튜브 지지 부재(3)는, 튜브(4)의 외주부의 형상을 따라 원호 형상으로 형성된 면을 갖는 블록 형상 부분과, 이 블록 형상 부분으로부터 하방으로 연장되어 바닥부(12)에 고정되는 기둥을 포함하는 부재이며, 전후 방향(X)을 따라 복수 배치되어 있다. 이들 튜브 지지 부재(3)에 의해, 튜브(4)가 지지되어 있다.The tube support member 3 is placed on the bottom 12. The tube support member 3 includes a block-shaped portion having a surface formed in an arc shape along the shape of the outer circumferential portion of the tube 4, and a column extending downward from the block-shaped portion and fixed to the bottom portion 12. It is a member to be formed, and is arranged in plurality along the front-rear direction (X). The tube 4 is supported by these tube support members 3.

튜브(4)는, 피처리물(100)을 수납하기 위해 설치된 가로형 튜브이다. 튜브(4)는, 튜브(4) 내에 수납된 피처리물(100)을, 가열된 분위기 하에서 열처리하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브(4)는, 석영을 이용하여 형성되어 있다. 튜브(4)는, 중공으로 형성되어 있다. 튜브(4)의 두께(판 두께)는, 수십mm 정도로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브(4)는, 전후 방향(X)으로 연장되는 중심 축선(P1)을 갖는 원통 형상으로 형성되어 있다. 튜브(4)의 후단은 닫혀져 있다. 튜브(4)의 원통 형상 부분(몸통부)은, 튜브 지지 부재(3)에 올려져 이 튜브 지지 부재(3)에 지지되어 있다. 튜브(4)의 전단은, 전방으로 개방되어 있고, 개구부(4a)를 형성하고 있다.The tube 4 is a horizontal tube provided to accommodate the object to be processed 100. The tube 4 is provided to heat-treat the object to be treated 100 accommodated in the tube 4 in a heated atmosphere. In this embodiment, the tube 4 is formed using quartz. The tube 4 is formed hollow. The thickness (board thickness) of the tube 4 is set to about several tens of mm. In this embodiment, the tube 4 is formed in a cylindrical shape having a central axis P1 extending in the front-rear direction X. The rear end of the tube 4 is closed. The cylindrical portion (trunk portion) of the tube 4 is placed on the tube supporting member 3 and supported by the tube supporting member 3. The front end of the tube 4 is open to the front and forms an opening 4a.

개구부(4a)는, 피처리물(100)을 통과시키는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 피처리물(100)은, 개구부(4a)를 통과해 튜브(4)에 넣고 꺼내어 진다. 피처리물(100)은, 예를 들면 지지대(13)에 올려진 상태로, 개구부(4a)를 통과해 튜브(4)에 넣고 꺼내어진다. 상기의 구성을 갖는 튜브(4)는, 히터(5)에 의해 가열된다.The opening 4a is formed in a size capable of allowing the object to be processed 100 to pass through. The object to be processed 100 is put into the tube 4 through the opening 4a and taken out. The object to be processed 100 is put into the tube 4 through the opening 4a while being mounted on the support base 13, for example, and is taken out. The tube 4 having the above configuration is heated by the heater 5.

히터(5)는, 튜브(4) 내의 분위기를 가열하기 위해 설치되어 있다. 히터(5)는, 예를 들면, 전열 히터이다. 히터(5)는, 하우징(2)에 설치되어 있고, 튜브(4) 주위를 둘러싸도록 배치되어 있다. 도 1에서는, 히터(5)의 일부를 도시하고 있다. 히터(5)는, 튜브(4) 내의 분위기를, 수백도 정도로 가열하는 것이 가능하다. 튜브(4) 내의 분위기가 가열되고 있는 동안, 튜브(4)의 개구부(4a)는, 튜브 어댑터(6) 및 도어(8)에 의해 닫혀져 있다.The heater 5 is provided to heat the atmosphere in the tube 4. The heater 5 is, for example, an electric heater. The heater 5 is provided in the housing 2 and is arranged so as to surround the tube 4. In FIG. 1, a part of the heater 5 is shown. The heater 5 can heat the atmosphere in the tube 4 to about several hundred degrees. While the atmosphere in the tube 4 is being heated, the opening 4a of the tube 4 is closed by the tube adapter 6 and the door 8.

도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)를 개폐하기 위해 설치되어 있다. 도어(8)는, 예를 들면, 금속판을 이용하여 형성되어 있다. 도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 형상을 따르는 형상으로 형성되어 있고, 본 실시형태에서는, 원판 형상으로 형성되어 있다. 도어(8)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 막도록 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 따름으로써, 튜브(4)의 개구부(4a)를 막는다. 보다 구체적으로는, 도어(8)의 외주부는, 튜브 어댑터(6)의 후술하는 제1 플랜지(21)에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 도어(8)의 외주부가 제1 플랜지(21)에 접촉한 경우, 도어(8)와, 제1 플랜지(21) 사이는, 후술하는 제1 시일 부재(15)에 의해 기밀하게 시일된다. 도어(8)는, 튜브(4) 및 튜브 어댑터(6)의 전방에 배치되어 있다. 도어(8)는, 도어 지지 기구(9)에 의해, 튜브(4)의 개구부(4a)를 개폐 가능하게 지지되어 있다. 도어 지지 기구(9)의 상세는, 후술한다.The door 8 is provided to open and close the opening 4a of the tube 4. The door 8 is formed using, for example, a metal plate. The door 8 is formed in a shape that follows the shape of the opening 4a of the tube 4, and in this embodiment, it is formed in a disk shape. The door 8 closes the opening 4a of the tube 4 by following the opening 6a of the tube adapter 6 so as to close the opening 6a of the tube adapter 6. More specifically, the outer peripheral portion of the door 8 is configured to be able to contact the first flange 21 described later of the tube adapter 6. When the outer peripheral portion of the door 8 comes into contact with the first flange 21, the door 8 and the first flange 21 are hermetically sealed by a first sealing member 15 to be described later. The door 8 is disposed in front of the tube 4 and the tube adapter 6. The door 8 is supported by the door support mechanism 9 so that the opening 4a of the tube 4 can be opened and closed. Details of the door support mechanism 9 will be described later.

도 1~도 3을 참조하여, 튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)와 도어(8) 사이에 배치되어, 도어(8)를 튜브(4)에 장착하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터(6)는, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)를 냉각하도록 구성되어 있다. 튜브 어댑터(6)가 설치되어 있음으로써, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)는, 히터(5)로부터의 열에 의한 과열이 억제된다. 그 결과, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)의 열화를 억제할 수 있다.1 to 3, the tube adapter 6 is disposed between the opening 4a of the tube 4 and the door 8, and is installed to mount the door 8 to the tube 4 have. In this embodiment, the tube adapter 6 is configured to cool the first sealing member 15 and the second sealing member 16. By providing the tube adapter 6, the first sealing member 15 and the second sealing member 16 are prevented from overheating due to heat from the heater 5. As a result, deterioration of the first sealing member 15 and the second sealing member 16 can be suppressed.

튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)에 인접하여 배치되어 있다. 튜브 어댑터(6)는, 2개의 원통 부재(내통(19) 및 외통(20))를 조합한 형상을 갖고 있으며, 튜브(4)와는, 대략 동축에 배치되어 있다. 튜브 어댑터(6)는, 금속재료를 이용하여 형성되어 있다. 이 금속재료는, 예를 들면, 스테인리스재이다.The tube adapter 6 is disposed adjacent to the opening 4a of the tube 4. The tube adapter 6 has a shape in which two cylindrical members (inner cylinder 19 and outer cylinder 20) are combined, and is disposed substantially coaxially with the tube 4. The tube adapter 6 is formed using a metallic material. This metallic material is, for example, stainless steel.

튜브 어댑터(6)는, 내통(19)과, 내통(19)을 둘러싸는 외통(20)과, 내통(19)의 전단 및 외통(20)의 전단 사이를 막는 환 형상의 제1 플랜지(21)와, 내통(19)의 후단 및 외통(20)의 후단 사이를 막는 환 형상의 제2 플랜지(22)와, 냉각 수로(23)와, 제2 시일 부재 홀더(24)를 갖고 있다.The tube adapter 6 includes an inner cylinder 19, an outer cylinder 20 surrounding the inner cylinder 19, and an annular first flange 21 that blocks between the front end of the inner cylinder 19 and the front end of the outer cylinder 20. ), an annular second flange 22 that blocks between the rear end of the inner cylinder 19 and the rear end of the outer cylinder 20, a cooling channel 23, and a second sealing member holder 24.

제1 플랜지(21)는, 도어(8)와 접촉하는 부분으로서 설치되어 있다. 제1 플랜지(21)는, 용접 등에 의해, 내통(19) 및 외통(20)에 고정되어 있다. 제1 플랜지(21) 중, 도어(8)에 대향하는 앞면에, 환 형상의 제1 시일 부재(15)가 배치되어 있다.The first flange 21 is provided as a portion in contact with the door 8. The first flange 21 is fixed to the inner cylinder 19 and the outer cylinder 20 by welding or the like. An annular first sealing member 15 is disposed on the front surface of the first flange 21 facing the door 8.

제1 시일 부재(15)는, 도어(8)와, 튜브 어댑터(6) 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 시일 부재(15)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 갖고 있다. 제1 시일 부재(15)의 후방에, 제2 플랜지(22)가 배치되어 있다.The first sealing member 15 is provided in order to airtightly seal between the door 8 and the tube adapter 6. In this embodiment, the first sealing member 15 is an O-ring formed using synthetic rubber or the like, and has elasticity and flexibility. A second flange 22 is disposed behind the first sealing member 15.

제2 플랜지(22)는, 튜브(4)에 인접하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 플랜지(22)는, 용접 등에 의해, 내통(19) 및 외통(20)에 고정되어 있다. 제2 플랜지(22), 제1 플랜지(21), 내통(19) 및 외통(20)에 의해, 냉각 수로(23)가 형성되어 있다.The second flange 22 is provided as a portion adjacent to the tube 4. The second flange 22 is fixed to the inner cylinder 19 and the outer cylinder 20 by welding or the like. The cooling channel 23 is formed by the 2nd flange 22, the 1st flange 21, the inner cylinder 19, and the outer cylinder 20.

냉각 수로(23)는, 원통 형상의 수로로서 설치되어 있다. 냉각 수로(23)는, 도시하지 않은 열교환기와 접속되어 있다. 냉각 수로(23)는, 이 열교환기에서 냉각된 냉각수가 통과하도록 구성되어 있다. 이로 인해, 냉각 수로(23)에 인접하여 배치된 제1 시일 부재(15) 및 제2 시일 부재(16)가 냉각된다.The cooling channel 23 is provided as a cylindrical channel. The cooling channel 23 is connected to a heat exchanger (not shown). The cooling channel 23 is configured such that the cooling water cooled in this heat exchanger passes. For this reason, the 1st sealing member 15 and the 2nd sealing member 16 arrange|positioned adjacent to the cooling channel 23 are cooled.

제2 시일 부재(16)는, 튜브 어댑터(6)와 튜브(4) 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 시일 부재(16)는, 제1 시일 부재(15)와 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 제2 시일 부재(16)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 갖고 있다. 제2 시일 부재(16)는, 환 형상으로 형성되어 있다. 제2 시일 부재(16)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 외주면에 끼워져 있다. 또, 제2 시일 부재(16)는, 제2 플랜지(22)의 후단면에 접촉하고 있다. 제2 시일 부재(16)는, 제2 시일 부재 홀더(24)에 의해, 유지되고 있다.The second sealing member 16 is provided in order to airtightly seal between the tube adapter 6 and the tube 4. In this embodiment, the second sealing member 16 has the same configuration as the first sealing member 15. That is, the second sealing member 16 is an O-ring formed using synthetic rubber or the like, and has elasticity and flexibility. The second sealing member 16 is formed in an annular shape. The second sealing member 16 is fitted in the outer peripheral surface of the opening 4a of the tube 4. Moreover, the 2nd sealing member 16 is in contact with the rear end surface of the 2nd flange 22. The 2nd sealing member 16 is held by the 2nd sealing member holder 24.

제2 시일 부재 홀더(24)는, 전후 방향(X)으로 볼 때 원호 형상으로 형성된 블록 형상 부재이며, 튜브(4)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 제2 시일 부재 홀더(24)는, 볼트 등의 고정 부재(25)를 이용하여 제2 플랜지(22)에 고정되어 있다. 각 제2 시일 부재 홀더(24)는, 제2 시일 부재(16)를 튜브(4)의 개구부(4a)에 있어서 튜브(4)의 외주면에 누르고 있다.The second sealing member holder 24 is a block-shaped member formed in an arc shape when viewed in the front-rear direction X, and is arranged in plural along the circumferential direction of the tube 4. Each second sealing member holder 24 is fixed to the second flange 22 using a fixing member 25 such as a bolt. Each of the second sealing member holders 24 presses the second sealing member 16 against the outer peripheral surface of the tube 4 in the opening portion 4a of the tube 4.

도 4~도 6을 참조하여, 상기의 구성을 갖는 튜브 어댑터(6)는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)에 의해 지지되어 있다. 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 튜브 어댑터(6)를 지지하고 있다.4 to 6, the tube adapter 6 having the above configuration is supported by the tube adapter support mechanism 7. The tube adapter support mechanism 7 interlocks with an operation in which the opening 4a of the tube 4 is displaced in the vertical direction (Z), so that the tube adapter 6 can be displaced in the vertical direction (Z). ).

본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 튜브 어댑터(6)의 중앙 부분에 설치되어 있다. 또, 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 전후 방향(X)(튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향)에서 볼 때, 튜브 어댑터(6)의 우측 부분 및 좌측 부분의 각각에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 구체적으로는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)의 우측방에 설치된 우측 기구(30R)와, 튜브 어댑터(6)의 좌측방에 설치된 좌측 기구(30L)를 갖고 있다.In this embodiment, the tube adapter holding mechanism 7 is provided in the central portion of the tube adapter 6 in the vertical direction Z. In addition, in this embodiment, the tube adapter holding mechanism 7 is in the right and left portions of the tube adapter 6 when viewed in the anteroposterior direction X (in the direction of the central axis P1 of the tube 4). In each, the tube adapter 6 is supported so as to be displaceable in the vertical direction (Z). Specifically, the tube adapter holding mechanism 7 has a right mechanism 30R provided in the right side of the tube adapter 6 and a left mechanism 30L provided in the left side of the tube adapter 6.

또한, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)와 좌측 기구(30L)는, 좌우 대칭인 구성을 갖고 있다. 따라서, 이하에서는, 특별히 언급하지 않는 한, 우측 기구(30R)의 구성과 좌측 기구(30L)의 구성을 구별하지 않고 설명한다.In addition, the right mechanism 30R and the left mechanism 30L of the tube adapter holding mechanism 7 have a structure that is symmetrical left and right. Accordingly, in the following description, the configuration of the right mechanism 30R and the configuration of the left mechanism 30L are not distinguished unless otherwise noted.

우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 튜브(4)를 좌우 방향(Y)으로 사이에 끼우도록 배치되어 있다. 우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 전후 방향(X)에서 볼 때(튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향에서 볼 때), 튜브 어댑터(6)의 우측방 및 좌측방에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 상하 방향(Z)에 있어서의 우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)의 길이는, 본 실시형태에서는, 튜브(4)의 내경의 1/3 정도이다.The right mechanism 30R and the left mechanism 30L are arranged so as to sandwich the tube 4 in the left-right direction Y. The right mechanism 30R and the left mechanism 30L are in the right and left sides of the tube adapter 6 when viewed from the anteroposterior direction X (when viewed from the central axis P1 direction of the tube 4). In this case, the tube adapter 6 is supported so as to be displaceable in the vertical direction (Z). The length of the right mechanism 30R and the left mechanism 30L in the vertical direction Z is about 1/3 of the inner diameter of the tube 4 in this embodiment.

우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 각각, 고정부(31)와, 가동부(32)와, 고정부(31) 및 가동부(32)에 설치되어 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 이동을 안내하는 리니어 가이드(35)로서 고정 레일(33) 및 슬라이더(34)를 포함하는 리니어 가이드(35)와, 튜브 어댑터(6)의 하중을 받기 위한 제1 하중 받침부(36)를 갖고 있다.The right mechanism 30R and the left mechanism 30L are provided in the fixed part 31, the movable part 32, the fixed part 31, and the movable part 32, respectively, and the tube adapter in the vertical direction (Z) As a linear guide 35 for guiding the movement of (6), a linear guide 35 including a fixed rail 33 and a slider 34, and a first load receiving portion for receiving the load of the tube adapter 6 ( 36).

고정부(31)는, 하우징(2)에 고정되어 있는 부분이며, 상하 방향(Z)으로의 이동이 규제되고 있다. 고정부(31)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 외측 근처 부분에 배치되어 있다. 고정부(31)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 변위를 허용하도록 구성되어 있다.The fixing part 31 is a part fixed to the housing 2 and its movement in the vertical direction Z is restricted. The fixing part 31 is disposed in a portion near the outer side of the tube adapter support mechanism 7 in the left-right direction Y. The fixed portion 31 is configured to allow displacement of the movable portion 32 in the vertical direction Z.

고정부(31)는, 제1 고정 부재(37)와, 제2 고정 부재(38)와, 제3 고정 부재(39)와, 고정 레일(33)을 갖고 있다.The fixing part 31 has a first fixing member 37, a second fixing member 38, a third fixing member 39, and a fixing rail 33.

제1 고정 부재(37)는, 하우징(2)의 대응하는 기둥(11R, 11L)(도 1 참조)에 고정된 부재이다. 이 제1 고정 부재(37)는, 대응하는 기둥(11R, 11L)으로부터 전방으로 연장되어 있고, 예를 들면, 직사각형의 판 형상 부분을 포함하고 있다. 제1 고정 부재(37)에, 제2 고정 부재(38)가 전후 방향(X)의 위치 조정을 가능하게 장착되어 있다.The first fixing member 37 is a member fixed to the corresponding pillars 11R and 11L (see FIG. 1) of the housing 2. This first fixing member 37 extends forward from the corresponding pillars 11R and 11L, and includes, for example, a rectangular plate-shaped portion. The 2nd fixing member 38 is attached to the 1st fixing member 37 so that position adjustment in the front-rear direction X is possible.

제2 고정 부재(38)는, 좌우 방향(Y)에 있어서, 제1 고정 부재(37)의 위치에 대해 튜브(4)의 중심 근처의 위치에 배치되어 있다. 제2 고정 부재(38)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에서 볼 때 L자 형상으로 형성되어 있다. 제2 고정 부재(38)는, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)과 좌우 방향(Y)으로 나열되어 있다. 제2 고정 부재(38)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 가로로 긴 구멍(38a)이 형성되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(38a)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제2 고정 부재(38)의 외측 부분에 배치되어 있고, 전후 방향(X)으로 연장되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(38a)에는, 고정 볼트(40)가 통과되고 있다. 각 고정 볼트(40)는, 제1 고정 부재(37)에 형성된 나사 구멍(도시하지 않음)에 나사 결합하고 있고, 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 체결하고 있다. 고정 볼트(40)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 가로로 긴 구멍(38a)의 위치를 변경함으로써, 제1 고정 부재(37)(튜브(4))에 대한 제2 고정 부재(38)의 전후 위치를 조정할 수 있다. 또한, 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 대해 전후 방향(X)의 위치를 조정 가능하며 또한 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다. 제2 고정 부재(38) 중, 전후 방향(X)과 직교하는 직사각형 판 형상으로 형성된 부분에, 제3 고정 부재(39)가 좌우 방향(Y)의 위치 조정을 가능하게 장착되어 있다.The second fixing member 38 is disposed at a position near the center of the tube 4 with respect to the position of the first fixing member 37 in the left-right direction Y. The second fixing member 38 is formed in an L-shape when viewed from the vertical direction Z in the present embodiment. The 2nd fixing member 38 is arranged in the outer cylinder 20 of the tube adapter 6 and the left-right direction (Y). In the second fixing member 38, a plurality of horizontally elongated holes 38a arranged in the vertical direction Z are formed. Each of the elongated holes 38a is disposed at an outer portion of the second fixing member 38 in the left-right direction Y, and extends in the front-rear direction X. A fixing bolt 40 is passed through each of the elongated holes 38a. Each of the fixing bolts 40 is screwed into a screw hole (not shown) formed in the first fixing member 37, and the second fixing member 38 is fastened to the first fixing member 37. When the fixing bolt 40 is loose, the position of the second fixing member 38 relative to the first fixing member 37 (tube 4) is changed by changing the position of the horizontally long hole 38a. Can be adjusted. In addition, the position of the second fixing member 38 in the front-rear direction X with respect to the first fixing member 37 can be adjusted, and the second fixing member 38 can be fixed to the first fixing member 37 If so, it is not limited to the above-described configuration. The third fixing member 39 is attached to a portion of the second fixing member 38 formed in a rectangular plate shape orthogonal to the front-rear direction X so that the position of the left-right direction Y can be adjusted.

제3 고정 부재(39)는, 좌우 방향(Y)에 있어서, 제2 고정 부재(38)의 위치에 대해 튜브(4)의 중심 근처의 위치에 배치되어 있다. 제3 고정 부재(39)는, 본 실시형태에서는, 상하로 가늘고 긴 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있고, 제3 고정 부재(39)의 두께 방향이 전후 방향(X)이 되도록 배치되어 있다. 제3 고정 부재(39)는, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)과 좌우 방향(Y)으로 나열되어 있다. 제3 고정 부재(39)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 가로로 긴 구멍(39a)이 형성되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(39a)은, 좌우 방향(Y)으로 연장되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(39a)에는, 고정 볼트(41)가 통과되고 있다.The third fixing member 39 is disposed at a position near the center of the tube 4 with respect to the position of the second fixing member 38 in the left-right direction Y. In this embodiment, the 3rd fixing member 39 is formed in the shape of a rectangular plate which is elongated vertically, and is arrange|positioned so that the thickness direction of the 3rd fixing member 39 may become the front-rear direction (X). The 3rd fixing member 39 is lined up with the outer cylinder 20 of the tube adapter 6 and the left-right direction (Y). In the third fixing member 39, a plurality of horizontally elongated holes 39a arranged in the vertical direction Z are formed. Each of the elongated holes 39a extends in the left-right direction Y. A fixing bolt 41 is passed through each of the elongated holes 39a.

각 고정 볼트(41)는, 제2 고정 부재(38)에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하고 있고, 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 체결하고 있다. 고정 볼트(41)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 고정 볼트(41)에 대한 가로로 긴 구멍(39a)의 위치를 변경함으로써, 제2 고정 부재(38)(튜브(4))에 대한 제3 고정 부재(39)의 좌우 위치를 조정할 수 있다. 또한, 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 대해 좌우 방향(Y)의 위치를 조정 가능하며 또한 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다.Each of the fixing bolts 41 is screwed into a screw hole formed in the second fixing member 38, and the third fixing member 39 is fastened to the second fixing member 38. When the fixing bolt 41 is loose, by changing the position of the horizontally long hole 39a with respect to the fixing bolt 41, the third fixing member with respect to the second fixing member 38 (tube 4) (39) left and right position can be adjusted. In addition, the position of the third fixing member 39 in the left and right direction (Y) with respect to the second fixing member 38 can be adjusted, and the third fixing member 39 can be fixed to the second fixing member 38 If so, it is not limited to the above-described configuration.

상술한 구성에 의해, 제3 고정 부재(39) 및 고정 레일(33)은, 고정 볼트(40, 41)를 느슨하게 한 상태에서, 튜브(4)에 대한 전후 방향(X)의 위치 및 좌우 방향(Y)의 위치를 변경할 수 있다.With the above-described configuration, the third fixing member 39 and the fixing rail 33 are positioned in the front-rear direction X with respect to the tube 4 and the left and right directions in a state in which the fixing bolts 40 and 41 are loosened. You can change the position of (Y).

제3 고정 부재(39)에는, 스토퍼 브래킷(42)이 고정되어 있다. 스토퍼 브래킷(42)은, 하나의 제3 고정 부재(39)에 있어서 상하 방향(Z)으로 나열되어 예를 들면 2개소에 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 제3 고정 부재(39)로부터 전방으로 연장되어 있다. 각 스토퍼 브래킷(42)에는, 스토퍼(43)가 고정되어 있다. 스토퍼(43)는, 예를 들면, 볼트를 이용하여 형성되어 있다. 스토퍼(43)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 가동량의 최대치를 규정하기 위해 설치되어 있다. 스토퍼(43)는, 스토퍼 브래킷(42)에 형성된 관통 구멍을 관통하고 있고, 당해 스토퍼(43)에 장착된 한 쌍의 고정 너트(44)를 이용하여 스토퍼 브래킷(42)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 좌우 방향(Y)에 있어서의 스토퍼(43)의 머리부의 위치를 조정 가능하다. 본 실시형태에서는, 스토퍼(43)의 선단에 설치된 머리부가, 가동부(32)의 후술하는 스토퍼 받침부(46e)에 접촉 가능하게 배치된다. 제3 고정 부재(39)에는, 고정 레일(33)이 고정되어 있다.A stopper bracket 42 is fixed to the third fixing member 39. The stopper bracket 42 is arranged in the vertical direction (Z) in one third fixing member 39, and is arranged at, for example, two places, and in this embodiment, it is front from the third fixing member 39. Has been extended. A stopper 43 is fixed to each stopper bracket 42. The stopper 43 is formed using, for example, a bolt. The stopper 43 is provided in order to prescribe the maximum value of the movable amount of the movable part 32 in the vertical direction Z. The stopper 43 passes through the through hole formed in the stopper bracket 42 and is fixed to the stopper bracket 42 using a pair of fixing nuts 44 attached to the stopper 43. With this configuration, the position of the head of the stopper 43 in the left-right direction Y can be adjusted. In this embodiment, the head provided at the distal end of the stopper 43 is disposed so as to be able to contact with the stopper receiving portion 46e described later of the movable portion 32. The fixing rail 33 is fixed to the 3rd fixing member 39.

고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)으로 곧게 연장되는 부재이다. 고정 레일(33)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제3 고정 부재(39)의 내측 부분에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있다. 고정 레일(33)은, 제3 고정 부재(39)의 앞면에 설치되어 있다. 고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)에서 볼 때 잘록한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 고정 레일(33)은, 전후 방향(X)의 중간부의 폭(좌우 방향(Y)의 폭)이, 전단부의 폭보다 좁고, 또한, 후단부의 폭보다 좁은 형상으로 형성되어 있다. 이 고정 레일(33)에 의해, 슬라이더(34)를 포함하는 가동부(32)가 상하 방향(Z)의 변위를 안내받는다.The fixed rail 33 is a member extending straight in the vertical direction (Z). The fixing rail 33 is disposed in the inner portion of the third fixing member 39 in the left-right direction Y. In this embodiment, the fixed rail 33 extends in the vertical direction Z. The fixing rail 33 is provided on the front surface of the third fixing member 39. The fixed rail 33 is formed in a constricted shape when viewed in the vertical direction (Z). That is, the fixed rail 33 is formed in a shape in which the width of the intermediate portion in the front-rear direction X (the width in the left-right direction Y) is narrower than the width of the front end and is narrower than the width of the rear end. By this fixed rail 33, the movable part 32 including the slider 34 is guided by the displacement in the vertical direction Z.

가동부(32)는, 튜브 어댑터(6)에 고정되어 있는 부분이며, 튜브 어댑터(6)와 상하 방향(Z)으로 일체적으로 이동 가능하다. 가동부(32)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 내측 근처 부분에 배치되어 있다. 가동부(32)는, 튜브 어댑터(6)와 일체적으로 상하 방향(Z)으로 변위한다.The movable part 32 is a part fixed to the tube adapter 6, and can move integrally with the tube adapter 6 in the vertical direction (Z). The movable portion 32 is disposed in a portion near the inner side of the tube adapter support mechanism 7 in the left-right direction Y. The movable part 32 is displaced in the vertical direction Z integrally with the tube adapter 6.

가동부(32)는, 제1 가동 부재(45)와, 제2 가동 부재(46)와, 슬라이더(34)를 갖고 있다.The movable portion 32 includes a first movable member 45, a second movable member 46, and a slider 34.

제1 가동 부재(45)는, 튜브 어댑터(6)에 직접 고정되어 있는 부분이다. 제1 가동 부재(45)는, 대략 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있고, 제1 가동 부재(45)의 두께 방향이 전후 방향(X)을 따르고 있다. 제1 가동 부재(45) 중, 좌우 방향(Y)의 내측 단면은, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)의 외주면 형상을 따르는 원호 형상으로 형성되어 있고, 외통(20)의 외주면에 용접 등에 의해 고정되어 외통(20)과 일체화하고 있다. 또한, 제1 가동 부재(45)와 외통(20)은, 서로의 상대 위치 조정을 가능하게 연결되어 있어도 된다. 제1 가동 부재(45)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 세로로 긴 구멍(45a)이 형성되어 있다.The first movable member 45 is a portion that is directly fixed to the tube adapter 6. The first movable member 45 is formed in a substantially rectangular plate shape, and the thickness direction of the first movable member 45 is along the front-rear direction X. Among the first movable members 45, the inner cross section in the left and right direction (Y) is formed in an arc shape along the outer circumferential shape of the outer cylinder 20 of the tube adapter 6, and is welded to the outer circumferential surface of the outer cylinder 20. It is fixed by and is integrated with the outer cylinder 20. Moreover, the 1st movable member 45 and the outer cylinder 20 may be connected so that the relative position adjustment of each other is possible. The first movable member 45 is formed with a plurality of vertically elongated holes 45a arranged in the vertical direction (Z).

각 세로로 긴 구멍(45a)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제1 가동 부재(45)의 외측 부분에 배치되어 있고, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있다. 각 세로로 긴 구멍(45a)에는, 고정 볼트(47)가 통과되고 있다. 각 고정 볼트(47)는, 제2 가동 부재(46)에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하고 있고, 제2 가동 부재(46)를 제1 가동 부재(45)에 체결하고 있다. 고정 볼트(47)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 고정 볼트(47)에 대한 세로로 긴 구멍(45a)의 위치를 변경함으로써, 제1 가동 부재(45)에 대한 제2 가동 부재(46)의 상하 방향(Z)의 위치를 조정할 수 있다. 상술한 바와 같이, 가로로 긴 구멍(38a, 39a)과 세로로 긴 구멍(45a)이 형성되어 있음으로써, 하우징(2)에 대한 전후 방향(X), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 3차원의 위치 조정이 가능하다. 예를 들면, 튜브 어댑터(6)가 후술하는 탄성 부재(51)로 지지되며 또한 외력을 받지 않는 무부하 상태에 있어서, 가로로 긴 구멍(38a, 39a)의 위치와 세로로 긴 구멍(45a)의 위치를 조정함으로써, 튜브 어댑터(6)의 위치 조정이 가능하다. 이 위치 조정하는데 튜브 어댑터(6)에 가할 필요가 있는 힘은, 수kg 정도로 족하다.Each of the vertically elongated holes 45a is disposed on an outer portion of the first movable member 45 in the left-right direction Y, and extends in the vertical direction Z. A fixing bolt 47 is passed through each of the vertically elongated holes 45a. Each of the fixing bolts 47 is screwed into a screw hole formed in the second movable member 46, and fastens the second movable member 46 to the first movable member 45. When the fixing bolt 47 is loose, by changing the position of the vertically elongated hole 45a with respect to the fixing bolt 47, the vertical direction of the second movable member 46 with respect to the first movable member 45 The position of (Z) can be adjusted. As described above, since the horizontally elongated holes 38a and 39a and the vertically elongated holes 45a are formed, the front-rear direction (X), the left-right direction (Y), and the vertical direction of the housing 2 are formed. The three-dimensional position adjustment of the tube adapter 6 to (Z) is possible. For example, when the tube adapter 6 is supported by the elastic member 51 described later and is not subjected to external force, the position of the horizontally long holes 38a and 39a and the vertically long holes 45a are By adjusting the position, the position of the tube adapter 6 can be adjusted. The force that needs to be applied to the tube adapter 6 to adjust this position is sufficient.

또한, 제2 가동 부재(46)를 제1 가동 부재(45)에 대해 상하 방향(Z)의 위치를 조정 가능하며 또한 제2 가동 부재(46)을 제1 가동 부재(45)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다.In addition, the position of the second movable member 46 in the vertical direction (Z) with respect to the first movable member 45 can be adjusted, and the second movable member 46 can be fixed to the first movable member 45 If so, it is not limited to the above-described configuration.

제2 가동 부재(46)는, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)를 유지하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 가동 부재(46)는, 상하 방향(Z)으로 가늘고 길게 연장되어 있다. 제2 가동 부재(46)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에서 볼 때 크랭크 형상으로 형성되어 있고, 전후 방향(X)과 직교하여 연장되는 후부(46a)와, 좌우 방향(Y)과 직교하여 연장되는 중간부(46b)와, 전후 방향(X)과 직교하여 연장되는 전부(46c)를 갖고 있다.The second movable member 46 is provided as a portion for holding the slider 34 of the linear guide 35. The second movable member 46 is elongated and elongated in the vertical direction (Z). In the present embodiment, the second movable member 46 is formed in a crank shape when viewed in the vertical direction Z, and a rear portion 46a extending orthogonal to the front-rear direction X, and the left-right direction Y And an intermediate portion 46b extending orthogonal to each other, and a front portion 46c extending orthogonal to the front-rear direction X.

후부(46a)에는, 상술한 고정 볼트(47)가 나사 결합하는 부분이다. 이 후부(46a)에 제1 가동 부재(45)가 고정되어 있다. 후부(46a)는, 제1 가동 부재(45)의 후방에 배치되어 있다. 중간부(46b)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 리니어 가이드(35)의 측방에 배치되어 있다. 전부(46c)에는, 스토퍼 받침부(46d, 46e)가 형성되어 있다. 스토퍼 받침부(46d, 46e)는, 각각, 전부(46c)의 일부를 잘라내도록 하여 형성된 부분이다. 보다 구체적으로는, 판 형상의 전부(46c) 중, 좌우 방향(Y)의 외측 부분이며 또한 스토퍼(43)에 인접하는 개소에, 좌우 방향(Y)의 내측을 향한 오목부를 형성함으로써, 스토퍼 받침부(46d, 46e)가 형성되어 있다. 스토퍼 받침부(46d)의 상단부 및 하단부와, 스토퍼 받침부(46e)의 상단부는, 스토퍼(43)에 대한 상하 방향(Z)의 변위량이 일정치에 도달하면, 스토퍼(43)의 머리부에 접촉한다. 이로 인해, 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 고정부(31)에 대해 상하 방향(Z)으로 과도하게 변위하는 것을 방지할 수 있다. 전부(46c)의 후단부에, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)가 고정되어 있다.To the rear part 46a, the above-described fixing bolt 47 is a part to which the fixing bolt 47 is screwed. The 1st movable member 45 is fixed to this rear part 46a. The rear portion 46a is disposed behind the first movable member 45. The intermediate portion 46b is disposed on the side of the linear guide 35 in the left-right direction Y. Stopper receiving portions 46d and 46e are formed in the front part 46c. The stopper receiving portions 46d and 46e are portions formed by cutting out a part of the front portion 46c, respectively. More specifically, by forming a concave portion toward the inside of the left and right direction (Y) in a portion outside the left and right direction (Y) and adjacent to the stopper 43 of the plate-shaped front portion 46c, the stopper support Parts 46d and 46e are formed. The upper and lower ends of the stopper support portion 46d and the upper end of the stopper support portion 46e, when the displacement amount in the vertical direction Z with respect to the stopper 43 reaches a certain value, the head of the stopper 43 Contact. For this reason, it is possible to prevent the movable part 32 and the tube adapter 6 from being excessively displaced in the vertical direction Z with respect to the fixed part 31. The slider 34 of the linear guide 35 is fixed to the rear end of the front part 46c.

슬라이더(34)는, 고정 레일(33)과 협동하여 리니어 가이드(35)를 형성하고 있다. 슬라이더(34)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)으로 이격하여 2개 설치되어 있다. 또한, 슬라이더(34)의 수는 한정되지 않는다.The slider 34 forms a linear guide 35 in cooperation with the fixed rail 33. In this embodiment, two sliders 34 are provided, spaced apart in the vertical direction Z. In addition, the number of sliders 34 is not limited.

상하 방향(Z)에서 볼 때, 슬라이더(34)는, 고정 레일(33)의 형상에 대응한 형상을 갖고 있고, 잘록한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 슬라이더(34)의 홈에 있어서, 전후 방향(X)의 중간부의 폭(좌우 방향(Y)의 폭)이, 전단부의 폭보다 좁고, 또한, 후단부의 폭보다 좁은 형상으로 형성되어 있다. 슬라이더(34)는 고정 레일(33)에 상하 방향(Z)으로 상대 이동 가능하게 끼워져 있다.When viewed in the vertical direction Z, the slider 34 has a shape corresponding to the shape of the fixed rail 33 and is formed in a constricted shape. That is, in the groove of the slider 34, the width of the intermediate portion in the front-rear direction X (the width in the left-right direction Y) is narrower than the width of the front end and is formed in a shape narrower than the width of the rear end. The slider 34 is fitted to the fixed rail 33 so as to be able to move relative to the vertical direction (Z).

제1 하중 받침부(36)는, 튜브 어댑터(6) 및 가동부(32)의 자중을 포함하는 하중을 받기 위해 설치되어 있다. 제1 하중 받침부(36)는, 탄성 지지 기구며, 튜브 어댑터(6) 및 가동부(32)를 상하 방향(Z)으로 이동 가능한 상태로 상기 하중을 받는다. 제1 하중 받침부(36)는, 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 하부에 배치되어 있다.The first load receiving portion 36 is provided to receive a load including the weight of the tube adapter 6 and the movable portion 32. The first load receiving portion 36 is an elastic support mechanism and receives the load in a state in which the tube adapter 6 and the movable portion 32 can be moved in the vertical direction (Z). The 1st load receiving part 36 is arrange|positioned in the lower part of the tube adapter support mechanism 7 in this embodiment.

제1 하중 받침부(36)는, 축부재(48)와, 축부재(48)에 장착된 한 쌍의 받침부재(49, 50)와, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 사이에 끼워진 탄성 부재(51)를 갖고 있다.The first load bearing part 36 is sandwiched between the shaft member 48, a pair of support members 49 and 50 mounted on the shaft member 48, and a pair of support members 49 and 50. It has an elastic member 51.

축부재(48)는, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있고, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 및 탄성 부재(51)가 감합(嵌合)하고 있다. 축부재(48)는, 예를 들면 머리부가 있는 볼트 또는 스터드 볼트 등의 볼트를 이용하여 형성된 수나사 부재이다. 축부재(48)는, 제2 가동 부재(46)의 중간부(46b)에 형성된 암나사부(46f)에 나사 결합되어 있다. 또, 축부재(48) 중 암나사부(46f)에 인접한 개소이며 또한 제2 가동 부재(46)의 하방 위치에, 락너트(52)가 나사 결합하고 있다. 락너트(52)가 설치되어 있음으로써, 축부재(48)가 제2 가동 부재(46)에 대해 느슨해지는 것이 억제되고 있다. 이 구성에 의해, 축부재(48)와 가동부(32)는 상하 방향(Z)으로 일체적으로 변위한다. 축부재(48) 중, 락너트(52)의 하방에, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 및 탄성 부재(51)가 배치되어 있다.The shaft member 48 extends in the vertical direction Z, and a pair of support members 49 and 50 and the elastic member 51 are fitted. The shaft member 48 is, for example, a male screw member formed using bolts such as a head bolt or a stud bolt. The shaft member 48 is screwed to a female threaded portion 46f formed in the intermediate portion 46b of the second movable member 46. In addition, a lock nut 52 is screwed at a position of the shaft member 48 adjacent to the female threaded portion 46f and at a position below the second movable member 46. Since the lock nut 52 is provided, it is suppressed that the shaft member 48 becomes loose with respect to the second movable member 46. With this configuration, the shaft member 48 and the movable portion 32 are integrally displaced in the vertical direction (Z). Among the shaft members 48, a pair of support members 49 and 50 and an elastic member 51 are disposed below the lock nut 52.

한 쌍의 받침부재(49, 50)는, 협동하여 탄성 부재(51)를 상하 방향(Z)으로 사이에 끼우고 있고, 탄성 부재(51)의 탄성 반발력을 고정부(31)와 가동부(32)에 전달한다. 각 받침부재(49, 50)는, 본 실시형태에서는, 중앙에 관통 구멍이 형성된 원판 형상으로 형성되어 있다. 각 받침부재(49, 50)의 관통 구멍에 축부재(48)가 간극을 두고 통과되고 있다. 상측의 받침부재(49)의 상방에는, 더블 너트로 이루어진 스토퍼(53)가 배치되어 있다. 이 스토퍼(53)는, 축부재(48)에 나사 결합하고 있음과 더불어, 상측의 받침부재(49)를 상방에서 받치고 있다. 이로 인해, 상측의 받침부재(49)는, 축부재(48)에 대한 상방으로의 이동이 규제되고 있다. 하측의 받침부재(50)는, 고정부(31)의 제3 고정 부재(39)에 받쳐지고 있다. 구체적으로는, 제3 고정 부재(39)의 하단부에는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제3 고정 부재(39)의 내측 단부의 하단부에, 볼록 형상의 받침부(39b)가 형성되어 있다. 이 받침부(39b)에 하측의 받침부재(50)가 배치되어 있고, 받침부(39b)가 하측의 받침부재(50)를 하방에서 받치고 있다.The pair of support members 49 and 50 cooperate to sandwich the elastic member 51 in the vertical direction (Z), and the elastic repulsive force of the elastic member 51 is applied to the fixing part 31 and the movable part 32. ). Each of the receiving members 49 and 50 is formed in a disk shape with a through hole formed at the center in the present embodiment. The shaft member 48 is passed through the through hole of each of the support members 49 and 50 with a gap. A stopper 53 made of a double nut is disposed above the upper support member 49. This stopper 53 is screwed to the shaft member 48 and supports the upper support member 49 from above. For this reason, the upward movement of the upper support member 49 relative to the shaft member 48 is restricted. The lower support member 50 is supported by the third fixing member 39 of the fixing part 31. Specifically, at the lower end of the third fixing member 39, a convex support portion 39b is formed at the lower end of the inner end of the third fixing member 39 in the left-right direction Y. The lower support member 50 is arranged in this support part 39b, and the support part 39b supports the lower support member 50 from below.

탄성 부재(51)는, 본 실시형태에서는, 코일 스프링이다. 탄성 부재(51)는, 가동부(32)로부터 축부재(48) 및 상측의 받침부재(49)를 통해 전달된 하중을, 하측의 받침부재(50)를 통해 고정부(31)의 제3 고정 부재(39)에 전달한다The elastic member 51 is a coil spring in this embodiment. The elastic member 51 is a third fixation of the fixing part 31 through the support member 50 on the lower side of the load transmitted from the movable part 32 through the shaft member 48 and the upper support member 49 I send it to the member 39

제3 고정 부재(39)에는, 받침부(39b)의 하방에 관통 구멍이 형성되어 있고, 이 관통 구멍에 축부재(48)가 통과되고 있다. 축부재(48)의 하부에는, 너트로 이루어진 스토퍼(54)와 나사 결합하고 있다. 스토퍼(54)는, 이른바 더블 너트이며, 서로 체결됨으로써 축부재(48)에 고정되어 있다. 튜브(4)의 중심 축선이 수평일 때, 상측의 스토퍼(54)와 제3 고정 부재(39) 사이에는, 간극(SP)이 형성되어 있다. 이 간극(SP)은, 고정부(31)에 대해 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 상측으로 변위할 수 있는 가동량에 상당한다. 튜브(4)의 중심 축선이 수평인 상태에서 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 상기 간극(SP) 만큼 상방으로 변위하면, 스토퍼(54)가 제3 고정 부재(39)의 하단부에 접촉하여, 축부재(48), 가동부(32), 및, 튜브 어댑터(6)가 그 이상 상방으로 변위하는 동작을 규제한다.In the third fixing member 39, a through hole is formed below the receiving portion 39b, and the shaft member 48 passes through the through hole. The lower portion of the shaft member 48 is screwed with a stopper 54 made of a nut. The stopper 54 is a so-called double nut, and is fixed to the shaft member 48 by being fastened to each other. When the central axis of the tube 4 is horizontal, a gap SP is formed between the upper stopper 54 and the third fixing member 39. This gap SP corresponds to the amount of movement that the movable part 32 and the tube adapter 6 can be displaced upward with respect to the fixed part 31. When the movable part 32 and the tube adapter 6 are displaced upward by the gap SP while the central axis of the tube 4 is horizontal, the stopper 54 contacts the lower end of the third fixing member 39. Thus, the operation in which the shaft member 48, the movable portion 32, and the tube adapter 6 are further displaced upward is regulated.

이상 설명한 바와 같이, 튜브 어댑터(6)가 상하 방향(Z)으로 변위하면, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)가 고정 레일(33)에 대해 상하 방향(Z)으로 슬라이딩한다. 이 때, 튜브 어댑터(6)의 하중은, 제1 하중 받침부(36)의 탄성 부재(51)에 의해 상시 받아지고 있으므로, 튜브 어댑터(6)의 부드러운 상하 변위가 가능하다.As described above, when the tube adapter 6 is displaced in the vertical direction Z, the slider 34 of the linear guide 35 slides with respect to the fixed rail 33 in the vertical direction Z. At this time, since the load of the tube adapter 6 is always received by the elastic member 51 of the first load receiving portion 36, smooth vertical displacement of the tube adapter 6 is possible.

이상이, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 구성이다.The above is the configuration of the tube adapter holding mechanism 7.

도 2 및 도 7~도 9를 참조하여, 다음으로, 도어 지지 기구(9)의 구성을 설명한다.Next, the configuration of the door support mechanism 9 will be described with reference to FIGS. 2 and 7 to 9.

도어 지지 기구(9)는, 하우징(2)에 장착되어 있고, 튜브 어댑터(6) 및 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 전방에 배치되어 있다. 도어 지지 기구(9)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))에 대해 도어(8)를 개폐 가능하게 지지하고 있고, 튜브(4)의 개구부(4a) 및 튜브 어댑터(6)의 상하 방향(Z)으로의 변위에 연동하여 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 또, 본 실시형태에서는, 도어 지지 기구(9)는, 도어(8)의 경사 동작을 허용하고 있다.The door support mechanism 9 is attached to the housing 2 and is disposed in front of the tube adapter 6 and the tube adapter support mechanism 7. The door support mechanism 9 supports the door 8 with respect to the opening 6a of the tube adapter 6 (the opening 4a of the tube 4) so that the door 8 can be opened and closed, and the opening of the tube 4 ( 4a) and the displacement of the tube adapter 6 in the vertical direction Z, the door 8 is supported so as to be displaceable in the vertical direction Z. In addition, in this embodiment, the door support mechanism 9 allows the tilting motion of the door 8.

도어 지지 기구(9)는, 도어(8)를 지지하기 위해 도어(8)에 연결된 제1 지지 부재(61)와, 제1 지지 부재(61)를 지지하는 제2 지지 부재(62)와, 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달하는 제2 하중 받침부(64)와, 제2 지지 부재(62)를 지지하고 제2 지지 부재(62) 및 제1 지지 부재(61)를 통해 도어(8)에 연결되어 도어(8)를 개폐시키기 위한 도어 개폐 기구(65)와, 도어(8)에 관한 설정을 행하기 위한 설정부(66)를 갖고 있다.The door support mechanism 9 includes a first support member 61 connected to the door 8 to support the door 8, a second support member 62 that supports the first support member 61, The second load receiving portion 64 that transmits the load from the first support member 61 to the second support member 62, and the second support member 62, and the second support member 62 and the second support member 62 1 It is connected to the door 8 through the support member 61 and has a door opening/closing mechanism 65 for opening and closing the door 8, and a setting unit 66 for setting the door 8 .

제1 지지 부재(61)는, 본 실시형태에서는, 도어(8)의 전방이며 또한 도어(8)의 상부 측에 배치되어 상하 방향(Z)으로 연장되는 축형상부이다. 제1 지지 부재(61)는, 본 실시형태에서는, 스터드 볼트를 이용하여 형성되어 있고, 수나사부(61a)를 갖고 있다. 제1 지지 부재(61)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 도어(8)의 중심에 배치되어 있다. 제1 지지 부재(61)는, 금속제로 10mm~수십mm 정도의 직경을 갖고 있고, 도어(8)의 자중을 지탱하는 것이 가능한 강도를 갖고 있다. 제1 지지 부재(61)의 하부는 도어(8)의 전방에 위치하고 있고, 제1 지지 부재(61)의 상부는 도어(8)의 상방에 위치하고 있다. 제1 지지 부재(61)의 하단부는, 이음으로서의 구면 이음(67)을 통해 도어(8)에 연결되어 있다.In the present embodiment, the first support member 61 is an axial portion that is in front of the door 8 and is disposed on the upper side of the door 8 and extends in the vertical direction Z. The 1st support member 61 is formed using a stud bolt in this embodiment, and has a male screw part 61a. The 1st support member 61 is arrange|positioned in the center of the door 8 in the left-right direction (Y). The first support member 61 is made of metal, has a diameter of about 10 mm to several tens of mm, and has strength capable of supporting the self-weight of the door 8. The lower portion of the first support member 61 is positioned in front of the door 8, and the upper portion of the first support member 61 is positioned above the door 8. The lower end of the first support member 61 is connected to the door 8 through a spherical joint 67 as a joint.

구면 이음(67)은, 제1 지지 부재(61)에 장착된 제1 부재(68)와, 도어(8)에 장착된 제2 부재(69)를 갖고 있다.The spherical joint 67 has a first member 68 attached to the first support member 61 and a second member 69 attached to the door 8.

구면 이음(67)의 제1 부재(68)는, 본 실시형태에서는, 베어링 부분이며, 제2 부재(69)에 설치된 구형상부(70)를 받치는 구체 받침부(71)와, 구체 받침부(71)로부터 상방으로 연장되어 제1 지지 부재(61)의 하단의 수나사부(61a)에 나사 결합하는 암나사축(72)을 갖고 있다. 구체 받침부(71)는, 구형상부(70)와 미끄럼 접촉하는 내주면을 포함하고 있다. 제1 부재(68)는, 제1 지지 부재(61)와 나사 결합함으로써, 제1 지지 부재(61)와 일체적으로 이동한다.The first member 68 of the spherical joint 67 is, in the present embodiment, a bearing part, and a spherical support portion 71 for supporting the spherical portion 70 provided in the second member 69, and a spherical support portion ( It has a female screw shaft 72 extending upward from the first support member 61 and screwed to the male screw portion 61a at the lower end of the first support member 61. The spherical support portion 71 includes an inner peripheral surface that slides with the spherical portion 70. The first member 68 moves integrally with the first support member 61 by screwing with the first support member 61.

구면 이음(67)의 제2 부재(69)는, 본 실시형태에서는, 축부분이며, 구형상부(70)와, 구형상부(70)로부터 예를 들면 후방으로 연장되는 수나사축(73)으로서, 도어(8)의 앞면에 고정된 브래킷(8a)에 형성된 암나사부(도시하지 않음)에 나사 결합하는 수나사축(73)을 갖고 있다. 제2 부재(69)는, 브래킷(8a) 및 도어(8)와 일체적으로 이동한다. 상기와 같이, 도어(8)와 제1 지지 부재(61)가 구면 이음(67)을 이용하여 연결되어 있음으로써, 도어(8)는, 상하 방향(Z)과 직교하는 좌우 방향(Y)으로 연장되는 축선(L1) 둘레로 변위 가능하게 제1 지지 부재(61)에 연결되어 있다. 이 구성에 의해, 도어(8)를 닫았을 때에 도어(8)의 외주부와 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a) 사이에 간극이 생기는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재(61)에 구형상부(70)를 형성함과 더불어, 도어(8)의 브래킷(8a)에 이 구형상부(70)를 받치는 베어링부를 설치해도 된다.The second member 69 of the spherical joint 67 is a shaft portion in the present embodiment, and is a spherical portion 70 and a male screw shaft 73 extending backward, for example, from the spherical portion 70, It has a male screw shaft 73 that is screwed to a female screw portion (not shown) formed on a bracket 8a fixed to the front surface of the door 8. The second member 69 moves integrally with the bracket 8a and the door 8. As described above, since the door 8 and the first support member 61 are connected using the spherical joint 67, the door 8 is in a horizontal direction (Y) orthogonal to the vertical direction (Z). It is connected to the first support member 61 so as to be displaceable around the extending axis L1. With this configuration, it is possible to more reliably suppress the occurrence of a gap between the outer peripheral portion of the door 8 and the opening 6a of the tube adapter 6 when the door 8 is closed. Further, in addition to forming the spherical portion 70 on the first support member 61, a bearing portion for supporting the spherical portion 70 may be provided on the bracket 8a of the door 8.

상술한 구성을 갖는 구면 이음(67)이 하단에 설치된 제1 지지 부재(61)를 둘러싸도록 하여, 제2 지지 부재(62)가 배치되어 있다.The second support member 62 is disposed so that the spherical joint 67 having the above-described configuration surrounds the first support member 61 provided at the lower end.

제2 지지 부재(62)는, 상술한 바와 같이, 제1 지지 부재(61)를 지지하는 부재이며, 제1 지지 부재(61)와는 전후 방향(X) 및 좌우 방향(Y)으로 일체적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 지지 부재(62)는, 도어(8)의 전방에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 지지 부재(62)는, 수mm 정도 두께의 금속판을 복수 조합하여 형성되어 있다. 이로 인해, 제2 지지 부재(62)는, 도어(8) 등의 하중을 지탱하는 것이 가능한 강도를 갖고 있다.As described above, the second support member 62 is a member that supports the first support member 61, and is integrally with the first support member 61 in the front-rear direction (X) and the left-right direction (Y). It is configured to be movable. In this embodiment, the second support member 62 is disposed in front of the door 8. In this embodiment, the second support member 62 is formed by combining a plurality of metal plates having a thickness of about several mm. For this reason, the 2nd support member 62 has the strength which can support the load, such as the door 8.

제2 지지 부재(62)는, 좌우 한 쌍의 기둥(74R, 74L)과, 상하 한 쌍의 빔으로서의 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)을 갖고 있다.The second support member 62 has a pair of left and right pillars 74R and 74L, and an upper beam 75 and a lower beam 76 as a pair of upper and lower beams.

기둥(74R, 74L)은, 도어 개폐 기구(65)에 지지되는 부분으로서 설치되어 있다. 기둥(74R, 74L)은, 좌우 방향(Y)으로 이격하여 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 기둥(74R, 74L)은, 도어 개폐 기구(65)에 매달아 지지되어 있다. 기둥(74R, 74L)은, 각각, 좌우 방향(Y)을 두께 방향으로 하는 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있다. 기둥(74R, 74L)의 상단부는, 도어(8)의 상방에 배치되어 있고, 도어 지지 기구(9)의 후술하는 전후 슬라이더(111a, 111a)에 고정되어 있다. 각 기둥(74R, 74L)의 상부는, 도어(8)의 상방에 위치하고 있고, 각 기둥(74R, 74L)의 중간부로부터 하단부에 걸친 부분이, 도어(8)의 전방에 위치하고 있다. 각 기둥(74R, 74L)과 도어(8) 사이에는, 도어 누름 탄성 부재(77)가 배치되어 있다.The pillars 74R and 74L are provided as portions supported by the door opening/closing mechanism 65. The pillars 74R and 74L are arranged to be spaced apart in the left-right direction Y. In this embodiment, the pillars 74R and 74L are supported by being suspended from the door opening/closing mechanism 65. Each of the pillars 74R and 74L is formed in a rectangular plate shape with the left-right direction Y as the thickness direction. The upper ends of the pillars 74R and 74L are disposed above the door 8 and are fixed to the front and rear sliders 111a and 111a to be described later of the door support mechanism 9. The upper part of each of the pillars 74R and 74L is positioned above the door 8, and a portion extending from the middle portion to the lower end of each of the pillars 74R and 74L is positioned in front of the door 8. Between each of the pillars 74R and 74L and the door 8, a door pressing elastic member 77 is disposed.

도어 누름 탄성 부재(77)는, 「제2 탄성 부재」의 일례이다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 제2 지지 부재(62)와 도어(8) 사이에서 탄성 변형함으로써 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시킨다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 코일 스프링 등을 이용하여 형성되어 있고, 우측 기둥(74R)과 도어(8) 사이에 배치되어 있음과 더불어, 좌측 기둥(74L)과 도어(8) 사이에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 각 기둥(74R, 74L)에 있어서 상하 방향(Z)으로 이격하여 예를 들면 2개소에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 예를 들면, 상하 방향(Z)에 있어서의 구면 이음(67)의 하방에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 대응하는 기둥(74R, 74L)에 장착되어 있는 것이 바람직하지만, 도어(8)에 장착되어 있어도 된다. 상기 구성에 의해, 도어(8)와 마주 한 정면에서 봤을 때, 도어 누름 탄성 부재(77)는, 좌우 대칭으로 배치되어 있고, 이들 복수의 도어 누름 탄성 부재(77)가 도어(8)를 보다 균등한 하중으로 튜브(4)측에 가압하고 있다. 좌우 한 쌍의 기둥(74R, 74L) 사이에, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)이 배치되어 있다.The door pressing elastic member 77 is an example of a "second elastic member". The door pressurizing elastic member 77 elastically deforms between the second support member 62 and the door 8, thereby making the door 8 open to the opening 6a of the tube adapter 6 (the opening 4a of the tube 4). Generates an elastic repulsive force that presses the )) side. The door pressing elastic member 77 is formed using a coil spring, etc., and is disposed between the right post 74R and the door 8, and is disposed between the left post 74L and the door 8 Has been. The door pressurizing elastic members 77 are arranged at, for example, two places apart from each other in the vertical direction Z in each of the pillars 74R and 74L. The door pressing elastic member 77 is disposed below the spherical joint 67 in the vertical direction Z, for example. The door pressing elastic member 77 is preferably attached to the corresponding pillars 74R and 74L, but may be attached to the door 8. According to the above configuration, when viewed from the front facing the door 8, the door pressing elastic members 77 are arranged symmetrically left and right, and the plurality of door pressing elastic members 77 are more than the door 8. Pressure is applied to the tube (4) side with an equal load. An upper beam 75 and a lower beam 76 are disposed between the pair of left and right pillars 74R and 74L.

상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 제2 하중 받침부(64)의 후술하는 탄성 부재(82)를 지지함과 더불어 제1 지지 부재(61)가 통과되는 부분으로서 설치되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 상하 방향(Z)으로 이격하여 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 기둥(74R, 74L)에 고정되어 있다. 보다 구체적으로는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)의 좌우 양단부가, 각각, 대응하는 기둥(74R, 74L)의 내측면에 고정되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 각각, 상하 방향(Z)을 두께 방향으로 하는 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 도어(8)의 상방에 배치되어 있다. 상부 빔(75)의 상방에는, 설정부(66)의 후술하는 초기 하중 설정부(91)가 배치되는 공간이 형성되어 있다. 또, 상부 빔(75)과 하부 빔(76) 사이에는, 설정부(66)의 후술하는 도어 높이 위치 조정부(92)가 배치되는 공간이 형성되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)에는, 각각, 관통 구멍(75a, 76a)이 형성되어 있다.The upper beam 75 and the lower beam 76 are provided as portions through which the first support member 61 passes while supporting the elastic member 82 to be described later of the second load receiving portion 64. The upper beam 75 and the lower beam 76 are arranged to be spaced apart in the vertical direction (Z). In this embodiment, the upper beam 75 and the lower beam 76 are fixed to the pillars 74R and 74L. More specifically, the left and right ends of the upper beam 75 and the lower beam 76 are fixed to the inner side surfaces of the corresponding pillars 74R and 74L, respectively. The upper beam 75 and the lower beam 76 are each formed in a rectangular plate shape with the vertical direction Z as the thickness direction. In this embodiment, the upper beam 75 and the lower beam 76 are arranged above the door 8. Above the upper beam 75, there is formed a space in which the initial load setting unit 91, which will be described later, of the setting unit 66 is disposed. Further, between the upper beam 75 and the lower beam 76, a space is formed in which the door height position adjusting section 92, which will be described later, of the setting section 66 is arranged. In the upper beam 75 and the lower beam 76, through holes 75a and 76a are formed, respectively.

관통 구멍(75a, 76a)은, 제1 지지 부재(61)가 통과하는 부분으로서 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 관통 구멍(75a, 76a)은, 평면에서 볼 때 빔(75, 76)의 중앙에 형성되어 있다.The through holes 75a and 76a are provided as portions through which the first support member 61 passes. In this embodiment, the through holes 75a and 76a are formed in the center of the beams 75 and 76 in plan view.

상기의 구성을 갖는 제2 지지 부재(62)는, 제2 하중 받침부(64)를 통해 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)로부터의 하중을 받는다. 제2 하중 받침부(64)는, 제2 지지 부재(62)의 기둥(74R, 74L) 사이에 있어서, 상부 빔(75)의 상방에 배치되어 있다.The second support member 62 having the above configuration receives the load from the first support member 61 and the door 8 through the second load receiving portion 64. The second load receiving portion 64 is disposed above the upper beam 75 between the pillars 74R and 74L of the second support member 62.

제2 하중 받침부(64)는, 상부 빔(75)에 올려진 하부 플레이트(81)와, 하부 플레이트(81)에 올려진 좌우 한 쌍의 탄성 부재(82, 82)와, 이들 탄성 부재(82) 상에 설치된 상부 플레이트(83)와, 상부 플레이트(83)와 하부 플레이트(81)를 연결하는 좌우 한 쌍의 연결축(84, 84)과, 상부 플레이트(83)와 제1 지지 부재(61)를 연결하는 너트로서의 상하 한 쌍의 연결 너트(85, 85)와, 상부 플레이트(83)와 연결축(84)을 연결하는 너트로서의 초기 하중 설정 부재(86, 86)를 갖고 있다.The second load receiving portion 64 includes a lower plate 81 mounted on the upper beam 75, a pair of left and right elastic members 82 and 82 mounted on the lower plate 81, and these elastic members ( 82, an upper plate 83 installed on the upper plate 83, a pair of left and right connecting shafts 84 and 84 connecting the upper plate 83 and the lower plate 81, and the upper plate 83 and the first support member ( It has a pair of upper and lower connecting nuts 85 and 85 as nuts connecting 61, and initial load setting members 86 and 86 as nuts connecting the upper plate 83 and the connecting shaft 84.

하부 플레이트(81)는, 상부 빔(75)의 상면에 고정된 직사각형의 판 형상 부재이다. 하부 플레이트(81)에는, 제1 지지 부재(61)가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 하부 플레이트(81) 상에, 탄성 부재(82)가 배치되어 있다.The lower plate 81 is a rectangular plate-shaped member fixed to the upper surface of the upper beam 75. A through hole through which the first support member 61 passes is formed in the lower plate 81. On the lower plate 81, an elastic member 82 is disposed.

탄성 부재(82)는, 「제1 탄성 부재」의 일례이다. 탄성 부재(82)는, 제2 지지 부재(62)에 대해 제1 지지 부재(61)가 상하 방향(Z)으로 이동 가능하도록 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달하는 부재로서 설치되어 있다. 탄성 부재(82)는, 코일 스프링 등을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 탄성 부재(82)는, 제1 지지 부재(61)를 중심으로 좌우 대칭으로 한 쌍 설치되어 있다. 각 탄성 부재(82)의 전장(全長) 및 스프링 상수는, 도어(8)의 자중, 상하 방향(Z)에 있어서의 도어(8)의 가동량을 고려하여 적절히 설정된다. 본 실시형태에서는, 탄성 부재(82)는, 도어(8)가 하방으로 변위하면 줄어드는 한편 도어(8)가 상방으로 변위하면 신장하도록 구성되어 있다. 또한, 하부 플레이트(81)를 생략하고, 탄성 부재(82)를 직접 상부 빔(75)에 올려도 된다.The elastic member 82 is an example of the "first elastic member". The elastic member 82 applies a load from the first support member 61 to the second support member 62 so that the first support member 61 can move in the vertical direction (Z). It is installed as a member to transmit to ). The elastic member 82 is formed using a coil spring or the like. In this embodiment, a pair of elastic members 82 are provided in a symmetrical left-right direction around the first support member 61. The total length and spring constant of each elastic member 82 are appropriately set in consideration of the self weight of the door 8 and the amount of movement of the door 8 in the vertical direction Z. In the present embodiment, the elastic member 82 is configured to shrink when the door 8 is displaced downward, while extending when the door 8 is displaced upward. Further, the lower plate 81 may be omitted, and the elastic member 82 may be directly mounted on the upper beam 75.

상부 플레이트(83)는, 하부 플레이트(81)(상부 빔(75))와 평행하게 배치된 직사각형의 평판 형상 부재이다. 상부 플레이트(83)에는, 제1 지지 부재(61)가 관통하는 관통 구멍과, 좌우 한 쌍의 연결축(84)이 관통하는 좌우 한 쌍의 관통 구멍의 총 3개의 관통 구멍이 형성되어 있다. 상부 플레이트(83)의 하면은, 직접, 또는, 와셔 등의 시트 부재를 개재하여 각 탄성 부재(82)를 받치고 있다.The upper plate 83 is a rectangular flat plate-shaped member arranged parallel to the lower plate 81 (upper beam 75). In the upper plate 83, a total of three through holes are formed: a through hole through which the first support member 61 passes, and a pair of left and right through holes through which the left and right pair of connecting shafts 84 pass. The lower surface of the upper plate 83 supports each elastic member 82 directly or through a sheet member such as a washer.

연결축(84)은, 하부 플레이트(81)에 용접 등에 의해 고정되어 있다. 하부 플레이트(81)가 생략되는 경우, 연결축(84)은, 상부 빔(75)에 직접 고정된다. 본 실시형태에서는, 연결축(84)은, 대응하는 탄성 부재(82)로 둘러싸인 공간을 통과하고 있다. 각 연결축(84)은, 상부 플레이트(83)의 대응하는 관통 구멍을 통과하여 상부 플레이트(83)의 상방으로 연장되어 있다. 또, 제1 지지 부재(61)도, 상부 플레이트(83)의 상방으로까지 연장되어 있다.The connecting shaft 84 is fixed to the lower plate 81 by welding or the like. When the lower plate 81 is omitted, the connecting shaft 84 is directly fixed to the upper beam 75. In this embodiment, the connecting shaft 84 passes through a space surrounded by the corresponding elastic member 82. Each connecting shaft 84 passes through a corresponding through hole of the upper plate 83 and extends upward of the upper plate 83. In addition, the first support member 61 also extends upward of the upper plate 83.

연결 너트(85)는, 상하 한 쌍 설치되어 있고, 상부 플레이트(83)의 상방과 상부 플레이트(83)의 하방에 각각 배치되어 있다. 각 연결 너트(85)는, 제1 지지 부재(61)의 상단에 있어서의 수나사부(61a)에 나사 결합함으로써, 제1 지지 부재(61)와 상부 플레이트(83)를 서로 고정하고 있다. 이로 인해, 제1 지지 부재(61)와 상부 플레이트(83)는 상하 방향(Z)으로 일체적으로 변위한다.The connecting nuts 85 are provided in a pair of upper and lower sides, and are disposed above the upper plate 83 and below the upper plate 83, respectively. Each connecting nut 85 fixes the first support member 61 and the upper plate 83 to each other by screwing into the male screw portion 61a at the upper end of the first support member 61. For this reason, the first support member 61 and the upper plate 83 are integrally displaced in the vertical direction (Z).

초기 하중 설정 부재(86)는, 각 연결축(84)에 설치되어 있다. 초기 하중 설정 부재(86)는, 상부 플레이트(83)의 상방에 있어서, 대응하는 연결축(84)의 상단에 형성된 수나사부(84a)에 나사 결합하고 있다. 이 구성에 의해, 상부 플레이트(83)가 연결축(84)으로부터 빠지는 것이 방지되고 있다. 그리고, 초기 하중 설정 부재(86)는, 스토퍼가 되어 상방으로의 상부 플레이트(83)의 변위를 규제하는 한편, 하방으로의 상부 플레이트(83)의 변위는 허용한다. 제1 지지 부재(61)로부터의 하중은, 상부 플레이트(83) 및 탄성 부재(82)를 통해 제2 지지 부재(62)의 상부 빔(75)에 전달된다. 본 실시형태에서는, 각 초기 하중 설정 부재(86)의 상방에 있어서, 각 연결축(84)에 풀림 방지 너트(87)가 나사 결합되어 있다. 각 풀림 방지 너트(87)는, 대응하는 초기 하중 설정 부재(86)에 체결되어 있다. 이로 인해, 각 초기 하중 설정 부재(86)가 대응하는 연결축(84)에 고정되어 있다.The initial load setting member 86 is provided on each connecting shaft 84. The initial load setting member 86 is screwed to the male screw portion 84a formed at the upper end of the corresponding connecting shaft 84 above the upper plate 83. With this configuration, the upper plate 83 is prevented from coming off the connecting shaft 84. Then, the initial load setting member 86 serves as a stopper and regulates the displacement of the upper plate 83 upward, while allowing the displacement of the upper plate 83 downward. The load from the first support member 61 is transmitted to the upper beam 75 of the second support member 62 through the upper plate 83 and the elastic member 82. In this embodiment, above each initial load setting member 86, the loosening prevention nut 87 is screwed to each connecting shaft 84. Each loosening prevention nut 87 is fastened to a corresponding initial load setting member 86. For this reason, each initial load setting member 86 is fixed to the corresponding connection shaft 84.

본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에 있어서의 도어(8)의 이동량을 일정한 범위로 규제하기 위한 부재로서, 초기 하중 설정 부재(86) 및 스토퍼 너트(88)가 설치되어 있다. 초기 하중 설정 부재(86)는, 제1 지지 부재(61)에 고정된 상부 플레이트(83)를 받침으로써, 상부 플레이트(83), 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)가 상방으로 변위하는 것을 규제한다. 또, 스토퍼 너트(88)는, 상부 플레이트(83)의 하방이며 또한 하부 플레이트(81)의 상방인 위치에 있어서, 제1 지지 부재(61)에 형성된 수나사부(61a)에 나사 결합하고 있다. 스토퍼 너트(88)는, 수나사부(61a)에 나사 결합된 풀림 방지 너트(89)와 체결되어 있음으로써, 제1 지지 부재(61)에 고정되어 있다. 스토퍼 너트(88)는, 상부 빔(75)에 받쳐짐으로써, 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)가 하방으로 변위하는 것을 규제한다.In this embodiment, an initial load setting member 86 and a stopper nut 88 are provided as members for restricting the movement amount of the door 8 in the vertical direction Z to a certain range. The initial load setting member 86 supports the upper plate 83 fixed to the first support member 61, so that the upper plate 83, the first support member 61, and the door 8 are displaced upward. Regulate what you do. Further, the stopper nut 88 is screwed to the male screw portion 61a formed on the first support member 61 at a position below the upper plate 83 and above the lower plate 81. The stopper nut 88 is fixed to the first support member 61 by being fastened with a loosening prevention nut 89 screwed to the male screw portion 61a. The stopper nut 88 restrains the first support member 61 and the door 8 from being displaced downward by being supported by the upper beam 75.

상기와 같이, 제1 지지 부재(61)는, 탄성 부재(82)를 통해 제2 지지 부재(62)에 지지되어 있다. 그리고, 탄성 부재(82)가 받는 초기 하중(도어(8)가 이동하기 전의 정지 상태에서의 하중)과, 열처리 장치(1)의 메인터넌스 시에 있어서의 도어(8)의 상하 위치(제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 위치)를 설정하기 위한 설정부(66)가 설치되어 있다.As described above, the first support member 61 is supported by the second support member 62 via the elastic member 82. In addition, the initial load (load in the stationary state before the door 8 moves) and the upper and lower positions of the door 8 during maintenance of the heat treatment unit 1 (second support) received by the elastic member 82 A setting portion 66 for setting the position of the first support member 61 relative to the member 62 is provided.

설정부(66)는, 탄성 부재(82)의 초기 하중을 설정하기 위한 초기 하중 설정부(91)와, 도어(8)의 높이 위치를 조정하기 위한 도어 높이 위치 조정부(92)를 갖고 있다.The setting unit 66 includes an initial load setting unit 91 for setting an initial load of the elastic member 82 and a door height position adjusting unit 92 for adjusting the height position of the door 8.

초기 하중 설정부(91)는, 제2 하중 받침부(64)에 설치되어 있고, 본 실시형태에서는, 제2 하중 받침부(64)의 일부가 초기 하중 설정부(91)를 형성하고 있다.The initial load setting unit 91 is provided in the second load receiving unit 64, and in this embodiment, a part of the second load receiving unit 64 forms the initial load setting unit 91.

초기 하중 설정부(91)는, 상부 플레이트(83)와, 좌우 한 쌍의 연결축(84, 84)과, 상하 한 쌍의 연결 너트(85, 85)와, 초기 하중 설정 부재(86)를 갖고 있다.The initial load setting unit 91 includes an upper plate 83, a pair of left and right connecting shafts 84 and 84, a pair of upper and lower connecting nuts 85 and 85, and an initial load setting member 86. I have.

초기 하중 설정 부재(86)는, 연결축(84)에 장착되어 있고, 상부 플레이트(83)를 통해 탄성 부재(82)로부터의 하중을 받는 부재이며, 제2 지지 부재(62)에 대한 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치에 따른 초기 하중을 탄성 부재(82)에 발생시킨다. 즉, 초기 하중 설정 부재(86)의 위치에 의해, 탄성 부재(82)의 압축량이 정해진다. 본 실시형태에서는, 좌우 한 쌍의 초기 하중 설정 부재(86, 86)는, 상하의 높이 위치가 서로 같다. 보다 구체적으로는, 각 연결축(84)의 수나사부(84a)에 대한 각 초기 하중 설정 부재(86)의 나사 삽입량, 즉, 각 연결축(84)에 대한 각 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치를 변경하면, 하부 플레이트(81)에 대한 상부 플레이트(83)의 상하 위치도 변화한다. 상부 플레이트(83)와 하부 플레이트(81) 사이의 거리가 변화하면, 탄성 부재(82)의 압축량이 변화한다. 탄성 부재(82)의 압축량이 변화하면, 탄성 부재(82)의 탄성 반발력, 즉, 초기 하중이 변화한다. 도 8에서는, 초기 하중 설정 부재(86)를 상부 플레이트(83)로부터 이격시킴으로써, 초기 하중 설정 부재(86)와 상부 플레이트(83) 사이에 간극을 형성한 상태를 나타내고 있다. 즉, 초기 하중 설정 부재(86)에 의한 하중이 제로 상태를 나타내고 있다.The initial load setting member 86 is a member attached to the connecting shaft 84 and receiving a load from the elastic member 82 through the upper plate 83, and the initial load on the second support member 62 An initial load according to the vertical position of the setting member 86 is generated on the elastic member 82. That is, the compression amount of the elastic member 82 is determined by the position of the initial load setting member 86. In this embodiment, the left and right pair of initial load setting members 86 and 86 have the same upper and lower height positions. More specifically, the screw insertion amount of each initial load setting member 86 with respect to the male threaded portion 84a of each connecting shaft 84, that is, each initial load setting member 86 with respect to each connecting shaft 84 When the upper and lower positions of are changed, the upper and lower positions of the upper plate 83 with respect to the lower plate 81 also change. When the distance between the upper plate 83 and the lower plate 81 changes, the amount of compression of the elastic member 82 changes. When the compression amount of the elastic member 82 changes, the elastic repulsion force of the elastic member 82, that is, the initial load changes. In Fig. 8, a state in which a gap is formed between the initial load setting member 86 and the upper plate 83 by separating the initial load setting member 86 from the upper plate 83 is shown. That is, the load by the initial load setting member 86 has shown a zero state.

또한, 본 실시형태에서는, 초기 하중 설정 부재(86)가 너트를 이용하여 형성되는 예를 설명하고 있다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 초기 하중 설정 부재는, 도어(8)가 정지 상태에 있을 때의 탄성 부재(82)의 압축량(스프링 길이)을 변경할 수 있는 구성이면 되고, 상부 플레이트(83)와 연결축(84)에 연결되는 너트와는 다른 부재로 형성되어도 된다.In addition, in this embodiment, an example in which the initial load setting member 86 is formed using a nut is demonstrated. However, it does not have to be the way it is. The initial load setting member may be configured to change the compression amount (spring length) of the elastic member 82 when the door 8 is in a stopped state, and is connected to the upper plate 83 and the connecting shaft 84. It may be formed of a member different from the nut to be used.

본 실시형태에서는, 상기의 구성을 갖는 초기 하중 설정부(91)의 하방에 있어서, 상부 빔(75)과 하부 빔(76) 사이의 공간에, 도어 높이 위치 조정부(92)가 배치되어 있다. 도어 높이 위치 조정부(92)는, 열처리 장치(1)의 비가동시(피처리물(100)을 열처리 하는 사이클을 행하지 않을 때)에 있어서, 열처리 장치(1)의 메인터넌스 등을 위해 도어(8)의 상하 위치를 변경할 때에 이용된다.In this embodiment, the door height position adjustment part 92 is arrange|positioned in the space between the upper beam 75 and the lower beam 76 below the initial load setting part 91 which has the said structure. When the heat treatment device 1 is not in operation (when the heat treatment cycle is not performed), the door height position adjustment unit 92 is provided with the door 8 for maintenance of the heat treatment device 1, etc. It is used to change the upper and lower positions.

도어 높이 위치 조정부(92)는, 위치 조정 부재(93)와, 상부 베어링 유닛(94)과, 하부 베어링 유닛(95)을 갖고 있다.The door height position adjusting part 92 has a position adjusting member 93, an upper bearing unit 94, and a lower bearing unit 95.

위치 조정 부재(93)는, 초기 하중 설정 부재(86)와는 다른 부재이며, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)(도어(8))의 상하 위치를 조정하기 위해 설치되어 있다. 위치 조정 부재(93)는, 본 실시형태에서는, 너트 부재이며, 제1 지지 부재(61)의 중간부에 형성된 수나사부(61a)에 나사 결합하고 있다. 위치 조정 부재(93)는, 외주면을 원통 형상으로 형성함으로써 사람의 손에 의해 돌려지도록 구성되어도 된다. 또, 위치 조정 부재(93)는, 서로 평행한 한 쌍의 면을 한 세트 또는 복수 세트 갖는 형상(예를 들면 다각형 형상)으로 형성되어, 스패너 등의 공구에 의해 돌려지도록 구성되어도 된다.The position adjustment member 93 is a member different from the initial load setting member 86, and is installed to adjust the vertical position of the first support member 61 (door 8) with respect to the second support member 62 Has been. The position adjustment member 93 is a nut member in this embodiment, and is screwed to the male screw portion 61a formed in the middle portion of the first support member 61. The position adjustment member 93 may be configured to be rotated by a human hand by forming the outer circumferential surface in a cylindrical shape. In addition, the position adjustment member 93 may be formed in a shape (eg, polygonal shape) having one or more sets of a pair of planes parallel to each other, and may be configured to be rotated by a tool such as a spanner.

열처리 장치(1)가 가동 중일 때, 즉, 열처리 장치(1)의 튜브(4)에 피처리물(100)이 반입되어, 열처리 장치(1)에 의해 피처리물(100)이 가열 처리되고, 그 후, 튜브(4)로부터 피처리물(100)이 반출되는 동작이 행해지고 있는 동안, 위치 조정 부재(93)는, 상부 베어링 유닛(94) 및 하부 베어링 유닛(95)의 쌍방과 이격하여 배치되어 있다. 이로 인해, 열처리 장치(1)가 가동 중일 때, 위치 조정 부재(93)와 베어링 유닛(94, 95)의 접촉이 방지되고 있고, 탄성 부재(82)에 의해 지지된 도어(8)의 상하 변위가 허용된다.When the heat treatment device 1 is in operation, that is, the object to be treated 100 is carried into the tube 4 of the heat treatment device 1, and the object to be treated 100 is heated by the heat treatment device 1 , Thereafter, while the operation in which the object to be processed 100 is carried out from the tube 4 is being performed, the positioning member 93 is spaced apart from both of the upper bearing unit 94 and the lower bearing unit 95 It is placed. Accordingly, when the heat treatment apparatus 1 is in operation, contact between the positioning member 93 and the bearing units 94 and 95 is prevented, and the vertical displacement of the door 8 supported by the elastic member 82 Is allowed.

상부 베어링 유닛(94)은, 위치 조정 부재(93)의 상방에 배치되어 있다. 상부 베어링 유닛(94)은, 상부 베어링(94a)과, 상부 베어링(94a)을 상부 빔(75)에 장착하기 위한 상부 베어링 홀더(94b)를 갖고 있다.The upper bearing unit 94 is disposed above the position adjustment member 93. The upper bearing unit 94 has an upper bearing 94a and an upper bearing holder 94b for attaching the upper bearing 94a to the upper beam 75.

상부 베어링(94a)은, 본 실시형태에서는, 하부 궤도반(軌道盤) 및 상부 궤도반를 포함하는 스러스트 베어링이다. 상부 베어링(94a)의 내경은, 제1 지지 부재(61)의 외경보다 크다. 상부 베어링(94a)에는, 제1 지지 부재(61)가 당해 상부 베어링(94a)과 간극을 두고 통과되고 있다.The upper bearing 94a is a thrust bearing including a lower raceway board and an upper raceway board in this embodiment. The inner diameter of the upper bearing 94a is larger than the outer diameter of the first support member 61. The first support member 61 is passed through the upper bearing 94a with a gap with the upper bearing 94a.

상부 베어링 홀더(94b)는, 상부 베어링(94a)의 상부 궤도반의 상면을 받치며 또한 상부 빔(75)의 하면에 받쳐지는 원환 형상의 대좌(94c)와, 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반의 하면의 외주연부를 받치는 베어링 누름부(94d)와, 대좌(94c) 및 베어링 누름부(94d)를 상부 빔(75)에 고정하는 고정핀(94e)을 갖고 있다.The upper bearing holder 94b supports the upper surface of the upper raceway of the upper bearing 94a and the annular-shaped base 94c supported on the lower surface of the upper beam 75, and the lower raceway of the upper bearing 94a. It has a bearing pressing portion 94d for supporting the outer periphery of the lower surface, and a fixing pin 94e for fixing the pedestal 94c and the bearing pressing portion 94d to the upper beam 75.

베어링 누름부(94d)는, 본 실시형태에서는, 상부 베어링(94a)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 베어링 누름부(94d)에 고정핀(94e)이 장착되어 있다. 고정핀(94e)은, 베어링 누름부(94d) 및 대좌(94c)를 관통하고, 또한, 상부 빔(75)에 형성된 고정핀용 구멍부에, 압입 등에 의해 고정되어 있다. 상기 구성에 의해, 위치 조정 부재(93)가 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반에 접촉했을 때, 상부 베어링(94a)은, 위치 조정 부재(93)로부터의 상향의 스러스트 하중을 받는다. 이 때, 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반과 위치 조정 부재(93)가 제1 지지 부재(61) 둘레를 일체 회전할 수 있다.In the present embodiment, a plurality of bearing pressing portions 94d are arranged along the circumferential direction of the upper bearing 94a. A fixing pin 94e is attached to each bearing pressing portion 94d. The fixing pin 94e penetrates the bearing pressing portion 94d and the pedestal 94c, and is fixed to the fixing pin hole formed in the upper beam 75 by press fitting or the like. With the above configuration, when the positioning member 93 comes into contact with the lower raceway of the upper bearing 94a, the upper bearing 94a receives an upward thrust load from the positioning member 93. At this time, the lower raceway board of the upper bearing 94a and the position adjusting member 93 may integrally rotate around the first support member 61.

하부 베어링 유닛(95)은, 위치 조정 부재(93)의 하방에 배치되어 있고, 상부 베어링 유닛(94)과 상하 대칭으로 형성되어 있다. 하부 베어링 유닛(95)은, 하부 베어링(95a)과, 하부 베어링(95a)을 하부 빔(76)에 장착하기 위한 하부 베어링 홀더(95b)를 갖고 있다.The lower bearing unit 95 is disposed below the position adjusting member 93 and is formed in a vertical symmetry with the upper bearing unit 94. The lower bearing unit 95 has a lower bearing 95a and a lower bearing holder 95b for attaching the lower bearing 95a to the lower beam 76.

하부 베어링(95a)은, 본 실시형태에서는, 하부 궤도반 및 상부 궤도반을 포함하는 스러스트 베어링이며, 상부 베어링(94a)과 동일한 구성을 갖고 있다. 하부 베어링(95a)의 내경은, 제1 지지 부재(61)의 외경보다 크다. 하부 베어링(95a)에는, 제1 지지 부재(61)가 당해 하부 베어링(95a)과 간극을 두고 통과되고 있다.In this embodiment, the lower bearing 95a is a thrust bearing including a lower raceway board and an upper raceway board, and has the same structure as the upper bearing 94a. The inner diameter of the lower bearing 95a is larger than the outer diameter of the first support member 61. The first support member 61 is passed through the lower bearing 95a with a gap therebetween.

하부 베어링 홀더(95b)는, 하부 베어링(95a)의 하부 궤도반의 하면을 받치며 또한 하부 빔(76)의 상면에 받쳐지는 원환 형상의 대좌(95c)와, 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반의 상면의 외주연부를 받치는 베어링 누름부(95d)와, 대좌(95c) 및 베어링 누름부(95d)를 하부 빔(76)에 고정하는 고정핀(95e)을 갖고 있다.The lower bearing holder 95b supports the lower surface of the lower raceway of the lower bearing 95a and the annular-shaped base 95c supported on the upper surface of the lower beam 76, and the upper raceway of the lower bearing 95a. It has a bearing pressing portion 95d for supporting the outer periphery of the upper surface, and a fixing pin 95e for fixing the pedestal 95c and the bearing pressing portion 95d to the lower beam 76.

베어링 누름부(95d)는, 본 실시형태에서는, 하부 베어링(95a)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 베어링 누름부(95d)에 고정핀(95e)이 장착되어 있다. 고정핀(95e)은, 베어링 누름부(95d) 및 대좌(95c)를 관통하고, 또한, 하부 빔(76)에 형성된 고정핀용 구멍부에, 압입 등에 의해 고정되어 있다. 상기 구성에 의해, 위치 조정 부재(93)가 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반에 접촉했을 때, 하부 베어링(95a)은, 위치 조정 부재(93)로부터의 하향의 스러스트 하중을 받는다. 이 때, 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반과 위치 조정 부재(93)가 제1 지지 부재(61) 둘레를 일체 회전할 수 있다.In the present embodiment, a plurality of bearing pressing portions 95d are arranged along the circumferential direction of the lower bearing 95a. Each bearing pressing portion 95d is equipped with a fixing pin 95e. The fixing pin 95e penetrates the bearing pressing portion 95d and the pedestal 95c, and is fixed to the fixing pin hole formed in the lower beam 76 by press fitting or the like. With the above configuration, when the positioning member 93 comes into contact with the upper raceway of the lower bearing 95a, the lower bearing 95a receives a downward thrust load from the positioning member 93. At this time, the upper raceway of the lower bearing 95a and the position adjusting member 93 may integrally rotate around the first support member 61.

다음으로, 도어(8)의 높이 위치를 낮추는 경우의 동작을 설명한다. 상기 구성을 갖는 도어 높이 위치 조정부(92)에 있어서는, 위치 조정 부재(93)가 일방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)는, 제1 지지 부재(61)에 대해 상방으로 이동한다. 그리고, 상부 베어링(94a)과 위치 조정 부재(93)가 접한 상태에서 위치 조정 부재(93)가 추가로 상기 일방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)의 상하 위치가 일정한 상태인 한편, 제1 지지 부재(61)는, 도어(8)와 함께 하방으로 변위된다. 이 때, 탄성 부재(82)의 전장이 짧아져, 당해 탄성 부재(82)가 압축된다.Next, an operation in the case of lowering the height position of the door 8 will be described. In the door height position adjustment unit 92 having the above configuration, when the position adjustment member 93 is rotated in one direction, the position adjustment member 93 moves upward with respect to the first support member 61. And, when the position adjustment member 93 is further rotated in the one direction while the upper bearing 94a and the position adjustment member 93 are in contact, the vertical position of the position adjustment member 93 is in a constant state, while the first The support member 61 is displaced downward together with the door 8. At this time, the total length of the elastic member 82 is shortened, and the elastic member 82 is compressed.

다음으로, 도어(8)의 높이 위치를 올리는 경우의 동작을 설명한다. 상기 구성을 갖는 도어 높이 위치 조정부(92)에 있어서는, 위치 조정 부재(93)가 상기 일방향과는 반대의 타방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)는, 제1 지지 부재(61)에 대해 하방으로 이동한다. 그리고, 하부 베어링(95a)과 위치 조정 부재(93)가 접한 상태에서 위치 조정 부재(93)가 추가로 상기 타방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)의 상하 위치가 일정한 상태인 한편, 제1 지지 부재(61)는, 도어(8)와 함께 상방으로 변위된다. 이 때, 탄성 부재(82)의 전장이 길어져, 당해 탄성 부재(82)의 압축 정도가 완화된다.Next, an operation in the case of raising the height position of the door 8 will be described. In the door height position adjusting unit 92 having the above configuration, when the position adjusting member 93 is rotated in the other direction opposite to the one direction, the position adjusting member 93 is Move down. And, when the position adjustment member 93 is further rotated in the other direction while the lower bearing 95a and the position adjustment member 93 are in contact with each other, the vertical position of the position adjustment member 93 is in a constant state, while the first 1 The support member 61 is displaced upward together with the door 8. At this time, the total length of the elastic member 82 increases, and the degree of compression of the elastic member 82 is reduced.

다음으로, 도어 개폐 기구(65)의 구성을 설명한다.Next, the configuration of the door opening/closing mechanism 65 will be described.

도 2, 도 7 및 도 8을 참조하여, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 변위시킨다. 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)를 수평 방향으로 이동시킴으로써 도어(8)를 개폐 동작시킨다. 도어 개폐 기구(65)는, 본 실시형태에서는, 도어(8)를 좌우 방향(Y) 및 전후 방향(X)으로 이동시키는 것이 가능하다. 도어 개폐 기구(65)는, 본 실시형태에서는, 튜브(4)의 전방에 있어서 제2 지지 부재(62)의 상방에 배치되어 있다. 도어 개폐 기구(65)는, 제2 지지 부재(62) 및 제1 지지 부재(61)를 통해 도어(8)를 지지하고 있고, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제2 지지 부재(62), 탄성 부재(82), 및, 제1 지지 부재(61)를 변위시킨다. 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)는, 2축 슬라이딩 테이블 기구이다.2, 7 and 8, the door opening/closing mechanism 65 displaces the first support member 61 and the second support member 62 in conjunction with the opening and closing operation of the door 8. In this embodiment, the door opening/closing mechanism 65 makes the door 8 open and close by moving the door 8 in the horizontal direction. The door opening/closing mechanism 65 can move the door 8 in the left-right direction (Y) and the front-rear direction (X) in this embodiment. The door opening/closing mechanism 65 is disposed above the second support member 62 in front of the tube 4 in the present embodiment. The door opening/closing mechanism 65 supports the door 8 via the second support member 62 and the first support member 61, and interlocks with the opening/closing operation of the door 8, so that the second support member 62 ), the elastic member 82, and the first support member 61 are displaced. In this embodiment, the door opening/closing mechanism 65 is a two-axis sliding table mechanism.

도어 개폐 기구(65)는, 전후 이동 기구(111)와, 좌우 이동 기구(112)를 갖고 있다.The door opening/closing mechanism 65 has a front-rear moving mechanism 111 and a left-right moving mechanism 112.

전후 이동 기구(111)는, 제2 지지 부재(62), 제1 지지 부재(61), 탄성 부재(82), 제2 하중 받침부(64) 및 도어(8)를 포함하는 가동 유닛(110)을 전후 방향(X)으로 이동시키는 기구이다. 본 실시형태에서는, 전후 이동 기구(111)는, 좌우 이동 기구(112)의 하방에 배치되어 있다. 전후 이동 기구(111)는, 전후 방향(X)으로 가동 유닛(110)을 변위시킨다.The front-rear movement mechanism 111 is a movable unit 110 including a second support member 62, a first support member 61, an elastic member 82, a second load receiving part 64, and a door 8. It is a mechanism that moves) in the front-rear direction (X). In the present embodiment, the front-rear movement mechanism 111 is disposed below the left-right movement mechanism 112. The front-rear movement mechanism 111 displaces the movable unit 110 in the front-rear direction (X).

전후 이동 기구(111)는, 전후 슬라이딩 테이블(111a)과, 전후 방향(X)으로 연장되어 전후 슬라이딩 테이블(111a)을 지지하는 레일(111b)과, 전후 슬라이딩 테이블(111a)을 전후 방향(X)으로 이동시키는 액추에이터(도시하지 않음)를 갖고 있다.The front-rear moving mechanism 111 includes the front-rear sliding table 111a, the rail 111b extending in the front-rear direction (X) and supporting the front-rear sliding table 111a, and the front-rear sliding table 111a in the front-rear direction (X ) To move the actuator (not shown).

전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 본 실시형태에서는, 좌우 한 쌍 배치되어 있다. 각 전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 블록 형상 부분을 갖고 있고, 이 블록 형상 부분에, 제2 지지 부재(62)의 기둥(74R, 74L)의 상단부가 고정되어 있다. 또, 전후 슬라이딩 테이블(111a, 111a)의 상부는, 좌우 방향(Y)으로 이격하여 한 쌍 설치된 레일(111b, 111b)에 지지되어 있다. 이 구성에 의해, 전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 레일(111b)에 지지되면서 레일(111b)에 대해 전후 방향(X)으로 슬라이딩 가능하다. 레일(111b, 111b)은, 좌우 이동 기구(112)에 지지되어 있다.The front and rear sliding tables 111a are arranged in a pair of left and right in this embodiment. Each of the front and rear sliding tables 111a has a block-shaped portion, and the upper end portions of the pillars 74R and 74L of the second support member 62 are fixed to the block-shaped portion. In addition, the upper part of the front and rear sliding tables 111a and 111a is supported by a pair of rails 111b and 111b provided spaced apart in the left and right direction Y. With this configuration, the front-rear sliding table 111a is slidable in the front-rear direction X with respect to the rail 111b while being supported by the rail 111b. The rails 111b and 111b are supported by the left and right movement mechanism 112.

좌우 이동 기구(112)는, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)과, 좌우 방향(Y)로 연장되어 좌우 슬라이딩 테이블(112a)을 지지하는 레일(112b)과, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)을 좌우 방향(Y)으로 이동시키는 액추에이터(도시하지 않음)를 갖고 있다.The left and right movement mechanism 112 includes a left and right sliding table 112a, a rail 112b extending in the left and right direction (Y) to support the left and right sliding table 112a, and the left and right sliding table 112a in the left and right direction (Y ) To move the actuator (not shown).

좌우 슬라이딩 테이블(112a)은, 수평으로 배치된 직사각형의 평판 형상 부분을 갖고 있고, 이 평판 형상 부분의 하면에, 전후 이동 기구(111)의 레일(111b, 111b)이 고정되어 있다. 또, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)의 상부는, 전후 방향(X)으로 이격하여 한 쌍 설치된 레일(112b, 112b)에 지지되어 있다. 이 구성에 의해, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)은, 레일(112b)에 지지되면서 레일(112b)에 대해 좌우 방향(Y)으로 슬라이딩 가능하다. 레일(112b, 112b)은, 하우징(2)의 예를 들면 상부 빔(10)에 고정되어 있다.The left and right sliding table 112a has a rectangular flat plate-shaped portion arranged horizontally, and rails 111b and 111b of the front-rear moving mechanism 111 are fixed to the lower surface of the flat plate-shaped portion. Moreover, the upper part of the left and right sliding table 112a is supported by a pair of rails 112b and 112b provided apart in the front-rear direction X. With this configuration, the left and right sliding table 112a is slidable in the left and right direction Y with respect to the rail 112b while being supported by the rail 112b. The rails 112b and 112b are fixed to the upper beam 10 of the housing 2, for example.

상기 구성에 의해, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 닫은 상태의 도어(8)를 열 때에는, 우선, 전후 이동 기구(111)를 구동하여, 도어(8)를 포함하는 가동 유닛(110)을 전방으로 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)로부터 이격시킨다. 그 다음으로, 좌우 이동 기구(112)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)의 예를 들면 좌방으로 변위시킨다. 이로 인해, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)는 열리고, 튜브(4)에 대한 피처리물(100)의 넣고 꺼냄이 가능해진다.With the above configuration, when opening the door 8 in the state in which the opening 6a of the tube adapter 6 is closed, the movable unit 110 including the door 8 is first driven by driving the front-rear movement mechanism 111. ) Is displaced forward. For this reason, the door 8 is separated from the opening 6a of the tube adapter 6. Next, the left and right movement mechanism 112 is driven to displace the movable unit 110 to the left, for example, of the opening 6a of the tube adapter 6. For this reason, the opening 6a of the tube adapter 6 is opened, and the object to be processed 100 can be put into and out of the tube 4.

한편, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 연 상태의 도어(8)를 닫으려면, 우선, 좌우 이동 기구(112)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 우측으로 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)와 전후 방향(X)으로 마주하게 한다. 그 다음으로, 전후 이동 기구(111)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 향해 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)가 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)에 맞대어져 도어(8)가 닫힌다.On the other hand, in order to close the door 8 with the opening 6a of the tube adapter 6 open, first, the left and right movement mechanism 112 is driven to displace the movable unit 110 to the right. For this reason, the door 8 is made to face the opening 6a of the tube adapter 6 in the front-rear direction (X). Next, the front-rear movement mechanism 111 is driven to displace the movable unit 110 toward the opening 6a of the tube adapter 6. For this reason, the door 8 is abutted against the opening 6a of the tube adapter 6 and the door 8 is closed.

또한, 본 실시형태에서는, 전후 이동 기구(111)의 상방에 좌우 이동 기구(112)가 배치되는 형태를 예로 설명했는데, 이대로가 아니어도 된다. 좌우 이동 기구(112)의 상방에 전후 이동 기구(111)가 설치되어도 된다. 또, 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)로서, 2축 슬라이딩 테이블 기구를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)를 개폐할 수 있으면 되고, 예를 들면, 힌지 기구 등의 다른 기구가 이용되어도 된다.In addition, in this embodiment, although the form in which the left and right movement mechanism 112 is arrange|positioned above the front-rear movement mechanism 111 was demonstrated as an example, it may not be the same. The front-rear movement mechanism 111 may be provided above the left-right movement mechanism 112. In addition, in this embodiment, as the door opening/closing mechanism 65, a two-axis sliding table mechanism was demonstrated as an example. However, it does not have to be the way it is. The door opening/closing mechanism 65 just needs to be able to open and close the door 8, and for example, other mechanisms such as a hinge mechanism may be used.

이상 설명한 바와 같이, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 튜브 어댑터(6)를 지지하고 있다. 이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재(3)의 열팽창에 의해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브(4)의 열팽창에 의해 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향(Z)으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브(4)의 개구부(4a)는, 튜브 어댑터(6)로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 connects the tube adapter 6 to an operation in which the opening 4a of the tube 4 is displaced in the vertical direction (Z). The tube adapter 6 is supported so that it can be displaced in the vertical direction (Z). According to this configuration, when the upper and lower positions of the openings 4a of the tube 4 are changed due to thermal expansion of the tube support member 3 that has become hot, the tube 4 is thermally expanded due to the thermal expansion of the tube 4 which has become high temperature. ), or due to the load balance of the object to be treated 100 in the tube 4, the vertical position of the opening 4a of the tube 4 is changed. In one case, the tube adapter 6 can be displaced in the vertical direction Z according to the change in the vertical position of the opening 4a of the tube 4. As a result, the opening 4a of the tube 4 does not receive a large force from the tube adapter 6. Therefore, the load applied to the opening 4a of the tube 4 can be further reduced.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)의 우측 부분 및 좌측 부분의 각각에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터(6)를 1개소에서 큰 구조로 지지하는 경우에 비해 튜브 어댑터 지지 기구(7)를 레이아웃 하기 쉽다. 또, 튜브 어댑터(6)의 자중을 좌우의 밸런스가 맞게 튜브 어댑터 지지 기구(7)로 받을 수 있다. 또, 도어(8)를 지지하는 도어 지지 기구(9)를 좌우 방향(Y)에 있어서의 도어(8)의 중앙 부분에 배치하는 본 실시형태에서는, 도어 지지 기구(9)의 배치에 대해 튜브 어댑터 지지 기구(7)가 방해가 되지 않는다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 is capable of displacing the tube adapter 6 in the vertical direction (Z) in each of the right and left portions of the tube adapter 6. Support. According to this configuration, it is easier to lay out the tube adapter support mechanism 7 than in the case where the tube adapter 6 is supported in a large structure in one place. In addition, the weight of the tube adapter 6 can be received by the tube adapter support mechanism 7 so that the left and right sides are balanced. In addition, in this embodiment in which the door support mechanism 9 supporting the door 8 is disposed at the central portion of the door 8 in the left-right direction Y, the arrangement of the door support mechanism 9 The adapter holding mechanism 7 does not get in the way.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)으로의 이동이 규제된 고정부(31)와, 튜브 어댑터(6)와 상하 방향(Z)으로 일체적으로 이동 가능하게 설치된 가동부(32)와, 가동부(32)로부터의 하중을 고정부(31)에 전달하는 탄성 부재(51)를 갖고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 부드럽게 변위시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 is integrated with the fixed portion 31 in which movement in the vertical direction (Z) is restricted, and the tube adapter 6 and the vertical direction (Z). It has a movable part 32 provided so as to be able to move in an enemy, and an elastic member 51 that transmits a load from the movable part 32 to the fixed part 31. According to this configuration, the tube adapter holding mechanism 7 can smoothly displace the tube adapter 6 in the vertical direction Z.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 하우징(2)에 대해 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z) 중 적어도 하나(본 실시형태에서는, 모두)에 대해 위치 조정 가능하다. 이 구성에 의하면, 상하 위치, 좌우 위치, 및, 상하 위치 중 적어도 하나에 있어서의 튜브 어댑터(6)의 위치를 조정하는 것이 가능하다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 moves the tube adapter 6 in the vertical direction (Z), the left-right direction (Y), and the vertical direction (Z) with respect to the housing 2. Position adjustment is possible for at least one of them (in this embodiment, all). According to this configuration, it is possible to adjust the position of the tube adapter 6 in at least one of the up and down positions, the left and right positions, and the up and down positions.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 가동량을 규정하는 스토퍼(43)를 포함하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터(6)가 상하 방향(Z)으로 과도하게 이동하는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 includes a stopper 43 that regulates the amount of movement of the movable portion 32 in the vertical direction Z. According to this configuration, it is possible to prevent the tube adapter 6 from moving excessively in the vertical direction Z.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 고정부(31) 및 가동부(32)에 설치되어 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 이동을 안내하는 리니어 가이드(35)를 포함하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로, 보다 부드럽게 이동시킬 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube adapter support mechanism 7 is provided in the fixed portion 31 and the movable portion 32 to guide the movement of the tube adapter 6 in the vertical direction (Z). It includes a guide (35). According to this configuration, the tube adapter holding mechanism 7 can move the tube adapter 6 in the vertical direction (Z) more smoothly.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지한다. 이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재(3)의 열팽창에 의해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브(4)의 열팽창에 의해 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향(Z)으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브(4)의 개구부(4a) 및 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)는, 도어(8)로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the door support mechanism 9 is operated in which the opening 6a of the tube adapter 6 (the opening 4a of the tube 4) is displaced in the vertical direction Z. Interlockingly supports the door 8 so that it can be displaced in the vertical direction (Z). According to this configuration, when the upper and lower positions of the openings 4a of the tube 4 are changed due to thermal expansion of the tube support member 3, which has become hot, the tube 4 ), or due to the load balance of the object to be treated 100 in the tube 4, the vertical position of the opening 4a of the tube 4 is changed. In one case, the door 8 can be displaced in the vertical direction Z according to the change in the vertical position of the opening 4a of the tube 4. As a result, the opening 4a of the tube 4 and the opening 6a of the tube adapter 6 do not receive a large force from the door 8. Therefore, the load applied to the opening 4a of the tube 4 can be further reduced.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 탄성 부재(82)는, 제2 지지 부재(62)에 대해 제1 지지 부재(61)가 상하 방향(Z)으로 이동 가능하도록 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달한다. 이 구성에 의하면, 도어 지지 기구(9)는, 탄성 부재(82)의 탄성변형에 의해, 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 부드럽게 이동시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the elastic member 82 of the door support mechanism 9 allows the first support member 61 to move in the vertical direction (Z) with respect to the second support member 62. The load from the first support member 61 is transmitted to the second support member 62. According to this configuration, the door support mechanism 9 can smoothly move the door 8 in the vertical direction Z by the elastic deformation of the elastic member 82.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어(8)는, 좌우 방향(Y)으로 연장되는 축선(L1) 둘레로 변위 가능하게 제1 지지 부재(61)에 연결되어 있다. 이 구성에 의하면, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)에 대해 기울어지도록 변위한 경우, 예를 들면, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)에 대해 기울어진 경우, 도어 지지 기구(9)는, 이 기울기에 맞추도록 도어(8)를 기울일 수 있다. 이로 인해, 튜브(4)의 개구부(4a)와 도어(8) 사이에 간극이 형성되는 것을 억제하면서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 큰 부하가 작용하는 것을 억제할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the door 8 is connected to the first support member 61 so as to be displaceable around an axis L1 extending in the left-right direction Y. According to this configuration, when the opening 4a of the tube 4 is displaced so as to be inclined with respect to the vertical direction Z, for example, due to the load balance of the object to be treated 100 in the tube 4 Thus, when the opening 4a of the tube 4 is inclined with respect to the vertical direction Z, the door support mechanism 9 can tilt the door 8 so as to match this inclination. For this reason, it is possible to suppress a large load from acting on the opening 4a of the tube 4 while suppressing the formation of a gap between the opening 4a of the tube 4 and the door 8.

특히, 본 실시형태의 열처리 장치(1)에서는, 도어(8)와 제1 지지 부재(61)는, 구면 이음(67)을 이용하여 연결되어 있다. 이 구성에 의하면, 튜브(4)의 개구부(4a)의 변위에 맞추도록 도어(8)가 변위하는 자유도를 보다 높게 할 수 있고, 또한, 이음(구면 이음(67))이 적은 부품 점수로 족하다.In particular, in the heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, the door 8 and the first support member 61 are connected using a spherical joint 67. According to this configuration, the degree of freedom in which the door 8 is displaced can be increased to match the displacement of the opening 4a of the tube 4, and the number of parts with fewer joints (spherical joints 67) is sufficient. .

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 제1 지지 부재(61)는, 상하 방향(Z)으로 연장되는 축형상부이며, 제2 지지 부재(62)에 형성된 관통 구멍(75a, 76a)을 통과하고 있다. 이 구성에 의하면, 제2 지지 부재(62)가 제1 지지 부재(61)를 보호하는 보호 부재로서 기능하고, 제1 지지 부재(61)가 이물에 접촉하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 컴팩트하게 배치할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the first support member 61 of the door support mechanism 9 is a shaft-shaped portion extending in the vertical direction (Z), and a through hole formed in the second support member 62 (75a, 76a). According to this configuration, the second support member 62 functions as a protective member for protecting the first support member 61, and it is possible to more reliably suppress the first support member 61 from contacting a foreign object. In addition, the first support member 61 and the second support member 62 can be arranged compactly.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 도어 누름 탄성 부재(77)는, 제2 지지 부재(62)와 도어(8) 사이에서 탄성 변형함으로써 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시킨다. 이 구성에 의하면, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)에 가압하는 하중을 도어(8)에 부여함으로써, 도어(8)와 튜브 어댑터(6)의 밀착도를 높일 수 있다. 또한, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))에 가압하는 하중을 도어(8)의 둘레 방향에 있어서 보다 균등하게 할 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the door pressing elastic member 77 of the door supporting mechanism 9 elastically deforms between the second supporting member 62 and the door 8, thereby connecting the door 8 to the tube adapter. An elastic repulsive force is generated that presses toward the opening 6a of (6) (the opening 4a of the tube 4). According to this configuration, by applying a load for pressing the door 8 to the opening 6a of the tube adapter 6 to the door 8, the degree of adhesion between the door 8 and the tube adapter 6 can be improved. Further, the load for pressing the door 8 against the opening 6a of the tube adapter 6 (the opening 4a of the tube 4) can be made more evenly in the circumferential direction of the door 8.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 변위시킨다. 이 구성에 의하면, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 따라 도어 지지 기구(9)의 제1 지지 부재(61)와 제2 지지 부재(62)의 쌍방을 튜브(4)의 개구부(4a)에 대해 변위시킬 수 있다. 이로 인해, 튜브(4)의 개구부(4a)를 통과해 피처리물(100)을 넣고 꺼낼 때에, 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)가 방해가 되지 않도록 이들 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 이동시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the door opening/closing mechanism 65 of the door supporting mechanism 9 is interlocked with the opening/closing operation of the door 8, so that the first support member 61 and the second support member 62 Displace. According to this configuration, the door opening/closing mechanism 65 connects both the first support member 61 and the second support member 62 of the door support mechanism 9 to the tube 4 in accordance with the opening and closing operation of the door 8. ) Can be displaced with respect to the opening 4a. For this reason, when the object to be processed 100 is inserted and taken out through the opening 4a of the tube 4, the first support member 61 and the second support member 62 are not obstructed. The member 61 and the second support member 62 can be moved.

또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 초기 하중 설정 부재(86)는, 제2 지지 부재(62)에 대한 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치에 따른 초기 하중을 탄성 부재(82)에 발생시킨다. 또한, 위치 조정 부재(93)는, 초기 하중 설정 부재(86)와는 다른 부재로 설치되어, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 상하 위치를 조정하기 위해 이용된다. 이 구성에 의하면, 초기 하중 설정 부재(86)는, 예를 들면, 튜브(4)의 개구부(4a)가 도어(8)에 대해 변위하기 전의 상태에 있어서의 탄성 부재(82)의 탄성 변형량을 설정할 수 있다. 또, 위치 조정 부재(93)를 조작함으로써, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 상하 위치를 변경할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들면 열처리 장치(1)의 메인터넌스 시 등에 있어서, 초기 하중 설정 부재(86)를 조작하는 일 없이, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)(도어(8))의 위치 조정을 실시할 수 있다. 이와 같이, 초기 하중 설정 작업과, 도어(8)의 위치 조정 작업을 서로 독립적으로 행할 수 있는 구성이 채용되고 있는 결과, 열처리 장치(1)의 조립 및 메인터넌스에 드는 수고를 보다 적게 할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the initial load setting member 86 of the door support mechanism 9 receives an initial load according to the vertical position of the initial load setting member 86 with respect to the second support member 62. It is generated in the elastic member 82. Further, the position adjustment member 93 is provided as a member different from the initial load setting member 86 and is used to adjust the vertical position of the first support member 61 with respect to the second support member 62. According to this configuration, the initial load setting member 86 adjusts the amount of elastic deformation of the elastic member 82 in a state before the opening 4a of the tube 4 is displaced with respect to the door 8, for example. Can be set. Moreover, by operating the position adjustment member 93, the vertical position of the 1st support member 61 with respect to the 2nd support member 62 can be changed. With such a configuration, for example, during maintenance of the heat treatment apparatus 1, the first support member 61 (door) to the second support member 62 without operating the initial load setting member 86 (8)) position adjustment can be performed. In this way, as a result of employing a configuration capable of performing the initial load setting operation and the position adjustment operation of the door 8 independently of each other, it is possible to reduce the labor required for assembling and maintaining the heat treatment apparatus 1.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했는데, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 본 발명은, 특허 청구의 범위에 기재한 한에 있어서 다양한 변경이 가능하다.As mentioned above, although the embodiment of this invention was demonstrated, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment. Various modifications can be made to the present invention as long as it is described in the claims.

본 발명은, 열처리 장치로서, 널리 적용할 수 있다.The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.

1: 열처리 장치 4: 튜브
4a: 개구부 8: 도어
9: 도어 지지 기구 61: 제1 지지 부재
62: 제2 지지 부재 65: 도어 개폐 기구(개폐 기구)
67: 구면 이음
75a, 76a: 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍
77: 도어 누름 탄성 부재(제2 탄성 부재)
82: 탄성 부재(제1 탄성 부재) 86: 초기 하중 설정 부재
93: 위치 조정 부재 100: 피처리물
L1: 좌우 방향으로 연장되는 축선
Y: 좌우 방향
Z: 상하 방향1: heat treatment unit 4: tube
4a: opening 8: door
9: door support mechanism 61: first support member
62: second support member 65: door opening/closing mechanism (opening/closing mechanism)
67: spherical joint
75a, 76a: through holes formed in the second support member
77: door pressing elastic member (second elastic member)
82: elastic member (first elastic member) 86: initial load setting member
93: positioning member 100: object to be processed
L1: axis extending in the left and right directions
Y: left and right direction
Z: vertical direction

Claims (8)

피처리물을 넣고 꺼내기 위한 개구부를 포함하는 가로형 튜브와,
상기 개구부를 개폐하는 도어와,
상기 튜브의 상기 개구부가 상하 방향으로 변위하는 동작에 연동하여 상기 도어를 상기 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 도어 지지 기구를 구비하고 있는, 열처리 장치.A horizontal tube including an opening for inserting and removing the object to be processed,
A door for opening and closing the opening,
A heat treatment apparatus comprising a door support mechanism for supporting the door so as to be displaceable in the vertical direction in connection with an operation in which the opening of the tube is displaced in the vertical direction. 청구항 1에 있어서,
상기 도어 지지 기구는,
상기 도어를 지지하기 위해 상기 도어에 연결된 제1 지지 부재와,
상기 제1 지지 부재를 지지하는 제2 지지 부재와,
상기 제2 지지 부재에 대해 상기 제1 지지 부재가 상기 상하 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지 부재로부터의 하중을 상기 제2 지지 부재에 전달하는 제1 탄성 부재를 구비하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 1,
The door support mechanism,
A first support member connected to the door to support the door,
A second support member supporting the first support member,
A heat treatment apparatus comprising a first elastic member that transmits a load from the first support member to the second support member so that the first support member can move in the vertical direction with respect to the second support member. 청구항 2에 있어서,
상기 도어는, 상기 상하 방향과 직교하는 좌우 방향으로 연장되는 축선 둘레로 변위 가능하게 상기 제1 지지 부재에 연결되어 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door is connected to the first support member so as to be displaceable around an axis extending in a left-right direction orthogonal to the vertical direction. 청구항 3에 있어서,
상기 도어와 상기 제1 지지 부재는, 구면(球面) 이음을 이용하여 연결되어 있는, 열처리 장치.The method of claim 3,
The heat treatment apparatus, wherein the door and the first support member are connected by using a spherical joint. 청구항 2에 있어서,
상기 제1 지지 부재는, 상기 상하 방향으로 연장되는 축형상부를 포함하며, 상기 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍을 통과하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The first support member includes an axial portion extending in the vertical direction, and passes through a through hole formed in the second support member. 청구항 2에 있어서,
상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재와 상기 도어 사이에서 탄성 변형함으로써 상기 도어를 상기 개구부 측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시키는 제2 탄성 부재를 포함하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door support mechanism includes a second elastic member that elastically deforms between the second support member and the door to generate an elastic repulsive force that presses the door toward the opening. 청구항 2에 있어서,
상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 개폐 동작시키기 위한 개폐 기구를 포함하며,
상기 개폐 기구는, 상기 도어의 개폐 동작에 연동시켜 상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 변위시키는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door support mechanism includes an opening/closing mechanism for opening and closing the door,
The opening/closing mechanism displaces the first supporting member and the second supporting member by interlocking with the opening and closing operation of the door. 청구항 2 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 도어 지지 기구는,
상기 제2 지지 부재에 대한 초기 하중 설정 부재의 상하 위치에 따른 초기 하중을 상기 제1 탄성 부재에 발생시키는 상기 초기 하중 설정 부재와,
상기 초기 하중 설정 부재와는 다른 부재로 설치되어, 상기 제2 지지 부재에 대한 상기 제1 지지 부재의 상하 위치를 조정하기 위한 위치 조정 부재를 포함하고 있는, 열처리 장치.The method according to any one of claims 2 to 7,
The door support mechanism,
The initial load setting member for generating an initial load in the first elastic member according to the vertical position of the initial load setting member with respect to the second support member;
A heat treatment apparatus comprising a position adjusting member provided as a member different from the initial load setting member and for adjusting the vertical position of the first supporting member with respect to the second supporting member.

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