KR20210052143A - Heat treatment apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 가열된 분위기 하에서 피처리물을 처리하기 위한, 열처리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for treating an object to be treated in a heated atmosphere.
기판 등의 재료에 열처리를 행하기 위한, 열처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 열처리 장치는, 석영제의 튜브를 갖고 있다. 이 튜브는, 통 형상으로 형성되어 있고, 당해 튜브의 중심 축선이 수평 방향이 되도록 횡방향으로 배치되어 있다. 이 튜브는, 기판 등의 피처리물을 수용한다. 튜브 내에서는, 열반응에 의해, 피처리물에 원하는 열처리가 실시된다. 튜브의 개구부는, 피처리물의 열처리 시에 도어에 의해 닫힌다.A heat treatment apparatus for performing heat treatment on a material such as a substrate is known (see, for example, Patent Document 1). The heat treatment apparatus described in Patent Document 1 has a quartz tube. This tube is formed in a cylindrical shape, and is disposed in the transverse direction so that the central axis of the tube becomes a horizontal direction. This tube accommodates an object to be processed such as a substrate. In the tube, a desired heat treatment is performed on the object to be treated by a thermal reaction. The opening of the tube is closed by the door during heat treatment of the object to be processed.
튜브는, 예를 들면, 서포트 부재에 의해 지지되어 있다. 또, 도어는, 도어 개폐 장치에 의해 개폐 가능하게 지지되어 있다.The tube is supported by a support member, for example. Moreover, the door is supported so that it can open and close by a door opening/closing device.
열처리 장치는, 피처리물을 수백도 이상으로 가열하기 때문에 고온이 된다. 이 때문에, 튜브도 고온이 된다. 튜브가 고온이 되면, 튜브용 서포트 부재도 고온이 되기 때문에, 서포트 부재나 튜브 등이 열팽창하고, 그 결과, 튜브의 개구부에 있어서의 각 부의 상하 위치가 변화한다. 또, 튜브 내에 피처리물이 반입됨으로써, 이 피처리물로부터의 하중을 받아 튜브가 수평 방향에 대해 기울어, 개구부의 상하 위치가 변화해 버리는 경우가 있다. 이와 같이, 튜브의 상하 위치가 변화하는 한편, 개구부를 닫은 상태의 도어는, 도어 개폐 장치에 의해 변위하지 않도록 고정되어 있기 때문에 상하 위치가 변화하지 않는다. 그 결과, 튜브의 개구부는, 상하 방향으로 이동하는 힘을 받으면서 고정된 도어와 상대 이동하지 않으면 안된다. 이로 인해, 튜브의 개구부에는 큰 부하가 걸려, 튜브의 개구부에 파손이 생기기 쉬워지는 하나의 원인이 된다.The heat treatment apparatus becomes high temperature because it heats the object to be treated to hundreds of degrees or more. For this reason, the tube also becomes high temperature. When the tube becomes high temperature, the support member for the tube also becomes high temperature. As a result, the support member, the tube, and the like are thermally expanded, and as a result, the vertical position of each part in the opening of the tube changes. Moreover, when the object to be processed is carried into the tube, the tube is inclined with respect to the horizontal direction by receiving a load from the object to be processed, and the vertical position of the opening may change. In this way, the vertical position of the tube is changed, while the door with the opening closed is fixed so as not to be displaced by the door opening and closing device, so that the vertical position does not change. As a result, the opening of the tube must move relative to the fixed door while receiving a force that moves in the vertical direction. For this reason, a large load is applied to the opening of the tube, which is one cause of liable to be damaged in the opening of the tube.
본 발명은, 상기 사정을 감안함으로써, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 튜브에 걸리는 부하를 보다 저감하는 것을, 목적으로 한다.In view of the above circumstances, an object of the present invention is to further reduce a load applied to a tube for accommodating an object to be processed in a heat treatment apparatus.
(1) 상기 과제를 해결하기 위해, 이 발명의 어느 국면에 따른 열처리 장치는, 피처리물을 넣고 꺼내기 위한 개구부를 포함하는 가로형 튜브와, 상기 개구부를 개폐하는 도어와, 상기 튜브의 상기 개구부가 상하 방향으로 변위하는 동작에 연동하여 상기 도어를 상기 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 도어 지지 기구를 갖고 있다.(1) In order to solve the above problem, a heat treatment apparatus according to an aspect of the present invention includes a horizontal tube including an opening for inserting and removing an object to be processed, a door for opening and closing the opening, and the opening of the tube. It has a door support mechanism for supporting the door so that it can be displaced in the vertical direction in connection with an operation of displacement in the vertical direction.
이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재의 열팽창에 의해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브의 열팽창에 의해 당해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브 내에서의 피처리물의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브의 개구부의 상하 위치가 변화한 경우, 도어는, 튜브의 개구부의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브의 개구부는, 도어로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브의 개구부에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.According to this configuration, when the upper and lower positions of the openings of the tube are changed due to thermal expansion of the tube support member that has become hot, the upper and lower positions of the openings of the tube are changed due to the thermal expansion of the tube which has become hot, or in the tube. When the vertical position of the opening of the tube is changed due to the load balance of the object to be processed at, the door can be displaced in the vertical direction according to the change of the vertical position of the opening of the tube. As a result, the opening of the tube does not receive a large force from the door. Therefore, the load applied to the opening of the tube can be further reduced.
(2) 상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 지지하기 위해 상기 도어에 연결된 제1 지지 부재와, 상기 제1 지지 부재를 지지하는 제2 지지 부재와, 상기 제2 지지 부재에 대해 상기 제1 지지 부재가 상기 상하 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지 부재로부터의 하중을 상기 제2 지지 부재에 전달하는 제1 탄성 부재를 갖고 있는 경우가 있다.(2) The door support mechanism includes a first support member connected to the door to support the door, a second support member supporting the first support member, and the first support with respect to the second support member. In some cases, the member has a first elastic member that transmits a load from the first support member to the second support member so that the member can move in the vertical direction.
이 구성에 의하면, 도어 지지 기구는, 제1 탄성 부재의 탄성 변형에 의해, 도어를 상하 방향으로 부드럽게 이동시킬 수 있다.According to this configuration, the door support mechanism can smoothly move the door in the vertical direction by elastic deformation of the first elastic member.
(3) 상기 도어는, 상기 상하 방향과 직교하는 좌우 방향으로 연장되는 축선 둘레로 변위 가능하게 상기 제1 지지 부재에 연결되어 있는 경우가 있다.(3) The door may be connected to the first support member so as to be displaceable around an axis extending in a left-right direction orthogonal to the vertical direction.
이 구성에 의하면, 튜브의 개구부가 상하 방향에 대해 기울어지도록 변위한 경우, 예를 들면, 튜브 내에서의 피처리물의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브의 개구부가 상하 방향에 대해 기울어진 경우, 도어 지지 기구는, 이 기울기에 맞추도록 도어를 기울일 수 있다. 이로 인해, 튜브의 개구부와 도어 사이에 간극이 형성되는 것을 억제하면서, 튜브의 개구부에 큰 부하가 작용하는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, when the opening of the tube is displaced so as to be inclined with respect to the vertical direction, for example, when the opening of the tube is inclined with respect to the vertical direction due to the load balance of the object to be processed in the tube, the door support The instrument can tilt the door to match this tilt. For this reason, while suppressing the formation of a gap between the opening of the tube and the door, it is possible to suppress a large load from acting on the opening of the tube.
(4) 상기 도어와 상기 제1 지지 부재는, 구면(球面) 이음을 이용하여 연결되어 있는 경우가 있다.(4) The door and the first support member may be connected using a spherical joint.
이 구성에 의하면, 튜브의 개구부의 변위에 맞추도록 도어가 변위하는 자유도를 보다 높게 할 수 있고, 또한, 이음이 적은 부품 점수로 족하다.According to this configuration, the degree of freedom in which the door is displaced can be increased so as to match the displacement of the opening of the tube, and the number of parts with less joints is sufficient.
(5) 상기 제1 지지 부재는, 상기 상하 방향으로 연장되는 축형상부를 포함하며, 상기 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍을 통과하고 있는 경우가 있다.(5) The first support member may include a shaft-shaped portion extending in the vertical direction, and may pass through a through hole formed in the second support member.
이 구성에 의하면, 제2 지지 부재가 제1 지지 부재를 보호하는 보호 부재로서 기능하고, 제1 지지 부재가 이물에 접촉하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재를 컴팩트하게 배치할 수 있다.According to this configuration, the second support member functions as a protective member for protecting the first support member, and it is possible to more reliably suppress the first support member from contacting a foreign object. Further, the first support member and the second support member can be arranged compactly.
(6) 상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재와 상기 도어 사이에서 탄성 변형함으로써 상기 도어를 상기 개구부 측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시키는 제2 탄성 부재를 포함하고 있는 경우가 있다.(6) The door support mechanism may include a second elastic member that elastically deforms between the second support member and the door to generate an elastic repulsive force that presses the door toward the opening.
이 구성에 의하면, 도어를 튜브의 개구부에 가압하는 하중을 도어에 부여함으로써, 도어와 튜브의 밀착도를 높일 수 있다. 또한, 도어를 튜브의 개구부에 가압하는 하중을, 도어의 둘레 방향에 있어서 보다 균등하게 할 수 있다.According to this configuration, by applying a load for pressing the door to the opening of the tube to the door, the degree of adhesion between the door and the tube can be improved. Further, the load for pressing the door against the opening of the tube can be made more evenly in the circumferential direction of the door.
(7) 상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 개폐 동작시키기 위한 개폐 기구를 포함하며, 상기 개폐 기구는, 상기 도어의 개폐 동작에 연동시켜 상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 변위시키는 경우가 있다.(7) The door support mechanism includes an opening/closing mechanism for opening and closing the door, and the opening/closing mechanism displaces the first support member and the second support member by interlocking with the opening and closing operation of the door. There is.
이 구성에 의하면, 개폐 기구는, 도어의 개폐 동작에 따라 도어 지지 기구의 제1 지지 부재와 제2 지지 부재의 쌍방을 튜브의 개구부에 대해 변위시킬 수 있다. 이로 인해, 튜브의 개구부를 통해 피처리물을 넣고 꺼낼 때에, 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재가 방해가 되지 않도록 이들 제1 지지 부재 및 제2 지지 부재를 이동시킬 수 있다.According to this configuration, the opening/closing mechanism can displace both the first supporting member and the second supporting member of the door supporting mechanism with respect to the opening of the tube in accordance with the opening and closing operation of the door. For this reason, when the object to be processed is put in and taken out through the opening of the tube, these first support members and second support members can be moved so that the first support member and the second support member do not interfere.
(8) 상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재에 대한 초기 하중 설정 부재의 상하 위치에 따른 초기 하중을 상기 제1 탄성 부재에 발생시키는 상기 초기 하중 설정 부재와, 상기 초기 하중 설정 부재와는 다른 부재로 설치되어, 상기 제2 지지 부재에 대한 상기 제1 지지 부재의 상하 위치를 조정하기 위한 위치 조정 부재를 포함하고 있는 경우가 있다.(8) The door support mechanism comprises the initial load setting member for generating an initial load according to the vertical position of the initial load setting member with respect to the second support member to the first elastic member, and the initial load setting member In some cases, it is provided with another member and includes a position adjusting member for adjusting the vertical position of the first supporting member with respect to the second supporting member.
이 구성에 의하면, 초기 하중 설정 부재는, 예를 들면, 튜브의 개구부가 도어에 대해 변위하기 전의 상태에 있어서의 탄성 부재의 탄성 변형량을 설정할 수 있다. 또, 위치 조정 부재를 조작함으로써, 제2 지지 부재에 대한 제1 지지 부재의 상하 위치를 변경할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들면 열처리 장치의 메인터넌스 시 등에 있어서, 초기 하중 설정 부재를 조작하는 일 없이, 제2 지지 부재에 대한 제1 지지 부재(도어)의 위치 조정을 행할 수 있다. 이와 같이, 초기 하중 설정 작업과, 도어의 위치 조정 작업을 서로 독립적으로 행할 수 있는 구성이 채용되고 있는 결과, 열처리 장치의 조립 및 메인터넌스에 드는 수고를 보다 적게 할 수 있다.According to this configuration, the initial load setting member can set the amount of elastic deformation of the elastic member in a state before the opening of the tube is displaced with respect to the door, for example. In addition, by operating the position adjustment member, it is possible to change the vertical position of the first support member with respect to the second support member. With this configuration, it is possible to adjust the position of the first support member (door) with respect to the second support member without operating the initial load setting member, for example, during maintenance of the heat treatment apparatus. In this way, as a result of employing a configuration capable of performing the initial load setting operation and the door position adjustment operation independently of each other, it is possible to reduce the labor required for assembling and maintaining the heat treatment apparatus.
본 발명에 의하면, 열처리 장치에 있어서, 피처리물을 수용하는 튜브에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.Advantageous Effects of Invention According to the present invention, in the heat treatment apparatus, the load applied to the tube containing the object to be treated can be further reduced.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 열처리 장치의 개략 구성을 나타내는 모식적인 사시도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 2는, 열처리 장치의 주요부를 모식적으로 나타낸 구성을 열처리 장치의 좌측방에서 본 상태를 나타내는 도면이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 3은, 열처리 장치의 튜브 어댑터의 주변을 좌측방에서 본 상태를 나타내는 모식적인 단면도이다.
도 4는, 튜브 어댑터 지지 기구의 좌측 기구의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 5는, 튜브 어댑터 지지 기구의 우측 기구의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다.
도 6은, 튜브 어댑터 지지 기구의 우측 기구의 개략적인 단면도이다.
도 7은, 열처리 장치의 일부를 나타내는 모식적인 사시도이며, 도어 지지 기구의 모식적인 구성을 나타내고 있다.
도 8은, 도어 지지 기구의 구성을 모식적으로 나타내는, 일부를 단면으로 나타내는 좌측면도이며, 도 2의 일부를 확대한 도면에 상당한다.
도 9는, 도 7 및 도 8에 있어서의 도어 지지 기구의 주요부를 확대해서 나타내는 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 2 is a diagram showing a configuration schematically showing a main part of the heat treatment device as viewed from the left side of the heat treatment device, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 3 is a schematic cross-sectional view showing the periphery of the tube adapter of the heat treatment apparatus viewed from the left side.
4 is a schematic diagram of the left side mechanism of the tube adapter holding mechanism, and a part thereof is shown in cross section.
Fig. 5 is a schematic diagram of the right side mechanism of the tube adapter holding mechanism, and a part thereof is shown in cross section.
6 is a schematic cross-sectional view of the right side mechanism of the tube adapter holding mechanism.
Fig. 7 is a schematic perspective view showing a part of a heat treatment apparatus, and shows a schematic configuration of a door support mechanism.
FIG. 8 is a left side view schematically showing the configuration of the door support mechanism, showing a part in a cross section, and corresponds to an enlarged view of a part of FIG. 2.
9 is a perspective view showing an enlarged main part of the door support mechanism in FIGS. 7 and 8.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명은, 피처리물을 열처리하기 위한 열처리 장치로서 널리 적용할 수 있다.Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. Further, the present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus for heat treatment of an object to be treated.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 열처리 장치(1)의 개략 구성을 나타내는 모식적인 사시도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 2는, 열처리 장치(1)의 주요부를 모식적으로 나타낸 구성을 열처리 장치(1)의 좌측방에서 본 상태를 나타내는 도면이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 3은, 열처리 장치(1)의 튜브 어댑터(6) 주변을 좌측방에서 본 상태를 나타내는 모식적인 단면도이다. 도 4는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 좌측 기구(30L)의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 5는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)의 개략도이며, 일부를 단면으로 나타내고 있다. 도 6은, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)의 개략적인 단면도이다. 도 7은, 열처리 장치(1)의 일부를 나타내는 모식적인 사시도이며, 도어 지지 기구(9)의 모식적인 구성을 나타내고 있다. 도 8은, 도어 지지 기구(9)의 구성을 모식적으로 나타내는, 일부를 단면으로 나타내는 좌측면도이며, 도 2의 일부를 확대한 도면에 상당한다. 도 9는, 도 7 및 도 8에 있어서의 도어 지지 기구(9)의 주요부를 확대해서 나타내는 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a schematic configuration of a heat treatment apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and a part thereof is shown in cross section. FIG. 2 is a diagram showing a configuration schematically showing a main part of the heat treatment apparatus 1 as viewed from the left side of the heat treatment apparatus 1, and a part thereof is shown in cross section. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state of the periphery of the
또한, 이하에서는, 열처리 장치(1)의 후술하는 튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향을 따라 튜브(4)의 개구부(4a)와 마주 한 상태에서 봤을 때를 기준으로 하여, 전후 방향(X), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z)을 말한다. 또, 「좌우 방향(Y)에 있어서의 내측」이란, 좌우 방향(Y)에 있어서 튜브(4)의 중심 축선(P1)에 가까운 측을 말하며, 「좌우 방향(Y)에 있어서의 외측」이란, 좌우 방향(Y)에 있어서 열처리 장치(1)의 외측에 가까운 측을 말한다.In the following, as a reference, when viewed from the state facing the
도 1 및 도 2를 참조하여, 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)의 표면에 열처리를 실시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 이 열처리로서, CVD(Chemical Vapor Deposition) 처리, 확산 처리, 어닐링 처리, 태양 전지의 제조 처리, 반도체 디바이스의 제조 처리 등을 예시할 수 있다. 본 실시형태에서는, 피처리물(100)은, 유리 기판이다. 피처리물(100)은, 예를 들면, 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 열처리 장치(1)는, 피처리물(100)을, 반응성 가스의 분위기 하에서 열처리함으로써, 피처리물(100)의 표면에, 박막을 형성한다. 또, 열처리 장치(1)는, 가로형 열처리 장치이다. 피처리물(100)은, 열처리 장치(1)에 대해 넣고 꺼내어질 때에, 수평 방향인 전후 방향(X)으로 변위된다.1 and 2, the heat treatment apparatus 1 is configured to be capable of performing heat treatment on the surface of the object to be treated 100. As this heat treatment, a CVD (Chemical Vapor Deposition) treatment, a diffusion treatment, an annealing treatment, a solar cell manufacturing process, a semiconductor device manufacturing process, and the like can be exemplified. In this embodiment, the object to be processed 100 is a glass substrate. The object to be processed 100 is formed in, for example, a rectangular shape. The heat treatment apparatus 1 forms a thin film on the surface of the
열처리 장치(1)는, 하우징(2)과, 튜브 지지 부재(3)와, 튜브(수납 용기)(4)와, 히터(5)와, 튜브 어댑터(6)와, 튜브 어댑터 지지 기구(7)와, 도어(8)와, 도어 지지 기구(9)를 갖고 있다.The heat treatment apparatus 1 includes a
하우징(2)은, 열처리 장치(1)의 외각 부재로서 설치되어 있고, 본 실시형태에서는, 전후 방향(X)으로 가늘고 길게 연장되는 틀 구조를 갖고 있다.The
하우징(2)은, 열처리 장치(1)의 전단에 배치된 좌우 한 쌍의 기둥으로서의 우측 기둥(11R) 및 좌측 기둥(11L)과, 이들 기둥(11R, 11L)의 하부 측에 있어서 수평으로 설치된 바닥부(12)를 갖고 있다.The
바닥부(12)에는, 튜브 지지 부재(3)가 올려 놓아져 있다. 튜브 지지 부재(3)는, 튜브(4)의 외주부의 형상을 따라 원호 형상으로 형성된 면을 갖는 블록 형상 부분과, 이 블록 형상 부분으로부터 하방으로 연장되어 바닥부(12)에 고정되는 기둥을 포함하는 부재이며, 전후 방향(X)을 따라 복수 배치되어 있다. 이들 튜브 지지 부재(3)에 의해, 튜브(4)가 지지되어 있다.The
튜브(4)는, 피처리물(100)을 수납하기 위해 설치된 가로형 튜브이다. 튜브(4)는, 튜브(4) 내에 수납된 피처리물(100)을, 가열된 분위기 하에서 열처리하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브(4)는, 석영을 이용하여 형성되어 있다. 튜브(4)는, 중공으로 형성되어 있다. 튜브(4)의 두께(판 두께)는, 수십mm 정도로 설정되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브(4)는, 전후 방향(X)으로 연장되는 중심 축선(P1)을 갖는 원통 형상으로 형성되어 있다. 튜브(4)의 후단은 닫혀져 있다. 튜브(4)의 원통 형상 부분(몸통부)은, 튜브 지지 부재(3)에 올려져 이 튜브 지지 부재(3)에 지지되어 있다. 튜브(4)의 전단은, 전방으로 개방되어 있고, 개구부(4a)를 형성하고 있다.The
개구부(4a)는, 피처리물(100)을 통과시키는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 피처리물(100)은, 개구부(4a)를 통과해 튜브(4)에 넣고 꺼내어 진다. 피처리물(100)은, 예를 들면 지지대(13)에 올려진 상태로, 개구부(4a)를 통과해 튜브(4)에 넣고 꺼내어진다. 상기의 구성을 갖는 튜브(4)는, 히터(5)에 의해 가열된다.The
히터(5)는, 튜브(4) 내의 분위기를 가열하기 위해 설치되어 있다. 히터(5)는, 예를 들면, 전열 히터이다. 히터(5)는, 하우징(2)에 설치되어 있고, 튜브(4) 주위를 둘러싸도록 배치되어 있다. 도 1에서는, 히터(5)의 일부를 도시하고 있다. 히터(5)는, 튜브(4) 내의 분위기를, 수백도 정도로 가열하는 것이 가능하다. 튜브(4) 내의 분위기가 가열되고 있는 동안, 튜브(4)의 개구부(4a)는, 튜브 어댑터(6) 및 도어(8)에 의해 닫혀져 있다.The
도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)를 개폐하기 위해 설치되어 있다. 도어(8)는, 예를 들면, 금속판을 이용하여 형성되어 있다. 도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 형상을 따르는 형상으로 형성되어 있고, 본 실시형태에서는, 원판 형상으로 형성되어 있다. 도어(8)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 막도록 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 따름으로써, 튜브(4)의 개구부(4a)를 막는다. 보다 구체적으로는, 도어(8)의 외주부는, 튜브 어댑터(6)의 후술하는 제1 플랜지(21)에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 도어(8)의 외주부가 제1 플랜지(21)에 접촉한 경우, 도어(8)와, 제1 플랜지(21) 사이는, 후술하는 제1 시일 부재(15)에 의해 기밀하게 시일된다. 도어(8)는, 튜브(4) 및 튜브 어댑터(6)의 전방에 배치되어 있다. 도어(8)는, 도어 지지 기구(9)에 의해, 튜브(4)의 개구부(4a)를 개폐 가능하게 지지되어 있다. 도어 지지 기구(9)의 상세는, 후술한다.The
도 1~도 3을 참조하여, 튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)와 도어(8) 사이에 배치되어, 도어(8)를 튜브(4)에 장착하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터(6)는, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)를 냉각하도록 구성되어 있다. 튜브 어댑터(6)가 설치되어 있음으로써, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)는, 히터(5)로부터의 열에 의한 과열이 억제된다. 그 결과, 제1 시일 부재(15), 및, 제2 시일 부재(16)의 열화를 억제할 수 있다.1 to 3, the
튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)에 인접하여 배치되어 있다. 튜브 어댑터(6)는, 2개의 원통 부재(내통(19) 및 외통(20))를 조합한 형상을 갖고 있으며, 튜브(4)와는, 대략 동축에 배치되어 있다. 튜브 어댑터(6)는, 금속재료를 이용하여 형성되어 있다. 이 금속재료는, 예를 들면, 스테인리스재이다.The
튜브 어댑터(6)는, 내통(19)과, 내통(19)을 둘러싸는 외통(20)과, 내통(19)의 전단 및 외통(20)의 전단 사이를 막는 환 형상의 제1 플랜지(21)와, 내통(19)의 후단 및 외통(20)의 후단 사이를 막는 환 형상의 제2 플랜지(22)와, 냉각 수로(23)와, 제2 시일 부재 홀더(24)를 갖고 있다.The
제1 플랜지(21)는, 도어(8)와 접촉하는 부분으로서 설치되어 있다. 제1 플랜지(21)는, 용접 등에 의해, 내통(19) 및 외통(20)에 고정되어 있다. 제1 플랜지(21) 중, 도어(8)에 대향하는 앞면에, 환 형상의 제1 시일 부재(15)가 배치되어 있다.The
제1 시일 부재(15)는, 도어(8)와, 튜브 어댑터(6) 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 시일 부재(15)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 갖고 있다. 제1 시일 부재(15)의 후방에, 제2 플랜지(22)가 배치되어 있다.The
제2 플랜지(22)는, 튜브(4)에 인접하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 플랜지(22)는, 용접 등에 의해, 내통(19) 및 외통(20)에 고정되어 있다. 제2 플랜지(22), 제1 플랜지(21), 내통(19) 및 외통(20)에 의해, 냉각 수로(23)가 형성되어 있다.The
냉각 수로(23)는, 원통 형상의 수로로서 설치되어 있다. 냉각 수로(23)는, 도시하지 않은 열교환기와 접속되어 있다. 냉각 수로(23)는, 이 열교환기에서 냉각된 냉각수가 통과하도록 구성되어 있다. 이로 인해, 냉각 수로(23)에 인접하여 배치된 제1 시일 부재(15) 및 제2 시일 부재(16)가 냉각된다.The cooling
제2 시일 부재(16)는, 튜브 어댑터(6)와 튜브(4) 사이를, 기밀하게 시일하기 위해 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 시일 부재(16)는, 제1 시일 부재(15)와 동일한 구성을 갖고 있다. 즉, 제2 시일 부재(16)는, 합성고무 등을 이용하여 형성된 O링이며, 탄성 및 가요성을 갖고 있다. 제2 시일 부재(16)는, 환 형상으로 형성되어 있다. 제2 시일 부재(16)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 외주면에 끼워져 있다. 또, 제2 시일 부재(16)는, 제2 플랜지(22)의 후단면에 접촉하고 있다. 제2 시일 부재(16)는, 제2 시일 부재 홀더(24)에 의해, 유지되고 있다.The
제2 시일 부재 홀더(24)는, 전후 방향(X)으로 볼 때 원호 형상으로 형성된 블록 형상 부재이며, 튜브(4)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 제2 시일 부재 홀더(24)는, 볼트 등의 고정 부재(25)를 이용하여 제2 플랜지(22)에 고정되어 있다. 각 제2 시일 부재 홀더(24)는, 제2 시일 부재(16)를 튜브(4)의 개구부(4a)에 있어서 튜브(4)의 외주면에 누르고 있다.The second
도 4~도 6을 참조하여, 상기의 구성을 갖는 튜브 어댑터(6)는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)에 의해 지지되어 있다. 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 튜브 어댑터(6)를 지지하고 있다.4 to 6, the
본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 튜브 어댑터(6)의 중앙 부분에 설치되어 있다. 또, 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 전후 방향(X)(튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향)에서 볼 때, 튜브 어댑터(6)의 우측 부분 및 좌측 부분의 각각에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 구체적으로는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)의 우측방에 설치된 우측 기구(30R)와, 튜브 어댑터(6)의 좌측방에 설치된 좌측 기구(30L)를 갖고 있다.In this embodiment, the tube
또한, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 우측 기구(30R)와 좌측 기구(30L)는, 좌우 대칭인 구성을 갖고 있다. 따라서, 이하에서는, 특별히 언급하지 않는 한, 우측 기구(30R)의 구성과 좌측 기구(30L)의 구성을 구별하지 않고 설명한다.In addition, the
우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 튜브(4)를 좌우 방향(Y)으로 사이에 끼우도록 배치되어 있다. 우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 전후 방향(X)에서 볼 때(튜브(4)의 중심 축선(P1) 방향에서 볼 때), 튜브 어댑터(6)의 우측방 및 좌측방에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 상하 방향(Z)에 있어서의 우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)의 길이는, 본 실시형태에서는, 튜브(4)의 내경의 1/3 정도이다.The
우측 기구(30R) 및 좌측 기구(30L)는, 각각, 고정부(31)와, 가동부(32)와, 고정부(31) 및 가동부(32)에 설치되어 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 이동을 안내하는 리니어 가이드(35)로서 고정 레일(33) 및 슬라이더(34)를 포함하는 리니어 가이드(35)와, 튜브 어댑터(6)의 하중을 받기 위한 제1 하중 받침부(36)를 갖고 있다.The
고정부(31)는, 하우징(2)에 고정되어 있는 부분이며, 상하 방향(Z)으로의 이동이 규제되고 있다. 고정부(31)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 외측 근처 부분에 배치되어 있다. 고정부(31)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 변위를 허용하도록 구성되어 있다.The fixing
고정부(31)는, 제1 고정 부재(37)와, 제2 고정 부재(38)와, 제3 고정 부재(39)와, 고정 레일(33)을 갖고 있다.The fixing
제1 고정 부재(37)는, 하우징(2)의 대응하는 기둥(11R, 11L)(도 1 참조)에 고정된 부재이다. 이 제1 고정 부재(37)는, 대응하는 기둥(11R, 11L)으로부터 전방으로 연장되어 있고, 예를 들면, 직사각형의 판 형상 부분을 포함하고 있다. 제1 고정 부재(37)에, 제2 고정 부재(38)가 전후 방향(X)의 위치 조정을 가능하게 장착되어 있다.The first fixing
제2 고정 부재(38)는, 좌우 방향(Y)에 있어서, 제1 고정 부재(37)의 위치에 대해 튜브(4)의 중심 근처의 위치에 배치되어 있다. 제2 고정 부재(38)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에서 볼 때 L자 형상으로 형성되어 있다. 제2 고정 부재(38)는, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)과 좌우 방향(Y)으로 나열되어 있다. 제2 고정 부재(38)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 가로로 긴 구멍(38a)이 형성되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(38a)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제2 고정 부재(38)의 외측 부분에 배치되어 있고, 전후 방향(X)으로 연장되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(38a)에는, 고정 볼트(40)가 통과되고 있다. 각 고정 볼트(40)는, 제1 고정 부재(37)에 형성된 나사 구멍(도시하지 않음)에 나사 결합하고 있고, 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 체결하고 있다. 고정 볼트(40)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 가로로 긴 구멍(38a)의 위치를 변경함으로써, 제1 고정 부재(37)(튜브(4))에 대한 제2 고정 부재(38)의 전후 위치를 조정할 수 있다. 또한, 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 대해 전후 방향(X)의 위치를 조정 가능하며 또한 제2 고정 부재(38)를 제1 고정 부재(37)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다. 제2 고정 부재(38) 중, 전후 방향(X)과 직교하는 직사각형 판 형상으로 형성된 부분에, 제3 고정 부재(39)가 좌우 방향(Y)의 위치 조정을 가능하게 장착되어 있다.The second fixing
제3 고정 부재(39)는, 좌우 방향(Y)에 있어서, 제2 고정 부재(38)의 위치에 대해 튜브(4)의 중심 근처의 위치에 배치되어 있다. 제3 고정 부재(39)는, 본 실시형태에서는, 상하로 가늘고 긴 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있고, 제3 고정 부재(39)의 두께 방향이 전후 방향(X)이 되도록 배치되어 있다. 제3 고정 부재(39)는, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)과 좌우 방향(Y)으로 나열되어 있다. 제3 고정 부재(39)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 가로로 긴 구멍(39a)이 형성되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(39a)은, 좌우 방향(Y)으로 연장되어 있다. 각 가로로 긴 구멍(39a)에는, 고정 볼트(41)가 통과되고 있다.The third fixing
각 고정 볼트(41)는, 제2 고정 부재(38)에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하고 있고, 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 체결하고 있다. 고정 볼트(41)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 고정 볼트(41)에 대한 가로로 긴 구멍(39a)의 위치를 변경함으로써, 제2 고정 부재(38)(튜브(4))에 대한 제3 고정 부재(39)의 좌우 위치를 조정할 수 있다. 또한, 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 대해 좌우 방향(Y)의 위치를 조정 가능하며 또한 제3 고정 부재(39)를 제2 고정 부재(38)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다.Each of the fixing
상술한 구성에 의해, 제3 고정 부재(39) 및 고정 레일(33)은, 고정 볼트(40, 41)를 느슨하게 한 상태에서, 튜브(4)에 대한 전후 방향(X)의 위치 및 좌우 방향(Y)의 위치를 변경할 수 있다.With the above-described configuration, the third fixing
제3 고정 부재(39)에는, 스토퍼 브래킷(42)이 고정되어 있다. 스토퍼 브래킷(42)은, 하나의 제3 고정 부재(39)에 있어서 상하 방향(Z)으로 나열되어 예를 들면 2개소에 배치되어 있고, 본 실시형태에서는, 제3 고정 부재(39)로부터 전방으로 연장되어 있다. 각 스토퍼 브래킷(42)에는, 스토퍼(43)가 고정되어 있다. 스토퍼(43)는, 예를 들면, 볼트를 이용하여 형성되어 있다. 스토퍼(43)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 가동량의 최대치를 규정하기 위해 설치되어 있다. 스토퍼(43)는, 스토퍼 브래킷(42)에 형성된 관통 구멍을 관통하고 있고, 당해 스토퍼(43)에 장착된 한 쌍의 고정 너트(44)를 이용하여 스토퍼 브래킷(42)에 고정되어 있다. 이 구성에 의해, 좌우 방향(Y)에 있어서의 스토퍼(43)의 머리부의 위치를 조정 가능하다. 본 실시형태에서는, 스토퍼(43)의 선단에 설치된 머리부가, 가동부(32)의 후술하는 스토퍼 받침부(46e)에 접촉 가능하게 배치된다. 제3 고정 부재(39)에는, 고정 레일(33)이 고정되어 있다.A
고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)으로 곧게 연장되는 부재이다. 고정 레일(33)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제3 고정 부재(39)의 내측 부분에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있다. 고정 레일(33)은, 제3 고정 부재(39)의 앞면에 설치되어 있다. 고정 레일(33)은, 상하 방향(Z)에서 볼 때 잘록한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 고정 레일(33)은, 전후 방향(X)의 중간부의 폭(좌우 방향(Y)의 폭)이, 전단부의 폭보다 좁고, 또한, 후단부의 폭보다 좁은 형상으로 형성되어 있다. 이 고정 레일(33)에 의해, 슬라이더(34)를 포함하는 가동부(32)가 상하 방향(Z)의 변위를 안내받는다.The fixed
가동부(32)는, 튜브 어댑터(6)에 고정되어 있는 부분이며, 튜브 어댑터(6)와 상하 방향(Z)으로 일체적으로 이동 가능하다. 가동부(32)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 내측 근처 부분에 배치되어 있다. 가동부(32)는, 튜브 어댑터(6)와 일체적으로 상하 방향(Z)으로 변위한다.The
가동부(32)는, 제1 가동 부재(45)와, 제2 가동 부재(46)와, 슬라이더(34)를 갖고 있다.The
제1 가동 부재(45)는, 튜브 어댑터(6)에 직접 고정되어 있는 부분이다. 제1 가동 부재(45)는, 대략 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있고, 제1 가동 부재(45)의 두께 방향이 전후 방향(X)을 따르고 있다. 제1 가동 부재(45) 중, 좌우 방향(Y)의 내측 단면은, 튜브 어댑터(6)의 외통(20)의 외주면 형상을 따르는 원호 형상으로 형성되어 있고, 외통(20)의 외주면에 용접 등에 의해 고정되어 외통(20)과 일체화하고 있다. 또한, 제1 가동 부재(45)와 외통(20)은, 서로의 상대 위치 조정을 가능하게 연결되어 있어도 된다. 제1 가동 부재(45)에는, 상하 방향(Z)으로 나열된 복수의 세로로 긴 구멍(45a)이 형성되어 있다.The first
각 세로로 긴 구멍(45a)은, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제1 가동 부재(45)의 외측 부분에 배치되어 있고, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있다. 각 세로로 긴 구멍(45a)에는, 고정 볼트(47)가 통과되고 있다. 각 고정 볼트(47)는, 제2 가동 부재(46)에 형성된 나사 구멍에 나사 결합하고 있고, 제2 가동 부재(46)를 제1 가동 부재(45)에 체결하고 있다. 고정 볼트(47)가 느슨해져 있을 때에 있어서, 고정 볼트(47)에 대한 세로로 긴 구멍(45a)의 위치를 변경함으로써, 제1 가동 부재(45)에 대한 제2 가동 부재(46)의 상하 방향(Z)의 위치를 조정할 수 있다. 상술한 바와 같이, 가로로 긴 구멍(38a, 39a)과 세로로 긴 구멍(45a)이 형성되어 있음으로써, 하우징(2)에 대한 전후 방향(X), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 3차원의 위치 조정이 가능하다. 예를 들면, 튜브 어댑터(6)가 후술하는 탄성 부재(51)로 지지되며 또한 외력을 받지 않는 무부하 상태에 있어서, 가로로 긴 구멍(38a, 39a)의 위치와 세로로 긴 구멍(45a)의 위치를 조정함으로써, 튜브 어댑터(6)의 위치 조정이 가능하다. 이 위치 조정하는데 튜브 어댑터(6)에 가할 필요가 있는 힘은, 수kg 정도로 족하다.Each of the vertically
또한, 제2 가동 부재(46)를 제1 가동 부재(45)에 대해 상하 방향(Z)의 위치를 조정 가능하며 또한 제2 가동 부재(46)을 제1 가동 부재(45)에 고정 가능한 구성이라면, 상술한 구성으로 한정되지 않는다.In addition, the position of the second
제2 가동 부재(46)는, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)를 유지하는 부분으로서 설치되어 있다. 제2 가동 부재(46)는, 상하 방향(Z)으로 가늘고 길게 연장되어 있다. 제2 가동 부재(46)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에서 볼 때 크랭크 형상으로 형성되어 있고, 전후 방향(X)과 직교하여 연장되는 후부(46a)와, 좌우 방향(Y)과 직교하여 연장되는 중간부(46b)와, 전후 방향(X)과 직교하여 연장되는 전부(46c)를 갖고 있다.The second
후부(46a)에는, 상술한 고정 볼트(47)가 나사 결합하는 부분이다. 이 후부(46a)에 제1 가동 부재(45)가 고정되어 있다. 후부(46a)는, 제1 가동 부재(45)의 후방에 배치되어 있다. 중간부(46b)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 리니어 가이드(35)의 측방에 배치되어 있다. 전부(46c)에는, 스토퍼 받침부(46d, 46e)가 형성되어 있다. 스토퍼 받침부(46d, 46e)는, 각각, 전부(46c)의 일부를 잘라내도록 하여 형성된 부분이다. 보다 구체적으로는, 판 형상의 전부(46c) 중, 좌우 방향(Y)의 외측 부분이며 또한 스토퍼(43)에 인접하는 개소에, 좌우 방향(Y)의 내측을 향한 오목부를 형성함으로써, 스토퍼 받침부(46d, 46e)가 형성되어 있다. 스토퍼 받침부(46d)의 상단부 및 하단부와, 스토퍼 받침부(46e)의 상단부는, 스토퍼(43)에 대한 상하 방향(Z)의 변위량이 일정치에 도달하면, 스토퍼(43)의 머리부에 접촉한다. 이로 인해, 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 고정부(31)에 대해 상하 방향(Z)으로 과도하게 변위하는 것을 방지할 수 있다. 전부(46c)의 후단부에, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)가 고정되어 있다.To the
슬라이더(34)는, 고정 레일(33)과 협동하여 리니어 가이드(35)를 형성하고 있다. 슬라이더(34)는, 본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)으로 이격하여 2개 설치되어 있다. 또한, 슬라이더(34)의 수는 한정되지 않는다.The
상하 방향(Z)에서 볼 때, 슬라이더(34)는, 고정 레일(33)의 형상에 대응한 형상을 갖고 있고, 잘록한 형상으로 형성되어 있다. 즉, 슬라이더(34)의 홈에 있어서, 전후 방향(X)의 중간부의 폭(좌우 방향(Y)의 폭)이, 전단부의 폭보다 좁고, 또한, 후단부의 폭보다 좁은 형상으로 형성되어 있다. 슬라이더(34)는 고정 레일(33)에 상하 방향(Z)으로 상대 이동 가능하게 끼워져 있다.When viewed in the vertical direction Z, the
제1 하중 받침부(36)는, 튜브 어댑터(6) 및 가동부(32)의 자중을 포함하는 하중을 받기 위해 설치되어 있다. 제1 하중 받침부(36)는, 탄성 지지 기구며, 튜브 어댑터(6) 및 가동부(32)를 상하 방향(Z)으로 이동 가능한 상태로 상기 하중을 받는다. 제1 하중 받침부(36)는, 본 실시형태에서는, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 하부에 배치되어 있다.The first
제1 하중 받침부(36)는, 축부재(48)와, 축부재(48)에 장착된 한 쌍의 받침부재(49, 50)와, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 사이에 끼워진 탄성 부재(51)를 갖고 있다.The first
축부재(48)는, 상하 방향(Z)으로 연장되어 있고, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 및 탄성 부재(51)가 감합(嵌合)하고 있다. 축부재(48)는, 예를 들면 머리부가 있는 볼트 또는 스터드 볼트 등의 볼트를 이용하여 형성된 수나사 부재이다. 축부재(48)는, 제2 가동 부재(46)의 중간부(46b)에 형성된 암나사부(46f)에 나사 결합되어 있다. 또, 축부재(48) 중 암나사부(46f)에 인접한 개소이며 또한 제2 가동 부재(46)의 하방 위치에, 락너트(52)가 나사 결합하고 있다. 락너트(52)가 설치되어 있음으로써, 축부재(48)가 제2 가동 부재(46)에 대해 느슨해지는 것이 억제되고 있다. 이 구성에 의해, 축부재(48)와 가동부(32)는 상하 방향(Z)으로 일체적으로 변위한다. 축부재(48) 중, 락너트(52)의 하방에, 한 쌍의 받침부재(49, 50) 및 탄성 부재(51)가 배치되어 있다.The
한 쌍의 받침부재(49, 50)는, 협동하여 탄성 부재(51)를 상하 방향(Z)으로 사이에 끼우고 있고, 탄성 부재(51)의 탄성 반발력을 고정부(31)와 가동부(32)에 전달한다. 각 받침부재(49, 50)는, 본 실시형태에서는, 중앙에 관통 구멍이 형성된 원판 형상으로 형성되어 있다. 각 받침부재(49, 50)의 관통 구멍에 축부재(48)가 간극을 두고 통과되고 있다. 상측의 받침부재(49)의 상방에는, 더블 너트로 이루어진 스토퍼(53)가 배치되어 있다. 이 스토퍼(53)는, 축부재(48)에 나사 결합하고 있음과 더불어, 상측의 받침부재(49)를 상방에서 받치고 있다. 이로 인해, 상측의 받침부재(49)는, 축부재(48)에 대한 상방으로의 이동이 규제되고 있다. 하측의 받침부재(50)는, 고정부(31)의 제3 고정 부재(39)에 받쳐지고 있다. 구체적으로는, 제3 고정 부재(39)의 하단부에는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 제3 고정 부재(39)의 내측 단부의 하단부에, 볼록 형상의 받침부(39b)가 형성되어 있다. 이 받침부(39b)에 하측의 받침부재(50)가 배치되어 있고, 받침부(39b)가 하측의 받침부재(50)를 하방에서 받치고 있다.The pair of
탄성 부재(51)는, 본 실시형태에서는, 코일 스프링이다. 탄성 부재(51)는, 가동부(32)로부터 축부재(48) 및 상측의 받침부재(49)를 통해 전달된 하중을, 하측의 받침부재(50)를 통해 고정부(31)의 제3 고정 부재(39)에 전달한다The
제3 고정 부재(39)에는, 받침부(39b)의 하방에 관통 구멍이 형성되어 있고, 이 관통 구멍에 축부재(48)가 통과되고 있다. 축부재(48)의 하부에는, 너트로 이루어진 스토퍼(54)와 나사 결합하고 있다. 스토퍼(54)는, 이른바 더블 너트이며, 서로 체결됨으로써 축부재(48)에 고정되어 있다. 튜브(4)의 중심 축선이 수평일 때, 상측의 스토퍼(54)와 제3 고정 부재(39) 사이에는, 간극(SP)이 형성되어 있다. 이 간극(SP)은, 고정부(31)에 대해 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 상측으로 변위할 수 있는 가동량에 상당한다. 튜브(4)의 중심 축선이 수평인 상태에서 가동부(32) 및 튜브 어댑터(6)가 상기 간극(SP) 만큼 상방으로 변위하면, 스토퍼(54)가 제3 고정 부재(39)의 하단부에 접촉하여, 축부재(48), 가동부(32), 및, 튜브 어댑터(6)가 그 이상 상방으로 변위하는 동작을 규제한다.In the third fixing
이상 설명한 바와 같이, 튜브 어댑터(6)가 상하 방향(Z)으로 변위하면, 리니어 가이드(35)의 슬라이더(34)가 고정 레일(33)에 대해 상하 방향(Z)으로 슬라이딩한다. 이 때, 튜브 어댑터(6)의 하중은, 제1 하중 받침부(36)의 탄성 부재(51)에 의해 상시 받아지고 있으므로, 튜브 어댑터(6)의 부드러운 상하 변위가 가능하다.As described above, when the
이상이, 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 구성이다.The above is the configuration of the tube
도 2 및 도 7~도 9를 참조하여, 다음으로, 도어 지지 기구(9)의 구성을 설명한다.Next, the configuration of the
도어 지지 기구(9)는, 하우징(2)에 장착되어 있고, 튜브 어댑터(6) 및 튜브 어댑터 지지 기구(7)의 전방에 배치되어 있다. 도어 지지 기구(9)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))에 대해 도어(8)를 개폐 가능하게 지지하고 있고, 튜브(4)의 개구부(4a) 및 튜브 어댑터(6)의 상하 방향(Z)으로의 변위에 연동하여 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 또, 본 실시형태에서는, 도어 지지 기구(9)는, 도어(8)의 경사 동작을 허용하고 있다.The
도어 지지 기구(9)는, 도어(8)를 지지하기 위해 도어(8)에 연결된 제1 지지 부재(61)와, 제1 지지 부재(61)를 지지하는 제2 지지 부재(62)와, 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달하는 제2 하중 받침부(64)와, 제2 지지 부재(62)를 지지하고 제2 지지 부재(62) 및 제1 지지 부재(61)를 통해 도어(8)에 연결되어 도어(8)를 개폐시키기 위한 도어 개폐 기구(65)와, 도어(8)에 관한 설정을 행하기 위한 설정부(66)를 갖고 있다.The
제1 지지 부재(61)는, 본 실시형태에서는, 도어(8)의 전방이며 또한 도어(8)의 상부 측에 배치되어 상하 방향(Z)으로 연장되는 축형상부이다. 제1 지지 부재(61)는, 본 실시형태에서는, 스터드 볼트를 이용하여 형성되어 있고, 수나사부(61a)를 갖고 있다. 제1 지지 부재(61)는, 좌우 방향(Y)에 있어서의 도어(8)의 중심에 배치되어 있다. 제1 지지 부재(61)는, 금속제로 10mm~수십mm 정도의 직경을 갖고 있고, 도어(8)의 자중을 지탱하는 것이 가능한 강도를 갖고 있다. 제1 지지 부재(61)의 하부는 도어(8)의 전방에 위치하고 있고, 제1 지지 부재(61)의 상부는 도어(8)의 상방에 위치하고 있다. 제1 지지 부재(61)의 하단부는, 이음으로서의 구면 이음(67)을 통해 도어(8)에 연결되어 있다.In the present embodiment, the
구면 이음(67)은, 제1 지지 부재(61)에 장착된 제1 부재(68)와, 도어(8)에 장착된 제2 부재(69)를 갖고 있다.The spherical joint 67 has a
구면 이음(67)의 제1 부재(68)는, 본 실시형태에서는, 베어링 부분이며, 제2 부재(69)에 설치된 구형상부(70)를 받치는 구체 받침부(71)와, 구체 받침부(71)로부터 상방으로 연장되어 제1 지지 부재(61)의 하단의 수나사부(61a)에 나사 결합하는 암나사축(72)을 갖고 있다. 구체 받침부(71)는, 구형상부(70)와 미끄럼 접촉하는 내주면을 포함하고 있다. 제1 부재(68)는, 제1 지지 부재(61)와 나사 결합함으로써, 제1 지지 부재(61)와 일체적으로 이동한다.The
구면 이음(67)의 제2 부재(69)는, 본 실시형태에서는, 축부분이며, 구형상부(70)와, 구형상부(70)로부터 예를 들면 후방으로 연장되는 수나사축(73)으로서, 도어(8)의 앞면에 고정된 브래킷(8a)에 형성된 암나사부(도시하지 않음)에 나사 결합하는 수나사축(73)을 갖고 있다. 제2 부재(69)는, 브래킷(8a) 및 도어(8)와 일체적으로 이동한다. 상기와 같이, 도어(8)와 제1 지지 부재(61)가 구면 이음(67)을 이용하여 연결되어 있음으로써, 도어(8)는, 상하 방향(Z)과 직교하는 좌우 방향(Y)으로 연장되는 축선(L1) 둘레로 변위 가능하게 제1 지지 부재(61)에 연결되어 있다. 이 구성에 의해, 도어(8)를 닫았을 때에 도어(8)의 외주부와 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a) 사이에 간극이 생기는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재(61)에 구형상부(70)를 형성함과 더불어, 도어(8)의 브래킷(8a)에 이 구형상부(70)를 받치는 베어링부를 설치해도 된다.The
상술한 구성을 갖는 구면 이음(67)이 하단에 설치된 제1 지지 부재(61)를 둘러싸도록 하여, 제2 지지 부재(62)가 배치되어 있다.The
제2 지지 부재(62)는, 상술한 바와 같이, 제1 지지 부재(61)를 지지하는 부재이며, 제1 지지 부재(61)와는 전후 방향(X) 및 좌우 방향(Y)으로 일체적으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 지지 부재(62)는, 도어(8)의 전방에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제2 지지 부재(62)는, 수mm 정도 두께의 금속판을 복수 조합하여 형성되어 있다. 이로 인해, 제2 지지 부재(62)는, 도어(8) 등의 하중을 지탱하는 것이 가능한 강도를 갖고 있다.As described above, the
제2 지지 부재(62)는, 좌우 한 쌍의 기둥(74R, 74L)과, 상하 한 쌍의 빔으로서의 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)을 갖고 있다.The
기둥(74R, 74L)은, 도어 개폐 기구(65)에 지지되는 부분으로서 설치되어 있다. 기둥(74R, 74L)은, 좌우 방향(Y)으로 이격하여 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 기둥(74R, 74L)은, 도어 개폐 기구(65)에 매달아 지지되어 있다. 기둥(74R, 74L)은, 각각, 좌우 방향(Y)을 두께 방향으로 하는 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있다. 기둥(74R, 74L)의 상단부는, 도어(8)의 상방에 배치되어 있고, 도어 지지 기구(9)의 후술하는 전후 슬라이더(111a, 111a)에 고정되어 있다. 각 기둥(74R, 74L)의 상부는, 도어(8)의 상방에 위치하고 있고, 각 기둥(74R, 74L)의 중간부로부터 하단부에 걸친 부분이, 도어(8)의 전방에 위치하고 있다. 각 기둥(74R, 74L)과 도어(8) 사이에는, 도어 누름 탄성 부재(77)가 배치되어 있다.The
도어 누름 탄성 부재(77)는, 「제2 탄성 부재」의 일례이다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 제2 지지 부재(62)와 도어(8) 사이에서 탄성 변형함으로써 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시킨다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 코일 스프링 등을 이용하여 형성되어 있고, 우측 기둥(74R)과 도어(8) 사이에 배치되어 있음과 더불어, 좌측 기둥(74L)과 도어(8) 사이에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 각 기둥(74R, 74L)에 있어서 상하 방향(Z)으로 이격하여 예를 들면 2개소에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 예를 들면, 상하 방향(Z)에 있어서의 구면 이음(67)의 하방에 배치되어 있다. 도어 누름 탄성 부재(77)는, 대응하는 기둥(74R, 74L)에 장착되어 있는 것이 바람직하지만, 도어(8)에 장착되어 있어도 된다. 상기 구성에 의해, 도어(8)와 마주 한 정면에서 봤을 때, 도어 누름 탄성 부재(77)는, 좌우 대칭으로 배치되어 있고, 이들 복수의 도어 누름 탄성 부재(77)가 도어(8)를 보다 균등한 하중으로 튜브(4)측에 가압하고 있다. 좌우 한 쌍의 기둥(74R, 74L) 사이에, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)이 배치되어 있다.The door pressing
상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 제2 하중 받침부(64)의 후술하는 탄성 부재(82)를 지지함과 더불어 제1 지지 부재(61)가 통과되는 부분으로서 설치되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 상하 방향(Z)으로 이격하여 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 기둥(74R, 74L)에 고정되어 있다. 보다 구체적으로는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)의 좌우 양단부가, 각각, 대응하는 기둥(74R, 74L)의 내측면에 고정되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 각각, 상하 방향(Z)을 두께 방향으로 하는 직사각형의 판 형상으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)은, 도어(8)의 상방에 배치되어 있다. 상부 빔(75)의 상방에는, 설정부(66)의 후술하는 초기 하중 설정부(91)가 배치되는 공간이 형성되어 있다. 또, 상부 빔(75)과 하부 빔(76) 사이에는, 설정부(66)의 후술하는 도어 높이 위치 조정부(92)가 배치되는 공간이 형성되어 있다. 상부 빔(75) 및 하부 빔(76)에는, 각각, 관통 구멍(75a, 76a)이 형성되어 있다.The
관통 구멍(75a, 76a)은, 제1 지지 부재(61)가 통과하는 부분으로서 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 관통 구멍(75a, 76a)은, 평면에서 볼 때 빔(75, 76)의 중앙에 형성되어 있다.The through
상기의 구성을 갖는 제2 지지 부재(62)는, 제2 하중 받침부(64)를 통해 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)로부터의 하중을 받는다. 제2 하중 받침부(64)는, 제2 지지 부재(62)의 기둥(74R, 74L) 사이에 있어서, 상부 빔(75)의 상방에 배치되어 있다.The
제2 하중 받침부(64)는, 상부 빔(75)에 올려진 하부 플레이트(81)와, 하부 플레이트(81)에 올려진 좌우 한 쌍의 탄성 부재(82, 82)와, 이들 탄성 부재(82) 상에 설치된 상부 플레이트(83)와, 상부 플레이트(83)와 하부 플레이트(81)를 연결하는 좌우 한 쌍의 연결축(84, 84)과, 상부 플레이트(83)와 제1 지지 부재(61)를 연결하는 너트로서의 상하 한 쌍의 연결 너트(85, 85)와, 상부 플레이트(83)와 연결축(84)을 연결하는 너트로서의 초기 하중 설정 부재(86, 86)를 갖고 있다.The second
하부 플레이트(81)는, 상부 빔(75)의 상면에 고정된 직사각형의 판 형상 부재이다. 하부 플레이트(81)에는, 제1 지지 부재(61)가 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 하부 플레이트(81) 상에, 탄성 부재(82)가 배치되어 있다.The
탄성 부재(82)는, 「제1 탄성 부재」의 일례이다. 탄성 부재(82)는, 제2 지지 부재(62)에 대해 제1 지지 부재(61)가 상하 방향(Z)으로 이동 가능하도록 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달하는 부재로서 설치되어 있다. 탄성 부재(82)는, 코일 스프링 등을 이용하여 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 탄성 부재(82)는, 제1 지지 부재(61)를 중심으로 좌우 대칭으로 한 쌍 설치되어 있다. 각 탄성 부재(82)의 전장(全長) 및 스프링 상수는, 도어(8)의 자중, 상하 방향(Z)에 있어서의 도어(8)의 가동량을 고려하여 적절히 설정된다. 본 실시형태에서는, 탄성 부재(82)는, 도어(8)가 하방으로 변위하면 줄어드는 한편 도어(8)가 상방으로 변위하면 신장하도록 구성되어 있다. 또한, 하부 플레이트(81)를 생략하고, 탄성 부재(82)를 직접 상부 빔(75)에 올려도 된다.The
상부 플레이트(83)는, 하부 플레이트(81)(상부 빔(75))와 평행하게 배치된 직사각형의 평판 형상 부재이다. 상부 플레이트(83)에는, 제1 지지 부재(61)가 관통하는 관통 구멍과, 좌우 한 쌍의 연결축(84)이 관통하는 좌우 한 쌍의 관통 구멍의 총 3개의 관통 구멍이 형성되어 있다. 상부 플레이트(83)의 하면은, 직접, 또는, 와셔 등의 시트 부재를 개재하여 각 탄성 부재(82)를 받치고 있다.The
연결축(84)은, 하부 플레이트(81)에 용접 등에 의해 고정되어 있다. 하부 플레이트(81)가 생략되는 경우, 연결축(84)은, 상부 빔(75)에 직접 고정된다. 본 실시형태에서는, 연결축(84)은, 대응하는 탄성 부재(82)로 둘러싸인 공간을 통과하고 있다. 각 연결축(84)은, 상부 플레이트(83)의 대응하는 관통 구멍을 통과하여 상부 플레이트(83)의 상방으로 연장되어 있다. 또, 제1 지지 부재(61)도, 상부 플레이트(83)의 상방으로까지 연장되어 있다.The connecting
연결 너트(85)는, 상하 한 쌍 설치되어 있고, 상부 플레이트(83)의 상방과 상부 플레이트(83)의 하방에 각각 배치되어 있다. 각 연결 너트(85)는, 제1 지지 부재(61)의 상단에 있어서의 수나사부(61a)에 나사 결합함으로써, 제1 지지 부재(61)와 상부 플레이트(83)를 서로 고정하고 있다. 이로 인해, 제1 지지 부재(61)와 상부 플레이트(83)는 상하 방향(Z)으로 일체적으로 변위한다.The connecting
초기 하중 설정 부재(86)는, 각 연결축(84)에 설치되어 있다. 초기 하중 설정 부재(86)는, 상부 플레이트(83)의 상방에 있어서, 대응하는 연결축(84)의 상단에 형성된 수나사부(84a)에 나사 결합하고 있다. 이 구성에 의해, 상부 플레이트(83)가 연결축(84)으로부터 빠지는 것이 방지되고 있다. 그리고, 초기 하중 설정 부재(86)는, 스토퍼가 되어 상방으로의 상부 플레이트(83)의 변위를 규제하는 한편, 하방으로의 상부 플레이트(83)의 변위는 허용한다. 제1 지지 부재(61)로부터의 하중은, 상부 플레이트(83) 및 탄성 부재(82)를 통해 제2 지지 부재(62)의 상부 빔(75)에 전달된다. 본 실시형태에서는, 각 초기 하중 설정 부재(86)의 상방에 있어서, 각 연결축(84)에 풀림 방지 너트(87)가 나사 결합되어 있다. 각 풀림 방지 너트(87)는, 대응하는 초기 하중 설정 부재(86)에 체결되어 있다. 이로 인해, 각 초기 하중 설정 부재(86)가 대응하는 연결축(84)에 고정되어 있다.The initial
본 실시형태에서는, 상하 방향(Z)에 있어서의 도어(8)의 이동량을 일정한 범위로 규제하기 위한 부재로서, 초기 하중 설정 부재(86) 및 스토퍼 너트(88)가 설치되어 있다. 초기 하중 설정 부재(86)는, 제1 지지 부재(61)에 고정된 상부 플레이트(83)를 받침으로써, 상부 플레이트(83), 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)가 상방으로 변위하는 것을 규제한다. 또, 스토퍼 너트(88)는, 상부 플레이트(83)의 하방이며 또한 하부 플레이트(81)의 상방인 위치에 있어서, 제1 지지 부재(61)에 형성된 수나사부(61a)에 나사 결합하고 있다. 스토퍼 너트(88)는, 수나사부(61a)에 나사 결합된 풀림 방지 너트(89)와 체결되어 있음으로써, 제1 지지 부재(61)에 고정되어 있다. 스토퍼 너트(88)는, 상부 빔(75)에 받쳐짐으로써, 제1 지지 부재(61) 및 도어(8)가 하방으로 변위하는 것을 규제한다.In this embodiment, an initial
상기와 같이, 제1 지지 부재(61)는, 탄성 부재(82)를 통해 제2 지지 부재(62)에 지지되어 있다. 그리고, 탄성 부재(82)가 받는 초기 하중(도어(8)가 이동하기 전의 정지 상태에서의 하중)과, 열처리 장치(1)의 메인터넌스 시에 있어서의 도어(8)의 상하 위치(제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 위치)를 설정하기 위한 설정부(66)가 설치되어 있다.As described above, the
설정부(66)는, 탄성 부재(82)의 초기 하중을 설정하기 위한 초기 하중 설정부(91)와, 도어(8)의 높이 위치를 조정하기 위한 도어 높이 위치 조정부(92)를 갖고 있다.The setting
초기 하중 설정부(91)는, 제2 하중 받침부(64)에 설치되어 있고, 본 실시형태에서는, 제2 하중 받침부(64)의 일부가 초기 하중 설정부(91)를 형성하고 있다.The initial
초기 하중 설정부(91)는, 상부 플레이트(83)와, 좌우 한 쌍의 연결축(84, 84)과, 상하 한 쌍의 연결 너트(85, 85)와, 초기 하중 설정 부재(86)를 갖고 있다.The initial
초기 하중 설정 부재(86)는, 연결축(84)에 장착되어 있고, 상부 플레이트(83)를 통해 탄성 부재(82)로부터의 하중을 받는 부재이며, 제2 지지 부재(62)에 대한 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치에 따른 초기 하중을 탄성 부재(82)에 발생시킨다. 즉, 초기 하중 설정 부재(86)의 위치에 의해, 탄성 부재(82)의 압축량이 정해진다. 본 실시형태에서는, 좌우 한 쌍의 초기 하중 설정 부재(86, 86)는, 상하의 높이 위치가 서로 같다. 보다 구체적으로는, 각 연결축(84)의 수나사부(84a)에 대한 각 초기 하중 설정 부재(86)의 나사 삽입량, 즉, 각 연결축(84)에 대한 각 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치를 변경하면, 하부 플레이트(81)에 대한 상부 플레이트(83)의 상하 위치도 변화한다. 상부 플레이트(83)와 하부 플레이트(81) 사이의 거리가 변화하면, 탄성 부재(82)의 압축량이 변화한다. 탄성 부재(82)의 압축량이 변화하면, 탄성 부재(82)의 탄성 반발력, 즉, 초기 하중이 변화한다. 도 8에서는, 초기 하중 설정 부재(86)를 상부 플레이트(83)로부터 이격시킴으로써, 초기 하중 설정 부재(86)와 상부 플레이트(83) 사이에 간극을 형성한 상태를 나타내고 있다. 즉, 초기 하중 설정 부재(86)에 의한 하중이 제로 상태를 나타내고 있다.The initial
또한, 본 실시형태에서는, 초기 하중 설정 부재(86)가 너트를 이용하여 형성되는 예를 설명하고 있다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 초기 하중 설정 부재는, 도어(8)가 정지 상태에 있을 때의 탄성 부재(82)의 압축량(스프링 길이)을 변경할 수 있는 구성이면 되고, 상부 플레이트(83)와 연결축(84)에 연결되는 너트와는 다른 부재로 형성되어도 된다.In addition, in this embodiment, an example in which the initial
본 실시형태에서는, 상기의 구성을 갖는 초기 하중 설정부(91)의 하방에 있어서, 상부 빔(75)과 하부 빔(76) 사이의 공간에, 도어 높이 위치 조정부(92)가 배치되어 있다. 도어 높이 위치 조정부(92)는, 열처리 장치(1)의 비가동시(피처리물(100)을 열처리 하는 사이클을 행하지 않을 때)에 있어서, 열처리 장치(1)의 메인터넌스 등을 위해 도어(8)의 상하 위치를 변경할 때에 이용된다.In this embodiment, the door height
도어 높이 위치 조정부(92)는, 위치 조정 부재(93)와, 상부 베어링 유닛(94)과, 하부 베어링 유닛(95)을 갖고 있다.The door height
위치 조정 부재(93)는, 초기 하중 설정 부재(86)와는 다른 부재이며, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)(도어(8))의 상하 위치를 조정하기 위해 설치되어 있다. 위치 조정 부재(93)는, 본 실시형태에서는, 너트 부재이며, 제1 지지 부재(61)의 중간부에 형성된 수나사부(61a)에 나사 결합하고 있다. 위치 조정 부재(93)는, 외주면을 원통 형상으로 형성함으로써 사람의 손에 의해 돌려지도록 구성되어도 된다. 또, 위치 조정 부재(93)는, 서로 평행한 한 쌍의 면을 한 세트 또는 복수 세트 갖는 형상(예를 들면 다각형 형상)으로 형성되어, 스패너 등의 공구에 의해 돌려지도록 구성되어도 된다.The
열처리 장치(1)가 가동 중일 때, 즉, 열처리 장치(1)의 튜브(4)에 피처리물(100)이 반입되어, 열처리 장치(1)에 의해 피처리물(100)이 가열 처리되고, 그 후, 튜브(4)로부터 피처리물(100)이 반출되는 동작이 행해지고 있는 동안, 위치 조정 부재(93)는, 상부 베어링 유닛(94) 및 하부 베어링 유닛(95)의 쌍방과 이격하여 배치되어 있다. 이로 인해, 열처리 장치(1)가 가동 중일 때, 위치 조정 부재(93)와 베어링 유닛(94, 95)의 접촉이 방지되고 있고, 탄성 부재(82)에 의해 지지된 도어(8)의 상하 변위가 허용된다.When the heat treatment device 1 is in operation, that is, the object to be treated 100 is carried into the
상부 베어링 유닛(94)은, 위치 조정 부재(93)의 상방에 배치되어 있다. 상부 베어링 유닛(94)은, 상부 베어링(94a)과, 상부 베어링(94a)을 상부 빔(75)에 장착하기 위한 상부 베어링 홀더(94b)를 갖고 있다.The
상부 베어링(94a)은, 본 실시형태에서는, 하부 궤도반(軌道盤) 및 상부 궤도반를 포함하는 스러스트 베어링이다. 상부 베어링(94a)의 내경은, 제1 지지 부재(61)의 외경보다 크다. 상부 베어링(94a)에는, 제1 지지 부재(61)가 당해 상부 베어링(94a)과 간극을 두고 통과되고 있다.The
상부 베어링 홀더(94b)는, 상부 베어링(94a)의 상부 궤도반의 상면을 받치며 또한 상부 빔(75)의 하면에 받쳐지는 원환 형상의 대좌(94c)와, 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반의 하면의 외주연부를 받치는 베어링 누름부(94d)와, 대좌(94c) 및 베어링 누름부(94d)를 상부 빔(75)에 고정하는 고정핀(94e)을 갖고 있다.The
베어링 누름부(94d)는, 본 실시형태에서는, 상부 베어링(94a)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 베어링 누름부(94d)에 고정핀(94e)이 장착되어 있다. 고정핀(94e)은, 베어링 누름부(94d) 및 대좌(94c)를 관통하고, 또한, 상부 빔(75)에 형성된 고정핀용 구멍부에, 압입 등에 의해 고정되어 있다. 상기 구성에 의해, 위치 조정 부재(93)가 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반에 접촉했을 때, 상부 베어링(94a)은, 위치 조정 부재(93)로부터의 상향의 스러스트 하중을 받는다. 이 때, 상부 베어링(94a)의 하부 궤도반과 위치 조정 부재(93)가 제1 지지 부재(61) 둘레를 일체 회전할 수 있다.In the present embodiment, a plurality of bearing
하부 베어링 유닛(95)은, 위치 조정 부재(93)의 하방에 배치되어 있고, 상부 베어링 유닛(94)과 상하 대칭으로 형성되어 있다. 하부 베어링 유닛(95)은, 하부 베어링(95a)과, 하부 베어링(95a)을 하부 빔(76)에 장착하기 위한 하부 베어링 홀더(95b)를 갖고 있다.The
하부 베어링(95a)은, 본 실시형태에서는, 하부 궤도반 및 상부 궤도반을 포함하는 스러스트 베어링이며, 상부 베어링(94a)과 동일한 구성을 갖고 있다. 하부 베어링(95a)의 내경은, 제1 지지 부재(61)의 외경보다 크다. 하부 베어링(95a)에는, 제1 지지 부재(61)가 당해 하부 베어링(95a)과 간극을 두고 통과되고 있다.In this embodiment, the
하부 베어링 홀더(95b)는, 하부 베어링(95a)의 하부 궤도반의 하면을 받치며 또한 하부 빔(76)의 상면에 받쳐지는 원환 형상의 대좌(95c)와, 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반의 상면의 외주연부를 받치는 베어링 누름부(95d)와, 대좌(95c) 및 베어링 누름부(95d)를 하부 빔(76)에 고정하는 고정핀(95e)을 갖고 있다.The
베어링 누름부(95d)는, 본 실시형태에서는, 하부 베어링(95a)의 둘레 방향을 따라 복수 배치되어 있다. 각 베어링 누름부(95d)에 고정핀(95e)이 장착되어 있다. 고정핀(95e)은, 베어링 누름부(95d) 및 대좌(95c)를 관통하고, 또한, 하부 빔(76)에 형성된 고정핀용 구멍부에, 압입 등에 의해 고정되어 있다. 상기 구성에 의해, 위치 조정 부재(93)가 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반에 접촉했을 때, 하부 베어링(95a)은, 위치 조정 부재(93)로부터의 하향의 스러스트 하중을 받는다. 이 때, 하부 베어링(95a)의 상부 궤도반과 위치 조정 부재(93)가 제1 지지 부재(61) 둘레를 일체 회전할 수 있다.In the present embodiment, a plurality of bearing
다음으로, 도어(8)의 높이 위치를 낮추는 경우의 동작을 설명한다. 상기 구성을 갖는 도어 높이 위치 조정부(92)에 있어서는, 위치 조정 부재(93)가 일방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)는, 제1 지지 부재(61)에 대해 상방으로 이동한다. 그리고, 상부 베어링(94a)과 위치 조정 부재(93)가 접한 상태에서 위치 조정 부재(93)가 추가로 상기 일방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)의 상하 위치가 일정한 상태인 한편, 제1 지지 부재(61)는, 도어(8)와 함께 하방으로 변위된다. 이 때, 탄성 부재(82)의 전장이 짧아져, 당해 탄성 부재(82)가 압축된다.Next, an operation in the case of lowering the height position of the
다음으로, 도어(8)의 높이 위치를 올리는 경우의 동작을 설명한다. 상기 구성을 갖는 도어 높이 위치 조정부(92)에 있어서는, 위치 조정 부재(93)가 상기 일방향과는 반대의 타방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)는, 제1 지지 부재(61)에 대해 하방으로 이동한다. 그리고, 하부 베어링(95a)과 위치 조정 부재(93)가 접한 상태에서 위치 조정 부재(93)가 추가로 상기 타방향으로 회전되면, 위치 조정 부재(93)의 상하 위치가 일정한 상태인 한편, 제1 지지 부재(61)는, 도어(8)와 함께 상방으로 변위된다. 이 때, 탄성 부재(82)의 전장이 길어져, 당해 탄성 부재(82)의 압축 정도가 완화된다.Next, an operation in the case of raising the height position of the
다음으로, 도어 개폐 기구(65)의 구성을 설명한다.Next, the configuration of the door opening/
도 2, 도 7 및 도 8을 참조하여, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 변위시킨다. 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)를 수평 방향으로 이동시킴으로써 도어(8)를 개폐 동작시킨다. 도어 개폐 기구(65)는, 본 실시형태에서는, 도어(8)를 좌우 방향(Y) 및 전후 방향(X)으로 이동시키는 것이 가능하다. 도어 개폐 기구(65)는, 본 실시형태에서는, 튜브(4)의 전방에 있어서 제2 지지 부재(62)의 상방에 배치되어 있다. 도어 개폐 기구(65)는, 제2 지지 부재(62) 및 제1 지지 부재(61)를 통해 도어(8)를 지지하고 있고, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제2 지지 부재(62), 탄성 부재(82), 및, 제1 지지 부재(61)를 변위시킨다. 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)는, 2축 슬라이딩 테이블 기구이다.2, 7 and 8, the door opening/
도어 개폐 기구(65)는, 전후 이동 기구(111)와, 좌우 이동 기구(112)를 갖고 있다.The door opening/
전후 이동 기구(111)는, 제2 지지 부재(62), 제1 지지 부재(61), 탄성 부재(82), 제2 하중 받침부(64) 및 도어(8)를 포함하는 가동 유닛(110)을 전후 방향(X)으로 이동시키는 기구이다. 본 실시형태에서는, 전후 이동 기구(111)는, 좌우 이동 기구(112)의 하방에 배치되어 있다. 전후 이동 기구(111)는, 전후 방향(X)으로 가동 유닛(110)을 변위시킨다.The front-
전후 이동 기구(111)는, 전후 슬라이딩 테이블(111a)과, 전후 방향(X)으로 연장되어 전후 슬라이딩 테이블(111a)을 지지하는 레일(111b)과, 전후 슬라이딩 테이블(111a)을 전후 방향(X)으로 이동시키는 액추에이터(도시하지 않음)를 갖고 있다.The front-
전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 본 실시형태에서는, 좌우 한 쌍 배치되어 있다. 각 전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 블록 형상 부분을 갖고 있고, 이 블록 형상 부분에, 제2 지지 부재(62)의 기둥(74R, 74L)의 상단부가 고정되어 있다. 또, 전후 슬라이딩 테이블(111a, 111a)의 상부는, 좌우 방향(Y)으로 이격하여 한 쌍 설치된 레일(111b, 111b)에 지지되어 있다. 이 구성에 의해, 전후 슬라이딩 테이블(111a)은, 레일(111b)에 지지되면서 레일(111b)에 대해 전후 방향(X)으로 슬라이딩 가능하다. 레일(111b, 111b)은, 좌우 이동 기구(112)에 지지되어 있다.The front and rear sliding tables 111a are arranged in a pair of left and right in this embodiment. Each of the front and rear sliding tables 111a has a block-shaped portion, and the upper end portions of the
좌우 이동 기구(112)는, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)과, 좌우 방향(Y)로 연장되어 좌우 슬라이딩 테이블(112a)을 지지하는 레일(112b)과, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)을 좌우 방향(Y)으로 이동시키는 액추에이터(도시하지 않음)를 갖고 있다.The left and
좌우 슬라이딩 테이블(112a)은, 수평으로 배치된 직사각형의 평판 형상 부분을 갖고 있고, 이 평판 형상 부분의 하면에, 전후 이동 기구(111)의 레일(111b, 111b)이 고정되어 있다. 또, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)의 상부는, 전후 방향(X)으로 이격하여 한 쌍 설치된 레일(112b, 112b)에 지지되어 있다. 이 구성에 의해, 좌우 슬라이딩 테이블(112a)은, 레일(112b)에 지지되면서 레일(112b)에 대해 좌우 방향(Y)으로 슬라이딩 가능하다. 레일(112b, 112b)은, 하우징(2)의 예를 들면 상부 빔(10)에 고정되어 있다.The left and right sliding table 112a has a rectangular flat plate-shaped portion arranged horizontally, and rails 111b and 111b of the front-
상기 구성에 의해, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 닫은 상태의 도어(8)를 열 때에는, 우선, 전후 이동 기구(111)를 구동하여, 도어(8)를 포함하는 가동 유닛(110)을 전방으로 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)로부터 이격시킨다. 그 다음으로, 좌우 이동 기구(112)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)의 예를 들면 좌방으로 변위시킨다. 이로 인해, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)는 열리고, 튜브(4)에 대한 피처리물(100)의 넣고 꺼냄이 가능해진다.With the above configuration, when opening the
한편, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 연 상태의 도어(8)를 닫으려면, 우선, 좌우 이동 기구(112)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 우측으로 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)와 전후 방향(X)으로 마주하게 한다. 그 다음으로, 전후 이동 기구(111)를 구동하여, 가동 유닛(110)을 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)를 향해 변위시킨다. 이로 인해, 도어(8)가 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)에 맞대어져 도어(8)가 닫힌다.On the other hand, in order to close the
또한, 본 실시형태에서는, 전후 이동 기구(111)의 상방에 좌우 이동 기구(112)가 배치되는 형태를 예로 설명했는데, 이대로가 아니어도 된다. 좌우 이동 기구(112)의 상방에 전후 이동 기구(111)가 설치되어도 된다. 또, 본 실시형태에서는, 도어 개폐 기구(65)로서, 2축 슬라이딩 테이블 기구를 예로 설명했다. 그러나, 이대로가 아니어도 된다. 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)를 개폐할 수 있으면 되고, 예를 들면, 힌지 기구 등의 다른 기구가 이용되어도 된다.In addition, in this embodiment, although the form in which the left and
이상 설명한 바와 같이, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 튜브 어댑터(6)를 지지하고 있다. 이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재(3)의 열팽창에 의해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브(4)의 열팽창에 의해 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 튜브 어댑터(6)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향(Z)으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브(4)의 개구부(4a)는, 튜브 어댑터(6)로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.As described above, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)의 우측 부분 및 좌측 부분의 각각에 있어서, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터(6)를 1개소에서 큰 구조로 지지하는 경우에 비해 튜브 어댑터 지지 기구(7)를 레이아웃 하기 쉽다. 또, 튜브 어댑터(6)의 자중을 좌우의 밸런스가 맞게 튜브 어댑터 지지 기구(7)로 받을 수 있다. 또, 도어(8)를 지지하는 도어 지지 기구(9)를 좌우 방향(Y)에 있어서의 도어(8)의 중앙 부분에 배치하는 본 실시형태에서는, 도어 지지 기구(9)의 배치에 대해 튜브 어댑터 지지 기구(7)가 방해가 되지 않는다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)으로의 이동이 규제된 고정부(31)와, 튜브 어댑터(6)와 상하 방향(Z)으로 일체적으로 이동 가능하게 설치된 가동부(32)와, 가동부(32)로부터의 하중을 고정부(31)에 전달하는 탄성 부재(51)를 갖고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로 부드럽게 변위시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 하우징(2)에 대해 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z), 좌우 방향(Y), 및, 상하 방향(Z) 중 적어도 하나(본 실시형태에서는, 모두)에 대해 위치 조정 가능하다. 이 구성에 의하면, 상하 위치, 좌우 위치, 및, 상하 위치 중 적어도 하나에 있어서의 튜브 어댑터(6)의 위치를 조정하는 것이 가능하다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 상하 방향(Z)에 있어서의 가동부(32)의 가동량을 규정하는 스토퍼(43)를 포함하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터(6)가 상하 방향(Z)으로 과도하게 이동하는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 고정부(31) 및 가동부(32)에 설치되어 상하 방향(Z)으로의 튜브 어댑터(6)의 이동을 안내하는 리니어 가이드(35)를 포함하고 있다. 이 구성에 의하면, 튜브 어댑터 지지 기구(7)는, 튜브 어댑터(6)를 상하 방향(Z)으로, 보다 부드럽게 이동시킬 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the tube
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)는, 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))가 상하 방향(Z)으로 변위하는 동작에 연동하여 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 변위 가능하게 지지한다. 이 구성에 의하면, 고온이 된 튜브 지지 부재(3)의 열팽창에 의해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 고온이 된 튜브(4)의 열팽창에 의해 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 또는, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치가 변화한 경우, 도어(8)는, 튜브(4)의 개구부(4a)의 상하 위치의 변화에 맞추어 상하 방향(Z)으로 변위할 수 있다. 그 결과, 튜브(4)의 개구부(4a) 및 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)는, 도어(8)로부터 큰 힘을 받지 않는다. 따라서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 걸리는 부하를 보다 저감할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 탄성 부재(82)는, 제2 지지 부재(62)에 대해 제1 지지 부재(61)가 상하 방향(Z)으로 이동 가능하도록 제1 지지 부재(61)로부터의 하중을 제2 지지 부재(62)에 전달한다. 이 구성에 의하면, 도어 지지 기구(9)는, 탄성 부재(82)의 탄성변형에 의해, 도어(8)를 상하 방향(Z)으로 부드럽게 이동시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어(8)는, 좌우 방향(Y)으로 연장되는 축선(L1) 둘레로 변위 가능하게 제1 지지 부재(61)에 연결되어 있다. 이 구성에 의하면, 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)에 대해 기울어지도록 변위한 경우, 예를 들면, 튜브(4) 내에서의 피처리물(100)의 하중 밸런스에 기인하여 당해 튜브(4)의 개구부(4a)가 상하 방향(Z)에 대해 기울어진 경우, 도어 지지 기구(9)는, 이 기울기에 맞추도록 도어(8)를 기울일 수 있다. 이로 인해, 튜브(4)의 개구부(4a)와 도어(8) 사이에 간극이 형성되는 것을 억제하면서, 튜브(4)의 개구부(4a)에 큰 부하가 작용하는 것을 억제할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the
특히, 본 실시형태의 열처리 장치(1)에서는, 도어(8)와 제1 지지 부재(61)는, 구면 이음(67)을 이용하여 연결되어 있다. 이 구성에 의하면, 튜브(4)의 개구부(4a)의 변위에 맞추도록 도어(8)가 변위하는 자유도를 보다 높게 할 수 있고, 또한, 이음(구면 이음(67))이 적은 부품 점수로 족하다.In particular, in the heat treatment apparatus 1 of the present embodiment, the
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 제1 지지 부재(61)는, 상하 방향(Z)으로 연장되는 축형상부이며, 제2 지지 부재(62)에 형성된 관통 구멍(75a, 76a)을 통과하고 있다. 이 구성에 의하면, 제2 지지 부재(62)가 제1 지지 부재(61)를 보호하는 보호 부재로서 기능하고, 제1 지지 부재(61)가 이물에 접촉하는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 또한, 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 컴팩트하게 배치할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 도어 누름 탄성 부재(77)는, 제2 지지 부재(62)와 도어(8) 사이에서 탄성 변형함으로써 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시킨다. 이 구성에 의하면, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)에 가압하는 하중을 도어(8)에 부여함으로써, 도어(8)와 튜브 어댑터(6)의 밀착도를 높일 수 있다. 또한, 도어(8)를 튜브 어댑터(6)의 개구부(6a)(튜브(4)의 개구부(4a))에 가압하는 하중을 도어(8)의 둘레 방향에 있어서 보다 균등하게 할 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the door pressing
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 연동시켜 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 변위시킨다. 이 구성에 의하면, 도어 개폐 기구(65)는, 도어(8)의 개폐 동작에 따라 도어 지지 기구(9)의 제1 지지 부재(61)와 제2 지지 부재(62)의 쌍방을 튜브(4)의 개구부(4a)에 대해 변위시킬 수 있다. 이로 인해, 튜브(4)의 개구부(4a)를 통과해 피처리물(100)을 넣고 꺼낼 때에, 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)가 방해가 되지 않도록 이들 제1 지지 부재(61) 및 제2 지지 부재(62)를 이동시킬 수 있다.In addition, according to the heat treatment apparatus 1, the door opening/
또, 열처리 장치(1)에 의하면, 도어 지지 기구(9)의 초기 하중 설정 부재(86)는, 제2 지지 부재(62)에 대한 초기 하중 설정 부재(86)의 상하 위치에 따른 초기 하중을 탄성 부재(82)에 발생시킨다. 또한, 위치 조정 부재(93)는, 초기 하중 설정 부재(86)와는 다른 부재로 설치되어, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 상하 위치를 조정하기 위해 이용된다. 이 구성에 의하면, 초기 하중 설정 부재(86)는, 예를 들면, 튜브(4)의 개구부(4a)가 도어(8)에 대해 변위하기 전의 상태에 있어서의 탄성 부재(82)의 탄성 변형량을 설정할 수 있다. 또, 위치 조정 부재(93)를 조작함으로써, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)의 상하 위치를 변경할 수 있다. 이러한 구성에 의해, 예를 들면 열처리 장치(1)의 메인터넌스 시 등에 있어서, 초기 하중 설정 부재(86)를 조작하는 일 없이, 제2 지지 부재(62)에 대한 제1 지지 부재(61)(도어(8))의 위치 조정을 실시할 수 있다. 이와 같이, 초기 하중 설정 작업과, 도어(8)의 위치 조정 작업을 서로 독립적으로 행할 수 있는 구성이 채용되고 있는 결과, 열처리 장치(1)의 조립 및 메인터넌스에 드는 수고를 보다 적게 할 수 있다.Further, according to the heat treatment apparatus 1, the initial
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했는데, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되지 않는다. 본 발명은, 특허 청구의 범위에 기재한 한에 있어서 다양한 변경이 가능하다.As mentioned above, although the embodiment of this invention was demonstrated, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment. Various modifications can be made to the present invention as long as it is described in the claims.
본 발명은, 열처리 장치로서, 널리 적용할 수 있다.The present invention can be widely applied as a heat treatment apparatus.
1: 열처리 장치
4: 튜브
4a: 개구부
8: 도어
9: 도어 지지 기구
61: 제1 지지 부재
62: 제2 지지 부재
65: 도어 개폐 기구(개폐 기구)
67: 구면 이음
75a, 76a: 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍
77: 도어 누름 탄성 부재(제2 탄성 부재)
82: 탄성 부재(제1 탄성 부재)
86: 초기 하중 설정 부재
93: 위치 조정 부재
100: 피처리물
L1: 좌우 방향으로 연장되는 축선
Y: 좌우 방향
Z: 상하 방향1: heat treatment unit 4: tube
4a: opening 8: door
9: door support mechanism 61: first support member
62: second support member 65: door opening/closing mechanism (opening/closing mechanism)
67: spherical joint
75a, 76a: through holes formed in the second support member
77: door pressing elastic member (second elastic member)
82: elastic member (first elastic member) 86: initial load setting member
93: positioning member 100: object to be processed
L1: axis extending in the left and right directions
Y: left and right direction
Z: vertical direction
Claims (8)
상기 개구부를 개폐하는 도어와,
상기 튜브의 상기 개구부가 상하 방향으로 변위하는 동작에 연동하여 상기 도어를 상기 상하 방향으로 변위 가능하게 지지하는 도어 지지 기구를 구비하고 있는, 열처리 장치.A horizontal tube including an opening for inserting and removing the object to be processed,
A door for opening and closing the opening,
A heat treatment apparatus comprising a door support mechanism for supporting the door so as to be displaceable in the vertical direction in connection with an operation in which the opening of the tube is displaced in the vertical direction.
상기 도어 지지 기구는,
상기 도어를 지지하기 위해 상기 도어에 연결된 제1 지지 부재와,
상기 제1 지지 부재를 지지하는 제2 지지 부재와,
상기 제2 지지 부재에 대해 상기 제1 지지 부재가 상기 상하 방향으로 이동 가능하도록 상기 제1 지지 부재로부터의 하중을 상기 제2 지지 부재에 전달하는 제1 탄성 부재를 구비하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 1,
The door support mechanism,
A first support member connected to the door to support the door,
A second support member supporting the first support member,
A heat treatment apparatus comprising a first elastic member that transmits a load from the first support member to the second support member so that the first support member can move in the vertical direction with respect to the second support member.
상기 도어는, 상기 상하 방향과 직교하는 좌우 방향으로 연장되는 축선 둘레로 변위 가능하게 상기 제1 지지 부재에 연결되어 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door is connected to the first support member so as to be displaceable around an axis extending in a left-right direction orthogonal to the vertical direction.
상기 도어와 상기 제1 지지 부재는, 구면(球面) 이음을 이용하여 연결되어 있는, 열처리 장치.The method of claim 3,
The heat treatment apparatus, wherein the door and the first support member are connected by using a spherical joint.
상기 제1 지지 부재는, 상기 상하 방향으로 연장되는 축형상부를 포함하며, 상기 제2 지지 부재에 형성된 관통 구멍을 통과하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The first support member includes an axial portion extending in the vertical direction, and passes through a through hole formed in the second support member.
상기 도어 지지 기구는, 상기 제2 지지 부재와 상기 도어 사이에서 탄성 변형함으로써 상기 도어를 상기 개구부 측으로 가압하는 탄성 반발력을 발생시키는 제2 탄성 부재를 포함하고 있는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door support mechanism includes a second elastic member that elastically deforms between the second support member and the door to generate an elastic repulsive force that presses the door toward the opening.
상기 도어 지지 기구는, 상기 도어를 개폐 동작시키기 위한 개폐 기구를 포함하며,
상기 개폐 기구는, 상기 도어의 개폐 동작에 연동시켜 상기 제1 지지 부재 및 상기 제2 지지 부재를 변위시키는, 열처리 장치.The method according to claim 2,
The door support mechanism includes an opening/closing mechanism for opening and closing the door,
The opening/closing mechanism displaces the first supporting member and the second supporting member by interlocking with the opening and closing operation of the door.
상기 도어 지지 기구는,
상기 제2 지지 부재에 대한 초기 하중 설정 부재의 상하 위치에 따른 초기 하중을 상기 제1 탄성 부재에 발생시키는 상기 초기 하중 설정 부재와,
상기 초기 하중 설정 부재와는 다른 부재로 설치되어, 상기 제2 지지 부재에 대한 상기 제1 지지 부재의 상하 위치를 조정하기 위한 위치 조정 부재를 포함하고 있는, 열처리 장치.The method according to any one of claims 2 to 7,
The door support mechanism,
The initial load setting member for generating an initial load in the first elastic member according to the vertical position of the initial load setting member with respect to the second support member;
A heat treatment apparatus comprising a position adjusting member provided as a member different from the initial load setting member and for adjusting the vertical position of the first supporting member with respect to the second supporting member.
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