KR20210042824A - Processing apparatus - Google Patents

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KR20210042824A
KR20210042824A KR1020200129453A KR20200129453A KR20210042824A KR 20210042824 A KR20210042824 A KR 20210042824A KR 1020200129453 A KR1020200129453 A KR 1020200129453A KR 20200129453 A KR20200129453 A KR 20200129453A KR 20210042824 A KR20210042824 A KR 20210042824A
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cutting blade
flange
blade
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cutting
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Application number
KR1020200129453A
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Inventor
후미오 우치다
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The purpose of the present invention is to provide a processing device capable of suppressing the breakage of a cutting blade at the time of replacement. The processing device has a flange mechanism (25). The flange mechanism (25) has: a fixing flange (26) having a boss part (43) with a male screw (434), and a supporting surface (441) protruding from the boss part (43) in a radial direction to support the cutting blade; a pressing flange (27) for fitting and support the cutting blade (21) installed on the boss part (43) between the pressing flange and the fixing flange (26); and a fixing nut (280) for fixing the cutting blade (21) via the pressing flange (27) by fastening with the boss part (43). The fixing flange (26) includes: a suction hole (45) formed in the supporting surface (441) to suction and fix the cutting blade (21); a suction path (47) communicating the suction hole (45) with a suction source (41); an on-off valve (40) formed in the suction path (47); and a control device (100) opening and closing the on-off valve (40). The control device (100) opens the on-off valve (40) when the pressing flange (27) is removed.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}Processing equipment {PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 플랜지 기구를 갖는 가공 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a processing apparatus having a flange mechanism.

실리콘, 갈륨비소, SiC(탄화규소), 사파이어 등으로 이루어진 반도체 기판이나 수지 패키지 기판, 세라믹스 기판 등 각종 판형의 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하는 가공 장치인 가공 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조). 특허문헌 1에 제시된 가공 장치는, 절단날만으로 구성된 소위 와셔 블레이드라고 불리는 절삭 블레이드를 이용하여 피가공물을 절삭한다. A processing device, which is a processing device that cuts various plate-shaped workpieces such as semiconductor substrates, resin package substrates, ceramic substrates, etc. made of silicon, gallium arsenide, SiC (silicon carbide), sapphire, etc. with a cutting blade is known (for example, Patent Document 1 And Patent Document 2). The processing apparatus disclosed in Patent Document 1 cuts a workpiece by using a cutting blade called a washer blade composed of only a cutting blade.

특허문헌 2에 제시된 가공 장치는, 고정 플랜지와의 사이에 절삭 블레이드를 끼워서 지지하여 고정하는 압박 플랜지를 절삭 블레이드와 함께 흡인 유지하여, 압박 플랜지와 함께 절삭 블레이드를 교환하는 블레이드 교환 기구를 구비하고 있다. The processing apparatus disclosed in Patent Document 2 has a blade exchange mechanism that sucks and holds a pressing flange to be fixed by sandwiching a cutting blade between the fixed flange and the cutting blade, and to exchange the cutting blade together with the pressing flange. .

특허문헌 1 : 일본 특허 공개 제2016-144838호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2016-144838 특허문헌 2 : 일본 특허 공개 제2016-64450호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 2016-64450

그러나, 특허문헌 2에 제시된 가공 장치에서는, 압박 플랜지를 고정 플랜지로부터 제거할 때에, 압박 플랜지와 함께 흡인 유지한 와셔 블레이드가 압박 플랜지로부터 낙하하여 파손될 우려가 있었다. 특히, 특허문헌 2에 제시된 가공 장치와 같이, 블레이드 교환 기구를 구비한 가공 장치는, 압박 플랜지를 제거할 때에 전술한 문제가 일어나기 쉽다. However, in the processing apparatus disclosed in Patent Document 2, when the pressing flange is removed from the fixed flange, the washer blade suction-held together with the pressing flange may fall from the pressing flange and be damaged. Particularly, in the processing device provided with a blade exchange mechanism, like the processing device disclosed in Patent Document 2, the above-described problem is likely to occur when the pressing flange is removed.

따라서, 본 발명의 목적은, 교환시의 절삭 블레이드의 파손을 억제할 수 있는 가공 장치를 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of suppressing damage to a cutting blade during replacement.

본 발명에 의하면, 중앙에 장착 구멍을 갖는 원반형의 절삭 블레이드를 회전축이 되는 스핀들에 장착하기 위한 플랜지 기구를 갖는 가공 장치로서, 상기 플랜지 기구는, 선단에 수나사가 형성된 보스부와, 상기 보스부로부터 직경 방향으로 돌출되고, 상기 절삭 블레이드를 지지하는 지지면을 갖는 고정 플랜지부와, 상기 보스부에 장착되는 장착 구멍을 가지며, 상기 보스부에 장착된 절삭 블레이드를 상기 고정 플랜지부와의 사이에 끼워 지지하는 압박 플랜지부와, 상기 보스부의 수나사와 결합하는 암나사가 내주에 형성되고, 상기 보스부와 체결함으로써 상기 압박 플랜지부를 통해 절삭 블레이드를 고정하는 고정 너트를 구비하고, 상기 고정 플랜지부는, 상기 지지면에 형성되고, 절삭 블레이드를 흡인 고정하는 흡인 구멍과, 상기 흡인 구멍과 흡인원을 연통시키는 흡인로와, 상기 흡인로에 형성된 밸브와, 상기 밸브를 개폐하여 흡인을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 압박 플랜지부를 제거할 때에 절삭 블레이드가 낙하하지 않도록 밸브를 개방하고, 절삭 블레이드를 흡인하는 것을 특징으로 하는 가공 장치가 제공된다. According to the present invention, a processing apparatus having a flange mechanism for attaching a disk-shaped cutting blade having a central mounting hole to a spindle serving as a rotation shaft, wherein the flange mechanism comprises: a boss portion having a male thread formed at a tip end, and a boss portion. A fixed flange portion protruding in a radial direction and having a support surface supporting the cutting blade, and a mounting hole mounted on the boss portion, and a cutting blade mounted on the boss portion is sandwiched between the fixed flange portion. A supporting compression flange portion and a female screw coupled with the male screw of the boss portion are formed on an inner periphery, and a fixing nut for fixing the cutting blade through the compression flange portion by fastening with the boss portion, and the fixing flange portion, the A suction hole formed on the support surface to suction and fix the cutting blade, a suction path communicating the suction hole and a suction source, a valve formed in the suction path, and a control unit controlling suction by opening and closing the valve, , Wherein the control unit opens a valve so that the cutting blade does not fall when removing the pressing flange portion, and sucks the cutting blade.

상기 가공 장치에서는, 상기 플랜지 기구에 절삭 블레이드를 착탈하는 절삭 블레이드 교환 기구를 더 구비하고, 상기 절삭 블레이드 교환 기구는, 상기 고정 너트를 착탈하는 너트 착탈부와, 상기 절삭 블레이드를 착탈하는 블레이드 착탈부와, 상기 압박 플랜지부를 착탈하는 압박 플랜지 착탈부를 가져도 좋다. The processing apparatus further includes a cutting blade exchange mechanism for attaching and detaching the cutting blade to the flange mechanism, wherein the cutting blade exchange mechanism includes a nut attaching and detaching portion for attaching and detaching the fixing nut, and a blade attaching and detaching unit for attaching and detaching the cutting blade. Wow, you may have a compression flange attachment/detachment part which attaches and detaches the said compression flange part.

본 발명은, 교환시의 절삭 블레이드의 파손을 억제할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다. The present invention exhibits an effect of being able to suppress breakage of a cutting blade during replacement.

도 1은 실시형태 1에 관한 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 유닛을 분해하여 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 절삭 유닛의 요부의 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 블레이드 착탈 기구의 블레이드 착탈 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 압박 플랜지 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다.
도 6은 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 너트 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다.
도 7은 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 블레이드 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다.
도 8은 도 1에 도시된 가공 장치의 압박 플랜지의 착탈중의 상태를 절삭 유닛을 단면으로 도시하는 압박 플랜지 착탈부의 측면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 블레이드의 착탈중의 상태를 절삭 유닛을 단면으로 도시하는 블레이드 착탈부의 측면도이다. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing apparatus according to a first embodiment.
FIG. 2 is a perspective view showing an exploded cutting unit of the processing apparatus shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view of a main part of the cutting unit shown in FIG. 2.
Fig. 4 is a perspective view showing a blade attaching/detaching unit of the cutting blade attaching/detaching mechanism of the processing apparatus shown in Fig. 1.
5 is a perspective view showing a main part of a pressing flange attachment and detachment portion of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4.
6 is a perspective view showing a main part of a nut attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4.
7 is a perspective view showing a main part of a blade attachment/detachment part of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4.
Fig. 8 is a side view of a pressing flange attaching/detaching portion showing a cutting unit in a cross-sectional view of a state in which the pressing flange of the processing apparatus shown in Fig. 1 is being detached.
Fig. 9 is a side view of a blade attaching/detaching unit showing a cutting unit in a cross-sectional view of a cutting blade being attached and detached of the processing apparatus shown in Fig. 1.

본 발명의 실시형태에 관해, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일의 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러가지 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다. An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. In addition, the constituent elements described below include those that can be easily conceived by those skilled in the art, and those that are substantially the same. In addition, the structures described below can be appropriately combined. Further, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.

〔실시형태 1〕[Embodiment 1]

본 발명의 실시형태 1에 관한 가공 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 실시형태 1에 관한 가공 장치의 구성예를 도시하는 사시도이다. 도 2는, 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 유닛을 분해하여 도시하는 사시도이다. 도 3은, 도 2에 도시된 절삭 유닛의 요부의 단면도이다. A processing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described based on the drawings. 1 is a perspective view showing a configuration example of a processing apparatus according to a first embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing an exploded cutting unit of the processing apparatus shown in FIG. 1. 3 is a cross-sectional view of a main part of the cutting unit shown in FIG. 2.

(가공 장치)(Processing device)

실시형태 1에 관한 가공 장치(1)는, 도 1에 도시하는 피가공물(200)을 절삭 가공하는 절삭 장치이다. 실시형태 1에서는, 피가공물(200)은, 실리콘, 갈륨비소, SiC(탄화규소) 또는 사파이어 등을 모재로 하는 원판형의 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼 등의 웨이퍼이다. 피가공물(200)은, 표면(201)에 격자형으로 형성된 복수의 분할 예정 라인(202)에 의해 격자형으로 구획된 영역에 디바이스(203)가 형성되어 있다. The processing device 1 according to the first embodiment is a cutting device that cuts the workpiece 200 shown in FIG. 1. In the first embodiment, the workpiece 200 is a wafer such as a disk-shaped semiconductor wafer or an optical device wafer made of silicon, gallium arsenide, SiC (silicon carbide), or sapphire as a base material. In the workpiece 200, a device 203 is formed in a region partitioned in a lattice shape by a plurality of planned division lines 202 formed in a lattice shape on the surface 201.

또한, 본 발명의 피가공물(200)은, 중앙부가 얇고, 외주부가 두껍게 형성된 소위 TAIKO(등록상표) 웨이퍼이어도 좋고, 웨이퍼 외에, 수지에 의해 밀봉된 디바이스를 복수 갖는 직사각형의 수지 패키지 기판, 세라믹스 기판, 페라이트 기판, 또는 니켈 및 철의 적어도 하나를 포함하는 기판, 유리 기판 등이어도 좋다. 실시형태 1에서, 피가공물(200)은, 이면(204)이 외주 가장자리에 고리형 프레임(205)이 장착된 점착 테이프(206)에 접착되어, 고리형 프레임(205)에 지지되어 있다. In addition, the workpiece 200 of the present invention may be a so-called TAIKO (registered trademark) wafer in which the central portion is thin and the outer periphery portion is thick, and in addition to the wafer, a rectangular resin package substrate or ceramic substrate having a plurality of devices sealed with resin. , A ferrite substrate, a substrate containing at least one of nickel and iron, a glass substrate, or the like may be used. In the first embodiment, the workpiece 200 is supported by the annular frame 205 by bonding the back surface 204 to the adhesive tape 206 on which the annular frame 205 is attached to the outer circumferential edge.

도 1에 도시된 가공 장치(1)는, 피가공물(200)을 척테이블(10)로 유지하고 분할 예정 라인(202)을 따라 절삭 블레이드(21)로 절삭 가공(가공에 상당)하는 절삭 장치이다. 가공 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 피가공물(200)을 유지면(11)으로 흡인 유지하는 척테이블(10)과, 절삭 블레이드(21)로 척테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 절삭하는 절삭 유닛(20)과, 척테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 촬영하는 도시하지 않은 촬상 유닛과, 절삭 블레이드 교환 기구(6)와, 제어부인 제어 장치(100)를 구비한다. The processing device 1 shown in FIG. 1 is a cutting device that holds the workpiece 200 by the chuck table 10 and cuts (corresponds to processing) with the cutting blade 21 along the line 202 to be divided. to be. The processing apparatus 1, as shown in FIG. 1, is a chuck table 10 that sucks and holds the workpiece 200 by a holding surface 11, and is held on the chuck table 10 with a cutting blade 21. A cutting unit 20 for cutting the processed object 200, an imaging unit not shown for photographing the workpiece 200 held in the chuck table 10, a cutting blade exchange mechanism 6, and a control unit A control device 100 is provided.

또한, 가공 장치(1)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 척테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 이동시키는 이동 유닛(30)을 구비한다. 이동 유닛(30)은, 척테이블(10)을 수평 방향과 평행한 X축 방향으로 가공 이송하는 가공 이송 유닛인 X축 이동 유닛(31)과, 절삭 유닛(20)을 수평 방향과 평행하고 또한 X축 방향에 직교하는 Y축 방향으로 인덱싱 이송하는 인덱싱 이송 유닛인 Y축 이동 유닛(32)과, 절삭 유닛(20)을 X축 방향과 Y축 방향의 쌍방과 직교하는 수직 방향에 평행한 Z축 방향으로 절입 이송하는 절입 이송 유닛인 Z축 이동 유닛(33)과, 척테이블(10)을 Z축 방향과 평행한 축심 둘레에 회전하는 회전 이동 유닛(34)을 적어도 구비한다. Further, the processing apparatus 1 includes a moving unit 30 for relatively moving the chuck table 10 and the cutting unit 20 as shown in FIG. 1. The moving unit 30 includes an X-axis moving unit 31, which is a machining transfer unit for machining and transferring the chuck table 10 in the X-axis direction parallel to the horizontal direction, and the cutting unit 20, parallel to the horizontal direction, and The Y-axis movement unit 32, which is an indexing transfer unit that indexes and transfers in the Y-axis direction orthogonal to the X-axis direction, and the cutting unit 20, are Z parallel to the vertical direction orthogonal to both the X-axis direction and the Y-axis direction. It includes at least a Z-axis moving unit 33 which is a cut-out transfer unit that cuts and feeds in the axial direction, and a rotation moving unit 34 that rotates the chuck table 10 around an axial center parallel to the Z-axis direction.

X축 이동 유닛(31)은, 척테이블(10)을 가공 이송 방향인 X축 방향으로 이동시킴으로써, 척테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 X축 방향을 따라 가공 이송하는 것이다. Y축 이동 유닛(32)은, 절삭 유닛(20)을 인덱싱 이송 방향인 Y축 방향으로 이동시킴으로써, 척테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 Y축 방향을 따라 인덱싱 이송하는 것이다. Z축 이동 유닛(33)은, 절삭 유닛(20)을 절입 이송 방향인 Z축 방향으로 이동시킴으로써, 척테이블(10)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 Z축 방향을 따라 절입 이송하는 것이다. The X-axis moving unit 31 moves the chuck table 10 in the X-axis direction, which is the machining feed direction, so as to move the chuck table 10 and the cutting unit 20 relatively along the X-axis direction. The Y-axis moving unit 32 moves the cutting unit 20 in the Y-axis direction, which is the indexing feed direction, so as to relatively index the chuck table 10 and the cutting unit 20 along the Y-axis direction. The Z-axis moving unit 33 moves the cutting unit 20 in the Z-axis direction, which is the cut-out feed direction, so as to relatively cut and feed the chuck table 10 and the cutting unit 20 along the Z-axis direction.

X축 이동 유닛(31), Y축 이동 유닛(32) 및 Z축 이동 유닛(33)은, 축심 둘레에 회전 가능하게 설치된 주지의 볼나사, 볼나사를 축심 둘레에 회전시키는 주지의 모터 및 척테이블(10) 또는 절삭 유닛(20)을 X축 방향, Y축 방향 또는 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비한다. The X-axis moving unit 31, the Y-axis moving unit 32, and the Z-axis moving unit 33 are a known ball screw that is rotatably installed around an axis, a well-known motor and chuck that rotates the ball screw around the axis. A well-known guide rail is provided for supporting the table 10 or the cutting unit 20 so as to be movable in the X-axis direction, Y-axis direction, or Z-axis direction.

척테이블(10)은, 원반형상이며, 피가공물(200)을 유지하는 유지면(11)이 포러스 세라믹 등으로 형성되어 있다. 또한, 척테이블(10)은, X축 이동 유닛(31)에 의해 절삭 유닛(20)의 하측의 가공 영역(2)과, 절삭 유닛(20)의 하측으로부터 이격하여 피가공물(200)이 반입 반출되는 반입 반출 영역(3)에 걸쳐 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 또한 회전 이동 유닛(34)에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레에 회전 가능하게 설치되어 있다. 척테이블(10)은, 도시하지 않은 진공 흡인원과 접속되고, 진공 흡인원에 의해 흡인됨으로써, 유지면(11)에 배치된 피가공물(200)을 흡인, 유지한다. 실시형태 1에서는, 척테이블(10)은, 점착 테이프(206)를 통해 피가공물(200)의 이면(204)측을 흡인, 유지한다. 또한, 척테이블(10)의 주위에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 고리형 프레임(205)을 클램프하는 클램프부(12)가 복수 설치되어 있다. The chuck table 10 has a disk shape, and the holding surface 11 holding the workpiece 200 is formed of a porous ceramic or the like. In addition, the chuck table 10 is separated from the processing region 2 on the lower side of the cutting unit 20 and from the lower side of the cutting unit 20 by the X-axis moving unit 31 so that the workpiece 200 is carried in. It is provided so as to be movable in the X-axis direction over the carry-in/out area 3 to be carried out, and is provided so as to be rotatable around an axial center parallel to the Z-axis direction by a rotation moving unit 34. The chuck table 10 is connected to a vacuum suction source (not shown) and is sucked by the vacuum suction source to suck and hold the workpiece 200 disposed on the holding surface 11. In the first embodiment, the chuck table 10 sucks and holds the back surface 204 side of the workpiece 200 through the adhesive tape 206. Further, around the chuck table 10, as shown in Fig. 1, a plurality of clamp portions 12 for clamping the annular frame 205 are provided.

절삭 유닛(20)은, 척테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 절삭하는 절삭 블레이드(21)를 착탈 가능하게 장착한 절삭 수단이다. 절삭 유닛(20)은, 각각, 척테이블(10)에 유지된 피가공물(200)에 대하여, Y축 이동 유닛(32)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 또한, Z축 이동 유닛(33)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. The cutting unit 20 is a cutting means in which a cutting blade 21 for cutting the workpiece 200 held in the chuck table 10 is detachably attached. The cutting units 20 are installed so as to be movable in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit 32 with respect to the workpiece 200 held in the chuck table 10, respectively, and the Z-axis moving unit It is installed so as to be movable in the Z-axis direction by (33).

절삭 유닛(20)은, 도 1에 도시한 바와 같이, Y축 이동 유닛(32) 및 Z축 이동 유닛(33) 등을 통해, 장치 본체(4)로부터 세워서 설치한 지지 프레임(5)에 설치되어 있다. 절삭 유닛(20)은, Y축 이동 유닛(32) 및 Z축 이동 유닛(33)에 의해, 척테이블(10)의 유지면(11)의 임의의 위치에 절삭 블레이드(21)를 위치 부여 가능하게 되어 있다. As shown in FIG. 1, the cutting unit 20 is installed on the support frame 5 erected from the apparatus main body 4 through the Y-axis moving unit 32 and the Z-axis moving unit 33, etc. Has been. The cutting unit 20 can position the cutting blade 21 at an arbitrary position on the holding surface 11 of the chuck table 10 by the Y-axis moving unit 32 and the Z-axis moving unit 33 It is supposed to be done.

절삭 유닛(20)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 절삭 블레이드(21)와, 스핀들 하우징(22)과, 스핀들 하우징(22)에 축심 둘레에 회전 가능하게 설치된 스핀들(23)과, 로터리 조인트(24)와, 플랜지 기구(25)를 구비한다. As shown in FIG. 2, the cutting unit 20 includes a cutting blade 21, a spindle housing 22, a spindle 23 rotatably installed around an axial center of the spindle housing 22, and a rotary joint. (24) and a flange mechanism (25) are provided.

절삭 블레이드(21)는, 대략 링형상을 갖는 매우 얇은 절삭 지석이다. 실시형태 1에서, 절삭 블레이드(21)는, 절단날(211)만으로 이루어진 소위 와셔 블레이드이다. 절단날(213)은, 다이아몬드나 CBN(Cubic Boron Nitride) 등의 지립과, 금속이나 수지 등의 본드재(결합재)로 이루어지며 소정의 두께로 형성되어 있다. 절삭 블레이드(21)는, 절단날(211)의 중앙에 장착 구멍(212)을 갖는 원반형으로 형성되어 있다. The cutting blade 21 is a very thin cutting grindstone having a substantially ring shape. In the first embodiment, the cutting blade 21 is a so-called washer blade composed of only the cutting blade 211. The cutting blade 213 is made of an abrasive grain such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride), and a bonding material (binder) such as metal or resin, and has a predetermined thickness. The cutting blade 21 is formed in a disk shape having a mounting hole 212 in the center of the cutting blade 211.

스핀들 하우징(22)은, Z축 이동 유닛(33)에 의해 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지되고, Z축 이동 유닛(33)을 통해 Y축 이동 유닛(32)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 스핀들 하우징(22)은, 스핀들(23)의 선단부를 제외한 부분 및 도시하지 않은 스핀들 모터 등을 수용하고, 스핀들(23)을 축심 둘레에 회전 가능하게 지지한다. The spindle housing 22 is supported so as to be movable in the Z-axis direction by the Z-axis moving unit 33, and can be moved in the Y-axis direction by the Y-axis moving unit 32 through the Z-axis moving unit 33 Is supported. The spindle housing 22 accommodates portions other than the tip end of the spindle 23, a spindle motor (not shown), and the like, and supports the spindle 23 so as to be rotatable around an axis center.

스핀들(23)은, 도시하지 않은 스핀들 모터에 의해 회전되는 회전축이 됨과 더불어, 선단부가 스핀들 하우징(22)의 선단부면(221)보다 돌출되어 있다. 스핀들(23)의 선단부는, 선단으로 향함에 따라 서서히 가늘게 형성되어 있고, 선단부면에 개구된 나사 구멍(231)이 형성되어 있다. The spindle 23 becomes a rotating shaft rotated by a spindle motor (not shown), and a tip portion protrudes from the tip end surface 221 of the spindle housing 22. The distal end of the spindle 23 is formed gradually thinner toward the distal end, and a screw hole 231 opened on the distal end surface is formed.

로터리 조인트(24)는, 플랜지 기구(25)의 고정 플랜지(26)에 절삭 블레이드(21)를 고정하기 위한 흡인력을 전달하는 것이다. 로터리 조인트(24)는, 스핀들(23)의 선단부가 내측을 통과하는 원환형의 플랜지부(241)와, 플랜지부(241)의 내측 가장자리로부터 세워져 설치된 원통형의 보스부(242)를 일체로 구비하고 있다. 플랜지부(241)는, 내측에 스핀들(23)의 선단부를 통과시킨 상태로 스핀들 하우징(22)의 선단부면(221)에 겹쳐진다. 로터리 조인트(24)는, 도시하지 않은 나사를 플랜지부(241)에 형성된 관통 구멍(243)을 통과시켜 선단부면(221)에 형성된 나사 구멍(222)에 넣음으로써, 스핀들 하우징(22)에 고정된다. 로터리 조인트(24)는 스핀들(23)과 동축에 배치된다. The rotary joint 24 transmits a suction force for fixing the cutting blade 21 to the fixed flange 26 of the flange mechanism 25. The rotary joint 24 is integrally provided with an annular flange portion 241 through which the tip end of the spindle 23 passes inside, and a cylindrical boss portion 242 that is erected from the inner edge of the flange portion 241. I'm doing it. The flange portion 241 overlaps the front end face 221 of the spindle housing 22 with the front end portion of the spindle 23 passed therethrough. The rotary joint 24 is fixed to the spindle housing 22 by passing a screw (not shown) through the through hole 243 formed in the flange portion 241 and inserting it into the screw hole 222 formed in the tip end surface 221. do. The rotary joint 24 is disposed coaxially with the spindle 23.

또한, 로터리 조인트(24)의 보스부(242)에는, 보스부(242)를 관통한 관통 구멍의 내측 가장자리로부터 세워져 설치되고 또한 밸브인 개폐 밸브(40)를 통해 진공 펌프 등으로 구성된 흡인원(41)과 접속된 흡인 파이프(244)가 부착되어 있다. 개폐 밸브(40)는, 흡인원(41)과 로터리 조인트(24)의 보스부(242)의 내주측 사이의 연통을 개폐하는 것이다. In addition, in the boss portion 242 of the rotary joint 24, a suction source ( A suction pipe 244 connected to 41) is attached. The on-off valve 40 opens and closes communication between the suction source 41 and the inner circumferential side of the boss portion 242 of the rotary joint 24.

플랜지 기구(25)는, 스핀들(23)에 고정되고, 절삭 블레이드(21)를 스핀들(23)의 선단부에 장착하기 위한 것이다. 플랜지 기구(25)는, 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 고정 플랜지부인 고정 플랜지(26)와, 압박 플랜지부인 압박 플랜지(27)와, 고정 너트(28)를 구비한다. The flange mechanism 25 is fixed to the spindle 23 and is for attaching the cutting blade 21 to the distal end of the spindle 23. The flange mechanism 25 includes a fixed flange 26 as a fixed flange portion, a pressing flange 27 as a pressing flange portion, and a fixing nut 28 as shown in FIGS. 2 and 3.

고정 플랜지(26)는, 원통형의 보스부(43)와, 보스부(43)의 축심 방향의 중앙부로부터 직경 방향으로 외주측으로 돌출된 플랜지부(44)를 구비하고 있다. 보스부(43)는 스핀들(23)의 선단부에 고정된다. 보스부(43)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 내주면에 단차부(431)와, 테이퍼부(432)를 구비한다. 단차부(431)는, 플랜지부(44)보다 스핀들 하우징(22)으로부터 떨어진 선단측에 설치되고, 보스부(43)의 내경을 스핀들 하우징(22)으로부터 떨어진 선단으로부터 스핀들 하우징(22)에 가까운 기단측으로 향함에 따라 단계적으로 작게 하고 있다. 단차부(431)의 표면은, 보스부(43), 즉 고정 플랜지(26)의 축심에 대하여 직교하는 방향을 따라 평탄하게 형성되어 있다. The fixed flange 26 includes a cylindrical boss portion 43 and a flange portion 44 protruding from the central portion of the boss portion 43 in the axial direction toward the outer circumferential side in the radial direction. The boss part 43 is fixed to the front end of the spindle 23. The boss portion 43 is provided with a stepped portion 431 and a tapered portion 432 on an inner peripheral surface, as shown in FIG. 3. The step portion 431 is provided on the front end side further away from the spindle housing 22 than the flange portion 44, and the inner diameter of the boss portion 43 is closer to the spindle housing 22 from the front end away from the spindle housing 22. It is gradually reduced in steps toward the base end. The surface of the step portion 431 is formed flat along a direction orthogonal to the axial center of the boss portion 43, that is, the fixed flange 26.

테이퍼부(432)는, 보스부(43)의 축심 방향의 중앙으로부터 기단에 걸쳐 형성되고, 보스부(43)의 내경을 축심 방향의 중앙으로부터 기단측을 향해 서서히 확대시키고 있다. 고정 플랜지(26)는, 보스부(43)의 기단측에 스핀들(23)의 선단부가 삽입되고, 단차부(431)의 표면에 겹쳐진 와셔(291) 내를 통과한 고정 나사(292)가 스핀들(23)의 선단부면에 형성된 나사 구멍(231)과 결합하여 스핀들(23)의 선단부에 고정된다. 고정 플랜지(26)가 스핀들(23)의 선단부에 고정되면, 테이퍼부(432)가 스핀들(23)의 선단부에 밀착하여 접촉한다. The tapered portion 432 is formed from the center of the boss portion 43 in the axial direction to the base end, and the inner diameter of the boss portion 43 is gradually expanded from the center in the axial direction toward the base end side. In the fixed flange 26, the front end of the spindle 23 is inserted into the base end side of the boss part 43, and the fixing screw 292 passing through the inside of the washer 291 overlapping the surface of the step part 431 is the spindle. It is fixed to the distal end of the spindle 23 by engaging with the screw hole 231 formed on the distal end surface of (23). When the fixing flange 26 is fixed to the distal end of the spindle 23, the tapered portion 432 is in close contact with the distal end of the spindle 23.

보스부(43)는, 외주면의 축심 방향의 중앙부로부터 외주 방향으로 돌출되고 또한 플랜지부(44)와 일체가 된 블레이드 지지용 보스부(433)를 구비한다. 블레이드 지지용 보스부(433)는, 플랜지부(44)보다 선단측에 설치되고, 외경이 절삭 블레이드(21)의 장착 구멍(212)의 내경과 똑같이 형성되어 있다. 보스부(43)는, 선단측으로부터 절삭 블레이드(21)의 장착 구멍(212)에 삽입 관통되어, 블레이드 지지용 보스부(433)의 외주면 상에 절삭 블레이드(21)를 지지한다. 또한, 보스부(43)는, 외주면의 선단에 수나사(434)가 형성되어 있다. The boss portion 43 includes a boss portion 433 for supporting blades that protrudes from the central portion of the outer peripheral surface in the axial direction in the outer circumferential direction and is integrated with the flange portion 44. The blade support boss portion 433 is provided on the front end side of the flange portion 44 and has an outer diameter that is the same as the inner diameter of the mounting hole 212 of the cutting blade 21. The boss portion 43 is inserted through the mounting hole 212 of the cutting blade 21 from the tip side, and supports the cutting blade 21 on the outer peripheral surface of the boss portion 433 for supporting the blade. In addition, the boss portion 43 is formed with a male screw 434 at the tip end of the outer circumferential surface.

플랜지부(44)는, 보스부(43)의 축심 방향의 중앙부로부터 직경 방향 외측을 향해 돌출된 원환형의 부재이다. 플랜지부(44)의 외경은 절삭 블레이드(21)의 외경보다 직경이 작다. 플랜지부(44)는, 블레이드 지지용 보스부(433)에 의해 장착 구멍(212)의 내주면이 지지된 절삭 블레이드(21)와 대면하는 지지면(441)을 갖고 있다. 지지면(441)은, 선단측, 즉 절삭 블레이드(21)측으로 돌출된 지지 돌기(442)가 외측 가장자리의 전체 둘레에 형성되어 있다. 지지 돌기(442)의 단부면(443)은, 고정 플랜지(26)의 축심에 대하여 직교하는 방향을 따라 평탄하게 형성되어 있다. 플랜지부(44)는, 지지 돌기(442)의 단부면(443)에 절삭 블레이드(21)를 밀착시켜, 절삭 블레이드(21)를 지지한다. The flange portion 44 is an annular member protruding radially outward from the central portion of the boss portion 43 in the axial direction. The outer diameter of the flange portion 44 is smaller than the outer diameter of the cutting blade 21. The flange portion 44 has a support surface 441 facing the cutting blade 21 on which the inner peripheral surface of the mounting hole 212 is supported by the blade support boss portion 433. As for the support surface 441, a support protrusion 442 protruding toward the front end side, that is, to the cutting blade 21 side, is formed around the entire outer edge. The end surface 443 of the support protrusion 442 is formed flat along a direction orthogonal to the axial center of the fixed flange 26. The flange portion 44 supports the cutting blade 21 by bringing the cutting blade 21 into close contact with the end surface 443 of the support protrusion 442.

또한, 고정 플랜지(26)는, 흡인 구멍(45)과, 흡인 통로(46)와, 전술한 개폐 밸브(40)와, 제어 장치(100)를 포함한다. 흡인 구멍(45)은, 지지면(441)에 형성되고, 흡인원(41)으로부터의 흡인력에 의해 절삭 블레이드(21)를 흡인 고정하기 위한 것이다. 실시형태 1에서는, 흡인 구멍(45)은, 지지면(441)의 지지 돌기(442)보다 내주측에 개구되고, 둘레 방향으로 등간격으로 복수 형성되어 있다. Further, the fixed flange 26 includes a suction hole 45, a suction passage 46, the above-described on-off valve 40, and the control device 100. The suction hole 45 is formed in the support surface 441 and is for suction and fixation of the cutting blade 21 by the suction force from the suction source 41. In Embodiment 1, a plurality of suction holes 45 are opened on the inner circumferential side of the support protrusion 442 of the support surface 441 and are formed at equal intervals in the circumferential direction.

흡인 통로(46)는, 고정 플랜지(26) 내에 형성되고, 흡인 구멍(45)과 로터리 조인트(24)의 내주를 연통시키는 통로이다. 흡인 통로(46)는, 일단이 흡인 구멍(45)에 연통하고, 타단이 보스부(43)의 외주면에 개구되고 또한 로터리 조인트(24)의 내주면과 대향하고 있다. 흡인 통로(46)와, 로터리 조인트(24)의 흡인 파이프(244)는, 흡인 구멍(45)과 흡인원(41)을 연통시키는 흡인로(47)를 구성하고 있다. 이 때문에, 개폐 밸브(40)는 흡인로(47)에 형성되어 있다. 고정 플랜지(26)는 흡인로(47)를 포함하고 있다. The suction passage 46 is formed in the fixed flange 26 and is a passage for communicating the suction hole 45 and the inner circumference of the rotary joint 24. The suction passage 46 has one end communicated with the suction hole 45 and the other end is opened to the outer circumferential surface of the boss portion 43 and faces the inner circumferential surface of the rotary joint 24. The suction passage 46 and the suction pipe 244 of the rotary joint 24 constitute a suction passage 47 that communicates the suction hole 45 and the suction source 41. For this reason, the on-off valve 40 is formed in the suction path 47. The fixed flange 26 includes a suction path 47.

고정 플랜지(26)는, 개폐 밸브(40)가 개방되고, 흡인로(47)를 통해 흡인원(41)에 의해 흡인 구멍(45)이 흡인됨으로써, 지지면(441)의 지지 돌기(442)의 단부면(443) 상에 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지한다. In the fixed flange 26, the on-off valve 40 is opened, and the suction hole 45 is sucked by the suction source 41 through the suction path 47, so that the support protrusion 442 of the support surface 441 The cutting blade 21 is suction-maintained on the end surface 443 of the.

압박 플랜지(27)는, 중앙에 고정 플랜지(26)의 보스부(43)에 장착되는 장착 구멍(271)을 갖는 원환형으로 형성되어 있다. 압박 플랜지(27)는, 외경이 절삭 블레이드(21)의 외경보다 직경이 작다. 압박 플랜지(27)는, 장착 구멍(271) 내에 고정 플랜지(26)의 보스부(43)의 선단측을 통과시키고, 고정 플랜지(26)의 지지면(441)의 지지 돌기(442)의 단부면(443)과의 사이에 절삭 블레이드(21)를 끼워 지지하는 협지면(272)을 외측 가장자리부의 전체 둘레에 갖고 있다. 협지면(272)은, 압박 플랜지(27)의 축심에 대하여 직교하는 방향을 따라 평탄하게 형성되어 있다. 압박 플랜지(27)는, 협지면(272)이 절삭 블레이드(21)를 고정 플랜지(26)의 지지면(441)의 지지 돌기(442)와의 사이에 끼워 지지한다. 또한, 압박 플랜지(27)는, 외주면에 전체 둘레에 걸쳐 감합홈(273)이 형성되어 있다. 지지면(441)은, 보스부(43)의 외주로부터 단부면(443)의 사이에 고리형으로 넓어지는 영역을 나타낸다. 실시형태 1에서, 흡인 구멍(45)은 고정 플랜지(26)의 지지면(441)의 지지 돌기(442)의 단부면보다 내측으로 개구되어 있지만, 지지면(441)의 다른 장소, 예컨대 단부면에 개구되어도 좋다. The pressing flange 27 is formed in an annular shape having a mounting hole 271 attached to the boss portion 43 of the fixed flange 26 at the center. The pressing flange 27 has an outer diameter smaller than the outer diameter of the cutting blade 21. The pressing flange 27 passes through the front end side of the boss portion 43 of the fixing flange 26 in the mounting hole 271, and the end of the support protrusion 442 of the support surface 441 of the fixing flange 26 It has a holding surface 272 for holding the cutting blade 21 between the sub-surface 443 and the entire circumference of the outer edge portion. The clamping surface 272 is formed flat along a direction orthogonal to the axial center of the pressing flange 27. In the pressing flange 27, the clamping surface 272 sandwiches the cutting blade 21 between the support protrusions 442 of the support surface 441 of the fixed flange 26. Further, the pressing flange 27 has a fitting groove 273 formed over the entire circumference of the outer circumferential surface. The support surface 441 represents a region extending in an annular shape between the outer periphery of the boss portion 43 and the end surface 443. In the first embodiment, the suction hole 45 is opened inward than the end surface of the support protrusion 442 of the support surface 441 of the fixing flange 26, but at another place of the support surface 441, for example, at the end surface. It may be open.

고정 너트(28)는, 원환형으로 형성되고, 보스부(43)의 수나사(434)와 결합하는 암나사(281)가 내주면에 형성되어 있다. 고정 너트(28)는, 압박 플랜지(27)의 장착 구멍(271) 내에 고정 플랜지(26)의 보스부(43)가 통과되고, 지지 돌기(442)의 단부면(443)이 협지면(272)과의 사이에 절삭 블레이드(21)를 끼워 지지한 고정 플랜지(26)의 보스부(43)의 수나사(434)에 암나사(281)가 결합하여, 보스부(43)에 체결한다. 고정 너트(28)는, 보스부(43)에 체결함으로써, 압박 플랜지(27)를 통해 고정 플랜지(26)와 압박 플랜지(27)의 사이에 절삭 블레이드(21)를 고정한다. 고정 너트(28)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 단부면에 4개의 핀감합 구멍(282)을 둘레 방향으로 등간격으로 형성하고 있다. The fixing nut 28 is formed in an annular shape, and a female screw 281 that engages with the male screw 434 of the boss portion 43 is formed on the inner circumferential surface. In the fixing nut 28, the boss portion 43 of the fixing flange 26 is passed through the mounting hole 271 of the pressing flange 27, and the end surface 443 of the support protrusion 442 is the clamping surface 272 ), the female screw 281 is coupled to the male screw 434 of the boss portion 43 of the fixed flange 26 supported by sandwiching the cutting blade 21 between them and fastened to the boss portion 43. The fixing nut 28 fixes the cutting blade 21 between the fixing flange 26 and the pressing flange 27 via the pressing flange 27 by fastening to the boss portion 43. As shown in Fig. 2, the fixing nut 28 has four pin fitting holes 282 formed at equal intervals in the circumferential direction on the end surface.

이와 같이 구성된 절삭 유닛(20)은, 스핀들 하우징(22)의 선단부면(221)에 로터리 조인트(24)가 고정되고, 고정 플랜지(26)가 보스부(43)의 기단측의 내측에 스핀들(23)의 선단부를 통과시키고, 고정 나사(292) 등에 의해 스핀들(23)의 선단부에 고정되고, 절삭 블레이드(21)의 장착 구멍(212)의 내주면을 블레이드 지지용 보스부(433)의 외주면 상에 지지한다. 절삭 유닛(20)은, 고정 플랜지(26)의 보스부(43)의 선단측을 압박 플랜지(27)의 장착 구멍(271)의 내측에 통과시키고, 수나사(434)에 암나사(281)를 결합하여, 고정 너트(28)로 압박 플랜지(27) 및 절삭 블레이드(21)를 스핀들(23)의 선단부에 고정한다. In the cutting unit 20 configured as described above, the rotary joint 24 is fixed to the tip end surface 221 of the spindle housing 22, and the fixing flange 26 is located on the inner side of the base end side of the boss part 43. 23), and is fixed to the tip of the spindle 23 by a set screw 292 or the like, and the inner circumferential surface of the mounting hole 212 of the cutting blade 21 is placed on the outer circumferential surface of the boss part 433 for supporting the blade. To support. The cutting unit 20 passes the front end side of the boss portion 43 of the fixing flange 26 through the inside of the mounting hole 271 of the pressing flange 27, and couples the female screw 281 to the male screw 434. Thus, the pressing flange 27 and the cutting blade 21 are fixed to the distal end of the spindle 23 with the fixing nut 28.

절삭 유닛(20)의 스핀들(23), 로터리 조인트(24), 고정 플랜지(26), 절삭 블레이드(21), 압박 플랜지(27) 및 고정 너트(28)의 축심은, Y축 방향과 평행하게 설정되어 있다. The spindle 23 of the cutting unit 20, the rotary joint 24, the fixing flange 26, the cutting blade 21, the pressing flange 27 and the fixing nut 28 have their shaft centers parallel to the Y-axis direction. It is set.

촬상 유닛은, 절삭 유닛(20)과 일체적으로 이동하도록 절삭 유닛(20)에 고정되어 있다. 촬상 유닛은, 척테이블(10)에 유지된 절삭전의 피가공물(200)의 분할해야 할 영역을 촬영하는 촬상 소자를 구비하고 있다. 촬상 소자는, 예컨대 CCD(Charge-Coupled Device) 촬상 소자 또는 CMOS(Complementary MOS) 촬상 소자이다. 촬상 유닛은, 척테이블(10)에 유지된 피가공물(200)을 촬영하여, 피가공물(200)과 절삭 블레이드(21)의 위치 맞춤을 행하는 얼라인먼트를 수행하기 위한 등의 화상을 얻어, 얻은 화상을 제어 장치(100)에 출력한다. The imaging unit is fixed to the cutting unit 20 so as to move integrally with the cutting unit 20. The imaging unit is provided with an imaging device for photographing a region to be divided of the workpiece 200 before cutting held on the chuck table 10. The image pickup device is, for example, a charge-coupled device (CCD) image pickup device or a CMOS (Complementary MOS) image pickup device. The imaging unit captures the workpiece 200 held on the chuck table 10 and obtains an image such as for performing alignment of the workpiece 200 and the cutting blade 21 to be aligned. Is output to the control device 100.

또한, 가공 장치(1)는, 척테이블(10)의 X축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않은 X축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Y축 방향의 위치를 검출하기 위한 도시하지 않은 Y축 방향 위치 검출 유닛과, 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출하기 위한 Z축 방향 위치 검출 유닛을 구비한다. X축 방향 위치 검출 유닛 및 Y축 방향 위치 검출 유닛은, X축 방향, 또는 Y축 방향과 평행한 리니어 스케일과, 판독 헤드에 의해 구성할 수 있다. Z축 방향 위치 검출 유닛은, 모터의 펄스로 절삭 유닛(20)의 Z축 방향의 위치를 검출한다. X축 방향 위치 검출 유닛, Y축 방향 위치 검출 유닛 및 Z축 방향 위치 검출 유닛은, 척테이블(10)의 X축 방향, 절삭 유닛(20)의 Y축 방향 또는 Z축 방향의 위치를 제어 장치(100)에 출력한다. 실시형태 1에서는, 가공 장치(1)의 각 구성 요소의 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 위치는, 미리 정해진 도시하지 않은 기준 위치를 기준으로 한 위치로 정해진다. In addition, the processing apparatus 1 includes an X-axis direction position detection unit (not shown) for detecting the position of the chuck table 10 in the X-axis direction, and the cutting unit 20 for detecting the position in the Y-axis direction. A Y-axis direction position detection unit (not shown) and a Z-axis direction position detection unit for detecting the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction are provided. The X-axis direction position detection unit and the Y-axis direction position detection unit can be constituted by a linear scale parallel to the X-axis direction or Y-axis direction, and a read head. The Z-axis direction position detection unit detects the position of the cutting unit 20 in the Z-axis direction with a pulse of a motor. The X-axis direction position detection unit, the Y-axis direction position detection unit, and the Z-axis direction position detection unit control the position of the chuck table 10 in the X-axis direction, the cutting unit 20 in the Y-axis direction, or in the Z-axis direction. Print to (100). In Embodiment 1, the positions in the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction of each component of the processing apparatus 1 are determined as a position based on a reference position not shown in advance.

제어 장치(100)는, 가공 장치(1)의 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물(200)에 대한 가공 동작을 가공 장치(1)에 실시시키는 것이기도 하다. 즉, 제어 장치(100)는, 개폐 밸브(40)를 개폐하여, 고정 플랜지(26)의 절삭 블레이드(21)의 흡인을 제어하는 것이기도 하다. 제어 장치(100)는, CPU(central processing unit)와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(read only memory) 또는 RAM(random access memory)와 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 장치(100)의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라서 연산 처리를 실시하여, 가공 장치(1)를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통해 가공 장치(1)의 각 구성 요소에 출력한다. The control device 100 also controls each component of the processing device 1 to perform a processing operation on the workpiece 200 to the processing device 1. That is, the control device 100 also controls the suction of the cutting blade 21 of the fixed flange 26 by opening and closing the on-off valve 40. The control device 100 includes an operation processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a memory device having a memory such as read only memory (ROM) or a random access memory (RAM), and an input/output interface device. It is a computer to have. The arithmetic processing device of the control device 100 performs arithmetic processing according to a computer program stored in the storage device, and transmits a control signal for controlling the processing device 1 to the processing device 1 through an input/output interface device. Outputs to each component of.

제어 장치(100)는, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 도시하지 않은 표시 유닛과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 이용하는 입력 유닛에 접속되어 있다. 입력 유닛은, 표시 유닛에 설치된 터치패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다. The control device 100 is connected to a display unit (not shown) constituted by a liquid crystal display device or the like that displays a state of a processing operation, an image, and the like, and an input unit used when an operator registers processing content information and the like. The input unit is constituted by at least one of a touch panel installed in the display unit and an external input device such as a keyboard.

(절삭 블레이드 교환 기구)(Cutting blade exchange mechanism)

도 4는, 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 블레이드 착탈 기구의 블레이드 착탈 유닛을 도시하는 사시도이다. 도 5는, 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 압박 플랜지 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다. 도 6은, 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 너트 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다. 도 7은, 도 4에 도시된 블레이드 착탈 유닛의 블레이드 착탈부의 요부를 도시하는 사시도이다. Fig. 4 is a perspective view showing a blade attaching/detaching unit of the cutting blade attaching/detaching mechanism of the processing apparatus shown in Fig. 1. 5 is a perspective view showing a main part of a pressing flange attachment and detachment portion of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. 6 is a perspective view showing a main part of a nut attachment/detachment portion of the blade attachment/detachment unit shown in FIG. 4. Fig. 7 is a perspective view showing a main part of a blade attaching/detaching part of the blade attaching/detaching unit shown in Fig. 4.

절삭 블레이드 교환 기구(6)는, 절삭 유닛(20)의 플랜지 기구(25)의 고정 플랜지(26)에 절삭 블레이드(21)를 착탈하는 것이다. 실시형태 1에서, 절삭 블레이드 교환 기구(6)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 장치 본체(4)의 반입 반출 영역(3)에 위치 부여된 척테이블(10)과 Y축 방향으로 나란한 위치에 설치되어 있다. 절삭 블레이드 교환 기구(6)는, 교환전후의 절삭 블레이드(21)를 유지하는 블레이드 스토커(70)와, 절삭 유닛(20)의 스핀들(23)에 절삭 블레이드(21)를 착탈함과 더불어 블레이드 스토커(70)와 절삭 유닛(20)의 사이에서 절삭 블레이드(21)를 반송하는 블레이드 착탈 유닛(80)을 구비한다. The cutting blade exchange mechanism 6 attaches and detaches the cutting blade 21 to the fixed flange 26 of the flange mechanism 25 of the cutting unit 20. In the first embodiment, the cutting blade exchange mechanism 6 is a position parallel to the chuck table 10 positioned in the carry-in/out area 3 of the apparatus main body 4 in the Y-axis direction, as shown in FIG. It is installed on. The cutting blade exchange mechanism 6 includes a blade stocker 70 that holds the cutting blades 21 before and after the replacement, and the cutting blades 21 are attached and detached from the spindle 23 of the cutting unit 20, and the blade stocker A blade attaching/detaching unit 80 for conveying the cutting blade 21 between the 70 and the cutting unit 20 is provided.

블레이드 스토커(70)는, 장치 본체(4)로부터 설치된 스토커 본체(71)와, 절삭 블레이드(21)를 유지하는 블레이드 유지부(72)를 구비한다. 블레이드 유지부(72)는 스토커 본체(71)에 복수 설치되어 있다. 블레이드 스토커(70)는, 실시형태 1에서는, 블레이드 유지부(72)를 2개 구비한다. 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)가 유지하는 절삭 블레이드(21)는, 미사용인 것 외에, 기사용이지만 수명이 남아 있어 사용 가능한 것, 동일한 종류 및/또는 상이한 종류의 것을 포함한다. The blade stocker 70 includes a stocker body 71 provided from the apparatus body 4 and a blade holding portion 72 that holds the cutting blade 21. A plurality of blade holding portions 72 are provided on the stocker main body 71. In the first embodiment, the blade stocker 70 includes two blade holding portions 72. The cutting blade 21 held by the blade holding portion 72 of the blade stocker 70 includes not only unused ones, but also used ones that are used but can be used with a remaining lifespan, and the same type and/or different types.

실시형태 1에서는, 블레이드 스토커(70)의 2개의 블레이드 유지부(72)의 축심은 Y축 방향과 평행하게 배치되어 있다. 2개의 블레이드 유지부(72)는 X축 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. In Embodiment 1, the axial centers of the two blade holding portions 72 of the blade stocker 70 are arranged parallel to the Y-axis direction. The two blade holding portions 72 are arranged at intervals in the X-axis direction.

블레이드 착탈 유닛(80)은, 절삭 유닛(20)의 플랜지 기구(25)의 고정 플랜지(26)에 절삭 블레이드(21)를 장착, 및, 고정 플랜지(26)로부터 절삭 블레이드(21)를 이탈시키는 것이었다. 블레이드 착탈 유닛(80)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 유닛 본체(81)와, 유닛 본체(81)를 X축 방향으로 이동시키는 착탈측 이동 유닛(82)과, 압박 플랜지 착탈부(83)와, 너트 착탈부(84)와, 한쌍의 블레이드 착탈부(85)를 갖는다. The blade attaching/detaching unit 80 attaches the cutting blade 21 to the fixed flange 26 of the flange mechanism 25 of the cutting unit 20, and detaches the cutting blade 21 from the fixed flange 26. It was. As shown in FIG. 1, the blade attaching/detaching unit 80 includes a unit main body 81, a detachable side moving unit 82 for moving the unit main unit 81 in the X-axis direction, and a pressing flange attaching/detaching part 83. ), a nut attachment/detachment portion 84, and a pair of blade attachment/detachment portions 85.

착탈측 이동 유닛(82)은, X축 방향으로 연장되고 또한 유닛 본체(81)에 설치된 너트와 결합하는 나사축과, 나사축을 축심 둘레에 회전시킴으로써 유닛 본체(81)를 X축 방향으로 이동시키는 모터를 구비하고여 유닛 본체(81), 즉 압박 플랜지 착탈부(83), 너트 착탈부(84) 및 한쌍의 블레이드 착탈부(85)를 X축 방향으로 이동시킨다. 착탈측 이동 유닛(82)은, 블레이드 착탈부(85)를, 블레이드 유지부(72)와 Y축 방향을 따라 대면하는 위치와, 절삭 유닛(20)의 플랜지 기구(25)와 Y축 방향에 대면하는 위치에 걸쳐 X축 방향으로 이동시킨다. The detachable side moving unit 82 moves the unit body 81 in the X-axis direction by rotating a screw shaft extending in the X-axis direction and engaging a nut installed in the unit main body 81, and rotating the screw shaft around the axial center. A motor is provided to move the unit body 81, that is, the compression flange attachment/detachment portion 83, the nut attachment/detachment portion 84, and the pair of blade attachment/detachment portions 85 in the X-axis direction. The detachable side moving unit 82 has the blade attaching/detaching part 85 facing the blade holding part 72 along the Y-axis direction, and the flange mechanism 25 of the cutting unit 20 and the Y-axis direction. Move in the X-axis direction over the facing position.

압박 플랜지 착탈부(83)는, 압박 플랜지(27)를 유지하여, 압박 플랜지(27)를 절삭 유닛(20)의 스핀들(23)의 선단부에 고정된 고정 플랜지(26)에 착탈하는 것이다. 압박 플랜지 착탈부(83)의 축심은, Y축 방향과 평행하게 배치되어 있다. 압박 플랜지 착탈부(83)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 유닛 본체(81)에 고정되고 또한 외관이 원통형으로 형성된 케이스(831)와, 케이스(831)의 선단에 신축 가능하게 설치된 로드(832)와, 로드(832)의 선단에 부착된 원반형의 지지 베이스(833)와, 지지 베이스(833)에 부착된 갈고리(834)를 구비한다. The pressing flange attaching/detaching part 83 holds the pressing flange 27 and attaches and detaches the pressing flange 27 to the fixed flange 26 fixed to the distal end of the spindle 23 of the cutting unit 20. The axial center of the pressing flange attachment/detachment part 83 is arranged parallel to the Y-axis direction. As shown in FIG. 5, the compression flange attachment/detachment part 83 is a case 831 fixed to the unit main body 81 and formed in a cylindrical shape, and a rod ( 832, a disk-shaped support base 833 attached to the tip of the rod 832, and a hook 834 attached to the support base 833.

로드(832)는, 케이스(831) 내에 설치된 도시하지 않은 에어 실린더의 로드로서, 신축함으로써 지지 베이스(833) 및 갈고리(834)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 갈고리(834)는, 지지 베이스(833)의 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)와 대향하는 단부면(835)의 외측 가장자리에 둘레 방향으로 간격을 두고 복수 배치되어 있다. 실시형태 1에서는, 갈고리(834)는, 지지 베이스(833)의 단부면(835)의 외측 가장자리에 둘레 방향으로 등간격으로 3개 설치되어 있다. 복수의 갈고리(834)는, 지지 베이스(833) 내 등에 설치된 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 단부면(835)의 직경 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 서로 접근함으로써 압박 플랜지(27)의 감합홈(273)에 감합하여 압박 플랜지(27)를 파지하고, 서로 떨어짐으로써 압박 플랜지(27)의 파지를 해제한다. The rod 832 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the case 831 and moves the support base 833 and the claw 834 in the Y-axis direction by expanding and contracting. A plurality of hooks 834 are disposed on the outer edge of the end surface 835 facing the blade holding portion 72 of the blade stocker 70 of the support base 833 at intervals in the circumferential direction. In Embodiment 1, three claws 834 are provided on the outer edge of the end surface 835 of the support base 833 at equal intervals in the circumferential direction. The plurality of hooks 834 are installed so as to be movable in the radial direction of the end faces 835 by a drive mechanism (not shown) installed in the support base 833 and the like, and when approaching each other, a fitting groove of the pressing flange 27 The pressing flange 27 is gripped by fitting to 273, and the gripping of the pressing flange 27 is released by being separated from each other.

너트 착탈부(84)는, 고정 너트(28)를 고정 플랜지(26)의 보스부(242)에 착탈하는 것이다. 너트 착탈부(84)의 축심은 Y축 방향과 평행하게 배치되어 있다. 너트 착탈부(84)는, 압박 플랜지 착탈부(83)와 X축 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 너트 착탈부(84)는, 도 6에 도시한 바와 같이, 유닛 본체(81)에 고정되고 또한 외관이 원통형으로 형성된 케이스(841)와, 케이스(841)의 선단에 신축 가능하게 설치되고 또한 축심 둘레에 회전 가능하게 설치된 로드(842)와, 로드(842)의 선단에 고정된 원반형의 지지 베이스(843)와, 지지 베이스(843)에 부착된 갈고리(844)와, 지지 베이스(843)의 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)에 대면하는 단부면(845)에 설치된 복수의 감합핀(846)을 구비한다. The nut attaching/detaching part 84 attaches and detaches the fixing nut 28 to the boss part 242 of the fixing flange 26. The axial center of the nut attachment/detachment part 84 is arranged parallel to the Y-axis direction. The nut attachment/detachment portion 84 is disposed with the pressing flange attachment/detachment portion 83 at intervals in the X-axis direction. As shown in FIG. 6, the nut attachment/detachment part 84 is fixed to the unit main body 81 and has a cylindrical outer case 841, and the case 841 is telescopically installed at the tip of the case 841 The rod 842 is rotatably installed around the periphery, the disk-shaped support base 843 fixed to the tip of the rod 842, the hook 844 attached to the support base 843, and the support base 843. A plurality of fitting pins 846 installed on the end surface 845 facing the blade holding portion 72 of the blade stocker 70 are provided.

로드(842)는, 케이스(841) 내에 설치된 도시하지 않은 에어 실린더의 로드로서, 신축함으로써, 지지 베이스(843), 갈고리(844) 및 감합핀(846)을 Y축 방향으로 이동시킨다. 또한, 로드(842)는, 케이스(841) 내에 설치된 도시하지 않은 모터에 의해 축심 둘레에 회전한다. The rod 842 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the case 841, and by expanding and contracting, the support base 843, the claw 844, and the fitting pin 846 are moved in the Y-axis direction. Further, the rod 842 is rotated around the shaft center by a motor (not shown) provided in the case 841.

갈고리(844)는, 지지 베이스(843)의 단부면(845)에 둘레 방향으로 간격을 두고 복수 배치되어 있다. 실시형태 1에서는, 갈고리(844)는, 지지 베이스(843)의 단부면(845)에 둘레 방향으로 등간격으로 4개 설치되어 있다. 복수의 갈고리(844)는, 지지 베이스(843) 내 등에 설치된 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 단부면(845)의 직경 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 서로 접근함으로써 고정 너트(28)의 외주면을 파지하고, 서로 떨어짐으로써 고정 너트(28)의 파지를 해제한다. A plurality of hooks 844 are disposed on the end surface 845 of the support base 843 at intervals in the circumferential direction. In the first embodiment, four claws 844 are provided on the end face 845 of the support base 843 at equal intervals in the circumferential direction. The plurality of hooks 844 are installed so as to be movable in the radial direction of the end faces 845 by a drive mechanism (not shown) installed in the support base 843, etc., and close the outer circumferential surface of the fixing nut 28 by approaching each other. It is gripped and separated from each other to release the gripping of the fixing nut 28.

감합핀(846)은, 단부면(845)으로부터 출몰 가능하게 지지 베이스(843)에 지지되고, 실시형태 1에서는, 단부면(845)에 둘레 방향으로 등간격으로 4개 설치되어 있다. 감합핀(846)은, 단부면(845)으로부터 돌출되면 고정 너트(28)의 핀감합 구멍(282)에 감합 가능하다. The fitting pins 846 are supported by the support base 843 so that they can protrude from the end face 845, and in Embodiment 1, four are provided on the end face 845 at equal intervals in the circumferential direction. When the fitting pin 846 protrudes from the end surface 845, the fitting pin 846 can fit into the pin fitting hole 282 of the fixing nut 28.

한쌍의 블레이드 착탈부(85)는, 고정 플랜지(26)에 절삭 블레이드(21)를 착탈하는 것이다. 실시형태 1에서는, 한쪽 블레이드 착탈부(85)는, 블레이드 스토커(70)에 유지된 교환용의 절삭 블레이드(21)를 블레이드 스토커(70)로부터 제거하여 유지하고, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)는, 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)로부터 절삭 블레이드(21)를 제거하고, 절삭 유닛(20)으로부터 제거된 교환후의 절삭 블레이드(21)를 유지한다. 실시형태 1에서는, 한쌍의 블레이드 착탈부(85)의 축심은, Y축 방향과 평행하게 배치되고, 서로 X축 방향으로 간격을 두고 배치되어 있다. 또한, 블레이드 착탈부(85)의 축심의 Z축 방향의 높이는, 블레이드 스토커(70)의 2개의 블레이드 유지부(72)의 축심의 Z축 방향의 높이와 같다. The pair of blade attachment/detachment parts 85 attaches and detaches the cutting blade 21 to the fixed flange 26. In the first embodiment, one blade attachment/detachment part 85 removes and holds the replacement cutting blade 21 held by the blade stocker 70 from the blade stocker 70, and the other blade attachment/detachment part 85 A removes the cutting blade 21 from the fixed flange 26 of the cutting unit 20, and holds the replaced cutting blade 21 removed from the cutting unit 20. In Embodiment 1, the axial centers of the pair of blade attachment/detachment parts 85 are arranged parallel to the Y-axis direction, and are arranged at intervals from each other in the X-axis direction. In addition, the height of the axis|shaft center of the blade attachment/detachment part 85 in the Z-axis direction is the same as the height of the axis|shaft center of the two blade holding parts 72 of the blade stocker 70 in the Z-axis direction.

블레이드 착탈부(85)는, 도 7에 도시한 바와 같이, 유닛 본체(81)에 고정되고 또한 외관이 원통형으로 형성된 케이스(851)와, 케이스(851)의 선단에 신축 가능하게 설치된 로드(852)와, 로드(852)의 선단에 부착된 원반형의 지지 베이스(853)를 구비한다. As shown in FIG. 7, the blade attachment/detachment portion 85 includes a case 851 fixed to the unit main body 81 and formed in a cylindrical shape, and a rod 852 installed at the front end of the case 851 so as to be stretchable. ), and a disk-shaped support base 853 attached to the tip of the rod 852.

로드(852)는, 케이스(851) 내에 설치된 도시하지 않은 에어 실린더의 로드로서, 신축함으로써, 지지 베이스(853)를 Y축 방향으로 이동시킨다. 지지 베이스(853)는, 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)와 대향하는 단부면(855)에 링형의 흡인홈(854)이 형성되어 있다. 흡인홈(854)은, 지지 베이스(853) 내 등에 설치된 흡인로(856), 개폐 밸브(857)를 통해 흡인원(858)에 접속하고 있다. 블레이드 착탈부(85)는, 흡인원(858)에 의해 흡인홈(854) 내가 흡인됨으로써, 지지 베이스(853)의 단부면(855)에 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지한다. 또한, 실시형태 1에서는, 블레이드 착탈부(85)는, 단부면(855)의 중앙에 보스부(43)의 선단측이 침입 가능한 보스부 침입 구멍(859)을 형성하고 있다. The rod 852 is a rod of an air cylinder (not shown) provided in the case 851, and moves the support base 853 in the Y-axis direction by expanding and contracting. The support base 853 has a ring-shaped suction groove 854 formed on an end surface 855 facing the blade holding portion 72 of the blade stocker 70. The suction groove 854 is connected to the suction source 858 through a suction path 856 and an on-off valve 857 provided in the support base 853 or the like. The blade attachment/detachment part 85 sucks and holds the cutting blade 21 on the end surface 855 of the support base 853 by being sucked inside the suction groove 854 by the suction source 858. In addition, in Embodiment 1, the blade attaching/detaching part 85 is formed with a boss part penetration hole 859 in the center of the end surface 855 into which the front end side of the boss part 43 can penetrate.

(가공 장치의 가공 동작)(Machining operation of processing equipment)

가공 장치(1)는, 오퍼레이터가, 가공 내용 정보를 제어 장치(100)에 등록하고, 절삭 가공전의 피가공물(200)을 척테이블(10)의 유지면(11)에 배치하고, 절삭 블레이드 교환 기구(6)의 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)에 교환용의 절삭 블레이드(21)를 부착한다. In the processing device 1, the operator registers the processing content information in the control device 100, arranges the workpiece 200 before cutting on the holding surface 11 of the chuck table 10, and replaces the cutting blade. A cutting blade 21 for replacement is attached to the blade holding portion 72 of the blade stocker 70 of the mechanism 6.

그 후, 가공 장치(1)는, 오퍼레이터로부터 가공 동작의 개시 지시가 있는 경우에 가공 동작을 시작한다. 가공 장치(1)는, 가공 동작을 시작하면, 점착 테이프(206)를 통해 피가공물(200)의 이면(204)측을 척테이블(10)의 유지면(11)에 흡인 유지함과 더불어, 클램프부(12)로 고리형 프레임(205)을 클램프한다. After that, the machining apparatus 1 starts a machining operation when an operator instructs to start a machining operation. When the processing operation starts, the processing device 1 sucks and holds the back surface 204 side of the workpiece 200 to the holding surface 11 of the chuck table 10 through the adhesive tape 206, and clamps Clamp the annular frame 205 to the part 12.

가공 동작에서는, 가공 장치(1)는, X축 이동 유닛(31)이 척테이블(10)을 가공 영역(2) 방향으로 이동시켜, 촬상 유닛이 피가공물(200)을 촬영하고, 촬상 유닛이 촬영하여 얻은 화상에 기초하여 얼라인먼트를 수행한다. 가공 장치(1)는, 분할 예정 라인(202)을 따라 피가공물(200)과 절삭 유닛(20)을 상대적으로 이동시키면서, 절삭 블레이드(21)를 각 분할 예정 라인(202)에 넣어 피가공물(200)을 개개의 디바이스(203)로 분할한다. 가공 장치(1)는, 개개의 디바이스(203)로 분할된 피가공물(200)을 반입 반출 영역(3) 방향으로 이동시켜, 반입 반출 영역(3)에서 유지면(11)의 흡인 유지 및 클램프부(12)의 클램프를 해제하고 가공 동작을 종료한다. In the processing operation, in the processing apparatus 1, the X-axis moving unit 31 moves the chuck table 10 in the direction of the processing region 2, the imaging unit photographs the workpiece 200, and the imaging unit Alignment is performed based on the image obtained by shooting. The processing apparatus 1 inserts the cutting blade 21 into each division scheduled line 202 while relatively moving the workpiece 200 and the cutting unit 20 along the division scheduled line 202 to the workpiece ( 200) is divided into individual devices 203. The processing apparatus 1 moves the workpiece 200 divided into individual devices 203 in the direction of the carry-in/out area 3, and holds and clamps the holding surface 11 in the carry-in/out area 3 The clamp of the part 12 is released and the machining operation is terminated.

(절삭 블레이드의 착탈 동작)(Cutting blade attachment and detachment operation)

도 8은, 도 1에 도시된 가공 장치의 압박 플랜지의 착탈중의 상태를 절삭 유닛을 단면으로 도시하는 압박 플랜지 착탈부의 측면도이다. 도 9는, 도 1에 도시된 가공 장치의 절삭 블레이드의 착탈중의 상태를 절삭 유닛을 단면으로 도시하는 블레이드 착탈부의 측면도이다. Fig. 8 is a side view of a pressing flange attaching/detaching portion showing a cutting unit in a cross-sectional view of a state in which the pressing flange of the processing apparatus shown in Fig. 1 is being attached and detached. Fig. 9 is a side view of a blade attaching/detaching section showing a cutting unit in a cross-section of a cutting blade in the cutting blade of the processing apparatus shown in Fig. 1.

실시형태 1에서, 가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 가공 동작중에, 절삭 유닛(20)의 절삭 블레이드(21)가 블레이드 교환 타이밍이라고 판정하면 절삭 블레이드(21)의 착탈 동작을 실시한다. 블레이드 교환 타이밍은, 절삭 유닛(20)의 절삭 블레이드(21)를 교환하는 타이밍인 것을 말한다. 블레이드 교환 타이밍은, 예컨대, 미리 설정된 수의 피가공물(200)을 절삭할 때마다 등 또는 절삭 블레이드(21)의 마모량이 사전에 설정된 값을 넘은 타이밍이며, 가공 내용 정보의 일부로서 제어 장치(100)에 등록된다. 또한, 본 발명의 블레이드 교환 타이밍은, 1장의 피가공물(200)을 가공하고 있는 도중이어도 좋고, 복수의 피가공물(200)을 연속하여 가공할 때 피가공물(200)을 교환하는 타이밍이어도 좋다. In the first embodiment, the processing device 1 performs an attaching and detaching operation of the cutting blade 21 when the control device 100 determines that the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is the blade replacement timing during the processing operation. do. The blade replacement timing is a timing for replacing the cutting blades 21 of the cutting unit 20. The blade replacement timing is, for example, a timing at which the amount of wear of the cutting blade 21 exceeds a preset value each time a predetermined number of workpieces 200 are cut, and the control device 100 is part of the processing content information. ) To be registered. In addition, the blade replacement timing of the present invention may be in the middle of processing one piece of workpiece 200, or may be a timing of replacing the workpiece 200 when processing a plurality of workpieces 200 in succession.

착탈 동작은, 절삭 유닛(20)의 절삭 블레이드(21)를 제거하고, 블레이드 스토커(70)에 유지된 교환용의 절삭 블레이드(21)를 절삭 유닛(20)에 부착하는 동작이다. 즉, 절삭 블레이드(21)의 착탈 동작은, 블레이드 스토커(70)에 유지된 절삭 블레이드(21)와, 절삭 유닛(20)에 장착된 절삭 블레이드(21)를 교환하는 동작이다. The attaching/detaching operation is an operation of removing the cutting blade 21 of the cutting unit 20 and attaching the replacement cutting blade 21 held by the blade stocker 70 to the cutting unit 20. That is, the attaching and detaching operation of the cutting blade 21 is an operation of exchanging the cutting blade 21 held in the blade stocker 70 and the cutting blade 21 attached to the cutting unit 20.

착탈 동작에서는, 가공 장치(1)는, 절삭 유닛(20)의 스핀들(23)의 회전을 정지한다. 이 때, 개폐 밸브(40)는, 개방되어, 흡인원(41)의 흡인력에 의해 절삭 블레이드(21)가 고정 플랜지(26)에 흡인 유지되어 있다. 착탈 동작에서는, 가공 장치(1)는, 착탈측 이동 유닛(82)에 의해 블레이드 착탈 유닛(80)을 X축 방향으로 이동시켜, 블레이드 착탈 유닛(80)의 블레이드 착탈부(85)를 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)와 Y축 방향으로 대향시킨다. In the attaching/detaching operation, the processing apparatus 1 stops rotation of the spindle 23 of the cutting unit 20. At this time, the on-off valve 40 is opened, and the cutting blade 21 is sucked and held by the fixed flange 26 by the suction force of the suction source 41. In the attaching and detaching operation, the processing apparatus 1 moves the blade attaching/detaching unit 80 in the X-axis direction by the attaching/detaching side moving unit 82, and moves the blade attaching/detaching portion 85 of the blade attaching/detaching unit 80 to a blade stocker. It faces the blade holding part 72 of (70) in the Y-axis direction.

가공 장치(1)는, 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 신장하여 지지 베이스(853)를 Y축 방향으로 블레이드 유지부(72)에 근접하게 하고, 단부면(855)을 압박하여 블레이드 유지부(72)에 유지되어 있는 절삭 블레이드(21)에 밀착시키고, 개폐 밸브(857)를 개방하여, 한쪽 블레이드 착탈부(85)에 교환용의 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지한다. 가공 장치(1)는, 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 축소하여 지지 베이스(853)를 블레이드 유지부(72)로부터 Y축 방향으로 멀어지게 하여, 블레이드 유지부(72)로부터 절삭 블레이드(21)를 제거한다. 가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 블레이드 착탈 유닛(80)의 너트 착탈부(84)와 절삭 유닛(20)을 Y축 방향으로 대향시킨다. The processing apparatus 1 extends the rod 852 of one blade attachment/detachment part 85 to bring the support base 853 close to the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and presses the end surface 855. Thus, the cutting blade 21 held by the blade holding portion 72 is brought into close contact with the cutting blade 21 held by the blade holding portion 72, the opening/closing valve 857 is opened, and the replacement cutting blade 21 is suction-held by the one blade attachment/detachment portion 85. The processing apparatus 1 reduces the rod 852 of one blade attachment/detachment part 85 to move the support base 853 away from the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and from the blade holding part 72. Remove the cutting blade 21. In the processing apparatus 1, the control apparatus 100 controls the attachment/detachment side movement unit 82 and the movement unit 30, so that the nut attachment/detachment portion 84 and the cutting unit 20 of the blade attachment/detachment unit 80 They are opposed in the Y-axis direction.

가공 장치(1)는, 너트 착탈부(84)의 로드(842)를 신장하여 지지 베이스(843) 및 갈고리(844)를 Y축 방향으로 절삭 유닛(20)에 근접하게 하고, 너트 착탈부(84)의 갈고리(844)로 고정 너트(28)를 파지하여, 로드(842)를 고정 너트(28)가 수나사(434)로부터 제거되는 방향으로 축심 둘레에 회전시킨다. 가공 장치(1)는, 그렇게 하면, 감합핀(846)이 핀감합 구멍(282)에 감합하여, 너트 착탈부(84)의 지지 베이스(843)와 함께 고정 너트(28)가 회전한다. 가공 장치(1)는, 로드(842)를 고정 너트(28)가 수나사(434)로부터 제거될 때까지 회전시킨 후, 로드(842)의 회전을 정지하고, 로드(842)를 축소하여, 너트 착탈부(84)의 지지 베이스(843) 및 갈고리(844)를 절삭 유닛(20)으로부터 Y축 방향으로 멀리지게 하여, 고정 플랜지(26)의 보스부(43)로부터 고정 너트(28)를 제거한다. The processing apparatus 1 extends the rod 842 of the nut attachment/detachment portion 84 to bring the support base 843 and the claw 844 close to the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and the nut attachment/detachment portion ( By gripping the fixing nut 28 with the hook 844 of 84), the rod 842 is rotated around the shaft center in the direction in which the fixing nut 28 is removed from the male screw 434. In the processing apparatus 1, in that case, the fitting pin 846 fits into the pin fitting hole 282, and the fixing nut 28 rotates together with the support base 843 of the nut attachment/detachment portion 84. The processing apparatus 1 rotates the rod 842 until the fixing nut 28 is removed from the male screw 434, then stops the rotation of the rod 842, reduces the rod 842, and reduces the nut. Remove the fixing nut 28 from the boss part 43 of the fixing flange 26 by moving the support base 843 and the hook 844 of the detachable part 84 away from the cutting unit 20 in the Y-axis direction. do.

가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 블레이드 착탈 유닛(80)의 압박 플랜지 착탈부(83)와 절삭 유닛(20)을 Y축 방향으로 대향시킨다. In the processing apparatus 1, the control apparatus 100 controls the attachment/detachment side movement unit 82 and the movement unit 30, and the pressing flange attachment/detachment part 83 and the cutting unit 20 of the blade attachment/detachment unit 80 Oppose in the Y-axis direction.

가공 장치(1)는, 압박 플랜지 착탈부(83)의 로드(832)를 신장하여 지지 베이스(833) 및 갈고리(834)를 Y축 방향으로 절삭 유닛(20)에 근접하게 하고, 압박 플랜지 착탈부(83)의 갈고리(834)를 감합홈(273)에 감합시켜, 갈고리(834)로 압박 플랜지(27)를 파지한다. 가공 장치(1)는, 압박 플랜지 착탈부(83)의 로드(832)를 축소하여 지지 베이스(833) 및 갈고리(834)를 절삭 유닛(20)으로부터 Y축 방향으로 멀어지게 하여, 도 8에 도시한 바와 같이, 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)로부터 압박 플랜지(27)를 제거한다. 이 때, 제어 장치(100)는, 개폐 밸브(40)를 개방하여, 절삭 블레이드(21)를 고정 플랜지(26)에 흡인 유지하고 있다. 이와 같이, 제어 장치(100)는, 압박 플랜지(27)를 제거할 때에 절삭 블레이드(21)가 낙하하지 않도록 개폐 밸브(40)를 개방하여, 절삭 블레이드(21)를 고정 플랜지(26)에 흡인 유지한다. The processing apparatus 1 extends the rod 832 of the compression flange attachment/detachment part 83 to bring the support base 833 and the claw 834 closer to the cutting unit 20 in the Y-axis direction, and the compression flange is attached and detached. The claw 834 of the part 83 is fitted into the fitting groove 273, and the pressing flange 27 is gripped with the claw 834. The processing apparatus 1 shrinks the rod 832 of the pressing flange attachment/detachment part 83 to move the support base 833 and the claw 834 away from the cutting unit 20 in the Y-axis direction, as shown in FIG. As shown, the pressing flange 27 is removed from the fixed flange 26 of the cutting unit 20. At this time, the control device 100 opens the on-off valve 40 and holds the cutting blade 21 by suction to the fixed flange 26. In this way, when the pressing flange 27 is removed, the control device 100 opens the on-off valve 40 so that the cutting blade 21 does not fall, and draws the cutting blade 21 to the fixed flange 26. Keep.

가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 블레이드 착탈 유닛(80)의 다른쪽 블레이드 착탈부(85)와 고정 너트(28) 및 압박 플랜지(27)가 제거된 절삭 유닛(20)을 Y축 방향으로 대향시킨다. In the processing device 1, the control device 100 controls the detachable side moving unit 82 and the moving unit 30, and the other blade attaching/detaching part 85 and the fixing nut 28 of the blade attaching/detaching unit 80 ) And the pressing flange 27 from which the cutting unit 20 is removed are opposed to each other in the Y-axis direction.

가공 장치(1)는, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 신장하여 지지 베이스(853)를 Y축 방향으로 블레이드 유지부(72)에 근접하게 하고, 단부면(855)을 고정 플랜지(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(21)에 밀착시키고, 개폐 밸브(857)를 개방하여, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)에 고정 플랜지(26)에 장착되어 있는 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지한다. 가공 장치(1)는, 개폐 밸브(40)를 폐쇄하여, 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)의 절삭 블레이드(21)의 흡인 유지를 정지하고, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 축소하여 지지 베이스(853)를 절삭 유닛(20)으로부터 Y축 방향을 따라 멀어지게 하여, 도 9에 도시한 바와 같이, 절삭 유닛(20)으로부터 절삭 블레이드(21)를 제거한다. The processing apparatus 1 extends the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85 to bring the support base 853 close to the blade holding part 72 in the Y-axis direction, and the end surface 855 The cutting blade 21 attached to the fixed flange 26 to the other blade attachment/detachment part 85 by making close contact with the cutting blade 21 attached to the fixed flange 26, opening the on/off valve 857 Keep it aspirated. The processing apparatus 1 closes the on-off valve 40 to stop suction and maintenance of the cutting blade 21 of the fixed flange 26 of the cutting unit 20, and the rod of the other blade attachment/detachment part 85 By reducing 852, the support base 853 is moved away from the cutting unit 20 along the Y-axis direction, and the cutting blade 21 is removed from the cutting unit 20 as shown in FIG. 9.

가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 교환용의 절삭 블레이드(21)를 유지한 한쪽 블레이드 착탈부(85)를, 절삭 블레이드(21)가 제거된 절삭 유닛(20)과 Y축 방향으로 대향시킨다. 가공 장치(1)는, 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 신장하여, 지지 베이스(853)를 절삭 유닛(20)에 Y축 방향을 따라 근접하게 하고, 교환용의 절삭 블레이드(21)의 장착 구멍(212) 내에 고정 플랜지(26)의 보스부(43) 및 블레이드 지지용 보스부(433)를 순서대로 통과시켜, 교환용의 절삭 블레이드(21)를 고정 플랜지(26)의 지지 돌기(442)의 단부면(443)에 밀착하여 접촉시킨다. In the processing device 1, the control device 100 controls the detachable side moving unit 82 and the moving unit 30 to provide one blade attaching/detaching part 85 holding the cutting blade 21 for replacement, The cutting unit 20 from which the cutting blade 21 is removed is opposed to the Y-axis direction. The processing apparatus 1 extends the rod 852 of the one blade attachment/detachment part 85, makes the support base 853 close to the cutting unit 20 along the Y-axis direction, and replaces the cutting blade ( 21), the boss portion 43 of the fixing flange 26 and the boss portion 433 for blade support are sequentially passed through the mounting hole 212 of the fixing flange 26, and the cutting blade 21 for replacement is inserted into the fixing flange 26. In close contact with the end surface 443 of the support protrusion 442.

가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 개폐 밸브(40)를 개방하여, 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)에 교환용의 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지하고, 개폐 밸브(857)를 폐쇄하여 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 교환용의 절삭 블레이드(21)의 흡인 유지를 해제한다. 가공 장치(1)는, 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 축소하여, 한쪽 블레이드 착탈부(85)의 지지 베이스(853)를 절삭 유닛(20)으로부터 Y축 방향을 따라 멀어지게 하고, 절삭 유닛(20)에 교환용의 절삭 블레이드(21)를 부착한다. 이렇게 해서, 착탈 동작에서는, 가공 장치(1)는, 개폐 밸브(40, 857)의 개폐와 연동하여, 블레이드 착탈 유닛(80)에 의한 절삭 블레이드(21)를 고정 플랜지(26)에 장착 및 고정 플랜지(26)로부터 이탈시킨다. In the processing device 1, the control device 100 opens the on-off valve 40, the cutting blade 21 for replacement is sucked and held by the fixed flange 26 of the cutting unit 20, and the on-off valve ( 857) is closed to release the suction holding and holding of the cutting blade 21 for replacement of one blade attachment/detachment part 85. The processing apparatus 1 reduces the rod 852 of the one blade attachment/detachment portion 85 so that the support base 853 of the one blade attachment/detachment portion 85 is moved away from the cutting unit 20 along the Y-axis direction. Then, a replacement cutting blade 21 is attached to the cutting unit 20. In this way, in the attaching and detaching operation, the processing device 1 attaches and fixes the cutting blade 21 by the blade attaching and detaching unit 80 to the fixed flange 26 in conjunction with the opening and closing of the on/off valves 40 and 857. It is separated from the flange 26.

가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 압박 플랜지 착탈부(83)와 절삭 유닛(20)과 Y축 방향으로 대향시킨 후, 압박 플랜지(27)를 제거한 동작과 역동작을 실시하여, 압박 플랜지(27)를 절삭 유닛(20)에 부착한다. 가공 장치(1)는, 제어 장치(100)가 착탈측 이동 유닛(82) 및 이동 유닛(30)을 제어하여, 너트 착탈부(84)와 절삭 유닛(20)과 Y축 방향으로 대향시킨 후, 고정 너트(28)를 제거한 동작과 역동작을 실시하여, 고정 너트(28)를 절삭 유닛(20)에 부착하고, 고정 너트(28)로 절삭 블레이드(21)를 스핀들(23)의 선단부에 고정한다. In the processing device 1, the control device 100 controls the attaching/detaching side moving unit 82 and the moving unit 30 to face the pressing flange attaching/detaching unit 83 and the cutting unit 20 in the Y-axis direction. After that, the pressing flange 27 is attached to the cutting unit 20 by performing an operation in which the pressing flange 27 is removed and a reverse operation. In the processing device 1, after the control device 100 controls the attaching/detaching side moving unit 82 and the moving unit 30 to face the nut attaching/detaching part 84 and the cutting unit 20 in the Y-axis direction. , By removing the fixing nut 28 and performing the reverse operation, attaching the fixing nut 28 to the cutting unit 20, and attaching the cutting blade 21 to the tip of the spindle 23 with the fixing nut 28. Fix it.

가공 장치(1)는, 착탈측 이동 유닛(82)에 의해 블레이드 착탈 유닛(80)을 X축 방향으로 이동시켜, 절삭 유닛(20)으로부터 제거된 교환후의 절삭 블레이드(21)를 유지한 다른쪽 블레이드 착탈부(85)를 블레이드 스토커(70)의 블레이드 유지부(72)와 Y축 방향으로 대향시킨다. 가공 장치(1)는, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 신장하여, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 지지 베이스(853)를 블레이드 유지부(72)에 Y축 방향을 따라 근접하게 하고, 블레이드 유지부(72)에 교환후의 절삭 블레이드(21)를 유지한 후, 개폐 밸브(857)를 폐쇄하여 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 교환후의 절삭 블레이드(21)의 흡인 유지를 해제한다. 가공 장치(1)는, 다른쪽 블레이드 착탈부(85)의 로드(852)를 축소하여, 지지 베이스(853)를 블레이드 유지부(72)로부터 Y축 방향을 따라 멀어지게 하고, 착탈 동작을 완료한다. The processing apparatus 1 moves the blade attachment/detachment unit 80 in the X-axis direction by the attachment/detachment side moving unit 82, and the other side holding the replaced cutting blade 21 removed from the cutting unit 20 The blade attachment/detachment part 85 is opposed to the blade holding part 72 of the blade stocker 70 in the Y-axis direction. The processing apparatus 1 extends the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85, and the support base 853 of the other blade attachment/detachment part 85 is attached to the blade holding part 72 in the Y-axis direction. The cutting blade 21 after replacement is held in the blade holding part 72, and then the opening/closing valve 857 is closed to suction of the cutting blade 21 after the replacement of the other blade attachment/detachment part 85 Release maintenance. The processing apparatus 1 reduces the rod 852 of the other blade attachment/detachment part 85, moves the support base 853 away from the blade holding part 72 along the Y-axis direction, and completes the attachment/detachment operation. do.

이상 설명한 바와 같이, 실시형태 1에 관한 가공 장치(1)는, 압박 플랜지(27)를 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)로부터 제거한다. 특히, 개폐 밸브(40)를 개방하여, 고정 플랜지(26)에 절삭 블레이드(21)를 흡인 유지한다. 이 때문에, 가공 장치(1)는, 압박 플랜지(27)를 절삭 유닛(20)의 고정 플랜지(26)로부터 제거할 때에, 절삭 블레이드(21)가 절삭 유닛(20)으로부터 탈락(낙하)하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 가공 장치(1)는, 교환시의 절삭 블레이드(21)의 파손을 억제할 수 있다고 하는 효과를 발휘한다. As described above, the processing apparatus 1 according to the first embodiment removes the pressing flange 27 from the fixed flange 26 of the cutting unit 20. In particular, the opening/closing valve 40 is opened, and the cutting blade 21 is sucked and held by the fixed flange 26. For this reason, the processing apparatus 1 prevents the cutting blade 21 from falling off (falling) from the cutting unit 20 when removing the pressing flange 27 from the fixed flange 26 of the cutting unit 20. Can be suppressed. As a result, the processing apparatus 1 exhibits the effect of being able to suppress the breakage of the cutting blade 21 at the time of replacement.

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다. The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

1 : 가공 장치 6 : 절삭 블레이드 교환 기구
21 : 절삭 블레이드 23 : 스핀들
25 : 플랜지 기구 26 : 고정 플랜지(고정 플랜지부)
27 : 압박 플랜지(압박 플랜지부) 28 : 고정 너트
40 : 개폐 밸브(밸브) 41 : 흡인원
43 : 보스부 45 : 흡인 구멍
47 : 흡인로 83 : 압박 플랜지 착탈부
84 : 너트 착탈부 85 : 블레이드 착탈부
100 : 제어 장치(제어부) 212 : 장착 구멍
271 : 장착 구멍 281 : 암나사
434 : 수나사 441 : 지지면1: processing device 6: cutting blade exchange mechanism
21: cutting blade 23: spindle
25: flange mechanism 26: fixed flange (fixed flange portion)
27: compression flange (compression flange portion) 28: fixing nut
40: on-off valve (valve) 41: suction source
43: boss portion 45: suction hole
47: suction furnace 83: compression flange attachment/detachment part
84: nut attachment/detachment portion 85: blade attachment/detachment portion
100: control device (control unit) 212: mounting hole
271: mounting hole 281: female thread
434: male thread 441: support surface

Claims (2)

중앙에 장착 구멍을 갖는 원반형의 절삭 블레이드를 회전축이 되는 스핀들에 장착하기위한 플랜지 기구를 갖는 가공 장치로서,
상기 플랜지 기구는,
선단에 수나사가 형성된 보스부와, 상기 보스부로부터 직경 방향으로 돌출되고, 상기 절삭 블레이드를 지지하는 지지면을 갖는 고정 플랜지부와,
상기 보스부에 장착되는 장착 구멍을 가지며, 상기 보스부에 장착된 절삭 블레이드를 상기 고정 플랜지부와의 사이에 끼워 지지하는 압박 플랜지부와,
상기 보스부의 수나사와 결합하는 암나사가 내주에 형성되고, 상기 보스부와 체결함으로써 상기 압박 플랜지부를 통해 절삭 블레이드를 고정하는 고정 너트를 구비하고,
상기 고정 플랜지부는,
상기 지지면에 형성되고, 절삭 블레이드를 흡인 고정하는 흡인 구멍과,
상기 흡인 구멍과 흡인원을 연통시키는 흡인로와,
상기 흡인로에 형성된 밸브와,
상기 밸브를 개폐하여 흡인을 제어하는 제어부를 포함하며,
상기 제어부는,
상기 압박 플랜지부를 제거할 때에 절삭 블레이드가 낙하하지 않도록 밸브를 개방하고, 절삭 블레이드를 흡인하는 것을 특징으로 하는 가공 장치.A processing apparatus having a flange mechanism for mounting a disk-shaped cutting blade having a mounting hole in the center to a spindle serving as a rotating shaft,
The flange mechanism,
A fixed flange portion having a boss portion having an external thread formed at a tip end thereof, and a support surface protruding from the boss portion in a radial direction and supporting the cutting blade,
A pressing flange portion having a mounting hole mounted on the boss portion and supporting the cutting blade mounted on the boss portion between the fixed flange portion;
A female screw coupled with the male screw of the boss portion is formed on an inner periphery, and a fixing nut for fixing the cutting blade through the pressing flange portion by fastening with the boss portion is provided,
The fixed flange portion,
A suction hole formed on the support surface for suction and fixation of the cutting blade,
A suction path communicating the suction hole and the suction source,
A valve formed in the suction path,
And a control unit for controlling suction by opening and closing the valve,
The control unit,
When removing the pressing flange portion, the valve is opened so that the cutting blade does not fall, and the cutting blade is sucked. 제1항에 있어서,
상기 플랜지 기구에 절삭 블레이드를 착탈하는 절삭 블레이드 교환 기구를 더 구비하고,
상기 절삭 블레이드 교환 기구는,
상기 고정 너트를 착탈하는 너트 착탈부와,
상기 절삭 블레이드를 착탈하는 블레이드 착탈부와,
상기 압박 플랜지부를 착탈하는 압박 플랜지 착탈부
를 갖는 것을 특징으로 하는 가공 장치. The method of claim 1,
Further comprising a cutting blade exchange mechanism for attaching and detaching the cutting blade to the flange mechanism,
The cutting blade exchange mechanism,
A nut attachment/detachment part for attaching and detaching the fixing nut,
A blade attachment/detachment part for attaching and detaching the cutting blade,
Compression flange attachment and detachment unit for attaching and detaching the compression flange unit
Processing apparatus, characterized in that it has a.
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