KR20200129111A - 이에프이엠 - Google Patents

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KR20200129111A
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겐고로 오구라
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신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Abstract

불활성 가스의 공급 유량을 변경했을 때의 순환로 내의 압력 변동을 억제하는 것. EFEM은, 순환로에 공급되는 상기 불활성 가스의 공급 유량을 변경 가능한 공급 밸브와, 순환로로부터 배출되는 가스의 배출 유량을 변경 가능한 배출 밸브와, 순환로 내의 분위기의 변화를 검출하는 농도 검출부와, 순환로 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 공급 밸브 및 상기 배출 밸브를 제어하는 제어부를 구비한다. 제어부는, 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여, 배출 밸브의 개방도를, 미리 정해진 값으로 결정한다.

Description

이에프이엠
본 발명은 불활성 가스를 순환시키는 것이 가능한 EFEM(Equipment Front End Module)에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 반도체 기판(웨이퍼)에 소정의 처리를 실시하는 처리 장치와, 웨이퍼가 수용되는 포드의 사이에서 웨이퍼의 전달을 행하는 EFEM이 개시되어 있다. EFEM은, 웨이퍼의 반송이 행하여지는 전달 존(반송실)이 형성된 하우징을 구비한다.
종래, 웨이퍼 상에서 제조되는 반도체 회로에 대한 반송실 내의 산소나 수분 등의 영향은 적었지만, 근년, 반도체 회로의 한층 더한 미세화에 수반하여, 그것들의 영향이 현재화되고 있다. 그래서, 특허문헌 1에 기재된 EFEM은, 불활성 가스인 질소로 반송실 내가 채워지도록 구성되어 있다. 구체적으로는, EFEM은, 하우징의 내부에서 질소를 순환시키는, 반송실을 포함하는 순환로와, 공급원으로부터 순환로에 공급되는 질소의 공급 유량을 조절하는 유량 제어기와, 순환로로부터 가스를 배출하기 위한 릴리스 밸브를 구비한다. 이에 의해, 질소를 순환시키면서, 필요에 따라 질소의 공급 유량 및 가스의 배출 유량을 조절함으로써, 질소의 공급 유량의 증대를 억제하면서, 순환로 내를 질소 분위기로 유지하는 것이 가능하게 된다.
또한, 상기 EFEM은, 순환로 내의 산소 농도를 측정하는 산소 농도계와, 순환로 내의 압력을 측정하는 압력계와, 제어부를 구비한다. 제어부는, 순환로 내의 산소 농도가 소정값을 초과하면, 유로 제어기를 제어해서 질소의 공급 유량을 증가시켜, 순환로 내의 산소 농도를 낮춘다.
일본 특허 공개 제2017-5283호 공보
질소를 순환시키는 타입의 EFEM에서는, 순환로로부터 외부에의 질소의 누출을 억제하면서, 외부로부터 순환로에의 대기의 침입을 확실하게 억제하기 위해서, 순환로 내의 압력을 외부의 압력보다도 약간 높게 유지할 필요가 있다(예를 들어, 3 내지 500Pa(G), 바람직하게는 5 내지 100Pa(G)). 이 때문에, 제어부는, 순환로 내의 압력이 소정의 범위로부터 벗어나면, 릴리스 밸브의 개방도를 변경함으로써 질소의 배출 유량을 변경하여, 압력이 소정의 목표 압력으로 되도록 조절한다. 이와 같이, 산소 농도에 기초하여 질소의 공급 유량이 조절되고, 압력에 기초하여 질소의 배출 유량이 조절됨으로써, 산소 농도 및 압력이 제어된다.
어떠한 원인에 의해 순환로 내의 산소 농도가 증가한 경우에는, 웨이퍼에의 산소의 영향을 억제하기 위해서, 질소의 공급에 의한 산소 농도의 신속한 저감을 행할 필요가 있어, 질소의 공급 유량이 일시적으로 증가하게 된다. 여기서, 특허문헌 1에 기재된 EFEM에서는, 예를 들어 순환로의 용량이 크면, 질소의 공급 유량이 변경되고 나서, 순환로 내의 압력의 변화가 압력계에 의해 검출될 때까지 시간이 걸릴 우려가 있다. 이 때문에, 공급 유량의 변경에 대한 배출 유량의 변경 타이밍이 지연되어(즉, 압력 제어 타이밍이 지연되어), 순환로 내의 압력의 변동이 커질 우려가 있다. 이에 의해, 순환로 내의 압력이 외부 공간의 압력보다도 너무 높아져서, 순환로부터 외부 공간으로 질소가 누설되기 쉬워진다는 문제나, 순환로 내의 압력이 외부 공간의 압력보다도 너무 낮아져서, 외부 공간으로부터 순환로에 대기가 유입되기 쉬워진다는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은, 불활성 가스의 공급 유량을 변경했을 때의 순환로 내의 압력 변동을 억제하는 것이다.
제1 발명의 EFEM은, 불활성 가스를 순환시키기 위한 순환로가 형성된 EFEM이며, 상기 순환로에 공급되는 상기 불활성 가스의 공급 유량을 변경 가능한 공급 밸브와, 상기 순환로로부터 배출되는 가스의 배출 유량을 변경 가능한 배출 밸브와, 상기 순환로 내의 분위기 변화를 검출하는 농도 검출부와, 상기 순환로 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와, 상기 공급 밸브 및 상기 배출 밸브를 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여, 상기 배출 밸브의 개방도를, 미리 정해진 값으로 결정하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에서는, 분위기의 변화에 따라, 배출 밸브의 개방도가, 미리 정해진 값으로 결정된다. 이에 의해, 배출 밸브의 개방도 변경을 공급 밸브의 개방도 변경과 동시에 행할 수 있다. 즉, 공급 유량을 증가시키는 타이밍에 맞춰서 배출 유량을 증가시키고, 공급 유량을 저감시키는 타이밍에 맞춰서 배출 유량을 저감시킴으로써, 순환로 내의 압력 변화를 기다려서 배출 유량을 변경하는 경우에 비하여, 순환로 내의 압력 변동을 작게 할 수 있다. 따라서, 불활성 가스의 공급 유량을 변경했을 때의 순환로 내의 압력 변동을 억제할 수 있다.
제2 발명의 EFEM은, 상기 제1 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 순환로 내의 압력이 목표 압력으로 유지되도록, 상기 압력 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 배출 밸브의 개방도를 피드백 제어하는 피드백 모드와, 상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 배출 밸브의 개방도를 결정하는 피드 포워드 모드의 사이에서 제어 모드의 전환이 가능하고, 상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 공급 밸브의 개방도를 변경할 때, 상기 제어 모드를 상기 피드백 모드에서 상기 피드 포워드 모드로 전환하는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에서는, 피드백 모드와 피드 포워드 모드를 적절하게 전환함으로써, 통상 시에 순환로 내의 압력을 확실하게 안정적으로 제어하고 또한 불활성 가스의 공급 유량을 변경했을 때 순환로 내의 압력 변동을 효과적으로 억제할 수 있다.
제3 발명의 EFEM은, 상기 제2 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 제어 모드가 상기 피드백 모드에서 상기 피드 포워드 모드로 전환된 후, 소정 시간이 경과했을 때, 상기 제어 모드를 상기 피드 포워드 모드에서 상기 피드백 모드로 되돌리는 것을 특징으로 하는 것이다.
본 발명에서는, 제어 모드가 피드 포워드 모드로 전환되고 나서 소정 시간이 경과하여, 순환로를 구성하는 각 부의 가스 유량이 어느 정도 안정화된 후(순환로 내의 압력 분포가 어느 정도 균일화된 후)에, 제어 모드가 피드백 모드로 되돌려진다. 따라서, 불활성 가스의 공급 유량을 변경한 후의 압력의 피드백 제어를 안정시킬 수 있다.
제4 발명의 EFEM은, 상기 제2 또는 제3 발명에 있어서, 상기 제어부는, 상기 분위기의 변화에 따른 복수의 구분으로 구분되어, 상기 구분마다 상기 공급 밸브의 개방도 및 상기 배출 밸브의 개방도가 대응지어져 있는 테이블을 기억하고 있는 기억부를 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.
예를 들어, 산소 농도와 공급 밸브의 개방도가 대응지어져 있는 함수나, 산소 농도와 배출 밸브의 개방도가 대응지어져 있는 함수가 밸브의 개방도 제어에 사용되는 경우, 공급 유량이나 배출 유량을 최적화하기 위한 파라미터 조정이 번잡해질 우려가 있다. 본 발명에서는, 산소 농도의 구분마다 밸브의 개방도의 값을 설정할 수 있기 때문에, 공급 유량이나 배출 유량의 조정을 용이하게 행할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태에 따른 EFEM 및 그 주변의 개략적인 평면도이다.
도 2는 EFEM의 전기적 구성을 도시하는 도면이다.
도 3은 하우징의 정면도이다.
도 4는 도 3의 IV-IV 단면도이다.
도 5는 도 3의 V-V 단면도이다.
도 6은 순환로 내의 압력의 피드백 제어를 도시하는 도면이다.
도 7은 산소 농도와 질소 공급 유량과 배출 밸브의 개방도의 대응 테이블을 도시하는 도면이다.
도 8은 순환로 내의 산소 농도의 제어를 나타내는 흐름도이다.
도 9는 산소 농도, 질소 공급 유량, 및 배출 밸브의 개방도 각각의 시간 변화를 도시하는 도면이다.
이어서, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 9를 참조하면서 설명한다. 또한, 설명의 편의상, 도 1에 도시하는 방향을 전후 좌우 방향으로 한다. 즉, EFEM(Equipment Front End Module)(1)과 기판 처리 장치(6)가 배열되어 있는 방향을 전후 방향으로 한다. EFEM(1)측을 전방, 기판 처리 장치(6)측을 후방으로 한다. 전후 방향과 직교하는, 복수의 로드 포트(4)가 배열되어 있는 방향을 좌우 방향으로 한다. 또한, 전후 방향 및 좌우 방향의 양쪽과 직교하는 방향을 상하 방향으로 한다.
(EFEM 및 주변의 개략 구성)
먼저, EFEM(1) 및 그 주변의 개략 구성에 대해서, 도 1 및 도 2를 사용해서 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 따른 EFEM(1) 및 그 주변의 개략적인 평면도이다. 도 2는, EFEM(1)의 전기적 구성을 도시하는 도면이다. 도 1에 도시한 바와 같이, EFEM(1)은, 하우징(2)과, 반송 로봇(3)과, 복수의 로드 포트(4)와, 제어 장치(5)(본 발명의 제어부)를 구비한다. EFEM(1)의 후방에는, 웨이퍼(W)에 소정의 처리를 실시하는 기판 처리 장치(6)가 배치되어 있다. EFEM(1)은, 하우징(2) 내에 배치된 반송 로봇(3)에 의해, 로드 포트(4)에 적재되어 있는 FOUP(Front-Opening Unified Pod)(100)와 기판 처리 장치(6)의 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행한다. FOUP(100)는, 복수의 웨이퍼(W)를 상하 방향으로 배열해서 수용 가능한 용기이며, 후단부(전후 방향에서의 하우징(2)측의 단부)에 덮개(101)가 설치되어 있다. FOUP(100)는, 예를 들어 로드 포트(4)의 상방에 마련된 도시하지 않은 레일에 현수되어 주행하는, 도시하지 않은 OHT(천장 주행식 무인 반송차)에 의해 반송된다. OHT와 로드 포트(4)의 사이에서, FOUP(100)의 전달이 행하여진다.
하우징(2)은, 복수의 로드 포트(4)와 기판 처리 장치(6)를 접속하기 위한 것이다. 하우징(2)의 내부에는, 외부 공간에 대하여 대략 밀폐된, 웨이퍼(W)가 반송되는 반송실(41)이 형성되어 있다. EFEM(1)이 가동하고 있을 때, 반송실(41)은, 질소(본 발명의 불활성 가스)로 채워져 있다. 하우징(2)은, 반송실(41)을 포함하는 내부 공간을 질소가 순환하도록 구성되어 있다(상세에 대해서는 후술함). 또한, 하우징(2)의 후단부에는 도어(2a)가 설치되고, 반송실(41)은, 도어(2a)를 사이에 두고 기판 처리 장치(6)와 접속되어 있다.
반송 로봇(3)은, 반송실(41) 내에 배치되어, 웨이퍼(W)의 반송을 행한다. 반송 로봇(3)은, 위치가 고정된 기대부(3a)(도 3 참조)와, 기대부(3a)의 상방에 배치되어, 웨이퍼(W)를 보유 지지해서 반송하는 암 기구(3b)(도 3 참조)와, 로봇 제어부(11)(도 2 참조)를 갖는다. 반송 로봇(3)은 주로, FOUP(100) 내의 웨이퍼(W)를 취출해서 기판 처리 장치(6)에 전달하는 동작이나, 기판 처리 장치(6)에 의해 처리된 웨이퍼(W)를 수취해서 FOUP(100)로 되돌리는 동작을 행한다.
로드 포트(4)는, FOUP(100)를 적재하기(도 5 참조) 위한 것이다. 복수의 로드 포트(4)는, 각각의 후단부가 하우징(2)의 전방측의 격벽을 따르도록, 좌우 방향으로 나란히 배치되어 있다. 로드 포트(4)는, FOUP(100) 내의 분위기를 질소 등의 불활성 가스로 치환 가능하게 구성되어 있다. 로드 포트(4)의 후단부에는, 도어(4a)가 마련되어 있다. 도어(4a)는, 도시하지 않은 도어 개폐 기구에 의해 개폐된다. 도어(4a)는, FOUP(100)의 덮개(101)의 로크를 해제 가능하면서 또한 덮개(101)를 유지 가능하게 구성되어 있다. 로크가 해제된 덮개(101)를 도어(4a)가 보유 지지하고 있는 상태에서, 도어 이동 기구가 도어(4a)를 개방함으로써, 덮개(101)가 열린다. 이에 의해, FOUP(100) 내의 웨이퍼(W)가 반송 로봇(3)에 의해 취출 가능해진다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제어 장치(5)는, 각종 파라미터의 설정 등을 행하기 위한 설정부(5a)와, 설정된 파라미터 등을 기억하는 기억부(5b)를 갖는다(상세에 대해서는 후술함). 제어 장치(5)는, 반송 로봇(3)의 로봇 제어부(11), 로드 포트(4)의 제어부(도시하지 않음), 기판 처리 장치(6)의 제어부(도시하지 않음)와 전기적으로 접속되어 있어, 이들의 제어부와의 통신을 행한다. 제어 장치(5)는, 하우징(2) 내에 설치된 산소 농도계(55)(본 발명의 농도 검출부), 압력계(56)(본 발명의 압력 검출부), 습도계(57) 등과 전기적으로 접속되어 있어, 이들 계측 기기의 계측 결과를 수신하여, 하우징(2) 내의 분위기에 관한 정보를 파악한다. 제어 장치(5)는, 공급 밸브(61) 및 배출 밸브(62)(후술)와 전기적으로 접속되어 있어, 이들 밸브의 개방도를 조절함으로써, 하우징(2) 내의 분위기를 적절히 조절한다.
도 1에 도시한 바와 같이, 기판 처리 장치(6)는, 예를 들어 로드 로크실(6a)과, 처리실(6b)을 갖는다. 로드 로크실(6a)은, 하우징(2)의 도어(2a)를 사이에 두고 반송실(41)과 접속된, 웨이퍼(W)를 일시적으로 대기시키기 위한 방이다. 처리실(6b)은, 도어(6c)를 사이에 두고 로드 로크실(6a)과 접속되어 있다. 처리실(6b)에서는, 도시하지 않은 처리 기구에 의해, 웨이퍼(W)에 대하여 소정의 처리가 실시된다.
(하우징 및 그 내부의 구성)
이어서, 하우징(2) 및 그 내부의 구성에 대해서, 도 3 내지 도 5를 사용해서 설명한다. 도 3은, 하우징(2)의 정면도이다. 도 4는, 도 3의 IV-IV 단면도이다. 도 5는, 도 3의 V-V 단면도이다. 또한, 도 3에서는, 격벽의 도시를 생략하고 있다. 또한, 도 5에서는, 반송 로봇(3) 등의 도시를 생략하고 있다.
하우징(2)은, 전체적으로 직육면체 형상이다. 도 3 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2)은, 기둥(21 내지 26)과, 격벽(31 내지 36)을 갖는다. 상하 방향으로 연장되는 기둥(21 내지 26)에 격벽(31 내지 36)이 설치되어 있어, 하우징(2)의 내부 공간이 외부 공간에 대하여 대략 밀폐되어 있다.
보다 구체적으로는, 도 4에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 전단부에 있어서, 기둥(21 내지 24)이 좌측 방향으로부터 우측 방향에 걸쳐서 순번대로 나란히 세워 설치되어 배치되어 있다. 기둥(21)과 기둥(24)의 사이에 배치된 기둥(22, 23)은, 기둥(21) 및 기둥(24)보다도 짧다. 하우징(2)의 후단부의 좌우 양측에, 기둥(25, 26)이 세워 설치되어 배치되어 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 저부에 격벽(31)이, 천장부에 격벽(32)이 배치되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 전단부에 격벽(33)이, 후단부에 격벽(34)이, 좌측 단부에 격벽(35)이, 우측 단부에 격벽(36)이 각각 배치되어 있다. 하우징(2)의 우측 단부에는, 후술하는 얼라이너(54)가 적재되는 적재부(53)(도 3 참조)가 마련되어 있다. 얼라이너(54) 및 적재부(53)도, 하우징(2)의 내측에 수용되어 있다(도 4 참조).
도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2) 내의 상측 부분(기둥(22, 23)의 상방)에는, 수평 방향으로 연장되는 지지판(37)이 배치되어 있다. 이에 의해, 하우징(2)의 내부는, 하측에 형성된 상술한 반송실(41)과, 상측에 형성된 FFU 설치실(42)로 나뉘어져 있다. FFU 설치실(42) 내에는, 후술하는 FFU(팬 필터 유닛)(44)가 배치되어 있다. 지지판(37)의 전후 방향에서의 중앙부에는, 반송실(41)과 FFU 설치실(42)을 연통시키는 개구(37a)가 형성되어 있다. 또한, 하우징(2)의 격벽(33 내지 36)은, 반송실(41)용 하부 벽과 FFU 설치실(42)용 상부 벽으로 나뉘어져 있다(예를 들어, 도 5에서의 전단부의 격벽(33a, 33b) 및 후단부의 격벽(34a, 34b)을 참조).
이어서, 하우징(2)의 내부 구성에 대해서 설명한다. 구체적으로는, 하우징(2) 내에서 질소를 순환시키기 위한 구성 및 그 주변 구성, 그리고, 반송실(41) 내에 배치된 기기 등에 대해서 설명한다.
하우징(2) 내에서 질소를 순환시키기 위한 구성 및 그 주변 구성에 대해서, 도 3 내지 도 5를 사용해서 설명한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 하우징(2)의 내부에는, 질소를 순환시키기 위한 순환로(40)가 형성되어 있다. 순환로(40)는, 반송실(41)과, FFU 설치실(42)과, 귀환로(43)에 의해 구성되어 있다. 개요로서는, 순환로(40)에서는, FFU 설치실(42)로부터 청정한 질소가 하방으로 송출되어, 반송실(41)의 하단부까지 도달한 후, 귀환로(43)를 통해서 상승하여, FFU 설치실(42)로 되돌아가도록 되어 있다(도 5의 화살표 참조). 이하, 상세하게 설명한다.
FFU 설치실(42)에는, 지지판(37) 상에 배치된 FFU(44)와, FFU(44) 상에 배치된 케미컬 필터(45)가 마련되어 있다. FFU(44)는, 팬(44a)과 필터(44b)를 갖는다. FFU(44)는, 팬(44a)에 의해 FFU 설치실(42) 내의 질소를 하방으로 송출하면서, 질소에 포함되는 파티클(도시하지 않음)을 필터(44b)에 의해 제거한다. 케미컬 필터(45)는, 예를 들어 기판 처리 장치(6)로부터 순환로(40) 내에 도입된 활성 가스 등을 제거하기 위한 것이다. FFU(44) 및 케미컬 필터(45)에 의해 청정화된 질소는, FFU 설치실(42)로부터, 지지판(37)에 형성된 개구(37a)를 통해서 반송실(41)에 송출된다. 반송실(41)에 송출된 질소는, 층류를 형성하여, 하방으로 흐른다.
귀환로(43)는, 하우징(2)의 전단부에 배치된 기둥(21 내지 24)(도 5에서는 기둥(23)) 및 지지판(37)에 형성되어 있다. 즉, 기둥(21 내지 24)은, 중공으로 되어 있고, 질소가 통과할 수 있는 공간(21a 내지 24a)이 각각 형성되어 있다(도 4 참조). 즉, 공간(21a 내지 24a)이, 각각 귀환로(43)를 구성하고 있다. 귀환로(43)는, 지지판(37)의 전단부에 형성된 개구(37b)에 의해 FFU 설치실(42)과 연통하고 있다(도 5 참조).
귀환로(43)에 대해서, 도 5를 참조하면서 보다 구체적으로 설명한다. 또한, 도 5에는 기둥(23)이 도시되어 있지만, 다른 기둥(21, 22, 24)에 대해서도 마찬가지이다. 기둥(23)의 하단부에는, 반송실(41) 내의 질소를 귀환로(43)(공간(23a))에 유입시키기 쉽게 하기 위한 도입 덕트(27)가 설치되어 있다. 도입 덕트(27)에는 개구(27a)가 형성되어, 반송실(41)의 하단부에 도달한 질소가 귀환로(43)에 유입 가능하게 되어 있다. 도입 덕트(27)의 상부에는, 하방을 향할수록 후방으로 확대되는 확대부(27b)가 형성되어 있다. 확대부(27b)의 하방에는, 팬(46)이 배치되어 있다. 팬(46)은 도시하지 않은 모터에 의해 구동되어, 반송실(41)의 하단부에 도달한 질소를 귀환로(43)(도 5에서는 공간(23a))에 흡입해서 상방으로 송출하여, 질소를 FFU 설치실(42)로 되돌린다. FFU 설치실(42)로 되돌려진 질소는, FFU(44)나 케미컬 필터(45)에 의해 청정화되어, 다시 반송실(41)에 송출된다. 이상과 같이 하여, 질소가 순환로(40) 내를 순환 가능하게 되어 있다.
또한, 도 3에 도시한 바와 같이, FFU 설치실(42)의 측부에는, 순환로(40) 내에 질소를 공급하기 위한 공급관(47)이 접속되어 있다. 공급관(47)은, 질소의 공급원(111)에 접속되어 있다. 공급관(47)의 도중부에는, 질소의 단위 시간당 공급량을 변경 가능한 공급 밸브(61)가 마련되어 있다. 또한, 도 5에 도시한 바와 같이, 반송실(41)의 전단부에는, 순환로(40) 내의 기체를 배출하기 위한 배출관(48)이 접속되어 있다. 배출관(48)은, 예를 들어 도시하지 않은 배기 포트에 연결되어 있다. 배출관(48)의 도중부에는, 순환로(40) 내의 기체의 단위 시간당 배출량을 변경 가능한 배출 밸브(62)가 마련되어 있다. 공급 밸브(61) 및 배출 밸브(62)는, 제어 장치(5)와 전기적으로 접속되어 있다(도 2 참조). 이에 의해, 순환로(40)에 질소를 적절히 공급 및 배출하는 것이 가능하게 되어 있다. 예를 들어, 순환로(40) 내의 산소 농도가 상승한 경우에, 공급원(111)으로부터 공급관(47)을 통해서 순환로(40)에 질소를 일시적으로 많이 공급하여, 배출관(48)을 통해서 질소와 함께 산소를 배출함으로써, 산소 농도를 낮출 수 있다. 상세에 대해서는 후술한다.
이어서, 반송실(41) 내에 배치된 기기 등에 대해서, 도 3 및 도 4를 사용해서 설명한다. 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 반송실(41) 내에는, 상술한 반송 로봇(3)과, 제어부 수용 상자(51)와, 계측 기기 수용 상자(52)와, 얼라이너(54)가 배치되어 있다. 제어부 수용 상자(51)는, 예를 들어 반송 로봇(3)의 기대부(3a)(도 3 참조)의 좌측 방향에 설치되어, 암 기구(3b)(도 3 참조)와 간섭하지 않도록 배치되어 있다. 제어부 수용 상자(51)에는, 상술한 로봇 제어부(11)가 수용되어 있다. 계측 기기 수용 상자(52)는, 예를 들어 기대부(3a)의 우측 방향에 설치되어, 암 기구(3b)와 간섭하지 않도록 배치되어 있다. 계측 기기 수용 상자(52)에는, 상술한 산소 농도계(55), 압력계(56), 습도계(57) 등의 계측 기기(도 2 참조)가 수용 가능하게 되어 있다.
얼라이너(54)는, 반송 로봇(3)의 암 기구(3b)(도 3 참조)에 보유 지지되어 있는 웨이퍼(W)의 보유 지지 위치가, 목표 보유 지지 위치로부터 얼마나 어긋나 있는지 검출하기 위한 것이다. 예를 들어, 상술한 OHT(도시하지 않음)에 의해 반송되는 FOUP(100)(도 1 참조)의 내부에서는, 웨이퍼(W)가 미묘하게 움직일 우려가 있다. 그래서, 반송 로봇(3)은, FOUP(100)로부터 취출한 처리 전의 웨이퍼(W)를, 일단 얼라이너(54)에 적재한다. 얼라이너(54)는, 웨이퍼(W)가 반송 로봇(3)에 의해 목표 보유 지지 위치로부터 얼마나 어긋난 위치에서 보유 지지되어 있었는지 계측하고, 계측 결과를 로봇 제어부(11)에 송신한다. 로봇 제어부(11)는, 상기 계측 결과에 기초하여, 암 기구(3b)에 의한 보유 지지 위치를 보정하고, 암 기구(3b)를 제어해서 목표 보유 지지 위치에서 웨이퍼(W)를 보유 지지시켜, 기판 처리 장치(6)의 로드 로크실(6a)까지 반송시킨다. 이에 의해, 기판 처리 장치(6)에 의한 웨이퍼(W)의 처리를 정상적으로 행할 수 있다.
(압력의 제어에 대해서)
이어서, 제어 장치(5)에 의한 순환로(40) 내의 압력의 피드백 제어에 대해서, 도 6을 사용해서 간단하게 설명한다. 도 6의 (a)는 순환로(40) 내의 압력의 시간 변화를 도시하는 도면이다. 도 6의 (b)는 배출 밸브(62)의 개방도의 시간 변화를 도시하는 도면이다.
제어 장치(5)는, 순환로(40) 내의 압력이 목표 압력으로 유지되도록, 압력계(56)(도 2 참조)의 검출 결과에 기초하여 배출 밸브(62)의 개방도를 피드백 제어 가능하게 구성되어 있다. 목표 압력이란, 예를 들어 하우징(2)의 외부의 압력(대기압)보다도 10Pa 높은 압력(10Pa(G))이다. 즉, 순환로(40)로부터 외부에의 질소의 누출을 억제하면서, 외부로부터 순환로(40)에의 대기의 침입을 확실하게 억제하기 위해서, 순환로(40) 내의 압력을 외부의 압력보다도 약간 높게 유지하는 것이 바람직하다. 일례로서는, 3 내지 500Pa(G)의 범위 내이며, 바람직하게는 5 내지 100Pa(G)의 범위 내이다.
예를 들어, 도 6의 (a)에 도시하는 바와 같이, 순환로(40) 내의 압력이 10Pa)(G)보다도 높아지면, 제어 장치(5)는, 도 6의 (b)에 도시하는 바와 같이, 배출 밸브(62)의 개방도를 크게 해서 순환로(40)의 가스의 배출 유량을 증가시켜, 순환로(40) 내의 압력을 10Pa(G)에 접근시킨다. 반대로, 순환로(40) 내의 압력이 10Pa(G)보다도 낮아지면, 제어 장치(5)는, 배출 밸브(62)의 개방도를 작게 해서 순환로(40)의 가스의 배출 유량을 감소시킨다. 구체적인 제어 방식으로서는, 일반적으로 알려져 있는 PID 제어(비례 제어, 적분 제어 및 미분 제어를 행하는 제어)가 바람직하지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
(산소 농도의 제어에 대해서)
이어서, 순환로(40) 내의 산소 농도의 제어에 대해서 간단하게 설명한다. 어떠한 원인에 의해 순환로(40) 내의 산소 농도가 증가한 경우에는, 웨이퍼(W)에의 산소의 영향을 억제하기 위해서, 산소 농도를 신속하게 저감할 것이 요구된다. 예를 들어, 순환로(40) 내의 산소 농도는, 100ppm 미만으로 관리되고, 바람직하게는 70ppm 미만, 보다 바람직하게는 30ppm 미만으로 관리된다. 제어 장치(5)는, 산소 농도계(55)의 검출 결과에 기초하여, 순환로(40) 내의 산소 농도가 증가했다고 판단한 경우에, 공급 밸브(61)를 제어해서 공급 밸브(61)의 개방도를 높여서, 질소의 공급 유량을 증가시킨다. 이에 의해, 순환로(40) 내의 가스의 교체를 적극적으로 행함으로써, 순환로(40) 내의 산소 농도가 내려간다. 반대로, 산소 농도가 어느 정도까지 저감되면, 제어 장치(5)는, 공급 밸브(61)를 제어해서 질소의 공급 유량을 저감시킨다. 이에 의해, 러닝 코스트의 증대가 억제된다.
여기서, 제어 장치(5)가, 공급 밸브(61)를 제어해서 질소의 공급 유량을 변경한 후, 순환로(40) 내의 압력 변화를 기다려서 배출 밸브(62)의 개방도를 변경하는 구성(즉, 배출 밸브(62)의 개방도의 피드백 제어를 행하는 구성)에서는, 이하와 같은 문제가 생길 수 있다. 즉, 질소의 공급 유량이 변경되고 나서, 순환로(40) 내의 압력 변화가 압력계(56)에 의해 검출될 때까지 시간이 걸릴 우려가 있다. 이 때문에, 공급 유량의 변경에 대한 배출 유량의 변경 타이밍이 지연되어(즉, 압력 제어의 타이밍이 지연되어), 순환로(40) 내의 압력 변동이 커질 우려가 있다. 이에 의해, 순환로(40) 내의 압력이 외부의 압력보다도 너무 높아져서, 순환로(40)로부터 외부에 질소가 누설되기 쉬워진다는 문제나, 순환로(40) 내의 압력이 외부의 압력보다도 너무 낮아져서, 외부로부터 순환로(40)에 대기가 유입되기 쉬워진다는 문제가 발생할 수 있다. 국소적인 부압이 발생한 경우에도 대기가 유입되어, 산소 농도의 상승 우려가 있다. 그래서, 본 실시 형태에서의 제어 장치(5)는, 순환로(40) 내의 압력 변동을 억제하기 위해서, 이하와 같은 구성을 갖는다.
(제어 장치의 상세에 대해서)
제어 장치(5)의 상세에 대해서 설명한다. 먼저, 제어 장치(5)는, 배출 밸브(62)의 제어 모드를 2개의 모드의 사이에서 전환 가능하게 구성되어 있다. 첫번째 제어 모드는, 상술한 바와 같이, 압력계(56)의 검출 결과에 기초하여 배출 밸브(62)의 개방도를 피드백 제어하는 피드백 모드이다. 두번째 제어 모드는, 산소 농도계(55)의 검출 결과에 기초하여, 공급 밸브(61)의 개방도 변경과 아울러 배출 밸브(62)의 개방도 변경을 행하는(즉, 피드 포워드 제어를 행하는) 피드 포워드 모드이다.
피드 포워드 제어에 사용되는 정보에 대해서, 도 7을 사용해서 설명한다. 상술한 바와 같이, 제어 장치(5)는 기억부(5b)(도 2 참조)를 갖는다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 기억부(5b)에는, 순환로(40) 내의 산소 농도와 순환로(40)에의 질소 공급 유량과 배출 밸브(62)의 개방도가 대응지어진 대응 테이블이 미리 기억되어 있다. 대응 테이블은, 산소 농도의 범위에 따라서(바꾸어 말하면, 순환로(40) 내의 분위기 변화에 따라서) 복수의 구분으로 구분되어 있다. 본 실시 형태에서는, 5개의 구분(도 7의 지면 상방으로부터 순서대로 200ppm 이상, 100 내지 199ppm, 70 내지 99ppm, 30 내지 69ppm, 29ppm 이하)으로 나뉘어져 있다. 이들 구분마다, 질소 공급 유량(공급 밸브(61)의 개방도에 따라서 바뀜) 및 배출 밸브(62)의 개방도가 대응지어져 있다. 대응 테이블은, 미리 기억부(5b)에 기억되어 있지만, 설정부(5a)(도 2 참조)를 조작함으로써 수치를 변경하는 것도 가능하다. 제어 장치(5)는, 제어 모드가 피드 포워드 모드일 때, 대응 테이블을 참조하여 질소 공급 유량 및 배출 밸브(62)의 개방도를 결정한다. 이에 의해, 순환로(40) 내의 산소 농도가 변동했을 때, 공급 밸브(61)의 개방도 변경과 배출 밸브(62)의 개방도 변경을 동시에 행하는 것이 가능하게 되어 있다.
(산소 농도의 제어의 상세)
이어서, 제어 장치(5)에 의한 산소 농도의 제어의 상세에 대해서, 도 7 내지 도 9를 사용해서 설명한다. 도 8은, 순환로(40) 내의 산소 농도의 제어를 나타내는 흐름도이다. 도 9의 (a)는 순환로(40) 내의 산소 농도의 시간 변화를 도시하는 도면이다. 도 9의 (b)는 순환로(40)에의 질소 공급 유량의 시간 변화를 도시하는 도면이다. 도 9의 (c)는 배출 밸브(62)의 개방도의 시간 변화를 도시하는 도면이다. 도 9의 (d)는 종래의 방식(피드백 제어만을 행한 경우)에 있어서의 배출 밸브(62)의 개방도의 시간 변화를 도시하는 도면이다. 도 9의 (a) 내지 (d)의 횡축은, 모두 시각을 나타낸다.
초기 상태로서, 예를 들어 산소 농도가 70 내지 99ppm의 범위(도 7에 도시하는 대응 테이블에서의 중앙의 구분)에 수렴되어 있고, 질소 공급 유량은 200LPM(리터 매분)으로 되어 있다. 또한, 배출 밸브(62)의 제어 모드는 피드백 모드이며, 배출 밸브(62)의 개방도는 50％ 전후로 미세 조정되어 있다.
도 8에 도시하는 바와 같이, 먼저, 제어 장치(5)는, 산소 농도계(55)의 검출 결과를 수신하여(S101), 대응 테이블을 참조한다(S102). 제어 장치(5)는, 산소 농도계(55)의 검출 결과 및 대응 테이블에 기초하여, 순환로(40) 내의 산소 농도의 구분이 바뀌었는지 여부(구체예로서, 산소 농도가 70 내지 99ppm의 범위로부터 벗어났는지 여부)를 판단한다(S103). 산소 농도의 구분이 바뀌지 않았으면(바꾸어 말하면, 순환로(40) 내의 분위기의 변화가 작으면), 스텝 S101로 돌아간다. 산소 농도의 구분이 바뀌어, 예를 들어 도 9의 (a)에 도시하는 바와 같이, 시각 t1에서 산소 농도가 100ppm 이상으로 되었을 경우, 제어 장치(5)는, 공급 밸브(61)의 개방도를 변경함으로써 질소 공급 유량을 변경한다. 구체적으로는, 산소 농도 100 내지 199ppm의 구분(도 7에서의 지면 상방으로부터 2번째의 구분)에 대응지어진 값(300LPM)으로 질소 공급 유량을 변경한다. 그와 함께, 제어 장치(5)는, 배출 밸브(62)의 제어 모드를 피드백 모드에서 피드 포워드 모드로 전환한다. 그리고, 배출 밸브(62)의 개방도를, 미리 정해진 값(여기서는, 산소 농도 100 내지 199ppm의 구분에 대응지어진 값(70％))으로 결정하고, 배출 밸브(62)의 개방도를 변경한다(S104). 이에 의해, 순환로(40) 내의 질소의 공급 유량과 순환로(40)로부터의 가스의 배출 유량이 동시에 변경된다.
제어 장치(5)는, 스텝 S104 후, 소정 시간(T)(도 9의 (c) 참조)이 경과할 때까지, 배출 밸브(62)의 제어 모드를 피드 포워드 모드로 유지한다(S105). 소정 시간(T)이란, 공급 유량 및 배출 유량이 변경되고 나서, 순환로(40)를 구성하는 각 부(반송실(41), 귀환로(43), FFU실(42) 등)의 가스 유량이 어느 정도 안정화될 때까지의 시간(순환로(40) 내의 압력 분포가 어느 정도 균일화될 때까지의 시간)이다. 소정 시간(T)의 길이는, 예를 들어 3 내지 5초가 바람직하다. 소정 시간(T)은, 장치의 유로(순환로(40) 등)의 형상이나 용적에 의한 컨덕턴스에 기초하여 결정해도 되고, 시뮬레이션 소프트웨어를 사용해서 유체 해석을 행하여 결정해도 된다. 제어 장치(5)는, 소정 시간(T)이 경과했을 때, 배출 밸브(62)의 제어 모드를 피드 포워드 모드에서 피드백 모드로 되돌린다(S106). 이에 의해, 배출 밸브(62)의 피드백 제어가 재개된다.
상술한 일련의 제어의 구체예에 대해서, 도 9를 사용해서 설명한다. 시각 t1에서, 산소 농도가 100ppm 이상으로 되었을 때(도 9의 (a) 참조), 제어 장치(5)는, 대응 테이블에 기초하여, 질소 공급 유량을 200LPM에서 300LPM으로 변경한다(도 9의 (b) 참조). 그와 함께, 제어 장치(5)는, 제어 모드를 피드 포워드 모드로 전환하고, 배출 밸브(62)의 개방도를 70％로 변경하여, 소정 시간(T)이 경과할 때까지 배출 밸브(62)의 개방도를 70％로 유지한다(도 9의 (c) 참조). 제어 모드가 피드 포워드 모드로 전환되고 나서 소정 시간(T)이 경과했을 때, 제어 장치(5)는 제어 모드를 피드백 모드로 되돌린다.
또한, 시각 t2에서, 산소 농도가 100ppm 미만으로 내려갔을 때(도 9의 (a) 참조), 제어 장치(5)는, 질소 공급 유량을 300LPM에서 200LPM으로 되돌린다(도 9의 (b) 참조). 동시에, 제어 장치(5)는, 배출 밸브(62)의 제어 모드를 피드 포워드 모드로 전환하고, 배출 밸브(62)의 개방도를 50％로 변경한다(도 9의 (c) 참조). 제어 모드가 전환되고 나서 소정 시간(T)이 경과했을 때, 제어 장치(5)는, 제어 모드를 피드백 모드로 되돌린다. 이상과 같은 제어가, 제어 장치(5)에 의해 반복해서 행하여진다.
여기서, 도 9의 (c), (d)를 사용하여, 본 실시 형태에서의 배출 밸브(62)의 개방도의 시간 변화와, 종래의 방식(배출 밸브(62)에 대하여 피드백 제어만을 행하는 방식)에서의 배출 밸브(62)의 개방도의 시간 변화를 비교한다. 종래의 방식에서는, 예를 들어 시각 t1에서 질소 공급 유량이 변경되었을 때, 배출 밸브(62)의 개방도는, 압력계(56)에 의해 압력의 변화가 검출될 때까지는 크게 변하지 않고, 압력의 변화가 검출되고 나서 급격하게 변동한다(도 9의 (d) 참조). 이에 의해, 순환로(40) 내의 압력의 변동이 커진다는 문제가 생길 수 있다. 한편, 본 실시 형태에서는, 공급 밸브(61)의 개방도의 변경과 아울러 배출 밸브(62)의 개방도 변경을 행하는 피드 포워드 제어가 행하여진다(도 9의 (c) 참조). 이에 의해, 순환로(40) 내의 압력 변화의 검출을 기다려서 배출 유량을 변경하는 경우에 비하여, 배출 밸브(62)의 개방도의 변동이 억제되어, 순환로(40) 내의 압력의 변동이 억제된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 제어 장치(5)가 배출 밸브(62)를 제어하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제어 장치(5)와 배출 밸브(62)의 사이에, 배출 밸브(62)를 제어하는 배출 제어부(도시하지 않음)가 전기적으로 개재되어 있어도 된다. 이와 같은 구성에 있어서, 배출 제어부는, 통상 시는 배출 밸브(62)의 개방도를 피드백 제어하고, 제어 장치(5)로부터의 지시에 의해 피드 포워드 제어를 행해도 된다. 즉, 배출 제어부가, 피드백 모드와 피드 포워드 모드의 사이에서 제어 모드를 전환 가능해도 된다. 또한, 제어 장치(5)가, 산소 농도계(55)의 검출 결과에 기초하여, 제어 모드의 전환을 지시하는 신호를 배출 제어부에 송신해도 된다. 이 구성에서는, 제어 장치(5) 및 배출 제어부가, 연동함으로써 본 발명의 제어부로서 기능한다.
이상과 같이, 순환로(40) 내의 분위기의 변화에 따라, 배출 밸브(62)의 개방도가, 미리 정해진 값으로 결정된다. 이에 의해, 배출 밸브(62)의 개방도 변경을 공급 밸브(61)의 개방도 변경과 동시에 행할 수 있다. 즉, 공급 유량을 증가시키는 타이밍에 맞춰서 배출 유량을 증가시키고, 공급 유량을 저감시키는 타이밍에 맞춰서 배출 유량을 저감시킴으로써, 순환로(40) 내의 압력 변화를 기다려서 배출 유량을 변경하는 경우에 비하여, 순환로(40) 내의 압력 변동을 작게 할 수 있다. 따라서, 불활성 가스의 공급 유량을 변경했을 때의 순환로(40) 내의 압력 변동을 억제할 수 있다.
또한, 피드백 모드와 피드 포워드 모드를 적절하게 전환함으로써, 통상 시에 순환로(40) 내의 압력을 확실하게 안정적으로 제어하고 또한 질소의 공급 유량을 변경했을 때 순환로(40) 내의 압력 변동을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 제어 모드가 피드 포워드 모드로 전환되고 나서 소정 시간(T)이 경과하여, 순환로(40)를 구성하는 각 부(반송실(41), 귀환로(43), FFU실(42) 등)의 가스 유량이 어느 정도 안정화된 후에, 제어 모드가 피드백 모드로 되돌려진다. 따라서, 질소의 공급 유량을 변경한 후의 압력의 피드백 제어를 안정시킬 수 있다.
또한, 기억부(5b)에 대응 테이블이 기억되어 있어, 산소 농도의 구분마다 공급 밸브(61) 및 배출 밸브(62)의 개방도의 값을 설정할 수 있기 때문에, 공급 유량이나 배출 유량의 조정을 용이하게 행할 수 있다.
이어서, 상기 실시 형태에 변경을 가한 변형예에 대해서 설명한다. 단, 상기 실시 형태와 마찬가지의 구성을 갖는 것에 대해서는, 동일한 부호를 부여해서 적절히 그 설명을 생략한다.
(1) 상기 실시 형태에 있어서, 제어 장치(5)는, 공급 밸브(61)의 개방도의 변경과 동시에 배출 밸브(62)의 개방도를 변경하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 공급 밸브(61)의 개방도 변경과 배출 밸브(62)의 개방도 변경의 타이밍은, 본 발명의 효과가 얻어지는 범위에서 어긋나 있어도 된다.
(2) 상기까지의 실시 형태에 있어서, 제어 모드가 피드 포워드 모드로 전환되고 나서 소정 시간(T)이 경과한 후에, 제어 모드가 피드백 모드로 되돌려지는 것으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 즉, 제어 장치(5)는, 제어 모드를 피드 포워드 모드로 전환하여 공급 밸브(61) 및 배출 밸브(62)의 개방도를 변경하고 나서, 제어 모드를 즉시 피드백 모드로 되돌려도 된다.
(3) 상기까지의 실시 형태에서는, 기억부(5b)에 기억되어 있는 대응 테이블의 구분의 수가 5개인 것으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 구분의 수는, 복수이면 몇개든지 상관없다. 혹은, 대응 테이블 대신에, 예를 들어 산소 농도와 공급 밸브(61)의 개방도가 대응지어진 함수, 및 산소 농도와 배출 밸브(62)의 개방도가 대응지어진 함수가, 기억부(5b)에 기억되어 있어도 된다.
(4) 상기까지의 실시 형태에서는, 불활성 가스로서 질소를 사용하는 것으로 했지만, 이것에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 불활성 가스로서 아르곤 등을 사용해도 된다.
(5) 상기까지의 실시 형태에서는, 산소 농도의 변화를 검지하여, 가스의 공급과 배기를 컨트롤했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 습도계(57)(도 2 참조)에 의해 순환로(40) 내의 습도(수분 농도)의 변화를 검지하여, 제어 장치(5)가 배출 밸브(62)의 개방도를 미리 정해진 값으로 결정해도 된다. 이에 의해, 수분 농도의 변화에 따라서 질소(건조 질소)의 공급 유량을 변경했을 때의 순환로(40) 내의 압력 변동을 억제할 수 있다. 또한, 산소 농도와 습도를 모두 검지해서 컨트롤해도 된다. 또한, 다른 분위기 변화를 검지해서 컨트롤해도 된다.
1: EFEM
5: 제어 장치(제어부)
5b: 기억부
40: 순환로
55: 산소 농도계(농도 검출부)
56: 압력계(압력 검출부)
61: 공급 밸브
62: 배출 밸브
T: 소정 시간

Claims (4)

  1. 불활성 가스를 순환시키기 위한 순환로가 형성된 EFEM이며,
    상기 순환로에 공급되는 상기 불활성 가스의 공급 유량을 변경 가능한 공급 밸브와,
    상기 순환로로부터 배출되는 가스의 배출 유량을 변경 가능한 배출 밸브와,
    상기 순환로 내의 분위기의 변화를 검출하는 농도 검출부와,
    상기 순환로 내의 압력을 검출하는 압력 검출부와,
    상기 공급 밸브 및 상기 배출 밸브를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여, 상기 배출 밸브의 개방도를, 미리 정해진 값으로 결정하는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 순환로 내의 압력이 목표 압력으로 유지되도록, 상기 압력 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 배출 밸브의 개방도를 피드백 제어하는 피드백 모드와,
    상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 배출 밸브의 개방도를 결정하는 피드 포워드 모드와의 사이에서 제어 모드의 전환이 가능하고,
    상기 농도 검출부의 검출 결과에 기초하여 상기 공급 밸브의 개방도를 변경할 때, 상기 제어 모드를 상기 피드백 모드에서 상기 피드 포워드 모드로 전환하는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 제어 모드가 상기 피드백 모드에서 상기 피드 포워드 모드로 전환된 후, 소정 시간이 경과했을 때, 상기 제어 모드를 상기 피드 포워드 모드에서 상기 피드백 모드로 되돌리는 것을 특징으로 하는, EFEM.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 분위기의 변화에 따른 복수의 구분으로 구분되어, 상기 구분마다 상기 공급 밸브의 개방도 및 상기 배출 밸브의 개방도가 대응지어져 있는 테이블을 기억하고 있는 기억부를 갖는 것을 특징으로 하는, EFEM.
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