KR20200126904A - 비침습적 진단을 위한 센서를 포함하는 고압 유압 시스템 - Google Patents

비침습적 진단을 위한 센서를 포함하는 고압 유압 시스템 Download PDF

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오엠티 디지털 에스.알.엘.
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Abstract

고압 유압 시스템으로서,
가압된 유체를 수용하는 유압 챔버(34),
일체 다이어프램(120)을 포함하고 유압 챔버(34)의 적어도 하나의 부분을 둘러싸는 벽(50),
검출 축(A)을 가지며 상기 다이어프램(120)에 의해 유압 챔버(34) 내에 수용된 가압된 유체로부터 분리된 압전 센서(70)를 포함하고, 압전 센서(70)는 검출 축(A)을 따라 압전 센서(70)를 압축하는 힘에 대해 전기 신호를 생성하고,
다이어프램(120)과 압전 센서(70) 사이에 상기 검출 축(A)을 따라 탄성력을 인가하도록 배열되는 탄성 요소(102)를 포함하고, 유압 챔버(34) 내에 수용된 유체의 압력의 변화에 의해 생성된 검출 축(A)의 방향으로 다이어프램(120)의 변형이 다이어프램(120)과 압전 센서(70) 사이의 검출 축(A)을 따라 탄성 요소가 적용하는 탄성력의 변화를 야기하도록 탄성 요소(102)와 센서(70)가 배열된다.

Description

비침습적 진단을 위한 센서를 포함하는 고압 유압 시스템{A high-pressure hydraulic system comprising a sensor for non-invasive diagnostics}
본 발명은 일반적으로 고압 유압 시스템에 관한 것으로, 시스템 작동의 비 침습적 진단을 위한 센서를 포함하는 고압 유압 시스템에 관한 것이다.
본 발명은 특히 대형 디젤 및 듀얼 연료 엔진, 예를 들어 대형 해군 엔진을 위한 연료 분사 시스템의 진단에 적용하기 위해 개발되었다. 하기 설명에서, 일반성을 잃지 않으면서 이 특정 사용 분야를 참조할 것이다.
유압 시스템, 특히 디젤 엔진용 고압 분사 시스템의 분야에서 복잡한 시스템의 작동 진단을 위한 중요한 데이터를 획득할 수 있는 진단 시스템의 개발에 대한 관심이 높아지고 있다.
이는 유압과 같은 특정 작동 매개 변수를 측정할 수 있는 저비용 센서의 개발을 시도했다.
연료 분사 시스템의 분야에서, 힘 및/또는 압력을 측정하기 위한 센서가 제안되었고, 특히 인젝터 니들의 밀폐 시간을 식별하기 위해 연료 인젝터에 고정되도록 구성되었다.
예를 들어, 제EP3001167호는 서로 평행하게 위치된 2 개의 단부면 및 관련 전극을 갖는 압전 재료의 적어도 하나의 센서 소자를 포함하는 센서 조립체를 기술하며, 여기서 서로 전기적으로 절연된 전극은 센서 요소와 접촉하는 것으로 고려된다.
센서가 모니터링되는 구성요소에 통합되는 유압 시스템도 제안된다(예를 들어, 제EP3026254호 및 제EP3034855호).
커먼 레일 연료 인젝터에서, 센서는 종종 가압 어큐뮬레이터로부터 인젝터 니들 밀봉 영역의 상류에 위치한 연료 분배 챔버를 향해 유체를 운반하는 홀에 인접한 영역에 배치된다. 이는 작동 중에 발생하는 섭동(perturbation)이 이 라인까지 전파되지 않기 때문에 인젝터의 작동 데이터는 감지할 수 있지만 제어 밸브의 작동 데이터는 감지되지 않을 수 있다. 진단 목적으로 압력 센서의 이상적인 위치는 인젝터 제어 챔버에 근접할 수 있다. 그러나, 이 영역의 작은 크기 및 제어 챔버 내에 존재하는 유체의 고압으로 인해, 작은 센서 요소를 사용할 필요가 있고 이에 따라, 견딜 수 있는 하중 및 변형의 측면에서 제한적이다. 일반적으로 문제는 작은 공간에서 매우 높은 압력(수천 바 정도)으로 발생하는 변형을 관리할 필요가 있는 것이다.
제US2014027534A1호는 커먼 레일 분사 시스템을 위한 연료 인젝터를 기술하고, 이 시스템은 인젝터 니들의 밀폐 순간을 결정하기 위해 분사 니들의 개방 및 밀폐 동안 압력 변화를 검출하는 압전 압력 센서를 포함한다. 압력 센서는 저압 영역에 배치되며, 제어 밸브의 로드에 의해 생성된 축방향 력에 의해 로딩된다. 제US2014027534A1호에 기재된 센서는 교정된 오리피스에 의해 연결되고 제어 챔버의 하류에 위치한 챔버 내의 압력을 검출하는 목적을 갖는다. 따라서 이 문헌에 설명 된 센서는 제어 챔버의 압력을 나타내는 신호를 직접 검출할 수 없다. 실제로, 밸브가 개방될 때, 센서에 의해 판독된 압력은 제어 챔버 내의 압력과 배출 압력 사이의 중간 레벨이며, 이 레벨은 밸브 시트를 가로지르는 압력 강하에 의해 결정된다. 밸브가 밀폐될 때, 오리피스 중간 챔버 시스템은 제어 챔버의 압력 신호와 센서에 의해 검출된 압력 신호 사이의 지연을 유발한다.
본 발명의 목적은 비용 효율적 및 비침습적 방식으로 유압 시스템 내의 유체의 압력에 관련된 신호를 검출하는 고압 유압 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명에 따라서, 이 목적은 청구항 제1항의 요지를 형성하는 특징을 갖는 고압 유압 시스템에 의해 달성된다.
본 발명의 특징화 요소는 센서를 구성하고 이를 다른 유압 시스템에 통합할 수 있게 하는 민감한 지지 요소의 특정 배열 및 형태이다. 이 센서가 제공하는 전기 신호는 전형적인 기술 또는 인공 지능을 통해 유압 시스템의 작동을 진단하는 데 사용될 수 있다.
특히, 주입 시스템의 적용, 소형, 고온에 대한 저항성 및 강성이 상이한 구성요소에 통합할 수 있는 경우 센서를 커먼 레일 인젝터의 제어량의 압력을 검출하기에 적합하고, 이는 전체 인젝터에 대해 일련의 작동 진단 매개변수를 도출할 수 있다.
청구 범위는 본 발명과 관련하여 본 명세서에서 제공되는 본 개시의 필수적인 부분을 형성한다.
본 발명은 비제한적인 예시로서 제시된 첨부된 도면을 참조하여 상세히 기재될 것이다:
도 1은 커먼 레일 인젝션 시스템용 인젝터의 부분 단면도.
도 2는 도 1에서 화살표 II로 도시된 부분의 확대된 부분의 단면도.
도 3은 도 2에서 선 III-III를 따른 단면도.
도 4는 도 3에서 선 IV-IV를 따른 단면도.
도 1은 고압 유압 시스템을 도시한다. 도시된 예에서, 유압 시스템은 커먼 레일 분사 시스템을 위한 인젝터(10)로 구성된다. 인젝터(10)는 밸브 시트(16)를 갖는 연료 분배 챔버(14)를 갖는 미분기(12)를 포함한다. 인젝터 니들(18)은 분배 챔버(14) 내로 연장되고, 밸브 시트(16)와 협력하는 밀봉 표면(20)을 갖는다. 인젝터 니들(18)은 밀봉 표면(20)이 밸브 시트(16)에 접하는 밀폐 위치와 밀봉 표면(20)이 밸브 시트(16)로부터 이격되는 개방 위치 사이에서 종방향 축(A)을 따라 이동가능하다. 스프링(22)은 인젝터 니들(18)을 밀폐 위치를 향해 가압한다. 미분기(12)는 인젝터 니들(18)이 개방 위치에 있을 때 분배 챔버(14)에 위치된 가압 된 연료가 미분되는(pulverized) 복수의 분사 홀(24)를 갖는다.
분배 챔버(14)는 고압 펌프로부터 나오는 가압 연료로 충전된 축적 체적에 연결된다. 축적 체적은 또한 제1 교정 오리피스(36)가 배치되는 유압 라인을 통해 유압 챔버(34)에 연결된다. 유압 챔버(34)는 탱크로 이어지는 배출 라인에 연결된다. 배출 라인에는 제어 밸브(42)가 배치되어 있다. 제어 밸브(42)는 개방 위치에서 유압 챔버(34)를 배출 라인에 연결하고 밀폐 위치에서 유압 챔버(34)를 배출 라인으로부터 분리시키는 전기 제어식 2 위치 밸브이다. 제2 교정 오리피스(44)는 제어 밸브(42)의 상류에 배치된다.
인젝터(10)는 미분기(12)의 헤드 표면(52)과 유압 밀봉 접촉하도록 배치된 벽(50)을 포함한다. 벽(50)은 유압 챔버(34)의 적어도 일부를 둘러싼다. 벽(50)에는, 교정 오리피스(36, 44)가 형성되며, 이는 벽(50)에 형성된 각각의 홀(54, 56)을 통해 유압 챔버(34)에 연결된다.
도 2를 참조하면, 벽(50)은 유압 챔버(34)에 수용된 유체의 압력이 작용하는 반응 표면(58)을 갖는다. 홀(54, 56)은 유압 챔버(34)를 향한 반응 표면(58)의 일부에서 개방되어 있다. 일부 실시예에서, 홀(54)과 오리피스(36)는 도 2에 도시된 배열과 관련하여 교환될 수 있다.
벽(50)의 반응 표면(58)은 미분기(12)의 분배 챔버(14)를 향해 개방된 벽(50)의 시트(60)에 형성될 수 있다. 부싱(62)은 시트(60) 내부에 부분적으로 수용되며 인젝터 니들(18)의 헤드 부분이 미끄러지는 홀(64)을 갖는다.
유압 챔버(34)는 벽(50)의 반응 표면(58), 인젝터 니들(18)의 헤드 표면(66) 및 가이드 부싱(62)의 환형 부분(68)에 의해 구획된다. 도 2, 3 및 4를 참조하면, 인젝터(10)는 인젝터(10)의 작동을 나타내는 전기 신호를 제공하는 압전 센서(70)를 포함한다.
센서(70)는 유압 챔버(34)에 수용된 가압 유체로부터 완전히 분리된다. 센서(70)에 의해 제공되는 전기 신호는 유압 챔버(34)의 유체 압력의 변화에 의해 발생된 벽(50)의 변형을 나타낸다. 압전 센서(70)는 유압 챔버(34) 내의 유체의 압력과 관련된 전기 신호를 제공하는 압력 변환기이다. 센서(70)는 센서(70)가 압력 변화를 검출할 수 있는 방향을 구성하는 검출 축(A)을 갖는다. 검출 축(A)은 인젝터(10)의 종방향 축과 일치할 수 있다.
벽(50)은 벽(50)의 두께가 감소된 부분에 의해 형성된 일체형 다이어프램(120)을 포함한다. 다이어프램(120)은 유압 챔버(34)에 포함된 가압 유체와 직접 접촉하는 제1 표면(122) 및 유압 챔버(34) 내에 수용된 가압 유체와 접촉하지 않는 제1 표면(122)과 마주보는 제2 표면(124)을 갖는다. 다이어프램(120)의 제1 표면(122)은 반응 표면(58)의 일부로 구성된다.
도시된 실시예에서, 다이어프램(120)은 센서(70)가 수용되는 블라인드 홀(72)의 바닥에 위치된다. 블라인드 홀(72)은 벽(50)에 형성되고 센서(70)의 검출 축(A)과 동축인 측면(74) 및 다이어프램(120)의 제2 표면(124)을 형성하는 바닥 면을 갖는다. 센서(70)는 2개의 디스크 형 요소(78, 80)를 포함한다. 2개의 디스크 형 요소(78, 80)는 각각의 제1 면(78', 80') 및 각각의 제2 면(78", 80")을 갖는다. 2개의 디스크 형 요소 각각의 제1 및 제2 면(78', 80' 및 78", 80")은 서로 평행하고 검출 축(A)에 직교하는 평면이며, 이는 축(A)(도 4)에 수직인 평면에서 원형을 가질 수 있다.
2개의 디스크 형 요소 중 적어도 하나는 검출 축(A)의 방향으로 압축 하중을 받을 때 제1 면(78', 80')에 양전하(positive charge)를 축적하고 제2 면(78", 80")에 음전하를 축적하는 압전 요소이다. 전하량은 면(78', 80' 및/또는 78", 80") 사이에서 전위차를 발생시키며, 이는 검출 축(A)의 방향으로의 압력 증가에 비례하여 증가한다.
일 실시예에서, 두 디스크 형 요소(78, 80)는 압전 요소이다. 이 경우에, 디스크 형 요소(78, 80)의 제1 면(78 ', 80')은 양의 단자면이고, 디스크형 요소(78, 80)의 제2 면(78 ", 80")은 음의 단자면이다. 가능한 변형예에서, 2개의 디스크 형 요소(78, 80) 중 하나만이 압전 요소이고, 2개의 디스크 형 요소(78, 80) 중 다른 하나는 압전 특성이 없는 절연 요소일 수 있다.
2개의 디스크 형 요소(78, 80) 사이에 전도성 재료의 얇은 벽에 의해 형성된 전극(82)이 배치되고, 상기 전극(82)은 검출 축(A)에 수직이다. 2개의 디스크 형 요소(78, 80)의 제1 면(78 ', 80')은 전극(82)의 대향면과 접촉한다. 전극(82)은 압전 소자(78, 80)의 직경보다 약간 큰 직경을 갖는 원형 형상을 가질 수 있다. 센서(70)는 전기 전도성 재료의 2개의 지지 요소(84, 86)를 포함할 수 있다. 2개의 지지 요소(84, 86)는 디스크 형 요소(78, 80)의 각각의 제2 면(78 ", 80")에 대해 지지되는 각각의 지지 면(88, 90)을 갖는다. 지지 요소(84, 86)의 측벽은 홀(72)의 측면(74)과 접촉할 수 있다.
2개의 압전 요소(78, 80)들 사이에 배열된 전극(82)은 센서(70)의 양극을 구성한다. 음극은 벽(50)을 통해 접지에 전기적으로 연결된 지지부(84, 86)로 구성된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 전극(82)은 전기 케이블(94)의 일 단부가 연결되는 검출 축(A)에 수직인 방향으로 외측으로 연장되는 돌출 부분(92)를 가질 수 있으며, 여기에서 아날로그 전기 신호가 통과하고 이의 진폭은 검출 축(A)의 방향으로 2개의 지지부(84, 86) 사이에서 작용하는 힘에 비례한다.
센서(70)는 전극(82) 외부의 축(A)과 동축으로 배열된 환형 형상을 갖는 절연 요소(96)를 포함한다. 절연 요소(96)는 디스크 형 요소(78, 80) 및 전극(82)의 외부 에지를 대향하는 내부 표면(98)을 가지며, 이는 검출 축(A)에 대해 전극(82)과 디스크 형 요소(78, 80) 사이의 중심을 형성한다. 절연 요소(96)는 인젝터의 금속 구성요소로부터 전극(82) 및 디스크 형 요소(78, 80)의 전기 절연을 보장한다. 절연 요소(96)는 지지 요소(84)의 면(88)의 외부 주변 부분 상에 배열되는 기저 표면(100)을 가지며 지지 요소(84, 86)의 지지 면(88, 90)들 사이의 거리 미만의 검출 축(A)의 방향으로의 치수를 갖는다.
센서(70)는 검출 축(A)의 방향으로 벽(50)에 구속된다. 예를 들어, 센서(70)의 지지 요소(86)의 상부 표면(110)은 벽(50)의 상부 표면(116)에 대해 배열되는 몸체(114)의 하부 표면(112)에 대해 인접하게 배열될 수 있다. 인젝터(10)는 예를 들어, 다이어프램(120)과 센서(70) 사이의 검출 축(A)의 방향으로 탄성력을 인가하도록 배열되고 검출 축(A)과 동축을 이루는 컵 스프링에 의해 형성된 하나 이상의 탄성 요소(102)를 포함할 수 있다. 탄성 요소(102) 및 센서(70)는 검출 축(A)의 방향으로 센서(70)가 탄성 요소(102)에 의해 생성된 탄성력 만을 받도록 배열된다.
도시된 예에서, 탄성 요소(102)는 다이어프램(120)의 제2 표면(124)과 지지 요소(84)의 하부 표면(104) 사이에서 축방향으로 압축된다. 지지 요소(84)는 검출 축(A)의 방향으로 하부 표면(104)으로부터 돌출하고 탄성 요소(102)의 중심 홀(108)과 결합되는 축방향 돌출부(106)를 가질 수 있다. 탄성 요소(102)는 몸체(114)의 하부 표면(112)에 대하여 검출 축(A)의 방향으로 센서(70)를 압축한다.
센서(70)는 탄성 요소(102)가 압전 센서(70)와 다이어프램(120) 사이에서 상기 검출 축(A)을 따라 적용하는 탄성력과 관련된 전기 신호를 생성한다. 작동 동안, 유압 챔버(34) 내의 유체의 순환 압력 변화는 검출 축(A)의 방향으로 다이어프램(120)의 순환 변형을 야기한다. 유체의 압력 변화에 의해 야기된 다이어프램(120)의 변형은 다이어프램(120)의 제2 표면(124)의 검출 축(A) 방향으로 변형을 유발한다. 검출 축(A) 방향으로의 제2 표면(124)의 변형은 차례로 탄성 요소(102)가 센서(70)에 적용하는 탄성력의 변화를 야기하고, 따라서 센서(70)에 의해 생성 된 전기 신호의 변화를 야기한다. 따라서, 센서(70)에 의해 생성된 전기 신호는 유압 챔버(34)에 수용된 유체의 순간 압력 값과 직접 관련된다.
다이어프램(120)의 변형으로 인한 힘은 탄성 요소(102)에 의해서만 센서로 전달되며, 이는 다이어프램(120)의 변형(유압 챔버(34) 내의 압력 작용 하에서)이 센서(70)에 과도한 부하를 발생시키는 것을 방지한다. 탄성 요소(102)의 강성은 다이어프램(120)의 두께 및 유압 챔버(34)의 압력에 따라 크기가 결정된다. 탄성 요소(102)의 치수 및 기하학적 구조의 적절한 선택에 의해, 탄성 요소(102)의 강성은 다이어프램(120)의 변형이 압전 요소(78, 80)의 작업 범위와 호환되는 힘을 발생 시키도록 구성될 수 있다.
설계 단계에서 탄성 요소(102)의 강성을 변화시킬 수 있는 가능성은 다이어프램(120)의 적절한 두께가 보장될 수 있게 한다. 디스크 형 요소(78, 80)가 압전 요소인 경우, 압전 요소(78, 80)의 마주보는 및 대향 배열은 단일 압전 요소를 사용하는 센서에 대한 센서(70)의 감도를 두 배로 하여 양극과 음극 사이의 전기 절연 요소로서 동일한 압전 요소(78, 80)를 사용하기 때문에 이의 구조가 단순화되고, 센서(70)의 대상이 되는 부하를 지지하는 요소의 스택으로 절연 재료의 추가 요소의 유입이 방지된다. 센서(70)는 매우 작은 치수를 가지며 벽(50)의 교정 오리피스(36, 44) 사이에 쉽게 수용될 수 있다. 센서(70)는 유체와의 접촉 없이 그리고 임의의 방식으로 유압 챔버(34)의 기하학적 구조를 수정하지 않고 유압 챔버(34) 내의 유압의 간접 측정을 제공할 수 있다. 다이어프램(120)의 변형은 우수한 신호/노이즈 비율로 센서(70)에 의해 검출될 수 있다. 센서(70)에 의해 검출된 유압 챔버(34) 내부의 유압은 인젝터(10)의 작동에 대한 진단 정보를 얻기 위해 처리될 수 있다.
도면은 예를 들어 커먼 레일 인젝터에서의 본 발명에 따른 센서(70)의 적용을 예시한다. 그러나, 본 발명에 따른 센서(70)는 예를 들어 어큐뮬레이터, 파이프, 펌프, 밸브 요소 등과 같은 임의의 다른 유형의 고압 유압 시스템에 사용될 수 있는 것으로 이해된다. 일반적으로, 센서(70)는 가압 유체에 노출된 표면을 가지며 유체의 압력 변화에 의해 변형되는 유압 시스템의 임의의 구성 요소에 장착될 수 있다.
따라서, 센서(70)는 가압 유체를 포함하는 체적으로부터 센서(70)를 분리하는 다이어프램의 변형으로 인해 가압 유체와 직접 접촉하지 않고 유체의 압력을 검출할 수 있다. 탄성 요소(102)는 검출 축(A) 방향의 센서(70)가 탄성 요소(102)에 의해 생성된 탄성력의 작용만을 받는 경우라면, 도면에 도시된 것과 다르게 배열 될 수 있다. 예를 들어, 탄성 요소는 몸체(114)의 표면(112)과 제2 지지 요소(84)의 상부 표면(110) 사이에 배열될 수 있다.
물론, 본 발명의 원리를 침해하지 않으면서, 구성 및 실시예들의 세부 사항들은 설명되고 도시된 것들에 대해 광범위하게 변경될 수 있으며, 이에 따라 다음의 청구 범위에 의해 정의된 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는다.

Claims (10)

  1. 고압 유압 시스템으로서,
    가압된 유체를 수용하는 유압 챔버(34),
    일체 다이어프램(120)을 포함하고 유압 챔버(34)의 적어도 하나의 부분을 둘러싸는 벽(50),
    검출 축(A)을 가지며 상기 다이어프램(120)에 의해 유압 챔버(34) 내에 수용된 가압된 유체로부터 분리된 압전 센서(70)를 포함하고, 압전 센서(70)는 검출 축(A)을 따라 압전 센서(70)를 압축하는 힘에 대해 전기 신호를 생성하고,
    다이어프램(120)과 압전 센서(70) 사이에 상기 검출 축(A)을 따라 탄성력을 인가하도록 배열되는 탄성 요소(102)를 포함하고, 유압 챔버(34) 내에 수용된 유체의 압력의 변화에 의해 생성된 검출 축(A)의 방향으로 다이어프램(120)의 변형이 다이어프램(120)과 압전 센서(70) 사이의 검출 축(A)을 따라 탄성 요소가 적용하는 탄성력의 변화를 야기하도록 탄성 요소(102)와 센서(70)가 배열되는 고압 유압 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 탄성 요소(102) 및 압전 센서(70)는 검출 축(A)의 방향으로 센서(70)가 탄성 요소(102)에 의해 생성된 탄성력만 받도록 배열되는 고압 유압 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다이어프램(120)은 상기 벽(50)의 감소된 두께 부분에 의해 형성되는 고압 유압 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 다이어프램(120)은 압전 센서(70)가 수용되고 상기 벽(50) 내에 형성된 블라인드 홀(72)의 바닥에 배열되는 고압 유압 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압전 센서(70)는
    -검출 축(A)에 수직이고 서로 평행한 각각의 제2 면(78", 80") 및 각각의 제1 면(78', 80')을 갖는 2개의 디스크형 요소(78, 80)를 포함하고 하나 이상의 디스크형 요소(78, 80)는 압전 요소이고,
    -검출 축(A)에 수직인 전도성 재료의 얇은 플레이트에 의해 형성된 전극(82)을 포함하고, 2개의 디스크형 요소(78, 80)의 상기 제1 면(78', 80')은 전극(82)의 마주보는 면과 접촉하고,
    -디스크형 요소(78, 80)의 각각의 제2 면(78", 80")에 대해 배열되는 각각의 지지 면(88, 90)을 갖는 전기 전도성 재료의 2개의 지지 요소(84, 86)를 포함하는 고압 유압 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 탄성 요소(102)는 지지 요소(84)의 하나의 표면(104)과 다이어프램(120) 사이에서 검출 축(A)의 방향으로 압축되는 고압 유압 시스템.
  7. 제5항에 있어서, 압전 센서(70)는 전극(82)의 외측 상에서 검출 축(A)과 동축으로 배열되는 환형 절연 요소(96)를 포함하고, 절연 요소(96)는 전극(82)과 디스크형 요소(78, 80)의 외부 에지를 향하는 내부 표면(98)을 갖는 고압 유압 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 절연 요소(96)는 지지 요소(84, 86)의 지지 면(88, 90)들 사이의 거리 미만의 검출 축(A)의 방향으로의 치수를 가지며, 하나의 지지 요소(84)의 지지 면(88)의 외부 주연부 부분 상에 배열되는 기저 표면(100)을 갖는 고압 유압 시스템.
  9. 제5항에 있어서, 디스크형 요소(78, 80)는 압전 요소이고, 디스크형 요소(78, 80)의 제1 면(78', 80')은 양의 단자면이고, 디스크형 요소(78, 80)의 제2 면(78", 80")은 음의 단자면인 고압 유압 시스템.
  10. 제5항에 있어서, 하나 이상의 지지 요소(84)는 탄성 요소(102)의 중심 홀(108)과 결합되고 검출 축(A)의 방향으로 하부 표면(104)으로부터 돌출되는 축방향 돌출부(106)를 갖는 고압 유압 시스템.
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