KR20200101852A - Article transport facility - Google Patents

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KR20200101852A
KR20200101852A KR1020200017482A KR20200017482A KR20200101852A KR 20200101852 A KR20200101852 A KR 20200101852A KR 1020200017482 A KR1020200017482 A KR 1020200017482A KR 20200017482 A KR20200017482 A KR 20200017482A KR 20200101852 A KR20200101852 A KR 20200101852A
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KR1020200017482A
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히데모토 후쿠시마
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

Article conveyance equipment comprises: a conveying device conveying an article; a wall surrounding an area in which the conveying device is installed; and an internal airflow generation unit generating an airflow from top to bottom in an interior space surrounded by the wall. The wall has a ventilation unit for communicating an external space, which is an external space of the wall, and the internal space. The ventilation unit includes a plurality of rectification plates arranged in a vertical direction. Each of the plurality of rectification plates is provided in an inclined posture so that an inner end is positioned above an outer end.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}Goods transport facility {ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 물품을 반송(搬送)하는 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.The present invention relates to an article conveyance facility provided with a conveyance device that conveys an article.

이와 같은 물품 반송 설비로서, 예를 들면, 일본 공개특허 제2018-039658호 공보에 기재된 것이 알려져 있다. 이하, 배경 기술의 설명에 있어서, 괄호 쓰기의 부호 또는 명칭은, 선행 기술 문헌에서의 부호 또는 명칭으로 한다. 일본 공개특허 제2018-039658호 공보에 기재된 물품 반송 설비는, 반송 장치[스태커 크레인(stacker crane)](2)가 설치되어 있는 영역을 에워싸는 벽체(K)와, 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 내부 기류 생성부를 구비하고 있다. 벽체는, 내부 공간과 벽체의 외부의 공간인 외부 공간을 수평 방향으로 연통되는 통기부[배기부 (52)]를 구비하고 있다. As such an article conveyance facility, for example, those described in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-039658 are known. Hereinafter, in the description of the background art, the sign or name in parentheses is the sign or name in the prior art document. The article transport facility described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2018-039658 includes a wall (K) surrounding an area in which the transport device (stacker crane) 2 is installed, and an internal space surrounded by the wall. It has an internal airflow generation unit that generates airflow from the top to the bottom. The wall is provided with a ventilation part (exhaust part 52) which communicates in the horizontal direction between the inner space and the outer space, which is a space outside the wall.

상기한 물품 반송 설비에서는, 내부 기류 생성부에 의해 내부 공간의 기체(氣體)를 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동(流動)시킨 후, 그 기체를 통기부로부터 외부 공간으로 배기할 수 있다. 이와 같이, 내부 공간에 기류를 생성함으로써, 반송 장치에 의한 물품의 반송 중에 먼지가 발생해도, 그 먼지를 기체와 함께 아래쪽으로 유동시켜 통기부로부터 외부 공간으로 배출할 수 있어, 내부 공간에 있어서 먼지가 비산(飛散)하지 않도록 되어 있다. In the article conveyance facility described above, after the gas in the internal space is made to flow from the top to the bottom by the internal airflow generation unit, the gas can be exhausted from the ventilation unit to the external space. In this way, by creating an airflow in the inner space, even if dust is generated during the transport of the article by the transport device, the dust can flow downward with the gas and discharged from the vent to the outer space. Is designed not to scatter (飛散).

상기한 물품 반송 설비에서는, 반송 장치에 의해 통기부로부터 이격되도록 물품을 반송한 경우, 물품과 통기부와의 사이의 영역은 음압으로 되어, 이 영역에 기체가 흐르는 경향으로 된다. 이로써, 외부 공간의 기체가, 통기부를 통해 내부 공간에 침입하여 물품과 통기부와의 사이의 영역으로 흐르려고 하므로, 외부 공간의 기체가 내부 공간에 침입하기 쉽다고 하는 문제가 있다. In the article conveyance facility described above, when the article is conveyed by the conveying device so as to be separated from the ventilation portion, the area between the article and the ventilation portion becomes negative pressure, and gas tends to flow in this area. Accordingly, there is a problem in that the gas of the external space easily enters the internal space since the gas in the external space enters the internal space through the ventilation portion and attempts to flow into the region between the article and the ventilation portion.

일본 공개특허 제2018-039658호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2018-039658

그래서, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간으로 쉽게 침입하지 않는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다. Therefore, there is a need to realize an article conveyance facility in which gas from the outer space does not easily enter the inner space through the ventilation portion.

상기 문제점을 해결하기 위해, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 물품을 반송하는 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비로서, 상기 반송 장치가 설치되어 있는 영역을 에워싸는 벽체와, 상기 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 내부 기류 생성부를 구비하고, 상기 벽체는, 수평 방향을 따르는 방향인 제1 방향을 따라 상기 내부 공간과 상기 벽체의 외부의 공간인 외부 공간을 연통시키는 통기부를 구비하고, 상기 통기부는, 상하 방향으로 배열되는 복수의 정풍판(整風板)을 포함하고, 상기 제1 방향에서의 상기 외부 공간에 대하여 상기 내부 공간이 존재하는 방향을 내부측, 그 반대측을 외부측으로 하여, 복수의 상기 정풍판의 각각은, 상기 내부측의 단부(端部)인 내단부(內端部)가 상기 외부측의 단부인 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 설치되어 있는 점에 있다. In order to solve the above problem, the characteristic configuration of the article conveyance facility is an article conveyance facility provided with a conveyance device for conveying the article, a wall surrounding an area where the conveyance device is installed, and an interior surrounded by the wall. A cylinder having an internal airflow generation unit generating an airflow from top to bottom in the space, wherein the wall communicates the internal space and an external space that is an external space of the wall along a first direction that is a direction along a horizontal direction. It has a base, and the ventilation part includes a plurality of forward wind plates arranged in a vertical direction, and a direction in which the inner space exists with respect to the outer space in the first direction is an inner side and an opposite side Each of the plurality of wind plates is inclined in an inclined posture so that the inner end, which is the end of the inner side, is positioned above the outer end, which is the end of the outer side. It is in that it is installed as.

이 특징적 구성에 의하면, 내부 기류 생성부에 의해 생성된 기류에 의해, 내부 공간의 기체를 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동시킬 수 있고, 그 유동시킨 기체의 일부 또는 전부(全部)를 통기부로부터 외부 공간에 배기시킬 수 있다. 그리고, 이와 같이, 내부 공간에 기류를 생성함으로써, 반송 장치에 의해 물품을 반송한 경우에 먼지가 발생해도, 그 먼지는 기체와 함께 아래쪽으로 유동하여 통기부로부터 외부 공간으로 배출되므로, 내부 공간에 있어서 먼지가 비산되는 것을 방지할 수 있다. According to this characteristic configuration, the gas in the internal space can be flowed from the top to the bottom by the air flow generated by the internal air flow generation unit, and part or all of the flowed gas can be transferred from the ventilation unit to the external space. Can be exhausted. In this way, by creating an airflow in the inner space, even if dust is generated when the article is transported by the conveying device, the dust flows downward with the gas and is discharged from the vent to the outer space. So it can prevent dust from scattering.

또한, 통기부에 구비되어 있는 복수의 정풍판의 각각은, 내단부가 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 되어 있다. 그러므로, 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동한 내부 공간의 기체는, 경사 자세의 정풍판의 상면에 의해 안내되어 경사 하방을 향해 유동한다. 그러므로, 통기부에 있어서, 내부 공간으로부터 외부 공간을 향해 기류가 생기기 쉽게 된다. 통기부를 통해 외부 공간으로부터 내부 공간에 침입하도록 하는 기체는, 이 기류에 의해 방해할 수 있다. 따라서, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간에 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. In addition, each of the plurality of head wind plates provided in the ventilation portion has an inclined posture so that the inner end is positioned above the outer end. Therefore, the gas in the inner space flowing from the top to the bottom is guided by the upper surface of the front wind plate in an inclined posture and flows downward inclined. Therefore, in the ventilation portion, airflow is likely to be generated from the inner space toward the outer space. Gas that causes the air to enter the inner space from the outer space through the ventilation portion may be obstructed by this air flow. Accordingly, it is possible to prevent gas from the outer space from easily entering the inner space through the ventilation portion.

도 1은 제1 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 제1 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 정면도
도 3는 제1 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 측면도
도 4는 제1 실시형태에 있어서의 통기부의 사시도
도 5는 제1 실시형태에 있어서의 정풍판의 측면도
도 6은 제1 실시형태에 있어서의 완만한 경사 자세의 정풍판을 나타낸 측면도
도 7은 제1 실시형태에 있어서의 급경사 자세의 정풍판을 나타낸 측면도
도 8은 제2 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 평면도
도 9는 제2 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 정면도
도 10은 제3 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 정면도
도 11은 제4 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 평면도
도 12는 제4 실시형태에 있어서의 물품 반송 설비의 정면도1 is a plan view of an article transport facility in a first embodiment
Fig. 2 is a front view of an article transport facility in the first embodiment
3 is a side view of an article conveyance facility in the first embodiment
4 is a perspective view of a vent part in the first embodiment.
5 is a side view of a wind plate in the first embodiment.
Fig. 6 is a side view showing a static wind plate in a gentle inclined posture in the first embodiment.
Fig. 7 is a side view showing a static wind plate in a steep inclined posture in the first embodiment.
8 is a plan view of an article conveyance facility in a second embodiment.
9 is a front view of an article conveyance facility in a second embodiment
10 is a front view of an article conveyance facility in a third embodiment
11 is a plan view of an article conveyance facility in a fourth embodiment
12 is a front view of an article conveyance facility in a fourth embodiment

1. 제1 실시형태1. First embodiment

물품 반송 설비의 제1 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. A first embodiment of an article transport facility is described with reference to the drawings.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비(100)는, 자동 창고(1)와, 자동 창고(1)가 설치되어 있는 영역을 에워싸는 벽체(2)와, 자동 창고(1) 및 벽체(2)가 설치되어 있는 청정실(R)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 기류 생성부(3)(도 2: 및 도 3: 참조)를 구비하고 있다. As shown in Figs. 1 to 3, the article transfer facility 100 includes an automatic warehouse 1, a wall 2 surrounding an area in which the automatic warehouse 1 is installed, an automatic warehouse 1 and a wall. The clean room R in which (2) is installed is provided with an airflow generation unit 3 (see Figs. 2: and 3:) for generating airflow from top to bottom.

자동 창고(1)은, 물품(W)을 반송하는 스태커 크레인(6)과, 물품(W)을 수납하는 수납부(7)를 복수 구비한 수납 선반(storage rack)(8)을 구비하고 있다. 스태커 크레인(6)은, 주행 경로(travelling path)(L)를 왕복 주행함으로써, 규정의 반송 방향 X를 따라 물품(W)을 반송한다. 수납 선반(8)은, 일부의 수납부(7)을, 처리 장치(E)에 대하여 물품(W)을 반출입(搬出入)하기 위한 반출입부(9)로서 사용하고 있다. 그리고, 스태커 크레인(6)이, 물품 반송 설비(100)에 구비되어 물품(W)을 반송하는 반송 장치(M)에 상당한다. The automatic warehouse 1 is provided with a stacker crane 6 for conveying the article W, and a storage rack 8 provided with a plurality of storage units 7 for storing the article W. . The stacker crane 6 transports the article W along the prescribed conveyance direction X by reciprocating the traveling path L. The storage shelf 8 uses a part of the storage part 7 as a carry-in/out part 9 for carrying the article W in/out to the processing device E. And the stacker crane 6 is provided in the article conveyance facility 100, and corresponds to the conveyance apparatus M which conveys the article W.

스태커 크레인(6)은, 물품(W)을 수납부(7)로부터 반출입부(9)로 반송하고 또한 물품(W)을 반출입부(9)로부터 수납부(7)로 반송한다. 처리 장치(E)는, 물품(W)을 반송하는 반송부(搬送部)(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 처리 장치(E)는, 반송부에 의해 물품(W)을 반출입부(9)로부터 처리 장치(E) 내로 반송하고 또한 물품(W)을 처리 장치(E) 내로부터 반출입부(9)로 반송한다. 본 실시형태에서는, 복수 개의 판형체를 수용한 용기를 물품(W)으로 하고 있다. 처리 장치(E)는, 판형체를 사용하여 처리를 행하는 장치이다. 예를 들면, 처리 장치(E)는 반도체 처리 장치이며, 판형체는 상기 처리 장치(E)에서 사용되는 포토마스크이다. The stacker crane 6 conveys the article W from the storage portion 7 to the carry-in/out portion 9 and also conveys the article W from the carry-in/out portion 9 to the storage portion 7. The processing apparatus E is equipped with a conveyance part (not shown) which conveys the article W. The processing device E conveys the article W from the carrying-in/out part 9 into the processing device E by the conveying unit, and also conveys the article W from the inside of the processing device E to the carrying-in/out part 9 do. In the present embodiment, the container in which a plurality of plate bodies are accommodated is used as the article W. The processing device E is a device that performs processing using a plate-shaped body. For example, the processing device E is a semiconductor processing device, and the plate-shaped body is a photomask used in the processing device E.

도 1에 나타낸 바와 같이, 벽체(2)는, 스태커 크레인(6)이 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 본 실시형태에서는, 벽체(2)는, 스태커 크레인(6)이 설치되어 있는 영역에 더하여, 수납 선반(8)이 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 즉, 벽체(2)는, 자동 창고(1)가 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 벽체(2)는, 청정실(R)을, 벽체(2)에 의해 에워싸여 있는 내부 공간(R1)과, 벽체(2)의 외부의 공간인 외부 공간(R2)로 칸막이 되어 있다. As shown in FIG. 1, the wall body 2 surrounds the area|region where the stacker crane 6 is installed. In this embodiment, the wall 2 surrounds the area where the storage shelf 8 is installed in addition to the area where the stacker crane 6 is installed. That is, the wall 2 surrounds the area in which the automatic warehouse 1 is installed. The wall 2 divides the clean room R into an inner space R1 surrounded by the wall 2 and an outer space R2, which is a space outside the wall 2.

상하 방향 Z를 따르는 상하 방향에서 볼 때 반송 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향 Y로서, 벽체(2)는, 상기 벽체(2)에서의 반송 방향 X의 단부에, 가로 폭 방향 Y를 따라 설치된 단벽부(端壁部)(11)를 구비하고 있다. 단벽부(11)는, 스태커 크레인(6)을 협지(sandwich)하여 반송 방향 X의 양측에 설치되어 있다. 또한, 벽체(2)는, 상기 벽체(2)에서의 가로 폭 방향 Y의 단부에, 반송 방향 X를 따라 설치된 측벽부(12)를 구비하고 있다. 측벽부(12)는, 스태커 크레인(6)을 협지하여 가로 폭 방향 Y의 양측에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 단벽부(11)는, 자동 창고(1)[스태커 크레인(6) 및 수납 선반(8)]을 협지하여 반송 방향 X의 양측에 설치되고, 측벽부(12)는, 자동 창고(1)[스태커 크레인(6) 및 수납 선반(8)]를 협지하여 가로 폭 방향 Y의 양측에 설치되어 있다. When viewed from the vertical direction along the vertical direction Z, the direction orthogonal to the conveying direction X is defined as the horizontal width direction Y, and the wall 2 has a horizontal width direction Y at the end of the conveying direction X in the wall 2. It is provided with the end wall part 11 installed along it. The end wall portions 11 are provided on both sides of the conveying direction X by sandwiching the stacker crane 6. Moreover, the wall 2 is provided with the side wall part 12 provided along the conveyance direction X at the end of the said wall 2 in the transverse direction Y. The side wall portions 12 are provided on both sides of the lateral width direction Y by holding the stacker crane 6 therebetween. In this embodiment, the end wall part 11 is provided on both sides of the conveyance direction X by holding the automatic warehouse 1 (stacker crane 6 and the storage shelf 8), and the side wall part 12 is automatic The warehouse 1 (stacker crane 6 and storage shelf 8) is sandwiched and installed on both sides of the transverse direction Y.

도 2에 나타낸 바와 같이, 벽체(2)는, 수평 방향을 따르는 제1 방향 A을 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시키는 통기부(13)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 통기부(13)는, 벽체(2)의 하부에 설치되어 있다. 상세하게는, 통기부(13)는, 벽체(2)의 하단(下端)[하부 바닥부(F1)의 상면]으로부터 상방 측으로 규정 높이까지의 범위에 설치되어 있다. 본 예에서는, 통기부(13)는, 후술하는 하부 바닥부(F1)와 상부 바닥부(F2)와의 사이의 바닥 하부 공간(R3)에 면하는 높이 방향의 영역의 전체에 걸쳐 설치되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 통기부(13)는, 단벽부(11)에서의 가로 폭 방향 Y의 전역(全域)에 걸쳐 설치되어 있다. 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 통기부(13)는, 측벽부(12)에서의 반송 방향 X의 전역에 걸쳐 설치되어 있다. As shown in FIG. 2, the wall body 2 is provided with the ventilation part 13 which communicates the inner space R1 and the outer space R2 along the 1st direction A along the horizontal direction. In this embodiment, the ventilation part 13 is provided in the lower part of the wall body 2. Specifically, the ventilation part 13 is provided in a range from the lower end (the upper surface of the lower floor part F1) of the wall 2 to the specified height upward. In this example, the ventilation part 13 is provided over the whole of the area|region in the height direction which faces the lower floor space R3 between the lower floor part F1 and the upper floor part F2 mentioned later. As shown in FIG. 3, the ventilation part 13 is provided over the whole area of the lateral width direction Y in the end wall part 11. In addition, as shown in FIG. 2, the ventilation part 13 is provided over the entire area of the conveyance direction X in the side wall part 12.

도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 단벽부(11)와 측벽부(12)와의 양쪽에 통기부(13)를 구비하고 있다. 단벽부(11)에 구비되어 있는 통기부(13)는, 제1 방향 A이 반송 방향 X로 되어 있고, 반송 방향 X를 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시킨다. 측벽부(12)에 구비되어 있는 통기부(13)는, 제1 방향 A이 가로 폭 방향 Y로 되어 있고, 가로 폭 방향 Y를 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시킨다. As shown in FIGS. 2 and 3, in the present embodiment, ventilation portions 13 are provided on both sides of the end wall portion 11 and the side wall portion 12. The ventilation part 13 provided in the end wall part 11 has the 1st direction A being the conveyance direction X, and makes the inner space R1 and the outer space R2 communicate along the conveyance direction X. In the ventilation part 13 provided in the side wall part 12, the 1st direction A is the transverse direction Y, and makes the inner space R1 and the outer space R2 communicate along the transverse direction Y.

스태커 크레인(6), 수납 선반(8), 및 벽체(2)는, 청정실(R)에 설치되어 있다. 기류 생성부(3)는, 청정실(R)의 천정부(ceiling portion)(C)에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 기류 생성부(3)는, 팬(fan)과 필터부를 하우징(housing)에 내장하여 유닛화된 팬 필터 유닛(fan filter unit)(이하, FFU라고 함)을 복수 설치하여 구성되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 청정실(R)의 바닥부는, 하부 바닥부(F1)와, 하부 바닥부(F1)보다도 위쪽에 설치된 상부 바닥부(F2)에 의해 구성되어 있다. 상부 바닥부(F2)는, 그레이팅(grating) 바닥이며, 상하 방향 Z로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있다. 이 상부 바닥부(F2)는, 외부 공간(R2)에 설치되어 있다. 하부 바닥부(F1)와 상부 바닥부(F2)와의 사이에 바닥 하부 공간(R3)이 형성되어 있고, 이 바닥 하부 공간(R3)은, 외부 공간(R2)의 일부이다. 하부 바닥부(F1)는, 통기공을 가지지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 구멍이 없는 형상의 콘크리트 등의 바닥재에 의해 구성되어 있다. The stacker crane 6, the storage shelf 8, and the wall 2 are installed in the clean room R. The airflow generation unit 3 is provided in the ceiling portion C of the clean room R. In the present embodiment, the airflow generation unit 3 is configured by installing a plurality of fan filter units (hereinafter referred to as FFU) united by incorporating a fan and a filter unit into a housing. Has been. As shown in Fig. 2, the bottom portion of the clean room R is constituted by a lower bottom portion F1 and an upper bottom portion F2 provided above the lower bottom portion F1. The upper bottom part F2 is a grating bottom, and a plurality of vent holes penetrating in the vertical direction Z are formed. This upper bottom part F2 is provided in the outer space R2. The lower floor space R3 is formed between the lower floor part F1 and the upper floor part F2, and the lower floor space R3 is a part of the outer space R2. The lower floor part F1 is a floor which does not have ventilation holes, and in this embodiment, it is comprised by the floor material, such as concrete, which has no hole shape.

기류 생성부(3)는, 내부 공간(R1)의 상부 및 외부 공간(R2)의 상부에 설치되어 있는 FFU에 의해 구성되어 있다. 기류 생성부(3)에서의 내부 공간(R1)의 상부에 설치되어 있는 FFU에 의해, 내부 공간(R1)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기류를 생성하는 내부 기류 생성부(14)가 구성되어 있다. 또한, 기류 생성부(3)에서의 외부 공간(R2)의 상부에 설치되어 있는 FFU에 의해, 외부 공간(R2)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 기류를 생성하는 외부 기류 생성부(15)가 구성되어 있다. The airflow generating unit 3 is constituted by FFU provided above the inner space R1 and above the outer space R2. An internal airflow generation unit 14 for generating an airflow from the top to the bottom in the interior space R1 is constituted by the FFU provided above the internal space R1 in the airflow generation unit 3. In addition, by the FFU installed on the upper part of the external space R2 in the airflow generation part 3, the external airflow generation part 15 for generating airflow from the top to the bottom in the external space R2 is configured. have.

내부 공간(R1)에서는, 내부 기류 생성부(14)에 의해 내부 공간(R1)의 상부에 공급된 공기가, 내부 공간(R1)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한다. 그 아래쪽으로 유동한 공기는, 통기부(13)로부터 바닥 하부 공간(R3)[외부 공간(R2)의 일부]에 배기된다. 또한, 외부 공간(R2)에서는, 외부 기류 생성부(15)에 의해 외부 공간(R2)의 상부에 공급된 공기가, 외부 공간(R2)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동하고, 상부 바닥부(F2)를 통기하여 바닥 하부 공간(R3)까지 유동한다. 이와 같이, 기류 생성부(3)는, 청정실(R)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성한다. 그리고, 벽체(2)는, 천정부(C)로부터 하부 바닥부(F1)에 걸쳐 설치되어 있다. In the inner space R1, the air supplied to the upper part of the inner space R1 by the inner airflow generation unit 14 flows through the inner space R1 from above to the bottom. The air flowing downward therefrom is exhausted from the ventilation portion 13 to the lower floor space R3 (a part of the outer space R2). In addition, in the external space R2, the air supplied to the upper part of the external space R2 by the external airflow generating unit 15 flows through the external space R2 from top to bottom, and the upper bottom portion F2 And flows to the lower space R3. In this way, the airflow generation unit 3 generates an airflow from top to bottom in the clean room R. And the wall 2 is provided over the lower floor part F1 from the ceiling part C.

도 4, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 통기부(13)는, 상하 방향 Z로 배열되는 복수의 정풍판(17)을 구비하고 있다. 이하, 복수의 정풍판(17)에 대하여 설명하지만, 제1 방향 A에서의 외부 공간(R2)에 대하여 내부 공간(R1)이 존재하는 방향을 내부측(A1), 그 반대측을 외부측(A2)으로 하여 설명한다. 또한, 상하 방향에서 볼 때 제1 방향 A에 대하여 직교하는 방향을 제2 방향 B로 하여 설명한다. 복수의 정풍판(17)의 각각은, 제2 방향 B를 따르는 요동 축심(P) 주위로 요동(搖動) 가능하게 구성되어 있다. 복수의 요동 축심(P)은, 제2 방향 B를 따르는 제2 방향에서 볼 때 상하 방향 Z를 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있다. As shown in Figs. 4, 6, and 7, the ventilation section 13 is provided with a plurality of front wind plates 17 arranged in the vertical direction Z. Hereinafter, a plurality of wind plates 17 will be described, but the direction in which the inner space R1 exists with respect to the outer space R2 in the first direction A is the inner side A1, and the opposite side is the outer side A2. ). In addition, a direction orthogonal to the first direction A when viewed from the vertical direction is described as the second direction B. Each of the plurality of front wind plates 17 is configured to be able to swing around the swing shaft center P along the second direction B. The plurality of swing shaft centers P are arranged so as to be arranged in a row along the vertical direction Z when viewed from the second direction along the second direction B.

통기부(13)는, 복수의 정풍판(17)의 각각을 요동 축심(P) 주위로 요동시킴으로써, 통기량을 조절할 수 있도록 구성되어 있다. 설명을 추가하면, 복수의 정풍판(17)의 각각은, 예를 들면, 도 5의 실선 및 도 6에 나타낸 바와 같이, 내부측(A1)의 단부인 내단부(17A)가 외부측(A2)의 단부인 외단부(17B)보다도 상방측에 위치하도록 경사진 완만한 경사 자세나, 도 5의 가상선 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 완만한 경사 자세보다도 내단부(17A)와 외단부(17B)와의 상하 방향 Z의 간격을 크게 한 급경사 자세 등으로 자세를 변화 가능하게 구성되어 있다. 본 실시형태에서는, 완만한 경사 자세와 급경사 자세란, 모두, 내단부(17A)가 외단부(17B)보다도 상방측에 위치하는 경사 자세이다. 또한, 복수의 정풍판(17)의 각각은, 상기와 같은 완만한 경사 자세와 급경사 자세와의 사이의 경사 각도로 되는 자세나, 완만한 경사 자세보다도 경사 각도가 완만한 자세 등으로도 변화 가능하게 되어 있다. The ventilation part 13 is configured to be able to adjust the ventilation amount by swinging each of the plurality of head wind plates 17 around the swing axis P. In addition to the explanation, each of the plurality of windshield plates 17 is, for example, as shown in the solid line of Fig. 5 and Fig. 6, the inner end 17A, which is the end of the inner side A1, is the outer side A2 ), the inner end 17A and the outer end are inclined to be positioned above the outer end 17B, which is the end of the), or, as shown in the virtual line of Fig. 5 and Fig. 7, It is configured to be able to change the posture in a steep inclined posture or the like in which the distance between the vertical direction Z and (17B) is increased. In this embodiment, both the gentle inclined posture and the steep inclined posture are inclined postures in which the inner end portion 17A is positioned above the outer end portion 17B. In addition, each of the plurality of head plates 17 can be changed to a posture that becomes an inclination angle between the gentle inclined posture and the steeply inclined posture as described above, or a posture in which the inclination angle is gentler than the gentle inclined posture. It is supposed to be done.

그리고, 복수의 정풍판(17)의 각각을 완만한 경사 자세로 한 경우에는, 상하 방향 Z로 인접하는 정풍판(17)끼리의 간격이 넓어지고, 통기부(13)의 통기량이 많아진다. 이에 대하여, 복수의 정풍판(17)의 각각을 급경사 자세로 한 경우에는, 상하 방향 Z로 인접하는 정풍판(17)끼리의 간격이 좁아져, 통기부(13)의 통기량이 적어지게 된다. And, in the case where each of the plurality of windshield plates 17 is in a gentle inclined posture, the gap between the windshield plates 17 adjacent to each other in the vertical direction Z increases, and the amount of ventilation of the ventilation portion 13 increases. . On the other hand, when each of the plurality of windshield plates 17 is in a steeply inclined posture, the gap between the windshield plates 17 adjacent in the vertical direction Z becomes narrow, and the amount of ventilation of the ventilation portion 13 decreases. .

복수의 정풍판(17)을 요동시키는 구성으로서는, 복수의 정풍판(17)을 작업자의 수작업으로 요동시키는 구성이라도 되고, 복수의 정풍판(17)을 전동 모터 등의 구동 장치의 동작에 의해 요동시키는 구성이라도 된다. 또한, 구동 장치의 동작에 의해 요동시키는 경우, 스태커 크레인(6)의 동작에 연동하여 요동시키도록, 제어 장치에 의해 구동 장치를 제어하도록 해도 된다. 예를 들면, 제어 장치는, 스태커 크레인(6)이 정풍판(17)에 가까워지도록 스태커 크레인(6)을 이동시키는 경우에, 정풍판(17)을 완만한 경사 자세로서 내부 공간(R1)의 공기가 외부 공간(R2)으로 배기되기 용이하고, 스태커 크레인(6)이 정풍판(17)으로부터 멀어지도록 스태커 크레인(6)을 이동시키는 경우에, 정풍판(17)을 급경사 자세로 하여 외부 공간(R2)의 공기가 내부 공간(R1)으로 쉽게 침입하지 하도록, 구동 장치를 제어하도록 해도 된다. As a configuration for oscillating the plurality of wind plates 17, the plurality of wind plates 17 may be oscillated manually by an operator, and the plurality of wind plates 17 are oscillated by the operation of a driving device such as an electric motor. It may be a configuration to make. Further, in the case of swinging by the operation of the driving device, the driving device may be controlled by the control device so as to swing in conjunction with the operation of the stacker crane 6. For example, when the stacker crane 6 moves the stacker crane 6 so that the stacker crane 6 approaches the wind plate 17, the control device moves the wind plate 17 in a gentle inclined posture of the inner space R1. When the stacker crane 6 is moved so that the air is easily exhausted to the outside space R2 and the stacker crane 6 is away from the wind plate 17, the wind plate 17 is placed in a steep inclined posture to the outside space. The drive device may be controlled so that the air of R2 does not easily enter the inner space R1.

도 5에 나타낸 바와 같이, 복수의 정풍판(17)에서의 경사 위쪽을 향하는 면은, 제2 방향에서 볼 때, 위쪽으로 경사지게 팽출(膨出)하는 호형(弧狀)으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 정풍판(17)에서의 경사 위쪽을 향하는 면은, 외측 경사 위쪽을 향하고 있고, 제2 방향에서 볼 때, 외측 위쪽으로 경사지게 팽출하는 호형으로 형성되어 있다. 또한, 도시한 예에서는, 복수의 정풍판(17)에서의 경사 하방을 향하는 면은, 제2 방향에서 볼 때, 위쪽으로 경사지게 오목하게 들어간 호형으로 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 복수의 정풍판(17)에서의 경사 하방을 향하는 면은, 내측 경사 하방을 향하고 있고, 제2 방향에서 볼 때, 외측 위쪽으로 경사지게 오목하게 들어간 호형으로 형성되어 있다. 또한, 본 예에서는, 제2 방향에서 볼 때 내단부(17A)와 외단부(17B)가 배열되는 방향을 길이 방향으로 하여, 복수의 정풍판(17)의 각각은, 내단부(17A)로부터 외단부(17B)를 향함에 따라 제2 방향에서 볼 때 길이 방향에 대하여 직교하는 방향의 두께가 얇아지는 형상으로 형성되어 있다. As shown in FIG. 5, the surface facing the obliquely upward direction of the plurality of wind plates 17 is formed in an arc shape that protrudes obliquely upwards when viewed from the second direction. In this embodiment, the surface facing the obliquely upward direction of the plurality of head wind plates 17 is formed in an arc shape which is obliquely bulged outwardly upward when viewed from the second direction, and is obliquely upward. In addition, in the illustrated example, the surface facing obliquely downwards of the plurality of front wind plates 17 is formed in an arc shape that is obliquely recessed upward when viewed from the second direction. In the present embodiment, the faces of the plurality of front wind plates 17 facing obliquely downward are formed in an arc shape that is obliquely concave outwardly and obliquely downward when viewed from the second direction. In addition, in this example, the direction in which the inner end 17A and the outer end 17B are arranged as viewed from the second direction is the longitudinal direction, and each of the plurality of wind plates 17 is separated from the inner end 17A. It is formed in a shape in which the thickness in a direction orthogonal to the length direction becomes thinner as viewed from the second direction toward the outer end portion 17B.

도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 정풍판(17)의 각각은, 완만한 경사 자세에서는, 벽체(2)에 대하여 제1 방향 A의 양측으로 돌출하고, 급경사 자세에서는, 벽체(2)의 제1 방향 A의 폭 내에 들어가 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 복수의 정풍판(17)을 벽체(2)에 대하여 직접 장착하고 있지만, 복수의 정풍판(17)을 프레임재에 장착하고, 그 프레임재를 벽체(2)에 장착하도록 해도 된다. 이 경우, 복수의 정풍판(17)의 각각을, 완만한 경사 자세에서는, 프레임재에 대하여 제1 방향 A의 양측으로 돌출하고, 급경사 자세에서는, 프레임재의 제1 방향 A의 폭 내에 수용되도록 해도 된다. As shown in FIGS. 6 and 7, each of the plurality of head wind plates 17 protrudes to both sides of the first direction A with respect to the wall 2 in a gentle inclined posture, and the wall 2 in a steep inclined posture. ) Within the width of the first direction A. In addition, in the present embodiment, a plurality of head wind plates 17 are directly attached to the wall 2, but a plurality of head wind plates 17 are attached to the frame member, and the frame member is attached to the wall 2 You can do it. In this case, even if each of the plurality of wind plates 17 protrudes to both sides of the first direction A with respect to the frame member in a gentle inclined position, and accommodated within the width of the first direction A of the frame member in a steep inclination position do.

2. 제2 실시형태2. Second embodiment

다음에, 물품 반송 설비의 제2 실시형태에 대하여, 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 반송 장치(M)를, 자동 창고(1)의 외측에 있어서 천정(ceiling) 근처를 주행하는 반송 캐리지(transport carriage)(21)로 한 점에서, 상기 제1 실시형태와는 상이하다. 이하에서는, 본 실시형태에 관한 물품 반송 설비(100)에 대하여, 상기 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 하여 설명한다. 그리고, 특별히 설명하지 않은 점에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 한다. Next, a second embodiment of the article conveyance facility will be described with reference to FIGS. 8 and 9. In this embodiment, in that the transfer device M is a transfer carriage 21 that travels near the ceiling outside the automatic warehouse 1, it is different from the first embodiment. Different. Hereinafter, the article conveyance equipment 100 according to the present embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment. In addition, points not specifically described are the same as those of the first embodiment.

벽체(2)는, 반송 장치(M)로서의 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 벽체(2)는, 천정부(C)에 현수된(suspended) 상태로 설치되어 있고, 전술한 바와 같은 상부 바닥부(F2)(도시하지 않음)에 대하여 위쪽으로 이격되어 있다. 벽체(2)는, 단벽부(11)와 측벽부(12)에 더하여, 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역의 하방측을 에워싸는 하벽부(22)를 구비하고 있다. 이 하벽부(22)는, 상하 방향 Z를 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시키는 연통부(23)를 구비하고 있다. 연통부(23)에는, FFU가 구비되어 있다. The wall 2 surrounds the area in which the conveyance carriage 21 as the conveyance device M is installed. The wall 2 is installed in a suspended state on the ceiling portion C, and is spaced upward from the upper bottom portion F2 (not shown) as described above. In addition to the end wall portion 11 and the side wall portion 12, the wall 2 includes a lower wall portion 22 surrounding the lower side of the region in which the conveyance carriage 21 is provided. This lower wall portion 22 is provided with a communication portion 23 that communicates the inner space R1 and the outer space R2 along the vertical direction Z. The communication part 23 is provided with FFU.

내부 공간(R1)에서는, 내부 기류 생성부(14)에 의해 내부 공간(R1)의 상부에 공급된 공기는, 내부 공간(R1)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한 후, 통기부(13)로부터 외부 공간(R2)을 향해 측방으로 배기되고 또한 연통부(23)로부터 외부 공간(R2)을 향해 아래쪽으로 배기된다. 또한, 외부 공간(R2)에서는, 외부 기류 생성부(15)에 의해 외부 공간(R2)의 상부에 공급된 공기는, 외부 공간(R2)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한다. In the inner space R1, the air supplied to the upper portion of the inner space R1 by the inner airflow generating unit 14 flows through the inner space R1 from the top to the bottom, and then from the ventilation portion 13 to the outside. It is exhausted to the side toward the space R2 and is also exhausted downward from the communication portion 23 toward the outer space R2. In addition, in the external space R2, the air supplied to the upper part of the external space R2 by the external airflow generation unit 15 flows through the external space R2 from top to bottom.

3. 제3 실시형태3. Third embodiment

다음에, 물품 반송 설비의 제3 실시형태에 대하여, 도 10을 참조하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 반송 장치(M)를, 자동 창고(1)의 외측에 있어서 바닥부 근처를 주행하는 반송 캐리지(21)로 한 점에서, 상기 제1 실시형태와는 상이하다. 이하에서는, 본 실시형태에 관한 물품 반송 설비(100)에 대하여, 상기 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 하여 설명한다. 그리고, 특별히 설명하지 않은 점에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 한다. Next, a third embodiment of the article transport facility will be described with reference to FIG. 10. In this embodiment, it is different from the said 1st embodiment in that the conveyance apparatus M is made into the conveyance carriage 21 which runs near the floor outside the automatic warehouse 1. Hereinafter, the article conveyance equipment 100 according to the present embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment. In addition, points not specifically described are the same as those of the first embodiment.

벽체(2)는, 반송 장치(M)로서의 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 벽체(2)는, 하부 바닥부(F1) 상에 설치되어 있다. 벽체(2)는, 하부 바닥부(F1)에 대하여 위쪽으로 이격되어 있고 또한 전술한 바와 같은 천정부(C)(도시하지 않음)에 대하여 아래쪽으로 이격되어 있다. 벽체(2)는, 단벽부(11)와 측벽부(12)에 더하여, 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역의 하방측을 에워싸는 하벽부(22)와, 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역의 상방측을 에워싸는 상벽부(24)를 구비하고 있다. 하벽부(22)는, 상하 방향 Z를 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시키는 연통부(23)를 구비하고 있다. 연통부(23)에는, FFU가 구비되어 있다. 상벽부(24)에는, 복수의 FFU가 설치되어 있고, 이 복수의 FFU에 의해 내부 기류 생성부(14)가 구성되어 있다. 그리고, 도시는 생략하지만, 천정부(C)에 설치되어 있는 FFU에 의해 외부 기류 생성부(15)가 구성되어 있다. The wall 2 surrounds the area in which the conveyance carriage 21 as the conveyance device M is installed. The wall 2 is provided on the lower floor part F1. The wall 2 is spaced upward with respect to the lower floor part F1, and is spaced downward with respect to the ceiling part C (not shown) as described above. In addition to the end wall portion 11 and the side wall portion 12, the wall 2 includes a lower wall portion 22 surrounding the lower side of the area in which the conveying carriage 21 is installed, and a conveying carriage 21. It is provided with an upper wall portion 24 surrounding the upper side of the existing area. The lower wall portion 22 is provided with a communication portion 23 that communicates the inner space R1 and the outer space R2 along the vertical direction Z. The communication part 23 is provided with FFU. A plurality of FFUs are provided in the upper wall portion 24, and the internal airflow generation unit 14 is constituted by the plurality of FFUs. Further, although not shown, the external airflow generation unit 15 is constituted by the FFU provided in the ceiling portion C.

내부 공간(R1)에서는, 내부 기류 생성부(14)에 의해 내부 공간(R1)의 상부에 공급된 공기는, 내부 공간(R1)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한 후, 통기부(13)로부터 외부 공간(R2)을 향해 측방으로 배기되고 또한 연통부(23)로부터 외부 공간(R2)을 향해 아래쪽으로 배기된다. 또한, 외부 공간(R2)에서는, 외부 기류 생성부(15)에 의해 외부 공간(R2)의 상부에 공급된 공기는, 외부 공간(R2)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한다. 이와 같이, 기류 생성부(3)는, 청정실(R)에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성한다. In the inner space R1, the air supplied to the upper portion of the inner space R1 by the inner airflow generating unit 14 flows through the inner space R1 from the top to the bottom, and then from the ventilation portion 13 to the outside. It is exhausted to the side toward the space R2 and is also exhausted downward from the communication portion 23 toward the outer space R2. In addition, in the external space R2, the air supplied to the upper part of the external space R2 by the external airflow generation unit 15 flows through the external space R2 from top to bottom. In this way, the airflow generation unit 3 generates an airflow from top to bottom in the clean room R.

4. 제4 실시형태4. Fourth embodiment

다음에, 물품 반송 설비의 제4 실시형태에 대하여, 도 11 및 도 12를 참조하여 설명한다. 본 실시형태에서는, 반송 장치(M)를, 자동 창고(1)의 외측에 있어서 천정 근처를 일방향으로 주회(周回) 주행하는 반송 캐리지(21)로 한 점에서, 상기 제1 실시형태와는 상이하다. 이하에서는, 본 실시형태에 관한 물품 반송 설비(100)에 대하여, 상기 제1 실시형태와의 상위점을 중심으로 하여 설명한다. 그리고, 특별히 설명하지 않은 점에 대해서는, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 한다. Next, a fourth embodiment of the article transport facility will be described with reference to FIGS. 11 and 12. In this embodiment, it is different from the first embodiment in that the transfer device M is a transfer carriage 21 that runs around the ceiling in one direction outside the automatic warehouse 1. Do. Hereinafter, the article conveyance equipment 100 according to the present embodiment will be described focusing on differences from the first embodiment. In addition, points not specifically described are the same as those of the first embodiment.

도 11에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(M)로서의 반송 캐리지(21)는, 주행 경로(L)를 일방향으로 주회 주행함으로써, 규정의 반송 방향 X를 따라 물품(W)을 반송한다. 벽체(2)는, 반송 장치(M)로서의 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역을 포위하고 있다. 벽체(2)는, 천정부(C)에 현수된 상태로 설치되어 있고, 전술한 바와 같은 상부 바닥부(F2)(도시하지 않음)에 대하여 위쪽으로 이격되어 있다. As shown in FIG. 11, the conveyance carriage 21 as the conveyance device M conveys the article W along the prescribed conveyance direction X by traveling around the travel path L in one direction. The wall 2 surrounds the area in which the conveyance carriage 21 as the conveyance device M is installed. The wall 2 is installed in a suspended state on the ceiling portion C, and is spaced upward from the upper bottom portion F2 (not shown) as described above.

상하 방향에서 볼 때 반송 방향 X에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향 Y로서, 벽체(2)는, 상기 벽체(2)에서의 가로 폭 방향 Y의 단부에 반송 방향 X를 따라 설치된 측벽부(12)를 구비하고 있다. 측벽부(12)는, 반송 캐리지(21)에 대하여 가로 폭 방향 Y의 외측에 설치되어 있다. A direction orthogonal to the conveying direction X when viewed from the vertical direction is defined as the transverse direction Y, and the wall 2 is a side wall portion 12 provided along the conveying direction X at an end of the wall 2 in the transverse direction Y. ). The side wall portion 12 is provided outside the transport carriage 21 in the transverse direction Y.

도 12에 나타낸 바와 같이, 벽체(2)는, 측벽부(12)에 더하여, 반송 캐리지(21)가 설치되어 있는 영역의 하방측을 에워싸는 하벽부(22)를 구비하고 있다. 이 하벽부(22)는, 상하 방향 Z를 따라 내부 공간(R1)과 외부 공간(R2)을 연통시키는 제1 연통부(26) 및 제2 연통부(27)를 구비하고 있다. 제1 연통부(26)는, 상하 방향에서 볼 때 반송 캐리지(21)가 주행하는 주행 궤적(travel trajectory)과 중첩되는 범위 내에 형성되어 있다. 이 제1 연통부(26)에는, FFU가 구비되어 있다. 제2 연통부(27)는, 상하 방향에서 볼 때 반송 캐리지(21)의 주행 궤적에 에워싸인 영역에 형성되어 있다. 이 제2 연통부(27)는, 펀칭 메탈(punching metal) 등의 다공형의 판형 부재에 의해 구성되어 있다. As shown in Fig. 12, the wall 2 includes, in addition to the side wall portion 12, a lower wall portion 22 that surrounds the lower side of the region in which the conveyance carriage 21 is provided. The lower wall portion 22 is provided with a first communication portion 26 and a second communication portion 27 for communicating the inner space R1 and the outer space R2 along the vertical direction Z. The first communication portion 26 is formed within a range overlapping with a travel trajectory on which the conveyance carriage 21 travels when viewed from the vertical direction. The FFU is provided in this 1st communication part 26. The second communication part 27 is formed in a region surrounded by the traveling trajectory of the conveyance carriage 21 when viewed from the vertical direction. This second communication part 27 is constituted by a porous plate member such as a punching metal.

내부 공간(R1)에서는, 내부 기류 생성부(14)에 의해 내부 공간(R1)의 상부에 공급된 공기는, 내부 공간(R1)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한 후, 통기부(13)로부터 외부 공간(R2)을 향해 측방으로 배기되고 또한 제1 연통부(26) 및 제2 연통부(27)로부터 외부 공간(R2)을 향해 아래쪽으로 배기된다. 또한, 외부 공간(R2)에서는, 외부 기류 생성부(15)에 의해 외부 공간(R2)의 상부로 공급된 공기는, 외부 공간(R2)을 위쪽으로부터 아래쪽으로 유동한다. In the inner space R1, the air supplied to the upper portion of the inner space R1 by the inner airflow generating unit 14 flows through the inner space R1 from the top to the bottom, and then from the ventilation portion 13 to the outside. It is exhausted to the side toward the space R2 and is also exhausted downwardly from the first communication portion 26 and the second communication portion 27 toward the outer space R2. In addition, in the external space R2, the air supplied to the upper part of the external space R2 by the external airflow generation unit 15 flows through the external space R2 from top to bottom.

5. 그 외의 실시형태5. Other embodiments

다음에, 물품 반송 설비(100)의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. Next, other embodiments of the article transport facility 100 will be described.

(1) 상기한 실시형태에서는, 복수의 정풍판(17)의 각각이 요동 축심(P) 주위로 요동 가능하게 된 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 복수의 정풍판(17)의 각각의 경사 각도가 고정된 구성이라도 된다. 이 경우의 경사 각도는, 예를 들면, 전술한 완만한 경사 자세(도 5의 실선 및 도 6에 나타낸 자세)에 대응하는 각도로 고정되어 있어도 된다. (1) In the above-described embodiment, a configuration in which each of the plurality of head wind plates 17 can swing around the swing axis P has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, there may be a configuration in which the inclination angles of each of the plurality of wind plates 17 are fixed. The inclination angle in this case may be fixed to an angle corresponding to the above-described gentle inclined posture (the solid line in Fig. 5 and the posture shown in Fig. 6), for example.

(2) 상기한 실시형태에서는, 복수의 요동 축심(P)이, 제2 방향 B를 따르는 제2 방향에서 볼 때 상하 방향 Z를 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 복수의 요동 축심(P)이, 상하 방향 Z에 대하여 경사진 방향, 또는 수평 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있어도 된다. 또는, 복수의 요동 축심(P)이, 제2 방향에서 볼 때 파형상의 복수의 정점부(頂点部)에 각각 배치되어 있어도 된다. 이들의 배치는, 복수의 정풍판(17)이 요동 축심(P)을 가지고 있지 않은 고정 구조로 되는 경우라도 마찬가지이다. (2) In the above-described embodiment, a configuration in which the plurality of swing shaft centers P are arranged in a row along the vertical direction Z when viewed from the second direction along the second direction B has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, a plurality of swing shaft centers P may be arranged so as to be arranged in a row along a direction inclined with respect to the vertical direction Z or a horizontal direction. Alternatively, a plurality of swing shaft centers P may be disposed at a plurality of corrugated vertices, respectively, when viewed from the second direction. These arrangements are the same even when the plurality of head wind plates 17 have a fixed structure that does not have the swing shaft center P.

(3) 상기한 제1 내지 제3 실시형태에서는, 단벽부(11)와 측벽부(12)와의 각각에 통기부(13)를 구비하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 단벽부(11)와 측벽부(12) 중 어느 한쪽에만 통기부(13)를 구비하는 구성으로 해도 된다. (3) In the first to third embodiments described above, a configuration in which a ventilation portion 13 is provided in each of the end wall portion 11 and the side wall portion 12 has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, it is good also as a structure including the ventilation part 13 only in either one of the end wall part 11 and the side wall part 12.

(4) 상기한 제1 실시형태에서는, 측벽부(12)를, 수납 선반(8)에 대하여 가로 폭 방향 Y의 외측에 설치하였다. 그러나, 수납 선반(8)에서의 최하단의 수납부(7)의 아래쪽에서, 측벽부(12)를, 수납 선반(8)의 가로 폭 방향 Y의 폭 내나, 가로 폭 방향 Y에서의 반송 장치(M)와 수납 선반(8)과의 사이 등에 설치하는 구성이라도 된다. 또한, 전술한 바와 같이, 측벽부에서의, 수납 선반(8)의 가로 폭 방향 Y의 폭 내나 반송 장치(M)와 수납 선반(8)과의 사이 등에 설치한 부분에, 통기부(13)를 설치해도 된다. (4) In the first embodiment described above, the side wall portion 12 is provided outside the storage shelf 8 in the lateral width direction Y. However, under the storage part 7 at the lowermost end of the storage shelf 8, the side wall portion 12 is placed within the width of the storage shelf 8 in the lateral width direction Y, or a conveyance device in the lateral width direction Y ( M) may be provided between the storage shelf 8 and the like. In addition, as described above, in the side wall portion, in a portion provided within the width of the storage shelf 8 in the width direction Y or between the conveying device M and the storage shelf 8, the ventilation portion 13 You may install it.

(5) 상기한 실시형태에서는, 반송 장치(M)를, 스태커 크레인(6)이나 반송 캐리지(21)와 하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 반송 장치(M)를, 안내하는 궤도가 설치되어 있지 않은 바닥부 상을 자유롭게 주행 가능한 반송차(搬送車; transport vehicle)와 한 구성이라도 된다. 또한, 반송 장치(M)를, 규정의 반송 방향 X를 따라 설치한 벨트 컨베이어 등의 컨베이어 장치로 한 구성이라도 된다. (5) In the above-described embodiment, the configuration in which the conveying device M is combined with the stacker crane 6 and the conveying carriage 21 has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, it may be configured as a transport vehicle capable of freely traveling on a floor where a track for guiding the transport device M is not provided. Further, the conveying device M may be configured as a conveyor device such as a belt conveyor provided along the prescribed conveying direction X.

(6) 상기한 실시형태에서는, 물품 반송 설비(100)을, 외부 기류 생성부(15)를 구비한 청정실(R)에 설치하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 물품 반송 설비(100)를, 외부 기류 생성부(15)를 구비하지 않는 청정실(R)에 설치하는 구성이나, 청정화되지 않는 공간에 설치하는 구성이라도 된다. (6) In the above-described embodiment, the configuration in which the article conveyance facility 100 is provided in the clean room R provided with the external airflow generation unit 15 has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, there may be a configuration in which the article transport facility 100 is installed in a clean room R that does not have the external airflow generation unit 15 or a configuration in which it is not cleaned.

(7) 상기한 실시형태에서는, 복수의 정풍판의 각각에서의 경사 위쪽을 향하는 면을, 제2 방향에서 볼 때, 경사 상방 측으로 팽출하는 형상으로 하는 구성을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 복수의 정풍판의 각각에서의 경사 위쪽을 향하는 면을, 제2 방향에서 볼 때, 평탄한 형상이나 경사 하방측으로 오목하게 들어간 형상으로 하는 구성이라도 된다. (7) In the above-described embodiment, a configuration in which the surface facing the obliquely upward direction of each of the plurality of head wind plates is a shape that expands to the obliquely upward side when viewed from the second direction has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, the surface of each of the plurality of positive wind plates may be configured to have a flat shape or a shape that is concave in the oblique downward side when viewed from the second direction.

(8) 상기한 실시형태에서는, 기체를, 공기로 하는 구성을 예로 설명하였다. 그러나, 그와 같은 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 기체를, 질소의 함유율이 높은 불활성 기체 등으로 해도 된다. (8) In the above-described embodiment, the configuration in which the gas is air has been described as an example. However, it is not limited to such a configuration. For example, the gas may be an inert gas having a high nitrogen content.

(9) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다. (9) Further, the configuration disclosed in each of the above-described embodiments may be applied in combination with the configuration disclosed in the other embodiments, as long as no contradiction arises. Regarding other configurations, the embodiments disclosed in the present specification are merely illustrative in all respects. Therefore, various modifications can be appropriately performed within the scope not departing from the spirit of the present invention.

6. 상기 실시형태의 개요6. Summary of the above embodiment

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다. Hereinafter, the outline of the article conveyance facility described above will be described.

물품 반송 설비는, 물품을 반송하는 반송 장치를 구비하고, The article transport facility includes a transport device that transports the article,

상기 반송 장치가 설치되어 있는 영역을 에워싸는 벽체와, 상기 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 내부 기류 생성부를 구비하고, 상기 벽체는, 수평 방향을 따르는 방향인 제1 방향을 따라 상기 내부 공간과 상기 벽체의 외부의 공간인 외부 공간을 연통시키는 통기부를 구비하고, 상기 통기부는, 상하 방향으로 배열되는 복수의 정풍판을 포함하고, 상기 제1 방향에서의 상기 외부 공간에 대하여 상기 내부 공간이 존재하는 방향을 내부측, 그 반대측을 외부측으로 하여, 복수의 상기 정풍판의 각각은, 상기 내부측의 단부인 내단부가 상기 외부측의 단부인 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 설치되어 있다. A wall surrounding an area in which the conveying device is installed, and an internal airflow generating unit generating an airflow from an upward to a downward direction in an internal space surrounded by the wall, and the wall is A ventilation unit for communicating the inner space and an external space, which is an outer space of the wall, along one direction, and the ventilation unit includes a plurality of wind plates arranged in a vertical direction, and the With respect to the outer space, the direction in which the inner space exists is an inner side, and the opposite side is an outer side, and each of the plurality of wind plates has an inner end, which is an end of the inner side, above the outer end, which is an end of the outer side. It is installed in an inclined and inclined posture to be located at.

본 구성에 의하면, 내부 기류 생성부에 의해 생성된 기류에 의해, 내부 공간의 기체를 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동시킬 수 있고, 그 유동시킨 기체의 일부 또는 전부를 통기부로부터 외부 공간에 배기시킬 수 있다. 그리고, 이와 같이, 내부 공간에 기류를 생성함으로써, 반송 장치에 의해 물품을 반송한 경우에 먼지가 발생해도, 그 먼지는 기체와 함께 아래쪽으로 유동하여 통기부로부터 외부 공간으로 배출되므로, 내부 공간에 있어서 먼지가 비산되는 것을 방지할 수 있다. According to this configuration, the gas in the internal space can be flowed from the top to the bottom by the air flow generated by the internal air flow generating unit, and part or all of the flowed gas can be exhausted from the ventilation unit to the external space. have. In this way, by creating an airflow in the inner space, even if dust is generated when the article is transported by the conveying device, the dust flows downward with the gas and is discharged from the vent to the outer space. So it can prevent dust from scattering.

또한, 통기부에 구비되어 있는 복수의 정풍판의 각각은, 내단부가 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 되어 있다. 그러므로, 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동한 내부 공간의 기체는, 경사 자세의 정풍판의 상면에 의해 안내되어 경사 하방을 향해 유동한다. 그러므로, 통기부에 있어서, 내부 공간으로부터 외부 공간을 향해 기류가 생기기 쉽게 된다. 통기부를 통해 외부 공간으로부터 내부 공간에 침입하도록 하는 기체는, 이 기류에 의해 방해할 수 있다. 따라서, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간에 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. In addition, each of the plurality of head wind plates provided in the ventilation portion has an inclined posture so that the inner end is positioned above the outer end. Therefore, the gas in the inner space flowing from the top to the bottom is guided by the upper surface of the front wind plate in an inclined posture and flows downward inclined. Therefore, in the ventilation portion, airflow is likely to be generated from the inner space toward the outer space. Gas that causes the air to enter the inner space from the outer space through the ventilation portion may be obstructed by this air flow. Accordingly, it is possible to prevent gas from the outer space from easily entering the inner space through the ventilation portion.

여기서, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여, 복수의 상기 정풍판의 각각은, 상기 제2 방향을 따르는 요동 축심 주위로 요동 가능하게 구성되고, 복수의 상기 요동 축심이, 상기 제2 방향을 따르는 제2 방향에서 볼 때 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있는 것이 바람직하다. Here, when viewed from the vertical direction along the vertical direction, the direction orthogonal to the first direction is the second direction, and each of the plurality of wind plates is configured to be able to swing around the swing axis center along the second direction. It is preferable that the plurality of swing shaft centers are arranged so as to be arranged in a line along the vertical direction when viewed from a second direction along the second direction.

본 구성에 의하면, 복수의 정풍판의 각각을 요동 축심 주위로 요동시킴으로써, 복수의 정풍판끼리의 간극의 크기를 변경할 수 있어, 통기부의 통기량을 조절할 수 있다. 또한, 요동 축심이 상하 방향을 따라 일렬로 정렬되어 있으므로, 정풍판의 경사 각도를 변경한 경우에, 상하 방향으로 인접하는 다른 정풍판과 쉽게 간섭하지 않는다. 그러므로, 복수의 정풍판의 각각의 경사 각도의 변경 범위를 크게 할 수 있어, 복수의 정풍판끼리의 간극의 크기의 조정 범위를 넓게 하는 것이 가능하게 되어 있다. According to this configuration, by swinging each of the plurality of head wind plates around the swing shaft center, the size of the gap between the plurality of head wind plates can be changed, and the amount of ventilation of the vent portion can be adjusted. In addition, since the swing shaft centers are aligned in a line along the vertical direction, when the inclination angle of the wind plate is changed, it does not easily interfere with other wind plates adjacent in the vertical direction. Therefore, it is possible to increase the range of change of the respective inclination angles of the plurality of head wind plates, and it is possible to widen the adjustment range of the size of the gap between the plurality of head wind plates.

또한, 상기 반송 장치는, 규정의 반송 방향을 따라 물품을 반송하도록 구성되고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 방향에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향으로 하여, 상기 벽체는, 상기 벽체에서의 상기 반송 방향의 단부에 상기 가로 폭 방향을 따라 설치된 단벽부를 구비하고, 상기 단벽부는, 상기 통기부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. In addition, the conveying device is configured to convey an article along a prescribed conveying direction, and when viewed from an up-down direction along an up-down direction, a direction orthogonal to the conveying direction is set as a horizontal width direction, and the wall is It is preferable that an end wall portion provided along the transverse width direction is provided at an end portion in the conveyance direction, and the end wall portion includes the ventilation portion.

통상, 단벽부로부터 이격되는 방향으로 물품을 반송하는 경우에, 물품과 벽 단부와의 사이가 음압으로 된다. 그러나, 본 구성에 의하면, 경사 자세의 정풍판에 의해 통기부에 있어서 내부 공간으로부터 외부 공간으로의 배기가 촉진되고 있으므로, 단벽부에 구비된 통기부를 통해 외부 공간으로부터 내부 공간에 기체가 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. Usually, in the case of conveying the article in a direction away from the end wall portion, the gap between the article and the wall end becomes negative pressure. However, according to this configuration, since the ventilating portion promotes exhaust from the inner space to the outer space by the tilting wind plate, gas easily enters the inner space from the outer space through the vent provided in the end wall. You can do not.

또한, 상기 반송 장치는, 규정의 반송 방향을 따라 물품을 반송하도록 구성되고, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 방향에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향으로 하여, 상기 벽체는, 상기 반송 장치를 협지하여 상기 가로 폭 방향의 양측에 설치된 측벽부를 구비하고, 상기 측벽부는, 상기 통기부를 구비하고 있는 것이 바람직하다. In addition, the conveying device is configured to convey an article along a prescribed conveying direction, and when viewed from an up-down direction along an up-down direction, a direction orthogonal to the conveying direction is a horizontal width direction, and the wall is It is preferable that the device is provided with sidewall portions provided on both sides in the transverse direction, and the sidewall portion includes the vent portion.

통상, 측벽부의 소정 위치로부터 이격되는 방향으로 주행하는 경우에, 물품과 측벽부의 소정 위치와의 사이가 음압으로 된다. 본 구성에 의하면, 경사 자세의 정풍판에 의해 통기부에 있어서 내부 공간으로부터 외부 공간으로의 배기가 촉진되고 있으므로, 측벽부에 구비된 통기부를 통해 외부 공간으로부터 내부 공간에 기체가 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. In general, when traveling in a direction away from a predetermined position of the side wall portion, a negative pressure is obtained between the article and a predetermined position of the side wall portion. According to this configuration, since the ventilation from the inside space to the outside space is promoted by the tilting wind plate, gas does not easily enter the inside space from the outside space through the ventilation section provided in the side wall. can do.

또한, 상기 외부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 외부 기류 생성부를 더 구비하고, 상기 반송 장치 및 상기 벽 보디부는, 상기 내부 공간과 상기 외부 공간을 포함하는 청정실에 설치되어 있는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the outer space further includes an external air flow generation unit for generating an air flow from top to bottom, and the conveyance device and the wall body unit are installed in a clean room including the inner space and the outer space. .

외부 기류 생성부가 외부 공간에 기류를 생성하고 있는 경우, 상기 외부 공간과, 내부 기류 생성부가 기류를 생성하고 있는 내부 공간과의 기압차가 작아지게 된다. 그러므로, 내부 공간의 기체가 통기부를 통해 외부 공간에 배기되기 어려워지고, 그 결과, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간에 침입하기 쉬워지는 경우가 있다. 그러나, 본 구성에 의하면, 통기부에 구비되어 있는 복수의 정풍판의 각각은, 내단부가 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 되어 있다. 그러므로, 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동하는 외부 공간의 기체가, 그 유동 방향을 반전(反轉)시켜, 경사 자세의 정풍판의 상면을 경사 위쪽을 향해 유동할 가능성은 낮다. 따라서, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간에 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. When the external airflow generator generates airflow in the external space, the difference in air pressure between the external space and the internal space in which the internal airflow generator generates airflow decreases. Therefore, it becomes difficult for the gas in the inner space to be exhausted to the outer space through the vent part, and as a result, there are cases where the gas in the outer space easily enters the inner space through the vent part. However, according to this configuration, each of the plurality of positive wind plates provided in the ventilation portion is in an inclined posture so that the inner end is positioned above the outer end. Therefore, it is unlikely that the gas in the outer space flowing from the top to the bottom reverses the flow direction and flows the upper surface of the wind plate in an inclined position toward the inclined upward. Accordingly, it is possible to prevent gas from the outer space from easily entering the inner space through the ventilation portion.

또한, 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여, 복수의 상기 정풍판의 각각에서의 경사 상방측을 향하는 면은, 상기 제2 방향을 따르는 제2 방향에서 볼 때, 상기 경사 상방 측으로 팽출하는 호형으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. In addition, when viewed from an up-down direction along the vertical direction, a direction orthogonal to the first direction is a second direction, and a surface facing an obliquely upward side of each of the plurality of wind plates is along the second direction. When viewed from the second direction, it is preferably formed in an arc shape that swells upward in the oblique direction.

본 구성에 의하면, 정풍판의 경사 상방측을 향하는 면을 호형으로 형성하였으므로, 경사 자세의 정풍판의 상면은, 내단부에서는 아래쪽으로의 경사가 완만하고, 외단부에서는 아래쪽으로의 경사가 급격히 되어 있다. 그러므로, 위쪽으로부터 아래쪽을 향해 유동한 내부 공간의 기체가, 정풍판의 상면의 내단부로 받아 지지(catch) 되기 쉽고, 외단부에서는 아래쪽을 향해 배기되기 쉬워지고 있다. 따라서, 통기부에 있어서, 내부 공간으로부터 외부 공간을 향해 기류가 생기기 쉬워, 외부 공간의 기체가 통기부를 통해 내부 공간으로 쉽게 침입하지 않게 할 수 있다. According to this configuration, since the surface facing the slope upward side of the wind plate is formed in an arc shape, the top surface of the wind plate in an inclined position has a gentle slope downward at the inner end and a sharp downward slope at the outer end have. Therefore, the gas in the inner space flowing from the top to the bottom is easily caught by the inner end of the upper surface of the wind plate, and is easily exhausted downward from the outer end. Accordingly, in the vent part, it is easy to generate an airflow from the inner space toward the outer space, so that gas from the outer space does not easily enter the inner space through the vent part.

[산업 상의 이용 가능성][Industrial availability]

본 개시에 관한 기술은, 물품을 반송하는 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비에 이용할 수 있다. The technology according to the present disclosure can be used in an article conveyance facility provided with a conveyance device that conveys an article.

100: 물품 반송 설비
2: 벽체
11: 단벽부
12: 측벽부
13: 통기부
14: 내부 기류 생성부
15: 외부 기류 생성부
17: 정풍판
17A: 내단부
17B: 외단부
A: 제1 방향
A1: 내부측
A2: 외부측
B: 제2 방향
M: 반송 장치
P: 요동 축심
R: 청정실
R1: 내부 공간
R2: 외부 공간
W: 물품
X: 반송 방향
Y: 가로 폭 방향
Z: 상하 방향100: article conveying equipment
2: wall
11: End wall
12: side wall portion
13: ventilation
14: internal airflow generation unit
15: external airflow generation unit
17: front plate
17A: inner end
17B: outer end
A: first direction
A1: inside
A2: Outside
B: second direction
M: conveying device
P: swing shaft center
R: clean room
R1: inner space
R2: outer space
W: Goods
X: conveying direction
Y: horizontal width direction
Z: vertical direction

Claims (6)

물품을 반송(搬送; transport)하는 반송 장치;
상기 반송 장치가 설치되어 있는 영역을 에워싸는 벽체; 및
상기 벽체에 의해 에워싸여 있는 내부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 내부 기류 생성부;
를 포함하고,
상기 벽체는, 수평 방향을 따르는 방향인 제1 방향을 따라 상기 내부 공간과 상기 벽체의 외부의 공간인 외부 공간을 연통시키는 통기부를 구비하고,
상기 통기부는, 상하 방향으로 배열되는 복수의 정풍판(整風板)을 구비하고,
상기 제1 방향에서의 상기 외부 공간에 대하여 상기 내부 공간이 존재하는 방향을 내부측, 그 반대측을 외부측으로 하여,
복수의 상기 정풍판의 각각은, 상기 내부측의 단부(端部)인 내단부가 상기 외부측의 단부인 외단부보다도 상방측에 위치하도록 경사진 경사 자세로 설치되어 있는,
물품 반송 설비. A conveying device for conveying an article;
A wall surrounding the area in which the conveying device is installed; And
An internal airflow generation unit for generating an airflow from top to bottom in the interior space surrounded by the wall;
Including,
The wall includes a vent for communicating the inner space and an outer space that is an outer space of the wall along a first direction, which is a direction along a horizontal direction,
The ventilation portion is provided with a plurality of forward wind plates arranged in the vertical direction,
With respect to the outer space in the first direction, the direction in which the inner space exists is an inner side, and the opposite side is an outer side,
Each of the plurality of wind plates is provided in an inclined and inclined posture such that an inner end, which is an end of the inner side, is positioned above an outer end, which is an end of the outer side,
Goods return facility. 제1항에 있어서,
상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여,
복수의 상기 정풍판의 각각은, 상기 제2 방향을 따르는 요동(搖動) 축심 주위로 요동 가능하게 구성되고,
복수의 상기 요동 축심이, 상기 제2 방향을 따르는 제2 방향에서 볼 때 상하 방향을 따라 일렬로 배열되도록 배치되어 있는, 물품 반송 설비. The method of claim 1,
When viewed from the vertical direction along the vertical direction, the direction orthogonal to the first direction is the second direction,
Each of the plurality of wind plates is configured to be able to swing around a swinging axis along the second direction,
An article conveyance facility, wherein a plurality of the oscillation shaft centers are arranged so as to be arranged in a row along an up-down direction when viewed from a second direction along the second direction. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 반송 장치는, 규정의 반송 방향을 따라 물품을 반송하도록 구성되고,
상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 방향에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향으로 하여,
상기 벽체는, 상기 벽체에서의 상기 반송 방향의 단부에 상기 가로 폭 방향을 따라 설치된 단벽부(端壁部)를 구비하고,
상기 단벽부는, 상기 통기부를 구비하고 있는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
The conveying device is configured to convey an article along a prescribed conveying direction,
When viewed from the vertical direction along the vertical direction, the direction orthogonal to the conveying direction is the horizontal width direction,
The wall body includes an end wall portion provided along the transverse width direction at an end portion of the wall body in the conveyance direction,
The article conveyance facility, wherein the end wall portion is provided with the ventilation portion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 반송 장치는, 규정의 반송 방향을 따라 물품을 반송하도록 구성되고,
상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 반송 방향에 대하여 직교하는 방향을 가로 폭 방향으로 하여,
상기 벽체는, 상기 반송 장치를 협지(sandwich)하여 상기 가로 폭 방향의 양측에 설치된 측벽부를 구비하고,
상기 측벽부는, 상기 통기부를 구비하고 있는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
The conveying device is configured to convey an article along a prescribed conveying direction,
When viewed from the vertical direction along the vertical direction, the direction orthogonal to the conveying direction is the horizontal width direction,
The wall has sidewall portions provided on both sides in the transverse direction by sandwiching the conveying device,
The article conveyance facility, wherein the side wall portion is provided with the ventilation portion. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 외부 공간에 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 기류를 생성하는 외부 기류 생성부를 더 포함하고,
상기 반송 장치 및 상기 벽체는, 상기 내부 공간과 상기 외부 공간을 포함하는 청정실에 설치되어 있는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
Further comprising an external airflow generation unit for generating an airflow from top to bottom in the outer space,
The conveyance device and the wall are provided in a clean room including the inner space and the outer space. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향을 제2 방향으로 하여,
복수의 상기 정풍판의 각각에서의 경사 상방측을 향하는 면은, 상기 제2 방향을 따르는 제2 방향에서 볼 때, 상기 경사 상방 측으로 팽출(膨出)하는 호형(弧狀)으로 형성되어 있는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
When viewed from the vertical direction along the vertical direction, the direction orthogonal to the first direction is the second direction,
The surface facing the diagonally upward side of each of the plurality of wind plates is formed in an arc shape that expands toward the diagonally upward side when viewed from a second direction along the second direction, Goods return facility.
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